KR101088631B1 - A via paste composition - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도전성의 비아 페이스트 조성물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 비아 페이스트 조성물은, 도전성 재료 및 열경화성 수지를 포함하고, 상기 도전성 재료는, 단일 또는 그 이상의 입자 분포를 가지는 은(Ag) 분말, 은(Ag) 코팅된 구리(Cu) 분말, 및 은 나노 입자 분산 용액을 포함하고, 상기 열경화성 수지는 에폭시 수지를 포함한다. The present invention relates to a conductive via paste composition, wherein the via paste composition according to the present invention comprises a conductive material and a thermosetting resin, wherein the conductive material is a silver (Ag) powder having a single or more particle distribution, silver (Ag) coated copper (Cu) powder, and a silver nanoparticle dispersion solution, wherein the thermosetting resin comprises an epoxy resin.

비아, 페이스트, 은, DMF, 경화, 저온, 하이브리드 Via, Paste, Silver, DMF, Curing, Low Temperature, Hybrid

Description

비아 페이스트 조성물{A VIA PASTE COMPOSITION}Via paste composition {A VIA PASTE COMPOSITION}

본 발명은 도전 부재들 사이의 도전성 접속을 형성하기 위한 도전성 페이스트 조성물(paste)에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 무소결 세라믹 하이브리드 기판의 층간 연결을 위해 사용되는 도전성 비아 페이스트 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a conductive paste composition for forming a conductive connection between conductive members. In particular, the present invention relates to conductive via paste compositions used for interlayer connection of sintered ceramic hybrid substrates.

공진기나 콘덴서, 코일, 필터 등의 소자가 형성되는 모듈용 기판으로서 또는 반도체 소자나 칩 콘덴서, 칩 저항기 등을 탑재하는 기판으로서 세라믹스나 유리-세라믹스 등의 무기 절연 재료를 소결해 제조되는 회로 기판이 이용되고 있다. As a substrate for modules on which elements such as resonators, capacitors, coils, filters, etc. are formed, or a substrate on which semiconductor elements, chip capacitors, chip resistors, etc. are mounted, a circuit board manufactured by sintering an inorganic insulating material such as ceramics or glass-ceramic It is used.

통상적으로, 회로 기판은 아래쪽 면에 배선 도체가 형성되고 있는 것과 동시에 상하면에 위치하는 배선 도체 사이에는 기판의 비어 홀에 충전된 비아 도체를 통하여 전기적으로 접속된다. In general, the circuit board is electrically connected through the via conductor filled in the via hole of the substrate between the wiring conductors formed on the lower surface and the wiring conductors located on the upper and lower surfaces.

전자기기의 고밀도화에 수반하여, 이러한 회로 기판에서 배선 도체의 폭이 수십~수백 μm 범위로 좁아짐에 따라, 비어 홀의 직경도 50~300μm 정도로 작아지고 있다.As the width of the wiring conductor becomes narrow in the range of several tens to several hundreds of micrometers with such a high density of electronic devices, the diameter of the via hole is also reduced to about 50 to 300 micrometers.

통상적으로 전술한 바와 같은 회로 기판은, 다음 방법에 따라 제작된다. Usually, the circuit board as mentioned above is manufactured by the following method.

예를 들면 회로 기판이 유리-세라믹스로 이루어지는 경우, 우선, 산화규소, 산화알루미늄 등의 유리 분말 및 세라믹스 분말로 이루어진 원료 분말에 적당한 유기 바인더나 용제, 그리고 필요에 따라서는 가소제 등을 더 첨가하여 혼합한 슬러리를 만든다. For example, when the circuit board is made of glass-ceramic, first, a suitable organic binder, a solvent, a plasticizer, and the like are further added to a raw material powder made of glass powder and ceramics powder such as silicon oxide and aluminum oxide, and, if necessary, mixed. Make a slurry.

이 슬러리를 닥터 블레이드법 등을 이용해, 두께가 25~300μm정도의 그린시트를 성형한다. 이 그린 시트를, 후술하는 소성시에 그린 시트의 각 치수가 수%~수십% 정도 수축되는 것을 고려해, 완성품으로서의 회로 기판의 치수보다 큰 치수로 절단한다. This slurry is formed using a doctor blade method or the like to form a green sheet having a thickness of about 25 to 300 µm. This green sheet is cut | disconnected by the dimension larger than the dimension of the circuit board as a finished product, considering that each dimension of the green sheet shrink | contracts about several to several ten% at the time of baking mentioned later.

그런 후, 그린 시트의 소정의 위치에 레이저법이나 펀칭법을 이용해, 직경이 50~300μm 정도의 비어 홀을 천공한다. After that, a via hole having a diameter of about 50 to 300 µm is drilled at a predetermined position of the green sheet by using a laser method or a punching method.

이 비어 홀에는 종래 주지의 스크린 인쇄법을 이용해, 동이나 은, 니켈 등의 금속 분말과 용제, 유기 바인더 등으로 이루어진 비아 도체 형성용 도전성 페이스 트를 충전하고, 비아 도체 형성용 도전성 페이스트를 건조한다. The via hole is filled with a conductive paste for forming via conductors made of metal powders such as copper, silver, and nickel, a solvent, an organic binder, and the like, using a conventionally known screen printing method, and drying the conductive paste for forming via conductors. .

