KR101109516B1 - Optical module and manufacturing method thereof - Google Patents

Optical module and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101109516B1
KR101109516B1 KR1020050083872A KR20050083872A KR101109516B1 KR 101109516 B1 KR101109516 B1 KR 101109516B1 KR 1020050083872 A KR1020050083872 A KR 1020050083872A KR 20050083872 A KR20050083872 A KR 20050083872A KR 101109516 B1 KR101109516 B1 KR 101109516B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
emitting device
electrodes
substrate
forming
Prior art date
Application number
KR1020050083872A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070029008A (en
Inventor
김근호
이승엽
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사, 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020050083872A priority Critical patent/KR101109516B1/en
Publication of KR20070029008A publication Critical patent/KR20070029008A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101109516B1 publication Critical patent/KR101109516B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49113Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting different bonding areas on the semiconductor or solid-state body to a common bonding area outside the body, e.g. converging wires

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

본 발명은 광 모듈 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 종래에는 LED 모듈 구조는 LED 접착된 기판을 플라스틱 바디에 결합하고 플라스틱 바디를 인쇄 회로 기판에 다시 접합해야 하므로 광 모듈의 소형화, 슬림화에 어려움이 있는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 감안한 본 발명은 반도체 공정이 가능한 절연성 기판 위에 발광 소자의 p-전극과 n-전극에 대응하는 전극 배선을 패터닝하고, 전극 배선과 다른 부분을 전기 절연하는 절연층을 형성하고 와이어 본딩과 리드 전극의 접점을 형성하고, 도금 틀에 의해 금속 구조물을 높게 형성하여 반사막과 리드 전극을 형성하게 구성되어 실리콘 기판 또는 절연성 기판에 금속 도금 공정을 적용하여 광 모듈을 소형화, 슬림화하여 제작하는 효과가 있다.The present invention relates to an optical module and a method of manufacturing the same. In the related art, an LED module structure has a difficulty in miniaturizing and slimming an optical module because the LED bonded substrate must be bonded to the plastic body and the plastic body must be bonded again to the printed circuit board. There was a problem. In view of the above problems, the present invention is to pattern electrode wirings corresponding to the p- and n-electrodes of a light emitting device on an insulating substrate capable of semiconductor processing, to form an insulating layer for electrically insulating the electrode wirings and other portions, and to obtain wire bonding and Forming the contact of the lead electrode and forming the metal structure by the plating frame to form a reflective film and the lead electrode is formed to apply the metal plating process to the silicon substrate or the insulating substrate to reduce the size and slimming of the optical module have.

Description

광 모듈 및 그 제조 방법{OPTICAL MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}Optical module and its manufacturing method {OPTICAL MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

도 1은 종래 측면형 발광 다이오드의 모듈 구조를 보인 사시도.1 is a perspective view showing a module structure of a conventional side-type light emitting diode.

도 2는 도 1의 모듈 구조를 상세히 보인 단면도.2 is a cross-sectional view showing in detail the module structure of FIG.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 광 모듈의 구조를 보인 단면/평면도.Figure 3 is a cross-sectional / plan view showing a structure of an optical module according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 발광 소자를 플립 칩 본딩한 구조를 보인 단면/평면도.FIG. 4 is a cross-sectional / plan view showing a flip chip bonding structure of the light emitting device of FIG. 3.

도 5는 도 3의 광 모듈에 반도체 공정으로 제너 다이오드를 병렬 연결한 구조를 보인 단면/평면도.5 is a cross-sectional view showing a structure in which a Zener diode is connected in parallel to the optical module of FIG. 3 by a semiconductor process.

도 6은 도 5의 발광 소자를 플립 칩 본딩한 구조를 보인 단면/평면도.FIG. 6 is a cross-sectional / plan view showing a flip chip bonding structure of the light emitting device of FIG. 5; FIG.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

100 : 발광 소자 210 : 전극 배선100 light emitting element 210 electrode wiring

220 : 절연층 230 : 반사막220: insulating layer 230: reflecting film

240 : 도전성 와이어 250 : 반사막 내부240: conductive wire 250: reflection film inside

260 : 도전성 접합 금속 270 : 리드 전극260 conductive metal 270 lead electrode

본 발명은 광 모듈 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 도금 몰드를 이용하여 외부 전원을 연결하는 리드 전극과 높은 반사율을 가지는 금속 구조물을 형성할 수 있게 한 광 모듈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an optical module and a method of manufacturing the same, which enable the formation of a metal structure having a high reflectance and a lead electrode for connecting an external power source using a plating mold.

일반적으로 광 방출 소자는 단순한 발광을 이용한 표시 장치로서 사용되었으나, 최근에는 다양한 파장 및 에너지를 가지는 광원으로서의 가능성이 연구되고 있다. 발광 다이오드나 레이저 다이오드와 같은 발광 소자는 직접 천이형 화합물 반도체인 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체를 사용하고, 기존 광원에 비하여 에너지 효율이 높고 수 만 시간 이상 사용이 가능하다.In general, the light emitting device has been used as a display device using simple light emission, but recently, the possibility of a light source having various wavelengths and energy has been studied. A light emitting device such as a light emitting diode or a laser diode uses a group 3-5 or 2-6 compound semiconductor, which is a direct transition compound semiconductor, and has a higher energy efficiency than the conventional light source and can be used for tens of thousands of hours.

