KR101101916B1 - Organic vapor-jet printing device - Google Patents

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KR101101916B1
KR101101916B1 KR1020100041004A KR20100041004A KR101101916B1 KR 101101916 B1 KR101101916 B1 KR 101101916B1 KR 1020100041004 A KR1020100041004 A KR 1020100041004A KR 20100041004 A KR20100041004 A KR 20100041004A KR 101101916 B1 KR101101916 B1 KR 101101916B1
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강현욱
윤창훈
성형진
유승협
고승환
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한국과학기술원
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Abstract

유기막의 패턴 정밀도를 높일 수 있는 유기 증기젯 인쇄 장치를 제공한다. 유기 증기젯 인쇄 장치는 노즐 블록과, 솔레노이드 밸브, 및 흡입부를 포함한다. 노즐 블록은 내부에 공급 유로와 저장 유로 및 배출 유로를 형성하며, 케리어 가스에 의해 이송된 유기 물질을 공급받아 유기 증기젯을 형성한다. 솔레노이드 밸브는 공급 유로와 저장 유로에 삽입되며 배출 유로보다 큰 직경의 마개부를 구비하는 노즐 본체와, 전기 신호에 따라 노즐 본체를 이동시켜 배출 유로를 개폐시키는 제어부를 포함한다. 흡입부는 노즐 블록에 설치되며, 솔레노이드 밸브의 턴-오프와 동시에 작동하여 배출 유로에 남은 유기 물질을 흡입한다.An organic vapor jet printing apparatus capable of increasing the pattern precision of an organic film is provided. The organic vapor jet printing apparatus includes a nozzle block, a solenoid valve, and a suction part. The nozzle block forms a supply flow passage, a storage flow passage, and a discharge flow passage therein, and receives an organic material transported by the carrier gas to form an organic vapor jet. The solenoid valve includes a nozzle body inserted into the supply flow path and the storage flow path and having a stopper having a diameter larger than the discharge flow path, and a control unit which moves the nozzle body in accordance with an electrical signal to open and close the discharge flow path. The suction part is installed in the nozzle block and operates simultaneously with the turn-off of the solenoid valve to suck in the organic material remaining in the discharge flow path.

Description

유기 증기젯 인쇄 장치 {ORGANIC VAPOR-JET PRINTING DEVICE}Organic Steam Jet Printing Machine {ORGANIC VAPOR-JET PRINTING DEVICE}

본 발명은 유기 증기젯 인쇄 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 인쇄되는 유기막의 패턴 정밀도를 높일 수 있는 유기 증기젯 인쇄 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic vapor jet printing apparatus, and more particularly, to an organic vapor jet printing apparatus capable of increasing the pattern precision of an organic film printed on a substrate.

유기막은 유기 발광 소자, 태양광 전지, 및 기타 유기 디바이스에서 활성막으로 사용된다. 기판 상에 유기막을 형성하는 방법으로 진공 열증발법과 유기 증기젯 인쇄법을 포함한 다양한 방법이 알려져 있다.Organic films are used as active films in organic light emitting devices, solar cells, and other organic devices. As a method of forming an organic film on a substrate, various methods including a vacuum thermal evaporation method and an organic vapor jet printing method are known.

진공 열증발법은 진공 챔버 내부에 기판과 패턴 마스크 및 유기 물질 소스를 배치하고, 유기 물질 소스를 가열시켜 유기 물질을 확산시키며, 확산된 유기 물질 중 패턴 마스크의 개구부를 통과한 유기 물질이 선택적으로 기판 상에 증착되는 과정을 포함한다. 진공 열증착법은 증착 면적이 제한적이고, 패턴 마스크 표면에 많은 양의 유기 물질이 증착되므로 유기 물질이 낭비되는 한계가 있다.In the vacuum thermal evaporation method, a substrate, a pattern mask, and an organic material source are disposed in a vacuum chamber, and the organic material source is heated to diffuse the organic material. And depositing on the substrate. The vacuum thermal evaporation method has a limited deposition area, and a large amount of organic material is deposited on the pattern mask surface, thereby limiting waste of organic materials.

