KR101085673B1

KR101085673B1 - Conveyer with heating function

Info

Publication number: KR101085673B1
Application number: KR1020090072020A
Authority: KR
Inventors: 야마구찌 신지; 사츠카 나오히코
Original assignee: 가부시키가이샤 코와
Priority date: 2008-08-05
Filing date: 2009-08-05
Publication date: 2011-11-22
Also published as: KR20100017076A

Abstract

본 발명은 워크기판을 가열하면서 이송하는 가열기능을 장착한 컨베이어에 있어서, 워크기판의 종횡 사이즈의 변경에 대응하기 위해 가열기능을 장착한 컨베이어의 죙횡사이즈의 변경을 극히 유연하게 또한, 저비용으로 행할 수 있고, 이송중의 워크기판에 대해서 워크기판 전체를 균일하게 가열할 수 있는 가열기능을 구비한 컨베이어를 제공한다. 워크 기판의 이동방향으로 연장되는 지지프레임과, 알루미늄 압출재가 소망의 길이로 절단되어 구성되는 절단이 완료된 압출재와, 상기 복수개의 각 절단이 완료된 압출재의 사이에 각각 배치되어 있고, 상기 워크 기판의 하면에 접촉하여 상기 워크 기판을 이동시키기 위한 회전체를 구비하고 있고, 상기 각 절단이 완료된 압출재에는 그 내부의 공동부내에 그 방향과 평행한 방향으로 연장되는 통 형상 파이프로서, 봉 형상 히터가 삽입 가능한 하나 또는 복수의 내측통상 파이프가 일체적으로 형성되어 있다. 상기 통 형상 파이프에 냉수 또는 냉매를 공급하는 구성이 부가될 수 있다.According to the present invention, a conveyor equipped with a heating function for transporting a workpiece substrate while being heated is used to change the width and width of a conveyor equipped with a heating function extremely flexibly and at a low cost in order to cope with a change in the longitudinal and horizontal sizes of the workpiece substrate. It is possible to provide a conveyor having a heating function capable of uniformly heating the entire work substrate with respect to the work substrate being transferred. A lower surface of the work substrate is disposed between the support frame extending in the moving direction of the work substrate, the extruded material in which the aluminum extruded material is cut to a desired length, and the extruded material in which the plurality of cuts are completed. And a rotating body for moving the work substrate in contact with each other, the cylindrical pipe extending in a direction parallel to the direction in the cavity inside the cutout, into which a rod-shaped heater can be inserted. One or more inner cylindrical pipes are integrally formed. A configuration for supplying cold water or refrigerant to the tubular pipe may be added.

워크기판, 컨베이어 Work board, conveyor

Description

Conveyer with heating function

본 발명은, 액정표시장치나 유기 EL표시장치 등에 사용되는 유리제 또는 수지제의 워크 기판(롤상 기판을 포함한다)을 가열하면서 이송하기 위해 가열 기능을 구비한 컨베이어에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conveyor having a heating function for transporting a glass or resin work substrate (including a rolled substrate) used for a liquid crystal display device, an organic EL display device, or the like while heating.

종래부터 텔레비젼이나 PC용의 디스플레이에 사용되는 유리제 또는 수지제의 워크 기판을 이송하기 위해 컨베이어가 이용되고 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1은 유리제 등의 대형 워크 기판의 하부에 워크 기판을 건조 또는 소성 등의 목적으로 가열하기 위한 하측가열판을 배치하고, 이 하측가열판의 측방에 상기 워크 기판을 이송하기 위한 롤러를 구비한 가열 건조 장치를 개시하고 있다. 그리고, 이 특허문헌 1의 장치에서는 상기 워크 기판의 상방에도 가열판을 배치하고 있으므로, 이 특허 문헌 1의 장치에 의하면, 워크 기판을 이송하면서, 동시에 워크 기판의 상하 양면을 가열할 수 있게 되어 있다. 특허 문헌 2도 거의 같은 모양이다.Background Art Conveyors are conventionally used to transport glass or resin work substrates used for television and PC displays. For example, patent document 1 arrange | positions the lower heating board for heating a work board | substrate for the purpose of drying or baking, etc. under the large work board | substrate made of glass, and a roller for conveying the said work board | substrate to the side of this lower heating board. Disclosed is a heating and drying apparatus provided with a. And since the heating plate is arrange | positioned also above the said work substrate in the apparatus of this patent document 1, according to this apparatus of this patent document 1, it is possible to heat both the upper and lower sides of a workpiece | substrate simultaneously, conveying a workpiece | work substrate. Patent document 2 is also almost the same shape.

[선행 기술 문헌][Prior Art Literature]

[특허 문헌][Patent Document]

　　[특허 문헌 1] 특개평 7-225080호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 7-225080

　　[특허 문헌 2] 특개평 11-152575호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-152575

그러나, 문헌 1 등에 보이는 종래의 워크 기판을 가열하면서 이송하는 장치에 대해서는, 상기 하측가열판을 히터로 가열된 하나의 금속판에 의해 구성하고, 이 가열된 하나의 금속판으로부터 방사되는 열에 의해 워크 기판을 가열하도록 하고 있으므로, 기술 혁신 등에 수반하여 워크 기판의 종횡 사이즈가 변경된 때에는 이때 마다 상기 사이즈가 변경된 워크 기판에 대응하는 종횡 사이즈의 하나의 금속판을 별도로 새롭게 제조할 필요가 있었다. 그리고, 그 경우는, 전술한 바와 같은 금속판은 종횡 사이즈가 다를 때마다 신규로 특별히 주문할 필요가 있으므로 전체적으로 가열 기능이 있는 컨베이어의 제조 비용이 높아지는 문제가 있었다. However, in the apparatus for conveying while heating the conventional workpiece | work board | substrate shown in literature 1 etc., the said lower heating board is comprised by the one metal plate heated by the heater, and the workpiece board | substrate is heated by the heat radiated | emitted from this heated one metal plate. Therefore, when the vertical and horizontal sizes of the work substrate were changed in accordance with technological innovations, it was necessary to separately manufacture one metal plate having a vertical and horizontal size corresponding to the changed work substrate. In this case, since the metal plate as described above needs to be newly ordered every time the longitudinal and horizontal sizes are different, there is a problem that the manufacturing cost of the conveyor with the heating function as a whole becomes high.

또한, 상기 종래의 가열 기능이 있는 컨베이어에 있어서는 전술한 바와 같이 하측 가열판을 하나의 금속판에 의해 구성하고 있기 때문에, 하측가열판의 중량이 크게 되어 버리므로 가열 기능이 있는 컨베이어의 설치 등의 작업시에 작업자에게 큰 부담이 되어 버리는 문제가 있었다.In addition, in the above-mentioned conventional conveyor having a heating function, since the lower heating plate is constituted by one metal plate as described above, the weight of the lower heating plate becomes large, and at the time of work such as installation of the conveyor with heating function. There was a problem that would be a huge burden on the worker.

또한, 상기 종래의 가열 기능이 있는 컨베이어에 대해서는, 상술한 바와 같이 하측가열판을 하나의 금속판에 의해 구성하기 때문에, 상기 하나의 금속판을 가열하기 위해서 많은 열량을 필요로 하고 히터의 구동 전력이 다량으로 소비되어 버리는 문제가 있었다.In addition, in the conveyor with the conventional heating function, since the lower heating plate is constituted by one metal plate as described above, a large amount of heat is required to heat the one metal plate, and the driving power of the heater is large. There was a problem of being consumed.

더욱이, 종래의 컨베이어에 있어서는, 워크 기판으로의 가열 뿐만이 아니라 냉각도 실시하려고 하는 경우, 가열을 위해서만 사용하는 가열판과 냉각을 위해서만 사용하는 냉각판을 각각 별도로 설치하는 경우가 있었지만, 이 경우는, 가열 공정으로부터 냉각 공정으로 이송할 때 유리 기판을 가열판으로부터 냉각판으로 이송하기 위한 이송장치가 필요하게 되었다. 이 때문에, 종래의 워크 기판으로의 가열 뿐만이 아니라 냉각도 실시할 수 있는 컨베이어에 있어서는 장치의 비용이 증대해 버리고, 가열판과 냉각판과의 쌍방을 설치하기 위해 장치의 바닥 면적이 증대해 버리는 등의 문제가 있었다. Moreover, in the conventional conveyor, when it is going to perform not only heating to a work board but also cooling, the heating plate used only for heating and the cooling plate used only for cooling may be provided separately, but in this case, heating When transferring from a process to a cooling process, a conveying apparatus for transferring a glass substrate from a heating plate to a cooling plate was needed. For this reason, in the conveyor which can perform cooling as well as heating to the conventional workpiece | work substrate, the cost of an apparatus increases, and the bottom area of an apparatus increases, in order to install both a heating plate and a cooling plate. There was a problem.

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점에 주목하여 된 것으로, 워크 기판을 건조나 열처리 등을 위해서 가열하면서 이송하는 가열 기능이 있는 컨베이어에 있어서, 워크 기판의 종횡 사이즈의 변경에 대응하기 위한 가열 기능이 있는 컨베이어의 종횡 사이즈의 변경을 극히 유연하게 하고, 또한, 저비용으로 실시할 수 있고, 이송중의 워크 기판에 대해서 그 전체를 균일하게 가열할 수 있고, 상기 가열 기능이 있는 컨베이어 전체의 중량을 경량화하여 작업자의 부담을 경감할 수 있고, 또한 상기 가열 기능이 있는 컨베이어 전체의 소비 전력을 절감 할 수 있는 가열 기능을 구비한 컨베이어를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 워크 기판을 반송하면서 가열 및 냉각하기 위한 장치의 제조 비용과 사이즈(특히, 장치의 바닥 면적)를 큰폭으로 저감 할 수 있는 가열 기능을 구비한 컨베이어를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention draws attention to these problems of the prior art, and has a heating function for coping with a change in the longitudinal and horizontal sizes of the workpiece substrate in a conveyor having a heating function for transferring the workpiece substrate while heating it for drying or heat treatment. It is extremely flexible to change the vertical and horizontal size of the conveyor and can be carried out at low cost. The whole substrate can be uniformly heated with respect to the workpiece substrate being conveyed, and the weight of the entire conveyor with the heating function can be reduced by An object of the present invention is to provide a conveyor having a heating function that can reduce the burden on an operator and can reduce power consumption of the entire conveyor with the heating function. Moreover, an object of this invention is to provide the conveyor provided with the heating function which can significantly reduce the manufacturing cost and size (especially the floor area of an apparatus) of the apparatus for heating and cooling, conveying a workpiece | work substrate.

본 발명은 유리제 또는 수지제의 워크 기판(롤상 기판을 포함한다)을 소정의 반송 방향으로 이동시키기 위한 컨베이어로써, 상기 반송 방향과 평행하게 연장되는 지지 프레임과, 알루미늄 압출재가 소정의 길이로 절단되는 것에 의해 형성되고, 상기 형성된 후에는 각각의 외측틀의 절단면이 대략 장방형상으로 되고, 또한 각각의 내부가 공동부로 되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각각의 길이방향이 상기 반송 방향과 직교하고 있고, 한편, 각각이 서로 소정의 간격을 둔 상태로 상기 지지 프레임상에 배치되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 사이에 각각 배치되어 있고, 상기 절단이 완료된 압출재의 상방에 위치하는 상기 워크 기판의 하면에 접촉하여 상기 워크 기판을 이동시키기 위한 회전체로서, 상기 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 회전축과 이 회전축의 복수 개소에 돌출되도록 설치되어 있고, 상기 워크 기판의 하면에 당접하는 롤러를 구비한 회전체와, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 각 공동부내에 배치되어 있고, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 평행한 방향으로 연장되도록 상기 각 절단이 완료된 압출재와 일체적으로 형성되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프로서, 그 중에 전체가 좁고 긴 세장 히터가 삽입되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프와, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀과 그 내부의 상기 내측통상 파이프와의 사이에 배치되고, 상기 외측틀 및 상기 내측통상 파이프와 일체적으로 형성되고 있는 띠 형상 접속부로서, 상기 세장 히터로부터의 열을 상기 외측틀로 전달하기 위한 띠 형상 접속부와, 상기 하나 또는 복수의 내측통상 파이프내에 삽입되어 있는 전체가 세장형으로 형성된 세장 히터를 구비한 것을 특징으로 한다.The present invention is a conveyor for moving a glass substrate or a substrate made of a resin (including a rolled substrate) in a predetermined conveying direction, in which a support frame extending in parallel with the conveying direction and an aluminum extruded material are cut into a predetermined length. And a plurality of cut-out extruded materials in which the cut surface of each outer frame becomes substantially rectangular and the inside thereof becomes a cavity after the formation, wherein each longitudinal direction is orthogonal to the conveying direction. On the other hand, each of the plurality of cut-extruded extruded material disposed on the support frame at a predetermined interval from each other, and each of the cut-off extruded material is disposed between, respectively, Rotating body for moving the work substrate in contact with the lower surface of the work substrate located above In addition, a rotating shaft extending in a direction orthogonal to the conveying direction and protruding in a plurality of locations of the rotating shaft, the rotating body including a roller abutting on a lower surface of the work substrate, and each of the extruded materials in which the respective cuttings are completed One or more inner cylindrical pipes disposed in the cavity and integrally formed with the extruded material in which each cut is completed such that each cut extends in a direction parallel to the longitudinal direction of the finished extruded material, the entirety of which is narrow One or a plurality of inner cylindrical pipes having a long elongated heater inserted therein, and disposed between the outer frame of the extruded material in which each cut is completed and the inner cylindrical pipe therein, and integrated with the outer frame and the inner cylindrical pipe. A strip-shaped connecting portion that is formed in a way, and is used to transfer heat from the elongated heater to the outer frame. It is characterized by including the strip | belt-shaped connection part and the elongate heater which the whole inserted in the said one or some inner cylindrical pipe was formed in the elongate shape.

