JP2022175396A - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

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修平 後藤
Shuhei Goto
悟 川合
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Abstract

To provide a printed wiring board having high connection reliability.SOLUTION: A method for manufacturing a printed wiring board includes: forming a first pad on a top resin insulation layer; forming a first irregularity on the surface of the first pad; forming a first solder resist layer having a first opening to expose the first pad, on the top resin insulation layer and the first pad; decreasing the size of the first irregularity exposed from the first opening; forming a first protective film on the first solder resist layer and the first opening, after decreasing the size of the first irregularity; forming a second pad on a bottom resin insulation layer; forming a second irregularity on the surface of the second pad; forming a second solder resist layer having a second opening to expose the second pad, on the bottom resin insulation layer and the second pad; forming a second metal film on the second pad exposed from the second opening, after forming the first protective film; and removing the first protective film after forming the second metal film.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本明細書によって開示される技術は、プリント配線板の製造方法に関する。 The technology disclosed by this specification relates to a method for manufacturing a printed wiring board.

特許文献1は、基板の両面に導体層を有する基板構造の製造方法を開示する。最下の導体層上に酸化防止のための表面処理層が形成され得る。最下の導体層上に表面処理層が形成される間、最上の導体層は接着材料付きの樹脂保護膜によって被覆される。 US Pat. No. 6,300,001 discloses a method of manufacturing a substrate structure having conductor layers on both sides of the substrate. A surface treatment layer for preventing oxidation may be formed on the lowermost conductor layer. While the surface treatment layer is formed on the bottom conductor layer, the top conductor layer is covered with a resin protective film with an adhesive material.

米国特許出願公開第2017/0171981号明細書U.S. Patent Application Publication No. 2017/0171981

[特許文献1の課題]
特許文献1の技術では、最下の導体層上に表面処理層が形成された後で、最上の導体層を被覆していた樹脂保護膜が除去される。その際、最上の導体層上に接着材料が残存することが考えられる。最上の導体層上に接着材料が残存すると、その後最上の導体層上に別の表面処理層を形成する際に表面処理層の密着性に問題が生じると考えられる。
[Problem of Patent Document 1]
In the technique of Patent Document 1, after the surface treatment layer is formed on the lowermost conductor layer, the resin protective film covering the uppermost conductor layer is removed. At that time, it is conceivable that the adhesive material remains on the uppermost conductor layer. If the adhesive material remains on the uppermost conductor layer, it is thought that there will be a problem with the adhesion of the surface treatment layer when another surface treatment layer is subsequently formed on the uppermost conductor layer.

本発明のプリント配線板の製造方法は、最上の樹脂絶縁層を形成することと、前記最上の樹脂絶縁層上に電子部品を搭載するための第1パッドを形成することと、前記第1パッドの表面に第1凹凸を形成することと、前記最上の樹脂絶縁層と前記第1パッド上に前記第1パッドを露出するための第1開口を有する第1ソルダーレジスト層を形成することと、前記第1開口から露出する前記第1凹凸の大きさを小さくすることで前記第1開口から露出する前記第1パッドの上面の算術平均粗さ(Ra)を0.5μm以下にすることと、前記第1凹凸の大きさを小さくすることの後に前記第1ソルダーレジスト層と前記第1開口上に第1保護膜を形成することと、最下の樹脂絶縁層を形成することと、前記最下の樹脂絶縁層上にマザーボードと接続するための第2パッドを形成することと、前記第2パッドの表面に第2凹凸を形成することと、前記最下の樹脂絶縁層と前記第2パッド上に前記第2パッドを露出するための第2開口を有する第2ソルダーレジスト層を形成することと、前記第1保護膜を形成することの後に前記第2開口から露出する前記第2パッド上に第2金属膜を形成することと、前記第2金属膜を形成することの後に前記第1保護膜を除去すること、とを含む。 A method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention includes forming an uppermost resin insulation layer, forming a first pad for mounting an electronic component on the uppermost resin insulation layer, and forming a first pad for mounting an electronic component on the uppermost resin insulation layer. forming a first unevenness on the surface of the uppermost resin insulation layer and forming a first solder resist layer having a first opening for exposing the first pad on the uppermost resin insulation layer and the first pad; making the arithmetic mean roughness (Ra) of the upper surface of the first pad exposed from the first opening smaller than 0.5 μm by reducing the size of the first unevenness exposed from the first opening; forming a first protective film on the first solder resist layer and the first opening after reducing the size of the first unevenness; forming a lowermost resin insulation layer; forming a second pad for connection with a motherboard on a lower resin insulation layer; forming a second unevenness on a surface of the second pad; and forming the lowermost resin insulation layer and the second pad. forming a second solder resist layer having a second opening for exposing the second pad thereon, and on the second pad exposed from the second opening after forming the first protective film; and removing the first protective film after forming the second metal film.

