KR101085576B1 - Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof - Google Patents

Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101085576B1
KR101085576B1 KR1020090042826A KR20090042826A KR101085576B1 KR 101085576 B1 KR101085576 B1 KR 101085576B1 KR 1020090042826 A KR1020090042826 A KR 1020090042826A KR 20090042826 A KR20090042826 A KR 20090042826A KR 101085576 B1 KR101085576 B1 KR 101085576B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
photosensitive material
printed circuit
layer
forming
circuit board
Prior art date
Application number
KR1020090042826A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100123545A (en
Inventor
오춘환
정창보
신승호
박현경
Original Assignee
주식회사 심텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 심텍 filed Critical 주식회사 심텍
Priority to KR1020090042826A priority Critical patent/KR101085576B1/en
Publication of KR20100123545A publication Critical patent/KR20100123545A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101085576B1 publication Critical patent/KR101085576B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/022Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates
    • H05K3/025Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates by transfer of thin metal foil formed on a temporary carrier, e.g. peel-apart copper
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/0023Etching of the substrate by chemical or physical means by exposure and development of a photosensitive insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/061Etching masks
    • H05K3/064Photoresists
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/05Patterning and lithography; Masks; Details of resist
    • H05K2203/0548Masks
    • H05K2203/056Using an artwork, i.e. a photomask for exposing photosensitive layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

본 발명은 금속을 이용한 인쇄회로기판을 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판에 관한 것으로, 종래의 프리프레그 코어는 가격이 높고, 기계적인 성질이 취약하여 박형화에 저해가 되는 문제를 해결하기 위하여, 절연층의 상부면 및 하부면 중 적어도 일면에 동박층이 형성된 동박적층필름(Copper Clad Laminated; CCL)을 마련하는 단계와, 상기 동박층 상부에 캐리어금속판넬을 형성하는 단계와, 상기 캐리어금속판넬 상부에 감광성 물질층(Photosensitive Material)을 형성하는 단계와, 상기 감광성 물질층을 노광 및 현상하여 비아홀 예정영역을 노출시키는 감광성 물질 패턴을 형성하는 단계와, 상기 감광성 물질 패턴의 노출 영역에 도금층을 매립하여 비아콘택을 형성하는 단계와, 상기 동박층 및 상기 캐리어금속판넬을 분리시켜, 상기 감광성 물질로 이루어지며 상기 비아콘택을 포함하는 기판을 형성하는 단계와, 상기 기판의 양면에 드라이 필름을 형성하는 단계와, 상기 드라이 필름에 노광공정, 에칭공정 및 스트립 공정을 수행하여, 인쇄회로 패턴을 정의하는 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계와, 상기 드라이 필름 패턴을 마스크로 상기 캐리어금속판넬을 식각하여 회로패턴을 형성하는 단계 및 상기 회로패턴 상부에 표면처리층을 형성하는 단계를 수행하는 인쇄회로기판 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a printed circuit board using a metal and a printed circuit board manufactured using the same, and solves a problem that a conventional prepreg core has a high price and is weak in mechanical properties, thereby inhibiting thinning. To this end, providing a copper clad laminated film (CCL) with a copper foil layer formed on at least one of the upper and lower surfaces of the insulating layer, forming a carrier metal panel on the copper foil layer, Forming a photosensitive material layer on the carrier metal panel, exposing and developing the photosensitive material layer to form a photosensitive material pattern exposing a predetermined area of the via hole, and exposing the photosensitive material layer to an exposed area of the photosensitive material pattern Embedding a plating layer to form a via contact, and separating the copper foil layer and the carrier metal panel, thereby forming the photosensitive water. Forming a substrate including the via contact, forming a dry film on both sides of the substrate, and performing an exposure process, an etching process, and a strip process on the dry film to define a printed circuit pattern. Forming a dry film pattern; forming a circuit pattern by etching the carrier metal panel using the dry film pattern as a mask; and forming a surface treatment layer on the circuit pattern. It is about a method.

Description

금속을 이용한 인쇄회로기판을 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판{METHOD FOR FABRICATING PRINTED-CIRCUIT-BOARD USING METAL AND PRINTED-CIRCUIT-BOARD FABRICATED USING THEREOF}METHOD FOR FABRICATING PRINTED-CIRCUIT-BOARD USING METAL AND PRINTED-CIRCUIT-BOARD FABRICATED USING THEREOF}

본 발명은 금속을 이용한 인쇄회로기판을 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판에 관한 것으로, 금속 베이스의 기판을 종래의 프리프레그 대신 사용함으로써, 고밀도 회로 패턴을 갖는 박형의 인쇄회로기판을 용이하게 제조할 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a printed circuit board using a metal, and a printed circuit board manufactured using the same, by using a metal-based substrate instead of a conventional prepreg, a thin printed circuit board having a high density circuit pattern It relates to a technology that can be easily manufactured.

전자산업의 발달에 따라 전자 부품이 고기능화, 소형화 되고 있다. 특히 휴대단말기의 두께를 줄이기 위하여 탑재되는 부품의 두께를 감소해야 하는 요구가 증가하고 있는 상황이다.With the development of the electronics industry, electronic components have become highly functional and miniaturized. In particular, there is an increasing demand for reducing the thickness of components mounted in order to reduce the thickness of portable terminals.