유기 증기젯 인쇄법은 히터가 장착된 노즐 블록 내부에 유기 물질과 케리어 가스를 공급하고, 노즐 블록에서 기판 상에 직접 유기 증기젯을 분사하는 과정을 포함한다. 노즐 블록 내부에는 증기젯 유로를 선택적으로 막아 노즐 블록의 온/오프를 제어하는 솔레노이드 밸브가 구비된다. 노즐 블록은 기판의 수평, 수직, 및 두께 방향을 따라 이동하여 유기막의 패턴 형성을 가능하게 한다.The organic vapor jet printing method includes supplying an organic material and a carrier gas into a nozzle block equipped with a heater, and spraying an organic vapor jet directly onto a substrate in the nozzle block. The nozzle block is provided with a solenoid valve for selectively blocking the steam jet flow path to control the on / off of the nozzle block. The nozzle block moves along the horizontal, vertical, and thickness directions of the substrate to enable pattern formation of the organic film.

유기 증기젯 인쇄법은 물질 낭비가 거의 없고, 비교적 정밀한 유기막 패턴이 가능한 공법이다. 그러나 솔레노이드 밸브가 노즐 블록 내부에 구비됨에 따라, 솔레노이드 밸브의 작동에 의해 증기젯 유로를 막은 이후에도 증기젯 유로 내부에 유기 물질이 남게 된다. 따라서 노즐 블록 오프시 남은 유기 물질이 기판으로 분사되면서 유기막의 패턴 정밀도가 저하된다.The organic vapor jet printing method is a method that allows almost no waste of material and enables a relatively precise organic film pattern. However, as the solenoid valve is provided inside the nozzle block, the organic substance remains in the steam jet flow path even after the steam jet flow path is blocked by the operation of the solenoid valve. Therefore, as the organic material remaining during the nozzle block off is sprayed onto the substrate, the pattern precision of the organic film is reduced.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 솔레노이드 밸브의 작동에 의해 노즐 블록 내부의 증기젯 유로를 막은 이후 증기젯 유로에 유기 물질이 잔류하지 않도록 함으로써 유기막의 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있는 유기 증기젯 인쇄 장치를 제공하고자 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the background art, it is possible to improve the pattern accuracy of the organic film by preventing the organic material remains in the steam jet flow path after closing the steam jet flow path inside the nozzle block by the operation of the solenoid valve. An organic vapor jet printing apparatus is provided.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 증기젯 인쇄 장치는, ⅰ) 내부에 공급 유로와 저장 유로 및 배출 유로를 형성하며, 케리어 가스에 의해 이송된 유기 물질을 공급받아 유기 증기젯을 형성하는 노즐 블록과, ⅱ) 공급 유로와 저장 유로에 삽입되며 배출 유로보다 큰 직경의 마개부를 구비하는 노즐 본체와, 전기 신호에 따라 노즐 본체를 이동시켜 배출 유로를 개폐시키는 제어부를 포함하는 솔레노이드 밸브와, ⅲ) 노즐 블록에 설치되며, 솔레노이드 밸브의 턴-오프와 동시에 작동하여 배출 유로에 남은 유기 물질을 흡입하는 흡입부를 포함한다.An organic vapor jet printing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle block forming a supply flow path, a storage flow path, and a discharge flow path therein, and receiving an organic material transported by a carrier gas to form an organic vapor jet. And ii) a solenoid valve including a nozzle body inserted into the supply flow passage and the storage flow passage and having a stopper having a diameter larger than that of the discharge flow passage, and a control unit for moving the nozzle body in accordance with an electrical signal to open and close the discharge flow passage; It is installed in the nozzle block, and includes a suction unit for operating in conjunction with the turn-off of the solenoid valve to suck the remaining organic material in the discharge passage.

공급 유로와 저장 유로 및 배출 유로는 노즐 블록의 길이 방향을 따라 배치될 수 있으며, 저장 유로의 직경은 공급 유로의 직경 및 배출 유로의 직경보다 클 수 있다. 유기 증기젯 인쇄 장치는 노즐 블록에 설치된 히터를 더 포함할 수 있다.The supply passage, the storage passage and the discharge passage may be disposed along the length direction of the nozzle block, and the diameter of the storage passage may be larger than the diameter of the supply passage and the diameter of the discharge passage. The organic vapor jet printing apparatus may further include a heater installed in the nozzle block.

