KR101111382B1 - 시료가스의 농도정량방법 및 그 농도정량장치 - Google Patents

시료가스의 농도정량방법 및 그 농도정량장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 시료가스 내의 특정성분에 대한 농도를 매우 정밀하고 간편하게 정량할 수 있는 시료가스의 농도정량방법 및 농도정량장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 농도정량장치는, 측정성분의 농도가 알려진 기준가스가 공급되는 기준가스 공급라인; 측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스가 공급되는 시료가스 공급라인; 상기 기준가스 공급라인 및 시료가스 공급라인이 병렬로 접속되는 도입라인; 상기 도입라인의 상류단에 근접하여 기준가스 및 시료가스의 혼합율을 향상시키도록 설치된 혼합부; 및 상기 도입라인의 하류단에 설치된 분석기;를 포함하고, 상기 기준가스 공급라인의 상류단에는 기준가스가 충전된 기준가스 용기가 설치되고, 상기 기준가스 공급라인 도중에는 제1질량유량계 및 제1개폐밸브가 설치되며, 상기 시료가스 공급라인의 상류단에는 시료가스가 충전된 시료가스 용기가 설치되고, 상기 시료가스 공급라인 도중에는 제2질량유량계 및 제2개폐밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.

Description

시료가스의 농도정량방법 및 그 농도정량장치{METHOD AND APPARATUS FOR QUANTITATING CONCENTRATION}
본 발명은 시료가스 내에 있는 특정성분의 농도를 정량하는 농도정량방법 및 농도정량장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시료가스 내의 특정성분에 대한 농도를 매우 정밀하고 간편하게 정량할 수 있는 시료가스의 농도정량방법 및 농도정량장치에 관한 것이다.
반도체, TFT, LCD, Solar Cell, LED 분야에는 반응성, 부식성, 독성 등을 가진 가스가 이용되고 있으며, 이러한 반도체용 가스는 반도체 제조공정에 직접 이용되는 공정가스, 공정환경을 유지하는 보조가스, 공정가스를 공정챔버로 이동시키는 운반가스 등으로 이용될 수 있다.
이러한 가스에는 이온성 불순물, 분자성 불순물, 금속성 불순물 등이 기준치 이상이 포함되어 있으면, 공정불량을 야기할 수 있으므로 정기적으로 분석장치를 통해 가스에 포함된 불순물의 농도를 정밀하게 측정하여야 할 필요가 있다.
이러한 가스분석에 이용되는 농도정량방법에는 측정성분의 농도가 알려진 기준가스가 충전된 하나의 기준가스 실린더를 이용한 한점교정법, 2 이상의 기준가스 실린더를 이용한 다점교정법 등이 있다.
한점교정법의 경우 기준가스 실린더만을 이용하여 농도를 정량함에 따라 부피농도가 1ppm 미만의 안정성 있는 기준가스를 제조하기 어렵고, 이에 부피농도가 1ppm 미만의 불순물(측정성분)을 포함하는 시료가스의 분석 시에 그 불순물(측정성분)의 농도를 정확하게 정량 분석할 수 없는 단점이 있었다.
또한, 다점교정법의 경우 교정점의 수가 많아질수록 필요로 하는 기준가스 실린더의 수가 많아져 분석시간이 길어지고, 이에 비용이 많이 드는 단점이 있었다.
최근에는 표준가스를 시료가스에 첨가하여 측정성분의 농도를 정량하는 표준물 첨가법이 널리 활용되고 있으며, 이러한 표준물 첨가법은 바탕가스의 차이에 기인한 매트릭스 효과(matrix effect)를 상쇄함으로써 보다 정밀한 농도 정량을 도모하는 장점이 있었다. 이러한 표준물 첨가법에 이용되는 표준가스는 기준가스와 희석가스가 혼합된 가스이다. 그리고, 기준가스는 측정성분의 농도가 알려진 가스가 이용되고, 희석가스는 기준가스와 동일한 바탕가스(매트릭스)를 가진 가스가 이용되며, 희석가스에는 시료가스의 측정성분(즉, 불순물)이 존재하지 않는다.