本発明の実施形態のプリント配線板の製造方法によると、第1凹凸の大きさを小さくすることの後に第1保護膜が形成され、その後第2パッド上に第2金属膜が形成される。第1保護膜の形成前に第1凹凸の大きさが小さくされているため、第2金属膜の形成後に第1保護膜が除去される際に、第1パッドの表面に接着材料が残存することが抑制される。その後に第1パッド上に他の金属膜(例えば第2金属膜と異なる第1金属膜)が形成される場合に第1パッドと他の金属膜との高い密着性が実現される。すなわち、実施形態の製造方法によると、接続信頼性の高いプリント配線板が提供され得る。 According to the printed wiring board manufacturing method of the embodiment of the present invention, the first protective film is formed after reducing the size of the first unevenness, and then the second metal film is formed on the second pad. Since the size of the first unevenness is reduced before the formation of the first protective film, the adhesive material remains on the surface of the first pad when the first protective film is removed after the formation of the second metal film. is suppressed. When another metal film (for example, a first metal film different from the second metal film) is subsequently formed on the first pad, high adhesion between the first pad and the other metal film is achieved. That is, according to the manufacturing method of the embodiment, a printed wiring board with high connection reliability can be provided.

実施形態のプリント配線板の一部を模式的に示す断面図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Sectional drawing which shows typically some printed wiring boards of embodiment. 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 第1開口から露出する第1凹凸を模式的に示す拡大断面図。The enlarged sectional view which shows typically the 1st unevenness|corrugation exposed from 1st opening. 第2開口から露出する第2凹凸を模式的に示す拡大断面図。The enlarged sectional view which shows typically the 2nd unevenness|corrugation exposed from 2nd opening. 大きさが小さくされた後の第1凹凸を模式的に示す拡大断面図。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view schematically showing the first unevenness after being reduced in size; 大きさが小さくされた後の第2凹凸を模式的に示す拡大断面図。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view schematically showing the second unevenness after being reduced in size;

[実施形態]
図1は、実施形態のプリント配線板の一部を示す断面図である。図1に示されるように、プリント配線板1は、コア基板2と、最上の樹脂絶縁層4と、第1パッド10と、第1ソルダーレジスト層30と、第1金属膜50と、最下の樹脂絶縁層6と、第2パッド20と、第2ソルダーレジスト層40と、第2金属膜60とを有している。
[Embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing part of a printed wiring board according to an embodiment. As shown in FIG. 1, printed wiring board 1 includes core substrate 2, uppermost resin insulation layer 4, first pads 10, first solder resist layer 30, first metal film 50, and lowermost , a second pad 20 , a second solder resist layer 40 and a second metal film 60 .

コア基板2は絶縁基板を備える。絶縁基板の上下面には、導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層されて形成されるビルドアップ層が備えられている。絶縁基板を介して対向する導体層同士はスルーホールを介して接続されていてもよい。図1では絶縁基板とビルドアップ層の詳細な図示は省略されている。コア基板2は上面2aと下面2bを有している。 The core substrate 2 has an insulating substrate. The upper and lower surfaces of the insulating substrate are provided with buildup layers formed by alternately laminating conductor layers and resin insulating layers. The conductor layers facing each other via the insulating substrate may be connected via through holes. Detailed illustration of the insulating substrate and the buildup layer is omitted in FIG. The core substrate 2 has an upper surface 2a and a lower surface 2b.