이러한 상황에서 다층 인쇄회로기판의 미세패턴 형성 및 설계밀도를 증가시키고, 신뢰성을 향상시키기 위해서는 원자재의 변경과 함께 회로의 층구성을 복합화하는 구조가 요구되고 있다. 이에 맞추어 부품들 역시 DIP(Dual In-Line Package) 타입에서 SMT(Surface Mount Technology) 타입으로 변경되고 있으며, 그 실장밀도 역시 증가되고 있는 추세이다.In such a situation, in order to increase the fine pattern formation and the design density of the multilayer printed circuit board and to improve the reliability, a structure for complexing the layer structure of the circuit with the change of the raw material is required. Accordingly, parts are also changed from DIP (Dual In-Line Package) type to Surface Mount Technology (SMT) type, and mounting density is also increasing.

또한, 전자기기의 휴대화와 더불어 고기능화, 인터넷, 동영상, 고용량의 데이터 송수신 등으로 인쇄회로기판의 설계가 복잡해지고 고난이도의 기술을 요하게 되었다.In addition, the portable circuit board has become more complicated, and the design of the printed circuit board has become complicated due to high functionality, internet, video, and high capacity data transmission.

한편, 인쇄회로기판에는 절연기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 단면 PCB, 양쪽 면에 배선을 형성한 양면 PCB 및 다층으로 배선한 MLB(다층 인쇄회로기판; Multi Layered Board)가 있다. 과거에는 부품 소자들이 단순하고 회로 패턴도 간단하여 단면 PCB를 사용하였으나, 최근에는 회로의 복잡도가 증가하고, 고밀도 및 소형화 회로에 대한 요구가 증가하여 대부분 양면 PCB 또는 MLB를 사용하는 것이 일반적인 추세로 되고 있다.On the other hand, a printed circuit board includes a single-sided PCB in which wiring is formed only on one side of an insulated substrate, a double-sided PCB in which wiring is formed on both sides, and an MLB (Multi Layered Board) which is wired in multiple layers. In the past, single-sided PCBs were used because of simple components and simple circuit patterns. However, in recent years, due to increased complexity of circuits and increased demand for high-density and miniaturized circuits, it is common to use double-sided PCBs or MLBs. have.

상기 인쇄회로 기판에는 고밀도화를 위한 회로패턴, 회로패턴 층간 전기적 도통을 위한 비아콘택 및 미세회로 배선이 적용된다. The printed circuit board is applied with a circuit pattern for higher density, a via contact and a fine circuit wiring for electrical conduction between circuit pattern layers.

도 1은 종래 기술에 따른 인쇄회로기판 구조를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a printed circuit board structure according to the prior art.

도 1을 참조하면, 기판(10)의 일면에 회로패턴(30)이 형성되고, 그 이면에는 전자부품 실장을 위한 솔더볼 패드(40)가 형성된다. 다음으로, 기판(10)을 관통하는 비아홀이 형성되고, 홀의 내벽에 금속층이 형성되어지면서 층간 도통을 위한 비아콘택(20)이 형성된다. 그 다음으로는, 회로패턴(30) 및 솔더볼 패드(40) 보호를 위한 표면 처리층(50) 및 솔더 레지스트(60)가 형성된다.Referring to FIG. 1, a circuit pattern 30 is formed on one surface of a substrate 10, and a solder ball pad 40 for mounting an electronic component is formed on a rear surface of the substrate 10. Next, a via hole penetrating the substrate 10 is formed, and a metal layer is formed on the inner wall of the hole to form a via contact 20 for interlayer conduction. Next, the surface treatment layer 50 and the solder resist 60 for protecting the circuit pattern 30 and the solder ball pad 40 are formed.

이와 같은 인쇄회로기판은 원판인 동박적층판(CCL)에 포함된 프리프레 그(Prepreg; PPG) 코어를 기준으로 하여 형성된다. 프리프레그는 수지에 유리섬유(glass fiber)를 함침시킨 것이 일반적으로 사용된다. 그러나, 이렇게 형성된 프리프레그 코어는 가격이 고가이며, 기계적인 성질이 매우 취약한 문제가 있다. 따라서, 인쇄회로기판 제조 공정 중 드릴링 공정, 동도금 공정, 드라이필름 제조 공정 및 솔더 마스크 형성 공정 시 기판에 손상이 가해지는 문제가 발생할 수 있다. Such a printed circuit board is formed based on a prepreg (PPG) core included in a copper clad laminate (CCL), which is a disc. As the prepreg, a resin impregnated with glass fiber is generally used. However, the thus formed prepreg core is expensive and there is a problem that the mechanical properties are very weak. Therefore, a problem may occur that damages the substrate during a drilling process, a copper plating process, a dry film manufacturing process, and a solder mask forming process in the printed circuit board manufacturing process.

또한, 에폭시 계열의 코어를 사용하는 경우 흡습이 잘되는 문제가 있어 다층 인쇄회로기판에 적용하기 어려운 문제가 있다.In addition, when using an epoxy-based core has a problem that the moisture absorption is good, it is difficult to apply to a multilayer printed circuit board.