하지만, 이러한 표준물 첨가법은 희석가스를 제조하는 제조장치가 매우 복잡하게 구성됨에 따라 표준가스의 제조단가가 상승하는 단점이 있고, 이로 인한 표준가스 비용이 증가하는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 시료가스 내의 특정성분에 대한 농도를 매우 정밀하고 간편하게 정량할 수 있는 농도정량방법 및 그 농도정량장치에 관한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 농도정량장치는,
측정성분의 농도가 알려진 기준가스가 공급되는 기준가스 공급라인;
측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스가 공급되는 시료가스 공급라인;
상기 기준가스 공급라인 및 시료가스 공급라인이 병렬로 접속되는 도입라인;
상기 도입라인의 상류단에 근접하여 기준가스 및 시료가스의 혼합율을 향상시키도록 설치된 혼합부; 및
상기 도입라인의 하류단에 설치된 분석기;를 포함하고,
상기 기준가스 공급라인의 상류단에는 기준가스가 충전된 기준가스 용기가 설치되고, 상기 기준가스 공급라인 도중에는 제1질량유량계 및 제1개폐밸브가 설치되며,
상기 시료가스 공급라인의 상류단에는 시료가스가 충전된 시료가스 용기가 설치되고, 상기 시료가스 공급라인 도중에는 제2질량유량계 및 제2개폐밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합부는 나선관 구조로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합부의 하류에는 상기 도입라인에서 분기된 하나 이상의 배출라인이 설치되고, 상기 각 배출라인에는 유량조절밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 유량조절밸브는 그 유량 조절을 더욱 미세하게 하도록 니들밸브로 구성됨이 바람직하다.
본 발명에 의한 농도정량방법은, 측정성분의 농도가 알려진 기준가스와 측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스를 다양한 유량비율로 공급하여 혼합하는 혼합단계;
상기 혼합단계에서의 혼합가스를 분석기로 도입하여 혼합가스 내의 측정성분에 대한 평균면적값을 취득하는 평균면적값 취득단계;
상기 평균면적값 및 유량비율 사이의 검정선을 도식하고, 상기 검정선에 의해 아래의 식(1)에 따른 농도산출식을 산출하는 농도산출식 산출단계;
Figure 112010016229016-pat00001
(m: k(Cs-Cx), b: kCx)...식(1)
(m은 검정선의 기울기를 나타내고, b는 검정선의 y절편을 나타내며, k는 비례상부이고, Cs는 기준가스의 측정성분에 대한 알려진 농도값이며, Cx는 시료가스의 측정성분에 대한 농도값임)
상기 농도산출식에 기준가스의 측정성분 농도를 대입함으로써 시료가스의 측정성분에 대한 농도를 결정하는 측정농도 결정단계;를 포함한다.
상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 기준가스의 유량(Vs)을 고정한 상태에서 시료가스(Vx)의 유량을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 시료가스의 유량(Vx)을 고정한 상태에서 기준가스의 유량(Vs)을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 기준가스 및 시료가스 각각의 유량(Vx, Vs)을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 시료가스와 기준가스를 다양한 유량비율로 혼합함으로써 보다 개선된 농도산출식을 산출할 수 있고, 이를 통해 매트릭스 효과를 상쇄하여 시료가스 내의 측정성분에 대한 농도를 기존 한점 교차법보다 정확한 농도 값을 산출 할 수 있는 장점이 있고, 또한 기존 표준물 첨가법 보다 표준가스 제조에 대한 구성을 단순화 시켜 제조 단가를 감소시킨 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 농도정량장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 농도정량방법을 도시한 공정도이다.
도 3은 본 발명의 실험예에 의한 평균면적값 및 유량비율 사이의 검정선을 도시한 그래프이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 농도정량장치를 도시한 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 농도정량장치는 측정성분의 농도가 알려진 기준가스가 공급되는 기준가스 공급라인(11), 측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스가 공급되는 시료가스 공급라인(12), 기준가스 공급라인(11) 및 시료가스 공급라인(12)이 병렬로 접속되는 도입라인(13), 도입라인(13)의 하류단에 설치된 분석기(15)를 포함한다.
