KR101088863B1 - Paticle Measurement Apparatus - Google Patents

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KR101088863B1
KR101088863B1 KR20100047032A KR20100047032A KR101088863B1 KR 101088863 B1 KR101088863 B1 KR 101088863B1 KR 20100047032 A KR20100047032 A KR 20100047032A KR 20100047032 A KR20100047032 A KR 20100047032A KR 101088863 B1 KR101088863 B1 KR 101088863B1
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KR
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Grant
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particles
particle
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KR20100047032A
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Korean (ko)
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KR20110127504A (en )
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권용택
안진홍
정혁
최정석
Original Assignee
(주)에이치시티
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N15/1456Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
    • G01N15/1459Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream

Abstract

본 발명은 입자 측정 장치에 관한 것으로, 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하여 발생하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 아울러 내부로 흡입된 입자를 포집 블록을 통해 포집할 수 있고, 포집 블록을 내부 공간에 배치함으로써 포집 효율을 향상시키고 포집 블록을 박판 형태가 아닌 블록의 형태로 구성함으로써, 포집 블록을 임팩터 모듈로부터 용이하게 분리할 수 있고, 분리 과정에서 포집 블록에 대한 손상 및 포집 입자에 대한 손실이 방지되어 더욱 정확한 입자 성분 분석 결과를 제공함과 동시에 포집 블록의 반복 사용이 가능하여 측정 비용을 절감할 수 있는 입자 측정 장치를 제공한다. The present invention relates to a particle measurement apparatus, using a scattered light resulting from the collision with the particles to force the suction induce certain flow and the suction flow to the particles of the outer space by the impactor module to measure the distribution state of the particles in real-time It can have, as well as the impactor to a collecting block by can be collected through the collection block the particles drawn into the interior, improving the collection efficiency by arranging the absorption block to the inner space and configured to capture a block in the form of a non-sheet form block can be easily separated from the module, it is the separation process, preventing the loss of the damaged and trapped particles for the absorption block, while providing a more accurate particle component analysis is repeated using the collected blocks can be reduced to measure expensive which provides a particle measuring apparatus.

Description

입자 측정 장치{Paticle Measurement Apparatus} Particle measuring apparatus Paticle Measurement Apparatus} {

본 발명은 입자 측정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a particle measuring apparatus. 보다 상세하게는 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하여 발생하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 아울러 내부로 흡입된 입자를 포집 블록을 통해 포집할 수 있고, 포집 블록을 내부 공간에 배치함으로써 포집 효율을 향상시키고 포집 블록을 박판 형태가 아닌 블록의 형태로 구성함으로써, 포집 블록을 임팩터 모듈로부터 용이하게 분리할 수 있고, 분리 과정에서 포집 블록에 대한 손상 및 포집 입자에 대한 손실이 방지되어 더욱 정확한 입자 성분 분석 결과를 제공함과 동시에 포집 블록의 반복 사용이 가능하여 측정 비용을 절감할 수 있는 입자 측정 장치에 관한 것이다. More specifically it is possible by using a scattered light resulting from the collision with the particles to force the suction induce certain flow and the suction flow to the particles of the outer space by the impactor module to measure the distribution state of the particles in real-time, as well as into the may be collecting the sucked particles through absorption block, by placing the collection block in the interior space improves the collection efficiency and by constituting the collection block in the form of a non-sheet form block, to easily separate the collection block from the impactor module number, and it is the separation process prevents the loss of the damaged and trapped particles for the absorption block more accurate particle component analysis to provide and at the same time, repeated use of the absorption block is possible, on the particle measuring apparatus which can reduce measurement costs will be.

일반적으로 반도체 공정이나 LCD 공정과 같은 나노 수준의 고도 정밀 공정은 작업 설비 내에 오염 입자가 발생하게 되면, 치명적인 제품 불량으로 이어질 수 있으므로, 고도의 청결 상태가 유지될 수 있도록 클린룸과 같은 청정 설비 내에서 공정이 진행되고 있으며 이러한 설비에서는 오염 입자에 대한 실시간 감시 또한 매우 엄격하게 이루어지고 있다. Typically within high-precision processing of nanoscale, such as semiconductor processing or LCD process clean equipment such as a clean room so that it can be if it causes pollution particles in the work equipment, it can lead to deadly product defects, maintain a high degree of cleanliness is the process is going on in these facilities it has been made to the real-time monitoring also very strict for the contaminant particles.

따라서, 이러한 설비에서는 설비 내의 오염 입자 측정을 위한 별도의 입자 측정 장치가 사용되고 있으며, 이러한 입자 측정 장치를 통해 실시간으로 설비 내의 특정 챔버에 대한 입자 분포 상태가 측정되고 있다. Accordingly, such equipment in which a separate particle measuring apparatus for measuring particle contamination in the equipment being used, the particle distribution is measured for a particular chamber in the equipment in real time through this particle measurement apparatus.

이러한 입자 측정 장치는 임의의 측정 챔버 내의 입자의 분포 상태, 즉 입자의 크기 및 개수 등을 측정하는 것으로, 클린룸 설비 이외에도 대기 오염 입자의 분포 상태를 측정하거나 실험실 등에서 특정 입자의 분포 상태를 측정하기 위해 사용되는 등 매우 다양한 분야에 널리 사용되고 있다. This to particle measuring device measures the distribution of certain particle etc. random distribution of particles, that is in addition to that measured on the size and number of the particles, a clean room facilities measure the distribution of air pollution particles or laboratory in the measurement chamber a wide variety of fields, such as used for widely used.

입자 측정 장치의 종류는 측정 가능한 입자의 크기 또는 측정 방식 등에 따라 다양하게 분류되는데, 통상 나노 수준의 입자를 측정하기 위한 입자 측정 장치로는 빛을 이용한 방식으로 광 산란 방식과 광 흡수 방식으로 크게 대별된다. Type of particle measurement apparatus measurable there is variously classified according to the size or measurement method of the particles, a particle measuring apparatus for measuring particles in conventional nano-scale is largely classified into light-scattering method and the light absorption method, using with the light do.

광 산란 방식은 측정 챔버 내에 광을 입사한 후 측정 챔버 내부 공간에서 유동하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 파악하는 방식이고, 광 흡수 방식은 측정 챔버 내에 광을 입사한 후 측정 챔버 내부 공간에서 유동하는 입자에 의해 흡수되는 광량을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 파악하는 방식이며, 이 두가지 방식의 입자 측정 장치는 사용자의 필요에 따라 선택적으로 널리 사용되고 있다. Light scattering method is a method that after the incident light in the measuring chamber by detecting a scattered light caused by the collision with the particles flowing in the measurement chamber inside space determine the size and number of particles, light absorption methods are light within the measurement chamber the incident after a way to detect the amount of light that is absorbed by the particles flowing in the measurement chamber, the internal space to determine the size and number of particles, the particle measuring apparatus of the two methods is selectively used widely according to the needs of the user.

이 중 광 산란 방식의 입자 측정 장치의 원리를 좀 더 자세히 살펴보면, 측정 챔버 내에 하나의 초점을 형성하도록 입사광을 발생시키고, 이러한 입사광과 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생하는 산란광을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 측정하게 된다. Looking at this in more detail the principle of the particle measuring apparatus of the light scattering method of, generating an incident light to form a focus in the measuring chamber, the scattered light generated by this incident light and the collision of the particles and to pass the incident light of the focus area detection is by measuring the size and number of the particles. 일반적으로 입자의 크기가 0.05μm 내지 4μm 인 경우, 입자의 크기는 입자 크기와 빛의 세기와의 관계를 규명하는 Mie 이론을 적용하여 이론적으로 산출할 수 있는데, 일반적인 광 산란 방식 입자 측정 장치는 이와 같이 이론적으로 산출되는 산란광의 인텐서티와 실제 측정된 산란광의 인텐서티 값을 비교하여 입자의 크기 및 개수를 측정하도록 구성된다. In general, the particle size 0.05μm to about 4μm, may to a particle size is applied to the Mie theory to investigate the relationship between the particle size and the light intensity be calculated theoretically, the common light scattering method particle measurement apparatus The as compared with the Intensity Intensity values ​​of the actual measured scattered light in scattered light which is calculated theoretically and is configured to measure the size and number of particles.

그러나 이러한 입자 측정 장치는 그 구조상 일정한 방향의 공기 흐름이 발생하는 곳에 주로 적용되고 있으며, 공기 흐름이 정체된 특정 공간에서 입자의 분포 상태를 파악하는 것이 용이하지 않고, 특히 이러한 특정 공간에서 입자의 분포 상태를 영역별로 분리해서 측정하는 것은 더욱 용이하지 않다는 문제가 있었다. However, this particle measurement apparatus is mainly applied where the air flow of its structure a specific direction occurs, is not easy to grasp the distribution state of particles in a particular area with the air flow stagnation, in particular the distribution of particles in this particular space to measure separately the status for each region there is a problem is not more easily. 따라서, 클린룸 설비의 내부에 각종 기계 장치 등에 의해 특정 영역에서 먼지 입자가 많이 발생될 수 있는데, 종래 기술에 의한 일반적인 입자 측정 장치는 입자의 분포 상태를 영역별로 분리 측정하기가 어렵기 때문에, 이러한 클린룸 설비 내에서 오염 입자 발생의 집중 영역을 찾아내는 것이 어렵다는 문제가 있었다. Therefore, since there in a particular area or the like various machines in the interior of the clean room equipment device may be generated a lot of dust particles, the typical particle measuring apparatus according to the prior art are difficult to separate measuring the distribution state of the particles for each region, these in a clean room facility it had a problem finding it difficult to focus on areas of polluted particles occurs. 또한, 이러한 입자 측정 장치를 이용하는 경우 입자의 분포 상태만을 측정할 수 있을 뿐 입자를 포집하여 성분 분석을 할 수 없으므로, 그 분석 활용 범위가 제한된다는 문제가 있었다. In addition, when using such particles measuring not only the distribution of the particles can be as component analysis to capture the particles can be measured, there is a problem that the analysis application range is limited.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하여 발생하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 아울러 내부로 흡입된 입자를 포집 블록을 통해 포집하여 입자에 대한 성분 분석을 가능하게 하는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. The present invention is invented to solve the problems of the prior art, an object of the present invention using a scattered light caused by collision with particles to induce a constant flow and the suction flow by forced suction the particles of the outer space by the impactor module and it can measure the distribution state of the particles in real-time, as well as to absorption by the particles drawn into the interior through the collection block provides a particle measurement apparatus that enables the component analysis of the particles.