노즐 블록은 배출 유로와 이어지는 흡입 유로를 형성할 수 있으며, 흡입부는 노즐 블록에 일체형으로 설치될 수 있다. 이 경우, 흡입부는 진공 발생기와, 흡입 유로와 진공 발생기를 연결하는 흡입 배관과, 흡입 배관에 설치된 개폐 밸브를 포함할 수 있다.The nozzle block may form a suction passage leading to the discharge passage, and the suction unit may be integrally installed in the nozzle block. In this case, the suction unit may include a vacuum generator, a suction pipe connecting the suction flow path and the vacuum generator, and an on / off valve provided in the suction pipe.

흡입 유로는 배출 유로의 하단부와 가까운 노즐 블록의 아래 부분에 위치할 수 있다. 개폐 밸브는 제어부와 전기적으로 연결되어 솔레노이드 밸브와 연동할 수 있다.The suction passage may be located at a lower portion of the nozzle block close to the lower end of the discharge passage. The on / off valve may be electrically connected to the control unit to interlock with the solenoid valve.

다른 한편으로, 흡입부는 노즐 블록의 하부에서 노즐 블록에 분리형으로 설치될 수 있다. 이 경우, 흡입부는 진공 발생기와, 진공 발생기에 연결된 흡입 배관과, 흡입 배관에 설치된 개폐 밸브를 포함할 수 있다.On the other hand, the suction unit may be installed detachably to the nozzle block at the bottom of the nozzle block. In this case, the suction unit may include a vacuum generator, a suction pipe connected to the vacuum generator, and an open / close valve installed on the suction pipe.

흡입 배관은 배출 유로의 직하부에서 수평 방향을 따라 노즐 블록으로부터 이격된 곳에 위치할 수 있다. 개폐 밸브는 제어부와 전기적으로 연결되어 솔레노이드 밸브와 연동할 수 있다. 유기 증기젯 인쇄 장치는 노즐 블록과 흡입 배관 사이에 설치된 고정 블록을 더 포함할 수 있다.The suction pipe may be located directly below the discharge flow path and spaced apart from the nozzle block in the horizontal direction. The on / off valve may be electrically connected to the control unit to interlock with the solenoid valve. The organic vapor jet printing apparatus may further include a fixing block installed between the nozzle block and the suction pipe.

본 발명의 실시예들에 따르면, 솔레노이드 밸브의 작동으로 배출 유로를 막은 이후 배출 유로에 남은 유기 물질을 흡입하여 제거할 수 있다. 따라서 솔레노이드 밸브의 턴-오프와 동시에 유기 증기젯의 분사를 정확하게 중지시킬 수 있으므로 유기막의 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있다.According to embodiments of the present invention, the organic material remaining in the discharge passage may be sucked and removed after the discharge passage is blocked by the operation of the solenoid valve. Therefore, since the spraying of the organic vapor jet can be stopped accurately at the same time as the solenoid valve is turned off, the pattern precision of the organic film can be improved.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 증기젯 인쇄 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 유기 증기젯 인쇄 장치의 턴-온 상태를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 유기 증기젯 인쇄 장치의 턴-오프 상태를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 증기젯 인쇄 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic vapor jet printing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a turn-on state of the organic vapor jet printing apparatus illustrated in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view illustrating a turn-off state of the organic vapor jet printing apparatus illustrated in FIG. 1.
4 is a cross-sectional view of an organic vapor jet printing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 증기젯 인쇄 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic vapor jet printing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 제1 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100)는 소스 셀(11), 노즐 블록(20), 솔레노이드 밸브(30), 및 흡입부(40)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the organic vapor jet printing apparatus 100 of the first embodiment includes a source cell 11, a nozzle block 20, a solenoid valve 30, and a suction part 40.

소스 셀(11)은 내부에 유기 물질을 담고 있으며, 일측에 케리어 가스 주입구를 형성하여 도시하지 않은 케리어 가스 탱크로부터 케리어 가스를 제공받는다. 케리어 가스는 불활성 가스로서, 질소 가스가 사용될 수 있다. 케리어 가스는 소스 셀(11) 내부의 유기 물질을 노즐 블록(20)으로 이송하는 역할을 한다.The source cell 11 contains an organic material therein, and forms a carrier gas inlet on one side to receive carrier gas from a carrier gas tank (not shown). The carrier gas is an inert gas, and nitrogen gas may be used. The carrier gas serves to transfer the organic material inside the source cell 11 to the nozzle block 20.