기준가스 공급라인(11)의 상류단에는 기준가스가 충전된 기준가스 용기(21)가 설치되고, 기준가스 공급라인(11)의 도중에는 제1압력계(22), 제1필터(23), 제1질량유량계(24), 제1개폐밸브(25)가 설치된다
제1압력계(22)는 기준가스 용기(21)의 하류에 설치되어 기준가스의 압력을 정밀하게 확인 내지 조절할 수 있게 하고, 제1필터(23)는 제1압력계(22)의 하류에 설치되어 기준가스 내의 이물질을 제거함으로써 그 농도 정량의 정밀도를 향상시키며, 제1질량유량계(24, MFC; Mass Flow Controller)는 제1필터(13)의 하류에 설치되어 기준가스의 유량을 정밀하게 확인 내지 제어할 수 있으며, 제1개폐밸브(25)는 제1질량유량계(24)의 하류에 설치되어 기준가스의 흐름을 단속한다.
시료가스 공급라인(12)의 상류단에는 시료가스가 충전된 시료가스 용기(31)가 설치되고, 시료가스 공급라인(12) 도중에는 제2압력계(32), 제2필터(33), 제2질량유량계(34), 제2개폐밸브(35)가 설치된다.
제2압력계(32)는 시료가스 용기(31)의 하류에 설치되어 시료가스의 압력을 정밀하게 확인 내지 조절할 수 있게 하고, 제2필터(33)는 제2압력계(32)의 하류에 설치되어 시료가스 내의 이물질을 제거함으로써 그 농도 정량의 정밀도를 향상시키며, 제2질량유량계(34)는 제2필터(33)의 하류에 설치되어 시료가스의 유량을 정밀하게 확인 내지 제어할 수 있으며, 제2개폐밸브(35)는 제2질량유량계(34)의 하류에 설치되어 시료가스의 흐름을 단속한다.
본 발명은 필요 시에 기준가스 공급라인(11)과 시료가스 공급라인(12)에는 제1 및 제2 개폐밸브(25, 35)를 선택적으로 개폐함으로써 기준가스 및 시료가스 각각의 농도를 외부검정선법을 통해 검정할 수도 있다.
한편, 시료가스 및 기준가스 각각은 그 바탕가스의 성분이 다른 종류가 이용되고, 이에 따라 제1 및 제2 질량유량계(24, 34)는 각 바탕가스의 성분에 따라 적절한 보정값에 의해 보정될 수 있다.
도입라인(13)의 상류단에는 기준가스 공급라인(11)과 시료가스 공급라인(12)이 병렬적으로 접속된다.
도입라인(13)의 상류단에 인접하여 기준가스 및 시료가스의 혼합율을 향상시키는 혼합부(50)가 설치되고, 본 실시예의 혼합부(50)는 나선관 구조로 구성될 수 있다. 이에, 기준가스 공급라인(11) 및 시료가스 공급라인(12)을 통해 개별적으로 공급되는 기준가스 및 시료가스는 나선관 구조의 혼합부(50)를 통해 적절히 혼합된 후에 도입라인(13)을 통해 분석기(15)측으로 도입된다.
혼합부(50)의 하류에는 도입라인(13)에서 분기된 하나 이상의 배출라인(14a, 14b)이 설치되고, 각 배출라인(14a, 14b)에는 유량조절밸브(43a, 43b)가 설치된다. 유량조절밸브(43a, 43b)는 배출라인(14a, 14b)을 통해 가스의 유량 내지 압력을 미세하게 조절할 수 있다. 특히, 유량조절밸브(43a, 43b)는 그 유량 조절을 더욱 미세하게 하도록 니들밸브로 구성됨이 바람직하다.
분석기(15)는 기준가스 및 시료가스가 혼합된 혼합가스의 평균면적값(신호값)을 검출하도록 다양한 분석기가 이용될 수 있다.
한편, 도 2에는 본 발명의 농도정량방법이 도시되어 있고, 본 발명의 농도정량방법은 상술한 농도정량장치를 이용하여 진행될 수도 있다.
