KR101114364B1 - 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본체의 측방향으로 분기되어 진공펌프와 연결되는 분기관과, 본체 하부에 연결된 이물질받이를 포함하는 포집장치에 의하여 진공펌프의 가동 중 흡입 기체는 분기관을 통하여 진공펌프로 유입되고, 아울러 흡입 기체 중에 포함되어 있는 파우더 덩어리나 또는 기타 불순물 등은 자중에 의한 중력 낙하로 이물질받이에 포집됨으로써 진공펌프로 유입되는 불순물을 최소화하여 진공펌프의 고장이나 돌발적인 사고 작업이 중단되는 것을 방지하고, 아울러 진공펌프의 수명을 연장할 수 있어 비용을 절감할 수 있으며, 특히 포집장치가 이물질의 자중에 의한 중력 낙하로 자연 포집되는 심플한 구성을 채용하고, 또 기존의 진공배관을 간단한 설계 변경을 통하여 설치하는 것이 가능하여 경제성 및 설치 편의성을 보장할 수 있는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 제안하고자 한다.
진공펌프, 포집장치, 분기관, 이물질받이, 탈착수단, 거름통, 메쉬망

Description

이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치{COLLECTING DEVICE FOR VACUUM PUMP}
본 발명은 본체의 측방향으로 분기되어 진공펌프와 연결되는 분기관과, 본체 하부에 연결된 이물질받이를 포함하는 포집장치에 의하여 진공펌프의 가동 중 흡입 기체는 분기관을 통하여 진공펌프로 유입되고, 아울러 흡입 기체 중에 포함되어 있는 파우더 덩어리나 또는 기타 불순물 등은 자중에 의한 중력 낙하로 이물질받이에 포집됨으로써 진공펌프로 유입되는 불순물을 최소화하여 진공펌프의 고장이나 돌발적인 사고 작업이 중단되는 것을 방지하고, 아울러 진공펌프의 수명을 연장할 수 있어 비용을 절감할 수 있으며, 특히 포집장치가 이물질의 자중에 의한 중력 낙하로 자연 포집되는 심플한 구성을 채용하고, 또 기존의 진공배관을 간단한 설계 변경을 통하여 설치하는 것이 가능하여 경제성 및 설치 편의성을 보장할 수 있는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조하는 공정에서는 산화성, 인화성 및 유독성 등의 성질을 갖는 다양한 종류의 반응가스를 클린룸(또는 청정실) 내부에서 분해하여 웨이퍼 상에 박막을 형성하게 된다.
이와 같이 반응가스 공급라인을 통해 클린룸 내부에 공급된 반응가스는 반응과정에서 폴리머(polymer) 등의 다양한 반응 부산물을 양산하게 되며, 이러한 반응 부산물을 포함한 배기가스는 진공펌프에 의하여 흡입되거나 또는 필터링 되어 방출된다.
이 경우 클린룸 내에서 생성된 반응 부산물을 포함한 배기가스에는 파우더 형태의 반응 부산물이 다양한 사이즈와 무게로 덩어리져 존재하게 되며,
이에 진공펌프에 의하여 배기가스를 흡입하는 경우 파우더 형태의 반응 부산물들도 함께 흡입되어 진공펌프로 유입되고, 또 진공펌프 내에 축적됨으로써 진공펌프의 고장의 직접적인 원인으로 작용하거나 진공펌프의 진공도를 저하시키게 된다.
아울러 진공배관라인이나 진공펌프 설치 등의 여러 공사 중 발생하는 이물질(볼트나 너트 등)이 폐기되지 않고 방치된 경우에는 진공펌프의 가동 중에 그 흡입력에 의하여 진공펌프로 이물질이 유입될 수 있어 진공펌프의 또 다른 고장의 원인으로 작용할 수 있게 된다.
따라서 진공펌프의 사용 수명이 단축되고, 또 이를 위한 수리 또는 교체 등 에 의한 비용 부담이 추가적으로 발생하게 되며,
더 나아가 진공펌프의 가동 중단으로 발생되는 생산성 저하 및 비용의 손실로 이어지는 문제가 발생하게 된다.