소스 셀(11)은 연결관(12)을 통해 노즐 블록(20)과 연결된다. 노즐 블록(20)은 내부에 증기젯 유로(21)를 형성하며, 케리어 가스에 의해 이송된 유기 물질을 가열하여 유기 증기젯을 형성하기 위한 히터(22)를 구비한다. 히터(22)는 증기젯 유로(21)를 둘러싸도록 노즐 블록(20) 내부에 설치되거나, 노즐 블록(20)의 외주면과 접하도록 노즐 블록(20)의 외부에 설치될 수 있다. 도 1에서는 노즐 블록(20)의 외부에 설치된 히터(22)를 예로 들어 도시하였다.The source cell 11 is connected with the nozzle block 20 through the connection pipe 12. The nozzle block 20 forms a steam jet flow path 21 therein, and includes a heater 22 for heating the organic material transferred by the carrier gas to form an organic vapor jet. The heater 22 may be installed inside the nozzle block 20 so as to surround the steam jet flow path 21, or may be installed outside the nozzle block 20 so as to contact an outer circumferential surface of the nozzle block 20. In FIG. 1, a heater 22 installed outside the nozzle block 20 is illustrated as an example.

증기젯 유로(21)는 노즐 블록(20)의 길이 방향을 따라 노즐 블록(20)을 관통하도록 형성된다. 증기젯 유로(21)는 직경이 서로 다른 공급 유로(211)와 저장 유로(212) 및 배출 유로(213)가 이어진 형상으로 이루어질 수 있다. 이때 가운데 위치하는 저장 유로(212)가 가장 큰 직경을 가지며, 배출 유로(213)는 저장 유로(212)보다 작은 직경을 가질 수 있다. 연결관(12)은 공급 유로(211)와 이어진다.The steam jet passage 21 is formed to penetrate the nozzle block 20 along the length direction of the nozzle block 20. The steam jet passage 21 may have a shape in which a supply passage 211 having a different diameter and a storage passage 212 and a discharge passage 213 are connected to each other. In this case, the storage flow path 212 positioned at the center may have the largest diameter, and the discharge flow path 213 may have a diameter smaller than that of the storage flow path 212. The connecting pipe 12 is connected to the supply flow passage 211.

유기 증기젯의 분사는 솔레노이드 밸브(30)에 의해 제어된다. 솔레노이드 밸브(30)는 노즐 블록(20)의 공급 유로(211)와 저장 유로(212)에 삽입되며 배출 유로(213)보다 큰 직경의 마개부(31)를 가지는 노즐 본체(32)와, 노즐 본체(32)에 연결되며 전기 신호에 따라 노즐 본체(32)를 이동시켜 배출 유로(213)를 개폐시키는 솔레노이드 구동부(33) 및 제어부(34)를 포함한다.Injection of the organic vapor jet is controlled by the solenoid valve 30. The solenoid valve 30 is inserted into the supply flow passage 211 and the storage flow passage 212 of the nozzle block 20, and has a nozzle body 32 having a plug portion 31 having a diameter larger than that of the discharge flow passage 213, and a nozzle. It is connected to the main body 32 and includes a solenoid drive unit 33 and the control unit 34 to move the nozzle body 32 in accordance with the electrical signal to open and close the discharge flow path (213).

흡입부(40)는 노즐 블록(20)에 일체형으로 구비된다. 이를 위해 노즐 블록(20)은 배출 유로(213) 중 기판(13)과 가까운 아래 부분에 흡입 유로(23)를 형성한다. 흡입 유로(23)는 배출 유로(213)에 수직하게 배치될 수 있다. 흡입부(40)는 진공 발생기(41), 흡입 배관(42), 및 개폐 밸브(43)를 포함한다. 흡입 배관(42)은 흡입 유로(23)와 진공 발생기(41) 사이에 위치하며, 개폐 밸브(43)는 흡입 배관(42)에 설치되어 흡입 배관(42)의 개폐를 제어한다.The suction part 40 is provided integrally with the nozzle block 20. To this end, the nozzle block 20 forms a suction passage 23 in a lower portion of the discharge passage 213 close to the substrate 13. The suction passage 23 may be disposed perpendicular to the discharge passage 213. The suction part 40 includes a vacuum generator 41, a suction pipe 42, and an open / close valve 43. The suction pipe 42 is located between the suction flow path 23 and the vacuum generator 41, and the opening and closing valve 43 is installed in the suction pipe 42 to control the opening and closing of the suction pipe 42.