그린 시트의 표면 또는 아래쪽 면에, 전술한 바와 같은 비어 홀에 충전한 비아 도체 형성용 도전성 페이스트와 접하도록 스크린 인쇄법을 이용해 동이나 은, 니켈 등의 금속 분말과 용제, 유기 바인더 등으로부터 완성되는 패턴 형성용 도전성 페이스트를 배선 패턴으로 인쇄하고, 그 이후 이 패턴 형성용 도전성 페이스트를 건조한다. On the surface or bottom surface of the green sheet, a screen printing method is used to contact the conductive paste for via conductor formation filled in the via hole as described above, and is completed from metal powders such as copper, silver and nickel, solvents and organic binders. The conductive paste for pattern formation is printed by a wiring pattern, and then the conductive paste for pattern formation is dried.

비아 도체 형성용 도전성 페이스트를 충전함과 함께 패턴 형성용 도전성 페이스트를 인쇄한 그린 시트를, 상하에 위치하는 비아 도체 형성용 도전성 페이스트나 패턴 형성용 도전성 페이스트가 서로 접하도록 적층한 그린 시트의 적층체를, 700~1600℃정도의 온도로 수십분~수시간 동안 고온에서 굽는 것으로, 단층의 회로 기판 혹은 복수의 그린 시트를 적층해 이루어진 회로 기판을 얻을 수 있다.A green sheet laminated with a conductive sheet for via conductor formation and a green sheet printed with a conductive paste for pattern formation, laminated so that the via paste forming conductive paste and the pattern forming conductive paste are in contact with each other. By baking at a high temperature for several tens of minutes to several hours at a temperature of about 700 to 1600 ° C, a single-layer circuit board or a circuit board formed by laminating a plurality of green sheets can be obtained.

그러나 최근 이러한 소성 개념의 전자기판을 하이브리드 형태, 즉 소성보다는 경화에 의해 기판을 형성하는 연구가 진행되고 있다. 이는 열처리 온도를 최대 500℃ 이하로 낮추는 유리한 효과를 가진다. Recently, however, research has been conducted to form a substrate by curing rather than firing an electromagnetic plate having such a firing concept. This has the beneficial effect of lowering the heat treatment temperature up to 500 ° C. or less.

통상적으로, 유리-세라믹스 기반의 회로기판 소재와 비아 페이스트, 인쇄회로 등의 동시 소성을 위해 전도성 필러와 유리 프릿을 이용하여 700℃ 이상의 온도 에서 전도성 분말의 소결이 가능하도록 비아 페이스트를 제작하고 있다. Typically, via pastes are manufactured to enable sintering of conductive powders at temperatures of 700 ° C. or more using conductive fillers and glass frits for simultaneous firing of glass-ceramic based circuit board materials, via pastes, and printed circuits.

바인더 수지는 열처리에 의해 제거되는 특성이 있는데, 이러한 페이스트를 온도가 더 낮은 경화에 의해 기판을 형성하는 하이브리드 저온 공정에 적용하게 되면 전도성 페이스트 수지가 잔류될 뿐만 아니라 전도성 원료분말들의 접속이 좋지 않아 비아 페이스트 소재의 저항값이 매우 나빠지는 문제점이 있다.The binder resin has a property of being removed by heat treatment. When the paste is applied to a hybrid low temperature process in which a substrate is formed by curing at a lower temperature, the conductive resin is not only retained but also the conductive raw powder is not connected well. There is a problem that the resistance value of the paste material is very bad.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하이브리드 형태로 제작되는 무소결 세라믹-고분자 하이브리드 기판에 대응하기 위한 것으로, 특히 열처리 온도가 낮은 무소결 세라믹 하이브리드 기판의 층간 접속을 위한 비아 페이스트 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 구체적으로, 본 발명은 무소결 세라믹 하이브리드 기판용 비아 페이스트를 제조하는데 있어, 특히 200~300℃의 경화온도 범위를 가지면서, 그 수축율이 크지 않고, 또한 외부 열 충격에도 강한 비아 페이스트 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the problems as described above, to cope with a sintered ceramic-polymer hybrid substrate produced in a hybrid form, in particular a via paste composition for interlayer connection of a sintered ceramic hybrid substrate having a low heat treatment temperature The purpose is to provide. Specifically, the present invention provides a via paste composition for producing a via paste for a sintered ceramic hybrid substrate, in particular having a curing temperature range of 200 to 300 ° C., a shrinkage of which is not large, and strong against external thermal shock. For the purpose of

본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 제1 양태는 도전성 재료 및 열경화성 수지로 이루어지는 비아 페이스트 조성물에 관한 것으로, 상기 도전성 재료는, 단일 또는 그 이상의 입자 분포를 가지는 은(Ag) 분말, 은(Ag) 코팅된 구리(Cu) 분말, 및 은 나노 입자 분산 용액을 포함하고, 상기 열경화성 수지는 에폭시 수지를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.The present invention has been made in order to achieve the above object, the first aspect of the present invention relates to a via paste composition consisting of a conductive material and a thermosetting resin, the conductive material, the silver having a single or more particle distribution ( Ag) powder, silver (Ag) coated copper (Cu) powder, and silver nanoparticle dispersion solution, wherein the thermosetting resin comprises an epoxy resin.

상기 은 분말은 평균 입자 직경이 100~300nm 범위인 은 분말이고, 상기 은 코팅된 구리 분말은 평균 입자 직경이 1~10㎛ 범위인 코팅된 구리 분말이며, 상기 은 나노 입자 분산 용액은, 1차 은 입자 크기가 10nm 이하인 은 입자 분산 용액인 것이 바람직하다.The silver powder is a silver powder having an average particle diameter in a range of 100 to 300 nm, and the silver coated copper powder is a coated copper powder having an average particle diameter in a range of 1 to 10 μm, and the silver nanoparticle dispersion solution is a primary It is preferable that it is a silver particle dispersion solution whose silver particle size is 10 nm or less.