본 발명의 다른 목적은 내부로 흡입된 입자를 포집하는 포집 블록을 내부 공간에 배치함으로써 포집 효율을 향상시키고 이에 따라 포집된 입자에 대한 성분 분석을 더욱 정확하게 수행할 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. Another object of the invention is to improve collection efficiency by arranging the collecting block for collecting the particles sucked into the inner space and to provide a particle measurement apparatus which can perform a compositional analysis on the collected particles thus more accurately .

본 발명의 또 다른 목적은 내부로 흡입된 입자를 포집하는 포집 블록을 박판 형태가 아닌 블록의 형태로 구성함으로써, 포집 블록을 임팩터 모듈로부터 용이하게 분리할 수 있고, 분리 과정에서 포집 블록에 대한 손상 및 포집 입자에 대한 손실이 방지되어 더욱 정확한 입자 성분 분석 결과를 제공할 수 있고 아울러 포집 블록의 반복 사용이 가능하여 측정 비용을 절감할 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention by forming the collecting block for collecting the particles sucked into the form of a non-sheet form block, it is possible to easily remove the collected block from the impactor module, damage to the absorption block in a separate process and is prevented from the loss of the collected particles can provide a more accurate particle component analysis results and the addition to provide a particle measurement apparatus which can be used repeatedly in the collection block can reduce measurement costs.

본 발명의 다른 목적은 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention it is possible to forcibly suck the particles in space with no air flow to measure the distribution state of particles, it is possible in real time to identify the contamination particle distribution of the spaces in the various spaces, in particular, clean room it is possible to measure the particle distribution at various points in the clean room space inside the facility when such equipment, to provide a particle measurement apparatus which can be utilized useful for finding a particular source of contamination in a clean room facilities inner space.

본 발명의 또 다른 목적은 임팩터 모듈을 통해 외부 공간의 입자를 흡입함과 동시에 입자의 흐름을 일정한 방향으로 유도하도록 구성하여 입자가 입사광의 초점 영역을 집중적으로 통과하도록 함으로써, 측정 공간의 입자 분포 상태에 대한 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. Furthermore, by further object is to and at the same time suck the particles of the external space to derive a stream of particles in a specific direction by the particles concentrate pass to the incident light of the focal region through the impactor module, the particle size distribution of the measurement space conditions of the present invention a more accurate measurement result for the particle to provide a measuring device that can be obtained.

본 발명의 또 다른 목적은 임팩터 모듈을 통해 흡입되는 입자를 측정 조건에 따라 선별할 수 있어 사용자의 필요에 따라 다양한 종류의 입자만을 선별하여 입자의 분포 상태를 분리 측정할 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. Provide a particle measurement apparatus that is capable of still further object of the present invention can be selected according to the particle measurement condition to be sucked through the impactor module selects only different types of particles according to the user's need for a separate measuring the distribution of particles to.

본 발명은, 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 측정하는 입자 측정 장치에 있어서, 내부 공간에 옵틱 챔버가 형성되고, 상기 옵틱 챔버에 연통되도록 입자 유동 유로가 관통 형성되는 케이스; The present invention provides a particle measuring apparatus for measuring the distribution of particles by using a scattered light, the case that the particles flow through the flow path formed such that the optic chamber is formed, communicating with the optic chamber in the interior space; 상기 케이스에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하여 상기 옵틱 챔버로 유입되도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈; Impactor module for sucking particles to be introduced into the optic chamber is attached to the case through the said particles flow passage particles suspended in the outer space; 상기 옵틱 챔버 내에 초점이 형성되도록 입사광을 발생시키는 광 발생부; Light generating unit that generates an incident light such that the focus is formed in the optic chamber; 및 상기 입사광과 상기 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 수광 검출하는 광 검출부를 포함하고, 상기 임팩터 모듈은 상기 옵틱 챔버로 유입된 입자를 포집할 수 있도록 상기 옵틱 챔버 내부에 배치되는 포집 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치를 제공한다. And wherein the optic chamber to collect with the optical detector, and wherein the impactor module is introduced into the optic chamber particle detecting receiving a scattered light generated by the collision of the particle passing through the incident light and the incident light of the focus area It provides a particle measuring apparatus comprises a collecting block disposed therein.

이때, 상기 임팩터 모듈은 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 상기 입자 유동 유로를 통과할 수 있도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별하는 상부 모듈; At this time, the impactor module for the upper module suction sorting particles suspended in the outer space to be able to pass the end of the particle flow passage only is mounted in communication with more than a certain size particles in the particle flow path; 상기 옵틱 챔버와 연통되게 장착되어 상기 상부 모듈에 의해 선별된 입자가 상기 입자 유동 유로를 통해 상기 옵틱 챔버로 유입되도록 입자를 흡입하는 하부 모듈; The optics chamber and is mounted in communication with the lower module to suck the particles are introduced into the optic chamber is selected particle by the upper modules through the particle flow path; 및 상기 상부 모듈 및 하부 모듈을 통해 입자가 흡입되도록 상기 상부 모듈 및 하부 모듈에 각각 결합되는 흡입 펌프를 포함하고, 상기 포집 블록은 상기 하부 모듈의 상단에 결합될 수 있다. And so that the suction of particles via the upper module and a lower module and includes a suction pump which is respectively coupled to the upper module and lower module, the collecting blocks may be coupled to the upper end of the lower module.

또한, 상기 상부 모듈은 중공의 원통형으로 상기 케이스에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트가 형성되는 상부 메인 파이프; In addition, the upper module seal is coupled to the casing in a substantially hollow cylindrical shape, and the upper is the upper suction port is formed so as to be connected to the pump suction side main pipe; 상기 상부 메인 파이프의 상단에 밀봉 결합되며 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로가 형성되는 인렛 블록; Bond sealing to the upper end of the upper main pipe and inlet blocks the suction passage is formed to allow the particles flowing from the outside; 및 상기 인렛 블록의 하부에 위치하도록 상기 상부 메인 파이프의 내부에 배치되며 상기 흡입 유로를 통해 유입된 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과할 수 있도록 노즐 유로 및 상부 유동홀이 각각 형성되는 노즐 블록을 포함하고, 상기 노즐 블록은 상기 노즐 유로가 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되도록 상기 케이스에 밀봉 결합될 수 있다. And it is disposed in the upper portion the main pipe so as to be positioned below the inlet block includes an optional nozzle passage and an upper flow hole the nozzle block is formed to pass in accordance with the flowing particles from the inhalation flow path inertia , and the nozzle block may be sealing joined to the casing such that the nozzle flow passage in communication at one end of the particle flow passage.

또한, 상기 하부 모듈은 상기 케이스에 밀봉 결합되며 내부 공간이 상기 옵틱 챔버와 연통되도록 하부 유동홀이 형성되는 하부 연결 홀더; In addition, the lower module is connected to the lower holder, a sealing engagement is an inner space in the case that the lower flow hole formed to communicate with the optics chamber; 및 내부 공간이 상기 하부 연결 홀더의 내부 공간과 연통되도록 상기 하부 연결 홀더에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트가 형성되는 하부 메인 블록을 포함하고, 상기 포집 블록은 상기 하부 연결 홀더의 상단에 결합될 수 있다. And the internal space to communicate with the inner space of the lower connecting arrangement, and sealing engagement with the lower connecting arrangement, and includes a lower main block where the bottom suction ports formed so as to have connected to the suction pump side, the collecting block of the lower connection It may be coupled to the upper end of the holder.

또한, 상기 포집 블록은 상단면이 상기 입자 유동 유로의 길이 방향 중심축과 수직하게 교차하는 평면을 이루도록 배치될 수 있다. In addition, the collection block may be arranged to fulfill a plane that perpendicularly intersects the longitudinal central axis of the particle flow passage with the top side.

또한, 상기 포집 블록은 단일 금속 재질로 형성될 수 있다. Further, the collecting blocks may be formed of a single metal material.

또한, 상기 포집 블록은 상기 하부 모듈에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. In addition, the collection block can be coupled detachably to the lower module.

또한, 상기 하부 모듈의 상단에는 상향 돌출되는 결합 돌기가 형성되고, 상기 포집 블록의 하부면에는 상기 결합 돌기가 삽입될 수 있는 결합홈이 형성되어, 상기 결합 돌기 및 결합홈에 의해 상기 포집 블록이 상기 하부 모듈에 끼워맞춤 결합될 수 있다. Moreover, are formed the engaging projection which is upwardly protruded, the upper end of the lower module, the lower surface of the collecting block the engaging grooves in which the engaging projection can be inserted are formed, and therefore, the engagement projection and the collecting block by a coupling groove fitted in the lower module it may be coupled to custom.

본 발명에 의하면, 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하여 발생하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 아울러 내부로 흡입된 입자를 포집 블록을 통해 포집하여 입자에 대한 성분 분석을 가능하게 하는 효과가 있다. According to the present invention, by using the scattered light resulting from the collision with the particles to force the suction induce certain flow and the suction flow to the particles of the outer space by the impactor module can measure the distribution state of the particles in real-time, as well as the internal by inhalation in the particle collection through a collection block it has the effect of enabling the component analysis of the particles.