最上の樹脂絶縁層4はコア基板2の上面2a上に設けられている。最上の樹脂絶縁層4は熱硬化性樹脂を用いて形成される。最上の樹脂絶縁層4はシリカ等の無機粒子を含んでもよい。最上の樹脂絶縁層4はガラスクロス等の補強材を含んでもよい。 Uppermost resin insulation layer 4 is provided on top surface 2 a of core substrate 2 . Uppermost resin insulation layer 4 is formed using a thermosetting resin. The uppermost resin insulation layer 4 may contain inorganic particles such as silica. The uppermost resin insulation layer 4 may contain a reinforcing material such as glass cloth.

第1パッド10は最上の樹脂絶縁層4上に設けられている。図1では3個の第1パッド10が設けられている。他の例では図示した3個の第1パッド10以外の第1パッドが設けられていてもよい。第1パッド10は電子部品を搭載するためのパッドである。図1では詳細な図示は省略されるが、第1パッド10はコア基板2の導体層と電気的に接続されている。第1パッド10は、導電性金属、例えば銅を主成分とする金属で形成される。 First pad 10 is provided on uppermost resin insulation layer 4 . In FIG. 1, three first pads 10 are provided. In another example, first pads other than the three first pads 10 illustrated may be provided. A first pad 10 is a pad for mounting an electronic component. Although detailed illustration is omitted in FIG. 1 , the first pads 10 are electrically connected to the conductor layer of the core substrate 2 . The first pad 10 is made of a conductive metal such as a metal containing copper as a main component.

第1ソルダーレジスト層30は、UV光(紫外線)によって硬化するタイプのソルダーレジスト(いわゆるUV硬化型ソルダーレジスト)によって形成される。第1ソルダーレジスト層30は、各第1パッド10を露出させるための第1開口32を有している。 The first solder-resist layer 30 is formed of a type of solder-resist that is cured by UV light (ultraviolet rays) (so-called UV-curable solder-resist). The first solder resist layer 30 has first openings 32 for exposing each first pad 10 .

上述の第1パッド10の表面は粗化されている。第1パッド10の表面には第1凹凸12が形成されている。第1開口32から露出する部分の第1凹凸12の大きさは、他の部分の第1凹凸12と比べて小さい。第1開口32から露出する第1パッド10の上面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μm以下である。第1開口32から露出しない範囲の第1パッド10の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μmより大きい。 The surface of the first pad 10 described above is roughened. First irregularities 12 are formed on the surface of the first pad 10 . The size of the first unevenness 12 in the portion exposed from the first opening 32 is smaller than the first unevenness 12 in other portions. The arithmetic average roughness (Ra) of the upper surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is 0.5 μm or less. The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the first pad 10 not exposed from the first opening 32 is greater than 0.5 μm.

第1金属膜50は、第1開口32から露出する第1パッド10上に形成される。第1金属膜50は、第1パッド10の表面の酸化を防止する酸化防止膜である。第1金属膜50は、ニッケル膜とニッケル膜上の金膜で形成されている。他の例では、第1金属膜50は、ニッケル膜とニッケル膜上のスズ膜、または、ニッケル膜とニッケル膜上のパラジウム膜とパラジウム膜上の金膜で形成されていてもよい。 A first metal film 50 is formed on the first pad 10 exposed from the first opening 32 . The first metal film 50 is an antioxidant film that prevents oxidation of the surface of the first pad 10 . The first metal film 50 is formed of a nickel film and a gold film on the nickel film. Alternatively, the first metal film 50 may be formed of a nickel film and a tin film on the nickel film, or a nickel film and a palladium film on the nickel film and a gold film on the palladium film.