발광 소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 파장의 빛을 출력한다. 즉, 발광 소자는 자외선이나 청색 발광 다이오드에 형광 물질을 이용하거나 적색, 녹색, 청색을 조합하여 효율 좋은 백색 광선을 출력한다.The light emitting device outputs light of various wavelengths such as red, green, blue, and ultraviolet rays by the development of thin film growth technology and device materials. That is, the light emitting device outputs efficient white light by using a fluorescent material for ultraviolet light or a blue light emitting diode or by combining red, green, and blue.

특히 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 일반적인 표시 장치는 물론이고 조명장치나 엘씨디(LCD) 표시장치의 백라이트 소자, 신호등, 광고용 및 자동차용에도 응용되는 등 적용 영역이 점차 다양해지고 있다. 최근 들어 LED의 한계였던 휘도 문제가 크게 개선되면서 긴 수명과 저전력 사용의 장점이 부각되어 21세기 화합물 반도체가 주도하는 광반도체 시대의 차세대 광원으로 확실히 자리매김하고 있다.In particular, light emitting diodes (LEDs) are being applied to a variety of applications such as not only general display devices but also backlight devices, signal lamps, advertisements, and automobiles for lighting devices and LCD displays. Recently, as the luminance problem, which was the limitation of LED, has been greatly improved, the advantages of long life and low power usage are highlighted, making it the next generation light source in the optical semiconductor era led by compound semiconductors of the 21st century.

외부 회로에서 발광 소자의 p-전극과 n-전극 사이에 전압을 인가하면 p-전극과 n-전극으로 정공과 전자가 주입되고 발광 소자의 활성층에서 정공과 전자가 재 결합하면서 여분의 에너지가 광으로 변환되어 출력된다. 발광 소자가 기판에 본딩된 구조에 따라 광 출력 방향이 달라진다. 예를 들어, 광 출력p-전극에 반사 물질이 형성되고 발광 소자가 기판에 플립 칩 본딩된 경우 광은 투명 기판을 통하여 외부로 방출되고, p-전극에 투명 전극이 형성되고 발광 소자가 기판에 노멀 본딩된 경우 광은 p-전극을 통하여 외부로 방출된다.When the voltage is applied between the p-electrode and the n-electrode of the light emitting device in the external circuit, holes and electrons are injected into the p-electrode and the n-electrode. Is converted to output. The light output direction varies depending on the structure in which the light emitting device is bonded to the substrate. For example, when a reflective material is formed on the light output p-electrode and the light emitting element is flip chip bonded to the substrate, light is emitted to the outside through the transparent substrate, the transparent electrode is formed on the p-electrode, and the light emitting element is formed on the substrate. When normal bonded, light is emitted to the outside through the p-electrode.

발광 소자가 기판에 본딩되고 LED의 p-전극 및 n-전극은 금속 와이어로 패키지 또는 서브 마운트에 형성된 외부 리드 전극에 연결되고, 백색 광원을 생성하는 경우 플라스틱, 유리, 에폭시 수지 등의 밀봉재에 형광체를 섞어 고정함으로써 LED가 완성된다.The light emitting element is bonded to the substrate and the p-electrode and n-electrode of the LED are connected to an external lead electrode formed in a package or a sub-mount with a metal wire, and when a white light source is produced, the phosphor is sealed in a sealing material such as plastic, glass, or epoxy resin. By mixing and fixing the LED is completed.

LED는 광을 필요로 하는 모든 분야에 적용 가능하며, 특히 낮은 전압에서 효율이 우수한 광을 생성하므로 이동 통신 기기의 백라이트 소자로의 적용이 활발히 진행 중이다. 이동 통신 기기는 이동 중에 휴대가 용이해야 하므로 크기가 작아지고 두께가 얇아지는 소형화와 슬림화가 필요하다.LEDs can be applied to all fields requiring light, and are particularly active in backlight devices of mobile communication devices because they generate light with high efficiency at low voltage. Since mobile communication devices must be easy to carry while on the move, they need to be miniaturized and made thinner and thinner.

따라서 백라이트 광원으로 사용되는 LED 모듈은 기기의 소형화와 슬림화 조건을 충족시키기 위하여 폭 방향으로 두께를 얇게 형성해야 한다. LED 모듈은 기기의 소형화, 슬림화 추세에 따라 더욱 소형화되고 있으며 LED도 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board: PCB)에 직접 실장하기 위하여 표면 실장소자(Surface Mount Device: SMD)형으로 제작되고 있다. SMD형의 LED 모듈은 그 사용 목적에 따라 상면(Top View)형과 측면(Side View)형으로 제조되며 측면형 LED 모듈을 설명한다.Therefore, the LED module used as a backlight light source should be thin in the width direction to satisfy the miniaturization and slimming conditions of the device. LED modules are becoming smaller and smaller according to the trend of miniaturization and slimming of devices, and LEDs are also manufactured in a surface mount device (SMD) type to be directly mounted on a printed circuit board (PCB). SMD type LED modules are manufactured in top view and side view types according to their purpose of use, and the side type LED modules will be described.

도 1은 종래 측면형 LED 모듈의 구조를 보인 사시도로서, 플라스틱 바디(101)에, 외부 전원을 인가하는 리드 전극(120a, 102b)과, 전원 인가시 광을 출력하는 LED(103)와, 정전기 또는 역전압으로부터 LED(103)를 보호하는 제너 다이오드(104)와, LED(103)와 제너 다이오드(104)를 각각의 리드 전극(120a, 102b)과 전기적으로 연결하는 도전성 와이어(105a, 105b, 105c)로 구성된다.1 is a perspective view showing the structure of a conventional side-type LED module, the plastic body 101, the lead electrodes (120a, 102b) for applying an external power source, the LED 103 for outputting light when power is applied, and static electricity Or a zener diode 104 to protect the LED 103 from reverse voltage, and conductive wires 105a and 105b to electrically connect the LED 103 and the zener diode 104 to the respective lead electrodes 120a and 102b. 105c).