　또한, 본 발명에 있어서는 상기 각 절단이 완료된 압출재의 사이의 각 틈새(상기 롤러가 돌출하여 있는 틈새를 제외하다)의 상기 워크 기판과 대향하는 측에 배치된 상기 각 틈새의 상방을 막기 위한 상측 커버와, 상기 상측 커버의 일단이 재치되도록 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀의 상기 절단면으로부터 봐서 좌우의 각 상단부에 일체적으로 형성되어 있는 상측 커버 지지용 돌출편으로서, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 직교하는 방향으로 돌출하고, 또한 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 평행한 방향으로 연장되도록 형성되어 있는 상측 커버 지지용 돌출편을 구비한 것이 바람직하다.Moreover, in this invention, the upper cover for preventing the upper direction of each said clearance gap arrange | positioned on the side facing the said work board | substrate of each clearance gap (except the clearance gap which the said roller protrudes) between the said extruded materials which each cutting completed. And an upper cover support protrusion formed integrally with each of the left and right upper end portions from the cut surface of the outer frame of the extruded material in which each cut is completed such that one end of the upper cover is placed, wherein the cut of the extruded material in which each cut is completed It is preferable to provide the upper cover support protrusion which protrudes in the direction orthogonal to a longitudinal direction, and is formed so that each said cutting may extend in the direction parallel to the longitudinal direction of the completed extrusion material.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 각 절단이 완료된 압출재의 사이의 각 틈새의 상기 워크 기판과 반대측에 배치된 상기 각 틈새의 하방을 막기 위한 단면 대략 원호 형상의 하측 커버와, 상기 하측 커버의 일단이 재치되도록 상기 각 절단끝 압출재의 외측틀의 상기 절단면으로부터 봐서 좌우의 각 하단부에 일체적으로 형성되어 있는 하측 커버 지지용 돌출편으로서, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 직교하는 방향으로 돌출하고, 또한 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 평행한 방향으로 연장되도록 형성되어 있는 하측 커버 지지용 돌출편을 구비한 것이 바람직하다.Moreover, in this invention, the lower cover of the substantially circular arc shape of cross section for preventing the downward of each clearance gap arrange | positioned on the opposite side to the said workpiece board | substrate of each clearance gap between the said extruded materials which each said cutting completed, and the one end of the said lower cover are mounted A lower cover support protrusion formed integrally with each of the lower left and right ends of the outer frame of each cut end extruded material so as to protrude in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the extruded material in which each cut is completed; In addition, it is preferable that the lower cover supporting protrusions are formed to extend in a direction parallel to the longitudinal direction of the extruded material in which the respective cuttings are completed.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀의 상기 절단면으로부터 봐서 좌우의 각 측판부의 상하 방향의 중간 부분에 각각 배치되어 있고, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 길이방향과 평행한 방향으로 연장되도록 상기 각 절단이 완료된 압출재와 일체적으로 형성되고 있고, 전체가 홀쪽한 형상으로 형성된 세장 히터가 삽입 가능하도록 되어 있는 외측통상 파이프를 구비한 것이 바람직하다. Moreover, in this invention, it is arrange | positioned in the middle part of the up-down direction of each side plate part of left and right respectively from the said cutting surface of the outer frame of the said extruded material by which each said cutting was completed, and in the direction parallel to the longitudinal direction of the said extruded material by which each said cutting was completed. It is preferable to have the outer cylindrical pipe which is integrally formed with the extruded material which each said cutting | disconnection completed so that it may extend, and the elongate heater formed in the shape of the whole is insertable.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 각 절단이 완료된 압출재의 절단면에는 상기 절단면의 개구부를 막기 위한 절단면용 커버가 장착되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, in this invention, it is preferable that the cutting surface cover for blocking the opening part of the said cutting surface is attached to the cutting surface of the said extruded material by which each said cutting was completed.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 워크 기판의 가열을 실행하기 위한 가열 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수개의 내측통상 파이프내의 적어도 하나중에 세장 히터가 삽입되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 워크 기판의 냉각을 실행하기 위한 냉각 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프 중 적어도 하나중에 냉각수 또는 냉매를 유통시키기 위한 냉각수 등 공급부가 구비되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재를 구비한 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, a plurality of cut pieces of extruded material constituting a heating area for performing heating of the work substrate, each of which is cut into at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes included in each of the cut pieces of extruded material. An extruded material in which a plurality of cuts are completed, and a heater is inserted, and a plurality of cuts are formed to form a cooling area for performing cooling of the work substrate. Usually, it is preferable to have a plurality of cut-off extruded materials provided with a supply part such as cooling water for circulating cooling water or refrigerant in at least one of the pipes.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 워크 기판의 가열을 실행하기 위한 가열 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프중의 적어도 하나중에 세장 히터가 삽입되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 워크 기판의 냉각을 실행하기 위한 냉각 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프내의 적어도 하나중에 냉각수 또는 냉매를 유통시키기 위한 냉각수 등 공급부가 구비되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 워크 기판이 상기 가열 영역을 구성 하는 복수개의 절단이 완료된 압출재상으로 이동했을 때, 상기 워크 기판이 상기 가열 영역 위에서 소정의 횟수 또는 소정의 시간만큼, 소정의 거리만큼 상기 반송 방향으로 이동하는 동작과 소정의 거리만큼 상기 반송 방향과 반대의 방향으로 이동하는 동작을 교호로 반복하도록 상기 회전체를 제어하기 위한 가열 제어 수단를 구비하는 것이 바람직하다.In the present invention, a plurality of cut pieces of the plurality of cut pieces forming a heating region for heating the work substrate are included in at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes respectively included in the cut pieces of cut material. An extruded material in which a plurality of cuts are inserted into which an elongated heater is inserted, and a plurality of cuts constituted of a cooling area for performing cooling of the work substrate, each of which is included in the extruded material in which each cut is completed. When a plurality of cut | disconnected extruded material which has a supply part, such as a coolant for circulating a coolant or a refrigerant | coolant in at least one inside inner pipe, is moved, and the said workpiece board | substrate moves on the plurality of cut | disconnected extruded material which comprises the said heating area. The workpiece substrate on the heating zone Heating control means for controlling the rotating body so as to alternately repeat an operation of moving in the conveying direction by a predetermined distance or by a predetermined number of times or a predetermined time and moving in a direction opposite to the conveying direction by a predetermined distance; It is preferable to provide.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 워크 기판의 가열을 실행하기 위한 가열 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프내의 적어도 하나중에 세장 히터가 삽입되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 워크 기판의 냉각을 실행하기 위한 냉각 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재로서, 각 절단이 완료된 압출재에 각각 포함되어 있는 하나 또는 복수의 내측통상 파이프내의 적어도 하나 중에 냉각수 또는 냉매를 유통시키기 위한 냉각수 등 공급부가 구비되어 있는 복수개의 절단이 완료된 압출재와, 상기 워크 기판이 상기 냉각 영역을 구성하는 복수개의 절단이 완료된 압출재상으로 이동했을 때, 상기 워크 기판이, 상기 냉각 영역상에서 소정의 횟수 또는 소정의 시간만큼, 소정의 거리만큼 상기 반송 방향으로 이동하는 동작과 소정의 거리만큼 상기 반송 방향과 반대의 방향으로 이동하는 동작을 교호로 반복하도록 상기 회전체를 제어하기 위한 냉각 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, a plurality of cut pieces of extruded material constituting a heating area for performing heating of the work substrate, each of which is cut into at least one of at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes included in each of the cut pieces of extruded material. An extruded material in which a plurality of cuts are completed, and a heater is inserted, and a plurality of cuts are formed to form a cooling area for performing cooling of the work substrate. When a plurality of cut | disconnected extruded material which has a supply part, such as a coolant for circulating a cooling water or a refrigerant | coolant in at least one inside a pipe, is moved, and when the said workpiece board | substrate moves on the plurality of cut | disconnected extruded material which comprises the said cooling area, The work substrate is on the cooling region Cooling control means for controlling the rotating body to alternately repeat an operation of moving in the conveying direction by a predetermined distance or by a predetermined number of times or a predetermined time, and an operation of moving in the direction opposite to the conveying direction by a predetermined distance. It is preferable to have a.

본 발명에 있어서는, 종래부터 일반적으로 극히 저가로 제조되고 있는 알루미늄 압출재가 소망한 길이로 절단되어 완성되는 절단이 완료된 압출재와, 각 절단 이 완료된 압출재의 사이에 각각 배치된 회전체에 의해 가열 기능이 있는 컨베이어를 구성하고 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 워크 기판의 종횡 사이즈가 기술 혁신 등에 의해 변경할 필요가 발생했기 때문에 가열 기능이 있는 컨베이어의 종횡 사이즈도 변경할 필요가 발생할 경우에도 알루미늄 압출재를 절단하여 상기 절단끝 압출판을 형성하는 때의 상기 절단하는 길이를 변경함과 함께, 이와 같이 절단되어 완성되는 절단끝 압출판의 개수를 증감한다고 하는 작업(지극히 저비용의 작업)을 실시하는 것만으로, 가열 기능이 있는 컨베이어의 종횡 사이즈의 변경을 실시할 수 있다(종래부터 상기 알루미늄 압출재는 지극히 저비용으로 제조할 수 있고, 상기 절단 작업 등도 지극히 저비용으로 실시할 수 있기 때문에). 따라서, 본 발명에 의하면, 워크 기판의 종횡 사이즈가 변경되었을 경우에 그 변경에 대응하기 위한 상기 가열 기능이 있는 컨베이어의 종횡 사이즈의 변경을 지극히 유연하게 한편 저비용으로 실시할 수 있게 된다.In the present invention, a heating function is provided by an extruded material in which cutting is completed, in which aluminum extruded materials, which are conventionally manufactured at a very low cost, are cut into desired lengths and completed, and a rotating body disposed respectively between each extruded material. It consists of a conveyor. Therefore, according to the present invention, since the vertical and horizontal sizes of the work substrates need to be changed due to technical innovations, the aluminum extrusion material is cut to form the cut end extruded plate even when the vertical and horizontal sizes of the conveyor with heating function need to be changed. The length and width of the conveyor with heating function are only changed by changing the length to be cut at the time of cutting, and increasing or decreasing the number of cutting end extruded plates which are cut and completed as described above. Can be changed (since the aluminum extruded material can be manufactured at a very low cost and the cutting work can be carried out at a very low cost). Therefore, according to the present invention, when the vertical and horizontal sizes of the work substrate are changed, the vertical and horizontal sizes of the conveyor with the heating function for coping with the change can be extremely flexibly and at low cost.

또한, 본 발명에 있어서는, 가열 기능이 있는 컨베이어를 각각이 세장 히터에 의해 가열되는 복수개의 절단끝 압출판에 의해 구성하도록 하고 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 종래와 같이 워크 기판의 가열 기능을 하나의 금속판에 의해 구성하는 경우와 다르고, 가열 기능 전체가 열에 의해서 휘어진 상태나 외력에 의해변형이 생겨 버리는 것이 억제되므로 가열 기능이 있는 컨베이어에 대향하고 있는 워크 기판의 전체를 균일하게 가열할 수 있다.In addition, in this invention, the conveyor with a heating function is comprised by the several cutting edge extruded board which each is heated by an elongate heater. Therefore, according to the present invention, the heating function of the work substrate is different from the case of constituting the work substrate by one metal plate as in the prior art, and since the entire heating function is suppressed from deformation caused by heat or external force, the heating function is suppressed. The whole of the work substrate facing the conveyor can be heated uniformly.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 세장 히터의 열은 상기 띠 형상 접속부를 통해서 상기 외측틀의 상측에 전열되어서 상기 외측틀의 상면 전체로부터 열이 방 사되어 상기 워크 기판을 면상에 가열하므로, 상기 세장 히터로부터 직접적으로(상기 외측틀을 통하지 않고) 워크 기판을 가열하는 경우와 비교하여 워크 기판 전체를 보다 균일하게 가열할 수 있게 된다.(상기 세장 히터로부터 직접적으로(상기 외측틀을 통하지 않고) 워크 기판을 가열하는 경우는, 워크 기판내의 상기 세장 히터에 대향하는 선 형상 부분만큼이 다른 부분보다 강하게 가열되어 버리므로 가열된 부분과 가열되지 않는 부분이 생겨 버리므로 워크 기판의 전체를 균일하게 가열할 수 없다.)In addition, in the present invention, the heat of the elongated heater is transferred to the upper side of the outer frame through the band-shaped connecting portion, heat is radiated from the entire upper surface of the outer frame to heat the work substrate on the surface. Compared to the case of heating the work substrate directly from the heater (without the outer frame), the entire work substrate can be heated more uniformly. (Work directly from the elongated heater (without the outer frame) In the case of heating the substrate, since the linear portion facing the elongated heater in the workpiece substrate is heated stronger than the other portions, the heated portion and the unheated portion are generated, so that the entire workpiece substrate can be uniformly heated. Can't)