이를 해결하기 위한 종래기술로는 삼성전자 주식회사 및 김광호에 의한 공개특허특1998-031818호(1998.07.25. 공개. 이하 ‘종래기술 1’이라 함.) “반도체 저압 화학기상증착설비의 공정챔버와 진공펌프의 연결부” 및
주식회사 에스엠아이의 의한 공개특허 제10-2009-0025765호(2009.03.11. 공개. 이하 ‘종래기술 2’라 함.) “반도체 소자 가공공정의 진공배관용 파우더 트랩”이 개시되어 있다.
그러나 상기 종래기술 1의 경우에는 진공펌프와 공정챔버를 연결하는 배관 상에 그물망을 설치하여 입도가 큰 분말을 걸러내어 진공펌프로 유입되는 것을 방지할 수 있게 되지만,
상기 그물망으로 걸러지지 않는 입도가 작은 분말 형태의 이물질은 그대로 진공펌프로 유입되어 진공펌프의 고정 원인될 수 있고, 또 진공도가 저감시키는 문제가 있다.
아울러 상기 종래기술 2의 경우에는 진공배관 상에 파우더 트랩을 설치하여 파우더를 냉각 응집시켜 포집하게 되는데,
상기 종래기술 2의 경우에는 파우더 트랩은 트랩 내에 응결된 파우더가 흡입기체의 이동 경로 상에 위치하므로 진공펌프의 흡입력에 의하여 응결체가 진공펌프로 유입될 가능성이 상존하는 점과,
또 파우더 트랩의 구성이 너무 복잡하여 트랩 내에 축적되는 응결체를 제거하는 작업이 용이하지 않은 문제가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,
본체의 측방향으로 분기되어 진공펌프와 연결되는 분기관과, 본체 하부에 연결된 이물질받이를 포함하는 포집장치에 의하여 진공펌프의 가동 중 흡입 기체는 분기관을 통하여 진공펌프로 유입되고,
아울러 흡입 기체 중에 포함되어 있는 파우더 덩어리나 또는 기타 불순물 등은 자중에 의한 중력 낙하로 이물질받이에 포집됨으로써
진공펌프로 유입되는 불순물을 최소화하여 진공펌프의 고장이나 돌발적인 사고 작업이 중단되는 것을 방지하고, 아울러 진공펌프의 수명을 연장할 수 있어 비용을 절감할 수 있으며,
특히 포집장치가 이물질의 자중에 의한 중력 낙하로 자연 포집되는 심플한 구성을 채용하고, 또 기존의 진공배관을 간단한 설계 변경을 통하여 설치하는 것이 가능하여 경제성 및 설치 편의성을 보장할 수 있는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다.
그리고 본 발명에 따른 본체 내에는 거름통이 구비되고, 거름통의 메쉬망이 분기관 입구에 배열되어 일정 이하의 무게를 갖는 이물질 등이 진공펌프의 흡입력에 의하여 진공펌프로 유입되는 것을 방지하여 보다 흡입 기체 중에 포함된 이물질 포집효율을 더욱 높일 수 있는 진공펌프용 포집장치를 제공하는 것을 또 하나의 목 적으로 한다.
아울러 본 발명에 따른 거름통 하부에는 개방부와 막힘부가 구비되고, 막힘부는 분기관 쪽으로 치우쳐 형성되고, 하부 방향으로 경사지게 형성되어
이물질받이에 포집된 이물질들이 진공펌프의 시동 시 그 흡입력에 의하여 분기관 쪽으로 유입되는 것을 방지하고, 또 이물질들이 막힘부에 쌓이지 않고 경사진 막힘부를 타고 흘러내리도록 하여
포집된 또는 포집 중인 이물질들이 진공펌프로 역 유입되는 것을 방지함으로써 제품의 신뢰성을 더욱 높일 수 있는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 제공하는 것을 또 하나의 목적으로 한다.
더 나아가 본 발명에 따른 본체의 장착부(하단부의 플랜지를 의미함. 이하 같다)와 이물질받이는 탈착수단에 의하여 탈부착이 쉽고 용이하도록 구비됨으로써, 이물질받이에 포집되어 쌓여 있는 불순물을 폐기하거나 또는 이물질받이의 청소 등의 유지보수 작업을 쉽고 편리하게 할 수 있는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 제공하는 것을 또 하나의 목적으로 한다.