도 2는 도 1의 모듈 구조를 상세히 보인 단면도로서, 플라스틱 바디는 내부에 형성되는 LED(203)의 광을 외부로 효율적으로 반사하기 위해 별도의 반사막을 가지거나 플라스틱 바디 자체를 백색으로 제조하기도 한다. 그리고, 그 내부에는 LED(203)외에 정전기, 역전압에 의하여 역방향 전류가 인가되는 경우 역방향 전류를 바이패스하여 LED(203)의 손상을 방지하기 위해 제너 다이오드(204)가 함께 배치되기도 한다. 이때, 상기 제너 다이오드(204)는 상기 LED(203)와 동일한 전극에 병렬로 연결되는데, 그 연결은 도전성 와이어를 이용한 와이어 본딩 기법이 일반적으로 사용된다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the module structure of FIG. 1 in detail. The plastic body may have a separate reflective film or may manufacture the plastic body itself in white to efficiently reflect the light of the LED 203 formed therein. . In addition, when the reverse current is applied by the static electricity and the reverse voltage in addition to the LED 203, the zener diode 204 may be disposed together to bypass the reverse current to prevent damage to the LED 203. At this time, the zener diode 204 is connected in parallel to the same electrode as the LED 203, the wire bonding technique using a conductive wire is generally used.

측면형 LED 모듈은 플라스틱 바디(201)와 인쇄 회로 기판(미도시)을 접착제를 사용하여 접합하고, 인쇄 회로 기판의 전극 배선과 플라스틱 바디의 리드 전극(202a, 202b)을 전기적으로 연결하여 이동 통신 기기의 백라이트 소자로 사용한다.The side type LED module bonds the plastic body 201 and the printed circuit board (not shown) with an adhesive, and electrically connects the electrode wiring of the printed circuit board and the lead electrodes 202a and 202b of the plastic body to communicate with each other. Used as a backlight element of the device.

이와 같은 LED 모듈 구조는 LED(203)의 일측 전극을 기판의 전극에 전기적이며 물리적으로 접착한 후 다른 전극은 와이어(205) 본딩하여 외부 전극과 연결하며, 상기 LED(203)가 접착된 기판을 플라스틱 바디(201)에 결합하고, 이렇게 얻어진 결합물을 실제 LED 모듈이 적용될 인쇄 회로 기판에 다시 접합해야 하므로 부품 의 숫자 및 작업 공정이 증가되어 제조비용이 상승한다. 또한, 플라스틱 바디(201)는 플라스틱 사출 공정에 의해 형성되는데, 플라스틱 사출은 슬림화에 한계를 가지며 이로 인해 LED 모듈의 크기가 커지는 문제점이 있다.In this LED module structure, one electrode of the LED 203 is electrically and physically bonded to the electrode of the substrate, and the other electrode is connected to an external electrode by bonding the wire 205 to the substrate to which the LED 203 is bonded. Bonding to the plastic body 201, the resulting combination must be bonded back to the printed circuit board to be applied to the actual LED module, so the number of parts and the work process is increased to increase the manufacturing cost. In addition, the plastic body 201 is formed by a plastic injection process, plastic injection has a limitation in slimming, which causes a problem that the size of the LED module increases.

또한, 플라스틱 바디(201) 내부에 위치하는 LED(203)와 제너 다이오드(204)를 외부 전극과 연결하기 위해 와이어(205) 본딩을 실시할 경우 구조적인 위치 및 협소한 플라스틱 바디 내부로 인해 플라스틱 바디(201) 내부에 LED(203)를 놓고 와이어(205) 본딩하지 못하고 외부에서 와이어(205) 본딩한 다음 플라스틱 바디(201)에 결합해야 하는 문제점이 있다.In addition, when the wire 205 is bonded to connect the LED 203 and the zener diode 204 located inside the plastic body 201 to the external electrodes, the plastic body may be formed due to its structural position and the narrow plastic body. There is a problem in that the LED 203 is placed inside the 201 and the wire 205 cannot be bonded, but the wire 205 is bonded to the outside and then bonded to the plastic body 201.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안한 것으로, 절연성 기판 위에 금속 도금 공정을 이용하여 반사 구조물을 높게 형성하고 발광 소자를 절연성 기판 위에 접합하여 모듈을 슬림화하고, 조립을 단순화할 수 있도록 한 광 모듈 및 그 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, by using a metal plating process on the insulating substrate to form a high reflective structure and bonding the light emitting device on the insulating substrate to slim the module, simplifying assembly It is an object of the present invention to provide an optical module and a method of manufacturing the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 복수의 외부 연장용 전극들이 형성된 기판; 상기 전극들에 전기적으로 연결되는 발광 소자; 및 상기 발광 소자를 둘러싸도록 형성되고, 상기 발광 소자의 높이 이상으로 형성되는 금속 구조물을 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object, the substrate formed with a plurality of external extension electrodes; A light emitting device electrically connected to the electrodes; And a metal structure formed to surround the light emitting device and formed above the height of the light emitting device.

또한, 본 발명은 기판 상에 복수의 전극들을 형성하는 단계; 상기 기판 전면에 절연층을 형성하고, 상기 복수의 전극들의 일부가 노출되도록 패터닝하는 단계; 상기 노출된 복수의 전극들을 둘러싸도록 상기 절연층 상부에 도금 방식을 기초로 금속 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 노출된 복수의 전극에 발광 소자를 전기적으로 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention comprises the steps of forming a plurality of electrodes on the substrate; Forming an insulating layer on the entire surface of the substrate and patterning the exposed portion of the plurality of electrodes; Forming a metal structure based on a plating method on the insulating layer to surround the exposed plurality of electrodes; And electrically bonding a light emitting device to the exposed plurality of electrodes.