또한, 본 발명에 있어서, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 공동부내에 하나 또는 복수의 상기 내측통상 파이프를 일체적으로 형성함과 동시에, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀의 좌우의 각 측판부의 상하 방향의 중간 부분에 상기 외측통상 파이프를 일체적으로 형성했을 때는 적어도 세개 이상의 세장 히터를 내부에 포함시켜서 상기 외측틀의 상면으로부터 면 형상에 더욱 효율적으로 상기 워크 기판을 가열할 수 있다. 또한, 이와 같이 상기 좌우의 각 측판부의 중간 부분에 상기 외측 통 형상 파이프를 형성할 때는, 상기 각 측판부를 통해서 상기 세장 히터의 열이 상기 외측틀의 상면에 전도되므로 전술과 같은 띠 형상 접속부를 형성할 필요가 없게 되어 장치의 제조 비용을 저감 할 수 있다. In addition, in the present invention, one or a plurality of inner cylindrical pipes are integrally formed in the cavity of the extruded material in which each cut is completed, and the upper and lower sides of each side plate portion of the left and right sides of the outer frame of the extruded material in which the respective cuts are completed. When the said outer cylindrical pipe is integrally formed in the middle part of a direction, at least three or more elongate heaters are included inside, and the said workpiece board | substrate can be heated more efficiently to the surface shape from the upper surface of the said outer frame. In addition, when forming the said outer cylindrical pipe in the middle part of each said left side plate part in this way, since the heat of the said elongate heater is conducted to the upper surface of the said outer frame through each said side plate part, the strip | belt-shaped connection part as mentioned above is formed. There is no need to make it possible to reduce the manufacturing cost of the device.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀의 좌우 각 상단부에 상측 커버 지지용의 상측 돌출편을 일체적으로 형성하고, 이 상측 돌출편을 사용하여 상기 각 절단이 완료된 압출재의 사이의 각 틈새의 상기 워크 기판에 대향하는 측(상측)에 각각, 상기 각 틈새(상기 상방에 돌출하고 있는 롤러의 부분 을 제외한 틈새)의 상방을 막기 위한 상측 커버를 구비하도록 한 때는 상기 세장 히터로부터의 열이 상기 각 틈새로부터 빠져 나가는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 워크 기판으로의 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다.Further, in the present invention, the upper protrusion pieces for supporting the upper cover are integrally formed at the left and right upper end portions of the outer frame of the extruded material in which the respective cuts are completed, and the cuts of the extruded material in which the cuts are completed using the upper protrusion pieces are performed. When the upper cover is provided on the side (upper side) of each gap between which is opposed to the said work board | substrate, respectively, the upper cover for preventing the upper part of the said gap (space | interval except the part of the roller which protrudes to the said upper side) said elongate heater Since heat from the outside can be prevented from escaping from the gaps, heating to the work substrate can be performed more efficiently.

　 또한, 본 발명에 있어서 상기 각 절단이 완료된 압출재의 외측틀의 좌우 각 하단부에 하측 커버 지지용의 하측 돌출편을 일체적으로 형성하고, 이 하측 돌출편을 사용하여 상기 각 절단이 완료된 압출재의 사이의 각 틈새의 상기 워크 기판과 반대측(하측)에, 각각, 상기 각 틈새의 하부를 막기 위한 하측 커버를 구비하도록 한 때에 상기 세장 히터로부터의 열이 상기 각 틈새로부터 빠져 나가는 것을 방지할 수 있으므로 상기 워크 기판으로의 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다.Further, in the present invention, the lower protrusions for supporting the lower cover are integrally formed at the left and right lower ends of the outer frame of the extruded material in which the respective cuttings are completed, and between the extruded materials in which the respective cuttings are completed using the lower protrusions. The heat from the elongated heater can be prevented from escaping from each of the gaps when the lower cover for preventing the lower portion of each of the gaps is provided on the opposite side (lower side) of the gap between the workpiece substrates. Heating to the work substrate can be carried out more efficiently.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 각 절단이 완료된 압출재의 상기 절단면에 각각 절단면용 커버를 장착하도록 한 때는 상기 세장 히터로부터의 열이 상기 절단면의 개구부로부터 빠지는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 워크 기판으로의 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다.Further, in the present invention, when the cover for each cut surface is attached to the cut surface of the extruded material in which each cut is completed, the heat from the elongated heater can be prevented from falling out of the opening of the cut surface, and thus, to the work substrate. Heating can be performed more efficiently.

또한, 본 발명에 있어서, 가열 기능이 있는 컨베이어를 복수개의 절단이 완료된 압출재를 상호 소정의 간격을 통해서 배열되는 것에 의해 구성되므로 가열 기능이 있는 컨베이어의 전체를 경량화할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 컨베이어 설치시의 작업원의 부담을 경감시킬 수 있다.In addition, in this invention, since the conveyor with a heating function is arrange | positioned through the mutually predetermined space | interval with the several cutting | disconnection material, the whole of the conveyor with a heating function can be reduced in weight. Therefore, according to this invention, the burden on the worker at the time of conveyor installation can be reduced.

또한, 본 발명에 있어서, 가열 기능이 있는 컨베이어를 복수개의 절단이 완료된 압출재를 상호 소정의 간격을 통해서 배열되는 것에 의해 구성되므로 워크 기 판을 가열하기 위해서 필요한 열량을 저감 할 수 있다(본 발명의 복수개의 절단이 완료된 압출재를 가열하기 위한 열량은 종래의 하나의 금속판을 가열하기 위한 열량과 비교하여 적어도 된다).따라서, 본 발명에 의하면, 워크 기판을 가열하기 위한 소비 전력을 절감 할 수 있다.Further, in the present invention, since the conveyor having a heating function is arranged by arranging extruded materials in which a plurality of cuts are completed through predetermined intervals, the amount of heat required for heating the work substrate can be reduced (of the present invention). The amount of heat for heating the extruded material in which the plurality of cuts are completed is at least as compared with the amount of heat for heating one conventional metal plate). Accordingly, according to the present invention, power consumption for heating the work substrate can be reduced.

또한, 본 발명에 의하면, 종래의 가열과 냉각의 쌍방의 기능을 가지는 컨베이어에 있어서, 필요로 되는 가열을 위해서만 사용하는 가열판과, 냉각을 위해서만 사용하는 냉각판을 각각 별도로 구비하는 것이 불필요하게 되므로, 다음의 (a),(b) 및 (c)와 같은 효과를 얻을 수 있다.(a) 종래의 컨베이어와 같은 가열판과 냉각판을 각각으로 구비하는 것이 불필요하게 되므로 컨베이어의 장치 전체의 경량화ㆍ저비용화가 가능하게 된다. (b) 종래의 컨베이어에서 필요한 이동 및 재치장치(가열 공정으로부터 냉각 공정으로 이행할 때, 워크 기판을 가열판으로부터 냉각판으로 이재하기 위한 이동 및 재치장치)가 불필요하게 되므로, 장치 전체의 간소화ㆍ저비용화가 가능하게 된다. (c) 종래의 컨베이어에서와 같이 가열판과 냉각판을 각각 구비하는 불필요하게 되므로 장치 전체의 바닥 면적을 절감 할 수 있다.In addition, according to the present invention, in a conveyor having both functions of conventional heating and cooling, it is unnecessary to separately provide a heating plate used only for heating required and a cooling plate used only for cooling, respectively. The following effects (a), (b) and (c) can be obtained. (A) Since the heating plate and the cooling plate, which are the same as the conventional conveyors, are not provided separately, the overall weight of the conveyor apparatus is reduced and low in cost. It becomes possible to paint. (b) Since the moving and placing device necessary for the conventional conveyor (moving and placing device for transferring the work substrate from the heating plate to the cooling plate when moving from the heating step to the cooling step) becomes unnecessary, the entire apparatus is simplified and low in cost. It becomes possible to paint. (c) Since the heating plate and the cooling plate are unnecessary as in the conventional conveyor, the floor area of the entire apparatus can be reduced.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태는, 이하의 실시예 1에 대해 말하는 형태이다.The best mode for implementing this invention is an aspect speaking about the following Example 1. FIG.

[실시예 1]Example 1

이하, 본 발명의 실시예 1에 의한 가열 기능이 있는 컨베이어를 설명한다. 도 1의 (a)는 본 실시예 1을 구성하는 부품의 하나인 절단이 완료된 압출재의 절단면을 나타내는 정면도, 도 1의 (b)는 상기 절단이 완료된 압출재(이하, 절단된 압출재라고 칭함)의 사시도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the conveyor with a heating function by Example 1 of this invention is demonstrated. (A) is a front view which shows the cut surface of the cut | disconnected extruded material which is one of the components which comprise this Example 1, and FIG. 1 (b) is the extruded material which cut | disconnected (henceforth a cut extruded material). Perspective view.

도 1에 있어서, 1은 절단이 완료된 압출재를 나타내고 있다. 이 절단된 압출재(1)는 단면이 대략 장방형상으로 형성되어 내부가 공동으로 되어 있으므로 알루미늄 압출재(알루미늄 압출형재라고도 말한다. 열로 부드러워진 알루미늄이 금형에 밀어 넣어지는 것에 의해 세장형으로 된 상태로 밀려 나온 것)가, 소정의 길이로 절단되어 완성되는 것이다. 상기 절단된 압출재(1)는 예를 들면, 상기 알루미늄 압출재가 예를 들면 약 6m의 길이로 절단되어 이루어지고, 길이방향의 양단이 열린 세장형 상자체이다. 또한 도 1에 있어서, 2는 상기 절단된 압출재(1)의 내부의 공동부, 3은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 상측면을 구성하는 상판부로서 워크 기판(도시하지 않음)과의 대향면을 구성하는 상판부, 4는 상기 절단된 압출재 (1)의 도시 하측면을 구성하는 하판부, 5는 상기 절단된 압출재(1)의 도시 우측 및 좌측의 측부를 각각 구성하는 측판부, 6은 상기 공동부(2)내에 상기 절단된 압출재 (1)의 길이방향과 평행하게 연장되도록 일체적으로 형성된 내측 통상 파이프, 7은 상기 내측통상 파이프(6)의 도시 상측부와 상기 상판부(3)를 접속하기 위해 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행하게 연장되도록 띠 형상으로 형성된 상측 접속부, 8은 상기 내측통상 파이프(6)의 도시 하측 부분과 상기 하판부(4)를 접속하기 위해서 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행에 연장되도록 띠 형상으로 형성된 하측접속부, 9는 상기 절단된 압출재(1)의 도시 좌우의 각 측판부(5)의 상하 방 향의 중간 부분에 일체적으로 형성되는 한편, 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행으로연장되도록 형성된 외측통상 파이프, 10은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 좌우 각 하단부에 각각 일체적으로 형성된 하측 돌출편으로서 후술의 하측 커버를 지지하기 위한 하측 돌출편, 11은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 각 좌우 각 상단부에 각각 일체적으로 형성된 상측 돌출편으로서 후술의 상측 커버를 지지하기 위한 상측 돌출편이다.In FIG. 1, 1 has shown the extruded material which cutting was completed. Since the cut extruded material 1 is formed into a substantially rectangular cross section and is hollow inside, the extruded material 1 is also referred to as an aluminum extruded material (also referred to as an extruded aluminum material). Is cut into a predetermined length and is completed. The cut extruded material 1 is, for example, an elongated box body in which the aluminum extruded material is cut into a length of, for example, about 6 m and whose both ends in the longitudinal direction are opened. 1, 2 is a cavity part inside the cut | disconnected extruded material 1, 3 is a top board part which comprises the illustration upper surface of the cut | disconnected extruded material 1, and opposing surface with a work substrate (not shown). The upper plate portion constituting the, 4 is the lower plate portion constituting the lower side shown in the cut extruded material 1, 5 is the side plate portion constituting the side portions of the right and left shown, respectively, of the cut extruded material 1, 6 An inner normal pipe 7 integrally formed in the cavity 2 so as to extend in parallel with the longitudinal direction of the cut extruded material 1, 7 connects the upper portion of the inner cylindrical pipe 6 to the upper part 3 and the upper plate 3. In order to extend in parallel with the longitudinal direction of the cut extruded material 1, the upper connection portion formed in a band shape, 8 is the cutting to connect the lower portion of the inner cylindrical pipe 6 and the lower plate portion 4 Parallel to the longitudinal direction of the extruded material 1 Lower connecting portion formed in a band shape so as to extend, 9 is integrally formed in the middle portion of the vertical direction of each side plate portion 5 on the left and right of the cut extruded material 1, while the cut extruded material 1 The outer cylindrical pipe 10 is formed so as to extend in parallel with the longitudinal direction of the lower projections 10 for supporting the lower cover, which will be described later as a lower projection piece integrally formed at each lower left and right portions of the cut extruded material 1, respectively, 11 Is an upper protrusion piece which is formed integrally with each of the left and right upper end portions of the cut extruded material 1, respectively, to support the upper cover to be described later.

본 실시예 1에서는, 상기 각 절단된 압출재(1)와 일체적으로 형성되어 있는 상기 총 세개의 통상 파이프(6, 9)중의 적어도 하나 내에, 봉 형상 히터(도시하지 않음)가 삽입되어 있다. 본 실시예 1에서는, 상기 세개의 통 형상 파이프(6, 9)중의 중앙의 내측통상 파이프(6)만 봉 형상 히터를 삽입하도록 해도 바람직하고, 상기 세개의 통상 파이프(6, 9)중의 2개에 또는 3개 모두에 봉 형상 히터를 삽입하도록 해도 바람직하다.In the first embodiment, a rod-shaped heater (not shown) is inserted into at least one of the three normal pipes 6 and 9 formed integrally with the cut extruded material 1. In the first embodiment, only the inner cylindrical pipe 6 in the center of the three cylindrical pipes 6 and 9 may be inserted with a rod-shaped heater, and two of the three normal pipes 6 and 9 are inserted. It is also possible to insert the rod-shaped heaters into or to all three.

