KR101159762B1 - Paticle Measurement Apparatus - Google Patents

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KR101159762B1
KR101159762B1 KR20100000974A KR20100000974A KR101159762B1 KR 101159762 B1 KR101159762 B1 KR 101159762B1 KR 20100000974 A KR20100000974 A KR 20100000974A KR 20100000974 A KR20100000974 A KR 20100000974A KR 101159762 B1 KR101159762 B1 KR 101159762B1
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KR
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particles
particle
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light
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KR20100000974A
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KR20110080646A (en )
Inventor
권용택
최정석
윤진욱
안진홍
안강호
정혁
Original Assignee
(주)에이치시티
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Abstract

본 발명은 입자 측정 장치에 관한 것으로, 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있으며, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있는 입자 측정 장치를 제공한다. The present invention can be made, using the scattered light colliding with particles derived and the intake flow to a certain flow by forced suction the particles of the outer space by the impactor module measures the distribution of the particles in real-time on the particle measuring apparatus since in the space there is no flow of air can force sucks the particle to measure the distribution state of particles, it is possible to identify the contamination particle distribution of real-time to the appropriate space in the various spaces, in particular, when such as a clean room facility clean it is possible to measure the particle distribution at various points of the room space inside the facility, there is provided a particle measurement apparatus which can be utilized useful for finding a particular source of contamination in a clean room facilities inner space.

Description

입자 측정 장치{Paticle Measurement Apparatus} Particle measuring apparatus Paticle Measurement Apparatus} {

본 발명은 입자 측정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a particle measuring apparatus. 보다 상세하게는 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있고, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있으며, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있는 입자 측정 장치에 관한 것이다. More specifically it is possible by using a scattered light is in conflict with the particles to force the suction induce certain flow and the suction flow to the particles of the outer space by the impactor module to measure the distribution state of the particles in real-time, there is no flow of air because the force sucking the particles in the space to measure the distribution state of particles, it is possible to identify the contamination particle distribution of the space in real time in a variety of space, in particular, when such as a clean room facility clean room facilities different in the inner space it is possible to measure the particle distribution at the point, a clean room facilities relates to a particle measurement apparatus which can be utilized useful for finding a particular source of contamination in the inner space.

일반적으로 반도체 공정이나 LCD 공정과 같은 나노 수준의 고도 정밀 공정은 작업 설비 내에 오염 입자가 발생하게 되면, 치명적인 제품 불량으로 이어질 수 있으므로, 고도의 청결 상태가 유지될 수 있도록 클린룸과 같은 청정 설비 내에서 공정이 진행되고 있으며 이러한 설비에서는 오염 입자에 대한 실시간 감시 또한 매우 엄격하게 이루어지고 있다. Typically within high-precision processing of nanoscale, such as semiconductor processing or LCD process clean equipment such as a clean room so that it can be if it causes pollution particles in the work equipment, it can lead to deadly product defects, maintain a high degree of cleanliness is the process is going on in these facilities it has been made to the real-time monitoring also very strict for the contaminant particles.

따라서, 이러한 설비에서는 설비 내의 오염 입자 측정을 위한 별도의 입자 측정 장치가 사용되고 있으며, 이러한 입자 측정 장치를 통해 실시간으로 설비 내의 특정 챔버에 대한 입자 분포 상태가 측정되고 있다. Accordingly, such equipment in which a separate particle measuring apparatus for measuring particle contamination in the equipment being used, the particle distribution is measured for a particular chamber in the equipment in real time through this particle measurement apparatus.

이러한 입자 측정 장치는 임의의 측정 챔버 내의 입자의 분포 상태, 즉 입자의 크기 및 개수 등을 측정하는 것으로, 클린룸 설비 이외에도 대기 오염 입자의 분포 상태를 측정하거나 실험실 등에서 특정 입자의 분포 상태를 측정하기 위해 사용되는 등 매우 다양한 분야에 널리 사용되고 있다. This to particle measuring device measures the distribution of certain particle etc. random distribution of particles, that is in addition to that measured on the size and number of the particles, a clean room facilities measure the distribution of air pollution particles or laboratory in the measurement chamber a wide variety of fields, such as used for widely used.

입자 측정 장치의 종류는 측정 가능한 입자의 크기 또는 측정 방식 등에 따라 다양하게 분류되는데, 통상 나노 수준의 입자를 측정하기 위한 입자 측정 장치로는 빛을 이용한 방식으로 광 산란 방식과 광 흡수 방식으로 크게 대별된다. Type of particle measurement apparatus measurable there is variously classified according to the size or measurement method of the particles, a particle measuring apparatus for measuring particles in conventional nano-scale is largely classified into light-scattering method and the light absorption method, using with the light do.

광 산란 방식은 측정 챔버 내에 광을 입사한 후 측정 챔버 내부 공간에서 유동하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 파악하는 방식이고, 광 흡수 방식은 측정 챔버 내에 광을 입사한 후 측정 챔버 내부 공간에서 유동하는 입자에 의해 흡수되는 광량을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 파악하는 방식이며, 이 두가지 방식의 입자 측정 장치는 사용자의 필요에 따라 선택적으로 널리 사용되고 있다. Light scattering method is a method that after the incident light in the measuring chamber by detecting a scattered light caused by the collision with the particles flowing in the measurement chamber inside space determine the size and number of particles, light absorption methods are light within the measurement chamber the incident after a way to detect the amount of light that is absorbed by the particles flowing in the measurement chamber, the internal space to determine the size and number of particles, the particle measuring apparatus of the two methods is selectively used widely according to the needs of the user.

이 중 광 산란 방식의 입자 측정 장치의 원리를 좀 더 자세히 살펴보면, 측정 챔버 내에 하나의 초점을 형성하도록 입사광을 발생시키고, 이러한 입사광과 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생하는 산란광을 검출하여 입자의 크기 및 개수를 측정하게 된다. Looking at this in more detail the principle of the particle measuring apparatus of the light scattering method of, generating an incident light to form a focus in the measuring chamber, the scattered light generated by this incident light and the collision of the particles and to pass the incident light of the focus area detection is by measuring the size and number of the particles. 일반적으로 입자의 크기가 0.05μm 내지 4μm 인 경우, 입자의 크기는 입자 크기와 빛의 세기와의 관계를 규명하는 Mie 이론을 적용하여 이론적으로 산출할 수 있는데, 일반적인 광 산란 방식 입자 측정 장치는 이와 같이 이론적으로 산출되는 산란광의 인텐서티와 실제 측정된 산란광의 인텐서티 값을 비교하여 입자의 크기 및 개수를 측정하도록 구성된다. In general, the particle size 0.05μm to about 4μm, may to a particle size is applied to the Mie theory to investigate the relationship between the particle size and the light intensity be calculated theoretically, the common light scattering method particle measurement apparatus The as compared with the Intensity Intensity values ​​of the actual measured scattered light in scattered light which is calculated theoretically and is configured to measure the size and number of particles.

