KR101101489B1 - Laminated Ceramic Body and Manufacturing method of Sintered Ceramic Body - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세라믹 적층체 및 세라믹 소결체의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 측면은, 제1 세라믹 입자와 글라스 입자를 구비하는 하나 이상의 세라믹 시트 및 상기 세라믹 시트와 접촉된 상태에서 교대로 적층되며 상기 세라믹 시트의 소결 온도보다 높은 온도에서 소결되는 특성을 갖는 제2 세라믹 입자를 구비하는 하나 이상의 구속용 시트를 포함하며, 상기 글라스 입자의 입경 및 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 상기 제2 세라믹 입자의 입경보다 큰 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체를 제공한다.The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic laminate and a ceramic sintered body, in which an aspect of the present invention is alternately laminated in contact with at least one ceramic sheet including first ceramic particles and glass particles and the ceramic sheet. At least one restraining sheet having a second ceramic particles having a characteristic of sintering at a temperature higher than the sintering temperature of the ceramic sheet, wherein the particle diameter of the glass particles and the particle diameter of the first ceramic particles is the second ceramic particles It provides a ceramic laminate, characterized in that it is larger than the particle size of.

본 발명에 따르면, 소성 시 세라믹 적층체에 구속력을 균일하게 미칠 수 있는 구속용 시트를 구비하는 세라믹 적층체를 얻을 수 있다.According to the present invention, it is possible to obtain a ceramic laminate having a restraining sheet capable of uniformly restraining the ceramic laminate upon firing.

세라믹, LTCC, 소결, 글라스, 무수축, 구속력 Ceramic, LTCC, Sintered, Glass, No Shrinkage, Binding

Description

세라믹 적층체 및 세라믹 소결체의 제조방법{Laminated Ceramic Body and Manufacturing method of Sintered Ceramic Body}Laminated Ceramic Body and Manufacturing method of Sintered Ceramic Body}

본 발명은 세라믹 적층체 및 세라믹 소결체의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a ceramic laminate and a ceramic sintered body.

일반적으로, 다층 세라믹 기판은 반도체 IC 칩과 같은 능동 소자와 캐패시터, 인덕터 및 저항과 같은 수동소자를 복합화한 부품으로 사용되거나, 또는 단순한 반도체 IC 패키지로 사용되고 있다. 보다 구체적으로, 상기 다층 세라믹 기판은 PA 모듈 기판, RF 다이오드 스위치, 필터, 칩 안테나, 각종 패키지 부품, 복합 디바이스 등 다양한 전자 부품을 구성하기 위하여 널리 사용되고 있다. In general, a multilayer ceramic substrate is used as a composite component of an active element such as a semiconductor IC chip and a passive element such as a capacitor, an inductor, and a resistor, or a simple semiconductor IC package. More specifically, the multilayer ceramic substrate is widely used to configure various electronic components such as PA module substrates, RF diode switches, filters, chip antennas, various package components, and composite devices.

이러한 다층 세라믹 기판을 얻기 위해서는, 배선 도체가 형성된 유전체 시트를 적층하고 우수한 특성을 얻기 위하여 반드시 소결 공정을 거쳐야 하는데, 이와 같은 소결 공정을 거치게 되면 세라믹의 소결에 의한 수축이 발생한다. 이러한 수축은 다층 세라믹 기판 전체에 있어서 균일하게 발생하기 어려워 세라믹층의 면 방향에 관하여 치수 변형을 가져온다. 또한, 면 방향으로의 수축은 배선 도체에 있어서 원하지 않는 변형이나 일그러짐을 발생시키며, 보다 구체적으로는, 다층 세라믹 기판상에 탑재되는 칩 부품 등의 접속을 위한 외부전극의 위치 정밀도가 저하되거 나, 배선 도체에 있어서 단선이 발생하는 경우가 있다.In order to obtain such a multilayer ceramic substrate, a dielectric sheet on which wiring conductors are formed must be laminated and a sintering process must be performed in order to obtain excellent characteristics. When such a sintering process is performed, shrinkage due to sintering of a ceramic occurs. Such shrinkage is less likely to occur uniformly throughout the multilayer ceramic substrate, resulting in dimensional deformation with respect to the plane direction of the ceramic layer. Further, shrinkage in the plane direction causes undesired deformation and distortion in the wiring conductor, and more specifically, the positional accuracy of the external electrodes for connection of chip components or the like mounted on the multilayer ceramic substrate is degraded, Disconnection may occur in the wiring conductor.

이와 같이 면 방향으로의 수축이 생기면 부품의 실장 시에 도체 패턴과의 사이에 어긋남이 발생하여, CSP(Chip Size Package), MCM(Multi-Chip Modules) 등 반도체칩을 높은 정밀도로 실장 하는 것이 불가능하게 된다. 그래서, 근래에 다층 세라믹 기판 제조시, 소결 공정에 있어서 면 방향으로의 수축을 없애기 위한, 이른바 무수축 공법을 적용하는 것이 제안되고 있다.As such, shrinkage in the plane direction causes a gap between the conductor patterns and the mounting of components, and it is impossible to mount semiconductor chips such as CSP (Chip Size Package) and MCM (Multi-Chip Modules) with high accuracy. Done. Therefore, in recent years, when manufacturing a multilayer ceramic substrate, it is proposed to apply what is called a non-shrinkage method in order to eliminate shrinkage to a surface direction in a sintering process.