상기 에폭시 수지는 페놀 노볼락류 에폭시 또는 크레졸 노볼락류 에폭시 중 어느 하나를 포함한다. 또한, 상기 도전성 재료의 함유량은 상기 비아 페이스트 조성물의 총중량의 70 내지 95중량%이다.The epoxy resin includes either phenol novolac epoxy or cresol novolac epoxy. In addition, content of the said conductive material is 70 to 95 weight% of the total weight of the said via paste composition.

비아 페이스트 조성물은 상기 에폭시 수지와, 상기 은 분말 및 상기 은 코팅된 구리 분말와의 적합성을 향상시키기 위한 커플링제를 더 포함하고, 여기서 상기 커플링제는 실란계 또는 티타네이트계 커플링제이다. The via paste composition further comprises a coupling agent for improving the compatibility of the epoxy resin with the silver powder and the silver coated copper powder, wherein the coupling agent is a silane or titanate coupling agent.

은 나노 입자 분산 용액은 상기 에폭시 수지를 용해시킬 수 있는 용매를 포함하며, 상기 용매는 DMF(dimethylformamide), 에틸 카비톨 아세테이트(ethyl carbitol acetate), 부틸 카비톨 아세테이트(butyl carbitol acetate), 및 감마 부티로락톤(gamma butyrolactone)으로부터 선택될 수 있다.Silver nanoparticle dispersion solution includes a solvent capable of dissolving the epoxy resin, the solvent is dimethylformamide (DMF), ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, and gamma buty It may be selected from the rockactone (gamma butyrolactone).

상기 은 나노 입자 분산 용액의 은 함유량은 상기 은 나노 분산 용액 전체 중량의 5 내지 30중량%이다. Silver content of the said silver nanoparticle dispersion solution is 5-30 weight% of the total weight of the said silver nanodispersion solution.

또한, 비아 페이스트 조성물은 상기 에폭시 수지를 경화시키기 위한 경화제 및 경화조제를 더 포함할 수도 있고, 상기 경화제 및 경화조제로서 페놀류 또는 산 무수물류 경화제와 이미다졸류, 3차 아민류 등 경화조제를 포함한다.In addition, the via paste composition may further include a curing agent and a curing aid for curing the epoxy resin, and the curing agent and curing aid include a curing aid such as phenols or acid anhydrides curing agents, imidazoles, tertiary amines and the like. .

또한, 본 발명의 제2 양태는 비아 페이스트 조성물의 제조 방법에 관한 것으로, 1차 입자 크기가 10nm 보다 작고, 열경화성 수지의 용매를 포함하는 은 나노 입자 분산 용액을 준비하는 단계; 상기 은 나노 입자 분산 용액에 열경화성 수지를 용해시키는 단계; 상기 열경화성 수지가 용해된 용액에, 평균 입자 직경의 크기가 100 내지 300nm인 나노 사이즈의 은 분말을 투입하고 혼합하는 단계; 상기 혼합물 중의 용매가 증발될 때까지 상기 혼합물을 가열 및 건조하는 단계; 상기 용매가 건조된 후의 상기 혼합물에, 평균 입자 직경의 크기가 1 내지 10㎛ 을 가진 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말을 투입하고 혼합하는 단계를 포함하는 것을 구성적 특징으로 포함한다.In addition, a second aspect of the present invention relates to a method for producing a via paste composition, comprising: preparing a silver nanoparticle dispersion solution having a primary particle size of less than 10 nm and comprising a solvent of a thermosetting resin; Dissolving a thermosetting resin in the silver nanoparticle dispersion solution; Injecting and mixing nano-sized silver powder having a mean particle size of 100 to 300 nm into a solution in which the thermosetting resin is dissolved; Heating and drying the mixture until the solvent in the mixture has evaporated; Constitutive features include the step of adding and mixing the micro-size silver coated copper powder with an average particle diameter of 1 to 10 μm to the mixture after the solvent is dried.

상기 열경화성 수지는 에폭시 수지이고, 상기 은 나노 입자 분산 용액에 열경화성 수지를 용해시키는 단계는, 경화제를 더 첨가하여 상기 열경화성 수지를 용해시킨다.The thermosetting resin is an epoxy resin, and dissolving the thermosetting resin in the silver nanoparticle dispersion solution further adds a curing agent to dissolve the thermosetting resin.

상기 에폭시 수지는 액상의 페놀 노볼락 에폭시이고, 상기 경화제는 액상의 산무수물인 것이 바람직하다.It is preferable that the said epoxy resin is a liquid phenol novolak epoxy, and the said hardening | curing agent is a liquid acid anhydride.

또한, 상기 열경화성 수지의 용매는 DMF(dimethylformamide)이고, 상기 혼합 물을 가열 및 건조하는 단계는 상기 DMF가 증발될 때까지 상기 혼합물을 핫 플레이트 상에서 가열 및 건조시킨다.In addition, the solvent of the thermosetting resin is DMF (dimethylformamide), and the step of heating and drying the mixture is heated and dried on a hot plate until the DMF evaporates.

상기 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말을 투입하고 혼합하는 단계는, 페이스트 용제를 더 첨가하여 혼합한다. In the step of adding and mixing the micro-size silver coated copper powder, a paste solvent is further added and mixed.

전술한 본 발명의 특징적 구성에 따르면, 무소결 세라믹 하이브리드 기판의 저온공정에 대응하면서 전기전도도가 우수하면서, 또한 비아 필링 후 솔더 쇼크 레지스턴스가 우수한 층간 접속용 비아 페이스트를 제공할 수 있다.According to the characteristic configuration of the present invention described above, it is possible to provide a via paste for interlayer connection that is excellent in electrical conductivity and excellent in solder shock resistance after via filling in response to a low temperature process of a sintered ceramic hybrid substrate.