또한, 내부로 흡입된 입자를 포집하는 포집 블록을 내부 공간에 배치함으로써 포집 효율을 향상시키고 이에 따라 포집된 입자에 대한 성분 분석을 더욱 정확하게 수행할 수 있는 효과가 있다. In addition, there is an effect that it is possible to improve the collection efficiency of the collecting block for collecting the particles drawn into the interior by placing in the internal space and thereby perform more accurate composition analysis on the collected particles.

또한, 내부로 흡입된 입자를 포집하는 포집 블록을 박판 형태가 아닌 블록의 형태로 구성함으로써, 포집 블록을 임팩터 모듈로부터 용이하게 분리할 수 있고, 분리 과정에서 포집 블록에 대한 손상 및 포집 입자에 대한 손실이 방지되어 더욱 정확한 입자 성분 분석 결과를 제공할 수 있고 아울러 포집 블록의 반복 사용이 가능하여 측정 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. Further, by forming the collecting block for collecting the particles sucked into the form of a non-sheet form block, it is possible to easily remove the collected block from the impactor module, the separation process for the damage, and collecting the particles on the collecting block it is loss prevention can provide more accurate particle component analysis and addition there is an effect capable of repeated use of the collector block can reduce measurement costs.

또한, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용할 수 있는 효과가 있다. Further, since in the space there is no flow of air can force sucks the particle to measure the distribution state of particles, in real-time in a variety of space and to determine a contamination particle distribution of the space, in particular, when such as a clean room facilities it is possible to measure the particle distribution at various points of the clean room equipment interior space, a clean room facility which produces the effect of found useful take advantage naeneunde specific contamination source in the internal space.

또한, 임팩터 모듈을 통해 외부 공간의 입자를 흡입함과 동시에 입자의 흐름을 일정한 방향으로 유도하도록 구성하여 입자가 입사광의 초점 영역을 집중적으로 통과하도록 함으로써, 측정 공간의 입자 분포 상태에 대한 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다. In addition, through the impactor module by adapted to and at the same time suck the particles of the external space induces the flow of particles in a specific direction by the particles so as to concentrate passes the incident light in the focus area, more accurate measurement of the particle distribution of the measurement space there is an effect that can get results.

또한, 임팩터 모듈을 통해 흡입되는 입자를 측정 조건에 따라 선별할 수 있어 사용자의 필요에 따라 다양한 종류의 입자만을 선별하여 입자의 분포 상태를 분리 측정할 수 있는 효과가 있다. Moreover, it can be selected according to the particle measurement conditions to be sucked through the impactor module there is an effect that it is possible only to a wide variety of particle sorting according to the user's need for a separate measuring the distribution of particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 형상을 개략적으로 도시한 사시도, 1 is a perspective view schematically showing the shape of the particle measurement device according to one embodiment of the invention,
도 2는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 형상을 개략적으로 도시한 사시도, Figure 2 is a perspective view schematically showing the shape of the particle measuring apparatus according to another embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 구조를 개략적으로 도시한 분해사시도, Figure 3 is an exploded perspective view schematically showing the structure of a particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도, Figure 4 schematically illustrates the internal structure of the particle measurement device according to one embodiment of the invention section,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 산란광 진행 과정을 개념적으로 도시한 단면도, Figure 5 is a cross-sectional view showing the progress of the scattering particle measurement device according to one embodiment of the present invention conceptually,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 임팩터 모듈에 의한 입자 흐름 과정을 개념적으로 도시한 단면도이다. Figure 6 is a sectional view showing the process of particle flow due to the impactor module of the particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. With reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention will be described in detail. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. First, in addition as the reference numerals to components of each drawing, for the same elements even though shown in different drawings It should be noted that and to have the same reference numerals as much as possible. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Further, in the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations that are determined to obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 특정 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 흡입된 입자와 입사광(I)과의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 검출하는 방식으로 특정 공간 내의 영역별로 존재하는 입자의 분포 상태, 즉 입자의 크기 및 개수를 측정하는 장치로서, 케이스(100)와, 케이스(100) 내부로 유입되도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈(200)과, 케이스(100)의 내부 공간에 연통되게 장착되는 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 포함하여 구성된다. Particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, each area within a given space in a manner of detecting the scattered light (S) caused by the collision with the particles and the incident light (I) suction to suck the floating particles in a particular space the interior of a measuring the distribution, i.e. the size and number of particles of the present particle device, case 100, case 100 impactor for sucking particles to be introduced into the module 200, and a case 100 It is configured to include a light-generating unit 300 and a light detector 400 that is mounted in communication with the space.

이때, 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)는 도 1에 도시된 바와 같이 일직선상에 배치되는 형태로 케이스(100)의 양단부에 장착될 수 있으나, 도 2에 도시된 바와 같이 서로 직각 배치되는 형태로 케이스(100)에 장착될 수도 있으며, 서로 특정 각도를 이루도록 배치될 수도 있다. In this case, the light generation unit 300 and the light detecting section 400 is a straight line in a manner of being arranged on a can be mounted on both ends of the case 100, but to each other at right angles as shown in Figure 2, as shown in Figure 1 disposed in the form may be mounted to the case 100, and may be arranged to achieve a certain angle to each other. 이러한 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)는 입자와의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)이 사방으로 발생하기 때문에 상호 다양한 배치 상태가 가능한데, 이하에서는 설명의 편의를 위해 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)가 서로 일직선 상에 배치되는 도 1에 도시된 구조를 중심으로 설명한다. The light generation unit 300 and the optical detector 400 is the possible mutually different arrangement because of scattered light (S) caused by collision with particles is to occur in all directions, than the light generated for the convenience of the description unit ( 300) and the optical detector 400 will be described with reference to the structure shown in Figure 1 disposed on a straight line with each other.

케이스(100)는 내부 공간에 옵틱 챕버(C)가 형성되며, 이러한 옵틱 챕버(C)의 양측단에 광 발생부(300)와 광 검출부(400)가 각각 연통되게 장착된다. Case 100 is formed of an optics chaepbeo (C) in the internal space, this optic light generation unit 300 and the optical detector 400, the two side ends of chaepbeo (C) is mounted to be in communication, respectively. 또한, 케이스(100)에는 옵틱 챕버(C)에 연통되도록 입자 유동 유로(101)가 관통 형성되며, 이때, 입자 유동 유로(101)는 옵틱 챔버(C)의 중심 또는 중심축을 향하는 방향으로 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the case 100 is provided and optic chaepbeo (C) in communication so that the particles flow passage 101 to form the through, at this time, the grain flow passage 101 is formed in the direction toward the center or central axis of the optic chamber (C) it is desirable.

임팩터 모듈(200)은 케이스(100)에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하는데, 이때 흡입되는 입자는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)를 통과하도록 구성된다. Impactor module 200 particles for inhalation of particles suspended in the outer space is mounted in case 100, where the intake is configured to pass through the grain flow passage 101 of the case 100. 이러한 임팩터 모듈(200)은 공기 중에 부유하는 입자를 흡입 포집하기 위한 장치로 일반적으로 내부에 입자를 흡입할 수 있는 유로가 형성되고 이러한 유로의 일단에 흡입 펌프가 장착되며 별도의 포집판이 구비되어 입자를 포집하는 방식으로 구성되는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)은 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)로 통해 옵틱 챔버(C) 내부로 유입시키고, 옵틱 챔버(C) 내부로 유입된 입자를 옵틱 챔버(C) 내부에서 포집할 수 있도록 구성된다. The impactor module 200 is typically a passage, which can suction the particles inside are formed a suction pump is mounted on one end of this passage particles having plate separate collection by a device for suction collecting the suspended particles in the air, consists of an in such a way that the collection, internal impactor module 200 includes optics chamber through a particle flow passage 101 of the case 100 to suck the particles suspended in the outer space (C) in accordance with one embodiment of the present invention the inlet and, introduced into the optic chamber (C) in particles is configured to capture within the optic chamber (C). 이를 위해 본 발명에 따른 임팩터 모듈(200)은 옵틱 챔버(C) 내부에 배치되는 포집 블록(240)을 포함하여 구성되는데, 이러한 임팩터 모듈의 구성에 대한 상세한 설명은 후술한다. For this purpose, impactor module 200 according to the present invention is composed, including a collecting block 240 disposed within the optic chamber (C), details of the configuration of the impactor module will be described later.

광 발생부(300)는 옵틱 챔버(C)의 내부 공간에 초점(F)이 형성되도록 입사광(I)을 발생시키는 장치로, 옵틱 챔버(C)에 연통되게 장착되는데, 입사광(I)으로 레이저 광이 적용될 수 있도록 레이저 다이오드(320)와, 레이저 다이오드(320)로부터 발생된 레이저 광을 포커싱하는 포커싱 렌즈(330)를 포함하여 구성될 수 있다. Light generation unit 300 there is mounted a device for generating an incident light (I) such that the focus (F) formed in the inner space of the optic chamber (C), to be in communication with the optic chamber (C), a laser as the incident light (I) so that the light can be applied it may be configured to include a laser diode 320 and the laser diode a focusing lens 330 which focuses the laser light generated from the 320. 레이저 다이오드(320)로부터 발생된 레이저 광은 일정 크기의 방출 각도를 가지며, 이러한 레이저 광은 포커싱 렌즈(330)를 통해 포커싱되며 옵틱 챕버(C) 내부 공간의 특정 지점에 초점(F)을 형성한다. The laser beam generated from the laser diode 320 has a discharge angle of a predetermined size, this laser light is focused through a focusing lens 330 to form a focus (F) to a particular point in the optic chaepbeo (C) the interior space . 이때, 포커싱 렌즈(330)는 다수개 장착될 수 있으며, 옵틱 챔버(C)의 형상 및 포커싱 거리 등 측정 조건에 따라 포커싱 렌즈(330)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. In this case, the focusing lens 330 is the number of the focusing lens 330 in accordance with the shape and the focusing distance of the plurality of measurement conditions may be mounted, and optics chamber (C) may be changed in various ways. 또한, 입사광(I)의 초점(F) 위치는 옵틱 챕버(C) 내부 공간에 형성되도록 구성되는데, 이때 옵틱 챕버(C)를 관통하는 입자 유동 유로(101)의 연장된 경로 상에 형성되도록 구성된다. Also, the configuration to be formed on the extended path of the incident light (I) the focus (F) where the optic chaepbeo (C) is composed so as to form the inner space, wherein the optic chaepbeo (C) particle flow passage 101 extending through the do.