상술한 바와 같이, 전자제품의 고기능화 및 소형화 추세에 따라서, 인쇄회로 기판도 점점 고기능화, 고밀도화, 슬림(Slim)화 되어 가는 추세에 있다. 그러나, 현재 일반적으로 사용되고 있는 프리프레그 또는 에폭시 기판 재질로는 상기 흐름을 따라가기에 한계가 있다.As described above, in accordance with the trend of high functionality and miniaturization of electronic products, printed circuit boards are also increasingly becoming highly functional, high density, and slim. However, prepreg or epoxy substrate materials that are currently commonly used are limited in following the flow.

본 발명은 동박적층필름을 이용하여 인쇄회로기판을 형성하되, 종래에는 동박적층필름의 프리프레그층을 코어로 사용하는 방식을 사용하였다면, 본 발명에서는 동박층 상부에 캐리어금속판넬을 형성하고, 이를 코어로 사용하는 인쇄회로기판 제조 방식을 제공함으로써, 기계적 특성이 우수하고, 흡습이 잘 되지 않도록 하는 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention is to form a printed circuit board using a copper foil laminated film, if the conventional method using a prepreg layer of a copper foil laminated film as a core, in the present invention to form a carrier metal panel on the copper foil layer, It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a printed circuit board using a metal which has excellent mechanical properties and prevents moisture absorption by providing a printed circuit board manufacturing method used as a core, and a printed circuit board manufactured using the same. .

본 발명의 일실시예에 따른 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법은 절연층의 상부면 및 하부면 중 적어도 일면에 동박층이 형성된 동박적층필름(Copper Clad Laminated; CCL)을 마련하는 단계와, 상기 동박층 상부에 캐리어금속판넬을 형성하는 단계와, 상기 캐리어금속판넬 상부에 감광성 물질층(Photosensitive Material)을 형성하는 단계와, 상기 감광성 물질층을 노광 및 현상하여 비아홀 예정영역을 노출시키는 감광성 물질 패턴을 형성하는 단계와, 상기 감광성 물질 패턴의 노출 영역에 도금층을 매립하여 비아콘택을 형성하는 단계와, 상기 동박층 및 상기 캐리어금속판넬을 분리시켜, 상기 감광성 물질로 이루어지며 상기 비아콘택을 포함하는 코어기판을 형성하는 단계와, 상기 코어기판의 양면에 드라이 필름을 형성하는 단계와, 상기 드라이 필름에 노광공정, 에칭공정 및 스트립 공정을 수행하여, 인쇄회 로 패턴을 정의하는 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계와, 상기 드라이 필름 패턴을 마스크로 상기 캐리어금속판넬을 식각하여 회로패턴을 형성하는 단계 및 상기 회로패턴 상부에 표면처리층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Printed circuit board manufacturing method using a metal according to an embodiment of the present invention comprises the steps of providing a copper clad laminated film (Copper Clad Laminated; CCL) is formed on at least one of the upper surface and the lower surface of the insulating layer, and Forming a carrier metal panel on the copper foil layer, forming a photosensitive material layer on the carrier metal panel, and exposing and developing the photosensitive material layer to expose a predetermined region of the via hole. Forming a via contact by embedding a plating layer in an exposed region of the photosensitive material pattern, separating the copper foil layer and the carrier metal panel, and comprising the photosensitive material and including the via contact. Forming a core substrate, forming a dry film on both sides of the core substrate, and exposing the dry film Forming a dry film pattern defining a printed circuit pattern by etching, etching, and stripping processes; forming a circuit pattern by etching the carrier metal panel using the dry film pattern as a mask; and the circuit It characterized in that it comprises the step of forming a surface treatment layer on the pattern.

본 발명은 프리프레그 기판 또는 에폭시 기판을 대신하여 캐리어금속판넬을 이용함으로써, 인쇄회로기판의 기계적 특성을 향상시킬 수 있고, 흡습을 방지하여 기판의 변형을 막고, 초박형화를 용이하게 구현함으로써, 인쇄회로기판의 생산성 향상 및 제조 원가를 절감시키는 효과를 제공한다.By using a carrier metal panel instead of a prepreg substrate or an epoxy substrate, the present invention can improve mechanical properties of a printed circuit board, prevent moisture absorption, prevent deformation of the substrate, and easily implement ultra-thin printing. It provides the effect of improving the productivity of the circuit board and reducing the manufacturing cost.

본 발명은 종래의 동박적층필름(CCL)을 그대로 이용하되, 동박층 상부에 캐리어금속판넬 및 감광성 물질층을 더 형성한 후 인쇄회로기판 제조 공정을 진행함으로써, 박형 인쇄회로 기판을 더 용이하게 제조할 수 있다.The present invention uses a conventional copper clad laminated film (CCL) as it is, by further forming a carrier metal panel and a photosensitive material layer on the copper foil layer and proceeding to the process of manufacturing a printed circuit board, manufacturing a thin printed circuit board more easily can do.