그러나 이러한 입자 측정 장치는 그 구조상 일정한 방향의 공기 흐름이 발생하는 곳에 주로 적용되고 있으며, 공기 흐름이 정체된 특정 공간에서 입자의 분포 상태를 파악하는 것이 용이하지 않고, 특히 이러한 특정 공간에서 입자의 분포 상태를 영역별로 분리해서 측정하는 것은 더욱 용이하지 않다는 문제가 있었다. However, this particle measurement apparatus is mainly applied where the air flow of its structure a specific direction occurs, is not easy to grasp the distribution state of particles in a particular area with the air flow stagnation, in particular the distribution of particles in this particular space to measure separately the status for each region there is a problem is not more easily. 따라서, 클린룸 설비의 내부에 각종 기계 장치 등에 의해 특정 영역에서 먼지 입자가 많이 발생될 수 있는데, 종래 기술에 의한 일반적인 입자 측정 장치는 입자의 분포 상태를 영역별로 분리 측정하기가 어렵기 때문에, 이러한 클린룸 설비 내에서 오염 입자 발생의 집중 영역을 찾아내는 것이 어렵다는 문제가 있었다. Therefore, since there in a particular area or the like various machines in the interior of the clean room equipment device may be generated a lot of dust particles, the typical particle measuring apparatus according to the prior art are difficult to separate measuring the distribution state of the particles for each region, these in a clean room facility it had a problem finding it difficult to focus on areas of polluted particles occurs.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하는 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. The present invention is invented to solve the problems of the prior art, an object of the present invention particles and forced inhalation of particles of the outer space by the impactor module using a scattered light colliding with particles derived and the intake flow the constant flow the distribution to provide a particle measurement apparatus which can measure in real-time.

본 발명의 다른 목적은 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention it is possible to forcibly suck the particles in space with no air flow to measure the distribution state of particles, it is possible in real time to identify the contamination particle distribution of the spaces in the various spaces, in particular, clean room it is possible to measure the particle distribution at various points in the clean room space inside the facility when such equipment, to provide a particle measurement apparatus which can be utilized useful for finding a particular source of contamination in a clean room facilities inner space.

본 발명의 또 다른 목적은 임팩터 모듈을 통해 외부 공간의 입자를 흡입함과 동시에 입자의 흐름을 일정한 방향으로 유도하도록 구성하여 입자가 입사광의 초점 영역을 집중적으로 통과하도록 함으로써, 측정 공간의 입자 분포 상태에 대한 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. Furthermore, by further object is to and at the same time suck the particles of the external space to derive a stream of particles in a specific direction by the particles concentrate pass to the incident light of the focal region through the impactor module, the particle size distribution of the measurement space conditions of the present invention a more accurate measurement result for the particle to provide a measuring device that can be obtained.

본 발명의 또 다른 목적은 임팩터 모듈을 통해 흡입되는 입자를 측정 조건에 따라 선별할 수 있어 사용자의 필요에 따라 다양한 종류의 입자만을 선별하여 입자의 분포 상태를 분리 측정할 수 있는 입자 측정 장치를 제공하는 것이다. Provide a particle measurement apparatus that is capable of still further object of the present invention can be selected according to the particle measurement condition to be sucked through the impactor module selects only different types of particles according to the user's need for a separate measuring the distribution of particles to.

본 발명은, 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 측정하는 입자 측정 장치에 있어서, 내부 공간에 옵틱 챔버가 형성되고, 상기 옵틱 챔버를 관통하는 방향으로 입자 유동 유로가 관통 형성되는 케이스; The present invention, in the case in which the particle measuring apparatus for measuring the distribution of particles by using a scattered light, the optic chamber is formed in the inner space, the particles flow passage in a direction passing through the optic chamber is through-formed; 상기 케이스에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈; Impactor module that is attached to the suction case the particles are particles suspended in the external space to pass through the particle flow path; 상기 옵틱 챔버 내에 초점이 형성되도록 입사광을 발생시키는 광 발생부; Light generating unit that generates an incident light such that the focus is formed in the optic chamber; 및 상기 입사광과 상기 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 수광 검출하는 광 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치를 제공한다. And it provides a particle measuring apparatus comprising: a light detector for detecting light receiving scattered light generated by the collision of the particle passing through the incident light and the incident light of the focus area.

이때, 상기 임팩터 모듈은 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별하는 상부 모듈; At this time, the impactor module for the upper module suction sorting particles suspended in the outer space is mounted so as to be communicated with one end of the particle flow flowing through the flow passage, only the particles larger than a certain size particles; 상기 입자 유동 유로의 타단에 연통되게 장착되어 상기 상부 모듈에 의해 선별된 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 입자를 흡입하는 하부 모듈; It is mounted in communication with the other end of the particle flow passage lower module for sucking the particles of selected particle by the upper module so as to pass through the particle flow path; 및 상기 상부 모듈 및 하부 모듈로 입자가 흡입되도록 상기 상부 모듈 및 하부 모듈에 각각 결합되는 흡입 펌프를 포함하여 구성될 수 있다. And it can comprise a suction pump which is respectively coupled to the upper module and lower module so that the particles are sucked into the upper module and lower module.

이때, 상기 상부 모듈은 중공의 원통형으로 상기 케이스에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트가 형성되는 상부 메인 파이프; At this time, the upper module seal is coupled to the casing in a substantially hollow cylindrical shape, and the upper is the upper suction port is formed so as to be connected to the pump suction side main pipe; 상기 상부 메인 파이프의 상단에 밀봉 결합되며 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로가 형성되는 인렛 블록; Bond sealing to the upper end of the upper main pipe and inlet blocks the suction passage is formed to allow the particles flowing from the outside; 및 상기 인렛 블록의 하부에 배치되어 상기 흡입 유로를 통해 유입된 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과하도록 노즐 유로와 상부 유동홀이 각각 형성되며 상기 노즐 유로는 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 밀봉 결합되도록 형성되는 노즐 블록을 포함하여 구성될 수 있다. And wherein are arranged on the lower portion of the inlet block and forming a nozzle passage and the upper flow hole so that the particles are selectively passed, depending on the inertial force coming from the inhalation flow path and each of the nozzle flow path is a bond sealing to be communicated to one end of the particle flow passage a nozzle block formed so can comprise.

또한, 상기 하부 모듈은 내부 공간이 상기 입자 유동 유로의 타단에 연통되도록 상기 케이스에 밀봉 결합되는 하부 연결 블록; In addition, the lower module is connected to the lower block is coupled to the sealed casing so that the inner space communicates with the other end of the particle flow path; 및 내부 공간이 상기 하부 연결 블록의 내부 공간과 연통되도록 상기 하부 연결 블록에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트가 형성되는 하부 메인 블록을 포함하여 구성될 수 있다. And sealing the inner space, coupled to the lower connecting block such that communication with the interior space of the lower connecting block and may be configured to include a lower main block that is formed such that the lower suction port is connected to the pump suction side.

또한, 상기 하부 모듈은 상기 하부 연결 블록 내부에 배치되어 상기 입자 유동 유로를 통과한 입자가 관성력에 따라 선택적으로 포집되도록 포집홈이 형성되는 임팩터 플레이트를 더 포함하고, 상기 임팩터 플레이트에는 상기 포집홈의 외측에 상기 입자 유동 유로를 통과한 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과할 수 있도록 하부 유동홀이 형성될 수 있다. In addition, the lower module is of the collecting groove is disposed within said lower connecting block further comprises an impactor plate that is collecting groove forming the particles passing through the flow passage wherein the particles to be selectively collected in accordance with the inertial force, the impactor plate the particles passing through the flow passage to the outside the particles can be a lower flow hole formed to selectively passing along the inertia force.