일반적으로 적용되고 있는 무수축 공법은 900℃ 이하에서 소결되지 않는 세라믹인 알루미나 파우더를 이용하여 구속용 시트를 제작하고, 이를 저온소결이 가능한 세라믹(LTCC) 유전체 시트의 상부 및 하부에 적층하고, 적층된 세라믹 기판의 상하부에 무게를 가하여 가소, 소결한 후 상기 구속용 시트를 제거하여 세라믹 기판을 얻는 방법이다. 도 1은 일반적인 무수축 세라믹 기판 제조방법 중 일 공정을 나타내는 단면도이다. 복수의 세라믹 시트가 적층된 세라믹 적층체(10)의 최상면 및 최하면에는 상기 세라믹 적층체(10)의 소결 온도에서 소결되지 않는 구속용 시트(11)가 배치되며, 상기 구속용 시트(11)는 소성 과정에서 상기 세라믹 적층체(10)의 면 방향 수축을 억제할 수 있다. In general, the non-shrinkage method is applied to produce a restraint sheet using alumina powder, which is a ceramic that is not sintered at 900 ° C. or lower, and then laminated on the upper and lower parts of a low-temperature sinterable ceramic (LTCC) dielectric sheet. A method of obtaining a ceramic substrate by removing the restraining sheet after calcining and sintering by applying weight to upper and lower portions of the ceramic substrate. 1 is a cross-sectional view showing one step in a general non-shrink ceramic substrate manufacturing method. The restraining sheet 11 which is not sintered at the sintering temperature of the ceramic laminate 10 is disposed on the top and bottom surfaces of the ceramic laminate 10 in which a plurality of ceramic sheets are stacked, and the restraining sheet 11 is disposed. In the firing process, it is possible to suppress the shrinkage in the plane of the ceramic laminate 10.

그러나, 도 1에서 설명한 무수축 공정의 경우, 구속용 시트(11)에 인접한 세라믹 시트에는 구속력이 크게 작용하나 세라믹 적층체(10)의 내부에서는 상대적으 로 구속력이 약하게 작용한다. 이와 같이 세라믹 적층체(10)에 작용하는 구속력이 불균일하게 됨에 따라 내부에서의 응력 불균형이 발생하여 소결 후 세라믹 소자의 신뢰성이 나빠질 수 있으며, 이러한 문제는 세라믹 적층체(10)의 두께가 두꺼울 경우 더욱 심해진다.However, in the non-shrinkage process described with reference to FIG. 1, the restraining force acts largely on the ceramic sheet adjacent to the restraining sheet 11, but relatively restraints within the ceramic laminate 10. As such, as the restraining force acting on the ceramic laminate 10 becomes uneven, stress imbalance may occur within the ceramic laminate 10, thereby deteriorating reliability of the ceramic device after sintering. This problem may occur when the thickness of the ceramic laminate 10 is thick. It gets worse.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 소성 시 세라믹 적층체에 구속력을 균일하게 미칠 수 있는 구속용 시트를 구비하는 세라믹 적층체를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 이러한 세라믹 적층체를 소결하여 얻을 수 있는 세라믹 소결체의 제조방법을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to provide a ceramic laminate having a restraining sheet capable of uniformly restraining the ceramic laminate during firing. Another object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic sintered body which can be obtained by sintering such a ceramic laminate.

상기 기술적 과제를 실현하기 위해서, 본 발명의 일 측면은,In order to realize the above technical problem, an aspect of the present invention,

제1 세라믹 입자와 2 ~ 10wt%의 ZnO를 포함하는 글라스 입자를 구비하는 하나 이상의 세라믹 시트 및 상기 세라믹 시트와 접촉된 상태에서 교대로 적층되며 제2 세라믹 입자를 구비하는 하나 이상의 구속용 시트를 포함하며, 기 글라스 입자의 입경 및 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 상기 제2 세라믹 입자의 입경보다 크되, 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 이상이고, 상기 글라스 입자의 입경은 1 ~ 10㎛이며, 상기 제2 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체를 제공한다.One or more ceramic sheets including first ceramic particles and glass particles comprising 2 to 10 wt% ZnO, and one or more restraining sheets alternately stacked in contact with the ceramic sheet and having second ceramic particles. The particle diameter of the glass particles and the particle size of the first ceramic particles are larger than the particle diameter of the second ceramic particles, the particle diameter of the first ceramic particles is 1㎛ or more, the particle diameter of the glass particles is 1 ~ 10㎛ And, the particle diameter of the second ceramic particles provides a ceramic laminate, characterized in that less than 1㎛.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 세라믹 시트 및 상기 구속용 시트는 도전 패턴 및 도전성 비아를 구비할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the ceramic sheet and the restraining sheet may include a conductive pattern and a conductive via.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 세라믹 시트의 두께는 20 ~ 200㎛인 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the thickness of the ceramic sheet is preferably 20 ~ 200㎛.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 구속용 시트의 두께는 20㎛ 이하인 것이 바람직하다.In one embodiment of the invention, the thickness of the restraint sheet is preferably 20㎛ or less.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 세라믹 시트는 상기 구속용 시트보다 두꺼운 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the ceramic sheet is preferably thicker than the restraining sheet.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 제1 및 제2 세라믹 입자는 서로 동일한 물질로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first and second ceramic particles may be made of the same material.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 구속용 시트는 상기 제2 세라믹 입자와 유기 바인더로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the restraining sheet may be made of the second ceramic particles and the organic binder.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 글라스 입자는 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the glass particles may be made of (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 -based material.