이하, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시 형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공하기 위함이며, 본 발명이 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. However, embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to those skilled in the art to more fully describe the present invention, and the present invention is not limited to these examples.

먼저, 본 발명에 따른 상기 비아홀 도체의 형성에 사용되는 도전성 페이스트 조성물은 도전성 재료와, 열경화성 수지를 포함한다.First, the conductive paste composition used for forming the via hole conductor according to the present invention contains a conductive material and a thermosetting resin.

상기 도전성 재료는 금속 분말로 이루어지는 것이 바람직하며, 전기 전도성을 고려하여 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 구리(Cu), 니켈(Ni) 등이 채용될 수 있으며, 이들의 합금도 가능하다. 이 경우, 전기적 특성이 뛰어남과 점착 특성 등을 고려하여 가장 바람직하게 채용될 수 있는 금속은 은(Ag)이다.Preferably, the conductive material is made of a metal powder, and gold (Au), silver (Ag), palladium (Pd), copper (Cu), nickel (Ni), etc. may be employed in consideration of electrical conductivity. Alloys are also possible. In this case, the metal that can be most preferably employed is silver (Ag) in consideration of excellent electrical properties and adhesive properties.

구체적으로 본 발명에 따른 도전성의 비아 페이스트 조성물에 사용되는 도전성 재료는, 단일 또는 그 이상의 입자 분포를 가지는 은(Ag) 분말 및 은(Ag) 코팅된 구리(Cu) 분말과, 은 나노 입자 분산 용액을 포함한다. Specifically, the conductive material used in the conductive via paste composition according to the present invention includes silver (Ag) powder and silver (Ag) coated copper (Cu) powder having a single or more particle distribution, and a silver nanoparticle dispersion solution. It includes.

은 분말 및 은 코팅된 구리 분말은, 각각 평균 입자 직경이 1~10㎛ 범위인 마이크로 사이즈의 은 코팅된 구리 분말과, 평균 입자 직경이 100~300nm 범위인 나노 사이즈의 은 분말을 포함한다. Silver powder and silver coated copper powder include micro size silver coated copper powder with an average particle diameter in the range of 1-10 micrometers, respectively, and nano size silver powder with an average particle diameter in the range of 100-300 nm.

은 나노 입자 분산 용액은, 1차 은 입자의 크기가 10nm 이하인 은 나노 입자 분산 용액을 사용하는데, 이는 10nm 이하의 은 입자크기를 사용해야 300도 이하의 낮은 열처리 온도에서도 은 입자의 저온소결 효과를 얻을 수 있고, 또한 페이스트의 도전성을 높이는 한편, 비아 충진 구조 형성시 동박과의 접합력을 증진할 수 있기 때문이다.The silver nanoparticle dispersion solution uses a silver nanoparticle dispersion solution having a primary silver particle size of 10 nm or less, which requires a silver particle size of 10 nm or less to obtain low temperature sintering effect of silver particles even at a low heat treatment temperature of 300 degrees or less. This is because the conductivity of the paste can be increased, and the bonding force with the copper foil can be enhanced when the via filling structure is formed.

또한 본 발명의 도전성 페이스트 조성물은 상기 도전성 재료와 함께, 열경화성 수지를 포함하는데, 열경화성 수지는 액상인 에폭시 수지를 포함하며, 상기 도전성 페이스트 조성물은 액상인 경화제를 더 포함할 수도 있다.In addition, the conductive paste composition of the present invention includes a thermosetting resin together with the conductive material. The thermosetting resin may include a liquid epoxy resin, and the conductive paste composition may further include a liquid curing agent.

본 발명에 이용되는 마이크로 & 나노 사이즈의 은 또는 은 코팅된 구리 분말과, 은 나노 입자의 총 함유량은, 용제가 포함된 최종 도전성 페이스트 중 70~95 중량%인 것이 바람직하다. It is preferable that the total content of the micro & nano size silver or silver coated copper powder used for this invention, and silver nanoparticles is 70 to 95 weight% in the final electroconductive paste containing a solvent.

마이크로 & 나노 사이즈의 은 또는 은 코팅된 구리 분말, 그리고 은 나노 입자의 총 함유량이 70 중량% 미만이면 전기 전도성이 낮아지기 때문에 좋지 않으며, 또한 총 함유량이 95 중량%를 초과하면 도전성 페이스트의 제작이 어렵고 인쇄 작업성이 나빠지는 단점이 있다. If the total content of the micro or nano-sized silver or silver coated copper powder and the silver nanoparticles is less than 70 wt%, the electrical conductivity is not good, and if the total content is more than 95 wt%, it is difficult to manufacture the conductive paste. There is a disadvantage that the print workability is worse.

은 또는 은 코팅된 구리 분말의 형상은 플레이크상 또는 구상 등이 이용될 수 있다. 수지와의 적합성을 향상시키기 위해 상기 은 또는 은 코팅된 구리 분말은 커플링제로 처리되는 것이 좋으며, 예를 들면, 실란계 또는 티타네이트계 커플링제가 사용될 수도 있다. 또한 분산성 향상을 위하여 분산제를 사용해도 좋다.The shape of the silver or silver coated copper powder may be used in the form of flakes or spherical. In order to improve the compatibility with the resin, the silver or silver coated copper powder is preferably treated with a coupling agent, for example, a silane or titanate coupling agent may be used. Moreover, you may use a dispersing agent in order to improve dispersibility.