コア基板2の下面2bも上面2a側とほぼ同様の構成を有する。最下の樹脂絶縁層6はコア基板2の下面2b上に設けられている。最下の樹脂絶縁層6は熱硬化性樹脂を用いて形成される。最下の樹脂絶縁層6はシリカ等の無機粒子を含んでもよい。最下の樹脂絶縁層6はガラスクロス等の補強材を含んでもよい。 The lower surface 2b of the core substrate 2 also has substantially the same structure as the upper surface 2a side. The lowermost resin insulation layer 6 is provided on the lower surface 2 b of the core substrate 2 . The lowermost resin insulation layer 6 is formed using a thermosetting resin. The lowermost resin insulation layer 6 may contain inorganic particles such as silica. The lowermost resin insulation layer 6 may contain a reinforcing material such as glass cloth.

第2パッド20は最下の樹脂絶縁層6上に設けられている。図1では3個の第2パッド20が設けられている。他の例では図示した3個の第2パッド20以外の第2パッドが設けられていてもよい。第2パッド20はマザーボードと接続するためのパッドである。図1では詳細な図示は省略されるが、第2パッド20はコア基板2に含まれる導体層と電気的に接続されている。第2パッド20は、導電性金属、例えば銅を主成分とする金属で形成される。 Second pad 20 is provided on lowermost resin insulation layer 6 . In FIG. 1, three second pads 20 are provided. In other examples, second pads other than the three illustrated second pads 20 may be provided. A second pad 20 is a pad for connecting with the motherboard. Although detailed illustration is omitted in FIG. 1 , the second pads 20 are electrically connected to conductor layers included in the core substrate 2 . The second pad 20 is made of a conductive metal, such as a metal containing copper as a main component.

第2ソルダーレジスト層40はUV硬化型ソルダーレジストによって形成される。第2ソルダーレジスト層40は、各第2パッド20を露出させるための第2開口42を有している。 The second solder-resist layer 40 is formed of a UV-curable solder-resist. The second solder resist layer 40 has second openings 42 for exposing each second pad 20 .

上述の第2パッド20の表面は粗化されている。第2パッド20の表面には第2凹凸22が形成されている。第2開口42から露出する部分の第2凹凸22の大きさは、他の部分の第2凹凸22と比べて小さい。第2開口42から露出する第2パッド20の上面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μm以下である。第2開口42から露出しない範囲の第2パッド20の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μmより大きい。 The surface of the second pad 20 described above is roughened. Second irregularities 22 are formed on the surface of the second pad 20 . The size of the second unevenness 22 in the portion exposed from the second opening 42 is smaller than the size of the second unevenness 22 in other portions. The arithmetic average roughness (Ra) of the upper surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is 0.5 μm or less. The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the second pad 20 not exposed from the second opening 42 is greater than 0.5 μm.

第2金属膜60は、第2開口42から露出する第2パッド20上に形成される。第2金属膜60は、第2パッド20の表面の酸化を防止する酸化防止膜である。第2金属膜60は、ニッケル膜とニッケル膜上のスズ膜で形成されている。第2金属膜60を形成する金属(第2金属)は、第1金属膜50を形成する金属(第1金属)とは異なる。他の例では、第2金属膜60は、第1金属膜50と異なる金属で形成されていれば、ニッケル膜とニッケル膜上の金膜、または、ニッケル膜とニッケル膜上のパラジウム膜とパラジウム膜上の金膜で形成されていてもよい。 A second metal film 60 is formed on the second pad 20 exposed through the second opening 42 . The second metal film 60 is an antioxidant film that prevents oxidation of the surface of the second pad 20 . The second metal film 60 is formed of a nickel film and a tin film on the nickel film. The metal (second metal) forming the second metal film 60 is different from the metal (first metal) forming the first metal film 50 . In another example, if the second metal film 60 is made of a metal different from the first metal film 50, the second metal film 60 can be a nickel film and a gold film on the nickel film, or a nickel film and a palladium film on the nickel film and a palladium film. It may be formed of a gold film on a film.