이 경우, 상기 제1 세라믹 입자는 Al2O3로 이루어진 것이 바람직하다.In this case, the first ceramic particles are preferably made of Al 2 O 3 .

또한, 상기 글라스 입자는 상기 세라믹 시트에서 40 ~ 80wt%를 차지하며, 상기 제1 세라믹 입자는 상기 세라믹 시트에서 20 ~ 60%를 차지할 수 있다.In addition, the glass particles may occupy 40 to 80wt% in the ceramic sheet, and the first ceramic particles may occupy 20 to 60% in the ceramic sheet.

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본 발명의 다른 측면은, 제1 세라믹 입자 및 2 ~ 10wt%의 ZnO를 포함하는 글라스 입자를 구비하는 하나 이상의 세라믹 시트를 마련하는 단계와, 상기 글라스 입자의 입경 및 상기 제1 세라믹 입자의 입경보다 작은 입경을 갖는 제2 세라믹 입자를 구비하는 하나 이상의 구속용 시트를 마련하는 단계와, 상기 세라믹 시트 및 상기 구속용 시트를 서로 접촉된 상태에서 교대로 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계 및 상기 세라믹 시트의 소결 과정에서 상기 글라스 입자 중 상기 제1 세라믹 입자와 반응되지 않은 성분이 상기 구속용 시트로 이동하여 상기 구속용 시트가 소결되도록 상기 세라믹 적층체를 소결하는 단계를 포함하는 세라믹 소결체 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a ceramic sheet including at least one ceramic sheet including first ceramic particles and glass particles including 2 to 10 wt% of ZnO, the particle diameter of the glass particles and the particle diameter of the first ceramic particles. Providing at least one restraining sheet having second ceramic particles having a small particle diameter, alternately laminating the ceramic sheet and the restraining sheet in contact with each other to form a ceramic laminate, and the ceramic A method of manufacturing a ceramic sintered body comprising the step of sintering the ceramic laminate so that the components of the glass particles not reacted with the first ceramic particles in the sintering process are moved to the restraining sheet to sinter the restraining sheet. to provide.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 구속용 시트는 상기 세라믹 시트가 소결된 후에 소결되는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the restraining sheet may be sintered after the ceramic sheet is sintered.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 구속용 시트는 상기 세라믹 시트의 소결 온도에서 소결되는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the restraining sheet may be sintered at the sintering temperature of the ceramic sheet.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 글라스 입자는 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the glass particles may be made of (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 -based material.

이 경우, 상기 제1 세라믹 입자는 Al2O3로 이루어질 수 있다.In this case, the first ceramic particles may be made of Al 2 O 3 .

또한, 상기 글라스 입자는 상기 세라믹 시트에서 40 ~ 80wt%를 차지하며, 상기 제1 세라믹 입자는 상기 세라믹 시트에서 20 ~ 60%를 차지할 수 있다.In addition, the glass particles may occupy 40 to 80wt% in the ceramic sheet, and the first ceramic particles may occupy 20 to 60% in the ceramic sheet.

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또한, 상기 제1 세라믹 입자와 반응되지 않은 성분은 ZnO를 포함할 수 있다.In addition, the component that is not reacted with the first ceramic particles may include ZnO.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 이상이고, 상기 글라스 입자의 입경은 1 ~ 10㎛이며, 상기 제2 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 미만인 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the particle size of the first ceramic particles is 1㎛ or more, the particle size of the glass particles is 1 ~ 10㎛, it is preferable that the particle diameter of the second ceramic particles is less than 1㎛.

본 발명에 따르면, 소성 시 세라믹 적층체에 구속력을 균일하게 미칠 수 있는 구속용 시트를 구비하는 세라믹 적층체를 얻을 수 있다. 또한, 본 발명에서 제안하는 무수축 공정은 글라스의 이동에 의해 구속용 시트가 세라믹 시트의 소결 온도 부근에서 자연적으로 소결되도록 함으로써 소결 특성의 향상을 가져올 수 있다. 나아가, 구속용 시트를 소결 후에 따로 제거할 필요가 없으므로, 공정 편의성이 증대될 수 있다.According to the present invention, it is possible to obtain a ceramic laminate having a restraining sheet capable of uniformly restraining the ceramic laminate upon firing. In addition, the non-shrinkage process proposed in the present invention can lead to an improvement in the sintering characteristics by allowing the restraining sheet to naturally sinter near the sintering temperature of the ceramic sheet by the movement of the glass. Furthermore, since the restraint sheet does not need to be separately removed after sintering, process convenience can be increased.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태들을 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술 분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.However, embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for clarity, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 세라믹 적층체를 나타내는 단면도이며, 도 3은 도 2에서 세라믹 시트와 구속용 시트를 보다 상세히 나타낸 것이다. 우 선, 도 2를 참조하면, 본 실시 형태에 따른 세라믹 적층체(100)는 세라믹 시트(101) 및 구속용 시트(102)를 구비하되, 상기 세라믹 시트(101)와 구속용 시트(102)가 서로 접합된 상태에서 교대로 적층된 구조이다. 상기 세라믹 시트(101)는 글라스, 세라믹 필러, 유기 바인더 등을 구비하며, 당 기술 분야에서 공지된 닥터 블레이드 공법 등으로 얻어질 수 있다. 상기 구속용 시트(102)는 상기 세라믹 시트(101)의 소결 온도에서 소결되지 않도록 글라스의 함량이 매우 낮으며 세라믹 필러 및 유기 바인더를 구비한다. 이러한 구속용 시트(102)는 소결 과정에서 상기 세라믹 시트(101)에 구속력을 제공할 수 있다. 2 is a cross-sectional view showing a ceramic laminate according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 shows the ceramic sheet and the restraining sheet in FIG. 2 in more detail. First, referring to FIG. 2, the ceramic laminate 100 according to the present embodiment includes a ceramic sheet 101 and a restraining sheet 102, but includes the ceramic sheet 101 and a restraining sheet 102. Are laminated alternately in a state in which they are bonded to each other. The ceramic sheet 101 includes glass, a ceramic filler, an organic binder, and the like, and may be obtained by a doctor blade method known in the art. The restraining sheet 102 has a very low content of glass so as not to be sintered at the sintering temperature of the ceramic sheet 101 and includes a ceramic filler and an organic binder. The restraining sheet 102 may provide a restraining force to the ceramic sheet 101 during the sintering process.