한편, 광 발생부(300)는 이러한 레이저 다이오드(320)와 포커싱 렌즈(330)를 수용 장착할 수 있도록 옵틱 챕버(C)에 연통되게 케이스(100)에 장착되는 광 발생부 경통(310)을 더 포함할 수 있으며, 이러한 광 발생부 경통(310) 내부 공간이 옵틱 챕버(C)와 분리 구획될 수 있도록 별도의 진공 윈도우(340)가 더 구비될 수 있다. On the other hand, the light-generating unit 300 to the laser diode 320 and a focusing lens (330) receiving the light generation unit barrel 310 is mounted to the case 100 to be in communication with the optic chaepbeo (C) to be incorporated onto the may further contain, and is this light generation unit barrel 310, the interior space is a separate vacuum windows 340 so as to be separate from the optics chaepbeo (C) compartments may be further provided. 즉, 광 발생부(300)는 옵틱 챕버(C)와 연통되는 광 발생부 경통(310)의 내부 공간에 레이저 다이오드(320)와 포커싱 렌즈(330)가 배치되고, 이러한 광 발생부 경통(310)의 내부 공간이 진공 윈도우(340)에 의해 분리 구획됨으로써, 옵틱 챕버(C) 내부 유동 입자에 의한 광 발생부(300) 내부 공간의 오염이 방지되어 더욱 정확한 측정값을 얻을 수 있다. In other words, the light generating unit 300 may be a laser diode 320 and the focusing lens 330 is disposed in the interior space of the optic chaepbeo (C) and the light generation unit barrel 310 is in communication, the sub column (310 of these light-generating ) being in the internal space the vacuum window 340 separated by a partition, chaepbeo optic (C) is the contamination of the light-generating unit 300, the internal space by the internal flow prevention particles it is possible to obtain a more accurate measurement.

광 검출부(400)는 광 발생부(300)에 의해 발생된 입사광(I)과 입사광(I)의 초점(F) 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광(S)을 수광하여 검출한다. The optical detector 400 is detected by receiving the scattered light (S) caused by the collision of the particles and passing through the focus (F) region of the incident light (I) and the incident light (I) generated by the light-generating unit 300 do. 산란광(S)은 입자로부터 모든 방향으로 발생되기 때문에, 광 검출부(400)는 이러한 산란광(S)의 일부를 집광하여 검출할 수 있도록 산란광(S)을 집광하는 집광 렌즈(430)와, 집광 렌즈(430)에 의해 집광된 산란광(S)을 검출하는 검출 센서(420)를 포함하여 구성된다. And the scattered light (S) is due to occur in all directions from the grain, an optical detector 400 includes a condenser lens 430 for condensing the scattered light (S) can be detected by condensing a portion of this scattered light (S), the condenser lens It is configured to include a detection sensor 420 for detecting the scattered light (S) collected by the 430. 따라서, 입사광(I)이 입자와 충돌하여 산란광(S)이 발생하면, 산란광(S) 중 일부는 집광 렌즈(430)에 의해 집광되어 검출 센서(420)로 전송되며, 검출 센서(420)에 의해 산란광(S)의 인텐서티가 측정된다. Thus, in some of which is focused by the focusing lens 430 is transmitted to the detecting sensor 420, the detection sensor 420 of the incident light (I) When the scattered light (S) generated by collision with the particle, the scattered light (S) the Intensity of scattered light (S) is measured by. 이와 같이 측정된 산란광(S)의 인텐서티는 별도의 연산부(미도시)를 통해 Mie 이론 등을 적용한 이론적인 값과 비교하여 입자의 크기를 연산 측정한다. Intensity of scattered light (S) measured in this way is through a separate operation unit (not shown) as compared to the theoretical value, such as applying the Mie theory is calculated measuring the size of particles. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)에 의해 입자가 입자 유동 유로(101)의 경로를 따라 옵틱 챔버(C) 내부에서 일정한 방향으로 유동하는 경우, 입자가 입사광(I)의 초점(F) 영역을 통과할 때마다 산란광(S)이 발생하게 되므로, 연산부는 이러한 산란광(S) 발생 횟수를 통해 입자의 개수를 연산 측정한다. Further, when the particles flow in a specific direction within the optic chamber (C) along the path of particle flow passage 101 by the impactor module 200 according to one embodiment of the invention, the particles of the incident light (I) so that the scattered light (S) occurs each time it passes through the focus (F) zone, the operation unit calculates the number of particles measured through this scattered light (S) of occurrence.

한편, 광 검출부(400) 또한 광 발생부(300)와 마찬가지 방식으로 집광 렌즈(430)와 검출 센서(420)를 내부에 수용 장착하는 광 검출부 경통(410)을 더 포함하며, 이러한 광 검출부 경통(410) 내부 공간이 옵틱 챕버(C)와 분리 구획될 수 있도록 별도의 진공 윈도우(450)가 더 구비될 수 있다. On the other hand, the light detecting section 400 further includes a light detection lens barrel (410) for mounting therein a light-converging lens 430 and the detecting sensor 420 in a similar manner to the light-generating unit 300, such a light detection lens barrel 410 is a separate vacuum window 450 may be further provided so that the internal space may be separated from the optics chaepbeo (C) compartments. 이러한 구조를 통해 광 검출부 경통(410)의 내부 공간은 옵틱 챕버(C)의 내부 유동 입자에 의한 오염이 방지되어 더욱 정확한 측정값을 얻을 수 있다. The inner space of the light detection lens barrel 410. With this structure, it is possible to obtain a more accurate measure contamination is prevented by the Flow of Optic chaepbeo particles (C).

이상에서 설명한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 임팩터 모듈(200)에 의해 외부 공간의 입자를 흡입하고, 흡입되어 유동하는 입자에 대해 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 통해 입자의 분포 상태를 측정할 수 있는 구조이다. Gujo one embodiment the particle measurement apparatus by the impactor module 200 sucks the particles of the external space, light-generating unit 300 for sucking the fluidized particles and the light detection unit in the present invention according to the above-described ( through 400) has a structure capable of measuring the distribution of particles. 즉, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있을 것이다. That is, since in the space there is no flow of air can force sucks the particle to measure the distribution state of particles, in real-time in a variety of space and to determine a contamination particle distribution of the space, in particular, when such as a clean room facilities it is possible to measure the particle distribution at various points of the clean room equipment interior space, a clean room facilities could be utilized useful for finding a particular source of contamination in the inner space.

다시 말하면, 일반적인 입자 측정 장치는 클린룸 설비의 전체 공간에 대한 평균적인 입자 분포 상태만을 파악할 수밖에 없는데 반해, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 영역에서 각각 실시간으로 입자의 분포 상태를 파악할 수 있는 구조이다. In other words, the general particle measuring apparatus, while ve choice but to determine only the average particle distribution of the entire space of the clean room facility, the particle measurement device according to an embodiment of the present invention, respectively in real time in a number of areas of the clean room equipment interior space with a structure that can determine the distribution state of the particles.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 임팩터 모듈(200)에 의해 옵틱 챔버(C) 내부로 유입되어 일정한 방향으로 유동하는 입자를 임팩터 모듈(200)의 포집 블록(240)을 통해 옵틱 챔버(C) 내부에서 포집할 수 있도록 구성되기 때문에, 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 통해 특정 공간에서의 입자의 분포 상태를 측정하는 기능 이외에도 포집 블록(240)에 의해 포집된 입자를 이용하여 특정 공간에서 발생하는 입자에 대한 성분 분석 등 입자에 대한 정성적 분석이 가능한 구조이다. The particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention through the collection block 240 of the impactor module 200, the particles are introduced into the optic chamber (C) flows in a predetermined direction by the impactor module 200 because they are configured to be trapped inside the optic chamber (C), in addition to functions for measuring the distribution of particles in a given space through the light generation unit 300 and the optical detector 400 it is collected by the collecting block 240 using the particle is a structure capable of qualitative analysis of the composition analysis, particle for particle occurring in a particular space. 특히, 포집 블록(240)이 옵틱 챔버(C) 내부에 위치하기 때문에, 입자에 대한 포집 효율이 매우 높아 이러한 정성적 분석이 더욱 정확하게 수행될 수 있다. In particular, since the collecting block 240 is located within the optic chamber (C), it has a very high collection efficiency for particles such qualitative analysis can be performed more accurately.

다음으로, 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입할 수 있는 임팩터 모듈(200)의 구조에 대해 좀 더 자세히 살펴본다. Next, examine in more detail the structure of the impactor module 200 capable of sucking the particles suspended in the outer space.