도 2와 도 3은 각각 도 1에 도시한 유기 증기젯 인쇄 장치의 턴-온 상태와 턴-오프 상태를 나타낸 단면도이다.2 and 3 are cross-sectional views showing the turn-on and turn-off states of the organic vapor jet printing apparatus shown in FIG. 1, respectively.

도 2를 참고하면, 소스 셀(11)로 케리어 가스가 분사되면 케리어 가스가 소스 셀(11)의 유기 물질을 노즐 블록(20)으로 이송하고, 노즐 블록(20)은 히터(22)의 작동으로 유기 물질을 가열하여 유기 증기젯을 형성한다. 그리고 솔레노이드 밸브(30)는 전기 신호에 의해 턴-온되어 밸브 본체(32)를 상승시킴으로써 배출 유로(213)를 개방시킨다. 그러면 노즐 블록(20) 내부의 유기 증기젯이 배출 유로(213)를 통해 기판(13) 상으로 분사된다. 이때 흡입부(40)의 개폐 노즐(43)은 닫힌 상태를 유지한다.Referring to FIG. 2, when the carrier gas is injected into the source cell 11, the carrier gas transfers the organic material of the source cell 11 to the nozzle block 20, and the nozzle block 20 operates the heater 22. The organic material is heated to form an organic vapor jet. The solenoid valve 30 is turned on by the electrical signal to open the discharge flow passage 213 by raising the valve body 32. Then, the organic vapor jet inside the nozzle block 20 is injected onto the substrate 13 through the discharge passage 213. At this time, the opening and closing nozzle 43 of the suction unit 40 maintains a closed state.

기판(13)은 냉각된 상태이며, 기판(13) 상에 분사된 유기 증기젯은 바로 응축되어 소정 두께의 유기막(14)을 형성한다. 기판(13)은 도시하지 않은 스테이지에 장착되어 스테이지 구동에 의해 이동하면서 소정 모양의 유기막 패턴을 형성할 수 있다. 다른 한편으로, 유기 증기젯 인쇄 장치(100)가 도시하지 않은 이동 장치에 장착되어 노즐 블록(20)이 이동하면서 소정 모양의 유기막 패턴을 형성할 수 있다.The substrate 13 is in a cooled state, and the organic vapor jet injected onto the substrate 13 immediately condenses to form an organic film 14 having a predetermined thickness. The substrate 13 may be mounted on a stage (not shown) and moved by stage driving to form an organic film pattern having a predetermined shape. On the other hand, the organic vapor jet printing apparatus 100 may be mounted on a moving device (not shown) to form an organic film pattern having a predetermined shape while the nozzle block 20 moves.

도 3을 참고하면, 원하는 모양의 유기막(14) 형성 후 솔레노이드 밸브(30)는 전기 신호에 의해 턴-오프되어 밸브 본체(32)를 하강시킴으로써 배출 유로(213)를 폐쇄시킨다. 그러면 노즐 블록(20) 내부의 유기 증기젯은 기판(13)으로 분사되지 못하고 저장 유로(212)에 갇혀 있게 된다. 그런데 솔레노이드 밸브(30)의 작동으로 배출 유로(213)를 막아 증기젯 분사를 중지시키더라도 배출 유로(213)에 유기 물질이 잔류하게 된다.Referring to FIG. 3, after the formation of the organic film 14 having a desired shape, the solenoid valve 30 is turned off by an electrical signal to close the discharge passage 213 by lowering the valve body 32. Then, the organic vapor jet inside the nozzle block 20 is not injected to the substrate 13 and is confined in the storage flow path 212. However, even though the discharge passage 213 is blocked by the operation of the solenoid valve 30 to stop the jet jet, organic substances remain in the discharge passage 213.