본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치는 하단부에 장착부(플랜지)를 갖는 본체; 상기 본체의 측방향으로 분기되어 형성되고, 진공펌프와 연결되는 분기관; 및 상기 본체의 장착부(하단부 플랜지)에 연결되고, 상기 진공펌프로 유입되는 흡입기체에 포함된 이물질이 자중에 의하여 저면부에 포집(浦執)되는 이물질받이;를 포함하여 이루어진다.
그리고 본 발명에 따른 상기 본체 내부에 내장되고, 상기 분기관 입구에 배열된 메쉬망을 갖는 거름통이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
아울러 본 발명에 따른 상기 거름통 하부는 개구부와 막힘부를 더 포함하며, 상기 막힘부는 상기 분기관 쪽으로 치우쳐 형성되고, 하부 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다.
더 나아가 본 발명에 따른 상기 본체의 하부플랜지(13)와 상기 이물질받이는 탈착수단에 의하여 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 흡기 기체 중 이물질의 분리를 위한 진공펌프용 포집장치는 본체의 측방향으로 분기되어 진공펌프와 연결되는 분기관과, 본체 하부에 연결된 이물질받이를 포함하는 포집장치에 의하여 진공펌프의 가동 중 흡입 기체는 분기관을 통하여 진공펌프로 유입되고,
아울러 흡입 기체 중에 포함되어 있는 파우더 덩어리나 또는 기타 불순물 등 은 자중에 의한 중력 낙하로 이물질받이에 포집됨으로써
진공펌프로 유입되는 불순물을 최소화하여 진공펌프의 고장이나 돌발적인 사고 작업이 중단되는 것을 방지하고, 아울러 진공펌프의 수명을 연장할 수 있어 비용을 절감할 수 있으며,
특히 포집장치가 이물질의 자중에 의한 중력 낙하로 자연 포집되는 심플한 구성을 채용하고, 또 기존의 진공배관을 간단한 설계 변경을 통하여 설치하는 것이 가능하여 경제성 및 설치 편의성을 보장할 수 있게 된다.
그리고 본 발명에 따른 본체 내에는 거름통이 구비되고, 거름통의 메쉬망이 분기관 입구에 배열되어 일정 이하의 무게를 갖는 이물질 등이 진공펌프의 흡입력에 의하여 진공펌프로 유입되는 것을 방지하여 보다 흡입 기체 중에 포함된 이물질 포집효율을 더욱 높일 수 있게 된다.
아울러 본 발명에 따른 거름통 하부에는 개방부와 막힘부가 구비되고, 막힘부는 분기관 쪽으로 치우쳐 형성되고, 하부 방향으로 경사지게 형성되어
이물질받이에 포집된 이물질들이 진공펌프의 시동 시 그 흡입력에 의하여 분기관 쪽으로 유입되는 것을 방지하고, 또 이물질들이 막힘부에 쌓이지 않고 경사진 막힘부를 타고 흘러내리도록 하여
포집된 또는 포집 중인 이물질들이 진공펌프로 역 유입되는 것을 방지함으로써 제품의 신뢰성을 더욱 높일 수 있게 된다.
더 나아가 본 발명에 따른 본체의 하단부와 이물질받이는 탈착수단에 의하여 탈부착이 쉽고 용이하도록 구비됨으로써, 이물질받이에 포집되어 쌓인 불순물을 폐기하거나 또는 이물질받이의 청소 등의 유지보수 작업을 쉽고 편리하게 할 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면,
도 1은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치를 나타내는 정면도, 도 2는 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치에 의한 이물질 포집을 나타내는 개념도, 도 3은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 본체와 거름통을 나타내는 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 거름통을 나타내는 정면도, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 거름통 기능을 나타내는 개념도, 도 7은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 탈착수단을 나타내는 분해 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치는
본체(10); 상기 본체(10)의 측방향으로 분기되어 형성되고, 진공펌프(VP)와 연결되는 분기관(20); 및 상기 본체(10) 하부에 연결되고, 상기 진공펌프(VP)로 유입되는 흡입기체에 포한된 이물질이 자중에 의한 중력 작용으로 저면부에 포집(浦 執)되는 이물질받이(30);를 포함하여 이루어진다.