본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)은 케이스(100)의 양측에 각각 장착되는 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)과, 흡입 펌프(미도시)와, 전술한 포집 블록(240)을 포함하여 구성될 수 있는데, 상부 모듈(U)은 입자 유동 유로(101)의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 입자 유동 유로(101)를 통과하도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별할 수 있도록 구성되고, 하부 모듈(L)은 옵틱 챔버(C)와 연통되게 장착되어 상부 모듈(U)에 의해 선별된 입자가 입자 유동 유로(101)를 통해 옵틱 챔버(C)로 유입되도록 입자를 흡입하는 방식으로 구성된다. Impactor module 200 are each equipped with an upper module (U) and lower module (L) and a suction pump (not shown) which on both sides of the case 100, the above-described collection block according to an embodiment of the present invention ( There 240) may be configured to include, the particles suspended in the external space to pass through the upper module (U) is a particle flow passage 101. Once the particle flow passage 101, but is mounted in communication with more than a certain size particles in the suction is configured to selectively, lower module (L) is mounted in communication with the optic chamber (C) introduced into the optic chamber (C) is selected particles through the particle flow passage 101 by the upper module (U) that is configured in such a manner as to suck the particles. 흡입 펌프는 이러한 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)에 각각 결합되어 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)을 통해 각각 입자가 흡입될 수 있도록 구성되며, 팬의 회전에 의해 부압을 형성하여 입자를 흡입하는 방식 등 다양한 방식으로 구성될 수 있다. The suction pump is coupled to each of these upper module (U) and lower module (L) is configured to allow the respective particles sucked through the upper module (U) and lower module (L), forming a negative pressure by the rotation of the fan and it may be configured in a variety of ways such as way that the inhalation particles. 이때, 전술한 포집 블록(240)은 하부 모듈(L)의 상단에 결합되어 하부 모듈(L)이 옵틱 챔버(C)에 연통 결합되는 과정에서 옵틱 챔버(C)의 내부에 배치되도록 구성될 수 있다. In this case, the above-described collecting block 240 is coupled to the top of the lower module (L) lower module (L) may be adapted to be disposed in the interior of the optic chamber (C) in the process of being coupled in communication with the optic chamber (C) have.

상부 모듈(U)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상부 메인 파이프(220), 인렛 블록(210) 및 노즐 블록(230)을 포함하여 구성될 수 있다. The upper module (U) can comprise an upper main pipe 220, the inlet block 210 and the nozzle block 230, as illustrated in FIGS. 상부 메인 파이프(220)는 중공의 원통형으로 케이스(100)에 밀봉 결합되며 일측에는 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트(221)가 형성된다. Upper main pipe 220 is hermetically coupled to the case 100 in a substantially hollow cylindrical shape, and one side of the upper portion intake port 221 is formed so as to be connected to the suction pump. 인렛 블록(210)은 상부 메인 파이프(220)의 상단에 밀봉 결합되며, 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로(211)가 관통 형성된다. Inlet block 210 is hermetically coupled to the upper end of the upper main pipe 220, the suction passage 211 so that the particles can be introduced from the outside is formed through. 이때, 흡입 유로(211)는 도 4에 도시된 바와 같이 입자 흡입이 용이하도록 상부가 넓고 하부가 좁은 형태로 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the suction passage 211 is preferably wide and the upper bottom is formed from a narrow form to facilitate the inhalation particles, as shown in Fig. 노즐 블록(230)은 인렛 블록(210)의 하부에 위치하도록 상부 메인 파이프(220)의 내부에 배치되며, 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)의 일단에 밀봉 결합된다. Nozzle block 230 is disposed in the interior of the upper main pipe 220 is positioned in the lower portion of the inlet block 210 and is hermetically coupled to one end of the particle flow passage 101 of the case 100. 이때, 각 구성요소의 밀봉 결합 부위에는 밀봉 결합이 가능하도록 별도의 실링 부재(R)가 개재되거나 또는 각 구성요소에 실링 부재(R)가 일체형으로 형성되는 방식으로 구성될 수 있다. At this time, the separate sealing member (R) is disposed, or the sealing members (R) of each component can be configured in a manner that is formed integrally with the seal connecting portion of each component to enable the sealing engagement.

한편, 노즐 블록(230)에는 중앙부에 상하 관통 방향으로 노즐 유로(231)가 형성되며, 노즐 유로(231)의 외측에는 상부 유동홀(232)이 관통 형성된다. On the other hand, the nozzle block 230 is formed with a nozzle passage (231) in the vertical direction through the center portion, the outside of the nozzle passage 231 is formed in the upper flow hole 232, the through. 상부 유동홀(232)은 흡입 포트(221)와 연통되도록 형성되며, 노즐 유로(231)는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)에 연통되도록 밀봉 결합된다. The upper flow hole 232 is formed so as to be in communication with the suction port 221, a nozzle flow path 231 is coupled in communication with the seal so that the particles flow passage 101 of the case 100. 이러한 구조에 따라 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)를 통과한 입자는 유동 관성력에 따라 노즐 유로(231) 또는 상부 유동홀(232)을 선택적으로 통과하게 된다. Particles passing through the suction path 211 of the inlet block 210 in accordance with this structure is selectively passed through the nozzle flow passage 231 or the upper flow hole 232 according to the flow inertia.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이 흡입 펌프가 가동하여 상부 메인 파이프(220)의 흡입 포트(221)를 통해 흡입 압력이 발생하면, 이러한 흡입압력은 노즐 블록(230)의 상부 유동홀(232)을 통해 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)까지 전달되어 외부 공기 및 입자가 흡입 유로(211)를 통해 내부로 유입된다. That is, when the suction pump is running to the suction pressure created through the suction port 221 of the upper main pipe 220, this suction pressure is above the flow holes 232 of the nozzle block 230, as shown in Figure 6 is transmitted to the suction path 211 of the inlet block 210 on the outside air and the particles flows into the inside through the suction passage 211. the 유입된 입자는 그 크기 및 중량이 달라 각각 서로 다른 관성력을 갖게 되는데, 이러한 관성력의 차이에 따라 상대적으로 관성력이 큰 입자는 관성력이 유지되어 노즐 블록(230)의 중앙부에 형성된 노즐 유로(231)로 유입되고 상대적으로 관성력이 작은 입자는 노즐 유로(231)의 외측에 형성된 상부 유동홀(232)을 통과하며 흡입 포트(221) 측으로 흡입된다. The inflow particles there is have each different inertia in size and weight are different, the nozzle passage 231 is formed in a central portion of relatively large particle inertia keeps the inertial force of the nozzle block 230 in accordance with the difference in inertial force the inlet and a relatively small particle inertia force passes through the upper flow hole 232 is formed outside the nozzle passage 231, and is sucked toward the suction ports 221.

이러한 구조에 따라 외부 공간에 부유하는 입자는 상부 모듈(U)에 의해 흡입됨과 동시에 일정 크기 또는 중량 등을 기준으로 선별되어 노즐 블록(230)의 노즐 유로(231)로 유입되며, 이후 노즐 유로(231)로 유입된 입자는 하부 모듈(L)에 의해 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)로 유입된다. According to this structure, particles suspended in the outer space are selected on the basis of a predetermined size or weight, such as at the same time as the suction by the upper module (U) is introduced into the nozzle passage 231 of the nozzle block 230, after the nozzle passage ( 231), the particle flow into the particle flows into the flow passage 101 of the case 100 by a lower module (L).

하부 모듈(L)은 하부 연결 홀더(250)와 하부 메인 블록(260)을 포함하여 구성될 수 있는데, 하부 연결 홀더(250)는 케이스(100)에 밀봉 결합되며 내부 공간이 옵틱 챔버(C)와 연통되도록 하부 유동홀(252)이 형성되며, 하부 메인 블록(260)은 내부 공간이 하부 연결 홀더(250)의 내부 공간과 연통되도록 하부 연결 홀더(250)에 밀봉 결합되며 일측에는 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트(261)가 형성된다. The lower module (L) is lower connecting arrangement 250 and may be configured to include a lower main block 260, a lower connecting arrangement (250) is hermetically coupled to the case 100, the inner space optics chamber (C) to communicate with the lower flow hole 252 is formed in the lower main block 260 is hermetically coupled to the lower connecting arrangement 250 such that the inner space communicates with the inner space of the lower connecting arrangement (250) and has a suction pump side the lower portion intake port 261 to be connected is formed.

즉, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 하부 연결 홀더(250)는 상층으로 갈수록 외경이 작아지도록 단턱지게 형성되는 원통 형상으로 형성될 수 있으며, 외측면에 형성된 단턱부(251)가 케이스(100)에 맞물림되는 방식으로 케이스(100)에 삽입되어 밀봉 결합된다. That is, the lower connecting arrangement 250 as shown in FIGS. 3 and 4 may be formed in a cylindrical shape which is toward the upper layer formed to be stepped to be smaller the diameter, the stage teokbu 251 formed on the outer surface of the case ( 100) is inserted in the case 100 in a way that engagement is coupled to the seal. 이때, 하부 연결 홀더(250)는 상단면이 케이스(100)의 옵틱 챔버(C) 내부에 노출될 수 있도록 케이스(100)에 삽입되며, 하부 유동홀(252)은 옵틱 챔버(C)에 노출되는 상단면으로부터 하부 연결 홀더(250)의 내부 공간까지 관통되게 형성된다. In this case, the lower connecting arrangement 250 is exposed in the optic chamber (C) so as to be exposed to the interior is inserted into the case 100, the lower flow hole 252 is optic chamber (C) of the case 100, the top surface which it is formed to pass through the interior space of the lower connecting arrangement (250) from the top surface. 따라서, 하부 연결 홀더(250)의 내부 공간과 옵틱 챔버(C)는 하부 유동홀(252)을 통해 상호 연통된다. Thus, the inner space and the optic chamber (C) of the lower connecting arrangement (250) are mutually communicated through the lower flow hole 252. The 또한, 하부 연결 홀더(250)와 케이스(100)는 공기 흐름이 하부 유동홀(252)을 통해서만 발생할 수 있도록 상호 결합 부위가 밀봉되게 결합되는데, 이를 위해 하부 연결 홀더(250)와 케이스(100)의 결합 부위에는 다수개의 실링 부재(R)가 삽입 개재되는 것이 바람직하다. The lower connecting arrangement 250 and the case 100 is coupled so that mutual binding site sealed so that the air flow can occur only through the lower flow hole 252, the lower connecting arrangement 250 and the case 100. For this purpose, of the binding sites, it is preferable that a plurality of sealing members (R) which is interposed insert. 하부 메인 블록(260)은 이러한 하부 연결 홀더(250)의 하부에 밀봉 결합되며, 내부 공간이 하부 연결 홀더(250)의 내부 공간과 연통되게 결합된다. The lower main block 260 is hermetically coupled to the lower portion of this lower connecting arrangement 250, are coupled to be communicated with the internal space and the internal space of the lower connecting arrangement (250). 또한, 하부 메인 블록(260)의 일측에는 하부 메인 블록(260)의 내부 공간과 연통되는 하부 흡입 포트(261)가 형성되고, 하부 흡입 포트(261)는 입자 흡입을 위한 흡입 펌프와 연결된다. Further, one side of the lower main block 260, the lower portion intake port (261) in fluid communication with the inner space of the lower main block 260 is formed, and the lower inlet port 261 is connected to a suction pump for particulate inhalation.