이와 같이, 상기 세라믹 적층체(100)는 종래와 달리, 구속용 시트(102)가 세라믹 시트(101)의 사이 사이에 배치된 구조이며, 상기 구속용 시트(102)는 최종 소자, 즉, 세라믹 소결체에 남아 있게 된다. 이를 위해, 상기 세라믹 시트(101)와 구속용 시트(102)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 도전 패턴(103) 및 도전성 비아(104)를 구비할 수 있다. As described above, the ceramic laminate 100 has a structure in which the restraining sheet 102 is disposed between the ceramic sheets 101, and the restraining sheet 102 is a final device, that is, ceramics. It remains in the sintered body. To this end, the ceramic sheet 101 and the restraining sheet 102 may be provided with a conductive pattern 103 and a conductive via 104 as shown in FIG. 3.

구속용 시트(102)가 세라믹 시트(101)의 상하면에 모두 접하도록 배치됨에 따라 세라믹 시트(101)에 균일한 구속력을 제공할 수 있어 응력 불균형을 해소할 수 있으며, 소결 후에 구속용 시트(102)를 제거할 필요가 없으므로, 공정 편의성이 증대될 수 있다. 한편, 후술할 바와 같이, 소결 과정에서 글라스가 이동되어 오기는 하지만 세라믹 필러의 비율이 높은 구속용 시트(102)의 부피가 지나치게 클 경 우, 소결 후의 세라믹 소결체, 즉, 세라믹 기판의 물성이 저하될 수 있으므로, 상기 구속용 시트의 두께(t2)는 20㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 10㎛ 이하가 되도록 할 수 있으며, 이와 비교하여, 상기 세라믹 시트(101)의 두께(t1)는 20 ~ 200㎛로 다양하게 채용할 수 있다.As the restraining sheet 102 is disposed to be in contact with both the upper and lower surfaces of the ceramic sheet 101, it is possible to provide uniform restraining force to the ceramic sheet 101, thereby relieving stress imbalance, and restraining sheet 102 after sintering. ) Need not be removed, so process convenience can be increased. On the other hand, as will be described later, when the glass is moved during the sintering process, but the volume of the restraining sheet 102 having a high proportion of the ceramic filler is too large, the physical properties of the ceramic sintered body after sintering, that is, the ceramic substrate, are lowered. The thickness t2 of the restraint sheet may be 20 μm or less, more preferably 10 μm or less. In comparison, the thickness t1 of the ceramic sheet 101 is 20 to 200. Various micrometers can be employ | adopted.

상술한 바와 같이, 상기 구속용 시트(102)는 상기 세라믹 시트(101)의 소결 온도에서 소결하지 않는 세라믹 필러를 구비하지만, 상기 세라믹 시트(101)의 소결이 진행됨에 따라 상대적으로 낮은 온도에서 함께 소성될 수 있다. 이를 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4 및 도 5는 세라믹 시트와 구속용 시트를 구성하는 입자들을 확대하여 나타낸 것이다. 이 경우, 도 4는 도 2의 세라믹 적층체(101)를 소결 온도 이하로 유지한 상태이며, 도 5는 소결 과정에서 글라스 입자가 이동하는 모습을 나타낸다. 상기 세라믹 시트(101)가 소결되는 과정에서 상기 구속용 시트(102)가 소결되지 않은 상태로 유지되면서 상기 세라믹 시트(101)의 소결 온도보다 훨씬 높은 온도에서 소결될 경우에는 이미 소결된 세라믹 시트(101)의 소결 상태가 나빠질 수 있다. 이를 고려하여, 본 실시 형태에서는 세라믹 시트(101)의 소결 과정에서 글라스가 구속용 시트(102)로 이동될 수 있도록 하였다. As described above, the restraining sheet 102 is provided with a ceramic filler that does not sinter at the sintering temperature of the ceramic sheet 101, but together at a relatively low temperature as the sintering of the ceramic sheet 101 proceeds. Can be fired. This will be described with reference to FIGS. 4 and 5. 4 and 5 are enlarged views of the particles forming the ceramic sheet and the restraining sheet. In this case, FIG. 4 is a state in which the ceramic laminate 101 of FIG. 2 is maintained at a sintering temperature or lower, and FIG. 5 shows a state in which glass particles move during the sintering process. In the process of sintering the ceramic sheet 101, when the restraining sheet 102 is sintered at a temperature much higher than the sintering temperature of the ceramic sheet 101 while the restraining sheet 102 is unsintered, 101 may worsen the sintered state. In consideration of this, in the present embodiment, the glass can be moved to the restraining sheet 102 in the sintering process of the ceramic sheet 101.