또한, 본 발명에 이용되는 1차 은 입자의 크기가 10nm 이하인 은 나노 입자 분산 용액은 최종 페이스트화를 위하여 에폭시 수지와 경화제를 용해시킬 수 있어 야 하며, 동시에 은 나노 입자의 효과적인 분산이 가능한 것이어야 한다. In addition, the silver nanoparticle dispersion solution having a size of 10 nm or less of the primary silver particles used in the present invention should be capable of dissolving an epoxy resin and a curing agent for the final paste, and at the same time, should be capable of effective dispersion of silver nanoparticles. do.

이에 적합한 용매로는 DMF(dimethylformamide), 에틸 카비톨 아세테이트(ethyl carbitol acetate), 부틸 카비톨 아세테이트(butyl carbitol acetate), 감마 부티로락톤(gamma butyrolactone) 등과 같은 극성의 용매를 사용하는 것이 바람직하다. As a suitable solvent, it is preferable to use a polar solvent such as DMF (dimethylformamide), ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, gamma butyrolactone, and the like.

은 나노 입자 분산 용액에서 은 입자의 함유량은 5~30중량% 범위인 것이 바람직하며, 특히 10~15 중량% 인 것이 더욱 바람직하다. 은 나노 입자 분산 용액 중 은 나노 입자의 함유량이 5% 미만이면 페이스트 제작에 너무 많은 용액이 소모되어 경제적이지 못하며, 은 나노 입자 분산 용액 중 은 나노 입자의 함유량이 총중량의 30%를 초과하면 은 입자의 효과적인 분산에 어려움이 있을 뿐만 아니라 장기보존성에 있어서도 좋지 않다.The content of silver particles in the silver nanoparticle dispersion solution is preferably in the range of 5 to 30% by weight, more preferably 10 to 15% by weight. If the content of silver nanoparticles in the silver nanoparticle dispersion solution is less than 5%, too much solution is consumed to make the paste and it is not economical.If the content of silver nanoparticles in the silver nanoparticle dispersion solution exceeds 30% of the total weight, the silver particles Not only does it have difficulty in effective dispersal, but it is also poor in long-term preservation.

열경화성 수지로서는, 내열성 및 접합성이 우수한 에폭시 수지를 이용하는 것이 바람직하며, 상온에서 고상이거나 액상인 것을 이용할 수 있다. 특히 건조수축을 최소화하기 위해서는 고상인 열경화성 수지보다는 액상인 열경화성 수지인 것이 더욱 바람직하다. As a thermosetting resin, it is preferable to use the epoxy resin which is excellent in heat resistance and joining property, and it can use a solid state or liquid state at normal temperature. In particular, in order to minimize dry shrinkage, it is more preferable that it is a liquid thermosetting resin rather than a solid thermosetting resin.

또한 에폭시 수지 중에서도 내열성이 좋은 페놀 노볼락류 에폭시 또는 크레 졸 노볼락류 에폭시 중 하나를 선택하여 사용하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지를 경화시키기 위하여 사용되는 경화제 및 경화조제로서 페놀류 또는 산무수물류 경화제와 이미다졸류, 3차아민류 등 경화조제를 함께 사용하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to select and use either a phenol novolak epoxy or cresol novolak epoxy which is excellent in heat resistance among an epoxy resin. It is preferable to use a phenol or acid anhydride curing agent, and a curing aid such as imidazoles and tertiary amines together as a curing agent and a curing aid used to cure the epoxy resin.

먼저, 실시예1에 따른 도전성 페이스트의 제조 방법에 대해 설명한다.First, the manufacturing method of the electrically conductive paste which concerns on Example 1 is demonstrated.

[실시예1]Example 1

- 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말 : 7㎛ 평균 입자 직경의 AgCuS7((주)엔피씨 제공)  -Micro size silver coated copper powder: AgCuS7 with 7μm average particle diameter (provided by NCPC)

- 나노 사이즈의 은 분말 : 150nm 평균 입자 직경의 NP-S150(NTBase 사 제공)  -Nano size silver powder: NP-S150 with 150nm average particle diameter (provided by NTBase)

- 에폭시 수지 : 액상 페놀 노볼락 에폭시(YDPN-631, 국도화학 제공)  -Epoxy resin: Liquid phenol novolac epoxy (YDPN-631, provided by Kukdo Chemical)

- 경화제 : 액상 산무수물(HN-2200, 국도화학 제공)  -Curing agent: Liquid acid anhydride (HN-2200, provided by Kukdo Chemical)

- 경화조제 : BDMA(benzyldimethylamine)(Sigma-Aldrich 시약)  Curing aid: BDMA (benzyldimethylamine) (Sigma-Aldrich reagent)

- 첨가제 : 커플링제, 분산제  Additives: coupling agents, dispersants

- 은 나노 입자 분산 용액 : Ag 10wt% in DMF(1차 입자 크기 10nm 이하)  -Silver nanoparticle dispersion solution: Ag 10wt% in DMF (primary particle size 10nm or less)

- 페이스트용 용제 : α-terpineol  -Solvent for paste: α-terpineol

상기 조성물로 이루어진 제1 실시예에 따른 도전성 페이스트의 제조 방법은 다음과 같다. The manufacturing method of the conductive paste which concerns on the 1st Example which consists of the said composition is as follows.

먼저 은 나노 입자 분산 용액 20g에, 에폭시 수지로서 액상 페놀 노볼락 에 폭시인 YDPN-631 2.4g과, 경화제로서 액상 산무수물인 HN-2200 2.1g을 투입하여 용해시켰다. First, 2.4 g of liquid phenol novolac epoxy YDPN-631 and 2.1 g of liquid acid anhydride HN-2200 as a curing agent were added and dissolved in 20 g of silver nanoparticle dispersion solution.