이하, 본 발명에 따른 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시 예를 통해 절연성 기판 위에 전극 배선을 형성하고 금속 구조물을 높게 형성함으로써 상기 금속 구조물을 반사막과 리드 전극으로 사용하도록 하며, 발광 소자를 상기 기판 상에 물리적으로 접합하고 발광 소자의 p-전극과 n-전극을 전극 배선에 와이어 본딩한 광 모듈의 구조를 설명한다.According to an embodiment of the present invention, the electrode wiring is formed on the insulating substrate and the metal structure is formed high so that the metal structure can be used as the reflective film and the lead electrode, the light emitting device is physically bonded on the substrate, and the p- The structure of the optical module which wire-bonded the electrode and n-electrode to the electrode wiring is demonstrated.

도 3a는 본 발명의 실시 예에 따른 광 모듈의 구조를 보인 단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 반도체 공정이 가능한 절연성 기판(200) 위에 발광 소자(100)의 p-전극과 n-전극에 대응하는 전극 배선(210)이 형성되어 있고, 상기 전극 배선(210)과 다른 부분을 전기 절연하는 절연층(220)이 그 상부에 형성되어 있는데, 이는 와이어(240) 본딩과 리드 전극(270)의 접점을 노출시키도록 패터닝 되어 있다. 그리고, 도금 틀에 의해 형성된 금속 구조물이 반사막(230)과 리드 전극(270)을 형성하고 있다. 상기 반사막(230)은 측면형 발광 소자(100)의 광을 외부로 방출하지 않고 도광판으로 입사시키고, 발광 소자(100)는 반사막(230) 내의 절연층(220)에 접합되어 절연성 기판(200)의 전극 배선(210)에 와이어(240) 본딩되고, 리드 전극(270)은 외부 전원과 연결된다.3A is a cross-sectional view illustrating a structure of an optical module according to an exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3A, a p-electrode and an n-electrode of the light emitting device 100 may be formed on an insulating substrate 200 capable of semiconductor processing. An electrode wiring 210 is formed, and an insulating layer 220 is formed thereon to electrically insulate other portions from the electrode wiring 210, which is a contact between the wire 240 bonding and the lead electrode 270. It is patterned to expose. The metal structure formed by the plating frame forms the reflective film 230 and the lead electrode 270. The reflective film 230 is incident on the light guide plate without emitting the light of the side light emitting device 100 to the outside, and the light emitting device 100 is bonded to the insulating layer 220 in the reflective film 230 to form the insulating substrate 200. The wire 240 is bonded to the electrode wiring 210 of the wire electrode 270, and the lead electrode 270 is connected to an external power source.

즉, 상기 구조를 통해 알 수 있듯이 본 발명은 반도체 공정이 가능한 절연성 기판(200) 위에 금속 도금 공정을 이용하여 발광 소자(100) 장착 부분의 외곽에 금속 도금층을 형성하여 발광 소자(100)의 광을 도광판으로 입사시키는 것을 제1특징으로 한다.That is, as can be seen through the above structure, the present invention is formed on the insulating substrate 200 capable of a semiconductor process by using a metal plating process to form a metal plating layer on the outside of the mounting portion of the light emitting device 100, the light of the light emitting device 100 Incident to the light guide plate is a first feature.

또한, 발광 소자(100)의 반사막(230) 측면에 금속 도금층을 패터닝하여 발광 소자(100)로 외부 전원을 공급하는 리드 전극(270)을 형성한 것을 제2특징으로 한다. 이때, 리드 전극(270)을 형성하지 않고 절연성 기판(200)의 전극 배선(210)을 연장하여 리드 전극으로 사용할 수 있다. 또한, 리드 전극에 제너 다이오드를 연결하여 정전기, 역전압을 바이패스시켜 발광 소자(100)를 보호한다.In addition, the second feature is to form a lead electrode 270 for supplying external power to the light emitting device 100 by patterning a metal plating layer on a side of the reflective film 230 of the light emitting device 100. In this case, the electrode wiring 210 of the insulating substrate 200 may be extended to form the lead electrode without forming the lead electrode 270. In addition, a zener diode is connected to the lead electrode to bypass the static electricity and the reverse voltage to protect the light emitting device 100.

도 3의 b는 본 발명의 실시 예에 따른 광 모듈의 구조를 보인 단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 반사막(230) 틀의 내부에 발광 소자(100)를 접합하고 발광 소자(100)의 p-전극과 n-전극을 절연성 기판(200)의 전극 배선(210)에 와이어(240) 본딩하고 반사막(230) 측면에 위치하는 전극 배선(210) 위에 리드 전극(270)을 형성한 구조를 보인다.3B is a cross-sectional view illustrating a structure of an optical module according to an exemplary embodiment of the present invention. As shown therein, the light emitting device 100 is bonded to the inside of the frame of the reflective film 230 and p− of the light emitting device 100 is bonded. A wire 240 is bonded to the electrode wire 210 of the insulating substrate 200 and the lead electrode 270 is formed on the electrode wire 210 positioned on the side of the reflective film 230.