이하에서는, 본 발명의 상술한 목적에 근거하여 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판에 관하여 상세히 설명하는 것으로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a printed circuit board using a metal and a printed circuit board manufactured using the same will be described in detail based on the above object of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예들 및 도면을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에 서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent with reference to the embodiments and drawings described in detail below. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be embodied in various different forms, and the present embodiments only make the disclosure of the present invention complete, and it is common in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the scope of the invention to those skilled in the art, the invention being defined only by the scope of the claims.

도 2는 본 발명에 따른 인쇄회로기판 구조를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a printed circuit board structure according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 코어층은 감광성 물질 패턴(100)으로 구성 된다. 감광성 물질 패턴(100) 사이의 영역에는 동도금 공정에 의한 비아콘택(120)이 형성되고, 감광성 물질 패턴(100)의 일면에는 캐리어금속판넬 패턴으로 형성되는 회로패턴(150)이 형성된다. 다음으로, 회로패턴(150)이 형성되지 않는 면의 비아콘택(120)에는 솔더볼 패드(130)가 형성될 수 있으며, 솔더볼 패드(130) 및 회로패턴(150) 상부에는 표면처리층(140)이 더 형성된다.2, the core layer of the printed circuit board according to the present invention is composed of a photosensitive material pattern (100). In the region between the photosensitive material patterns 100, a via contact 120 is formed by a copper plating process, and a circuit pattern 150 formed as a carrier metal panel pattern is formed on one surface of the photosensitive material pattern 100. Next, a solder ball pad 130 may be formed on the via contact 120 of the surface where the circuit pattern 150 is not formed, and the surface treatment layer 140 may be formed on the solder ball pad 130 and the circuit pattern 150. This is further formed.

본 발명에 따른 인쇄회로기판은 상기 도 1과 비교할 때, 더 단순한 구조로 형성되고, 박형화에 유리한 구조임을 알 수 있다. 특히, 비아콘택 형성을 위한 드릴 공정이 생략될 수 있어 박형 기판 제조에 최적화된 인쇄회로기판 제조 공정임을 알 수 있다.Compared with FIG. 1, the printed circuit board according to the present invention may be formed in a simpler structure and may be advantageous in thinning. In particular, it can be seen that the drill process for forming the via contact can be omitted, and thus the printed circuit board manufacturing process is optimized for manufacturing a thin substrate.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 도시한 단면도들이다.3A to 3H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 절연층(200)의 상부면 및 하부면 중 일면에 동박층(210) 이 형성된 동박적층필름(230)을 마련한다. 이때, 동박층(210)은 2 ~ 4㎛의 두께로 형성하는 것이 바람직하다. 그리고, 절연층(200)은 종래의 프리프레그 기판을 사용하여도 되지만, 프리프레그는 가격 경쟁력이 떨어지고 강도가 약하므로 본 발명에서는 프리프레그 또는 에폭시 보다 강도가 높고 흡습성이 낮은 특성을 갖는 절연층을 사용하는 것이 바람직하다. 아울러, 종래에는 인쇄회로기판의 박형화를 위해서 동박적층필름의 두께를 최소화하는 노력이 필요하였으나, 본 발명에서는 이러한 노력이 없이도 용이하게 인쇄회로기판 제조가 가능하다. 이는, 본 발명에서 동박적층필름(230)의 절연층(200)을 인쇄회로기판의 코어층으로 사용하지 않기 때문에 가능한 일이다. 본 발명에서는 인쇄회로기판 제조를 위한 코어층으로서, 동박층(210) 상부에 형성하는 캐리어금속판넬(220)을 사용한다. 여기서, 캐리어금속판넬(220)은 본래 동박층(210) 보호를 위해 형성하는 금속 포일(Metal Foil)층을 지칭하는 것으로 16 ~ 20㎛의 두께로 형성하는 것이 바람직하다. 이때, 캐리어금속판넬(220)은 인쇄회로기판 제조 공정을 위한 초기 단계에서는 코어층으로서 작용하지만, 후속 공정에서는 회로패턴으로 형성되므로, 그 두께는 회로패턴의 두께에 따라서 조절될 수 있다. 아울러, 회로패턴 구성을 위해서는 구리 포일(Cu Foil)을 사용하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 3A, a copper foil laminated film 230 having a copper foil layer 210 formed on one surface of an upper surface and a lower surface of the insulating layer 200 is provided. At this time, the copper foil layer 210 is preferably formed to a thickness of 2 ~ 4㎛. In addition, although the insulating layer 200 may use a conventional prepreg substrate, since the prepreg is inferior in price competitiveness and weak in strength, in the present invention, the insulating layer having higher strength and lower hygroscopicity than the prepreg or epoxy is used. It is preferable to use. In addition, in the prior art, an effort to minimize the thickness of the copper-clad laminated film was required to reduce the thickness of the printed circuit board, but in the present invention, the printed circuit board may be easily manufactured without such an effort. This is possible because the insulating layer 200 of the copper-clad laminated film 230 is not used as the core layer of the printed circuit board in the present invention. In the present invention, a carrier metal panel 220 formed on the copper foil layer 210 is used as a core layer for manufacturing a printed circuit board. Here, the carrier metal panel 220 refers to a metal foil layer which is originally formed to protect the copper foil layer 210, and is preferably formed to have a thickness of 16 to 20 μm. At this time, the carrier metal panel 220 acts as a core layer in the initial stage for the printed circuit board manufacturing process, but is formed as a circuit pattern in the subsequent process, the thickness can be adjusted according to the thickness of the circuit pattern. In addition, it is preferable to use a copper foil (Cu Foil) for the circuit pattern configuration.