그리고 각 첨가제들을 넣고 고속 믹싱 후 150nm 평균 입자 직경의 나노 사이즈의 은 분말인 NP-S150 분말 12g을 투입하고 다시 고속 믹싱하였다. Then, after adding each additive, 12 g of NP-S150 powder, which is a nano-sized silver powder having a 150 nm average particle diameter, was added thereto, followed by high speed mixing.

상기 혼합물을 핫 플레이트(hot plate) 위에 얹고 DMF가 모두 증발될 때까지 가열 건조하였다. 이때 과도한 열이 가해져 페이스트가 경화되지 않도록 적정한 온도를 유지할 수 있게 해야 한다. The mixture was placed on a hot plate and heated to dryness until all of the DMF was evaporated. At this time, excessive heat is applied to maintain the proper temperature so that the paste does not cure.

DMF가 증발된 후 남은 혼합물에, 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말로서 7㎛ 평균 입자 직경을 가진 AgCuS7 분말 28g을 투입하고 점도조절을 위해 터피놀을 1.5g 첨가한 후 다시 고속 믹싱하고, 이후 3롤 밀을 이용하여 페이스트화하였다. 200℃, 250℃, 300℃에서 각각 1시간씩 경화된 페이스트의 전도도를 평가하였다.To the mixture remaining after the DMF was evaporated, 28 g of AgCuS7 powder having a 7 μm average particle diameter as a micro size silver coated copper powder was added, 1.5 g of terpinol was added for viscosity control, followed by high speed mixing, and then 3 rolls. Paste was made using wheat. The conductivity of the paste cured for 1 hour at 200 ° C, 250 ° C, and 300 ° C was respectively evaluated.

- 전도도 평가시 경화(Curing) 조건 : 200℃ ,250℃, 또는 300℃, 1시간  -Curing condition for conductivity evaluation: 200 ℃, 250 ℃, or 300 ℃, 1 hour

- 전기전도도 측정 : 미츠비스 케미칼(Mitsubishi Chemical)사의 로레스타-GP(Loresta-GP)를 이용하여 측정함.  -Conductivity measurement: Measured using Mitsubishi Chemical's Loresta-GP (Loresta-GP).

표 1은 제1 실시예에 따라 제조된 비아 페이스트 조성물의 경화 온도별 체적 저항 및 전기 전도도를 나타낸다.Table 1 shows the volume resistance and the electrical conductivity for each curing temperature of the via paste composition prepared according to the first embodiment.

(표1) 경화 온도별 체적 저항 및 전기 전도도(Table 1) Volume resistance and electrical conductivity by curing temperature

Figure 112009031804818-pat00001
Figure 112009031804818-pat00001

상기 표1에서 알 수 있듯이, 각각의 경화 온도에서 본 발명에 따라 제작된 페이스트는 체적저항 및 전기 전도도가 양호함을 알 수 있다.As can be seen in Table 1, it can be seen that the paste prepared according to the present invention at each curing temperature has good volume resistance and electrical conductivity.

[실시예2]Example 2

먼저, 실시예2에 따른 도전성 페이스트의 제조 방법에 대해 설명한다.First, the manufacturing method of the electrically conductive paste which concerns on Example 2 is demonstrated.

- 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말 : 7㎛ 평균 입자 직경의 AgCuS7((주)엔피씨 제공)  -Micro size silver coated copper powder: AgCuS7 with 7μm average particle diameter (provided by NCPC)

- 나노 사이즈의 은 분말 : 150nm 평균 입자 직경의 NP-S150(NTBase 사 제공)  -Nano size silver powder: NP-S150 with 150nm average particle diameter (provided by NTBase)

- 에폭시 수지 : 액상 페놀 노볼락 에폭시(YDPN-631, 국도화학 제공)  -Epoxy resin: Liquid phenol novolac epoxy (YDPN-631, provided by Kukdo Chemical)

- 경화제 : 액상 산무수물(HN-2200, 국도화학 제공)  -Curing agent: Liquid acid anhydride (HN-2200, provided by Kukdo Chemical)

- 경화조제 : BDMA(benzyldimethylamine)(Sigma-Aldrich 시약)  Curing aid: BDMA (benzyldimethylamine) (Sigma-Aldrich reagent)

- 첨가제 : 커플링제, 분산제  Additives: coupling agents, dispersants

- 은 나노 입자 분산 용액 : Ag 10wt% in DMF(1차 입자 크기 10nm 이하)  -Silver nanoparticle dispersion solution: Ag 10wt% in DMF (primary particle size 10nm or less)

- 페이스트용 용제 : α-terpineol  -Solvent for paste: α-terpineol

상기 조성물로 이루어진 제2 실시예에 따른 도전성 페이스트의 제조 방법은 다음과 같다.A method of manufacturing a conductive paste according to a second embodiment of the composition is as follows.

먼저, 은 나노 입자 분산 용액 30g에, 나노 사이즈의 은 분말로서 150nm 평균 입자 직경의 NP-S150 분말 12g과, 에폭시 수지로서 액상 페놀 노볼락 에폭시인 YDPN-631 2.4g 만을 먼저 투입하여 혼합한 다음 DMF를 증발시킨다. First, 30 g of silver nanoparticle dispersion solution was mixed with 12 g of NP-S150 powder having a 150 nm average particle diameter as a nano-size silver powder, and 2.4 g of YDPN-631 which is a liquid phenol novolak epoxy as an epoxy resin. Evaporate.

