KR101127655B1 - 워터젯을 이용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 분리 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 분리하기 위한 장치로서, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 상방 지지하는 지지판을 구비하는 프레임과, 상기 지지판 상에서 전방 또는 후방으로 슬라이딩 이동 가능하며, 세워진 상태로 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들을 전방으로 미는 푸시 플레이트와, 상기 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록, 상기 푸시 플레이트를 상기 전방으로 주기적으로 이동시키는 구동부와, 상기 지지판의 가장자리를 벗어난 한 개의 실리콘 웨이퍼 박판의 상부에 워터젯을 가하여, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들로부터 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼를 하방으로 분리시키는 워터젯 분사부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치를 제공한다.
따라서, 상기 워터젯을 이용하여 실리콘 웨이퍼 박판이 한 장씩 분리되기 때문에, 박판 분리 성능이 매우 우수하다. 또한, 간단한 구조에 의하여, 실리콘 웨이퍼 박판을 분리할 수 있기 때문에, 제조설비의 설치비용이 간단하고, 운영이 용이하다.

Description

워터젯을 이용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 분리 방법{Water Jet Separation System for Ultra-thin Solar Cell Silicon Wafers and the method therewith}
본 발명은 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 분리 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분리 성능이 향상된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 분리 방법에 관한 것이다.
태양광 발전은 최근 들어 각광을 받고 있는 신재생에너지의 대표적인 에너지원으로, 지구상에 공급되는 태양광은 인류가 사용하는 에너지의 10,000배에 달할 정도로 풍부하고 공해가 발생하지 않는 청정 에너지원이다. 이 태양광에너지를 이용하는 태양전지 기술은 당면한 전 세계적 에너지 위기 및 환경 문제를 해결하는 유력한 방안이 되고 있다. 태양전지 기술은 실리콘 결정형, 화합물 및 박막형 반도체, 유기 및 나노 반도체 등의 기술로 구분을 할 수 있는데, 여기에서 실리콘 결정형 태양전지 기술은 태양광 변환효율이 가장 높고 전체 태양전지 시장의 85% 이상을 점유한다.
도 1을 참조하면, 실리콘 결정형 태양전지에 쓰이는 웨이퍼의 제조공정을 요약하면 다음과 같다. 먼저 모래 등에서 실리콘 등의 원재료를 정제하여 폴리실리콘을 뽑아내며, 다시 폴리실리콘을 정제하여 단결정 또는 다결정 실리콘 잉곳(silicon ingot)을 만들어 품질검사를 거쳐 필요 없는 잉곳 끝단 제거(cropping), 에지 가공(edging)을 거쳐 사각형상의 잉곳이 완성된다. 이를 와이어쏘잉(wire sawing) 방식으로 얇게 절단하고 그 후 웨이퍼 표면 처리 등 여러 공정을 거쳐 박판형 웨이퍼를 제조한다.
이렇게 완성된 태양전지용 웨이퍼는 태양전지 모듈 제조업체에 넘겨져 표면 식각, p-n 접합 형성, 반사방지막 형성, 전극 형성 등의 일련의 공정을 거쳐 태양전지 모듈이 만들어진다. 실리콘 결정형 태양전지는 태양광 변환효율은 높지만, 실리콘 등의 소재가 고가이며 공정비용이 많이 든다는 단점이 있어 웨이퍼의 두께가 갈수록 얇아지는 추세이다.
태양전지용 웨이퍼의 자동분리 장비는, 앞서 설명된 일련의 태양전지용 실리콘 결정형 웨이퍼 생산 공정에서 실리콘 잉곳의 와이어 쏘잉 절단 후 준비되어진 1000개 이상의 웨이퍼 열에서 각각의 웨이퍼를 박리하여 다음 웨이퍼 가공 공정으로 이송하는 장치이다. 단결정 또는 다결정 성장과정으로 만들어진 실리콘 잉곳은 외면가공을 통해 사각단면봉의 형태를 갖는데, 단면은 현재 그 크기가 156mmㅧ156mm가 표준이다. 먼저, 잉곳은 절단 전 다이 위에 특수 본딩재로 접착이 되며, 와이어 쏘잉 방식으로 잉곳 전체가 한꺼번에 얇은 웨이퍼 형태로 절단이 된다. 두께 200㎛를 기준으로 보면 한 잉곳에서 약 1500장의 웨이퍼가 나온다.