따라서, 흡입 펌프가 가동하여 하부 흡입 포트(261)를 통해 흡입 압력이 발생하면, 이러한 흡입 압력은 하부 메인 블록(260) 및 하부 연결 홀더(250)의 내부 공간을 통해 케이스(100)의 옵틱 챔버(C)에 전달됨과 동시에 옵틱 챔버(C)와 연통되는 입자 유동 유로(101)에 전달된다. Thus, the suction pump when operation by the suction pressure created through the lower inlet port 261, such suction pressure optics chamber of the case 100 through the inner space of the lower main block 260 and the lower connecting arrangement (250) is transferred at the same time as the (C) transmitted to the optic chamber (C) and the particle flow communication with flow path 101 to be. 이에 따라 상부 모듈(U)에 의해 유입된 입자는 입자 유동 유로(101)를 통과하여 옵틱 챔버(C) 내부로 유입된다. Accordingly, the particles introduced by the upper module (U) is introduced through the grain flow passage (101) into the optic chamber (C).

즉, 상부 모듈(U)의 노즐 블록(230)에 형성된 노즐 유로(231)는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)와 연통되게 밀봉 결합되기 때문에, 하부 흡입 포트(261)를 통해 형성된 흡입 압력은 케이스(100)의 옵틱 챔버(C) 및 입자 유동 유로(101)를 통해 노즐 블록(230)의 노즐 유로(231) 및 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)에까지 미치게 되고, 이에 따라 관성력이 큰 입자들은 노즐 유로(231) 및 입자 유동 유로(101)를 통과하며 옵틱 챔버(C) 내부로 유입되다. That is, the suction provided through the nozzle block 230, the nozzle passage 231 is a particle flow passage 101, and because the communication sealingly coupled, the lower suction port 261 of the case 100 formed in the upper module (U) pressure was mad far suction path 211 of the case 100 optic chamber (C) and a particle flow passage the nozzle block through 101, 230, the nozzle passage 231 and the inlet block 210 of, and thus the large particles are passing through the inertial force of the nozzle passage 231 and a particle flow passage 101 and be introduced into the optic chamber (C). 이때, 옵틱 챔버(C) 내부로 유입된 입자는 도 6에 도시된 바와 같이 하부 모듈(L)의 하부 유동홀(252)을 통해 계속적으로 전달되는 흡입 압력에 의한 공기 흐름을 따라 옵틱 챔버(C) 내에서 일정한 방향으로 유동하게 되며, 이와 같이 유동하는 입자에 대해 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 통해 입자의 분포 상태를 파악하게 된다. In this case, the optics chamber (C) optic chamber along with the air flow by the suction pressure that is passed continuously through the lower flow hole 252 of the lower module (L), as shown in the particles is a 6 introduced into the (C ) it is caused to flow in a specific direction within, through a light generation unit 300 and the optical detector (400) for the particles to flow in this way is to determine the distribution state of the particles.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)을 포함하는 이러한 임팩터 모듈(200)을 통해 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 일정한 방향을 흐름을 유도하고, 이와 같이 유동하는 입자와의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 검출하여 입자의 분포 상태를 측정하게 된다. Thus, the particle measurement device according to one embodiment of the invention the flow a certain direction to suck the particles suspended in the outer space through this impactor module 200 including an upper module (U) and lower module (L) induction, and it detects the scattered light (S) caused by collision with particles to flow in this way is to measure the distribution state of the particles.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이 광 발생부(300)에서는 초점(F)이 입자 유동 유로(101)의 연장된 경로 상에 위치하도록 옵틱 챕버(C) 내에 입사광(I)을 발생시키고, 임팩터 모듈(200)에 의해 이러한 초점(F) 영역을 연속적으로 통과하는 입자와 입사광(I)의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 수광 검출하여 입자의 분포 상태를 파악한다. That is, generating an incident light (I) within the optic chaepbeo (C) a light-generating unit 300, as shown in Figure 5, the focus (F) is to be positioned on the extended path of the grain flow passage 101, the impactor by receiving the detected scattered light (S) caused by the collision of the particle with the incident light (I) it is continuously passed by this focus (F) domain by module 200 to determine the distribution state of the particles. 이때, 광 발생부(300)와 광 검출부(400)는 도 5에 도시된 바와 같이 케이스(100)의 옵틱 챕버(C)의 양단부에 위치하도록 일렬 배치될 수 있으나, 전술한 바와 같이 직각 방향이나 특정 각도를 이루도록 배치될 수도 있으며, 이는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광(S)이 사방으로 발생하기 때문에 가능한 구조이다. In this case, the light generation unit 300 and the optical detector 400, but may be arranged in line so as to be positioned at both ends of the optic chaepbeo (C) of the case 100 as shown in Figure 5, a right angle as described above, the direction or It may be arranged to achieve a particular angle, which is a structure possible, because the scattered light (S) caused by the collision with the particles to occur in all directions.

만약, 광 발생부(300)와 광 검출부(400)가 도 5에 도시된 바와 같이 상호 대향하는 방향으로 일렬 배치되는 경우에는, 광 검출부(400)에 광 발생부(300)의 입사광(I)이 직접 수광되지 않도록 입사광(I)을 차단하는 별도의 빔스토퍼(440)가 광 검출부 경통(410) 내부에 장착되는 것이 바람직하다. If the incident light of the light-generating unit 300 and the optical detector 400 is mutually opposite in the case where a line disposed in a direction, the light generation unit 300 to the optical detector 400 as shown in Figure 5 (I) this is preferably so that it is not subjected to direct light receiving separate beam stopper 440 that blocks the incident light (I) is mounted inside the lens barrel optical detector 410. 즉, 광 발생부(300)로부터 발생된 입사광(I)이 입자와 충돌하지 않는 경우, 입사광(I)은 초점(F)을 통과하여 계속 전진 진행하게 되는데, 이러한 입사광(I)이 검출 센서(420)에 수광되면 이는 검출 센서(420)에서 노이즈로 작용하게 되므로, 이러한 입사광(I)이 검출 센서(420)에 수광되지 않도록 별도의 빔스토퍼(440)가 장착되는 것이 바람직하다. That is, when the incident light (I) emitted from the light generation unit 300 does not collide with the particles, the incident light (I) is that there is to proceed to move through the focus (F), this incident light (I) a detection sensor ( When receiving the 420), which therefore acts as a noise in the sensor 420, this incident light (I) is not to be received by the detection sensor 420 is preferably a separate beam stopper 440 is mounted. 따라서, 도 5에 도시된 바와 같이 입자와의 충돌에 의해 발생된 산란광(S) 중 빔스토퍼(440) 영역을 벗어난 산란광(S) 만이 검출 센서(420)에 수광되며, 이러한 전방 산란 검출 방식은 다른 방식에 비해 더욱 정확한 측정 결과를 제공할 수 있을 것이다. Therefore, even and only scattered light (S) out of the beam stopper 440, the area of ​​the scattered light (S) caused by the collision of the particles and as shown in Fig. 5 received by the detecting sensor 420, such a forward scattering detection method It will be able to provide more accurate measurements than the other way.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 도 6에 도시된 바와 같이 임팩터 모듈(200)에 의해 옵틱 챕버(C) 내부에서 입자의 흐름이 작은 직경의 유동 경로를 따라 일정한 방향으로 형성되기 때문에, 대부분의 유동 입자가 입사광(I)의 초점(F)을 통과하도록 구성되어 입자의 분포 상태를 측정하는데 있어 더욱 정확한 측정 결과를 제공할 수 있다. In particular, the particle measurement device according to one embodiment of the present invention is formed in a predetermined direction along the flow of the particles of the small diameter flow path within the optic chaepbeo (C) by the impactor module 200 as shown in Figure 6 since, it comprises the majority of the fluid particle to pass through the focus (F) of the incident light (I) I to measure the distribution state of particles can provide more accurate measurements.