또한, 본 실시예 1에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이 워크 기판의 반송 방향(화살표 P참조)과 평행하게 연장되도록 배치된 지지 프레임(20)상에 복수개의 상기 절단된 압출재(1)을 상기 반송 방향(P)와 직교하는 방향으로 상호 소정간격을 두고정렬되도록 배치하고 있다. 또한, 상기 각 절단된 압출재(1)의 사이에는 후술의 롤러(도 2에서는 도시하고 있지 않다)가 배치되어 있다.In addition, in the present Example 1, as shown in FIG. 2, the said several extruded extruded materials 1 are conveyed on the support frame 20 arrange | positioned so that it may extend in parallel with the conveyance direction (refer arrow P) of a workpiece | work substrate. Arranged so as to be aligned at a predetermined interval from each other in the direction orthogonal to the direction (P). In addition, the roller (not shown in FIG. 2) mentioned later is arrange | positioned between each cut said extruded material 1.

도 3은, 복수의 상기 절단된 압출재(1)와 롤러를 사용한 본 실시예 1에 의한 가열 기능이 있는 컨베이어의 일부를 나타내는 부분 정면도, 도 4는 같은 부분 평면도이다.또한 도 3, 도 4에서는 도 2의 지지 프레임은 도시를 생략 하고 있다. 본 실시예 1에 있어서는, 도 3에 나타낸 바와 같이 각 절단된 압출재(1)의 사이에 도시하지 않는 모터에 의해 구동되는 회전축(21)과, 상기 회전축(21)의 복수의 개소에 고정된 롤러(22)가 배치되어 있다. 상기 롤러(22)는 도 3에 나타낸 바와 같이 상기 절단된 압출재(1)의 표면보다 소정 거리만 상방(워크 기판(W)에 가까워질 방향)으로 돌출하도록 배치되어 있다.Fig. 3 is a partial front view showing a part of a conveyor with a heating function according to the first embodiment using a plurality of the cut extruded materials 1 and rollers, and Fig. 4 is the same partial plan view. In FIG. 2, the support frame of FIG. 2 is not shown. In the present Example 1, as shown in FIG. 3, the rotating shaft 21 driven by the motor which is not shown between each cut | disconnected extruded material 1, and the roller fixed to the several places of the said rotating shaft 21 is shown. 22 is arrange | positioned. The roller 22 is arrange | positioned so that a predetermined distance may protrude upward (direction closer to the work board | substrate W) only from the surface of the cut | disconnected extruded material 1 as shown in FIG.

또한, 본 실시예 1에 있어서는, 도 4에 나타난 바와 같이, 상기 각 절단된 압출재(1)의 사이의 틈새(공간)의 상방[워크 기판(W)측]으로 상기 롤러(22)가 돌출하지 않은 부분의 틈새의 상방에 상기 틈새를 막기 위한 판 형상(예를 들면 금속제)의 상측 커버(23)가 배치되어 있다. 상기 상측 커버(23)는 도 3에 나타낸 바와 같이 그 양단부가 각각 상기 절단된 압출재(1)의 상기 상측 돌출편(11)상에 재치되는 것에 의해 지지되어 있다. 상기 상측 커버(23)는 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 틈새로부터 빠져 나가지 않게 하는 것으로써 상기 워크 기판(W)으로의 가열 효율을 향상시키기 위해서 설치되어 있다.In addition, in the present Example 1, as shown in FIG. 4, the said roller 22 does not protrude above the clearance gap (space) between each cut | disconnected extruded material 1 (work board | substrate W side). The upper cover 23 of the plate shape (for example, metal) for blocking the said gap is arrange | positioned above the clearance of the part which is not. As shown in FIG. 3, the upper cover 23 is supported by its both ends being mounted on the upper projecting piece 11 of the cut extruded material 1, respectively. The upper cover 23 is provided to improve the heating efficiency to the work substrate W by preventing heat from the rod-shaped heater from escaping from the gap.

또한, 본 실시예 1에 있어서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 각 절단된 압출재(1)의 사이의 틈새(공간)의 하방(워크 기판(W)과 반대측)에, 상기 틈새를 막기 위한 단면 대략 원호 형상(예를 들면 금속제)의 하측 커버(24)가 배치되어 있다. 상기 하측 커버(24)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 그 양단부가 각각 상기 절단된 압출재(1)의 상기 하측 돌출편(10)상에 재치되는 것에 의해 지지되고 있다. 상기 하측 커버(24)는 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 틈새로부터 빠져 나가지 않게 하는 것에 의해 상기 워크 기판(W)으로의 가열 효율을 향상시키기 위해서 설 치되어 있다.In addition, in the present Example 1, as shown in FIG. 3, the cross section for blocking the said gap below (the opposite side to the work board | substrate W) between the clearances (space) between each cut | disconnected extruded material 1 is shown. The lower cover 24 of substantially circular arc shape (for example, metal) is arrange | positioned. As shown in Fig. 3, the lower cover 24 is supported by mounting both ends thereof on the lower projecting piece 10 of the cut extruded material 1, respectively. The lower cover 24 is installed to improve the heating efficiency to the work substrate W by preventing heat from the rod-shaped heater from escaping from the gap.

또한, 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향의 양단부(상기 알루미늄 압출재를 절단한 후의 절단면)에는, 전술한 바와 같이 공동부(2)나 통상 파이프(6,9)등의 개구부가 존재하고 있다(도 1 참조). 여기서, 본 실시예 1에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이 상기 개구부를 막기 위한 예를 들면, 금속제의 절단면용 커버(25)가 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향의 양단부(상기 절단면)에 나사(도시하지 않음)등으로 고정되어 있다. 상기 절단면용 커버(25)는 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 양단부(상기 절단면)의 개구부로부터 빠져 나가는 것을 방지하는 것에 의해 상기 워크 기판(W)으로의 가열 효율을 향상시키기 위한 것이다. 또한, 상기 절단면용 커버(25)에는 상기 봉 형상 히터를 상기 통상 파이프(6, 9)내에 통과시키기 위한 구멍(25a, 25b)이 형성되어 있다.Moreover, as mentioned above, openings, such as the cavity part 2 and the normal pipes 6 and 9, exist in the both ends of the cut | disconnected extruded material 1 in the longitudinal direction (cutting surface after cut | disconnecting the said aluminum extruded material). (See Figure 1). Here, in the first embodiment, as shown in Fig. 5, for example, a metal cut surface cover 25 for blocking the opening is screwed at both ends in the longitudinal direction (the cut surface) of the cut extruded material 1. (Not shown). The said cut surface cover 25 is for improving the heating efficiency to the said workpiece board | substrate W by preventing the heat from the rod-shaped heater to escape from the opening part of the said both ends (the said cut surface). The cut surface cover 25 is provided with holes 25a and 25b for allowing the rod-shaped heater to pass through the ordinary pipes 6 and 9.

또한, 도 6의 (a)은 본 실시예 1에 의한 가열 기능이 있는 컨베이어의 일부를 나타내는 부분 평면도, 도 6의 (b)는 그 A-A선 단면도이다. 본 실시예 1에서는, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이 상기 워크 기판(W)의 표면을 가열하기 위한 상측 가열판(26)이 상기 절단된 압출재(1)의 상방에 상호 평행하게 정렬되도록 배치되어 있다. 도 6의 (b)에서는 상기 상측 가열판(26)은 하나 밖에 도시되어 있지 않지만 실제로는 상기 상측 가열판(26)이 복수개 워크 기판(W)의 전체에 대향하도록 좌우 방향으로 배치되어 있다. 상기 상측가열판(26)은, 예를 들면 금속제의 내부가 공동으로 형성된 판상 부재로서 내부에 봉 형상 히터(도시하지 않음)가 삽입되어 있다.6A is a partial plan view showing a part of the conveyor with a heating function according to the first embodiment, and FIG. 6B is a cross-sectional view along the line A-A. In the first embodiment, as shown in Fig. 6B, the upper heating plate 26 for heating the surface of the work substrate W is arranged so as to be aligned in parallel with each other above the cut extruded material 1. It is. In FIG. 6B, only one upper heating plate 26 is shown, but in practice, the upper heating plate 26 is disposed in the horizontal direction so as to face the entirety of the plurality of work substrates W. As shown in FIG. The upper heating plate 26 is, for example, a plate-shaped member in which a metal inside is formed in a cavity, and a rod-shaped heater (not shown) is inserted therein.

다음, 본 실시예 1의 동작을 설명한다. 도 7은 워크 기판(W)이 이송되고 있을 때 상태를 나타내기 위한 본 실시예 1의 정면도이다(도 7에 있어서는, 도 6의 상측 가열판(26)은 도시를 생략하고 있다). 본 실시예 1에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이 워크 기판(W)의 반송 방향(P)과 평행하게 상기 절단된 압출재(1)와 롤러(22)가 교호로 배치되어 있다. 그리고, 상기 절단된 압출재(1)의 내부에 삽입되어 있는 봉 형상 히터의 열이 전도되어 상기 절단된 압출재(1)의 상면으로부터 면상으로 방사된다. 따라서, 본 실시예 1에 의하면, 복수의 워크 기판(W)이 순차적으로 상기 롤러(22)에 의해 이송되면서 동시에, 상기 절단된 압출재(1)에 의해 가열된다. 이 경우, 기술 혁신 등에 의해 상기 워크 기판(W)의 종횡 사이즈를 변경할 필요가 생겼을 경우에도 상기 절단된 압출재(1)를 제조할 때의 알루미늄 압출재로부터의 절단 길이를 변경함과 동시에 상기 절단된 압출재(1)의 배치 개수를 변경하는 것만으로 극히 유연하게, 또한 저가로 상기 변경에 대응할 수 있다.Next, the operation of the first embodiment will be described. FIG. 7 is a front view of the first embodiment for showing a state when the work substrate W is being conveyed (in FIG. 7, the upper heating plate 26 of FIG. 6 is not shown). In Example 1, the extruded material 1 and the roller 22 cut | disconnected are arrange | positioned alternately in parallel with the conveyance direction P of the workpiece | work substrate W as shown in FIG. Then, the heat of the rod-shaped heater inserted into the cut extruded material 1 is conducted and radiated in a plane from the top surface of the cut extruded material 1. Therefore, according to the first embodiment, the plurality of work substrates W are sequentially transferred by the rollers 22 and simultaneously heated by the cut extruded material 1. In this case, even when it is necessary to change the longitudinal and horizontal sizes of the work substrate W due to technical innovation or the like, the cut length from the aluminum extruded material at the time of manufacturing the cut extruded material 1 is changed, and the cut extruded material It is possible to cope with the above change very flexibly and at low cost only by changing the arrangement number of (1).

이후, 도 8의 (a)은 본 실시예 1에 의한 워크 기판(W)의 가열과 이송의 동작을 모식적으로 나타내는 도면, 도 8의 (b)는 비교예에 의한 워크 기판(W)의 가열과 이송동작을 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 8의 (a)에 있어서, 도면부호 27은 상기 절단된 압출재(1)의 각 통상 파이프(6 또는 9)내에 삽입되는 봉 형상 히터를 모식적으로 나타낸 것이다. 본 실시예 1을 사용하여 워크 기판(W)를 이송할 때는, 상기 봉 형상 히터(27)로부터의 열이 상기 띠 형상의 상측 접속부(도 1의 부호 7 참조)등을 통해 상기 절단된 압출재(1)의 상면에 전도되므로, 워크 기판(W)은 상기 절단된 압출재(1)의 상면으로부터 면상으로 가열되어 워크 기판(W)의 전체가 균일하게 가열되게 된다. 이것에 대해서 도 8의 (b)에 나타내는 비교예에 있어서는, 각 롤러 (22)의 사이에 봉 형상 히터(27)가 그대로 배치되어 있을 뿐이고, 상기 봉 형상 히터(27)로부터의 열은 선상으로 워크 기판(W)를 가열할 뿐이므로 워크 기판(W)의 전체내에 가열 편차(가열된 부분과 가열되지 않는 부분)가 생겨 버릴 우려가 있다. 그 결과, 상기 비교예에서는 워크 기판(W)에 휘어진 상태나 일그러짐이 생겨 버릴 우려가 있다.8A is a view schematically showing the operation of heating and transferring the work substrate W according to the first embodiment, and FIG. 8B is a view of the work substrate W according to the comparative example. It is a figure which shows heating and a transfer operation typically. In Fig. 8A, reference numeral 27 schematically shows a rod-shaped heater inserted into each ordinary pipe 6 or 9 of the cut extruded material 1. When the workpiece substrate W is transferred using the first embodiment, the heat from the rod heater 27 is cut through the strip-shaped upper connecting portion (see reference numeral 7 in FIG. 1) or the like. Since it is conducted to the upper surface of 1), the work substrate W is heated from the upper surface of the cut extruded material 1 onto the surface so that the whole of the work substrate W is uniformly heated. On the other hand, in the comparative example shown to FIG. 8B, the rod-shaped heater 27 is just arrange | positioned as it is between each roller 22, and the heat from the rod-shaped heater 27 is linear. Since only the work board | substrate W is heated, there exists a possibility that a heating deviation (heated part and a part which is not heated) may arise in the whole of the work board | substrate W. As shown in FIG. As a result, in the said comparative example, there exists a possibility that the state and distortion of the work board | substrate W may arise.