현재 국내 태양전지용 웨이퍼 생산현장에서는 절단된 웨이퍼를 수작업으로 분리하여 다음 공정에 넘기게 되어 있는데, 바로 이 과정이 전체 공정의 보틀넥으로 작용하고 있으며, 웨이퍼의 파손이나 표면 손상 등 여러 가지 문제점을 노출한다.
현재 태양전지의 제조에 있어서 소재의 비중이 전체 원가의 50%를 넘어간다. 따라서, 고가의 원재료 비용을 줄이는 것이 태양전지 생산원가의 절감의 핵심이 된다. 소재 비용의 절감을 위하여 여러 가지 시도가 진행되고 있는데, 이에 따라 실리콘 웨이퍼의 두께를 줄여 태양전지 모듈 당 실리콘 사용량을 최소화하려고 한다. 도 2를 참조하면, 2000년대 초반에는 웨이퍼 두께가 300㎛ 이상 수준이었으나, 2006년에는 200㎛ 까지 감소하였으며, 전 세계 태양전지 생산 1위업체인 일본의 샤프사의 경우 현재 180㎛ 정도의 두께의 웨이퍼를 생산한다. 이러한 개발노력은 현재에도 계속되어 궁극적으로는 100㎛ 정도까지 웨이퍼의 두께를 줄이려는 웨이퍼 박판화 노력이 진행되고 있다. 참고로 반도체 소자용 웨이퍼의 두께는 800㎛ 정도이다.
웨이퍼의 두께가 감소하면 태양광 전환효율이 떨어지나, 이는 모듈공정의 기술적 진보로 극복이 되고 있다. 또 다른 문제점은 웨이퍼가 얇아지면서, 웨이퍼 생산 공정의 수율이 떨어지고 있어 그 부분에 대한 개선이 필요하다. 따라서 웨이퍼 두께 감소로 인하여 다음과 같은 생산 공정상 문제점이 발생한다.
첫째, 웨이퍼의 박판화로 인한 공정 중 표면 오염 및 손상, 그리고 파손 위험이 증가한다.
둘째, 웨이퍼 사이의 존재하는 초순수 세정액으로 인하여 잉곳 절단 및 본딩 제거 후 인근 웨이퍼들이 서로 흡착되며, 그 흡착에 의한 웨이퍼 분리의 어려움이 웨이퍼가 얇아짐에 따라 증가한다.
잉곳 절단 후 나온 일련의 웨이퍼를 분리 핸들링 하여 다음 공정으로 넘기기 위하여, 현재 생산현장에서 푸쉬바 또는 흡착패드를 이용하는 방식이 많이 사용되고 있다. 하지만, 상기 웨이퍼의 박판화에 의하여, 상기 푸쉬바 또는 흡착패드를 이용할 경우, 웨이퍼 분리 성능이 낮은 문제점이 있다.
본 발명은 분리 성능이 향상된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 분리하기 위한 장치로서, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 상방 지지하는 지지판을 구비하는 프레임과, 상기 지지판 상에서 전방 또는 후방으로 슬라이딩 이동 가능하며, 세워진 상태로 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들을 전방으로 미는 푸시 플레이트와, 상기 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록, 상기 푸시 플레이트를 상기 전방으로 주기적으로 이동시키는 구동부와, 상기 지지판의 가장자리를 벗어난 상기 실리콘 웨이퍼 박판의 상부에 워터젯을 가하여, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들로부터 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼를 하방으로 분리시키는 워터젯 분사부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은, 지지판 상에 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 적치하는 단계와, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 상기 지지판의 가장자리로 전진시키고, 상기 지지판의 가장자리 상부로부터 워터젯을 분사하여, 상기 워터젯에 의하여 상기 실리콘 웨이퍼 박판을 한 개 단위로 하부로 분리시키는 단계를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법을 제공한다.