도 3b를 참조하면, 캐리어금속판넬(220) 상부에 감광성 물질층(240)을 형성한다. 이때, 감광성 물질층(240)은 후속 공정에서 실질적인 기판의 코어로 작용하게 되므로, 감광성 물질층(240)의 두께를 조절하면 인쇄회로기판의 두께를 자유롭게 조절할 수 있다. 또한, 감광성 물질층은 DFSR(Dry Film Solder resisit) 또는 액상형의 감광성 물질을 포함하는 종류의 물질을 이용하여 형성하는 것이 바람직하다. 여기서, DFSR 물질 사용시 라미네이션공정으로 감광성 물질층(240) 형성 공정이 진행되게되고, 액상형 감광성 물질 사용시에는 코팅 및 건조 공정으로 감광성 물질층(240) 형성 공정이 진행되게 된다.Referring to FIG. 3B, a photosensitive material layer 240 is formed on the carrier metal panel 220. In this case, since the photosensitive material layer 240 serves as a substantial core of the substrate in a subsequent process, the thickness of the photosensitive material layer 240 may be adjusted to freely adjust the thickness of the printed circuit board. In addition, the photosensitive material layer is preferably formed using a kind of material including a dry film solder resist (DFSR) or a liquid photosensitive material. Here, when the DFSR material is used, the photosensitive material layer 240 is formed by a lamination process, and when the liquid photosensitive material is used, the photosensitive material layer 240 is formed by a coating and drying process.

도 3c를 참조하면, 감광성 물질층(240)을 노광 및 현상하여 비아홀 예정영역을 노출시키는 감광성 물질 패턴(245)을 형성한다. 여기서, 비아홀 예정영역을 노출시키는 노광 및 현상 공정은 종래의 드릴 공정을 대신하는 것으로, 안정성이나 비용면에서 더 유리한 특성을 갖는다.Referring to FIG. 3C, the photosensitive material layer 240 is exposed and developed to form a photosensitive material pattern 245 exposing the via hole predetermined region. In this case, the exposure and development processes exposing the predetermined area of the via hole are substituted for the conventional drill process, and have more advantageous characteristics in terms of stability and cost.

도 3d를 참조하면, 동도금 공정을 수행하여 노출된 비아홀 예정영역을 매립시킨다. 본 발명에서는 이와 같은 공정으로 비아콘택(260)을 용이하게 형성할 수 있다.Referring to FIG. 3D, a copper plating process is performed to fill the exposed via hole planning area. In the present invention, the via contact 260 may be easily formed by such a process.

도 3e를 참조하면, 동박층(210)과 캐리어금속판넬(220)을 분리시켜, 인쇄회로기판 제조를 위한 코어 기판(270)을 형성한다. 여기서, 인쇄회로기판을 지지하는 코어층은 캐리어금속판넬(220)이 담당하게 된다. 이때, 캐리어금속판넬(220)은 이형층으로서 작용하므로, 동박층(210)과의 분리가 용이하게 진행될 수 있다.Referring to FIG. 3E, the copper foil layer 210 and the carrier metal panel 220 are separated to form a core substrate 270 for manufacturing a printed circuit board. Here, the carrier metal panel 220 is responsible for the core layer supporting the printed circuit board. In this case, since the carrier metal panel 220 acts as a release layer, separation with the copper foil layer 210 may be easily performed.

도 3f를 참조하면, 코어 기판(270)의 양면에 드라이 필름(280, 285)을 형성한다. 이때, 일면에만 인쇄 회로 패턴을 갖는 단면 인쇄회로기판 제조를 위해서는 회로패턴이 형성되는 면과, 회로패턴이 형성되지 않는 면의 드라이 필름이 각각 제어되어야 한다. 여기서는, 캐리어금속판넬(220)이 패터닝되어 회로패턴이 형성되므로, 이와 인접하는 하부 드라이 필름(285)에 노광 및 현상 공정을 수행하여 인쇄회 로 패턴을 정의하는 드라이 필름 패턴을 형성한다.Referring to FIG. 3F, dry films 280 and 285 are formed on both surfaces of the core substrate 270. At this time, in order to manufacture a single-sided printed circuit board having a printed circuit pattern on only one surface, the dry film on the surface on which the circuit pattern is formed and the surface on which the circuit pattern is not formed should be controlled. In this case, since the carrier metal panel 220 is patterned to form a circuit pattern, a dry film pattern defining a printed circuit pattern is formed by performing exposure and development processes on the lower dry film 285 adjacent thereto.

도 3g를 참조하면, 하부 드라이 필름(285)을 마스크로 캐리어금속판넬(220)을 식각하고, 회로 패턴(290)을 형성한다. 그 다음에는, 감광성 물질 패턴(245)의 상부 및 하부에 잔류하는 드라이 필름(280, 285)을 모두 제거하는 스트립 공정을 수행한다.Referring to FIG. 3G, the carrier metal panel 220 is etched using the lower dry film 285 as a mask to form a circuit pattern 290. Next, a strip process is performed to remove all the dry films 280 and 285 remaining on the upper and lower portions of the photosensitive material pattern 245.