이제 도 3에 도시한 일 실시 예의 광 모듈을 반도체 공정 수순에 따라 상세히 설명한다. 여기서, 측면형 LED를 발광 소자로 이용한 광 모듈의 제조 과정을 보인다.An optical module according to an embodiment shown in FIG. 3 will now be described in detail according to a semiconductor process procedure. Here, the manufacturing process of the optical module using the side type LED as a light emitting device is shown.

먼저, 반도체 공정이 가능한 절연성 기판(200) 위에 LED(100)의 p-전극과 n-전극에 대응하는 양극과 음극의 전극 배선(210)을 패터닝한다.First, the electrode wirings 210 of the anode and the cathode corresponding to the p-electrode and the n-electrode of the LED 100 are patterned on the insulating substrate 200 capable of semiconductor processing.

전극 배선(210)과 다른 부분은 전기적으로 절연되어야 하므로 절연층(220)을 증착하고, LED(100)의 전극과 도전성 와이어(240) 본딩하는 전극 배선(210)의 일 단면과, 광 모듈과 외부 회로를 전기 연결하는 바이어스 인가 영역의 절연층(220)이 제거되도록 패터닝한다.Since the other portion of the electrode wiring 210 should be electrically insulated, one end surface of the electrode wiring 210 for depositing the insulating layer 220, bonding the electrode of the LED 100 to the conductive wire 240, and the optical module The insulating layer 220 of the bias applying region electrically connecting the external circuit is patterned to be removed.

절연층(220)의 패터닝 다음 공정으로는 반사막 구조물(230)과 발광 소자의 전극을 외부 회로로 연장하기 위한 리드 전극(270)을 구성하기 위한 도금 공정을 실시한다. 도금 공정은 시드 금속을 형성하고 도금 틀을 형성한 후 도금을 실시하거나 무전해 도금 방법을 이용하여 도금을 실시한다. 도금 공정은 LED(100) 높이보다 높은 금속 구조물을 형성하여 LED(100)의 측면 광을 반사하고 LED(100)를 보호한다.The next step of patterning the insulating layer 220 is to perform a plating process for configuring the reflective film structure 230 and the lead electrode 270 for extending the electrode of the light emitting device to an external circuit. In the plating process, the seed metal is formed and the plating mold is formed, followed by plating or plating using an electroless plating method. The plating process forms a metal structure higher than the height of the LED 100 to reflect the side light of the LED 100 and to protect the LED 100.

도금 공정을 실시하여 반사막(230)과 리드 전극(270)을 형성한 다음 LED(100)를 반사막(230) 내부의 절연층(220)에 접합한다. LED(100)를 절연층(220)에 접합하는 방법으로는 LED(100)의 기판 부분과 절연층(220) 사이에 페이스트를 도포하여 다이본딩한다.After the plating process is performed to form the reflective film 230 and the lead electrode 270, the LED 100 is bonded to the insulating layer 220 inside the reflective film 230. As a method of bonding the LED 100 to the insulating layer 220, a paste is applied between the substrate portion of the LED 100 and the insulating layer 220 to be die-bonded.

그리고 LED(100)의 두 전극과 반사막(230) 내부의 전극 배선(210)을 도전성 와이어(240)를 이용하여 접합한다. 다른 실시 예로, LED(100)의 두 전극과 전극 배선(210)을 마주 보게 정렬하고 플립칩 본딩 접합부를 가진 LED(100)의 두 전극 또과 전극 배선(210)을 둘 중 하나에 형성된 솔더(260)를 이용하여 압력과 열을 가해 접합한다.The two electrodes of the LED 100 and the electrode wiring 210 inside the reflective film 230 are bonded to each other using the conductive wire 240. In another embodiment, two electrodes of the LED 100 and the electrode wiring 210 are aligned to face each other, and two electrodes or the electrode wiring 210 of the LED 100 having the flip chip bonding junction are formed on one of the solders 260. Use pressure and heat to join.

도 4는 도 3의 발광 소자를 플립 칩 본딩한 구조를 보인 단면/평면도로서, 이에 도시된 바와 같이 반사막(230) 내부의 전극 배선(210)은 LED(100)의 하단까지 연장되어 LED(100)의 하단과 전극 배선(210)의 상단이 도전성 접합 금속(260)에 의 해 접합된 구조를 보인다. 플립 칩 본딩 방법은 도전성 접합 금속(260)을 이용하여 열과 압력 또는 압력만을 인가하여 접합한다. 여기서, 도전성 접합 금속에는 솔더 금속, 솔더를 이용하거나 금(Au) 스터드 범프(stud bump) 또는 플레이트 범프(plated bump)를 이용한다.4 is a cross-sectional / plan view showing a flip chip bonding structure of the light emitting device of FIG. 3, and as shown therein, the electrode wiring 210 inside the reflective film 230 extends to the lower end of the LED 100 to display the LED 100. The bottom of) and the top of the electrode wiring 210 is shown bonded by the conductive bonding metal 260. The flip chip bonding method bonds heat and pressure or only pressure by using the conductive bonding metal 260. Here, a conductive metal is used as solder metal, solder, or gold (Au) stud bump or plated bump.

발광 소자(100)가 접합되고 제너 다이오드 또는 박막 저항과 같은 소자를 광 모듈에 접합한 후 백색 광원을 생성하는 경우 플라스틱, 유리, 에폭시 수지 등의 밀봉재에 형광체를 섞어 발광 소자를 접합한 반사막 내부(250)에 고정함으로써 광 모듈이 완성된다. 또한, 발광 소자에서 방출된 광의 분포를 제어하기 위한 렌즈시트를 반사막 내부(250)에 집적하여 광 모듈을 완성한다.When the light emitting device 100 is bonded and a device such as a zener diode or a thin film resistor is bonded to the optical module to generate a white light source, the inside of the reflective film in which the light emitting device is bonded by mixing phosphors in a sealing material such as plastic, glass, or epoxy resin ( The optical module is completed by fixing to 250). In addition, the lens sheet for controlling the distribution of light emitted from the light emitting device is integrated in the inside of the reflective film 250 to complete the optical module.