제1 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100)는 솔레노이드 밸브(30)의 턴-오프와 동시에 흡입부(40)의 개폐 밸브(43)가 개방되어 배출 유로(213)에 남은 유기 물질을 진공 흡입력에 의해 모두 흡입한다. 이를 위해 개폐 밸브(43)는 제어부(34)와 전기적으로 연결되어 솔레노이드 밸브(30)와 연동할 수 있다. 또한, 개폐 밸브(43)는 미리 설정된 시간만큼 개방되어 배출 유로(213)의 유기 물질을 흡입한 이후 자동으로 닫힐 수 있다.In the organic vapor jet printing apparatus 100 of the first embodiment, at the same time as the solenoid valve 30 is turned off, the opening / closing valve 43 of the suction part 40 is opened to vacuum the organic material remaining in the discharge flow path 213. Inhale all by. To this end, the opening and closing valve 43 may be electrically connected to the control unit 34 to interlock with the solenoid valve 30. In addition, the open / close valve 43 may be opened for a predetermined time and automatically closed after inhaling the organic material in the discharge passage 213.

따라서 제1 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100)는 솔레노이드 밸브(30)의 작동으로 배출 유로(213)를 막은 이후 배출 유로(213)에 유기 물질이 잔류하지 않는다. 그 결과 솔레노이드 밸브(30)의 턴-오프와 동시에 유기 증기젯 분사를 정확하게 중지시킬 수 있으므로, 유기막(14)의 패턴 정밀도를 효과적으로 향상시킬 수 있다.Therefore, in the organic vapor jet printing apparatus 100 of the first embodiment, no organic substance remains in the discharge passage 213 after the discharge passage 213 is blocked by the operation of the solenoid valve 30. As a result, since the organic vapor jet injection can be stopped accurately at the same time as the solenoid valve 30 is turned off, the pattern precision of the organic film 14 can be effectively improved.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 증기젯 인쇄 장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an organic vapor jet printing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참고하면, 제2 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(200)는 흡입부(410)가 노즐 블록(20)의 하부에서 노즐 블록(20)과 떨어져 위치하는 것을 제외하고 전술한 제1 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100)와 동일한 구성으로 이루어진다. 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용한다.Referring to FIG. 4, the organic vapor jet printing apparatus 200 of the second embodiment includes the first embodiment described above, except that the suction unit 410 is separated from the nozzle block 20 at the lower portion of the nozzle block 20. The organic vapor jet printing apparatus 100 has the same configuration as the example. The same reference numerals are used for the same members as in the first embodiment.

제2 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100)에서 노즐 블록(20)은 흡입 유로를 형성하지 않는다. 그리고 흡입부(410)의 흡입 배관(42)은 노즐 블록(20)의 하부, 구체적으로 배출 유로(213)의 직하부에서 수평 방향을 따라 소정 거리 이격된 곳에 위치한다. 따라서 흡입 배관(42)은 노즐 블록(20)에서 분사되는 유기 증기젯의 경로를 방해하지 않는다. 노즐 블록(20)과 흡입 배관(42) 사이에는 고정 블록(15)이 위치하여 노즐 블록(20)과 흡입 배관(42)을 일체로 고정시킬 수 있다.In the organic vapor jet printing apparatus 100 of the second embodiment, the nozzle block 20 does not form a suction passage. In addition, the suction pipe 42 of the suction unit 410 is positioned below the nozzle block 20, in particular, a portion spaced apart from the discharge channel 213 by a predetermined distance along the horizontal direction. Therefore, the suction pipe 42 does not obstruct the path of the organic vapor jet injected from the nozzle block 20. The fixing block 15 may be positioned between the nozzle block 20 and the suction pipe 42 to integrally fix the nozzle block 20 and the suction pipe 42.

제2 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(200) 또한 솔레노이드 밸브(30)의 턴-오프와 동시에 흡입부(410)의 개폐 밸브(43)가 개방되어 배출 유로(213)에 남은 유기 물질이 배출될 때 이를 진공 흡입력에 의해 흡입한다. 그 결과, 솔레노이드 밸브(30)의 턴-오프 이후 배출 유로(213)에 남은 유기 물질은 기판(13) 상에 증착되지 않는다.The organic vapor jet printing apparatus 200 according to the second embodiment also opens and closes the valve 43 of the suction part 410 at the same time as the solenoid valve 30 is turned off so that the organic substance remaining in the discharge passage 213 can be discharged. When it is sucked by the vacuum suction force. As a result, the organic material remaining in the discharge passage 213 after the turn-off of the solenoid valve 30 is not deposited on the substrate 13.