이상과 같이, 본 실시예 1에 있어서는 상기 절단된 압출재(1)와, 각 롤러 (22)[및 회전축(21)]에 의해 가열 기능이 있는 컨베이어를 구성하고 있으므로, 워크 기판(W)의 종횡 사이즈가 변경되기 때문에 가열 기능이 있는 컨베이어의 종횡 사이즈를 변경할 필요가 생겼을 경우에도, 상기 알루미늄 압출재를 절단하여 상기 절단끝 압출판을 형성할 때의 절단하는 길이를 변경함과 동시에 이와 같이 하여 형성된 절단된 압출재(1)의 개수를 증감만으로, 상기 컨베이어의 종횡 사이즈의 변경을 실시할 수 있으므로(게다가 종래부터 상기 알루미늄 압출재는 지극히 저비용으로 제조할 수 있고, 상기 절단 작업 등도 지극히 저비용으로 실시할 수 있다) 상기 워크 기판(W)의 종횡 사이즈의 변경에 대해서 지극히 용이하고, 저비용으로 대응할 수 있다.As mentioned above, in the present Example 1, since the said extruded material 1 and each roller 22 (and the rotating shaft 21) comprise the conveyor with a heating function, the vertical and horizontal of the work board | substrate W are mentioned. Since the size is changed, even when it is necessary to change the vertical and horizontal size of the conveyor with heating function, the cutting formed in this manner while changing the length to cut when cutting the aluminum extruded material to form the cut end extruded plate Only by increasing or decreasing the number of the extruded materials 1 thus obtained, the vertical and horizontal sizes of the conveyor can be changed (in addition, the aluminum extruded materials can be manufactured at a very low cost in the past, and the cutting operation can be performed at a very low cost. The change of the longitudinal and horizontal size of the work substrate W is extremely easy and can be coped at low cost.

또한, 본 실시예 1에 있어서는, 가열 기능이 있는 컨베이어를 각각 봉 형상 히터를 포함한 복수의 절단된 압출재(1)를 소정의 간격을 통해서 정렬되도록 구성하도록 하고, 상기 봉 형상 히터의 열은 상기 띠 형상의 상측 접속부(7)을 통해서 상기 상판부(3)에 전열되어 상기 상측판(3)의 전체로부터 열이 면상으로 방사되어 상기 워크 기판(W)를 면상으로 가열하도록 하고 있으므로, 상기 봉 형상 히터로부 터 직접 워크 기판(W)를 가열하는 경우[이 경우는, 워크 기판(W)내의 상기 봉 형상 히터에 대향하는 선상 부분만큼이 다른 부분보다 강하게 가열되어 버리므로 워크 기판(W)의 전체를 균일하게 가열할 수 없다]와 비교하여 워크 기판(W)의 전체를 균일하게 가열할 수 있게 된다.In addition, in the first embodiment, a conveyor with a heating function is configured such that a plurality of cut extruded materials 1 each including a rod-shaped heater is aligned through a predetermined interval, and the row of the rod-shaped heater is arranged in the strip. The rod-shaped heater is heat-transferred to the upper plate portion 3 through the upper connection portion 7 in the shape, and heat is radiated to the surface from the whole of the upper plate 3 so that the work substrate W is heated in the plane. When the work substrate W is directly heated (in this case, since the linear portions facing the rod-shaped heaters in the work substrate W are heated stronger than other portions, the entire work substrate W is heated. Cannot be heated uniformly], so that the whole of the work substrate W can be heated uniformly.

또한, 본 실시예 1에 있어서, 상기 공동부(2)내에 상기 내측통상 파이프(6)를 일체적으로 형성함과 동시에, 상기 각 절단된 압출재(1)의 측판부(5)의 중간 부분에 상기 외측 통상 파이프(9)를 일체적으로 형성하고, 이러한 총 세개의 통상 파이프(6, 9)내에 각각 봉 형상 히터를 삽입하도록 했을 때는 이러한 총 세개의 통상 파이프(6, 9)내의 봉 형상 히터로부터의 열에 의해 상기 상측판(3)으로부터 상기 워크 기판(W)를 강력하게 가열할 수 있다.In the first embodiment, the inner cylindrical pipe 6 is integrally formed in the cavity 2, and at the middle portion of the side plate portion 5 of each cut extruded material 1. When the outer common pipe 9 is integrally formed and rod-shaped heaters are inserted into the three ordinary pipes 6 and 9, respectively, the rod-shaped heaters in the three ordinary pipes 6 and 9 are combined. The work substrate W can be strongly heated from the upper plate 3 by the heat from the upper plate 3.

또한, 본 실시예 1에 있어서는, 상기 각 절단된 압출재(1)의 좌우 각 상단부에 상기 상측 돌출편(11)을 일체적으로 형성하고, 상기 각 절단된 압출재(1)의 사이의 각 틈새[또한, 상기 각 틈새 내, 상기 롤러(22)가 돌출하고 있는 부분은 제외하다]의 워크 기판(W)측(상측)을 막기 위한 상측 커버(23)를 상기 상측 돌출편(11)을 사용하여 설치하도록 하고 있다. 따라서, 본 실시예 1에 의하면, 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 틈새로부터 빠져 나가는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 상기 워크 기판(W)으로의 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다.In addition, in the first embodiment, the upper protrusion pieces 11 are integrally formed on the left and right upper ends of the cut extruded materials 1, and the gaps between the cut extruded materials 1 are formed. In addition, the upper cover 23 for blocking the work substrate W side (upper side) of each of the gaps, except for the portion where the roller 22 protrudes, is used using the upper protruding piece 11. To install. Therefore, according to the first embodiment, heat from the rod-shaped heater can be prevented from escaping from the gap, and as a result, heating to the work substrate W can be performed more efficiently.

또한, 본 실시예 1에 있어서는 상기 각 절단된 압출재(1)의 좌우 각 하단부에 하측 돌출편(10)을 일체적으로 형성하고, 상기 각 절단된 압출재(1) 사이의 틈새의 상기 워크 기판(W)과 반대측(하측)을 막기 위해 하측 커버(24)를 상기 하측 돌출편(10)을 사용하여 설치하도록 하고 있다. 따라서, 본 실시예 1에 의하면, 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 틈새로부터 빠져 나가는 것을 방지할 수 있고 그 결과, 상기 워크 기판(W)으로의 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다.In addition, in the first embodiment, the lower protrusion pieces 10 are integrally formed at the left and right lower end portions of the cut extruded materials 1, and the work substrate of the gap between the cut extruded materials 1 In order to prevent the opposite side (lower side) from W), the lower cover 24 is installed using the lower projecting piece 10. Therefore, according to the first embodiment, the heat from the rod-shaped heater can be prevented from escaping from the gap, and as a result, the heating to the work substrate W can be performed more efficiently.

또한, 본 실시예 1에 있어서는, 상기 각 절단된 압출재(1)의 절단면에 절단면용 커버(25)를 장착하도록 하고 있다. 따라서, 본 실시예 1에 의하면, 상기 봉 형상 히터로부터의 열이 상기 절단면의 개구부(공동부;2)나 통상 파이프(6, 9)의 개구부 등)로부터 빠져 나가는 것을 방지할 수 있고, 그 결과, 상기 워크 기판(W)으로 가열이 보다 효율적으로 실시할 수 있게 된다. In addition, in the present Example 1, the cut surface cover 25 is attached to the cut surface of each cut said extruded material 1. Therefore, according to the first embodiment, the heat from the rod-shaped heater can be prevented from escaping from the opening (cavity) 2 of the cut surface, the opening of the ordinary pipes 6 and 9, and the like, and as a result As a result, the work substrate W can be heated more efficiently.

또한, 본 실시예 1에 있어서는 가열 기능이 있는 컨베이어를 상기 절단된 압출재 (1)를 복수개 정렬되어 구성되고 있다. 따라서, 본 실시예 1에 의하면, 가열 기능이 있는 컨베이어의 전체를 경량화할 수 있음과 동시에, 가열 기능이 있는 컨베이어에 의한 워크 기판(W)의 가열을 위한 소비 전력을 절감 할 수 있다.In the first embodiment, a plurality of the extruded materials 1 cut out are arranged in a conveyor with a heating function. Therefore, according to the first embodiment, it is possible to reduce the weight of the entire conveyor with a heating function and reduce the power consumption for heating the work substrate W by the conveyor with a heating function.

[실시예 2][Example 2]

이하, 본 발명의 실시예 2에 의한 가열 및 냉각 기능을 구비한 컨베이어에 대해서 설명한다. 본 실시예 2의 기본적 구성은, 상기 실시예 1과 동일하므로. 이하에서는 상기 실시예 1과 다른 부분만을 설명한다. 도 9의 (a)는 본 실시예 2를 구성하는 부품의 하나인 절단된 압출재의 절단면을 나타내는 정면도, 도 9의 (b)는 상기 절단이 끝난 압출재의 사시도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the conveyor with a heating and cooling function by Example 2 of this invention is demonstrated. Since the basic configuration of the second embodiment is the same as that of the first embodiment. Hereinafter, only portions different from those of the first embodiment will be described. (A) is a front view which shows the cut surface of the cut | disconnected extruded material which is one of the components which comprise this Example 2, and FIG. 9 (b) is a perspective view of the cut | disconnected extruded material.

도 9에 있어서, 1은 절단된 압출재를 나타내고 있다. 이 절단된 압출재(1)은 단면이 대략 장방형장으로 형성되어 내부가 공동으로 되어 있는 알루미늄 압출재 (길이방향의 양단이 개구된 세장형의 상자체)가 소정의 길이(예를 들면 약 6m등)로 절단되어 완성되는 것이다.In FIG. 9, 1 has shown the extruded material cut | disconnected. The cut extruded material 1 is formed in a substantially rectangular cross section, and the aluminum extruded material (an elongated box body having both ends in the length direction opened) having a predetermined length (for example, about 6 m) is formed. It is cut to finish.

또한 도 9에 있어서, 2는 상기 절단된 압출재(1)의 내부의 공동부(이 공동부 (2)는, 후술의 각 내측통상 파이프(6, 6a)와 각 띠 형상 접속부(7, 7a, 8, 8a)에 의해 복수로 나누어지고 있다)와, 3은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 상측면을 구성하는 상판부로서 워크 기판(도시하지 않음)과의 대향면을 구성하는 상판부, 4는 상기 절단된 압출재(1)의 도시 하측면을 구성하는 하판부, 5는 상기 절단된 압출재(1)의 도시 우측 및 좌측의 측부를 각각 구성하는 측판부, 6, 6a는 상기 공동부 (2)내에 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행하게 연장되도록 일체적으로 형성된 내측통상 파이프, 7 및 7a는 상기 각 내측통상 파이프(6, 6a)의 도시 상측부분과 상기 상판부(3)를 접속하기 위해서 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행하게 연장되도록 띠 형상으로 일체적으로 형성된 상측 접속부, 8 및 8a는 상기 각 내측통상 파이프(6, 6a)의 도시된 하측 부분과 상기 하판부(4)를 접속하기 위해 상기 절단된 압출재(1)의 길이방향과 평행하게 연장되도록 띠 형상으로 일체적으로 형성된 하측 접속부, 9는 상기 절단된 압출재(1)의 도시 좌우의 각 측판부(5)의 도시 상하 방향의 중간부분(도중 부분)에 일체적으로 형성된 외측 통상 파이프, 10은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 좌우 각 하단부에 각각 일체적으로 형성된 하측 돌출편이고 후술의 하측 커버를 지지하기 위한 하측 돌출편, 11은 상기 절단된 압출재(1)의 도시 좌우 각 상단부에 각각 일체적으로 형성된 상측 돌출편이고, 후술의 상측 커버를 지지하기 위한 상측 돌출편이다.9, 2 is a cavity part inside the cut | disconnected extruded material 1 (this cavity part 2 is each inner cylindrical pipe 6 and 6a mentioned later, and each strip | belt-shaped connection part 7, 7a, 8, 8a), and 3 are upper plate portions constituting the upper side surface of the cut extruded material 1 shown above, and the upper plate portion 4 constituting the opposing surface of the work substrate (not shown). Lower plate part constituting the lower side of the cut extruded material 1, 5 is the side plate portion constituting the side portions of the right and left side of the cut extruded material 1, 6, 6a is the cavity portion (2) Inner cylindrical pipes 7 and 7a integrally formed so as to extend in parallel with the longitudinal direction of the cut extruded material 1 therein connect the upper portion of each inner cylindrical pipe 6 and 6a to the upper plate portion 3. In order to extend in parallel with the longitudinal direction of the cut extruded material (1) to integrally mold in a band shape Upper connection portions 8 and 8a are formed so as to extend in parallel with the longitudinal direction of the cut extruded material 1 for connecting the lower portion 4 and the lower portion shown in each of the inner cylindrical pipes 6 and 6a. Lower connection part integrally formed in the shape, 9 is an outer side normal pipe integrally formed in the middle part (middle part) of the up-down direction of illustration of each side plate part 5 of illustration left and right of the cut | disconnected extruded material 1, Lower protrusion pieces integrally formed at each of the left and right lower end portions of the cut extruded material 1, respectively, and lower protrusion pieces for supporting the lower cover described below, and 11 are integrally formed at the upper left and right upper ends of the cut extruded material 1, respectively. It is an upper protrusion piece formed in the lower part, and is an upper protrusion piece for supporting the upper cover mentioned later.