이상과 같은 광 모듈의 제조 과정은 절연성 기판을 이용하여 LED 모듈을 제작하는 방법으로 상기 절연성 기판에는 제너 다이오드를 집적할 수 없으므로 LED의 내전압 특성을 보완하기 위한 제너 다이오드는 오프 칩으로 접합해야 한다.The manufacturing process of the optical module as described above is a method of manufacturing an LED module using an insulating substrate, so that a zener diode cannot be integrated into the insulating substrate, the zener diode for complementing the withstand voltage characteristics of the LED must be bonded with an off chip.

광 모듈의 제조 과정에서 절연성 기판을 이용하지 않고 실리콘 기판을 이용하여 제너 다이오드를 실리콘 기판에 집적하여 LED에 병렬 연결하는 구조를 설명한다.In the manufacturing process of the optical module, a structure in which a Zener diode is integrated in a silicon substrate and connected in parallel to the LED using a silicon substrate without using an insulating substrate is described.

도 5는 도 3의 광 모듈에 반도체 공정으로 제너 다이오드를 병렬 연결한 구조를 보인 단면/평면도로서, 이에 도시된 바와 같이 실리콘 기판(300)에 정전압 소자인 제너 다이오드를 형성하기 위하여 실리콘 기판의 소정 영역에 선택 확산(310)을 실시하여 정전압 소자를 형성하고, 절연층(320)을 증착하고 패터닝하여 정전압 소자의 확산층(310) 일부분의 절연층(320)을 식각하여 컨택트 홀(contact hole)을 형성하고, 리프트 오프(lift-off) 또는 금속 식각 공정에 의해 전극 배선을 형성한다. 전극 배선의 형성 다음 공정은 도 3의 광 모듈 제조 공정과 동일하며, 도금 공정과 LED 접합을 실시하여 반사막(350)과 리드 전극(390)을 형성함으로써 정전압 소자가 집적된 광 모듈이 완성된다.FIG. 5 is a cross-sectional / plan view showing a structure in which a zener diode is connected in parallel to the optical module of FIG. 3 in a semiconductor process, and as shown in FIG. 3, a predetermined zener diode as a constant voltage device is formed on the silicon substrate 300. Selective diffusion 310 is performed in the region to form a constant voltage device, and the insulating layer 320 is deposited and patterned to etch the insulating layer 320 of a portion of the diffusion layer 310 of the constant voltage device to form a contact hole. And the electrode wirings are formed by a lift-off or metal etching process. Formation of the electrode wiring The following process is the same as the optical module manufacturing process of FIG. 3, and the optical module in which the constant voltage element is integrated is completed by forming the reflective film 350 and the lead electrode 390 by performing the plating process and the LED bonding.

이때, 정전압 소자 제작 방법은 일반적인 제너 다이오드 제작 방법을 사용한다. 제너 다이오드 제작 방법은 기판 전면에 실리콘 산화막 등의 불순물 확산 마스크 물질을 형성하고 p형 또는 n형 불순물을 기판 내에 선택적으로 확산시키기 위해 마스크를 패터닝하고 불순물을 고농도로 확산시킨다. 기 형성된 불순물과 다른 불순물을 형성하기 위해 확산마스크를 다시 형성하고 불순물을 확산시켜 p-n 다이오드를 형성한다.In this case, the method of manufacturing a constant voltage device uses a general method of manufacturing a zener diode. The Zener diode fabrication method forms an impurity diffusion mask material such as a silicon oxide film on the entire surface of the substrate, and patterns the mask and diffuses the impurities at a high concentration to selectively diffuse the p-type or n-type impurities into the substrate. In order to form impurities other than the previously formed impurities, the diffusion mask is formed again and the impurities are diffused to form a p-n diode.

상기 정전압 소자를 집적한 광 모듈은 LED(100)의 두 전극과 반사막(350) 내부의 전극 배선(330)을 도전성 와이어(360)를 이용하여 접합한 구조이다. 다른 실시 예로, LED(100)의 두 전극과 전극 배선(330)을 마주 보게 정렬하고 LED(100) 또는 전극 배선(330)에 형성된 솔더를 이용하여 압력과 열을 인가하여 접합할 수 있다..The optical module integrating the constant voltage device has a structure in which two electrodes of the LED 100 and the electrode wiring 330 inside the reflective film 350 are bonded using the conductive wire 360. In another embodiment, the two electrodes of the LED 100 and the electrode wiring 330 may be aligned to face each other, and may be bonded by applying pressure and heat using solder formed on the LED 100 or the electrode wiring 330.

도 6은 도 5의 발광 소자를 플립 칩 본딩한 구조를 보인 단면/평면도로서, 이에 도시된 바와 같이 정전압 소자를 집적한 실리콘 기판(300) 위에 전극 배선(330)을 형성하고, 반사막(350) 내부의 전극 배선(330)은 LED(100)의 하단까지 연장되어 LED(100)의 하단과 전극 배선(330)의 상단이 도전성 접합 금속(380)에 의해 접합된 구조를 보인다. 여기서, 도전성 접합 금속(380)에는 솔더 금속, 솔더를 이 용하거나 금(Au) 스터드 범프(stud bump) 또는 플레이트 범프(plated bump)를 이용한다.FIG. 6 is a cross-sectional / plan view showing a flip chip bonding structure of the light emitting device of FIG. 5. As shown in FIG. 6, an electrode wiring 330 is formed on a silicon substrate 300 in which a constant voltage device is integrated, and a reflective film 350 is formed. The inner electrode wiring 330 extends to the lower end of the LED 100 so that the lower end of the LED 100 and the upper end of the electrode wiring 330 are joined by the conductive bonding metal 380. Here, the conductive bonding metal 380 uses a solder metal, solder, or gold (Au) stud bump or plated bump.