전술한 제1 및 제2 실시예의 유기 증기젯 인쇄 장치(100, 200)는 도시하지 않은 진공 챔버 내부에 장착될 수 있다. 솔레노이드 밸브(20)는 디지털 신호에 의해 제어되어 드롭 온 디멘드(drop on demand)를 구현한다.The organic vapor jet printing apparatuses 100 and 200 of the first and second embodiments described above may be mounted in a vacuum chamber (not shown). The solenoid valve 20 is controlled by a digital signal to implement drop on demand.

예를 들어, 노즐 블록(20)의 온도는 상온 내지 500℃일 수 있고, 대략 100℃ 내지 400℃일 수 있다. 기판(13)의 온도는 0℃ 내지 100℃ 사이일 수 있다. 노즐 블록(20)의 배출 유로(213) 직경은 형성하고자 하는 유기막의 폭에 따라 결정되는데, 표시 장치용 유기막을 형성하는 경우를 가정하면 대략 10μm 내지 500μm일 수 있다. 노즐 블록(20)의 하부 끝단과 기판(13) 사이의 거리는 배출 유로(213)의 직경과 유사하게 설정될 수 있다.For example, the temperature of the nozzle block 20 may be from room temperature to 500 ° C, and may be approximately 100 ° C to 400 ° C. The temperature of the substrate 13 may be between 0 ° C and 100 ° C. The diameter of the discharge passage 213 of the nozzle block 20 is determined according to the width of the organic film to be formed, and may be approximately 10 μm to 500 μm assuming the case of forming the organic film for the display device. The distance between the lower end of the nozzle block 20 and the substrate 13 may be set to be similar to the diameter of the discharge passage 213.

전술한 노즐 블록(20)의 온도, 기판(13)의 온도, 및 배출 유로(213)의 직경 등은 전술한 예에 한정되지 않으며, 경우에 따라 다양하게 변할 수 있다. The above-mentioned temperature of the nozzle block 20, the temperature of the substrate 13, the diameter of the discharge flow path 213, and the like are not limited to the above-described examples, and may vary in some cases.

한편, 상기에서는 하나의 노즐 블록(20)에 하나의 증기젯 유로(21)와 하나의 솔레노이드 밸브(30)가 구비된 경우를 도시하였으나, 하나의 노즐 블록(20)에 복수의 증기젯 유로와 복수의 솔레노이드 밸브가 구비될 수 있다. 이 경우, 하나의 노즐 블록의 작동으로 여러 종류의 유기막 패턴을 동시에 형성할 수 있다.Meanwhile, in the above, although one steam jet flow path 21 and one solenoid valve 30 are provided in one nozzle block 20, a plurality of steam jet flow paths may be provided in one nozzle block 20. A plurality of solenoid valves may be provided. In this case, several types of organic film patterns can be simultaneously formed by operation of one nozzle block.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

100: 유기 증기젯 인쇄 장치 11: 소스 셀
20: 노즐 블록 21: 증기젯 유로
22: 히터 23: 흡입 유로
30: 솔레노이드 밸브 31: 마개부
32: 노즐 본체 33: 솔레노이드 구동부
34: 제어부 40: 흡입부
41: 진공 발생기 42: 흡입 배관
43: 개폐 밸브100: organic vapor jet printing apparatus 11: source cell
20: nozzle block 21: steam jet flow path
22: heater 23: suction flow path
30: solenoid valve 31: plug
32: nozzle body 33: solenoid drive unit
34: control part 40: suction part
41: vacuum generator 42: suction pipe
43: on-off valve

Claims (12)