본 실시예 2에서는, 상기 각 절단된 압출재(1)와 일체적으로 형성되어 있는 도 9의 총 5개의 통상 파이프(6, 6a, 9)중의 중앙의 내측통상 파이프(6)내에 봉 형상 히터(도시하지 않음)가 삽입되어 있다. 또한, 본 실시예 1에서는, 도 9의 총 5개의 통상 파이프(6, 6a, 9)중의 상기 내측통상 파이프(6; 봉 형상 히터가 삽입되는 것)의 양측의 2개 내측통상 파이프(6a)에 상기 내측통상 파이프(6a)내에 냉각수(또는 냉매)를 공급하고 유통시키기 위한 냉각수 등 공급부(도 9에서는 도시하고 있지 않다. 후술한다.)가 장착되어 있다.In the second embodiment, the rod-shaped heater (6) is formed in the inner inner pipe 6 in the center of the five ordinary pipes 6, 6a, and 9 of FIG. 9, which are integrally formed with the cut extruded materials 1, respectively. Not shown) is inserted. In addition, in the first embodiment, two inner cylindrical pipes 6a on both sides of the inner cylindrical pipe 6 (the rod-shaped heater is inserted) in the five normal pipes 6, 6a, and 9 in FIG. A supply unit (not shown in Fig. 9, described later) such as cooling water for supplying and circulating the cooling water (or the refrigerant) in the inner cylindrical pipe 6a is mounted on the inner side of the inner pipe 6a.

도 10은 복수의 상기 절단된 압출재(1)와 롤러(22)를 사용한 본 실시예 2에 의한 가열 및 냉각 기능이 있는 컨베이어의 일부를 나타내는 부분 정면도이다. 본 실시예 2에 있어서는 도 10에 도시된 바와 같이 각 절단된 압출재(1)의 사이의 틈새(공간)에 도시하지 않은 모터에 의해 구동되는 회전축(21)과 이 회전축(21)의 복수 개소에 고정된 롤러(22)가 배치되어 있다. 상기 롤러(22)는 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 절단된 압출재(1)의 표면보다 소정 거리만큼 상방(워크 기판(W)에 가까운 방향)으로 돌출하도록 배치되어 있다.FIG. 10 is a partial front view showing a part of a conveyor having a heating and cooling function according to the second embodiment using a plurality of the cut extruded materials 1 and rollers 22. In the present Example 2, as shown in FIG. 10, the rotary shaft 21 driven by the motor which is not shown in the clearance gap between each cut | disconnected extruded material 1 and several places of this rotary shaft 21 are shown. The fixed roller 22 is arrange | positioned. The roller 22 is arrange | positioned so that it may protrude upward (direction close to the workpiece | substrate W) by the predetermined distance from the surface of the cut | disconnected extruded material 1, as shown in FIG.

또한, 본 실시예 2에 있어서, 도 10에 나타낸 바와 같이 상기 각 절단된 압출재(1)의 사이의 틈새(공간)의 상방[워크 기판(W)의 방향]에 있어서, 상기 롤러 (22)가 돌출하고 있지 않는 부분의 틈새의 상방을 막기 위한 판상(예를 들면 금속제)의 상측 커버(23)가 배치되어 있다. 이 상측 커버(23)는 도 10에 도시된 바와 같이, 그 양단부가 각각 상기 절단된 압출재(1)의 상기 상측 돌출편(11)상에 재치되어 지지되고 있다. 상기 상측 커버(23)는 상기 봉 형상 히터로부터 열(또는 상기 냉각수로부터의 냉열)이 상기 틈새로부터 빠져 나가지 않도록 하는 것에 의해 상기 워크 기판(W)으로의 가열 및 냉각의 효율을 향상시키기 위해서 설치되어 있다.In addition, in the present Example 2, as shown in FIG. 10, in the upper direction (direction of the work board | substrate W) between clearance gaps (space) between each cut | disconnected extruded material 1, the said roller 22 is The upper cover 23 of the plate shape (for example, metal) for preventing the space | interval of the part which does not protrude above is arrange | positioned. As shown in Fig. 10, the upper cover 23 is mounted on and supported on the upper protrusion piece 11 of the cut extruded material 1, respectively. The upper cover 23 is provided to improve the efficiency of heating and cooling to the work substrate W by preventing heat (or cooling heat from the cooling water) from the rod-shaped heater from escaping from the gap. have.

또한, 본 실시예 2에 있어서는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 각 절단끝압출재(1)의 사이의 틈새(공간)의 하방(워크 기판(W)과 반대의 방향)를 막기 위해 단면 대략 원호상(예를 들면 금속제)의 하측 커버(24)가 배치되어 있다. 이 하측 커버(24)는 도 10에 나타낸 바와 같이 그 양단부가 각각 상기 절단된 압출재(1)의 상기 하측 돌출편(10)상에 재치되어 있다. 상기 하측 커버(24)는 상기 봉 형상 히터로부터의 열(또는 상기 냉각수로부터의 냉열)이 상기 틈새로부터 빠져 나가지 않도록 하는 것에 의해 상기 워크 기판(W)으로의 가열 및 냉각의 효율을 향상시키기 위해서 설치되어 있다.In addition, in the present Example 2, as shown in FIG. 10, in order to prevent the space | interval downward (direction opposite to the work board | substrate W) between each said cutting edge extrusion material 1, a circular cross section is shown. The lower cover 24 of the arc shape (for example, metal) is arrange | positioned. As shown in Fig. 10, the lower cover 24 is mounted on the lower protruding piece 10 of the cut extruded material 1, respectively. The lower cover 24 is installed to improve the efficiency of heating and cooling to the work substrate W by preventing heat from the rod-shaped heater (or cooling heat from the cooling water) from escaping from the gap. It is.

또한, 상기 절단된 압출재(1)의 양단부(상기 알루미늄 압출재가 절단된 절단면)에는 상술한 바와 같이, 상기 공동부(2) 및 통상 파이프(6, 6a, 9)등의 개구부가 존재하고 있다(도 9 참조). 여기서, 본 실시예 2에서는 도 11에 나타낸 바와 같이 상기 각 개구부를 막기 위한 예를 들면, 금속제의 절단면용 커버(25)가 상기 절단된 압출재(1)의 양단부(상기 알루미늄 압출재가 절단된 절단면)에 나사(도시하지 않음)등으로 고정되어 있다. 상기 절단면용 커버(25)는 상기 봉 형상 히터로부터의 열(또는 상기 냉각수로부터의 냉열)이 상기 양단부(절단면)의 개구부로부터 빠져 나가지 않도록 하는 것에 의해 상기 워크 기판(W)으로의 가열(또는 냉각의) 효율을 향상시키기 위한 것이다. 또한, 상기 절단면용 커버(25)에는 상기 봉 형상 히터를 상기 통상 파이프(6)내에 통과시키거나 상기 냉각수 등 공급부를 상기 통상파 이프(6a)에 장착하기 위한 구멍(25a)이 형성되어 있다.Further, openings such as the cavity 2 and the pipes 6, 6a, and 9 are present at both ends of the cut extruded material 1 (cut surface from which the aluminum extruded material is cut) (as described above). 9). Here, in the second embodiment, for example, as shown in Fig. 11, both ends of the extruded material 1 (for example, a cut surface from which the extruded aluminum material is cut) are cut, for example, for the metal cut surface cover 25 to block the openings. It is fixed by screws (not shown). The cutting surface cover 25 is heated (or cooled) to the work substrate W by preventing heat from the rod-shaped heater (or cooling heat from the cooling water) from escaping from the openings at both ends (cut surfaces). Is to improve the efficiency. Further, the cut surface cover 25 is provided with a hole 25a for passing the rod-shaped heater in the ordinary pipe 6 or for mounting a supply portion such as the cooling water to the ordinary pipe 6a.

또한, 본 실시예 2에 있어서는 도 12의 블럭도에 나타낸 바와 같이 상기 각 롤러(22)를 회전시키는 회전축(21)을 구동하는 구동부(31)(도시하지 않는 모터에 의해 구성된다)와, 상기 구동부(31)을 제어하는 제어장치(32)가 구비되어 있다. 상기 제어장치(32)는 도시하지 않는 PC 등에 의해 구성되어 있다. 상기 제어장치(32)의 메모리에는 각 워크 기판(W)의 종류 등에 대응한 가열 및 냉각 시간과, 각 워크 기판(W)에 적절한 가열 및 냉각을 실현하기 위해서 필요한 상기 롤러 회전축(21)의 구동 모양을 실현하기 위한 프로그램이 미리 기록되어 있다.In addition, in the second embodiment, as shown in the block diagram of Fig. 12, the drive unit 31 (consists of a motor not shown) for driving the rotating shaft 21 for rotating the respective rollers 22, and the The control apparatus 32 which controls the drive part 31 is provided. The said control apparatus 32 is comprised by the PC etc. which are not shown in figure. In the memory of the control device 32, heating and cooling time corresponding to the type of each work substrate W, etc., and driving of the roller rotating shaft 21 necessary for realizing heating and cooling appropriate for each work substrate W are provided. The program for realizing the shape is recorded in advance.

이후, 본 실시예 2에 있어서의 상기 워크 기판(W)를 냉각하는 기능(냉각수 등 공급부 등에 의한 기능)을 실현하기 위한 구성에 대해서 도 13을 참조해 설명한다.그리고, 도 13에 있어서는, 상기 측판부(5)의 중간 부분에 형성된 외측 통상 파이프(9)(도 9를 참조)는 도시를 생략하고 있다.A configuration for realizing the function of cooling the work substrate W (the function by a supply unit such as cooling water) in the second embodiment will be described with reference to FIG. 13. The outer side normal pipe 9 (refer FIG. 9) formed in the middle part of the side plate part 5 abbreviate | omits illustration.

본 실시예 2에서는, 상기 워크 기판(W)를 냉각하는 기능을 실현하는 부분은, 상기 워크 기판(W)를 가열하는 기능을 실현하는 부분과 동일하게, 상기 복수의 절단된 압출재(1)가 상기 지지 프레임(20)상에 소정간격을 통해서 배열되는(도 2 참조) 것에 의해 구성되어 있다. 도 13에 있어서, 33은 외부의 냉각수원(도시하지 않음)으로부터의 냉각수(도 13의 부호 B로 나타내 보이는 화살표를 참조)를 상기 각 절단된 압출재(1)의 상기 각 내측통상 파이프(6a)내에 공급하기 위한 냉각수 공급관, 34는 상기 냉각수 공급관(33)으로부터의 냉각수를 받아 들이기 위해서 상기 각 절단된 압출재(1)내의 각 내측 통상 파이프(6a)의 도시된 하방의 단부에 장착된 냉각수 입구, 33a는 상기 냉각수 공급관(33)으로부터의 냉각수의 일부를 상기 각 냉각수 입구(34)에 공급하기 위한 지관이다. 상기 각 냉각수 입구(34)로부터 상기 각 내측통상 파이프(6a)내에 받아 들여진 냉각수는, 상기 각 내측통상 파이프(6a)를 통해서 상기 각 절단된 압출재(1)을 냉각한다. 그리고, 이것에 의해 냉각된 상기 각 절단된 압출재(1)는 스스로 근접한 위치에 배치되어 있는 워크 기판(W)을 냉각한다. 또한, 본 실시예 2에 있어서, 상기 워크 기판(W)를 냉각하기 위해서는 상기 워크 기판(W)을 상기 절단된 압출재(1)에 근접시키는 것만으로도 바람직하지만, 예를 들면 워크 기판(W)이 냉각 영역의 상방에 있을 때, 주지의 승강기구에 의해 상기 롤러 22(도 10 참조)를 상기 각 절단된 압출재(1)보다 하강시키는 것에 의해, 상기 워크 기판(W)를 상기 각 절단된 압출재(1)에 접촉시키도록 해도 바람직하다.In the present Example 2, the part which implements the function which cools the said workpiece board | substrate W is the same as the part which realizes the function which heats the said workpiece board | substrate W, The said several cut | disconnected extruded material 1 is It is comprised by arrange | positioning on the said support frame 20 through predetermined space | interval (refer FIG. 2). In Fig. 13, reference numeral 33 denotes each of the inner cylindrical pipes 6a of each of the extruded materials 1 cut out of the coolant (see the arrow indicated by reference B in Fig. 13) from an external coolant source (not shown). Cooling water supply pipe for supplying in the inside, 34 is a cooling water inlet mounted at the shown lower end of each inner normal pipe (6a) in each cut extruding material (1) to receive the cooling water from the cooling water supply pipe (33), 33a is a branch pipe for supplying a part of the cooling water from the cooling water supply pipe 33 to each of the cooling water inlets 34. Cooling water received from the respective cooling water inlets 34 into the respective inner cylindrical pipes 6a cools the cut pieces of extruded material 1 through the respective inner cylindrical pipes 6a. And the said each cut extruded material 1 cooled by this cools the workpiece | work substrate W arrange | positioned at the position which adjoins itself. In addition, in the second embodiment, in order to cool the work substrate W, it is preferable to bring the work substrate W close to the cut extruded material 1, but for example, the work substrate W When the roller 22 (see FIG. 10) is lowered than the cut pieces of extruded material 1 by a well-known lifting mechanism when above the cooling area, the cut pieces of extruded material of the work substrate W are cut. It is also good to make it contact with (1).