또한, 상기 광 발생부와 광 검출부는 상호 대향하는 방향으로 일렬 배치되고, 광 검출부에는 상기 광 발생부의 입사광이 직접 수광되지 않도록 상기 입사광을 차단하는 빔스토퍼가 구비될 수 있다. Further, the light generating portion and the light detecting section is a line arranged in a direction to face each other, the light detector may be provided with a beam stopper for blocking the incident light is incident the light-generating portion from being directly received.

본 발명에 의하면, 임팩터 모듈에 의해 외부 공간의 입자를 강제 흡입하여 일정 흐름을 유도하고 흡입되어 유동하는 입자와 충돌하여 발생하는 산란광을 검출하여 입자의 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect that it is possible to detect the scattered light resulting from the collision with the particles to force the suction induce certain flow and the suction flow to the particles of the outer space by the impactor module to measure the distribution state of the particles in real-time .

또한, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용할 수 있는 효과가 있다. Further, since in the space there is no flow of air can force sucks the particle to measure the distribution state of particles, in real-time in a variety of space and to determine a contamination particle distribution of the space, in particular, when such as a clean room facilities it is possible to measure the particle distribution at various points of the clean room equipment interior space, a clean room facility which produces the effect of found useful take advantage naeneunde specific contamination source in the internal space.

또한, 임팩터 모듈을 통해 외부 공간의 입자를 흡입함과 동시에 입자의 흐름을 일정한 방향으로 유도하도록 구성하여 입자가 입사광의 초점 영역을 집중적으로 통과하도록 함으로써, 측정 공간의 입자 분포 상태에 대한 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다. In addition, through the impactor module by adapted to and at the same time suck the particles of the external space induces the flow of particles in a specific direction by the particles so as to concentrate passes the incident light in the focus area, more accurate measurement of the particle distribution of the measurement space there is an effect that can get results.

또한, 임팩터 모듈을 통해 흡입되는 입자를 측정 조건에 따라 선별할 수 있어 사용자의 필요에 따라 다양한 종류의 입자만을 선별하여 입자의 분포 상태를 분리 측정할 수 있는 효과가 있다. Moreover, it can be selected according to the particle measurement conditions to be sucked through the impactor module there is an effect that it is possible only to a wide variety of particle sorting according to the user's need for a separate measuring the distribution of particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 형상을 개략적으로 도시한 사시도, 1 is a perspective view schematically showing the shape of the particle measurement device according to one embodiment of the invention,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 구조를 개략적으로 도시한 분해사시도, Figure 2 is an exploded perspective view schematically showing the structure of a particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도, Figure 3 is a simplified view of the internal structure of the particle measurement device according to one embodiment of the invention section,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 임팩터 모듈에 의한 입자 흐름 과정을 개념적으로 도시한 단면도, Figure 4 illustrates a process flow by the particle impactor module of the particle measurement device according to one embodiment of the invention a cross-sectional view conceptually,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 산란광 진행 과정을 개념적으로 도시한 단면도이다. Figure 5 is a sectional view showing the progress of the scattering particle measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. With reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention will be described in detail. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. First, in addition as the reference numerals to components of each drawing, for the same elements even though shown in different drawings It should be noted that and to have the same reference numerals as much as possible. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Further, in the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations that are determined to obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 형상을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 구조를 개략적으로 도시한 분해사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 임팩터 모듈에 의한 입자 흐름 과정을 개념적으로 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 산란광 진행 과정을 개념적으로 도시한 단면도이다. Figure 1 is a perspective view schematically showing the shape of the particle measurement device according to one embodiment of the invention, Figure 2 is a structural perspective view schematically showing decomposition of the particle measurement device according to one embodiment of the invention, Fig. 3 is a simplified view of the internal structure of the particle measurement device according to one embodiment of the invention a cross-sectional view, Figure 4 shows the particle flow process due to the impactor module of the particle measurement device according to one embodiment of the invention conceptually a cross-sectional view, and Figure 5 is a sectional view showing the progress of the scattering particle measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 특정 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 흡입된 입자와 입사광(I)과의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 검출하는 방식으로 특정 공간 내의 영역별로 존재하는 입자의 분포 상태, 즉 입자의 크기 및 개수를 측정하는 장치로서, 케이스(100)와, 케이스(100) 내부를 관통하도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈(200)과, 케이스(100)의 내부 공간에 연통되게 장착되는 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 포함하여 구성된다. Particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, each area within a given space in a manner of detecting the scattered light (S) caused by the collision with the particles and the incident light (I) suction to suck the floating particles in a particular space the interior of the distribution of the present particulate, that is a device for measuring the size and number of particles, a case 100, a case 100 impactor module 200 and a case 100 for sucking the particles to pass through the inside It is configured to include a light-generating unit 300 and a light detector 400 that is mounted in communication with the space.

케이스(100)는 내부 공간에 옵틱 챕버(C)가 일측 방향으로 관통 형성되며, 이러한 옵틱 챕버(C)의 양측단에 광 발생부(300)와 광 검출부(400)가 각각 연통되게 장착된다. Case 100 is formed through the optic chaepbeo (C) is one direction in the internal space, this optic light generation unit 300 and the optical detector 400, the two side ends of chaepbeo (C) is mounted to be in communication, respectively. 또한, 케이스(100)에는 옵틱 챕버(C)를 관통하는 방향으로 입자 유동 유로(101)가 형성되며, 이때, 옵틱 챕버(C)와 입자 유동 유로(101)는 서로 직교하는 방향으로 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the case 100 is formed with optic chaepbeo (C) direction of the particle flow passage 101 running through the, at this time, optic chaepbeo (C) and a particle flow passage 101 is formed in a direction perpendicular to each other desirable.

임팩터 모듈(200)은 케이스(100)에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하는데, 이때 흡입되는 입자는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)를 통과하도록 구성된다. Impactor module 200 particles for inhalation of particles suspended in the outer space is mounted in case 100, where the intake is configured to pass through the grain flow passage 101 of the case 100. 이러한 임팩터 모듈(200)은 공기 중에 부유하는 입자를 흡입 포집하기 위한 장치로 일반적으로 내부에 입자를 흡입할 수 있는 유로가 형성되고 이러한 유로의 일단에 흡입 펌프가 장착되며 별도의 포집판이 구비되어 입자를 포집하는 방식으로 구성되는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)은 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)로 통과시키도록 구성된다. The impactor module 200 is typically a passage, which can suction the particles inside are formed a suction pump is mounted on one end of this passage particles having plate separate collection by a device for suction collecting the suspended particles in the air, is composed in such a way that the absorption is the impactor module 200 according to one embodiment of the present invention is configured to pass to a particle flow passage 101 of the case 100 to suck the particles suspended in the outer space. 이러한 임팩터 모듈의 구성에 대한 상세한 설명은 후술한다. Detailed description of the configuration of the impactor module will be described later.