내부에 공급 유로와 저장 유로 및 배출 유로를 형성하며, 케리어 가스에 의해 이송된 유기 물질을 공급받아 유기 증기젯을 형성하는 노즐 블록;
상기 공급 유로와 상기 저장 유로에 삽입되며 상기 배출 유로보다 큰 직경의 마개부를 구비하는 노즐 본체와, 전기 신호에 따라 상기 노즐 본체를 이동시켜 상기 배출 유로를 개폐시키는 제어부를 포함하는 솔레노이드 밸브; 및
상기 노즐 블록에 설치되며, 상기 솔레노이드 밸브의 턴-오프와 동시에 작동하여 상기 배출 유로에 남은 유기 물질을 흡입하는 흡입부
를 포함하는 유기 증기젯 인쇄 장치.A nozzle block forming a supply flow path, a storage flow path, and a discharge flow path therein and receiving an organic material transferred by a carrier gas to form an organic vapor jet;
A solenoid valve including a nozzle body inserted into the supply flow path and the storage flow path and having a stopper having a diameter larger than that of the discharge flow path, and a control unit which moves the nozzle body according to an electrical signal to open and close the discharge flow path; And
A suction unit installed in the nozzle block and operating at the same time as the turn-off of the solenoid valve to suck organic substances remaining in the discharge passage
Organic steam jet printing apparatus comprising a. 제1항에 있어서,
상기 공급 유로와 상기 저장 유로 및 상기 배출 유로는 상기 노즐 블록의 길이 방향을 따라 배치되며,
상기 저장 유로의 직경이 상기 공급 유로의 직경 및 상기 배출 유로의 직경보다 큰 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 1,
The supply flow passage, the storage flow passage and the discharge flow passage are disposed along a length direction of the nozzle block.
And the diameter of the storage flow passage is larger than the diameter of the supply flow passage and the diameter of the discharge flow passage. 제2항에 있어서,
상기 노즐 블록에 설치된 히터를 더 포함하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 2,
An organic vapor jet printing apparatus further comprising a heater installed in the nozzle block. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐 블록은 상기 배출 유로와 이어지는 흡입 유로를 형성하며,
상기 흡입부는 상기 노즐 블록에 일체형으로 설치되는 유기 증기젯 인쇄 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The nozzle block forms a suction flow path leading to the discharge flow path,
The suction unit is an organic vapor jet printing apparatus which is integrally installed on the nozzle block. 제4항에 있어서,
상기 흡입부는,
진공 발생기;
상기 흡입 유로와 상기 진공 발생기를 연결하는 흡입 배관; 및
상기 흡입 배관에 설치된 개폐 밸브
를 포함하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 4, wherein
The suction unit,
A vacuum generator;
A suction pipe connecting the suction path and the vacuum generator; And
On-off valve installed in the suction pipe
Organic steam jet printing apparatus comprising a. 제5항에 있어서,
상기 흡입 유로는 상기 배출 유로의 하단부와 가까운 상기 노즐 블록의 아래 부분에 위치하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 5,
And the suction flow path is located at a lower portion of the nozzle block close to the lower end of the discharge flow path. 제5항에 있어서,
상기 개폐 밸브는 상기 제어부와 전기적으로 연결되어 상기 솔레노이드 밸브와 연동하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 5,
The on-off valve is electrically connected to the control unit is an organic vapor jet printing apparatus interlocked with the solenoid valve. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡입부는 상기 노즐 블록의 하부에서 상기 노즐 블록에 분리형으로 설치되는 유기 증기젯 인쇄 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The suction unit is an organic vapor jet printing apparatus installed in the nozzle block in the lower portion of the nozzle block. 제8항에 있어서,
상기 흡입부는,
진공 발생기;
상기 진공 발생기에 연결된 흡입 배관; 및
상기 흡입 배관에 설치된 개폐 밸브
를 포함하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 8,
The suction unit,
A vacuum generator;
A suction pipe connected to the vacuum generator; And
On-off valve installed in the suction pipe
Organic steam jet printing apparatus comprising a. 제9항에 있어서,
상기 흡입 배관은 상기 배출 유로의 직하부에서 수평 방향을 따라 상기 노즐 블록에서 이격된 곳에 위치하는 유기 증기젯 인쇄 장치.10. The method of claim 9,
And the suction pipe is positioned at a position spaced apart from the nozzle block in a horizontal direction directly under the discharge passage. 제9항에 있어서,
상기 개폐 밸브는 상기 제어부와 전기적으로 연결되어 상기 솔레노이드 밸브와 연동하는 유기 증기젯 인쇄 장치.10. The method of claim 9,
The on-off valve is electrically connected to the control unit is an organic vapor jet printing apparatus interlocked with the solenoid valve. 제8항에 있어서,
상기 노즐 블록과 상기 흡입 배관 사이에 설치된 고정 블록을 더 포함하는 유기 증기젯 인쇄 장치.The method of claim 8,
An organic vapor jet printing apparatus further comprising a fixing block installed between the nozzle block and the suction pipe.
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