먼저, 제1질량유량계(24) 및 제1개폐밸브(25)를 조작함으로써 기준가스 용기(21)로부터 기준가스의 유량 내지 압력을 조절하면서 혼합부(50)측으로 공급함과 더불어, 제2질량유량계(34) 및 제2개폐밸브(35)를 조작함으로써 시료가스 용기(31)로부터 시료가스의 유량 내지 압력을 조절하면서 혼합부(50)측으로 공급함으로써 시료가스 및 기준가스을 원하는 유량비율(Vs/Vt)로 혼합한다(S1). 여기서, 유량비율(Vs/Vt)은 기준가스의 유량(Vs)/혼합가스의 유량(Vt)을 의미하고, 혼합가스의 유량(Vt)은 기준가스의 유량(Vs)과 시료가스의 유량(Vx)의 전체 합(Vt = Vs + Vx)을 의미한다.
한편, 시료가스 및 기준가스 각각은 그 바탕가스의 성분이 다른 종류가 이용되고, 이에 따라 제1 및 제2 질량유량계(24, 34)는 각 바탕성분에 따라 적절한 보정값에 의해 보정될 수 있다.
기준가스 공급라인(11) 및 시료가스 공급라인(12)을 통해 공급되는 기준가스 및 시료가스 각각은 혼합부(50)측으로 공급된다. 기준가스 및 시료가스는 혼합부(50) 내의 나선형구조를 통과하여 적절히 혼합되고, 그 혼합가스는 도입라인(13)을 통해 분석기(15)측으로 이송된다. 특히, 본 발명의 혼합부(50)는 그 나선형 구조를 통해 기준가스와 시료가스의 혼합을 매우 용이하고 균일하게 할 수 있다.
이렇게 혼합부(50) 내에서 기준가스 및 시료가스의 혼합가스가 도입라인(13)을 통해 분석기(15)측으로 도입되면, 분석기(15)는 그 혼합가스 내의 측정성분에 대한 평균면적값(신호값)을 검출한다(S2).
한편, 제1 및 제2 질량유량계(24, 34)로 기준가스 및 시료가스의 유량을 각각 확인하면서 유량조절밸브(43a, 43b)를 통해 기준가스 및 시료가스의 각 유량을 적절히 변화시켜 혼합부(50)로 공급함에 따라 기준가스 및 시료가스는 혼합부(50)에서 서로 다른 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합될 수 있다. 예컨대, 기준가스의 유량(Vs)을 고정한 상태에서 시료가스(Vx)의 유량을 다양하게 변화시키면서 혼합할 수 있고, 시료가스의 유량(Vx)을 고정한 상태에서 기준가스의 유량(Vs)을 다양하게 변화시키면서 혼합할 수도 있으며, 기준가스 및 시료가스 각각의 유량(Vx, Vs)을 다양하게 변화시키면서 혼합할 수도 있다.
이와 같이, 서로 다른 복수의 유량비율을 가진 혼합가스가 분석기(15)를 통해 도입됨에 따라 분석기(15)는 복수의 평균면적값을 얻을 수 있고, 이러한 복수의 유량비율 및 평균면적값을 통해 농도정량의 정밀도가 더욱 향상될 수도 있다.
이렇게 분석기(15)를 통해 평균면적값(즉, 신호값) 및 유량비율(시료가스의 유량(Vx)/혼합가스의 전체유량(Vt))을 취득함에 따라 이러한 평균면적값과 유량비율(Vx/Vt)을 이용하여 검정선(y = mx + b)을 산출할 수 있으며, 이때 평균면적값(즉, 신호값)은 y절편이 되며, 유량비율(Vx/Vt)은 x절편이 된다.
이러한 검정선을 통해 아래의 식(1)과 같은 농도산출식을 산출하고(S3),
Figure 112010016229016-pat00002
(m: k(Cs-Cx), b: kCx)...식(1)
여기서, m은 검정선(y = mx + b)의 기울기를 나타내고, b는 검정선(y = mx + b)의 y절편을 나타내며, k는 비례상부이고, Cs는 기준가스의 측정성분에 대한 알려진 농도값이며, Cx는 시료가스의 측정성분에 대한 농도값이다.