본 발명의 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 워터젯을 이용하여 실리콘 웨이퍼 박판을 한 장씩 분리하기 때문에, 박판 분리 성능이 매우 우수하다.
둘째, 간단한 구조에 의하여, 실리콘 웨이퍼 박판을 분리할 수 있기 때문에, 제조설비의 설치비용이 간단하고, 운영이 용이하다.
도 1은 실리콘 결정형 태양전지에 쓰이는 웨이퍼의 제조공정의 개략적인 제조공정을 보여주는 설명도이다.
도 2는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 두께의 연도별 특징으로 보여주는 그래프로서, 독일의 큐-셀(Q-Cells) 사의 자료이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치의 개략적인 부분 사시도이다.
도 4는 도 3의 분리 장치의 작동 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 5는 도 3의 분리 장치에서 구동부의 동력 전달 메커니즘을 보여주는 구성도이다.
도 3 내지 도 5에 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치(이하, "분리 장치"라고 함)(100)가 개시되어 있다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 분리 장치(100)는 프레임(110), 푸시 플레이트(120), 구동부(130) 및 워터젯 분사부(140)를 포함한다. 상기 프레임(110)은 지지판(113), 제1측판(111), 제2측판(112), 이격판(115) 및 가이드판(114)을 포함한다. 상기 지지판(113)은 플레이트 형상을 가지면, 전방 부분에 와이어 쏘잉 공정에 의하여 제조된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판(P)들이 수직 방향으로 적층되어 있다. 상기 제1측판(111) 및 상기 제2측판(112)은 상기 지지판(113)의 양측에 각각 세워진 상태로 결합되어 있다. 상기 가이드판(114)은 플레이트 형상을 가지면, 상기 지지판(113)의 상부에 상기 이격판(115)에 의하여 지지되어 있다. 상기 지지판(113)과 상기 이격판(115)은 일체 구조를 가진다.
상기 푸시 플레이트(120)는 상기 지지판(113) 상에서 전방 또는 후방으로 슬라이딩 이동 가능하다. 상기 푸시 플레이트(120)는 상기 세워진 상태로 적층된 실리콘 웨이퍼 박판(P)들을 전방으로 미는 기능을 수행한다. 상기 푸시 플레이트(120)는 수직 방향으로 세워진 플레이트 구조를 가진다.
상기 구동부(130)는, 상기 적층된 실리콘 웨이퍼 박판(P)들이 한 개 단위로 상기 지지판(113)의 가장자리를 벗어나도록, 상기 푸시 플레이트(120)를 상기 전방으로 주기적으로 이동시킨다. 상기 구동부(130)는, 렉 기어(135), 제1피니언 기어(131), 제2피니언 기어(132), 제3피니언 기어(133) 및 스텝 모터(136)를 포함한다.
상기 스텝 모터(136)는 상기 가이드판(114)의 하부에 고정되어 있다. 상기 렉 기어(135)의 일 단부는 상기 푸시 플레이트(120)의 후방면에 고정되어 있다. 상기 렉 기어(135)는 상기 가이드 판(114)에 전후 방향으로 형성된 가이드 홈(114a) 내에 삽입되어, 상기 가이드 홈(114a)에 의하여 전후 방향으로 가이드 된다. 상기 렉 기어(135)는 상기 제1피니언 기어(131)에 맞물려 있다.
상기 제1피니언 기어(131)는 상기 제2피니언 기어(132)와 제1회전축(138)으로 일체로 회전한다. 상기 제1회전축(138)의 양 단부들은 상기 제1측판(111) 및 상기 제2측판(112)에 각각 회전 가능하게 결합되어 있다. 상기 제2피니언 기어(132)는 상기 가이드판(114)에 형성된 삽입홀(114b)에 의하여 삽입되어, 상기 스텝 모터(136)가 배치되는 공간으로 일부분이 노출되어 있다.