만약, 세라믹 시트(101)를 구성하는 글라스 입자(G)가 소결 과정에서 구속용 시트(102)로 이동된다면 상기 구속용 시트(102)의 소결 온도는 점차 저하되어 상기 세라믹 시트(101)의 소결 온도와 근접한 온도에서 소결될 수 있으므로, 세라믹 소 결체의 소결 균일성을 확보할 수 있다. 이를 위해, 상기 세라믹 시트(101)에 포함된 글라스 입자(G)의 직경(D1)과 세라믹 필러를 이루는 세라믹 입자(제1 세라믹 입자, C1)의 직경(D3)은 구속용 시트(102)에 포함된 세라믹 입자(제2 세라믹 입자, C2)의 직경(D2)보다 커야 하며, 이는 소결 과정에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 모세관 현상을 이용하여 글라스 입자(G)의 이동을 촉진하기 위한 것이다. If the glass particles G constituting the ceramic sheet 101 are moved to the restraining sheet 102 in the sintering process, the sintering temperature of the restraining sheet 102 is gradually lowered to sinter the ceramic sheet 101. Since it can be sintered at a temperature close to the temperature, it is possible to ensure the sintering uniformity of the ceramic sintered body. To this end, the diameter (D1) of the glass particles (G) included in the ceramic sheet 101 and the diameter (D3) of the ceramic particles (first ceramic particles, C1) constituting the ceramic filler is in the restraining sheet (102) It should be larger than the diameter (D2) of the included ceramic particles (second ceramic particles, C2), which is used to promote the movement of the glass particles (G) using a capillary phenomenon, as shown in FIG. will be.

구체적으로, 상기 글라스 입자(G)의 입경(D1)은 1 ~ 10㎛ 정도로 채용함이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2.5㎛ 내외가 되도록 하는 것이다. 상기 제1 세라믹 입자(C1)는 소결 특성 상 상기 글라스 입자(G)와 유사한 크기가 되도록 할 수 있으며, 그 입경(D3)을 1㎛ 이상으로 채용하는 것이 바람직하다. 이를 고려하였을 때, 상기 제2 세라믹 입자(C2)의 입경(D2)은 1㎛가 되도록 함이 바람직하다. 이 경우, 상기 글라스 입자(G), 제1 및 제2 세라믹(C1, C2)은 복수 개가 존재하는 점에서, 입경은 평균 입경을 의미하는 것으로 정의될 수 있다. Specifically, the particle diameter (D1) of the glass particles (G) is preferably employed to about 1 ~ 10㎛, more preferably to be about 2.5㎛. The first ceramic particles (C1) may be similar in size to the glass particles (G) in terms of sintering characteristics, it is preferable to employ the particle diameter (D3) of 1㎛ or more. In consideration of this, the particle diameter (D2) of the second ceramic particles (C2) is preferably to be 1㎛. In this case, since the plurality of the glass particles G and the first and second ceramics C1 and C2 are present, the particle size may be defined to mean an average particle diameter.

한편, 소결 과정에서 구속용 시트(102)에 글라스가 침투하는 점을 고려하였을 때, 상기 구속용 시트(102)에 포함된 제2 세라믹 입자(C2)는 상기 세라믹 시트(101)의 글라스에 웨팅(wetting)이 상대적으로 잘되는 물질로 이루어짐이 바람직하며, 이는 제1 세라믹 입자(C1)도 마찬가지이다. 또한, 소결 과정에서 글라스 입자(G)를 이루는 물질 중 반응되지 않은 글라스 물질이 남아있다면 이러한 반응되지 않은 글라스 물질은 구속용 시트(102)로 용이하게 이동될 수 있을 것이다. Meanwhile, when the glass penetrates into the restraint sheet 102 during the sintering process, the second ceramic particles C2 included in the restraint sheet 102 are wetted into the glass of the ceramic sheet 101. (Wetting) is preferably made of a relatively good material, the same is true for the first ceramic particles (C1). In addition, if the unreacted glass material remains in the material forming the glass particles G during the sintering process, the unreacted glass material may be easily moved to the restraining sheet 102.

이러한 점들을 고려하여, 글라스 입자(G)는 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질로 형성하며 제1 세라믹 입자(C1)는 Al2O3로 형성할 수 있다. 이 경우, 글라스 입자(G)와 제1 세라믹 입자(C1)는 세라믹 시트(101) 전체에서 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질은 40 ~ 80wt%를 차지하며, Al2O3는 20 ~ 60wt%를 차지하는 비율로 혼합됨이 바람직하다.In consideration of these points, the glass particles G are formed of (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 based materials, and the first ceramic particles (C1) are Al 2 O 3 can be formed. In this case, the glass particles (G) and the first ceramic particles (C1) are (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 -based material in the entire ceramic sheet 101 It occupies 40 to 80wt%, and Al 2 O 3 is preferably mixed in a proportion of 20 to 60wt%.