상기의 식(1)에 기준가스의 농도를 대입함으로써 시료가스의 측정성분(Cx)에 대한 농도를 정밀하게 결정할 수 있다(S4).
이하에서는, 본 발명의 농도정량방법에 대한 실험예를 설명한다.
[실험예]
먼저, 본 실험예에서는 본 발명의 농도정량방법에 대한 정확도를 확인하기 위하여 측정성분의 농도가 알려진 시료가스를 이용한다.
바탕가스가 헬륨(He)이고, 측정성분이 수소(H2)의 농도가 500ppm인 기준가스를 적용하였다. 그리고, 바탕가스가 질소(N2)이고, 측정성분인 수소(H2)의 농도가 5ppm인 시료가스를 적용하였다.
시료가스와 기준가스 각각을 각 질량유량계(24, 34)를 통해 정밀하게 확인하면서 제1조절밸브(42)와 제2조절밸브(43a, 43b)를 이용하여 시료가스 내지 기준가스의 유량을 원하는 유량비율로 조절하면서 혼합부(50)측으로 공급한다.
본 실험예에서는 시료가스의 유량(Vx)을 1000sccm으로 고정한 상태에서 기준가스의 유량(Vs)을 0sccm, 10sccm, 20 sccm으로 변화시켜 다양한 유량비율로 혼합된 혼합가스를 형성하고, 이러한 서로 다른 유량비율(Vx/Vt)을 가진 혼합가스의 면적값을 분석기(15)를 통해 취득하였다. 이때, 각 유량비율에 대해 5번 반복 측정하여 아래의 표 1과 같은 평균면적값을 얻을 수 있었다. 여기서, 기준가스와 시료가스의 측정성분에 대한 농도를 알고 있으므로 제조농도를 알 수 있다.
기준가스의 유량(Vs) 시료가스의 유량(Vx) 유량비율(Vx/Vt) 제조농도(ppm) 평균면적값
0 1000 0 5.01 0
10 1000 0.0139 12.01 0.0139
20 1000 0.0274 18.82 0.0274
이와 같이, 유량비율(Vx/Vt) 및 평균면적값이 얻어지면, 이를 이용하여 도 3과 같은 유량비율(Vx/Vt) 및 평균면적값 사이의 검정선(y = 9656458x + 96871)을 도식하고, 이 검정선(y = 9656458x + 96871)을 통해 아래의 식(1)에 따른 농도산출식을 산출할 수 있다.
Figure 112010016229016-pat00003
, (m: k(Cs-Cx), b: kCx)...식(1)
여기서, m은 검정선의 기울기를 나타내고, b는 검정선의 y절편을 나타내며, k는 비례상부이고, Cs는 기준가스의 측정성분에 대한 알려진 농도값이며, Cx는 시료가스의 측정성분에 대한 농도값이다.
상술한 식(1)에 기준가스의 측정성분에 대한 농도값(Cs)을 대입하면 아래의 표 2와 같이 시료가스의 측정대상인 수소(H2)의 농도값을 결정할 수 있다.
중량법 농도(ppm) 측정 농도(ppm) 상대오차(%)
시료가스의 수소(H2) 농도 5.01 5.05 -0.807
본 발명의 농도정량방법에 의해 결정된 측정농도는 5.05ppm이 도출되었으며, 이는 중량법에 의한 농도(5.01ppm)과 비교하여 상대 오차가 1% 미만임을 알 수 있었다.
한편, 위 실험예와 종래의 한점교정법과 비교하기 위하여 아래의 비교예을 실험하였다.
[비교예]
실험예와 동일한 기준가스 및 시료가스를 적용하였으며, 각 기준가스 및 시료가스를 개별적으로 분석기에 도입함으로써 아래의 표 3과 같이 기준가스 및 시료가스의 각 측정성분에 대한 평균면적값을 개별적으로 산출하였다.