DMF가 증발된 후 남은 혼합물에 경화제로서 액상 산무수물인 HN-2200 2.1g과, 경화조제, 첨가제 등을 넣은 후, 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말 28g을 투입하고, 점도조절을 위해 페이스트용 용제인 터피놀을 2g 첨가한 후, 다시 고속 믹싱하고, 이후 3롤 밀을 이용하여 페이스트화 하였다. After the DMF was evaporated, 2.1 g of liquid acid anhydride, HN-2200, a curing aid, and an additive were added to the remaining mixture as a curing agent. Then, 28 g of copper powder coated with micro-sized silver was added. After adding 2 g of terpinol, the mixture was mixed at high speed, and then pasteurized using a 3 roll mill.

실시예2에 따른 비아 페이스트 조성물은 페이스트의 최종 경화특성을 향상시키기 위함이다. 이후, 200℃, 250℃, 300℃에서 각각 1시간씩 경화된 페이스트의 전도도를 평가하였다. The via paste composition according to Example 2 is to improve the final curing characteristics of the paste. Thereafter, the conductivity of the paste cured for 1 hour at 200 ° C, 250 ° C, and 300 ° C was evaluated.

표 2는 제2 실시예에 따라 제조된 비아 페이스트 조성물의 경화 온도별 체적 저항 및 전기 전도도를 나타낸다.Table 2 shows the volume resistivity and the electrical conductivity according to the curing temperature of the via paste composition prepared according to the second embodiment.

(표2) 경화 온도별 체적 저항 및 전기 전도도(Table 2) Volume resistance and electrical conductivity by curing temperature

Figure 112009031804818-pat00002
Figure 112009031804818-pat00002

상기 표2에서 알 수 있듯이, 각각의 경화 온도에서 본 발명에 따라 제작된 페이스트는 체적저항 및 전기 전도도가 양호함을 알 수 있다.As can be seen in Table 2, the paste prepared according to the present invention at each curing temperature can be seen that the volume resistance and the electrical conductivity is good.

표3은, 288℃ 납조에서 솔더 쇼크 테스트(solder shock test)를 실시하여 비아 형성 구조에서 비아 페이스트와 동박의 접합력을 평가한 표이다.Table 3 is a table evaluating the bonding force between the via paste and the copper foil in the via formation structure by performing a solder shock test in a 288 ° C lead bath.

표3에서, 비교예1은 은 나노 용액이 포함되지 않고 제작된 바이모달(bimodal) 페이스트의 솔더 쇼크 테스트 결과이다.In Table 3, Comparative Example 1 is a solder shock test result of a bimodal paste prepared without the silver nano solution.

(표3) 비아 충진 및 솔더 쇼크 테스트 후 비아 전도도(단위: ohm)Table 3 Via Conductivity after Via Fill and Solder Shock Test (Unit: ohm)

Figure 112009031804818-pat00003
Figure 112009031804818-pat00003

표 3에서 알 수 있듯이, 은 나노 용액이 첨가된 페이스트들(실시예1 및 실시예2)은 솔더 쇼크 테스트후에도 쇼트(short) 상태를 그대로 유지하고 있음을 알 수있고, 비아 페이스트와 동박의 접합력이 우수함을 알 수 있다. As can be seen from Table 3, it can be seen that the pastes (Examples 1 and 2) to which the silver nano solution is added maintain the short state after the solder shock test, and the bonding force between the via paste and the copper foil is maintained. It can be seen that this is excellent.

반면, 은 나노 용액이 포함되지 않고 제작된 바이모달(bimodal) 페이스트는 솔더 쇼크 테스트후에 오픈 상태로 되어 비아 페이스트와 동박의 접합력이 본 발명의 실시예1 및 실시예2에 비해 떨어짐을 알 수 있다.On the other hand, the bimodal paste prepared without the silver nano solution is opened after the solder shock test, and thus the bonding strength of the via paste and the copper foil is inferior to those of Examples 1 and 2 of the present invention. .

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 무소결 세라믹 하이브리드 기판의 저온공정에 대응하면서 전기전도도가 우수하면서, 또한 비아 필링 후 솔더 쇼크 레지스턴스가 우수한 층간접속용 비아 페이스트를 제조할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to manufacture a via paste for interlayer connection that is excellent in electrical conductivity and excellent in solder shock resistance after via filling in response to a low temperature process of a sintered ceramic hybrid substrate.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 게시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

Claims (14)