광 발생부(300)는 옵틱 챔버(C)의 내부 공간에 초점(F)이 형성되도록 입사광(I)을 발생시키는 장치로, 옵틱 챔버(C)에 연통되게 장착되는데, 입사광(I)으로 레이저 광이 적용될 수 있도록 레이저 다이오드(320)와, 레이저 다이오드(320)로부터 발생된 레이저 광을 포커싱하는 포커싱 렌즈(330)를 포함하여 구성될 수 있다. Light generation unit 300 there is mounted a device for generating an incident light (I) such that the focus (F) formed in the inner space of the optic chamber (C), to be in communication with the optic chamber (C), a laser as the incident light (I) so that the light can be applied it may be configured to include a laser diode 320 and the laser diode a focusing lens 330 which focuses the laser light generated from the 320. 레이저 다이오드(320)로부터 발생된 레이저 광은 일정 크기의 방출 각도를 가지며, 이러한 레이저 광은 포커싱 렌즈(330)를 통해 포커싱되며 옵틱 챕버(C) 내부 공간의 특정 지점에 초점(F)을 형성한다. The laser beam generated from the laser diode 320 has a discharge angle of a predetermined size, this laser light is focused through a focusing lens 330 to form a focus (F) to a particular point in the optic chaepbeo (C) the interior space . 이때, 포커싱 렌즈(330)는 다수개 장착될 수 있으며, 옵틱 챔버(C)의 형상 및 포커싱 거리 등 측정 조건에 따라 포커싱 렌즈(330)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. In this case, the focusing lens 330 is the number of the focusing lens 330 in accordance with the shape and the focusing distance of the plurality of measurement conditions may be mounted, and optics chamber (C) may be changed in various ways. 또한, 입사광(I)의 초점(F) 위치는 옵틱 챕버(C) 내부 공간에 형성되도록 구성되는데, 이때 옵틱 챕버(C)를 관통하는 입자 유동 유로(101)의 경로 상에 형성되도록 구성된다. In addition, the focus (F) the location of the incident light (I) is composed so as to form the optic chaepbeo (C) inside the space, and is configured such that this time is formed on the paths of the optic chaepbeo (C) particle flow passage 101 running through the.

한편, 광 발생부(300)는 이러한 레이저 다이오드(320)와 포커싱 렌즈(330)를 수용 장착할 수 있도록 옵틱 챕버(C)에 연통되게 케이스(100)에 장착되는 광 발생부 경통(310)을 더 포함할 수 있으며, 이러한 광 발생부 경통(310) 내부 공간이 옵틱 챕버(C)와 분리 구획될 수 있도록 별도의 진공 윈도우(340)가 더 구비될 수 있다. On the other hand, the light-generating unit 300 to the laser diode 320 and a focusing lens (330) receiving the light generation unit barrel 310 is mounted to the case 100 to be in communication with the optic chaepbeo (C) to be incorporated onto the may further contain, and is this light generation unit barrel 310, the interior space is a separate vacuum windows 340 so as to be separate from the optics chaepbeo (C) compartments may be further provided. 즉, 광 발생부(300)는 옵틱 챕버(C)와 연통되는 광 발생부 경통(310)의 내부 공간에 레이저 다이오드(320)와 포커싱 렌즈(330)가 배치되고, 이러한 광 발생부 경통(310)의 내부 공간이 진공 윈도우(340)에 의해 분리 구획됨으로써, 옵틱 챕버(C) 내부 유동 입자에 의한 광 발생부(300) 내부 공간의 오염이 방지되어 더욱 정확한 측정값을 얻을 수 있다. In other words, the light generating unit 300 may be a laser diode 320 and the focusing lens 330 is disposed in the interior space of the optic chaepbeo (C) and the light generation unit barrel 310 is in communication, the sub column (310 of these light-generating ) being in the internal space the vacuum window 340 separated by a partition, chaepbeo optic (C) is the contamination of the light-generating unit 300, the internal space by the internal flow prevention particles it is possible to obtain a more accurate measurement.

광 검출부(400)는 광 발생부(300)에 의해 발생된 입사광(I)과 입사광(I)의 초점(F) 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광(S)을 수광하여 검출한다. The optical detector 400 is detected by receiving the scattered light (S) caused by the collision of the particles and passing through the focus (F) region of the incident light (I) and the incident light (I) generated by the light-generating unit 300 do. 산란광(S)은 입자로부터 모든 방향으로 발생되기 때문에, 광 검출부(400)는 이러한 산란광(S)의 일부를 집광하여 검출할 수 있도록 산란광(S)을 집광하는 집광 렌즈(430)와, 집광 렌즈(430)에 의해 집광된 산란광(S)을 검출하는 검출 센서(420)를 포함하여 구성된다. And the scattered light (S) is due to occur in all directions from the grain, an optical detector 400 includes a condenser lens 430 for condensing the scattered light (S) can be detected by condensing a portion of this scattered light (S), the condenser lens It is configured to include a detection sensor 420 for detecting the scattered light (S) collected by the 430. 따라서, 입사광(I)이 입자와 충돌하여 산란광(S)이 발생하면, 산란광(S) 중 일부는 집광 렌즈(430)에 의해 집광되어 검출 센서(420)로 전송되며, 검출 센서(420)에 의해 산란광(S)의 인텐서티가 측정된다. Thus, in some of which is focused by the focusing lens 430 is transmitted to the detecting sensor 420, the detection sensor 420 of the incident light (I) When the scattered light (S) generated by collision with the particle, the scattered light (S) the Intensity of scattered light (S) is measured by. 이와 같이 측정된 산란광(S)의 인텐서티는 별도의 연산부(미도시)를 통해 Mie 이론 등을 적용한 이론적인 값과 비교하여 입자의 크기를 연산 측정한다. Intensity of scattered light (S) measured in this way is through a separate operation unit (not shown) as compared to the theoretical value, such as applying the Mie theory is calculated measuring the size of particles. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)에 의해 입자가 옵틱 챔버(C) 내부에서 입자 유동 유로(101)를 따라 일정한 방향으로 유동하는 경우, 입자가 입사광(I)의 초점(F) 영역을 통과할 때마다 산란광(S)이 발생하게 되므로, 연산부는 이러한 산란광(S) 발생 횟수를 통해 입자의 개수를 연산 측정한다. In the case of flow in a predetermined direction the particles along a particle flow passage 101 inside the optic chamber (C) by the impactor module 200 according to one embodiment of the invention, the particles are the focus of the incident light (I) ( F), so that the scattered light (S) occurs each time it passes through the area, the operation unit calculates the number of particles measured through this scattered light (S) of occurrence.

한편, 광 검출부(400) 또한 광 발생부(300)와 마찬가지 방식으로 집광 렌즈(430)와 검출 센서(420)를 내부에 수용 장착하는 광 검출부 경통(410)을 더 포함하며, 이러한 광 검출부 경통(410) 내부 공간이 옵틱 챕버(C)와 분리 구획될 수 있도록 별도의 진공 윈도우(450)가 더 구비될 수 있다. On the other hand, the light detecting section 400 further includes a light detection lens barrel (410) for mounting therein a light-converging lens 430 and the detecting sensor 420 in a similar manner to the light-generating unit 300, such a light detection lens barrel 410 is a separate vacuum window 450 may be further provided so that the internal space may be separated from the optics chaepbeo (C) compartments. 이러한 구조를 통해 광 검출부 경통(410)의 내부 공간은 옵틱 챕버(C)의 내부 유동 입자에 의한 오염이 방지되어 더욱 정확한 측정값을 얻을 수 있다. The inner space of the light detection lens barrel 410. With this structure, it is possible to obtain a more accurate measure contamination is prevented by the Flow of Optic chaepbeo particles (C).