한편, 도 13에 있어서, 35는, 상기 냉각수 공급관(33)으로부터의 냉각수이고, 상기 각 내측통상 파이프(6a)내에서의 열교환에 사용된 후의 냉각수를 상기 각 내측통상 파이프(6a) 밖으로 유출시키기 위해서, 상기 각 내측통상 파이프(6a)의 도시된 상방의 단부에 장착된 냉각수 출구이다. 또한, 36은, 상기 각 냉각수 출구(35)로부터 유출된 냉각수를 각 지관(36a)을 통해서 받아 들여 냉각수원(도시하지 않음)에 되돌리기(도 13의 부호 C에 나타내 보이는 화살표를 참조) 위한 배수관이다.In Fig. 13, reference numeral 35 denotes a cooling water from the cooling water supply pipe 33, and allows the cooling water after being used for heat exchange in each of the inner cylindrical pipes 6a to flow out of the inner cylindrical pipes 6a. For this purpose, it is a cooling water outlet mounted at the upper end portion of each of the inner cylindrical pipes 6a. In addition, 36 is a drain pipe for receiving the coolant which flowed out from each said coolant outlet 35 through each branch pipe 36a, and returning it to a coolant source (not shown) (refer to the arrow shown by the symbol C of FIG. 13). to be.

또한, 본 실시예 2에 있어서의 상기 각 냉각수 입구(34)(또는, 상기 각 냉각수 입구(34), 상기 냉각수 공급관(33), 상기 냉각수 출구(35) 및 상기 배수관(36))은 본 발명에 있어서의 「통상 파이프안에 냉각수 또는 냉매를 유통시키기 위한 냉 각수 등 공급부」의 하나의 구체적인 예이다.In addition, each said cooling water inlet 34 (or each said cooling water inlet 34, the said cooling water supply pipe 33, the said cooling water outlet 35, and the said drain pipe 36) in Example 2 is this invention. It is one specific example of the "supply part, such as cooling water for circulating a cooling water or a refrigerant | coolant in a pipe normally."

이후, 본 실시예 2의 동작을 설명한다. 우선, 본 실시예 2에 의한 상기 워크 기판(W)의 반송과 가열의 동작에 대해 설명한다. 상술한 바와 같이, 상기 제어장치 (32)는 상기 프로그램의 명령에 따라서 상기 구동부(31)을 제어한다. 예를 들면, 상기 제어장치(32)는 워크 기판(W)을 10분간만 가열할 필요가 있는 경우는 워크 기판(W)이 상기 복수의 절단된 압출재(1)에 의해 구성되는 가열 존(가열 영역)상으로 이동한 후, 워크 기판(W)을 상기 가열 존 상에서 상기 10분간만, 예를 들면 100~200 mm 정도씩 도 10의 좌우방향(상기 실시예 1에 관한 도 7및 도 8의 좌우 방향)으로 요동시킨다. 즉, 예를 들면, 상기 제어장치(32)는 워크 기판(W)이 상기 가열 존 상에서 상기 10분간만 좌방향으로 100~200mm의 이동과, 우측향으로 100~200mm의 이동을 소정 회수만큼 반복하도록 상기 구동부(31)을 제어한다. 이와 같은 워크 기판(W)의 요동의 동작에 의해 워크 기판(W)의 전체가 균일하게 가열되게 된다. 그리고, 상기의 필요한 가열 시간이 경과하면, 상기 제어장치(32)는 워크 기판(W)를 상기 가열 존(41)(가열 영역)으로부터 다음의 냉각 존(42)(냉각 영역)으로 이동시킨다(도 14 참조).The operation of the second embodiment will now be described. First, the operation of conveyance and heating of the work substrate W according to the second embodiment will be described. As described above, the control device 32 controls the drive unit 31 in accordance with the command of the program. For example, when the control device 32 needs to heat the work substrate W only for 10 minutes, the heating zone (heating) in which the work substrate W is constituted by the plurality of cut extruded materials 1 is heated. After moving to the area), the workpiece substrate W is moved on the heating zone for 10 minutes only, for example, about 100 to 200 mm in the horizontal direction in FIG. 10 (in FIGS. 7 and 8 of the first embodiment). Swing in the right and left directions. That is, for example, the controller 32 repeats the work substrate W to move 100 to 200 mm in the left direction and 100 to 200 mm in the right direction for a predetermined number of times on the heating zone for only 10 minutes. The drive unit 31 is controlled to be. As a result of the fluctuation of the work substrate W, the whole of the work substrate W is uniformly heated. Then, when the required heating time elapses, the control device 32 moves the work substrate W from the heating zone 41 (heating region) to the next cooling zone 42 (cooling region) ( See FIG. 14).

이후, 본 실시예 2에 의한 상기 워크 기판(W)의 반송과 냉각 동작에 대해 설명한다. 상술한 바와 같이, 상기 제어장치(32)는, 상기 프로그램의 명령에 따라서 상기 구동부(31)을 제어한다. 예를 들면, 상기 제어장치(32)는 워크 기판(W)을 10분간만 냉각할 필요가 있는 경우는 워크 기판(W)이 상기 복수개의 절단된 압출재(1)에 의해 구성되는 냉각 존(냉각 영역)상으로 이동한 후, 워크 기판(W)을 상기 냉각 존 상에서, 상기 10분간만, 예를 들면 100~200mm 정도씩 좌우 방향(상기 실시예 1에 관한 도 7및 도 8의 좌우 방향)으로 요동시킨다. 즉, 예를 들면, 상기 제어장치(32)는 워크 기판(W)이 상기 냉각 존 상에서 상기 10분간만큼 좌방향으로 100~200mm의 이동과 우측 방향으로 100~200mm 이동을 소정 회수만 반복하도록 상기 구동부(21)을 제어한다. 이러한 요동의 동작에 의해, 워크 기판(W)의 전체가 균일하게 냉각되게 된다. 그리고, 상기의 필요한 냉각 시간이 경과하면, 상기 제어장치 (32)는 워크 기판(W)를 상기 냉각 존(냉각 영역)으로부터 밖으로 이동시킨다.Next, the conveyance and cooling operation of the work substrate W according to the second embodiment will be described. As described above, the control device 32 controls the drive unit 31 in accordance with the command of the program. For example, when the control device 32 needs to cool the work substrate W only for 10 minutes, the work substrate W is formed of the plurality of cut extruded materials 1 (the cooling zone). After moving to the area), the work substrate W is left and right in the cooling zone for 10 minutes only, for example, about 100 to 200 mm (left and right directions in FIGS. 7 and 8 according to the first embodiment). Rock it. That is, for example, the control device 32 is such that the work substrate W repeats the movement of 100 to 200 mm in the left direction and 100 to 200 mm in the right direction only a predetermined number of times for 10 minutes on the cooling zone. The drive unit 21 is controlled. By this oscillation operation, the entire work substrate W is cooled uniformly. Then, when the required cooling time elapses, the control device 32 moves the work substrate W out of the cooling zone (cooling region).

도 14는 본 실시예 2에 있어서의 상기 가열 존(가열 영역)과 냉각 존(냉각 영역)을 나타내는 모식도이다. 도 14에 있어서, 41은 상기 각 내측통상 파이프(6)에 각각 봉 형상 히터가 삽입된 복수개의 절단된 압출재(1)에 의해 구성되어 있는 가열 존(가열 영역), 42는 상기 각 내측통상 파이프(6a)에 각각 상기 냉각수용의 냉각수 입구(34)가 장착된 복수개의 절단된 압출재(1)에 의해 구성되어 있는 냉각 존(냉각 영역), P는 워크 기판(W)의 반송 방향이다. 또한, 도 14에서는, 워크 기판 (W)이 가열 존(41)(가열 영역)으로부터 냉각 존(42)(냉각 영역)으로 연속적으로 이행 하도록 하고 있지만, 공장의 레이아웃에 따라서는 가열 존(41)(가열 영역)과 냉각 존(42)(냉각 영역) 사이에, 통상의 컨베이어(가열 및 냉각 기능을 가지지 않은 컨베이어)를 개재시키도록 해도 바람직하다. 또한, 워크 기판(W)이 냉각 존 (42)(냉각 영역)로부터 가열 존(41)(가열 영역)으로 연속적으로 이행하도록 구성해도 좋다.FIG. 14: is a schematic diagram which shows the said heating zone (heating area) and cooling zone (cooling area) in Example 2. FIG. In FIG. 14, 41 is a heating zone (heating area) comprised by the several cut | disconnected extruded material 1 in which the rod-shaped heater was inserted in each said inner cylindrical pipe 6, 42 is each said inner cylindrical pipe The cooling zone (cooling area) comprised by the several cut | disconnected extruded material 1 with which the cooling water inlet 34 for the said cooling water was attached to 6a, respectively, P is a conveyance direction of the work board | substrate W. FIG. In addition, although the work board | substrate W is made to continuously transfer from the heating zone 41 (heating area) to the cooling zone 42 (cooling area) in FIG. 14, according to the layout of a factory, the heating zone 41 is carried out. A normal conveyor (conveyor without heating and cooling function) may be interposed between the (heating region) and the cooling zone 42 (cooling region). In addition, the work substrate W may be configured to continuously move from the cooling zone 42 (cooling region) to the heating zone 41 (heating region).

이상과 같이, 본 실시예 2에 있어서는, 상기 봉 형상 히터로부터 열(또는 상 기 냉각수로부터의 냉열)을 상기 상측 접속부(7)을 통해서 상기 상판부(3)로 전달되는 것에 의해, 상기 상판부(3)의 전체로부터 면상에 방사하여, 상기 워크 기판 (W)을 면상에 가열(또는 냉각)하도록 하고 있다. 따라서, 본 실시예 2에 의하면, 상기 봉 형상 히터에 의해 직접 워크 기판(W)를 가열하는 경우(이 경우는 워크 기판(W)안의 상기 봉 형상 히터에 대향하는 선상 부분만큼이 다른 부분보다 강하게 가열되어 버리므로 워크 기판(W)에 가열된 부분과 가열되지 않는 부분이 생겨 버린다)와 비교하여 워크 기판(W)의 전체를 보다 균일하게 가열(또는 냉각)할 수 있게 된다.As described above, in the second embodiment, the upper plate portion 3 is transferred from the rod-shaped heater to the upper plate portion 3 by the heat (or cooling heat from the cooling water) through the upper connection portion 7. ), The work substrate W is heated (or cooled) on the surface. Therefore, according to the second embodiment, when the work substrate W is directly heated by the rod-shaped heater (in this case, the line portion facing the rod-shaped heater in the work substrate W is stronger than the other portions). Since it heats up, the whole part of the work board | substrate W can be heated (or cooled) more uniformly compared with the heated part and the part which is not heated generate | occur | produced in the work board | substrate W. FIG.

또한, 본 실시예 2에 의하면, 종래의 컨베이어에 있어서의 가열만 위해서 사용하는 가열판과 냉각만 위해서 사용하는 냉각판을 각각 별도에 대비하는 것이 불필요하게 되므로, 다음의 (a),(b) 및(c)과 같은 효과를 얻을 수 있다. (a) 종래의 컨베이어에 대해 필요하던 가열판과 냉각판을 별도로 구비하는 것이 불필요하게 되므로, 컨베이어의 장치 전체를 경량화ㆍ저비용화하는 것이 가능하게 된다. (b) 종래의 컨베이어에 대해서 필요하게 되어 있던 이동 및 재치장치(가열 공정으로부터 냉각 공정으로 이행할 때 워크 기판을 가열판으로부터 냉각판에 이재하기 위한 이동 및 재치장치)가 불필요하게 되므로, 장치 전체의 간소화·저비용화가 가능하게 된다.(c) 종래의 컨베이어에 대해 필요하던 가열판과 냉각판을 별도로 구비하는 것이 불필요하게 되므로 장치 전체의 바닥 면적을 큰 폭으로 절감할 수 있다.In addition, according to the second embodiment, since it is unnecessary to separately prepare a heating plate used only for heating in the conventional conveyor and a cooling plate used only for cooling, the following (a), (b) and The same effect as in (c) can be obtained. (a) Since it is unnecessary to separately provide a heating plate and a cooling plate, which are necessary for the conventional conveyor, it becomes possible to reduce the weight and the cost of the entire apparatus of the conveyor. (b) Since the moving and placing device (moving and placing device for transferring the work substrate from the heating plate to the cooling plate when moving from the heating step to the cooling step), which is necessary for the conventional conveyor, becomes unnecessary, (C) Since it is unnecessary to separately provide a heating plate and a cooling plate, which are necessary for a conventional conveyor, the floor area of the entire apparatus can be greatly reduced.

또한, 본 실시예 2에 있어서는, 워크 기판(W)을 상기 가열 존 또는 냉각 존 상에서 가열 또는 냉각할 때, 상기 제어장치(32)가 상기 구동부(31)을 제어하는 것 에 의해 워크 기판(W)이 상기 가열 존(41) 또는 냉각 존(42)상에서, 예를 들면 100~200 mm 정도씩 도 8의 좌우 방향으로 요동(예를 들면, 좌방향으로 100~200 mm의 이동과 우측향으로 100~200mm의 이동을 소정 회수만큼 교호로 반복하는 것) 하도록 하고 있으므로 워크 기판(W)의 전체를 보다 한층 균일하게 가열 및 냉각할 수 있게 된다.In addition, in the second embodiment, when the work substrate W is heated or cooled on the heating zone or the cooling zone, the control device 32 controls the drive unit 31 so that the work substrate W is controlled. ) Fluctuates on the heating zone 41 or the cooling zone 42 in the left and right directions of FIG. 8 by, for example, about 100 to 200 mm (for example, to the left and to the movement of 100 to 200 mm and to the right). Since the movement of 100 to 200 mm is repeated alternately by a predetermined number of times), the whole of the work substrate W can be heated and cooled more uniformly.