여기서, 상기 도 3f의 현상공정(Develop)와 캐리어금속판넬(220)을 식각하는 공정(Etching) 및 드라이 필름을 제거하는 스트립 공정(Strip)을 일괄적으로 DES 공정이라하며, 도 3f 와 도 3g 사이에 도시되어야 하나, 이는 인쇄회로 기판 제조 방법에서 일반적으로 사용되고 있는 공정이므로 도시하는 것을 생략하였다.Here, the developing process (Develop) and the etching of the carrier metal panel 220 and the strip process (Strip) to remove the dry film of Figure 3f collectively referred to as a DES process, Figures 3f and 3g It should be shown between, but it is omitted because it is a process generally used in the method of manufacturing a printed circuit board.

도 3h를 참조하면, 노출되는 비아콘택(260) 및 회로패턴(290)의 표면을 보호하는 표면처리층(295)을 형성한다.Referring to FIG. 3H, a surface treatment layer 295 may be formed to protect the exposed via contact 260 and the circuit pattern 290.

그 다음에는, 마무리 공정으로 라우팅(Routing) 및 펀치(Punch) 공정을 수행한다.Next, a routing and punching process is performed as a finishing process.

이와 같은 공정으로 제조된 인쇄회로기판은 캐리어금속판넬에 의해 기계적 특성을 부여 받고, 이로 인하여 비아콘택 및 회로패턴 형성 공정에서 발생하는 손상문제를 용이하게 극복할 수 있다. 또한, 감광성 물질층의 두께 조절에 의해서 인쇄회로기판의 두께를 자유롭게 조절이 가능하므로, 최신 흐름에 맞추어 박형 인쇄회로기판을 자유롭게 형성할 수 있게 된다. The printed circuit board manufactured by such a process is given mechanical properties by the carrier metal panel, thereby easily overcoming the damage caused in the via contact and circuit pattern forming process. In addition, since the thickness of the printed circuit board can be freely adjusted by adjusting the thickness of the photosensitive material layer, the thin printed circuit board can be freely formed in accordance with the latest trend.

아울러, 상술한 바에 의하여 단면에 동박층이 형성된 동박적층필름을 이용하여 단면 인쇄회로기판을 형성하였는데, 양면 동박적층필름을 이용하면 그 생산성을 두 배로 향상시킬 수 있다. 또한, 양면 동박적층필름을 이용하는 경우 양면 인쇄회로기판도 용이하게 형성할 수 있다.In addition, a single-sided printed circuit board was formed by using the copper foil laminated film having the copper foil layer formed on the cross section as described above, and the productivity may be doubled by using the double-sided copper foil laminated film. In addition, when using a double-sided copper foil laminated film, it is also possible to easily form a double-sided printed circuit board.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 도시한 단면도들이다.4A through 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, 절연층(300)의 상부면 및 하부면에 각각 제 1 및 제 2 동박층(310, 320)이 형성된 양면 동박적층필름(330)을 마련한다.Referring to FIG. 4A, a double-sided copper foil laminated film 330 having first and second copper foil layers 310 and 320 formed on the top and bottom surfaces of the insulating layer 300, respectively.

다음에는, 제 1 및 제 2 동박층(310, 320) 상부에 각각 제 1 캐리어금속판넬(315) 및 제 2 캐리어금속판넬(325)을 형성한다.Next, a first carrier metal panel 315 and a second carrier metal panel 325 are formed on the first and second copper foil layers 310 and 320, respectively.

도 4b를 참조하면, 제 1 캐리어금속판넬(315) 및 제 2 캐리어금속판넬(325) 상부에 각각 제 1 감광성 물질층(340) 및 제 2 감광성 물질층(350)을 형성한다.Referring to FIG. 4B, a first photosensitive material layer 340 and a second photosensitive material layer 350 are formed on the first carrier metal panel 315 and the second carrier metal panel 325, respectively.

도 4c를 참조하면, 제 1 감광성 물질층(340) 및 제 2 감광성 물질층(350)을 노광 및 현상하여, 비아콘택 예정 영역을 노출시키는 제 1 감광성 물질 패턴(345) 및 제 2 감광성 물질 패턴(355)을 각각 형성한다. 이때, 제 1 감광성 물질층(340)에 형성되는 비아홀과 제 2 감광성 물질층(345)에 형성되는 비아홀은 대칭적인 형태로 일치시키는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4C, a first photosensitive material pattern 345 and a second photosensitive material pattern exposing and developing a via contact region by exposing and developing the first photosensitive material layer 340 and the second photosensitive material layer 350. 355 are formed respectively. In this case, the via hole formed in the first photosensitive material layer 340 and the via hole formed in the second photosensitive material layer 345 may be matched in a symmetrical form.

도 4d를 참조하면, 동도금 공정을 수행하여 제 1 감광성 물질 패턴(345) 및 제 2 감광성 물질 패턴(355) 사이의 영역을 매립하고, 제 1 비아콘택(360) 및 제 2 비아콘택(370)을 형성한다.Referring to FIG. 4D, a copper plating process is performed to fill a region between the first photosensitive material pattern 345 and the second photosensitive material pattern 355, and the first via contact 360 and the second via contact 370. To form.