이상에서 설명한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 임팩터 모듈(200)에 의해 외부 공간의 입자를 흡입하고, 흡입되어 유동하는 입자에 대해 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 통해 입자의 분포 상태를 측정할 수 있는 구조이다. Gujo one embodiment the particle measurement apparatus by the impactor module 200 sucks the particles of the external space, light-generating unit 300 for sucking the fluidized particles and the light detection unit in the present invention according to the above-described ( through 400) has a structure capable of measuring the distribution of particles. 즉, 공기의 흐름이 없는 공간에서도 입자를 강제 흡입하여 입자의 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 다양한 공간에서 실시간으로 해당 공간의 오염 입자 분포 상태를 파악할 수 있고, 특히, 클린룸 설비와 같은 경우 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 지점에서 입자 분포 상태를 측정할 수 있기 때문에, 클린룸 설비 내부 공간에서 특정 오염 발생원을 찾아내는데 유용하게 활용될 수 있을 것이다. That is, since in the space there is no flow of air can force sucks the particle to measure the distribution state of particles, in real-time in a variety of space and to determine a contamination particle distribution of the space, in particular, when such as a clean room facilities it is possible to measure the particle distribution at various points of the clean room equipment interior space, a clean room facilities could be utilized useful for finding a particular source of contamination in the inner space.

다시 말하면, 일반적인 입자 측정 장치는 클린룸 설비의 전체 공간에 대한 평균적인 입자 분포 상태만을 파악할 수밖에 없는데 반해, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 클린룸 설비 내부 공간의 다양한 영역에서 각각 실시간으로 입자의 분포 상태를 파악할 수 있는 구조이다. In other words, the general particle measuring apparatus, while ve choice but to determine only the average particle distribution of the entire space of the clean room facility, the particle measurement device according to an embodiment of the present invention, respectively in real time in a number of areas of the clean room equipment interior space with a structure that can determine the distribution state of the particles.

다음으로, 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입할 수 있는 임팩터 모듈(200)의 구조에 대해 좀 더 자세히 살펴본다. Next, examine in more detail the structure of the impactor module 200 capable of sucking the particles suspended in the outer space.

본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)은 케이스(100)의 양측에 각각 장착되는 상부 모듈(U), 하부 모듈(L) 및 흡입 펌프(미도시)로 구성될 수 있는데, 상부 모듈(U)은 입자 유동 유로(101)의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 입자 유동 유로(101)를 통과하도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별할 수 있도록 구성되고, 하부 모듈(L)은 입자 유동 유로(101)의 타단에 연통되게 장착되어 상부 모듈(U)에 의해 선별된 입자가 입자 유동 유로(101)를 통과하도록 입자를 흡입하는 방식으로 구성된다. Impactor module 200 according to one embodiment of the present invention can be composed of the upper module (U), the lower module (L) and a suction pump (not shown) which are respectively mounted on both sides of the case 100, the upper module (U) is configured to suction sorting particles suspended in the external space to pass through the grain flow passage 101. Once the particle flow passage 101, but is mounted in communication with more than a certain size particles in the lower module (L ) it is configured in such a manner as to suck the particles so as to be mounted in communication with the other end of the particle flow passage 101 passes through the particle a particle flow passage 101 is selected by the upper module (U). 흡입 펌프는 이러한 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)에 각각 결합되어 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)로 각각 입자가 흡입되도록 구성되며, 팬의 회전에 의해 부압을 형성하여 입자를 흡입하는 방식 등 다양한 방식으로 구성될 수 있다. A suction pump such coupled to each of the upper module (U) and lower module (L) is configured such that each particle is drawn into the upper module (U) and lower module (L), the particles to form a negative pressure by the rotation of the fan It may be configured in a variety of ways, such as the way that the intake.

이때, 상부 모듈(U)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상부 메인 파이프(220), 인렛 블록(210) 및 노즐 블록(230)을 포함하여 구성될 수 있다. At this time, the upper module (U) can comprise an upper main pipe 220, the inlet block 210 and the nozzle block 230, as illustrated in FIGS. 상부 메인 파이프(220)는 중공의 원통형으로 케이스(100)에 밀봉 결합되며 일측에는 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트(221)가 형성된다. Upper main pipe 220 is hermetically coupled to the case 100 in a substantially hollow cylindrical shape, and one side of the upper portion intake port 221 is formed so as to be connected to the suction pump. 인렛 블록(210)은 상부 메인 파이프(220)의 상단에 밀봉 결합되며, 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로(211)가 관통 형성된다. Inlet block 210 is hermetically coupled to the upper end of the upper main pipe 220, the suction passage 211 so that the particles can be introduced from the outside is formed through. 이때, 흡입 유로(211)는 도 3에 도시된 바와 같이 입자 흡입이 용이하도록 상부가 넓고 하부가 좁은 형태로 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the suction passage 211 is preferably wide and the upper bottom is formed from a narrow form to facilitate the inhalation particles, as shown in Fig. 노즐 블록(230)은 인렛 블록(210)의 하부에 위치하도록 상부 메인 파이프(220)의 내부에 배치되며, 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)의 일단에 밀봉 결합된다. Nozzle block 230 is disposed in the interior of the upper main pipe 220 is positioned in the lower portion of the inlet block 210 and is hermetically coupled to one end of the particle flow passage 101 of the case 100. 이때, 각 구성요소의 밀봉 결합 부위에는 밀봉 결합이 가능하도록 별도의 실링 부재(R)가 개재되거나 또는 각 구성요소에 실링 부재(R)가 일체형으로 형성되는 방식으로 구성될 수 있다. At this time, the separate sealing member (R) is disposed, or the sealing members (R) of each component can be configured in a manner that is formed integrally with the seal connecting portion of each component to enable the sealing engagement.

한편, 노즐 블록(230)에는 중앙부에 상하 관통 방향으로 노즐 유로(231)가 형성되며, 노즐 유로(231)의 외측에는 상부 유동홀(232)이 관통 형성된다. On the other hand, the nozzle block 230 is formed with a nozzle passage (231) in the vertical direction through the center portion, the outside of the nozzle passage 231 is formed in the upper flow hole 232, the through. 상부 유동홀(232)은 흡입 포트(221)와 연통되도록 형성되며, 노즐 유로(231)는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)에 연통되도록 밀봉 결합된다. The upper flow hole 232 is formed so as to be in communication with the suction port 221, a nozzle flow path 231 is coupled in communication with the seal so that the particles flow passage 101 of the case 100. 이러한 구조에 따라 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)를 통과한 입자는 유동 관성력에 따라 노즐 유로(231) 또는 상부 유동홀(232)을 선택적으로 통과하게 된다. Particles passing through the suction path 211 of the inlet block 210 in accordance with this structure is selectively passed through the nozzle flow passage 231 or the upper flow hole 232 according to the flow inertia.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이 흡입 펌프가 가동하여 상부 메인 파이프(220)의 흡입 포트(221)를 통해 흡입 압력이 발생하면, 이러한 흡입압력은 노즐 블록(230)의 상부 유동홀(232)을 통해 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)까지 전달되어 외부 공기 및 입자가 흡입 유로(211)를 통해 내부로 유입된다. That is, when the suction pump is running to the suction pressure created through the suction port 221 of the upper main pipe 220, this suction pressure is above the flow holes 232 of the nozzle block 230, as shown in Figure 5 is transmitted to the suction path 211 of the inlet block 210 on the outside air and the particles flows into the inside through the suction passage 211. the 유입된 입자는 그 크기 및 중량이 달라 각각 서로 다른 관성력을 갖게 되는데, 이러한 관성력의 차이에 따라 상대적으로 관성력이 큰 입자는 관성력이 유지되어 노즐 블록(230)의 중앙부에 형성된 노즐 유로(231)로 유입되고 상대적으로 관성력이 작은 입자는 노즐 유로(231)의 외측에 형성된 상부 유동홀(232)을 통과하며 흡입 포트(221) 측으로 흡입된다. The inflow particles there is have each different inertia in size and weight are different, the nozzle passage 231 is formed in a central portion of relatively large particle inertia keeps the inertial force of the nozzle block 230 in accordance with the difference in inertial force the inlet and a relatively small particle inertia force passes through the upper flow hole 232 is formed outside the nozzle passage 231, and is sucked toward the suction ports 221.