도 1 내지 도 3, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치에서, 상기 본체(10)는
원통 형상으로 중력방향과 평행하게 배열(수직으로 입설)되어 있으며, 그 상단부 및 하단부에는 각각 플랜지(11)(13)가 형성된다.
그리고 상기 본체(10)의 상부플랜지(11)에는 클린룸(또는 청정실)과 연결된 진공배관(P)이 연결되고, 그 하부플랜지(13)에는 이물질받이(30)가 탈착수단(50)에 의하여 연결되며,
아울러 상기 본체(10)의 측부에는 분기되어 진공펌프(VP)와 연결되는 분기관(20)이 배열된다.
따라서 클린룸에서 유입되는 흡입기체는 상기 본체(10)를 기점으로 흡입기체는 분기관(20)을 통하여 진공펌프(VP)로 유입되고,
흡입기체에 포함된 일정 이상의 부피 및 무게를 갖는 이물질들은 본체(10) 직하방에 배열된 이물질받이(30)로 낙하하여 포집된다.
도 1 내지 도 3, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치에서, 상기 분기관(20)은
상기 본체(10)의 측방향으로 분기되어 형성되고, 진공펌프(VP)와 진공배관(P)에 의하여 연결되어 진공펌프(VP)의 가동 시 그 흡입력에 의하여 클린룸 내의 배기가스 및 공기 등의 흡입기체가 진공펌프(VP)로 유입되는데,
이 경우 진공펌프(VP)로 유입되는 흡입기체 중에는 다양한 형태의 이물질 등이 포함되어 함께 유입될 수 있다.
즉 일반적으로 반도체소자를 제조하는 공정에서는 산화성, 인화성 및 유독성 등의 성질을 갖는 다양한 종류의 반응가스를 클린룸(또는 청정실) 내부에서 분해하여 웨이퍼 상에 박막을 형성하게 된다.
이와 같이 반응가스 공급라인을 통해 클린룸 내부에 공급된 반응가스는 반응과정에서 폴리머(polymer) 등의 다양한 반응 부산물을 양산하게 되며, 이러한 반응 부산물을 포함한 배기가스는 진공펌프에 의하여 흡입되거나 또는 필터링 되어 방출된다.
이 경우 클린룸 내에서 생성된 반응 부산물을 포함한 배기가스에는 파우더 형태의 반응 부산물이 다양한 사이즈와 무게로 덩어리져 존재하게 되며,
이에 진공펌프에 의하여 배기가스를 흡입하는 경우 파우더 형태의 반응 부산물들도 함께 흡입되어 진공펌프로 유입되고, 또 진공펌프 내에 축적됨으로써 진공펌프의 고장의 직접적인 원인으로 작용하게 된다.
아울러 진공배관라인이나 진공펌프 설치 등의 여러 공사 중 발생하는 이물질(볼트나 너트 등)이 폐기되지 않고 방치된 경우에는 진공펌프의 가동 중에 그 흡입력에 의하여 진공펌프로 이물질이 유입될 수 있어 진공펌프의 또 다른 고장의 원인으로 작용할 수 있게 된다.
따라서 진공펌프의 사용 수명이 단축되고, 또 이를 위한 수리 또는 교체 등에 의한 비용 부담이 추가적으로 발생하게 되며,
더 나아가 진공펌프의 가동 중단으로 발생되는 생산성 저하 및 비용의 손실로 이어지는 문제가 발생하게 된다.
즉 본 발명은 진공펌프(VP)의 가동 시 진공배관(P)을 통하여 함께 흡입되는 배기가스, 파우더 형태의 반응 부산물이나, 기타 이물질 중 상기 진공펌프(VP)와 연결되는 분기관(20)을 통하여 배기가스 등의 흡입 기체는 진공펌프(VP)로 유입되고,
흡입기체 중에 포함되어 있는 파우더나 기타 이물질 등은 진공펌프(VP)로 유입되지 않고 분리되어 포집될 수 있도록 이물질받이(30)를 도입하였으며 이하에서 이를 보다 상세하게 기술하기로 한다.