한편, 포집 블록(240)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상단면이 평면을 이루는 원형 기둥의 형태로 형성될 수 있는데, 이외에도 사각형 기둥, 오각형 기둥과 같은 다각형 기둥의 형태로 형성될 수도 있다. On the other hand, the collection block 240 may be formed in the form of a circular column the upper end surface forming a plane, as shown in Figs. 3 and 4, in addition may be formed in the shape of a polygonal pillar such as a square pillar, a pentagonal pillar have. 이때, 포집 블록(240)은 상단면이 입자 유동 유로(101)의 길이 방향 중심축과 수직하게 교차하는 평면을 이루도록 배치되는 것이 바람직하며, 이에 따라 포집 블록(240)의 상단면이 입자의 유동 방향에 대해 수직한 면을 이루어 유동하는 입자에 대한 포집 효율이 더욱 향상된다. At this time, the collection block 240 is the upper end surface a particle flow passage 101. longitudinal center axis and perpendicular to the preferably arranged to fulfill the intersecting plane, so that the flow of the particles, the upper end surface of the collector block 240 of the collection efficiency for particles flowing done in a plane perpendicular to the direction is further improved. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 입자 유동 유로(101)의 연장된 경로 상에 입사광(I)의 초점 영역이 위치하고, 아울러 동일한 경로 상의 하부에 포집 블록(240)의 상단면 중심이 배치되는 형태로 상호 일렬 배치되는 것이 바람직하다. That is, as shown in FIG. 6 is located, the focus area of ​​the incident light (I) on the extended path of the grain flow passage 101, as well as the form that the upper end surface center of the arrangement of the absorption block 240 to the bottom on the same path, a is preferably arranged mutually in line.

또한, 포집 블록(240)은 옵틱 챔버(C)에 유입되는 입자를 포집하기 위한 것으로, 포집 블록(240)에 입자가 포집되는 원리는 임팩터 모듈(200)에 의해 관성력을 가지며 일정한 흐름 방향으로 이동하는 입자가 포집 블록(240)의 상단면에 부딪히며 가압되는 방식으로 진행된다. Further, the collecting block 240 is moved to the predetermined direction of flow has an inertial force by the optic chamber intended to collect the particles flowing into the (C), the collection block principle that particles are collected on the 240 impactor module 200 proceeding in such a way that the particles are pressed budithimyeo on the top surface of the collecting block 240 is a. 따라서, 포집 블록(240)의 상단면이 전술한 바와 같이 입자의 흐름 방향에 대해 수직면을 이루도록 배치되는 것이 바람직하며, 이와 같이 입자가 포집된 포집 블록(240)은 입자에 대한 성분 분석 등 다양한 분석을 위해 임팩터 모듈(200)로부터 분리 제거되어 별도의 시험 장치에 의해 분석된다. Therefore, as the upper end face of the collector block 240 described above, it is preferable to be arranged to fulfill the vertical plane to the flow direction of the particles, thus collecting block 240, the particles are trapped are different analysis, composition analysis of the particles It is separated off from the impactor module 200 is analyzed by a separate test unit for. 이러한 분석은 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)에 의한 입자 분포 상태 분석 결과와 비교하여 특정 공간에서의 입자의 특성에 대해 다양한 결과를 제공하는데, 이러한 분석 과정 중 특히 입자의 성분 분석과 관련하여 포집 블록(240)의 재질에 따라 입자의 성분 분석 결과가 영향을 받을 수 있다. This analysis light generation unit 300 and to the comparison with the particle distribution analysis result by the optical detector 400 provides a variety of results for the properties of the particles in a given space, the component analysis of the analysis process of the particular particle and related to a component analysis results of the particles may be affected by the material of the collecting block 240. the 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 포집 블록(240)은 포집된 입자에 대한 분석 과정에서 포집 블록(240) 자체 변수를 최소화할 수 있도록 단일 금속 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들면, 금, 은 등의 재질로 일체로 형성될 수 있다. Thus, the collecting block 240 according to an embodiment of the present invention is preferably formed of a single metal material to minimize the collection block 240 is itself variable in the analysis process for the collected particles, for example, gold, may be integrally formed of a material such as.

한편, 포집 블록(240)은 하부 모듈(L), 보다 구체적으로는 하부 연결 홀더(250)의 상단에 결합되어 옵틱 챔버(C)의 내부에 배치되도록 구성될 수 있는데, 하부 연결 홀더(250)에 결합되는 방식은 끼워맞춤 방식이나 또는 볼트 결합 방식 등 다양한 방식으로 구성될 수 있으며, 이 경우 포집 블록(240)이 하부 연결 홀더(250)에 탈착 가능하게 결합되도록 구성되는 것이 바람직하다. On the other hand, collecting There block 240 is coupled to the top of the lower module (L), Specifically, the lower connecting arrangement (250) than can be configured to be disposed in the interior of the optic chamber (C), the lower connecting arrangement (250) is fitted to the way in which coupling may be configured in a variety of ways, such as alignment or bolted or manner, and in this case is preferably configured such that the collection block 240 is coupled detachably to the lower connecting arrangement (250). 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 하부 모듈(L)의 상단, 구체적으로는 하부 연결 홀더(250)의 상단에는 상향 돌출되는 결합 돌기(253)가 형성되고, 포집 블록(240)의 하부면에는 이러한 결합 돌기(253)가 삽입될 수 있는 결합홈(241)이 형성되어, 결합 돌기(253) 및 결합홈(241)에 의해 포집 블록(240)이 하부 연결 홀더(250)에 끼워맞춤 결합되는 방식으로 탈착 가능하게 결합될 수 있다. For example, FIG. 3 and the top, specifically the top of the lower connecting arrangement 250 is formed with a coupling protrusion 253 is upwardly protruding, the collection block (240 of the lower module (L) as it is shown in Figure 4 ), the coupling groove (241 in this engaging projection 253 may be inserted) is formed, the engaging projections 253 and the collection block 240 by a coupling groove 241, the lower connecting arrangement 250, the lower surface of the the fitting can be coupled detachably in such a way that coupling alignment. 이때, 하부 유동홀(252)은 결합 돌기(253)에 결합된 포집 블록(240)의 외측 주변에 대칭되게 배치되도록 다수개 형성될 수 있으며, 이를 통해 옵틱 챔버(C)로부터 하부 모듈(L)로의 공기 흐름이 원활하게 진행될 수 있다. At this time, the lower flow hole 252 may be formed in plurality so as to be disposed symmetrically in the outer periphery of the captured block 240 coupled to the coupling protrusion 253, which lower module from the optic chamber (C) through (L) the air flow to be conducted smoothly.

이와 같이 포집 블록(240)이 하부 모듈에 탈착 가능하게 결합되면, 포집 블록(240)의 상면에 포집된 입자의 성분 분석을 위해 포집 블록(240)을 임팩터 모듈(200)로부터 분리 제거해야 하는 경우, 포집 블록(240)의 분리가 용이하여 포집 블록(240)에 포집된 입자를 안정된 상태로 성분 분석할 수 있다. When thus capture block 240 is removably coupled to the lower module, when the captured block 240 must be separated and removed from the impactor module 200 for the component analysis of the collected particles on a top surface of the collector block 240 , easy separation of the absorption block 240 to the particle component collected in the collecting block 240, a steady state can be analyzed.

좀 더 자세히 살펴보면, 일반적인 임팩터 모듈의 경우 별도의 포집판이 얇은 박판의 형태로 구성되어 임팩터 모듈의 포집 플레이트에 부착되는 방식으로 장착된다. Looking in more detail, in the case of general impactor module is configured in the form of separate plates trapped thin sheet is mounted in a manner to be attached to the absorption plate of the impactor module. 따라서, 포집판에 포집된 입자의 성분 분석을 위해 임팩터 모듈로부터 포집판을 분리할 때, 핀셋 등을 이용하여 매우 조심스럽게 포집판을 포집 플레이트로부터 떼어내는 방식으로 작업하였으며, 이 과정에서 포집판이 손상되거나 포집된 입자가 일부 손실되어 입자에 대한 정확한 성분 분석이 어려워 정확한 분석 결과를 얻을 수 없었다. Therefore, when removing the collecting plate from the impactor module for the compositional analysis of the collected particles to the collecting plate, was working in such a way that very careful using tweezers, etc. Carefully remove the collecting plate from the collecting plate, the collecting plate is damaged in this process or the collected particles are part of the loss was not possible to obtain an accurate compositional analysis is difficult to correct analysis of the particles. 그러나 본 발명의 일 실시예에 따른 포집 블록(240)은 원형 기둥, 사각형 기둥과 같이 다각형 기둥의 형태로 형성되어 임팩터 모듈(200)의 하부 모듈(L)에 탈착 가능하게 결합되기 때문에, 포집 블록(240)의 분리가 용이하여 포집된 입자에 대한 손실이나 포집 블록(240)에 대한 손상이 발생하지 않고, 이에 따라 입자에 대한 성분 분석을 더욱 정확하게 수행할 수 있다. However, collecting block 240 according to an embodiment of the present invention are bonded detachably to the lower module (L) of the impactor module 200 is formed in the shape of a circular pillar, a polygonal pillar such as a square column, collecting block 240, separation is easy to damage to or loss of capture block 240 for the collected particles, without the occurrence of, and therefore can be carried out more accurately the component analysis of the particles. 또한, 일반적인 임팩터 모듈의 포집판의 경우 전술한 바와 같이 1회 사용후 손상되기 때문에 매번 새로운 포집판을 교체해야 하므로 그 작업이 번거로울 뿐만 아니라 비용 또한 증가하게 되는데, 본 발명에 따른 포집 블록(240)은 입자에 대한 분석 후에도 반복적으로 사용할 수 있고, 그 탈착이 용이하여 분석 작업 과정이 단순하게 진행되고 비용 또한 절감할 수 있다. In addition, since the need to each time replacing a new collecting plate due to damage and then the case of the collecting plate used once as described above, a typical impactor module there is that its operation is also increased costs, as well as cumbersome, collection block 240 according to the invention and it can be used repeatedly after the analysis of the particle, and its removable, easy going simplify the analysis process costs are also reduced.

한편, 포집 블록(240)은 전술한 바와 같이 포집된 입자들을 성분 분석함으로써 광 검출부(400)에 의해 측정된 입자의 분포 상태에 대한 검증 기능으로서 활용될 수 있으며, 아울러 이와는 별개로 옵틱 챔버(C) 내부로 유입된 입자를 다시 한번 선별하는 기능으로 활용될 수 있다. On the other hand, the collection block 240 by analyzing the collected particles as described above, components can be utilized as a validation of the distribution of the particles measured by the light detecting section 400, as well as optics chamber (C separately contrast, ) it may be utilized with the ability to once again screening the particles from entering the inside.