이러한 구조에 따라 외부 공간에 부유하는 입자는 상부 모듈(U)에 의해 흡입됨과 동시에 일정 크기 또는 중량 등을 기준으로 선별되어 노즐 블록(230)의 노즐 유로(231)로 유입되며, 이후 노즐 유로(231)로 유입된 입자는 하부 모듈(L)에 의해 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)로 유입된다. According to this structure, particles suspended in the outer space are selected on the basis of a predetermined size or weight, such as at the same time as the suction by the upper module (U) is introduced into the nozzle passage 231 of the nozzle block 230, after the nozzle passage ( 231), the particle flow into the particle flows into the flow passage 101 of the case 100 by a lower module (L).

하부 모듈(L)은 하부 연결 블록(250)과 하부 메인 블록(260)을 포함하여 구성될 수 있는데, 하부 연결 블록(250)은 내부 공간이 입자 유동 유로(101)의 타단에 연통되도록 케이스(100)에 밀봉 결합되고, 하부 메인 블록(260)은 내부 공간이 하부 연결 블록(250)의 내부 공간과 연통되도록 하부 연결 블록(250)에 밀봉 결합되며 일측에는 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트(261)가 형성된다. The lower module (L) of the case to communicate at the other end of the lower connecting block 250, and there the bottom can comprise a main block 260, a lower connecting block 250 flow the inner space particles flow passage 101 ( 100) being hermetically coupled to the lower main block 260 is hermetically coupled to the lower connection block 250 such that the inner space communicates with the inner space of the lower connecting block 250 and one side of the lower suction port is connected to a suction pump ( 261) is formed. 이러한 하부 연결 블록(250)과 하부 메인 블록(260)은 제작 용이성을 위해 본 발명의 일 실시예에 따라 분리 결합되는 방식으로 구성되었으나, 이는 하나의 일체형으로 형성될 수도 있을 것이다. The lower connection block 250 and the lower main block 260 has been configured in such a way that separate coupling in accordance with one embodiment of the present invention for manufacturing ease, it could also be formed as a single piece.

따라서, 흡입 펌프가 가동하여 하부 흡입 포트(261)를 통해 흡입 압력이 발생하면, 이러한 흡입 압력은 하부 메인 블록(260) 및 하부 연결 블록(250)의 내부 공간을 통해 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)에 전달되고, 이에 따라 상부 모듈(U)에 의해 유입된 입자가 입자 유동 유로(101)를 통과할 수 있다. Thus, the suction pump is running and when the suction pressure created through the lower inlet port 261, this suction pressure is a lower main block 260 and a lower particle flow of the connecting block 250, the case 100 through the inner space of the It is transmitted to the flow passage 101, so that the particles introduced by the upper module (U) can pass through the grain flow passage (101). 즉, 상부 모듈(U)의 노즐 블록(230)에 형성된 노즐 유로(231)는 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)와 연통되게 밀봉 결합되기 때문에, 하부 흡입 포트(261)를 통해 형성된 흡입 압력은 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)를 통해 노즐 블록(230)의 노즐 유로(231) 및 인렛 블록(210)의 흡입 유로(211)에까지 미치게 되고, 이에 따라 관성력이 큰 입자들은 노즐 유로(231) 및 입자 유동 유로(101)를 통과하며 하부 모듈(L)까지 계속 유입된다. That is, the suction provided through the nozzle block 230, the nozzle passage 231 is a particle flow passage 101, and because the communication sealingly coupled, the lower suction port 261 of the case 100 formed in the upper module (U) pressure was mad far suction passage 211 of the nozzle passage 231 and the inlet block 210 of the nozzle block 230 through a particle flow passage 101 of the case 100, whereby the large particle inertia along their nozzle through the passage 231 and the particle flow passage 101, and continues flowing until the lower module (L).

이때, 입자 유동 유로(101)는 옵틱 챕버(C)를 관통하며 형성되기 때문에, 결국 입자 유동 유로(101)를 통과하는 입자는 옵틱 챕버(C) 내에서 일정한 방향으로 유동하게 되고, 이와 같이 유동하는 입자에 대해 광 발생부(300) 및 광 검출부(400)를 통해 입자의 분포 상태를 파악하게 된다. At this time, the particle flow passage 101 are formed, and passing through the optic chaepbeo (C), particles which eventually passes through the grain flow passage 101 is caused to flow in a specific direction within the optic chaepbeo (C), this manner flow through a light generation unit 300 and the optical detector (400) for the particles that will grasp the distribution state of the particles.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 상부 모듈(U) 및 하부 모듈(L)을 포함하는 이러한 임팩터 모듈(200)을 통해 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입하여 일정한 방향을 흐름을 유도하고, 이와 같이 유동하는 입자와의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 검출하여 입자의 분포 상태를 측정하게 된다. Thus, the particle measurement device according to one embodiment of the invention the flow a certain direction to suck the particles suspended in the outer space through this impactor module 200 including an upper module (U) and lower module (L) induction, and it detects the scattered light (S) caused by collision with particles to flow in this way is to measure the distribution state of the particles.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이 광 발생부(300)에서는 초점(F)이 입자 유동 유로(101) 상에 위치하도록 옵틱 챕버(C) 내에 입사광(I)을 발생시키고, 임팩터 모듈(200)에 의해 이러한 초점(F) 영역을 연속적으로 통과하는 입자와 입사광(I)의 충돌에 의해 발생하는 산란광(S)을 수광 검출하여 입자의 분포 상태를 파악한다. That is, Fig. 4, the light generating unit 300, as shown in the focus (F) is to generate the incident light (I) within the optic chaepbeo (C) so as to be positioned on the particle flow passage 101, the impactor module 200 the focus of these receiving (F) the scattered light (S) caused by the collision of the particle with the incident light (I) passing through the area is continuously detected by the identify the distribution of particles. 이때, 광 발생부(300)와 광 검출부(400)는 도 4에 도시된 바와 같이 케이스(100)의 옵틱 챕버(C)의 양단부에 위치하도록 일렬 배치될 수 있으나, 이와 달리 직각 방향이나 특정 각도를 이루도록 배치될 수도 있으며, 이는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광(S)이 사방으로 발생하기 때문에 가능한 구조이다. In this case, the light generation unit 300 and the optical detector 400 is the case can be arranged in line so as to be positioned at both ends of the optic chaepbeo (C) of 100, but as described, alternatively right angle or an angle shown in Figure 4 and a may be arranged to fulfill, which is a structure possible, because the scattered light (S) caused by the collision with the particles to occur in all directions.