도전성 재료 및 열경화성 수지로 이루어지는 비아 페이스트 조성물로서,As a via paste composition which consists of a conductive material and a thermosetting resin, 상기 도전성 재료는, 단일 또는 그 이상의 입자 분포를 가지는 은(Ag) 분말, 은(Ag) 코팅된 구리(Cu) 분말, 및 은 나노 입자 분산 용액을 포함하고,The conductive material comprises silver (Ag) powder, silver (Ag) coated copper (Cu) powder, and silver nanoparticle dispersion solution having a single or more particle distribution, 상기 열경화성 수지는 에폭시 수지를 포함하고,The thermosetting resin includes an epoxy resin, 상기 비아 페이스트 조성물은,The via paste composition is, 상기 에폭시 수지와, 상기 은 분말 및 상기 은 코팅된 구리 분말과의 적합성을 향상시키기 위한 커플링제를 더 포함하고,Further comprising a coupling agent for improving the compatibility of the epoxy resin with the silver powder and the silver coated copper powder, 상기 커플링제는 실란계 또는 티타네이트계 커플링제인 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The coupling agent is a via paste composition, characterized in that the silane or titanate coupling agent. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 은 분말은 평균 입자 직경이 100~300nm 범위인 은 분말이고,The silver powder is a silver powder having an average particle diameter in the range of 100 to 300 nm, 상기 은 코팅된 구리 분말은 평균 입자 직경이 1~10㎛ 범위인 코팅된 구리 분말이며,The silver coated copper powder is a coated copper powder having an average particle diameter in the range of 1 to 10 μm, 상기 은 나노 입자 분산 용액은, 1차 은 입자 크기가 10nm 이하인 은 나노 입자 분산 용액인 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The silver nanoparticle dispersion solution is a via paste composition, characterized in that the primary silver particle size is 10nm or less silver nanoparticle dispersion solution. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 에폭시 수지는 페놀 노볼락류 에폭시 또는 크레졸 노볼락류 에폭시 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The epoxy resin is via paste composition comprising any one of phenol novolac epoxy or cresol novolac epoxy. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 도전성 재료의 함유량은 상기 비아 페이스트 조성물의 총중량의 70 내지 95중량%인 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The content of the conductive material is a via paste composition, characterized in that 70 to 95% by weight of the total weight of the via paste composition. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 은 나노 입자 분산 용액은 상기 에폭시 수지를 용해시킬 수 있는 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The silver nanoparticle dispersion solution is via paste composition, characterized in that it comprises a solvent capable of dissolving the epoxy resin. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 용매는 DMF(dimethylformamide), 에틸 카비톨 아세테이트(ethyl carbitol acetate), 부틸 카비톨 아세테이트(butyl carbitol acetate), 및 감마 부티로락톤(gamma butyrolactone)으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The solvent is via paste composition, characterized in that selected from dimethylformamide (DMF), ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, and gamma butyrolactone. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 은 나노 입자 분산 용액의 은 함유량은 상기 은 나노 입자 분산 용액 전체 중량의 5 내지 30중량%인 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.The silver paste of the silver nanoparticle dispersion solution is via paste composition, characterized in that 5 to 30% by weight of the total weight of the silver nanoparticle dispersion solution. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 에폭시 수지를 경화시키기 위한 경화제 및 경화조제를 더 포함하고,Further comprising a curing agent and a curing aid for curing the epoxy resin, 상기 경화제 및 경화조제로서 페놀류 또는 산무수물류 경화제와 이미다졸류, 3차 아민류 등 경화조제를 포함하는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물.A via paste composition comprising a curing aid such as a phenol or an acid anhydride curing agent, an imidazole, and a tertiary amine as the curing agent and curing aid. 비아 페이스트 조성물의 제조 방법으로서,As a method for producing a via paste composition, 1차 입자 크기가 10nm 보다 작고, 열경화성 수지의 용매를 포함하는 은 나노 입자 분산 용액을 준비하는 단계;Preparing a silver nanoparticle dispersion solution having a primary particle size smaller than 10 nm and comprising a solvent of a thermosetting resin; 상기 은 나노 입자 분산 용액에 열경화성 수지를 용해시키는 단계;Dissolving a thermosetting resin in the silver nanoparticle dispersion solution; 상기 열경화성 수지가 용해된 용액에, 평균 입자 직경의 크기가 100 내지 300nm인 나노 사이즈의 은 분말을 투입하여 혼합물을 조성하는 단계;Adding a nano-size silver powder having an average particle diameter of 100 to 300 nm to a solution in which the thermosetting resin is dissolved to form a mixture; 상기 열경화성 수지의 용매가 증발될 때까지 상기 혼합물을 가열 및 건조하는 단계;Heating and drying the mixture until the solvent of the thermosetting resin is evaporated; 상기 용매가 건조된 후의 상기 혼합물에, 평균 입자 직경의 크기가 1 내지 10㎛ 을 가진 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말을 투입하고 혼합하는 단계를 포함하고,Incorporating and mixing the micro-size silver coated copper powder with the average particle diameter of 1 to 10 탆 into the mixture after the solvent is dried, 상기 열경화성 수지의 용매는 DMF(dimethylformamide)이고,The solvent of the thermosetting resin is DMF (dimethylformamide), 상기 혼합물을 가열 및 건조하는 단계는 상기 DMF가 증발될 때까지 상기 혼합물을 핫 플레이트 상에서 가열 및 건조하는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물의 제조 방법.Heating and drying the mixture comprises heating and drying the mixture on a hot plate until the DMF evaporates. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 열경화성 수지는 에폭시 수지이고, The thermosetting resin is an epoxy resin, 상기 은 나노 입자 분산 용액에 열경화성 수지를 용해시키는 단계는, 경화제를 더 첨가하여 상기 열경화성 수지를 용해시키는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물의 제조 방법.Dissolving the thermosetting resin in the silver nanoparticle dispersion solution, the method of producing a via paste composition, characterized in that to further dissolve the thermosetting resin by adding a curing agent. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 에폭시 수지는 액상의 페놀 노볼락 에폭시이고, 상기 경화제는 액상의 산무수물인 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물의 제조 방법.The said epoxy resin is a liquid phenol novolak epoxy, and the said hardening | curing agent is a liquid acid anhydride, The manufacturing method of the via paste composition characterized by the above-mentioned. 삭제delete 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 마이크로 사이즈 은 코팅된 구리 분말을 투입하고 혼합하는 단계는, 페이스트 용제를 더 첨가하여 혼합하는 것을 특징으로 하는 비아 페이스트 조성물의 제조 방법.The micro-size silver-coated copper powder is added and mixed, the method of producing a via paste composition, characterized in that the addition of the paste solvent to further mix.
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