소결 과정에서, 구속용 시트(102)에는 세라믹 시트(101)로부터 Zn, B가 다량 함유된 글라스가 유입되며, 여기서 유입되는 글라스는 상술한 바와 같이, 제1 세라믹 입자(C1)와 반응되지 않고 남은 것이다. 구속용 시트(102)에 유입되는 글라스에 의하여 세라믹 시트(101)와 구속용 시트(102)의 계면에 포어(pore)가 없는 소결 상태를 구현할 수 있다. 이를 더욱 구체적으로 설명하면, 소결 과정에서, (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2계 글라스와 Al2O3가 반응할 경우, (Ca, Sr, Ba)Al2Si2O8 및 반응되지 않은 글라스 성분이 얻어지며, 위 반응에서 ZnO는 대부분 반응되지 않은 글라스 성분이 된다. In the sintering process, a glass containing a large amount of Zn and B is introduced into the restraining sheet 102 from the ceramic sheet 101, and the glass introduced therein does not react with the first ceramic particles C1 as described above. Left. The glass flowing into the restraint sheet 102 may implement a sintered state without pores at the interface between the ceramic sheet 101 and the restraint sheet 102. In more detail, when (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -based glass and Al 2 O 3 react in the sintering process, (Ca, Sr, Ba) Al 2 Si 2 O 8 and unreacted glass components are obtained, in which ZnO becomes mostly unreacted glass components.

이 경우, (Ca, Sr, Ba)Al2Si2O8 결정은 ZnO를 거의 함유하고 있지 않으며, 결정학적으로도 Ca, Sr, Ba 원소들의 이온 반경이 Zn에 비하여 매우 커서 Zn으로 치 환되기 어렵다. 이에 따라, 세라믹 시트(101)의 소결 과정에서 Zn을 다량 포함한 글라스 성분이 구속용 시트(102)로 이동된다. 즉, 도 5에서 구속용 시트(102)로 이동된 글라스 입자(G`)는 세라믹 시트(101)에 존재하던 글라스 입자(G)와 다른 것에 해당한다. In this case, the (Ca, Sr, Ba) Al 2 Si 2 O 8 crystal contains little ZnO, and crystallographically, the ionic radius of the Ca, Sr, and Ba elements is much larger than that of Zn and is converted into Zn. it's difficult. Accordingly, the glass component containing a large amount of Zn is moved to the restraining sheet 102 in the sintering process of the ceramic sheet 101. That is, the glass particles G ′ moved to the restraining sheet 102 in FIG. 5 correspond to those different from the glass particles G existing in the ceramic sheet 101.

구속용 시트(102)로 이동된 Zn을 다량 포함하는 글라스 성분은 제2 세라믹 입자(C2), 예컨대, Al2O3와 반응하여 ZnAl2O4 등과 같은 결정상이 석출된다. 이러한 반응이 일어남에 따라 세라믹 시트(101)에 있는 미반응 글라스의 구속용 시트(102)로의 유입 속도는 더욱 빨라지며, 이 과정에서 구속용 시트(102)의 소결이 일어난다. (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2계 글라스에 ZnO를 첨가하는 것과 더불어 ZnO의 함량도 적절히 조절될 필요가 있다. 일 예로서, 글라스 입자(G)의 중량을 기준으로 SiO2는 40 ~ 70wt%, Al2O3는 5 ~ 20wt%, (Ca, Sr, Ba)O는 10 ~ 35wt%, Ba2O3는 5 ~15wt%, ZnO는 2 ~ 10wt%의 함량을 갖는 것이 바람직하다. ZnO의 양이 2wt% 이상이 되어야 구속용 시트(102)로 글라스가 유입되고 남은 세라믹 시트(101)의 공간을 풍부한 유동성으로 메울 수 있다. 다만, ZnO의 양이 너무 많아질 경우, LTCC 재료로서의 기본 특성인 강도, 내화학성, 절연성 등에서 좋지 않은 결과를 보일 수 있으므로, 10wt%를 넘지 않도록 한다.The glass component containing a large amount of Zn transferred to the restraining sheet 102 reacts with the second ceramic particles C2, for example, Al 2 O 3 , to precipitate a crystal phase such as ZnAl 2 O 4 . As this reaction occurs, the inflow rate of the unreacted glass in the ceramic sheet 101 into the restraining sheet 102 becomes faster, and in this process, the sintering of the restraining sheet 102 occurs. In addition to adding ZnO to the (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -based glass, the content of ZnO also needs to be appropriately controlled. For example, based on the weight of the glass particles (G), SiO 2 is 40 to 70wt%, Al 2 O 3 is 5 to 20wt%, (Ca, Sr, Ba) O is 10 to 35wt%, Ba 2 O 3 Is 5 ~ 15wt%, ZnO preferably has a content of 2 ~ 10wt%. When the amount of ZnO is 2wt% or more, the glass flows into the restraining sheet 102 and the space of the remaining ceramic sheet 101 can be filled with abundant fluidity. However, when the amount of ZnO is too large, the result may be poor in strength, chemical resistance, insulation, and the like, which are basic characteristics of the LTCC material, so that the amount of ZnO should not exceed 10 wt%.