그러나 본 발명의 일 실시예에 따른 광 발생부(300)와 광 검출부(400)는 도 4에 도시된 바와 같이 상호 대향하는 방향으로 일렬 배치되는데, 이 경우 광 검출부(400)에는 광 발생부(300)의 입사광(I)이 직접 수광되지 않도록 입사광(I)을 차단하는 별도의 빔스토퍼(440)가 광 검출부 경통(410) 내부에 장착되는 것이 바람직하다. However, there is a line arranged in a mutually opposite direction as the light generation unit 300 and the optical detector 400 in accordance with one embodiment of the invention shown in Figure 4, in this case, the light-generating light detecting section 400, section ( is 300) separate beam stopper 440 for the incident light (I) to block the incident light (I) is not to be directly received in the light detecting section is installed inside the lens barrel 410 is preferred. 즉, 광 발생부(300)로부터 발생된 입사광(I)이 입자와 충돌하지 않는 경우, 입사광(I)은 초점(F)을 통과하여 계속 전진 진행하게 되는데, 이러한 입사광(I)이 검출 센서(420)에 수광되면 이는 검출 센서(420)에서 노이즈로 작용하게 되므로, 이러한 입사광(I)이 검출 센서(420)에 수광되지 않도록 별도의 빔스토퍼(440)가 장착되는 것이 바람직하다. That is, when the incident light (I) emitted from the light generation unit 300 does not collide with the particles, the incident light (I) is that there is to proceed to move through the focus (F), this incident light (I) a detection sensor ( When receiving the 420), which therefore acts as a noise in the sensor 420, this incident light (I) is not to be received by the detection sensor 420 is preferably a separate beam stopper 440 is mounted. 따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 입자와의 충돌에 의해 발생된 산란광(S) 중 빔스토퍼(440) 영역을 벗어난 산란광(S) 만이 검출 센서(420)에 수광되며, 이러한 전방 산란 검출 방식은 다른 방식에 비해 더욱 정확한 측정 결과를 제공할 수 있을 것이다. Therefore, even is only the scattered light (S) out of the of the beam stopper 440 region of scattered light (S) caused by the collision with the particle, as shown in Figure 4 received by the sensor 420, this forward scattering detection method It will be able to provide more accurate measurements than the other way.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 임팩터 모듈(200)에 의해 옵틱 챕버(C) 내부에서 입자의 흐름이 작은 직경의 유동 경로를 따라 일정한 방향으로 형성되기 때문에, 대부분의 유동 입자가 입사광(I)의 초점(F)을 통과하도록 구성되어 입자의 분포 상태를 측정하는데 있어 더욱 정확한 측정 결과를 제공할 수 있는 구조이다. In particular, the particle measurement device according to an embodiment of the present invention are formed in a predetermined direction along the flow of the particles of the small diameter flow path within the optic chaepbeo (C) by the impactor module 200, most of the flow particle It is a structure that can provide more accurate measurements and to it is configured to pass through the focus (F) of the incident light (I) measured the distribution of the particles.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 모듈(200)의 하부 모듈(L)에는 도 5에 도시된 바와 같이 별도의 임팩터 플레이트(240)가 더 장착될 수 있다. On the other hand, a separate impactor plate 240 as the lower module (L) of the impactor, the module 200 according to one embodiment of the present invention is also illustrated in 5, may be further mounted. 임팩터 플레이트(240)는 하부 연결 블록(250)의 내부 공간에 배치되어 중앙부에는 입자를 포집할 수 있는 포집홈(242)이 형성되고 포집홈(242)의 외측에는 입자가 통과할 수 있도록 하부 유동홀(241)이 형성된다. Impactor plate 240 is disposed in the inner space of the lower connecting block 250, the center portion has a lower flow so as to form the collecting groove (242) capable of trapping the particles and the particles are passed through the outside of the collecting grooves 242, the the hole 241 is formed. 이때, 하부 유동홀(241)은 하부 메인 블록(260)의 하부 흡입 포트(261)와 연통되도록 형성되어 하부 흡입 포트(261)를 통한 흡입 압력이 하부 유동홀(241)을 통해 케이스(100)의 입자 유동 유로(101)에 전달되도록 구성된다. Case In this case, the lower flow hole 241 is formed so as to be in communication with the lower inlet port 261 of the lower main block 260, the suction pressure via the lower inlet port 261, through the lower flow holes 241, 100 the transmission is configured such that the particle flow passage (101).

따라서, 입자 유동 유로(101)를 통과한 입자는 전술한 상부 모듈(U)의 노즐 블록(230)의 구조와 마찬가지 원리로, 관성력의 차이에 따라 상대적으로 관성력이 큰 입자는 관성력이 유지되어 중앙부의 포집홈(242) 측으로 유동하게 되고, 상대적으로 관성력이 작은 입자는 외측의 하부 유동홀(241) 측으로 유동하여 하부 흡입 포트(261)로 유입된다. Thus, particles having passed through the grain flow passage 101 is a structure with the same principle of the nozzle block 230 of the aforementioned upper module (U), relatively large particle inertia force according to the difference in inertial force is the inertia force is maintained center of being caused to flow toward the collecting groove (242), a relatively small particle inertia force is introduced to flow toward the lower flow hole 241 of the outer side to the lower inlet port 261. 이때, 포집홈(242)에는 유입된 입자를 포집하기 위한 별도의 포집판(미도시)을 장착할 수 있으며, 이를 통해 상대적으로 관성력이 큰 입자만을 포집판에 포집할 수 있다. At this time, the collecting grooves 242, the mount can be a separate collecting plate (not shown) for trapping the incoming particle, through which it is possible to capture only the large particles relative to the inertial force on the collecting plate. 이와 같이 포집된 입자들은 이후 별도의 성분 분석을 통해 중량, 크기, 성분 등을 파악할 수 있으며, 이와 같이 파악된 입자에 대한 측정값은 광 검출부(400)에 의해 측정된 입자의 분포 상태에 대한 검증 작업으로서 기능할 수 있을 것이다. Thus, the collected particles and to identify the weight, size, components, such as a separate component analysis Thereafter, the measurement values ​​for the particles identified in this way is verified for the distribution of the particles measured by the light detector 400 work will be able to function as.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 이러한 임팩터 플레이트(240)를 통해 흡입되는 입자를 다시 한번 선별하는 기능을 수행하게 된다. The particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention also functions to again screening the particles to be sucked through this impactor plate 240. 즉, 상부 모듈(U)의 노즐 블록(230)을 통해 1차적으로 입자가 선별되며, 입자 유동 유로(101)를 통과한 입자는 다시 하부 모듈(L)의 임팩터 플레이트(240)를 통해 입자가 선별된다. That is, the particles through the impactor plate 240 of the upper module (U), the nozzle block 230, the particles will be selected primarily by the particle flow passage 101, the particles are again lower module (L) passing through the It is selected. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치는 이러한 노즐 블록(230) 및 임팩터 플레이트(240)를 통해 사용자의 필요에 따라 특정 입자에 대한 분포 상태만을 분리하여 측정할 수 있고, 또한 노즐 블록(230) 및 임팩터 플레이트(240)의 형상 변경과 흡입 압력의 조절을 통해 선별하는 입자의 크기는 다양하게 조절할 수 있을 것이다. Thus, the particle measurement device according to an embodiment of the present invention can through this nozzle block 230 and the impactor plate 240 to be measured by separating only the distribution of the particular particle according to the user's needs, In addition, the nozzle block 230 and the impactor particle size for sorting by the adjustment of the shape change and the suction pressure of the plate 240 will have a wide range of adjustment.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The above description is only to those described as the technical idea of ​​the present invention by way of example, those skilled in the art that various modifications, additions and substitutions will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Accordingly, the disclosed invention embodiments is for illustrative and not intended to limit the technical idea of ​​the present invention, not by such an embodiment is the technical scope of the present invention is not limited. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The scope of protection of the invention is to be interpreted by the following claims, all spirits within a scope equivalent will be construed as included in the scope of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the Related Art>
100: 케이스 200: 임팩터 모듈 100: Case 200: impactor module
300: 광 발생부 400: 광 검출부 300: light-generating unit 400: photodetection unit