제조농도(ppm) 평균면적값
시료가스의 수소 농도 5.01 10628.4
기준가스의 수소 농도 508.5 1107932
표 3의 결과값을 다음의 식(2)에 대입하여 표 4와 같은 결과값을 알 수 있었다.
시료가스의 측정성분 농도 = (시료가스의 평균면적값 × 기준가스의 측정성분 농도) / 기준가스의 평균면적값....식(2)
중량법 농도(ppm) 측정농도(ppm) 상대 오차(%)
시료가스의 수소 농도 5.01 4.88 2.63
이상과 같은 결과로부터 실험예와 비교예를 비교하여 보면, 실험예에 의한 농도 산출시에는 상대오차가 1%미만인데 반하여, 비교예에 의한 농도 산출시에는 상대오차가 2.63%임을 알 수 있었고, 이를 통해 본 발명의 농도정량방법을 사용할 경우 매트릭스 효과를 상쇄함으로써 시료가스 내의 측정성분에 대한 농도를 보다 정확하게 분석할 수 있음을 알 수 있었다.
11: 기준가스 공급라인 12: 시료가스 공급라인
13: 도입라인 15: 분석기
24: 제1질량유량계 25: 제2질량유량계

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 측정성분의 농도가 알려진 기준가스가 공급되는 기준가스 공급라인;
    측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스가 공급되는 시료가스 공급라인;
    상기 기준가스 공급라인 및 시료가스 공급라인이 병렬로 접속되는 도입라인;
    상기 도입라인의 상류단에 근접하여 기준가스 및 시료가스의 혼합율을 향상시키도록 설치된 나선관 구조의 혼합부; 및
    상기 도입라인의 하류단에 설치된 분석기;를 포함하고,
    상기 기준가스 공급라인의 상류단에는 기준가스가 충전된 기준가스 용기가 설치되고, 상기 기준가스 공급라인 도중에는 제1질량유량계 및 제1개폐밸브가 설치되며,
    상기 시료가스 공급라인의 상류단에는 시료가스가 충전된 시료가스 용기가 설치되고, 상기 시료가스 공급라인 도중에는 제2질량유량계 및 제2개폐밸브가 설치되며,
    상기 혼합부의 하류에는 상기 도입라인에서 분기된 하나 이상의 배출라인이 설치되고, 상기 각 배출라인에는 유량조절밸브가 설치되며,
    상기 유량조절밸브는 그 유량 조절을 더욱 미세하게 하도록 니들밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 농도정량장치.
  5. 삭제
  6. 측정성분의 농도가 알려진 기준가스와 측정성분의 농도가 알려지지 않은 시료가스를 다양한 유량비율로 공급하여 혼합하는 혼합단계;
    상기 혼합단계에서의 혼합가스를 분석기로 도입하여 혼합가스 내의 측정성분에 대한 평균면적값을 취득하는 평균면적값 취득단계;
    상기 평균면적값 및 유량비율 사이의 검정선을 도식하고, 상기 검정선에 의해 아래의 식(1)에 따른 농도산출식을 산출하는 농도산출식 산출단계;
    Figure 112011049700668-pat00008
    (m: k(Cs-Cx), b: kCx)...식(1)
    (m은 검정선의 기울기를 나타내고, b는 검정선의 y절편을 나타내며, k는 비례상부이고, Cs는 기준가스의 측정성분에 대한 알려진 농도값이며, Cx는 시료가스의 측정성분에 대한 농도값임)
    상기 농도산출식에 기준가스의 측정성분 농도를 대입함으로써 시료가스의 측정성분에 대한 농도를 결정하는 측정농도 결정단계;를 포함하고,
    상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 기준가스의 유량(Vs)을 고정한 상태에서 시료가스(Vx)의 유량을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 하는 농도정량방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 시료가스의 유량(Vx)을 고정한 상태에서 기준가스의 유량(Vs)을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 하는 농도정량방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 혼합단계에서, 상기 기준가스 및 시료가스는 기준가스 및 시료가스 각각의 유량(Vx, Vs)을 다양하게 변화시킨 다양한 유량비율(Vs/Vt)로 혼합되는 것을 특징으로 하는 농도정량방법.
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