상기 제3피니언 기어(133)는 상기 스텝 모터(136)의 제2회전축(139)과 일체로 회전하도록 결합되어 있다. 상기 제3피니언 기어(133)는 상기 제2피니언 기어(132)와 맞물려서 회전한다.
상기 스텝 모터(136)의 회전에 의하여, 상기 렉 기어(135)가 상기 푸시 플레이트(120)를 전방으로 민다. 이 때, 상기 렉 기어(135)가 상기 푸시 플레이트(120)를 한 장의 실리콘 웨이퍼 박판(P)의 두께만큼 밀도록, 상기 스텝 모터(136)가 제어된다.
상기 워터젯 분사부(140)는, 상기 지지판(113)의 가장자리를 벗어난 상기 실리콘 웨이퍼 박판(P)의 상부에 워터젯을 가하여, 상기 실리콘 웨이퍼 박판(P)들로부터 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼(P)를 하방으로 분리시킨다. 상기 워터젯 분사부(140)는, 상기 프레임(110)에 고정되는 고정 플레이트(141), 상기 고정 플레이트(141)에 삽입 고정되는 워터젯 노즐(142), 상기 워터젯 노즐(142)에 물을 공급하는 물 공급부(143)를 포함한다. 상기 워터젯 노즐(142)은 상기 지지판(113)의 가장자리의 상부에서 수직 하방으로 상기 실리콘 웨이퍼 박판(P)에 워터젯을 가하여, 상기 실리콘 웨이퍼 박판(P)의 분리 성능을 향상시킨다.
이하에서는 상기 분리 장치(100)의 작동에 대하여 상세하게 살펴본다.
먼저, 와이어 쏘잉 공정 후 절단된 웨이퍼 박판(P)들이 상기 지지판(113) 상에 장착된다. 상기 웨이퍼 박판(P)들의 개수는 다양하게 선택될 수 있으며, 본 실시예에서는 약 1000장의 웨이퍼 박판들이 장착된다.
상기 물 공급부(143)가 상기 워터젯 노즐(142)에 물을 연속적으로 공급하여, 상기 워터젯 노즐(142)로부터 워터젯이 연속적으로 발생된다. 상기 워터젯이 발생되는 동안, 상기 스텝 모터(136)가 일정 각도(또는 일정 회전수)를 회전한 후 일정 시간을 정지한다. 상기 정지 시간은 다양하게 선택될 수 있으며, 본 실시예에서는 수 초이다.
상기 스텝 모터(136)의 회전에 의하여 상기 제3피니언 기어(133)가 회전하고, 이에 의하여 상기 제2피니언 기어(132) 및 상기 제1피니언 기어(131)가 동시에 회전하게 된다. 상기 제1피니언 기어(131)의 회전에 의하여, 상기 렉 기어(135)가 전진한 후 정지한다. 상기 렉 기어(135)의 동작에 의하여, 상기 푸시 플레이트(120)가 전진한 후, 정지한다. 상기 스텝 모터(136)의 작동은 상기 렉 기어(135)가 한 장의 실리콘 웨이퍼 박판(P)의 두께만큼 전진하게 하는데, 본 실시예에서는 약 200㎛이다.
상기 푸시 플레이트(120)가 상기 실리콘 박판(P)들을 밀어서, 가장 전방에 위치한 웨이퍼 박판(P) 한 장이 상기 지지판(113)의 가장자리로부터 벗어나게 된다. 상기 벗어난 실리콘 박판(P)이 상기 워터젯에 노출되게 되며, 상기 워터젯의 힘과 물이 단단히 흡착된 웨이퍼 박판(P)들 사이로 침투하면서 웨이퍼들 간의 흡착력을 약화시킨다. 이 때, 흡착력이 약화된 상태에서 상기 가장 전방에 위치한 웨이퍼 박판(P)은 물과 함께 하부로 분리된다.
그 후, 다시 상기 스텝 모터(136)가 구동하여, 한 장의 웨이퍼 박판 웨이퍼 박판(P)을 상기 지지판(113)의 가장자리로부터 벗어나게 하고, 이로 인하여 가장 전방에 위치한 웨이퍼 박판(P)이 워터젯에 의하여 하부로 분리되는 과정이 반복된다.