Claims (6)

  1. 삭제 delete
  2. 산란광을 이용하여 입자의 분포 상태를 측정하는 입자 측정 장치에 있어서, By using the scattered light in the particle measuring apparatus for measuring the distribution of particles,
    내부 공간에 옵틱 챔버가 형성되고, 상기 옵틱 챔버를 관통하는 방향으로 입자 유동 유로가 관통 형성되는 케이스; The case is formed in the inner space and the optic chamber, the particles flowing through the flow path in a direction passing through the optics chamber;
    상기 케이스에 장착되어 외부 공간에 부유하는 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 입자를 흡입하는 임팩터 모듈; Impactor module that is attached to the suction case the particles are particles suspended in the external space to pass through the particle flow path;
    상기 옵틱 챔버 내에 초점이 형성되도록 입사광을 발생시키는 광 발생부; Light generating unit that generates an incident light such that the focus is formed in the optic chamber; And
    상기 입사광과 상기 입사광의 초점 영역을 통과하는 입자와의 충돌에 의해 발생되는 산란광을 수광 검출하는 광 검출부 An optical detector for detecting the light receiving scattered light generated by the collision of the particle passing through the incident light and the incident light of the focus area
    를 포함하고, 상기 임팩터 모듈은 Including, said impactor module
    상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 장착되어 일정 크기 이상의 입자만 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 외부 공간에 부유하는 입자를 흡입 선별하는 상부 모듈; The upper module to the suction sorting particles suspended in the outer space is mounted in communication with the one end of the particle flow passage so as to pass through the flow passage only particles larger than a certain size particles;
    상기 입자 유동 유로의 타단에 연통되게 장착되어 상기 상부 모듈에 의해 선별된 입자가 상기 입자 유동 유로를 통과하도록 입자를 흡입하는 하부 모듈; It is mounted in communication with the other end of the particle flow passage lower module for sucking the particles of selected particle by the upper module so as to pass through the particle flow path; And
    상기 상부 모듈 및 하부 모듈로 입자가 흡입되도록 상기 상부 모듈 및 하부 모듈에 각각 결합되는 흡입 펌프 The upper module and the suction pump are respectively coupled to the upper module and lower module so that the particles are drawn into the lower module
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. Particle measuring apparatus comprising: a.
  3. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2,
    상기 상부 모듈은 The upper module
    중공의 원통형으로 상기 케이스에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 상부 흡입 포트가 형성되는 상부 메인 파이프; Sealing engagement with the casing in a substantially hollow cylindrical shape, and the upper main pipe where the upper suction port is formed so as to be connected to the suction pump side;
    상기 상부 메인 파이프의 상단에 밀봉 결합되며 외부로부터 입자가 유입될 수 있도록 흡입 유로가 형성되는 인렛 블록; Bond sealing to the upper end of the upper main pipe and inlet blocks the suction passage is formed to allow the particles flowing from the outside; And
    상기 인렛 블록의 하부에 배치되어 상기 흡입 유로를 통해 유입된 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과하도록 노즐 유로와 상부 유동홀이 각각 형성되며 상기 노즐 유로는 상기 입자 유동 유로의 일단에 연통되게 밀봉 결합되도록 형성되는 노즐 블록 It is disposed in a lower portion of the inlet block and the nozzle passage and the upper flow hole formed so as to selectively pass to the inlet particles through the suction passage in accordance with the inertial force the nozzle flow path is such that sealing engagement to be communicated to one end of the particle flow passage a nozzle block formed
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. Particle measuring apparatus comprising: a.
  4. 제 3 항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 하부 모듈은 The lower module
    내부 공간이 상기 입자 유동 유로의 타단에 연통되도록 상기 케이스에 밀봉 결합되는 하부 연결 블록; Lower connecting block that is coupled to the sealed casing so that the inner space communicates with the other end of the particle flow path; And
    내부 공간이 상기 하부 연결 블록의 내부 공간과 연통되도록 상기 하부 연결 블록에 밀봉 결합되며 일측에는 상기 흡입 펌프와 연결되도록 하부 흡입 포트가 형성되는 하부 메인 블록 The internal space hermetically coupled to the lower connection block to communicate with the inner space of the lower connecting block and one side of the lower main block where the bottom suction ports formed so as to be connected to the suction pump
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. Particle measuring apparatus comprising: a.
  5. 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4,
    상기 하부 모듈은 The lower module
    상기 하부 연결 블록 내부에 배치되어 상기 입자 유동 유로를 통과한 입자가 관성력에 따라 선택적으로 포집되도록 포집홈이 형성되는 임팩터 플레이트를 더 포함하고, Is disposed within the lower connecting block further comprises an impactor plate that is collecting groove forming the particles passing through the flow passage to be selectively collecting the particles in accordance with the force of inertia,
    상기 임팩터 플레이트에는 상기 포집홈의 외측에 상기 입자 유동 유로를 통과한 입자가 관성력에 따라 선택적으로 통과할 수 있도록 하부 유동홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. The impactor plate, the particle measuring apparatus, characterized in that the particles passing through the flow passage wherein the particles on the outside of the collecting groove in which the lower flow hole to selectively passing along the inertia force is formed.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 2 to 5,
    상기 광 발생부와 광 검출부는 상호 대향하는 방향으로 일렬 배치되고, 광 검출부에는 상기 광 발생부의 입사광이 직접 수광되지 않도록 상기 입사광을 차단하는 빔스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 하는 입자 측정 장치. The light generating portion and the light detecting section is a line arranged in a direction to face each other, an optical detector, the particle measuring apparatus being provided with a beam stopper for blocking the incident light so as not receiving the incident light wherein the light-generating unit directly.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200367121Y1 (en) * 2004-07-28 2004-11-10 주식회사 라이다텍 Optical particle counter for sub-micron particles
US6903818B2 (en) * 2002-10-28 2005-06-07 Particle Measuring Systems, Inc. Low noise intracavity laser particle counter
KR20090013181A (en) * 2006-05-29 2009-02-04 바이오테스트 아게 High throughput particle counter
KR100935258B1 (en) * 1999-06-15 2010-01-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Particle-measuring system and processing apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100935258B1 (en) * 1999-06-15 2010-01-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Particle-measuring system and processing apparatus
US6903818B2 (en) * 2002-10-28 2005-06-07 Particle Measuring Systems, Inc. Low noise intracavity laser particle counter
KR200367121Y1 (en) * 2004-07-28 2004-11-10 주식회사 라이다텍 Optical particle counter for sub-micron particles
KR20090013181A (en) * 2006-05-29 2009-02-04 바이오테스트 아게 High throughput particle counter

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