도 4e를 참조하면, 제 1 동박층(310)과 제 1 캐리어금속판넬(315)을 분리시 켜 제 1 코어기판을 형성하고, 제 2 동박층(320)과 제 2 캐리어금속판넬(325)을 분리시켜 제 2 코어기판을 형성한다.Referring to FIG. 4E, the first copper foil layer 310 and the first carrier metal panel 315 are separated to form a first core substrate, and the second copper foil layer 320 and the second carrier metal panel 325. Are separated to form a second core substrate.

여기서, 제 1 코어기판 및 제 2 코어기판은 각각 독립적으로 사용될 경우 상기 도 3h에서와 같은 단면 인쇄회로기판으로 형성될 수 있다. Here, the first core board and the second core board may be formed of a single-sided printed circuit board as shown in FIG. 3H when used independently of each other.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 제조 방법에 의하면, 양면 동박적층필름을 이용하여, 단면 인쇄회로 기판 또는 양면에 회로패턴을 갖는 양면 인쇄회로기판을 용이하게 제조할 수 있다. 이는, 본 발명에서 종래에 동박적층필름의 프리프레그층을 인쇄회로 기판의 코어층으로 사용하여 문제가 되던 것을 해결함으로써 가능해진 것이다. 즉, 동박적층필름 상부에 후속 공정에서는 회로패턴이 되면서, 인쇄회로기판 제조를 위한 중간 공정에서는 코어층으로서 작용할 수 있는 캐리어금속판넬을 형성함으로써, 기계적 강도를 향상시키고, 흡습 방지 효과를 얻을 수 있도록 하는 것이다. 아울러, 기계적 강도가 향상되면, 상대적으로 강도 향상분에 해당하는 만큼의 인쇄회로기판 두께를 감소시킬 수 있으므로, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 제조 방법은 저비용으로 박형화를 용이하게 실시할 수 있는 장점을 제공한다.As described above, according to the method for manufacturing a printed circuit board according to the present invention, it is possible to easily manufacture a single-sided printed circuit board or a double-sided printed circuit board having a circuit pattern on both sides by using a double-sided copper foil laminated film. This is made possible by solving the problem in the present invention by using a prepreg layer of a copper foil laminated film as a core layer of a printed circuit board. In other words, by forming a carrier metal panel on the copper-clad laminated film in the subsequent process, the carrier metal panel to act as a core layer in the intermediate process for manufacturing a printed circuit board, to improve the mechanical strength and to obtain a moisture absorption prevention effect It is. In addition, if the mechanical strength is improved, since the thickness of the printed circuit board can be reduced by a corresponding amount of strength, the printed circuit board manufacturing method according to the present invention has an advantage of being easily thinned at low cost. to provide.

또한, 본 발명에서 사용하는 캐리어금속판넬 및 감광성 물질층으로 이루어진 코어기판을 이용하면 상술한, 기판 제조 방법을 응용하여 MLB(다층 인쇄회로기판; Multi Layered Board)도 용이하게 제조할 수 있다.In addition, by using the core substrate consisting of the carrier metal panel and the photosensitive material layer used in the present invention, the MLB (Multi Layered Board) can be easily manufactured by applying the above-described substrate manufacturing method.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments and can be modified in various forms, and having ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 종래 기술에 따른 인쇄회로기판 구조를 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view showing a printed circuit board structure according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 인쇄회로기판 구조를 도시한 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing a printed circuit board structure according to the present invention.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 도시한 단면도들.3A to 3H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 도시한 단면도들.4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention.

Claims (6)