도 1, 도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프(VP)용 포집장치(AI)에서, 상기 이물질받이(30)는
상기 본체(10)의 하단부에 연결되고, 상기 진공펌프(VP)의 가동 중 진공펌프(VP)로 유입되는 흡입기체 중에 포함된 이물질이 자중에 의하여 그 저면부에 자연 포집되도록 하기 위한 구성이다.
본 발명에 따른 상기 이물질받이(30)는 원통 형태로 상부는 개방되어 상기 본체(10)와 연통되고, 그 하부는 막혀 있어 이물질이 포집되어 쌓이게 되며,
상기 이물질받이(30)의 상단부에는 상기 본체(10)의 하부플랜지(13)에 대응하는 플랜지(31)가 형성되어 이하에서 설명하게 될 탈착수단(50)에 의하여 상기 본체(10)와 결합된다.
즉 상기 이물질받이(30)는 상기 본체(10)의 직하방, 즉 중력방향과 수평하게 배열되어 있으며,
이는 상기 진공펌프(VP)를 가동 시 유입되는 흡입기체에 포함된 파우더 형태의 반응 부산물이나 기타 이물질 중에서 일정 이상의 부피 및 무게를 갖는 이물질들이
클린룸 내부와 연결된 진공배관(P)을 통하여 유입되다가 상기 본체(10)에서 측방향으로 분기된 분기관(20) 쪽으로 유입되지 않고 흡입기체에서 분리되어
자중에 의한 중력 작용으로 이물질받이(30)의 저면부에 포집되어 쌓이게 된다.
따라서 본 발명에 따른 포집장치(AI)는 흡입기체에 포함된 일정 이상의 부피 및 무게를 갖는 이물질들이 자중에 의한 중력 작용으로 상기 이물질받이(30)에 1차적으로 포집하게 된다.
그리고 상기 분기관(20) 쪽으로는 흡입기체만이 유입되어 진공펌프(VP)로 흡입되는데,
이 경우 상기 분기관(20) 쪽으로 유입되는 흡입 기체 중에는 자중에 의한 중력 작용으로 자연 포집되지 않고 진공펌프(VP)로 유입되려는 미세한 파우더나 이물질 등이 포함되어 유입될 수 있으므로,
이하에서는 상기한 바와 같은 미세한 파우더나 이물질 등으로 걸러내어 포집효율을 높이기 위한 구성인 거름통(40)에 대하여 자세히 기술하기로 한다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치에서, 상기 거름통(40)은
원통 형상으로 이루어져 상기 본체(10) 내부에 내장되고,
그 일측에는 메쉬망(41)이 형성되어 있어 상기한 바와 같이 상기 이물질받이(30)로 자중에 의하여 포집되지 않는 미세한 파우더나 이물질 등이 분기관(20) 쪽으로 유입되는 것을 걸러냄으로써 2차적인 포집을 가능하게 한다.
따라서 상기 거름통(40)의 메쉬망(41)은 흡입기체가 진공펌프(VP) 쪽으로 유 입되는 분기관(20) 입구(21) 전방에 배열되어야 하고, 또 메쉬망(41)의 구멍 사이즈는 미세 파우더나 이물질 등의 거를 수 있는 적정한 사이즈로 형성되는 것이 바람직하다.
아울러 본 발명에 따른 거름통(40) 하부에는 개방부(43)와 막힘부(45)가 더 구비되어 있는데,
우선 상기 개방부(43)는 이물질받이(30)로 낙하하는 불순물들이 통과할 수 있도록 형성된 것으로 불순물의 포집이 원활하게 이루질 수 있도록 하기 위함이다.
그리고 상기 막힘부(45)는 분기관(20) 쪽으로 치우쳐 형성되고, 하부 방향으로 경사지게 형성되는데,
이는 진공펌프(VP)를 가동하기 위해 시동을 거는 순간 상기 이물질받이(30)에 이미 포집되어 있던 파우더나 이물질 등이 진공펌프(VP)의 초기 흡입력에 의하여 분기관(20) 쪽으로 역 유입되는 것을 방지하기 위한 구성이다.
또 이 경우 상기 분기관(20) 쪽으로 역 유입되는 파우더나 이물질 등은 분기관(20) 쪽을 향해 치우쳐 상승하게 되며,
따라서 상기 막힘부(45)를 상기 분기관(20) 쪽으로 치우치도록 형성하게 되면 역 유입하려는 파우더나 이물질 등이 상기 막힘부(45)에 의하여 분기관(20)을 통하여 진공펌프(VP)로 역 유입되는 것을 차단할 수 있게 된다.