본 발명은 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판을 분리할 수 있을 뿐만 아니라, 일반적인 웨이퍼 박판뿐만 아니라 다양한 종류의 박판, 판넬 등의 분리에 이용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
110: 프레임 113: 지지판
120: 푸시 플레이트 130: 구동부
135: 렉 기어 136: 스텝 모터
140: 워터젯 분사부 142: 워터젯 노즐

Claims (15)

  1. 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 분리하기 위한 장치로서,
    상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 상방 지지하는 지지판을 구비하는 프레임;
    상기 지지판 상에서 전방 또는 후방으로 슬라이딩 이동 가능하며, 세워진 상태로 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들을 전방으로 미는 푸시 플레이트;
    스텝모터, 상기 푸시 플레이트에 고정되는 렉 기어, 상기 렉 기어에 맞물리는 제1피니언 기어, 상기 제1피니언 기어와 제1회전축으로 일체로 회전하는 제2피니언 기어 및 상기 제2피니언 기어와 맞물리며 상기 스텝 모터의 제2회전축과 일체로 회전하는 제3피니언 기어를 포함하여, 상기 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록 상기 푸시 플레이트를 상기 전방으로 주기적으로 이동시키는 구동부; 및
    상기 지지판의 가장자리를 벗어난 상기 실리콘 웨이퍼 박판의 상부에 워터젯을 가하여, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들로부터 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼를 하방으로 분리시키는 워터젯 분사부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 워터젝 분사부는,
    상기 프레임에 고정되는 고정 플레이트;
    상기 고정 플레이트에 삽입 고정되는 워터젯 노즐; 및
    상기 워터젯 노즐에 물을 공급하는 물 공급부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 워터젯 노즐은 상기 지지판의 가장자리의 상부에서 수직 하방으로 상기 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판에 워터젯을 가하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 워터젯 노즐로부터 연속적으로 워터젯이 분사되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동부는 상기 푸시 플레이트를 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼 박판의 두께만큼 상기 전방으로 이동시키는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 지지판의 양측에 각각 세워진 상태로 배치되며, 상기 제1회전축의 양단부들이 회전 가능하게 결합되는 제1측판 및 제2측판을 더 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 지지판의 상부에 배치되고, 상기 렉 기어가 상기 전방 또는 상기 후방으로 이동하는 것을 가이드하도록 가이드 홈이 형성되어 있는 가이드판을 더 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 스텝모터는 상기 지지판 상에 고정되며,
    상기 가이드판에는 상기 제2피니언 기어가 삽입되는 삽입홀이 형성되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치.
  11. 지지판 상에 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 적치하는 단계; 및
    상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 주기적으로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록, 상기 지지판 상에서 슬라이딩 이동 가능하여 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 가장자리로 미는 푸시 플레이트를 상기 실리콘 웨이퍼 박판의 두께만큼 상기 지지판의 가장자리로 전진시키고, 상기 지지판의 가장자리 상부로부터 워터젯을 분사하여, 상기 워터젯에 의하여 상기 실리콘 웨이퍼 박판을 한 개 단위로 하부로 분리시키는 단계를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 지지판의 가장자리의 상부에서 수직 하방으로 상기 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판에 상기 워터젯을 가하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법.
  15. 청구항 11에 있어서,
    상기 분리시키는 단계 동안, 상기 워터젯이 연속적으로 분사되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법.
KR1020100035458A 2010-04-16 2010-04-16 워터젯을 이용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리장치 및 이를 이용한 분리 방법 KR101127655B1 (ko)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003512196A (ja) * 1999-10-16 2003-04-02 エーシーアール オートメーション イン クリーンルーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 板状基板を分離して引き離すための方法および装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003512196A (ja) * 1999-10-16 2003-04-02 エーシーアール オートメーション イン クリーンルーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 板状基板を分離して引き離すための方法および装置

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