[実施形態のプリント配線板1の製造方法]
図2A~図2Hは実施形態のプリント配線板1の製造方法を示す。図2A~図2Hは断面図である。図2Aは、コア基板2と、コア基板2の上面2a上の最上の樹脂絶縁層4と、コア基板2の下面2b上の最下の樹脂絶縁層6を示している。
[Manufacturing Method of Printed Wiring Board 1 of Embodiment]
2A to 2H show a method for manufacturing the printed wiring board 1 of the embodiment. 2A-2H are cross-sectional views. FIG. 2A shows core substrate 2 , uppermost resin insulation layer 4 on upper surface 2 a of core substrate 2 , and lowermost resin insulation layer 6 on lower surface 2 b of core substrate 2 .

図2Bに示されるように、最上の樹脂絶縁層4上に複数個の第1パッド10が形成される。最下の樹脂絶縁層6上に複数個の第2パッド20が形成される。第1パッド10と第2パッド20はSAP(Semi Additive Process)法によって形成される。第1パッド10と第2パッド20はサブトラクティブ法によって形成されてもよい。 As shown in FIG. 2B, a plurality of first pads 10 are formed on uppermost resin insulation layer 4 . A plurality of second pads 20 are formed on lowermost resin insulation layer 6 . The first pad 10 and the second pad 20 are formed by the SAP (Semi Additive Process) method. The first pad 10 and the second pad 20 may be formed by a subtractive method.

第1パッド10と第2パッド20の表面がウェットエッチングによって粗化される。第1パッド10の表面に第1凹凸12が形成される。第2パッド20の表面に第2凹凸22が形成される。第1パッド10の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μmより大きい。第2パッド20の表面の算術平均粗さ(Ra)も0.5μmより大きい。 The surfaces of the first pad 10 and the second pad 20 are roughened by wet etching. A first unevenness 12 is formed on the surface of the first pad 10 . A second unevenness 22 is formed on the surface of the second pad 20 . The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the first pad 10 is greater than 0.5 μm. The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the second pad 20 is also greater than 0.5 μm.

図2Cに示されるように、最上の樹脂絶縁層4と複数個の第1パッド10上に、複数個の第1開口32を有する第1ソルダーレジスト層30が形成される。第1開口32から第1パッド10の上面が露出する。第1ソルダーレジスト層30は、UV硬化型ソルダーレジストフィルムの貼付、第1開口32が形成される範囲へのマスク配置、露光処理、現像処理が順に行われることによって形成される。同様に最下の樹脂絶縁層6上と複数個の第2パッド20上に、複数個の第2開口42を有する第2ソルダーレジスト層40が形成される。第2開口42から第2パッド20の上面が露出する。第2ソルダーレジスト層40の形成方法は第1ソルダーレジスト層30の形成方法と同様である。 As shown in FIG. 2C, a first solder resist layer 30 having a plurality of first openings 32 is formed on the uppermost resin insulation layer 4 and the plurality of first pads 10 . The upper surface of the first pad 10 is exposed through the first opening 32 . The first solder resist layer 30 is formed by sequentially performing the steps of attaching a UV curable solder resist film, arranging a mask in the area where the first openings 32 are to be formed, exposing, and developing. Similarly, a second solder resist layer 40 having a plurality of second openings 42 is formed on the lowermost resin insulation layer 6 and the plurality of second pads 20 . The upper surface of the second pad 20 is exposed through the second opening 42 . The method of forming the second solder-resist layer 40 is the same as the method of forming the first solder-resist layer 30 .

この時点では、図3Aに示されるように、第1開口32から露出する第1パッド10の表面の第1凹凸12の大きさは大きい。第1開口32から露出する第1パッド10の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μmより大きい。同様に、図3Bに示されるように、第2開口42から露出する第2パッド20の表面の第2凹凸22の大きさは大きい。第2開口42から露出する第2パッド20の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μmより大きい。 At this point, as shown in FIG. 3A, the size of the first unevenness 12 on the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is large. The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is greater than 0.5 μm. Similarly, as shown in FIG. 3B, the size of the second unevenness 22 on the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is large. The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is greater than 0.5 μm.

第1ソルダーレジスト層30と第2ソルダーレジスト層40が形成された後(図2C)に、第1開口32から露出する第1パッド10の表面と第2開口42から露出する第2パッド20の表面がさらにエッチングされる。第1開口32から露出する第1パッド10の表面と第2開口42から露出する第2パッド20の表面のエッチングは同時に行われる。 After the first solder-resist layer 30 and the second solder-resist layer 40 are formed (FIG. 2C), the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 and the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 are removed. The surface is further etched. The etching of the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 and the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 are performed simultaneously.