또한 상기한 바와 같은 파우더나 이물질 등의 역 유입 현상은 진공펌프(VP)가 가동 중인 상태에서도 일어날 수 있으며, 이러한 경우 역시 상기 막힘부(45)에 의하여 상기 이물질받이(30)에 포집된 파우더나 이물질 등의 역 유입 현상을 차단할 수 있게 된다.
또 상기 막힘부(45)는 대략 상기 거름통(40) 하부를 개방부(43)와 각각 절반 정도의 배분되어 점하게 되고,
따라서 상기 이물질받이(30)로 포집되는 파우더나 이물질 등이 낙하 중 상기 막힘부(45)의 상면부에 쌓여 포집될 수 있으며,
이러한 경우 진공펌프(VP)를 가동하기 위해 시동을 거는 순간 상기 막힘부(45) 상면부에 쌓여 있는 불순물 등은 진공펌프(VP)의 초기 흡입력에 의하여 곧 바로 분기관(20)을 통하여 진공펌프(VP)로 역 유입되는 현상이 발생하게 된다.
따라서 상기 막힘부(45)가 하부 방향으로 일정한 각도로 경사지게 형성하게 되면, 포집되는 파우더나 이물질 등이 막힘부(45)의 상면부에 낙하하더라도 경사진 막힘부(45)의 상면부를 타고 이물질받이(30)로 자연스럽게 흘러내릴 수 있게 되어,
상기 막힘부(45)의 상면부에 파우더나 이물질 등의 쌓이는 것을 방지하고, 이에 의하여 불순물들이 진공펌프(VP)로 역 유입되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
그리고 상기 거름통(40) 상부에는 플랜지 형태의 테두리부(47)가 형성되어 연결되는데,
상기 테두리부(47) 내측에는 환형의 장착홈(47a)이 형성되어 있고, 상기 거름통(40)의 상단 부분에는 그 단부를 절곡하여 일정한 탄성을 갖는 절곡부(46)를 형성하여
상기 거름통(40)의 절곡부(46)를 상기 테두리부(47)의 장착홈(47a) 삽입하고, 상기 절곡부(46)의 탄성에 의하여 상기 거름통(40)이 상기 테두리부(47)에 의하여 고정 지지된다.
또 상기 테두리부(47)는 상기 본체(10)의 상부플랜지(11)와 진공배관(P)에 형성된 플랜지 사이에 배열되어 있어 상기 본체(10)와 진공배관(P)의 결합 시 각 플랜지에 의하여 상부 및 하부에서 가압되어 고정됨으로써,
상기 거름통(40)이 상기 본체(10) 내부에 배열될 수 있게 된다.
더 나아가 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 본체(10) 하부에 연결되는 이물질받이(30)는 탈착수단(50)에 의하여 탈부착이 가능하도록 형성되어 있어
상기 이물질받이(30)를 본체(10)에서 분리하여 상기 이물질받이(30)에 쌓여 있는 파어더나 이물질 등의 포집물을 폐기하거나 또는 이물질받이(30)의 청소나 교체 및 수리 등의 유지보수 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 구성된다.
이는 상기 이물질받이(30) 상부에는 플랜지(31)가 형성되어 있고,
상기 이물질받이(30)의 플랜지(31)와 상기 본체(10)의 하부플랜지(13)를 상기 탈착수단(50)이 가압하여 본체(10)와 이물질받이(30)를 고정하거나 또는 가압을 해제하여 분리하게 된다.
즉 상기 탈착수단(50)은 상부 및 하부지지편(51)(53)을 포함하여 이루어지고,
상기 상부지지편(51)에는 관통공(51a)이 형성되어 있고, 그리고 상기 하부지지편(53)에는 나사공(53a)이 형성되어 있어 체결볼트(55)가 상기 상부지지편(51)의 관통공(51a)에 삽입되어 상기 하부지지편(53)에 나사공(53a)에 체결된다.