본 발명의 발명자는 본 발명의 효과를 알아보기 위해 다양한 조건에서 실험 을 하여 세라믹 적층체를 소결한 후 수축률을 측정하였으며, 그 결과는 다음의 표과 같다.The inventors of the present invention measured the shrinkage after sintering the ceramic laminate by experiments under various conditions to determine the effect of the present invention, the results are shown in the following table.

세라믹 시트Ceramic sheet 구속용 시트Restraint Sheet 두께thickness 입도(G)Particle size (G) 입도(C1)Granularity (C1) 분율(C1)Fraction (C1) 두께thickness 입도(C2)Granularity (C2) 소결 온도Sintering temperature 수축률Shrinkage 1One 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 35wt%35wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 850℃850 ℃ 0.3420.342 22 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 35wt%35wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.2580.258 33 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 35wt%35wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 900℃900 ℃ 0.1830.183 44 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 50wt%50 wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 850℃850 ℃ 0.5000.500 55 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 50wt%50 wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.4580.458 66 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 50wt%50 wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 900℃900 ℃ 0.1830.183 77 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 2.5㎛2.5 μm 40wt%40wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 850℃850 ℃ 0.6580.658 88 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 2.5㎛2.5 μm 40wt%40wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.4830.483 99 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 2.5㎛2.5 μm 40wt%40wt% 6.5㎛6.5㎛ 600㎚600 nm 900℃900 ℃ 0.6170.617 1010 50㎛50 탆 4.5㎛4.5 ㎛ 1.7㎛1.7 μm 30wt%30wt% 4.5㎛4.5 ㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.3700.370 1111 50㎛50 탆 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 50wt%50 wt% 4.5㎛4.5 ㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.6050.605 1212 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 50wt%50 wt% 4.5㎛4.5 ㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.6740.674 1313 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 40wt%40wt% 4.5㎛4.5 ㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.2770.277 1414 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 30wt%30wt% 4.5㎛4.5 ㎛ 600㎚600 nm 870℃870 ℃ 0.3420.342 1515 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 40wt%40wt% 5.5㎛5.5㎛ 500㎚500 nm 870℃870 ℃ 0.3400.340 1616 100㎛100 μm 2.5㎛2.5 μm 1.7㎛1.7 μm 30wt%30wt% 5.5㎛5.5㎛ 500㎚500 nm 870℃870 ℃ 0.4070.407

#1 ~ #3 샘플은 세라믹 시트용 글라스로 Ca-Al-Si-O계 글라스를 사용하였으며, #4 ~ #6 및 #11 ~ #16 샘플은 Ca-Al-Si-Zn-O계 글라스, #7 ~ #9 샘플은 Mg-Ca-Si-O계 글라스, #10 샘플은 Ca-Al-Si-B계 글라스를 사용하였다. Samples # 1 to # 3 used Ca-Al-Si-O glass as the ceramic sheet glass. Samples # 4 to # 6 and # 11 to # 16 used Ca-Al-Si-Zn-O glass. Samples # 7 to # 9 used Mg-Ca-Si-O glass and # 10 samples used Ca-Al-Si-B glass.

이와 같이, 본 발명에서 제안한 무수축 공법을 사용할 경우, 세라믹 적층체의 전체적으로 균일한 구속력을 제공할 뿐만 아니라, 글라스의 이동에 의해 구속용 시트가 세라믹 시트의 소결 온도 부근에서 자연적으로 소결되도록 함으로써 소결 특성도 우수해질 수 있다.As described above, when the non-shrinkage method proposed in the present invention is used, not only the uniform binding force of the ceramic laminate is provided but also the sintering sheet is naturally sintered near the sintering temperature of the ceramic sheet by the movement of the glass. Properties can also be excellent.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이며, 이 또한 첨부된 청구범위에 기재된 기술적 사상에 속한다 할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, but is defined by the appended claims. Therefore, it will be apparent to those skilled in the art that various forms of substitution, modification, and alteration are possible without departing from the technical spirit of the present invention described in the claims, and the appended claims. Will belong to the technical spirit described in.

도 1은 일반적인 무수축 세라믹 기판 제조방법 중 일 공정을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing one step in a general non-shrink ceramic substrate manufacturing method.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 세라믹 적층체를 나타내는 단면도이며, 도 3은 도 2에서 세라믹 시트와 구속용 시트를 보다 상세히 나타낸 것이다.2 is a cross-sectional view showing a ceramic laminate according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 shows the ceramic sheet and the restraining sheet in FIG. 2 in more detail.

도 4 및 도 5는 세라믹 시트와 구속용 시트를 구성하는 입자들을 확대하여 나타낸 것이다.4 and 5 are enlarged views of the particles forming the ceramic sheet and the restraining sheet.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

101: 세라믹 시트 102: 구속용 시트101: ceramic sheet 102: restraining sheet

103: 도전 패턴 104: 도전성 비아103: conductive pattern 104: conductive via

C1, C2: 제1 및 제2 세라믹 입자 G: 글라스 입자C1, C2: first and second ceramic particles G: glass particles

Claims (20)

