KR101096555B1 - 액체렌즈 및 그의 제조방법 - Google Patents
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- 전기적 신호로 초점조절이 가능한 액체렌즈의 제조방법에 있어서,(a) 서로 혼화되지 않고 밀도가 동일한 절연성 액적과 전도성 액적을 수용하는 반구형의 중공을 갖는 수용체를 제조하는 공정;(b) 상기 수용체에 하부면과 결합되어 상기 절연성 액적과 전도성 액적을 밀폐하는 하부기판을 제조하는 공정;(c) 상기 수용체의 상부면과 결합되어 상기 절연성 액적과 전도성 액적을 밀폐하는 상부기판을 제조하는 공정; 및(d) 상기 수용체의 하부면에 상기 하부기판을 결합하고, 상기 절연성 액적과 상기 전도성 액적을 상기 수용체에 투입하며, 상기 수용체의 상부면에 상기 상부기판을 결합하여 액체렌즈를 완성하는 공정;을 구비하고,상기 (a)공정은, (a1) 제1 반도체 기판의 양면에 실리콘산화막을 형성하는 단계, (a2) 상기 제1 반도체 기판의 중앙영역을 등방성 식각액으로 교반하면서 식각하여 측단면의 모양이 반구형인 중공을 가진 외벽을 형성하는 단계, (a3) 실리콘 산화막을 모두 제거하고, 상기 외벽의 내측면에 전도성 박막으로 제1전극을 형성하는 단계, (a4) 상기 제1전극 위에 제1절연막을 형성하는 단계 및 (a5) 상기 제1절연막의 표면의 일부 영역에 전도성 박막으로 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 하부기판이 결합된 상기 수용체에 상기 절연성 액적과 상기 전도성 액적을 투입하는 것은, 상기 절연성 액적과 상기 전도성 액적의 양의 비율이 상기 절연성 액적과 상기 전도성 액적의 메니스커스가 최소가 되도록 정해진 값에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 외벽의 반구형 중공은, 식각액 혼합 비율이나 교반(stirring)의 유무를 조절하는 것에 의해 상기 중공의 측단면 구조가 변경되는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
- 삭제
- 제7항에 있어서,상기 (a2)단계는, 상기 중공의 측단면의 모양이 상기 액적의 메니스커스가 최소가 되는 곡률을 가지도록 상기 등방성 식각액의 조성비 및 교반의 방식 및 세기를 조정하는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (a2)단계와 상기 (a3)단계 사이에,실리콘 산화막을 모두 제거하고, 상기 외벽의 내측면에 누설방지용 절연막을 형성하는 단계;를 더 구비하고,상기 (a3)단계는 상기 외벽의 내측면에 전도성 박막을 이용하여 상기 제1전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (a4)단계 및 상기 (a5)단계의 사이에,상기 제1절연막 중 상기 액적과 접촉하는 영역 위에 소수성 박막을 형성하는 단계;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액체렌즈의 제조방법.
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