이 경우 상기 상부지지편(51)과 상기 하부지지편(53) 하부에는 일측으로 돌출되고 그 단부가 절곡된 걸림후크(51b)(53b)가 각각 구비되어 있으며,
상기 본체(10)의 하부플랜지(13)와 상기 이물질받이(30)의 플랜지(31)에는 상기 각 걸림후크(51b)(53b)에 대응하는 환형의 걸림홈(13a)(31a)이 각 플랜지(13)(31) 내측에 형성되어 있어
상기 상부 및 하부지지편(51)(53)을 체결볼트(55)에 의하여 결합시키게 되면 상기 각 걸림후크(51b)(53b)가 각 걸림홈(13a)(31a)에 끼어지면서 본체(10)와 이물질받이(30)를 가압하여 결합시키게 된다.
반대로 상기 상부 및 하부지지편(51)(53)에서 체결볼트(55)를 풀게 되면 상 기 각 걸림후크(51b)(53b)가 각 걸림홈(13a)(31a)에서 빠지면서 상기 본체(10)와 이물질받이(30)는 분리된다.
또한 상기 상부지지편(51) 하부에는 암 또는 수 삽입부(51c)가 형성되고, 상기 하부지지편(53)에는 상기 상부지지편(51)의 삽입부(51c)에 대응하는 수 또는 암 대응삽입부(53c)가 구비되어 있어
상기 각 지지편(51)(53)을 체결볼트(55)에 의하여 체결하는 경우 상기 삽입부(51c) 및 대응삽입부(53c)가 상호 결합되면서 각 지지편(51)(53)이 결합 위치를 벗어나지 않고 결합될 수 있도록 함으로써 작업능률을 보다 높일 수 있게 된다.
아울러 상기 본체(10)의 상부에 연결되는 진공배관(P)의 경우에도 상호 탈부착 가능하도록 상기 탈착수단(50)과 동일한 구성을 도입하여 유지보수 작업이 쉽고 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 것도 바람직하다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치를 설명함에 있어 특정 형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치를 나타내는 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치에 의한 이물질 포집을 나타내는 개념도,
도 3은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 본체와 거름통을 나타내는 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 거름통을 나타내는 정면도,
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 거름통 기능을 나타내는 개념도,
도 7은 본 발명에 따른 진공펌프용 포집장치의 탈착수단을 나타내는 분해 단면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 >
10 : 본체 11 : 상부플랜지
11a : 걸림홈 13 : 하부플랜지
13a : 걸림홈
20 : 분기관 21 : 입구
30 : 이물질받이 31 : 플랜지
40 : 거름통 41 : 메쉬망
43 : 개방부 45 : 막힘부
46 : 절곡부 47 : 테두리부
47a : 장착홈
50 : 탈착수단 51 : 상부지지편
51a : 관통공 51b : 걸림후크
51c : 삽입부 53 : 하부지지편
53a : 나사공 53b : 걸림후크
53c : 대응삽입부 55 : 체결볼트
VP : 진공펌프 P : 진공배관

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 본체(10)와;
    상기 본체의 측방향으로 분기되고, 진공펌프와 연결되는 분기관(20); 및
    상기 본체의 하단부에 연결되고, 상기 진공펌프로 유입되는 흡입기체에 포함된 이물질이 자중에 의해 포집(浦執)되는 이물질받이(30);를 포함하여 이루어진 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치로서,
    상기 본체(10)의 내부에 내장되고,
    상기 분기관(20)의 입구에 배열된 메쉬망을 갖는 거름통(40)이 더 구비되며;
    상기 거름통(40)의 하부에는 개방부(43) 및 막힘부(45)가 더 구비되어 이루어지되,
    상기 막힘부(45)는
    상기 분기관(20) 쪽으로 치우쳐 형성되고, 하부 방향으로 경사지게 형성됨으로써, 상기 이물질받이(30)에 이미 포집되어 있던 이물질이 진공펌프의 흡입력에 의해 상기 분기관(20)으로 역류되지 못하도록 차단하는 것을 특징으로 하는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 본체(10)와 상기 이물질받이(30)는, 상기 본체(10)의 하단부 플랜지(13)와 상기 이물질받이(30)의 상단부 플랜지(31)를 상호 체결시키는 탈착수단(50)에 의해 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 이물질 분리를 위한 진공펌프용 포집장치.
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