제1 세라믹 입자와 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질로 이루어지고 2 ~ 10wt%의 ZnO를 포함하는 글라스 입자를 구비하는 하나 이상의 세라믹 시트; 및At least one ceramic comprising first ceramic particles and glass particles comprising (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 based materials and comprising 2-10 wt% ZnO Sheet; And 상기 세라믹 시트와 접촉된 상태에서 교대로 적층되며 제2 세라믹 입자를 구비하는 하나 이상의 구속용 시트;를 포함하며,And one or more restraining sheets alternately stacked in contact with the ceramic sheet and having second ceramic particles. 상기 글라스 입자의 입경 및 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 상기 제2 세라믹 입자의 입경보다 크되,The particle diameter of the glass particles and the particle diameter of the first ceramic particles are larger than the particle diameter of the second ceramic particles, 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 이상이고, 상기 글라스 입자의 입경은 1 ~ 10㎛이며, 상기 제2 세라믹 입자의 입경은 0.6㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체. The particle diameter of the said first ceramic particle is 1 micrometer or more, the particle diameter of the said glass particle is 1-10 micrometers, and the particle diameter of the said 2nd ceramic particle is less than 0.6 micrometer, The ceramic laminated body characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세라믹 시트 및 상기 구속용 시트는 도전 패턴 및 도전성 비아를 구비하는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.The ceramic sheet and the restraint sheet include a conductive pattern and a conductive via. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세라믹 시트의 두께는 20 ~ 200㎛인 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.A ceramic laminate, characterized in that the thickness of the ceramic sheet is 20 ~ 200㎛. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구속용 시트의 두께는 20㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.The thickness of the restraint sheet is a ceramic laminate, characterized in that 20㎛ or less. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세라믹 시트는 상기 구속용 시트보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.And the ceramic sheet is thicker than the restraining sheet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 세라믹 입자는 서로 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.The ceramic laminate of claim 1, wherein the first and second ceramic particles are made of the same material. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구속용 시트는 상기 제2 세라믹 입자와 유기 바인더로 이루어진 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.The restraining sheet is a ceramic laminate, characterized in that the second ceramic particles and an organic binder. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 세라믹 입자는 Al2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.Wherein the first ceramic particles are made of Al 2 O 3 . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 글라스 입자는 상기 세라믹 시트에서 40 ~ 80wt%를 차지하며, 상기 제1 세라믹 입자는 상기 세라믹 시트에서 20 ~ 60%를 차지하는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체.The glass particles account for 40 to 80wt% in the ceramic sheet, and the first ceramic particles account for 20 to 60% in the ceramic sheet. 삭제delete 제1 세라믹 입자 및 (Ca, Sr, Ba)O-Al2O3-SiO2-ZnO-B2O3계 물질로 이루어지고 2 ~ 10wt%의 ZnO를 포함하는 글라스 입자를 구비하는 하나 이상의 세라믹 시트를 마련하는 단계;At least one ceramic comprising first ceramic particles and glass particles comprising (Ca, Sr, Ba) O-Al 2 O 3 -SiO 2 -ZnO-B 2 O 3 based materials and comprising 2 to 10 wt% ZnO Preparing a sheet; 상기 글라스 입자의 입경 및 상기 제1 세라믹 입자의 입경보다 작은 입경을 갖는 제2 세라믹 입자를 구비하는 하나 이상의 구속용 시트를 마련하는 단계;Providing at least one restraining sheet having second ceramic particles having a particle diameter of the glass particles and a particle diameter smaller than that of the first ceramic particles; 상기 세라믹 시트 및 상기 구속용 시트를 서로 접촉된 상태에서 교대로 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계; 및 Alternately stacking the ceramic sheet and the restraining sheet in contact with each other to form a ceramic laminate; And 상기 세라믹 시트의 소결 과정에서 상기 글라스 입자 중 상기 제1 세라믹 입자와 반응되지 않은 성분이 상기 구속용 시트로 이동하여 상기 구속용 시트가 소결되도록 상기 세라믹 적층체를 소결하는 단계;를 포함하고, And sintering the ceramic laminate such that components of the glass particles not reacted with the first ceramic particles in the sintering process of the ceramic sheet move to the restraint sheet to sinter the restraint sheet. 상기 제1 세라믹 입자의 입경은 1㎛ 이상이고, 상기 글라스 입자의 입경은 1 ~ 10㎛이며, 상기 제2 세라믹 입자의 입경은 0.6㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.는 세라믹 소결체 제조방법. The particle size of the first ceramic particles is 1㎛ or more, the particle size of the glass particles is 1 ~ 10㎛, the particle size of the second ceramic particles is less than 0.6㎛, the ceramic sintered body manufacturing method. . 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 구속용 시트는 상기 세라믹 시트가 소결된 후에 소결되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.The restraining sheet is sintered after the ceramic sheet is sintered. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 구속용 시트는 상기 세라믹 시트의 소결 온도에서 소결되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.The restraining sheet is a ceramic sintered body manufacturing method, characterized in that sintered at the sintering temperature of the ceramic sheet. 삭제delete 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제1 세라믹 입자는 Al2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.The first ceramic particles are made of Al 2 O 3 Ceramic sintered body manufacturing method characterized in that. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 글라스 입자는 상기 세라믹 시트에서 40 ~ 80wt%를 차지하며, 상기 제1 세라믹 입자는 상기 세라믹 시트에서 20 ~ 60%를 차지하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.The glass particles occupy 40 to 80wt% in the ceramic sheet, and the first ceramic particles occupy 20 to 60% in the ceramic sheet. 삭제delete 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제1 세라믹 입자와 반응되지 않은 성분은 ZnO를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소결체 제조방법.The component that is not reacted with the first ceramic particles is a ceramic sintered body manufacturing method characterized in that it comprises ZnO. 삭제delete
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