상기 정전압 소자를 집적한 광 모듈에서 발광 소자(100)가 접합되고 제너 다이오드 또는 박막 저항과 같은 소자를 광 모듈에 접합한 후 백색 광원을 생성하는 경우 플라스틱, 유리, 에폭시 수지 등의 밀봉재에 형광체를 섞어 발광 소자(100)를 접합한 반사막 내부(370)에 고정함으로써 광 모듈이 완성된다.When the light emitting device 100 is bonded in the optical module in which the constant voltage device is integrated, and a device such as a zener diode or a thin film resistor is bonded to the optical module to generate a white light source, phosphors are applied to a sealing material such as plastic, glass, and epoxy resin. The optical module is completed by mixing and fixing the light emitting device 100 to the inside of the reflective film 370 bonded to each other.

이상과 같은 광 모듈의 제조 과정은 실리콘 기판을 이용하여 LED 모듈을 제작하는 방법으로 상기 실리콘 기판에는 제너 다이오드를 집적하여 LED의 내전압 특성을 높인다.The manufacturing process of the optical module as described above is a method of manufacturing an LED module using a silicon substrate to increase the breakdown voltage characteristics of the LED by integrating a zener diode on the silicon substrate.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 실리콘 기판 또는 절연성 기판에 금속 도금 공정을 적용하여 광 모듈을 소형화, 슬림화하여 제작함으로써 이동 통신 단말기, 표시 장치 등에 사용되는 백라이트 소자를 소형화 및 슬림화하는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention has an effect of miniaturizing and slimming a backlight element used in a mobile communication terminal, a display device, etc. by applying a metal plating process to a silicon substrate or an insulating substrate, thereby miniaturizing and slimming an optical module. .

또한, 실리콘 기판을 이용하는 경우 정전압 소자 또는 박막 저항체 등의 반도체 전자 소자를 집적하여 광 모듈에 접합된 발광 소자의 내전압 특성을 향상시키는 효과가 있다.In addition, when a silicon substrate is used, semiconductor electronic devices such as a constant voltage device or a thin film resistor may be integrated to improve the breakdown voltage characteristics of the light emitting device bonded to the optical module.

또한, 발광 소자를 기판의 전극 배선에 플립 칩 본딩하여 접합함으로써 광 모듈을 구성하는 부품 수를 줄이고, 제조 공정을 단순화하여 제조 비용을 낮추는 효과가 있다.In addition, there is an effect of reducing the number of components constituting the optical module by simplifying the manufacturing process by flip chip bonding and bonding the light emitting device to the electrode wiring of the substrate to reduce the manufacturing cost.

Claims (11)