절연층의 상부면 및 하부면 중 적어도 일면에 동박층이 형성된 동박적층필름(Copper Clad Laminated; CCL)을 마련하는 단계;Providing a copper clad laminated film (CCL) having a copper foil layer formed on at least one of an upper surface and a lower surface of the insulating layer; 상기 동박층 상부에 16 ~ 20㎛의 두께로 캐리어금속판넬을 형성하는 단계;Forming a carrier metal panel having a thickness of 16 to 20 μm on the copper foil layer; 상기 캐리어금속판넬 상부에 감광성 물질층(Photosensitive Material)을 형성하는 단계;Forming a photosensitive material layer on the carrier metal panel; 상기 감광성 물질층을 노광 및 현상하여 비아홀 예정영역을 노출시키는 감광성 물질 패턴을 형성하는 단계;Exposing and developing the photosensitive material layer to form a photosensitive material pattern exposing the via hole predetermined region; 상기 감광성 물질 패턴의 노출 영역에 도금층을 매립하여 비아콘택을 형성하는 단계;Embedding a plating layer in an exposed region of the photosensitive material pattern to form a via contact; 상기 동박층 및 상기 캐리어금속판넬을 분리시켜, 상기 감광성 물질로 이루어지며 상기 비아콘택을 포함하는 코어기판을 형성하는 단계;Separating the copper foil layer and the carrier metal panel to form a core substrate made of the photosensitive material and including the via contact; 상기 코어기판의 양면에 드라이 필름을 형성하는 단계;Forming a dry film on both sides of the core substrate; 상기 드라이 필름에 노광공정, 에칭공정 및 스트립 공정을 수행하여, 인쇄회로 패턴을 정의하는 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계;Forming a dry film pattern defining a printed circuit pattern by performing an exposure process, an etching process, and a strip process on the dry film; 상기 드라이 필름 패턴을 마스크로 상기 캐리어금속판넬을 식각하여 회로패턴을 형성하는 단계; 및Etching the carrier metal panel using the dry film pattern as a mask to form a circuit pattern; And 상기 회로패턴 상부에 표면처리층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법.Printed circuit board manufacturing method using a metal comprising the step of forming a surface treatment layer on the circuit pattern. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 동박층은 2 ~ 4㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법.Printed circuit board manufacturing method using a metal, characterized in that the copper foil layer is formed to a thickness of 2 ~ 4㎛. 삭제delete 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 캐리어금속판넬은 구리포일(Cu foil)을 사용 하는 것을 특징으로 하는 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법.The carrier metal panel is a printed circuit board manufacturing method using a metal, characterized in that using a copper foil (Cu foil). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 감광성 물질층(Photosensitive Material)은 DFSR(Dry Film Solder resisit) 또는 액상형의 감광성 물질을 포함하는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법.The photosensitive material layer (Photosensitive Material) is a printed circuit board manufacturing method using a metal, characterized in that made of a material containing a dry film solder resist (DFSR) or a liquid photosensitive material. 제 1 항의 방법으로 제조된 인쇄회로기판.Printed circuit board manufactured by the method of claim 1.
KR1020090042826A 2009-05-15 2009-05-15 Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof KR101085576B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090042826A KR101085576B1 (en) 2009-05-15 2009-05-15 Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090042826A KR101085576B1 (en) 2009-05-15 2009-05-15 Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100123545A KR20100123545A (en) 2010-11-24
KR101085576B1 true KR101085576B1 (en) 2011-11-25

Family

ID=43408210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090042826A KR101085576B1 (en) 2009-05-15 2009-05-15 Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101085576B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140047480A (en) * 2012-10-12 2014-04-22 주식회사 잉크테크 Method for manufacturing pcb forming circuit pattern and connecting the circuit pattern through via-hole by printing method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442918B1 (en) 2003-02-06 2004-08-02 엘지전자 주식회사 Multi-layer PCB making method
KR100807487B1 (en) 2006-08-22 2008-02-25 삼성전기주식회사 Method of fabricating printed circuit board
JP2009032918A (en) * 2007-07-27 2009-02-12 Shinko Electric Ind Co Ltd Wiring substrate, manufacturing method thereof, electronic component device, and manufacturing method thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442918B1 (en) 2003-02-06 2004-08-02 엘지전자 주식회사 Multi-layer PCB making method
KR100807487B1 (en) 2006-08-22 2008-02-25 삼성전기주식회사 Method of fabricating printed circuit board
JP2009032918A (en) * 2007-07-27 2009-02-12 Shinko Electric Ind Co Ltd Wiring substrate, manufacturing method thereof, electronic component device, and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100123545A (en) 2010-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101106861B (en) Method of manufacturing rigid-flexible printed circuit board
KR100733253B1 (en) High density printed circuit board and manufacturing method thereof
JP5461323B2 (en) Manufacturing method of semiconductor package substrate
KR101015704B1 (en) Chip embedded printed circuit board and manufacturing method thereof
US20100142170A1 (en) Chip embedded printed circuit board and manufacturing method thereof
US20090250253A1 (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof
US20100126765A1 (en) Multi-layer printed circuit board and manufacturing method thereof
JP7074409B2 (en) Built-in element type printed circuit board
US7524429B2 (en) Method of manufacturing double-sided printed circuit board
TWI479972B (en) Multi-layer flexible printed wiring board and manufacturing method thereof
KR100832650B1 (en) Multi layer printed circuit board and fabricating method of the same
KR100731604B1 (en) Method for manufacturing printed circuit board with high stiffness
KR101304359B1 (en) Method of manufacturing a cavity printed circuit board
KR101039774B1 (en) Method of fabricating a metal bump for printed circuit board
KR101085576B1 (en) Method for fabricating printed-circuit-board using metal and printed-circuit-board fabricated using thereof
KR101067214B1 (en) A printed circuit board and a method of manufacturing the same
KR100704911B1 (en) Electronic chip embedded pcb and method of the same
KR101865123B1 (en) Method for manufacturing substrate with metal post and substrate manufactured by the same method
KR101987378B1 (en) Method of manufacturing printed circuit board
KR101081153B1 (en) Method for fabricating printed-circuit-board including embedded fine pattern
KR101108816B1 (en) Multilayer printed circuit substrate and method of manufacturing the same
KR102551217B1 (en) Carrier substrate and printed circuit board fabricated using the same
US20130146337A1 (en) Multi-layered printed circuit board and manufacturing method thereof
KR101905881B1 (en) The printed circuit board and the method for manufacturing the same
JP2022175396A (en) Method for manufacturing printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141104

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151106

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161024

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171106

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181017

Year of fee payment: 8