이상, 본 발명의 각 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기의 각 실시예로서 후술한 것에 한정되는 것이 아니고, 여러 가지 수정 및 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시예 1에 있어서는 상기 각 절단된 압출재(1)의 공동부(2)내에 하나의 내측통상 파이프(6)을 형성함과 동시에 상기 각 절단된 압출재(1)의 좌우의 각 측판부(5)의 중간 부분(도중 부분)에 외측통상 파이프(9)를 형성하는 것으로써 상기 각 절단된 압출재(1)에 전체적으로 총 3개의 통상 파이프를 형성하도록 하고 있지만, 본 발명에서는 이것에 한정되는 것이 아니고, 상기 각 측판부(5)에 외측 통상 파이프(9)를 형성하지 않게 해도 바람직하다. 또한, 상기 실시예 1에 있어서는 상기 통상 파이프(6, 9) 등에 삽입하는 세장 히터의 하나의 예로서 봉 형상 히터를 사용하고 있지만, 본 발명에 있어서는, 상기 통상 파이프(6, 6a, 9) 등에 삽입할 수 있는 히터이면 어떠한 형상에서도 좋고, 예를 들면, 코일 모양의 니크롬선을 상기 통상 파이프(6, 6a, 9) 등에 삽입할 수 있도록 전체를 세장형 등도 바람직하다.As mentioned above, although each Example of this invention was described, this invention is not limited to what is mentioned later as each said Example, A various correction and a change are possible. For example, in the said Example 1, while forming one inner cylindrical pipe 6 in the cavity part 2 of each cut | disconnected extruded material 1, the left and right angles of each cut | disconnected extruded material 1 are also formed. Although the outer cylindrical pipe 9 is formed in the middle part (middle part) of the side plate part 5, a total of 3 normal pipes are formed in the said each cut extruded material 1 as a whole, but in this invention, It is not limited, and even if it does not form the outer side normal pipe 9 in each said side plate part 5, it is preferable. In addition, although the rod-shaped heater is used as an example of the elongate heater inserted in the said normal pipe 6, 9 etc. in the said Example 1, in this invention, the said normal pipe 6, 6a, 9 etc. are used. Any shape may be used as long as the heater can be inserted. For example, an elongated shape or the like is preferable so that the coil-like nichrome wire can be inserted into the ordinary pipes 6, 6a, 9 and the like.

도 1의 (a)은 본 실시예 1을 구성하는 절단이 끝난 압출재의 절단면을 나타내는 정면도, 도 1의 (b)는 그 사시도.Fig.1 (a) is a front view which shows the cut surface of the cut | disconnected extruded material which comprises this Example 1, and FIG.1 (b) is the perspective view.

도 2는 본 실시예 1에 있어서의 지지 프레임과 절단된 압출재를 설명하기 위한 사시도.Fig. 2 is a perspective view for explaining the support frame and the cut extruded material in the first embodiment.

도 3은 본 실시예 1에 있어서의 절단된 압출재와 회전축 및 롤러와의 위치 관계를 설명하기 위한 정면도(절단된 압출재의 절단면의 방향에서 보았을 때의 도면).Fig. 3 is a front view for explaining the positional relationship between the cut extruded material, the rotating shaft, and the roller in the first embodiment (a view from the direction of the cut surface of the cut extruded material).

도 4는 본 실시예 1에 있어서의 절단된 압출재와 회전축 및 롤러와의 위치 관계를 설명하기 위한 평면도.4 is a plan view for explaining the positional relationship between the cut extruded material, the rotating shaft, and the roller in the first embodiment.

도 5는 본 실시예 1에 있어서의 절단된 압출재와 절단면용 커버를 설명하기 위한 사시도.5 is a perspective view illustrating the cut extruded material and the cut surface cover in the first embodiment;

도 6의 (a)은 본 실시예 1에 의한 컨베이어의 일부를 나타내는 부분 평면도, 도 6의 (b)는 그 A-A선 단면도.Fig. 6A is a partial plan view showing a part of a conveyor according to the first embodiment, and Fig. 6B is a cross-sectional view along the line A-A.

도 7은 워크 기판(W)이 이송되고 있을 때 상태를 나타내는 본 실시예 1의 정면도.7 is a front view of the first embodiment showing a state when the work substrate W is being transferred.

도 8의 (a)은 본 실시예 1에 의한 워크 기판(W)의 가열과 이송의 동작을 모식적으로 나타내는 도면이고, 도 8의 (b)는 비교예에 의한 워크 기판(W)의 가열과 이송의 동작을 모식적으로 나타내는 도면.FIG. 8A is a diagram schematically illustrating the operation of heating and transferring the work substrate W according to the first embodiment, and FIG. 8B is the heating of the work substrate W according to the comparative example. The figure which shows typically the operation | movement of a feed.

도 9의 (a)는 본 실시예 2를 구성하는 절단된 압출재의 절단면을 나타내는 정면도, 도 9의 (b)는 그 사시도이다.(A) is a front view which shows the cut surface of the cut | disconnected extruded material which comprises this Example 2, and FIG. 9 (b) is the perspective view.

도 10은 본 실시예 2에 있어서의 절단된 압출재와 회전축 및 롤러와의 위치 관계를 설명하기 위한 정면도(절단된 압출재의 절단면의 방향에서 보았을 때의 도면이다)Fig. 10 is a front view for explaining the positional relationship between the cut extruded material, the rotating shaft, and the roller in the second embodiment (as seen from the direction of the cut surface of the cut extruded material).

도 11은 본 실시예 2에 있어서의 절단된 압출재와 절단면용 커버를 설명하기 위한 사시도이다.11 is a perspective view illustrating the cut extruded material and the cut surface cover in the second embodiment.

도 12는 본 실시예 2의 전기적 구성의 일부를 나타내는 블럭도이다.12 is a block diagram showing a part of the electrical configuration of the second embodiment.

도 13은 본 실시예 2에 대해 각 절단된 압출재절단된 압출재에 냉각수를 공급하기 위한 기구(냉각수 등 공급부)를 설명하기 위한 모식도이다.FIG. 13: is a schematic diagram for demonstrating the mechanism (cooling water etc. supply part) for supplying cooling water to each cut | disconnected extruded material extruded material with respect to this Example 2. FIG.

도 14는 본 실시예 2에 있어서의 가열 존(가열 영역)과 냉각 존(냉각 영역)을 나타내는 모식도이다.FIG. 14: is a schematic diagram which shows the heating zone (heating zone) and cooling zone (cooling zone) in Example 2. FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1: 절단된 압출재 2: 공동부1: Extruded material cut 2: Cavity

3: 상판부 4: 하판부3: upper plate portion 4: lower plate portion

5: 측판부 6, 6a : 내측통상 파이프5: side plate part 6, 6a: inner side normal pipe

9 : 외측통상 파이프 7 : 상측 접속부9: Outside Normal Pipe 7: Upper Connection

8 : 하측 접속부 10: 하측 돌출편8: lower connecting part 10: lower projecting piece

11: 상측 돌출편 20: 지지 프레임11: upper protrusion 20: support frame

21: 회전축 22: 롤러21: rotating shaft 22: roller

23: 상측 커버 24: 하측 커버23: upper cover 24: lower cover

25: 절단면용 커버 25a, 25b: 구멍25: Cover for cutting surface 25a, 25b: Hole

26 상측 가열판 27: 봉 형상 히터26 Upper heating plate 27: Rod-shaped heater

31: 구동부 32 : 제어장치31: drive unit 32: control device

33 : 냉각수 공급관 34 : 냉각수 입구33: cooling water supply pipe 34: cooling water inlet

35: 냉각수 출구 36: 배수관35: cooling water outlet 36: drain pipe

33a, 36a: 지관 P: 반송 방향33a, 36a: Branch pipe P: conveying direction

W: 워크 기판 W: Work board

Claims

As a conveyor for moving a glass or resin work substrate in a predetermined conveying direction:

A support frame extending in parallel with the conveying direction;

The aluminum extruded material is formed by cutting to a desired length, and after the formation, a plurality of extruded extruded materials each having a cut surface of each outer frame having a rectangular shape and each inside being a cavity, each length A plurality of cut extruded materials disposed on the support frame in a direction orthogonal to the conveying direction and at a predetermined interval from each other;

It is disposed between each of the cut extruded materials, respectively, and is a rotary body for moving the work substrate in contact with a lower surface of the work substrate located above the cut extruded material, extending in a direction perpendicular to the conveying direction A rotating body provided to protrude in a plurality of positions of the rotating shaft and the rotating shaft, and having a roller in contact with a lower surface of the work substrate;

A one or a plurality of inner cylindrical pipes disposed in each cavity of each cut extruded material and integrally formed with each cut extruded material so as to extend in a direction parallel to the longitudinal direction of each cut extruded material, Among them, one or a plurality of inner normal pipes, each of which is narrow and has a long elongated heater inserted therein;

A strip-shaped connecting portion disposed between the outer frame of each cut extruded material and the inner cylindrical pipe therein and integrally formed with the outer frame and the inner cylindrical pipe, wherein the heat from the elongated heater is A strip-shaped connecting portion for conveying to the outer frame;

An elongated narrow elongated heater inserted into said one or more inner cylindrical pipes;

An upper cover for preventing an upper portion of each of the gaps disposed on the side of the gap between the cut extruded material and the work substrate; And

An upper cover support protrusion formed integrally with each of the upper and lower left and right sides of the outer frame of each cut extruded material so that one end of the upper cover is placed, the lengthwise direction of each cut extruded material; A conveyor having a heating function, comprising: an upper cover supporting protrusion which protrudes in an orthogonal direction and extends in a direction parallel to the longitudinal direction of each cut extruded material.

A support frame extending in parallel with the conveying direction;

A rotating body which is disposed between the respective extruded extruded materials and moves in contact with a lower surface of the work substrate positioned above the extruded extruded material and moves in the direction perpendicular to the conveyance direction. A rotating body provided so as to protrude at a plurality of positions of the rotating shaft and the rotating shaft, the roller being in contact with the lower surface of the work substrate;

A one or a plurality of inner normal pipes disposed in each cavity of each cut extruded material and integrally formed with each cut extruded material so as to extend in a direction parallel to the longitudinal direction of each cut extruded material, Among them, one or a plurality of inner normal pipes, each of which is narrow and has a long elongated heater inserted therein;

A strip-shaped connecting portion disposed between the outer frame of each cut extruded material and the inner normal pipe therein and integrally formed with the outer frame and the inner cylindrical pipe, wherein the heat from the elongated heater is A strip-shaped connecting portion for conveying to the outer frame;

A narrow long elongated heater being inserted into the one or the plurality of inner normal pipes;

A lower cover of a cross-sectional arc shape for preventing downward of each gap disposed on the side opposite to the work substrate of each gap between the cut extruded materials; And

A lower cover support protrusion formed integrally with each of the left and right lower end portions as viewed from the cut surface of the outer frame of each cut extruded material so that one end of the lower cover is placed, and is orthogonal to the longitudinal direction of each cut extruded material. And a lower cover support protrusion which is formed to protrude in a direction to extend and extend in a direction parallel to the longitudinal direction of each cut extruded material.

The method according to claim 1 or 2,

Each of the extruded materials that are disposed so as to extend in a direction parallel to the longitudinal direction of each of the cut extruded materials, respectively, arranged in an up-down direction of the left and right side plate portions from the cut surface of the outer frame of each of the extruded extruded materials; A conveyor having a heating function, which is formed integrally with an outer cylindrical pipe in which an elongated elongated heater can be inserted.

The method according to claim 1 or 2,

The cutting surface of each cut extruded material is equipped with a cutting surface cover for blocking the opening of the cutting surface, characterized in that the conveyor with a heating function.

The method according to claim 1 or 2,

A plurality of cut extruding members constituting a heating region for performing heating of the work substrate, wherein a plurality of cuts in which three heaters are inserted in at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes included in each cut extruding member, respectively; A plurality of cut extruding members constituting the extruded material and a cooling region for performing cooling of the work substrate, the coolant or refrigerant is distributed in at least one of the one or a plurality of inner cylindrical pipes each included in each cut extruding material. A conveyor having a heating function, comprising a plurality of extruded extruded materials provided with a supply unit such as cooling water.

The method according to claim 1 or 2,

A plurality of cut extruding members constituting a heating region for heating the work substrate, wherein a plurality of elongated heaters are inserted in at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes included in each cut extruding member, respectively. Cut extruded material,

A plurality of cut extruding members constituting a cooling region for cooling the work substrate, Cooling water for circulating coolant or refrigerant in at least one of the one or a plurality of inner cylindrical pipes each included in each cut extruding material, etc. A plurality of cut extruded materials provided with a supply part,

When the work substrate is moved on a plurality of cut extruded materials constituting the heating region, the work substrate is moved in the conveying direction by a predetermined distance for a predetermined number of times or a predetermined time on the heating region; And a heating control means for controlling the rotating body to alternately repeat an operation of moving in a direction opposite to the conveying direction by a predetermined distance.

The method according to claim 1 or 2,

A plurality of cut extruding members constituting a heating area for performing heating of the work substrate, wherein a plurality of elongated heaters are inserted into at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes included in each cut extruding material, respectively. Cut extruded material,

A plurality of cut extruding members constituting a cooling region for performing cooling of the work substrate, the coolant for circulating the cooling water or the refrigerant in at least one of one or a plurality of inner cylindrical pipes each included in each cut extruding material A plurality of cut extruded materials provided with a back supply portion,

When the work substrate is moved on the plurality of cut extruded materials constituting the cooling region, the work substrate is moved in the conveying direction by a predetermined distance for a predetermined number of times or a predetermined time on the cooling region. And cooling control means for controlling the rotating body to alternately repeat the operation of moving only a predetermined distance in a direction opposite to the conveying direction.

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