복수의 외부 연장용 전극들이 형성된 기판;A substrate on which a plurality of external extension electrodes are formed; 상기 전극들에 전기적으로 연결되는 발광 소자; 및A light emitting device electrically connected to the electrodes; And 상기 발광 소자를 둘러싸도록 형성되고, 상기 발광 소자의 높이 이상으로 형성되는 금속 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 광 모듈.And a metal structure formed to surround the light emitting device and formed above the height of the light emitting device. 제1항에 있어서, 상기 금속 구조물은,The method of claim 1, wherein the metal structure, 전극 배선의 종단부에서 상기 전극 배선과 전기적으로 연결되도록 형성되고, 외부 회로와 전기적으로 연결되도록 구성된 것인 광 모듈.The optical module is configured to be electrically connected to the electrode wiring at an end of the electrode wiring, and to be electrically connected to an external circuit. 제1항에 있어서, 상기 발광 소자는,The method of claim 1, wherein the light emitting device, 전극 배선과 도전성 와이어 본딩을 통하여 연결된 것인 광 모듈.The optical module is connected via the electrode wiring and the conductive wire bonding. 제1항에 있어서, 상기 발광 소자는,The method of claim 1, wherein the light emitting device, 전극 배선과 도전성 접합 금속을 통하여 연결되고,Connected via electrode wiring and conductive bonding metal, 상기 도전성 접합 금속을 통한 상기 발광소자 및 상기 전극 배선과의 연결은 열과 압력 또는 압력만을 인가하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 모듈.The connection of the light emitting element and the electrode wiring through the conductive bonding metal is made by applying only heat and pressure or pressure. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기판 내에 집적되고, 상기 발광 소자에 연결하는 전극에 병렬로 연결되는 정전압 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 모듈.And a constant voltage device integrated in the substrate and connected in parallel to an electrode connected to the light emitting device. 기판 상에 복수의 전극들을 형성하는 단계;Forming a plurality of electrodes on the substrate; 상기 기판 전면에 절연층을 형성하고, 상기 복수의 전극들의 일부가 노출되도록 패터닝하는 단계;Forming an insulating layer on the entire surface of the substrate and patterning the exposed portion of the plurality of electrodes; 상기 노출된 복수의 전극들을 둘러싸도록 상기 절연층 상부에 도금 방식을 기초로 금속 구조물을 형성하는 단계; 및Forming a metal structure based on a plating method on the insulating layer to surround the exposed plurality of electrodes; And 상기 노출된 복수의 전극에 발광 소자를 전기적으로 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.And electrically bonding a light emitting device to the exposed plurality of electrodes. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 기판 상에 복수의 전극들을 형성하는 단계 이전에, 상기 기판에 불순물을 주입하여 정전압 소자를 형성하는 단계를 더 포함하고,Before forming the plurality of electrodes on the substrate, further comprising forming a constant voltage device by implanting impurities into the substrate; 상기 정전압 소자는 상기 복수의 전극들과 연결되는 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.And said constant voltage device is connected to said plurality of electrodes. 제6항에 있어서, 상기 금속 구조물 형성 단계는,The method of claim 6, wherein the forming of the metal structure, 도금 틀을 형성하고, 상기 형성된 도금 틀에 금속 도금 공정을 기초로 상기 금속 구조물을 형성하거나 무전해 도금 방법을 기초로 도금하여 상기 금속 구조물을 형성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.Forming a metal mold, and forming the metal structure on the plated metal mold based on a metal plating process or plating the metal mold based on an electroless plating method. 제6항에 있어서, 상기 발광 소자의 접합 단계는The method of claim 6, wherein the bonding step of the light emitting device 발광 소자의 두 전극을 기판 상의 노출된 전극들에 각각 와이어 본딩 또는 플립 칩 본딩을 통해 접합하는 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.And bonding two electrodes of the light emitting device to exposed electrodes on the substrate, respectively, by wire bonding or flip chip bonding. 제6항에 있어서, 상기 발광 소자의 접합 단계는The method of claim 6, wherein the bonding step of the light emitting device 발광 소자 주변에 형광체 또는 실리콘 젤 또는 에폭시를 충진하는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.The method of manufacturing an optical module, characterized in that it further comprises the step of filling the phosphor or silicon gel or epoxy around the light emitting device. 제10항에 있어서, 상기 발광 소자의 접합 단계는The method of claim 10, wherein the bonding step of the light emitting device 발광 소자 위에 렌즈 시트를 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 광 모듈 제조 방법.And forming a lens sheet on the light emitting element.
KR1020050083872A 2005-09-08 2005-09-08 Optical module and manufacturing method thereof KR101109516B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050083872A KR101109516B1 (en) 2005-09-08 2005-09-08 Optical module and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050083872A KR101109516B1 (en) 2005-09-08 2005-09-08 Optical module and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070029008A KR20070029008A (en) 2007-03-13
KR101109516B1 true KR101109516B1 (en) 2012-01-31

Family

ID=38101463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050083872A KR101109516B1 (en) 2005-09-08 2005-09-08 Optical module and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101109516B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI757181B (en) * 2021-05-19 2022-03-01 友達光電股份有限公司 Display panel and method of fabricating the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0677540A (en) * 1992-08-24 1994-03-18 Sanyo Electric Co Ltd Optical semiconductor device
JPH08264840A (en) * 1995-03-27 1996-10-11 Sanyo Electric Co Ltd Light emitting diode display device
JP2003142737A (en) * 2001-08-22 2003-05-16 Nichia Chem Ind Ltd Light emitting device
JP2006351773A (en) * 2005-06-15 2006-12-28 Rohm Co Ltd Semiconductor light-emitting apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0677540A (en) * 1992-08-24 1994-03-18 Sanyo Electric Co Ltd Optical semiconductor device
JPH08264840A (en) * 1995-03-27 1996-10-11 Sanyo Electric Co Ltd Light emitting diode display device
JP2003142737A (en) * 2001-08-22 2003-05-16 Nichia Chem Ind Ltd Light emitting device
JP2006351773A (en) * 2005-06-15 2006-12-28 Rohm Co Ltd Semiconductor light-emitting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070029008A (en) 2007-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102237483B (en) Light-emitting device
EP2385549B1 (en) Chip package, package module, and illumination apparatus including chip package module
KR100746783B1 (en) Light emitting device package and method of fabricating the same
US20100220473A1 (en) Package for light emitting device and method for packaging the same
US20100304535A1 (en) Package structure of compound semiconductor device and fabricating method thereof
CN100379036C (en) A surface mounting type light emitting diode
KR100606550B1 (en) Light emitting device package and method for fabricating the same
KR100882995B1 (en) The integrated-type led and manufacturing method thereof
KR20070001512A (en) Light emitting device package and method for fabricating the same
KR101179579B1 (en) LED light module and manufacturing methode of thesame
KR100646569B1 (en) Light emitting device package and method for fabricating the same
KR100699161B1 (en) Light emitting device package and method for manufacturing the same
KR101051690B1 (en) Optical package and manufacturing method of the same
KR101192816B1 (en) Led package and its manufacturing method
KR100699146B1 (en) Light emitting device package and fabricating method thereof
US20130153935A1 (en) Light Emitting Systems and Methods
KR101109516B1 (en) Optical module and manufacturing method thereof
KR100609969B1 (en) Method for fabricating light emitting device
KR100609970B1 (en) Substrate for mounting light emitting device, fabricating method thereof and package using the same
JP2004079619A (en) Light emitting diode device
KR101129002B1 (en) Optical package and manufacturing method of the same
KR100691124B1 (en) Manufacturing method for light emitting diode package
KR101146659B1 (en) Optical package and manufacturing method of the same
KR100792360B1 (en) Light emitting diode package and its manufacturing method
KR101146656B1 (en) Optical package and manufacturing method of the same

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141223

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151216

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161214

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171212

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181210

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200219

Year of fee payment: 9