즉, 입자 유동 유로(101)를 통과하여 옵틱 챔버(C) 내부로 유입된 입자는 관성력의 차이에 따라 상대적으로 관성력이 큰 입자는 관성력이 유지되어 포집 블록(240) 측으로 유동하여 포집 블록(240)의 상단면에 포집되고, 상대적으로 관성력이 작은 입자는 외측의 하부 유동홀(252) 측으로 유동하여 하부 흡입 포트(261)로 유입 배출되며, 이러한 구조를 통해 상대적으로 관성력이 큰 입자만을 포집 블록(240)에 포집할 수 있다. That is, the particles introduced into the optic chamber (C) through the grain flow passage 101 is relatively large particle inertia keeps the inertial force based on the difference between the inertial force and flows toward the capture block 240 collecting block (240 ) only the captured block relatively large particle inertia force to be collected on the top surface, a relatively a small particle inertia is to flow toward the lower flow hole 252 of the outer inlet discharged to the lower inlet port 261, through such a structure of It can be trapped in 240. the 이와 같이 포집된 입자들은 이후 별도의 성분 분석을 통해 중량, 크기, 성분 등을 파악할 수 있으며, 이와 같이 파악된 입자에 대한 측정값은 광 검출부(400)에 의해 측정된 입자의 분포 상태에 대한 검증 작업으로서 기능할 수 있다. Thus, the collected particles and to identify the weight, size, components, such as a separate component analysis Thereafter, the measurement values ​​for the particles identified in this way is verified for the distribution of the particles measured by the light detector 400 operations can function as. 아울러, 이러한 입자 흐름 구조를 통해 2차적으로 입자가 선별되는 기능이 수행된다. In addition, the features that the particles are screened secondarily is performed through this particle flow structure. 즉, 전술한 바와 같이 상부 모듈(U)의 노즐 블록(230)을 통해 1차적으로 입자가 선별되며, 입자 유동 유로(101)를 통과하여 옵틱 챔버(C) 내부에 유입된 입자는 다시 포집 블록(240)을 통해 입자가 선별된다. That is, primarily, and the particles are screened, through a particle flow passage 101. The particles are again collected block flows into the internal optics chamber (C) through the nozzle block 230 of the upper module (U) as described above the particles are screened through a 240. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 이러한 노즐 블록(230) 및 포집 블록(240)을 통해 사용자의 필요에 따라 특정 입자에 대한 분포 상태만을 분리하여 측정할 수 있고, 또한 노즐 블록(230) 및 포집 블록(240)의 형상 변경과 흡입 압력의 조절을 통해 선별하는 입자의 크기를 다양하게 조절할 수 있을 것이다. Thus, the particle measurement device according to an embodiment of the present invention can be measured by separating only the distribution of the particular particle according to the user's needs through this nozzle block 230 and the collecting block 240, and a nozzle block the size of the particles for sorting through the control of the shape change and the suction pressure of 230 and a collecting block 240 will have a wide range of adjustment.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The above description is only to those described as the technical idea of ​​the present invention by way of example, those skilled in the art that various modifications, additions and substitutions will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Accordingly, the disclosed invention embodiments is for illustrative and not intended to limit the technical idea of ​​the present invention, not by such an embodiment is the technical scope of the present invention is not limited. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The scope of protection of the invention is to be interpreted by the following claims, all spirits within a scope equivalent will be construed as included in the scope of the present invention.

100: 케이스 200: 임팩터 모듈 100: Case 200: impactor module
240: 포집 블록 250: 하부 연결 홀더 240: collecting block 250: the lower connecting arrangement
300: 광 발생부 400: 광 검출부 300: light-generating unit 400: photodetection unit

Claims (8)

  1. 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 측정하는 입자 측정 장치에 있어서, By using the scattered light in the particle measuring apparatus for measuring the distribution of particles,
    내부 공간에 옵틱 챔버가 형성되고, 상기 옵틱 챔버에 연통되도록 입자 유동 유로가 관통 형성되는 케이스; Case in which particles flow through a flow path formed so that the optic chamber is formed, communicating with the optic chamber in the interior space;
    상기 케이스에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하여 상기 옵틱 챔버로 유입되도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈; Impactor module for sucking particles to be introduced into the optic chamber is attached to the case through the said particles flow passage particles suspended in the outer space;
    상기 옵틱 챔버 내에 초점이 형성되도록 입사광을 발생시키는 광 발생부; Light generating unit that generates an incident light such that the focus is formed in the optic chamber; And
    상기 입사광과 상기 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 수광 검출하는 광 검출부 An optical detector for detecting the light receiving scattered light generated by the collision of the particle passing through the incident light and the incident light of the focus area
    를 포함하고, 상기 임팩터 모듈은 상기 옵틱 챔버로 유입된 입자를 포집할 수 있도록 상기 옵틱 챔버 내부에 배치되는 포집 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. Including, said impactor module particle measuring apparatus comprises a collecting block disposed within the optic chamber to trap the particles introduced into the optics chamber.
  2. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 임팩터 모듈은 The impactor module
    상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 상기 입자 유동 유로를 통과할 수 있도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별하는 상부 모듈; The particle flow passage one end mounted in communication with the upper portion of the suction sorting particles suspended in the external space to be at least a certain size of particles passing through the flow passage of the particles module;
    상기 옵틱 챔버와 연통되게 장착되어 상기 상부 모듈에 의해 선별된 입자가 상기 입자 유동 유로를 통해 상기 옵틱 챔버로 유입되도록 입자를 흡입하는 하부 모듈; The optics chamber and is mounted in communication with the lower module to suck the particles are introduced into the optic chamber is selected particle by the upper modules through the particle flow path; And
    상기 상부 모듈 및 하부 모듈을 통해 입자가 흡입되도록 상기 상부 모듈 및 하부 모듈에 각각 결합되는 흡입 펌프 A suction pump which is respectively coupled to the upper module and lower module so that the particles are sucked through the upper module and lower module
    를 포함하고, 상기 포집 블록은 상기 하부 모듈의 상단에 결합되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. And wherein the block is trapped particle measuring apparatus, characterized in that coupled to the upper end of the lower module.
  3. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2,
    상기 상부 모듈은 The upper module
    중공의 원통형으로 상기 케이스에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트가 형성되는 상부 메인 파이프; Sealing engagement with the casing in a substantially hollow cylindrical shape, and the upper main pipe where the upper suction port is formed so as to be connected to the suction pump side;
    상기 상부 메인 파이프의 상단에 밀봉 결합되며 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로가 형성되는 인렛 블록; Bond sealing to the upper end of the upper main pipe and inlet blocks the suction passage is formed to allow the particles flowing from the outside; And
    상기 인렛 블록의 하부에 위치하도록 상기 상부 메인 파이프의 내부에 배치되며 상기 흡입 유로를 통해 유입된 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과할 수 있도록 노즐 유로 및 상부 유동홀이 각각 형성되는 노즐 블록 The nozzle is disposed in the main pipe to the upper position to a lower portion of the inlet flow path block in which the nozzle and the upper flow hole is formed so that the particles flowing through the inhalation flow path for selectively passing a block in accordance with the force of inertia
    을 포함하고, 상기 노즐 블록은 상기 노즐 유로가 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되도록 상기 케이스에 밀봉 결합되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. And, the nozzle block including the particle measurement device, characterized in that the sealing engagement in the case that the nozzle passage to be communicated with one end of the particle flow passage.
  4. 제 3 항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 하부 모듈은 The lower module
    상기 케이스에 밀봉 결합되며 내부 공간이 상기 옵틱 챔버와 연통되도록 하부 유동홀이 형성되는 하부 연결 홀더; Lower connecting arrangement is sealing coupled with the case in which a lower flow hole formed such that an inner space communicating with said optics chamber; And
    내부 공간이 상기 하부 연결 홀더의 내부 공간과 연통되도록 상기 하부 연결 홀더에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트가 형성되는 하부 메인 블록 The internal space is in communication with the inner space is sealed to the lower connecting arrangement coupled to one side of the lower main block where the bottom suction ports formed so as to be connected to the suction pump of the lower connecting arrangement
    을 포함하고, 상기 포집 블록은 상기 하부 연결 홀더의 상단에 결합되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. And the collecting block including the particle measurement device, characterized in that coupled to the upper end of the lower connecting arrangement.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of the preceding claims,
    상기 포집 블록은 상단면이 상기 입자 유동 유로의 길이 방향 중심축과 수직하게 교차하는 평면을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. The collecting block particle measuring apparatus such that a top surface arranged to fulfill a plane that perpendicularly intersects the longitudinal central axis of the particle flow passage.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of the preceding claims,
    상기 포집 블록은 단일 금속 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. The collecting block particle measuring apparatus being formed of a single metal material.
  7. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 2 to 4,
    상기 포집 블록은 상기 하부 모듈에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. The collecting block particle measuring apparatus, characterized in that coupled detachably to the lower module.
  8. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 하부 모듈의 상단에는 상향 돌출되는 결합 돌기가 형성되고, 상기 포집 블록의 하부면에는 상기 결합 돌기가 삽입될 수 있는 결합홈이 형성되어, 상기 결합 돌기 및 결합홈에 의해 상기 포집 블록이 상기 하부 모듈에 끼워맞춤 결합되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. Is formed with engaging projections upwardly protruding, the top of the lower module, the engaging groove with which the engaging projection can be inserted into the lower side of the collecting block is formed, is the lower the engaging projection and the collecting block by a coupling groove fitted to the module particle measuring apparatus characterized in that the coupling alignment.

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