ここで行われるエッチングはいわゆるソフトエッチングである。ソフトエッチングは、粗度の低下のために行われる。そのため、ソフトエッチングは第1凹凸12及び第2凹凸22を形成するためのエッチング(粗化のためのエッチング。図2B)とは異なる条件で行われる。例えば、エッチング液、エッチング量等が異なる。これにより、図4Aに示されるように、第1開口32から露出する第1パッド10の第1凹凸12の大きさが小さくされる。図4Bに示されるように、第2開口42から露出する第2パッド20の第2凹凸22の大きさが小さくされる。この結果、第1開口32から露出する第1パッド10の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μm以下になる。第2開口42から露出する第2パッド20の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μm以下になる。 The etching performed here is so-called soft etching. Soft etching is performed for roughness reduction. Therefore, the soft etching is performed under different conditions from the etching for forming the first unevenness 12 and the second unevenness 22 (etching for roughening, FIG. 2B). For example, the etchant, etching amount, etc. are different. Thereby, as shown in FIG. 4A, the size of the first unevenness 12 of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is reduced. As shown in FIG. 4B, the size of the second unevenness 22 of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is reduced. As a result, the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is 0.5 μm or less. The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is 0.5 μm or less.

図2Dに示されるように、第1ソルダーレジスト層30と第1開口32上に第1保護膜70が形成される。第1保護膜70は樹脂製の保護膜である。第1保護膜70は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)製のフィルムである。第1保護膜70は、接着材料を介して第1ソルダーレジスト層30と第1開口32上に密に貼付される。第1保護膜70は、接着材料を介して、第1ソルダーレジスト層30の上面と第1開口32から露出する第1パッド10の上面に密着する。 As shown in FIG. 2D, a first protective film 70 is formed on the first solder resist layer 30 and the first openings 32 . The first protective film 70 is a protective film made of resin. The first protective film 70 is, for example, a polyethylene terephthalate (PET) film. The first protective film 70 is closely adhered onto the first solder resist layer 30 and the first opening 32 via an adhesive material. The first protective film 70 adheres to the upper surface of the first solder resist layer 30 and the upper surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 via the adhesive material.

図2Eに示されるように、第2開口42から露出する第2パッド20上に第2金属膜60が形成される。第2金属膜60は電解めっきによって形成される。まずニッケル膜が形成され、その後ニッケル膜上にスズ膜が形成されることにより、第2金属膜60が形成される。一方、第1保護膜70で覆われている第1パッド10上には電解めっき膜が形成されない。他の例では、第2金属膜60は、第1金属膜50(図1)と異なる金属で形成されれば、ニッケル膜とニッケル膜上の金膜、または、ニッケル膜とニッケル膜上のパラジウム膜とパラジウム膜上の金膜で形成されてもよい。 As shown in FIG. 2E, a second metal layer 60 is formed on the second pads 20 exposed through the second openings 42 . The second metal film 60 is formed by electrolytic plating. First, a nickel film is formed, and then a tin film is formed on the nickel film, thereby forming the second metal film 60 . On the other hand, no electrolytic plating film is formed on the first pad 10 covered with the first protective film 70 . Alternatively, the second metal film 60 may be formed of a different metal than the first metal film 50 (FIG. 1), such as a nickel film and a gold film on the nickel film, or a nickel film and a palladium film on the nickel film. It may be formed of a gold film on a membrane and a palladium membrane.

図2Fに示されるように、第1保護膜70が除去される。上記の通り、第1開口32から露出する第1凹凸12の大きさが小さい(図4A)。第1開口32から露出する第1パッド10の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.5μm以下である。そのため、第1保護膜70が除去される際に、第1パッド10の表面に接着材料が残存することが抑制される。第1開口32から露出する第1パッド10の表面には接着材料が付着していない。 As shown in FIG. 2F, the first protective film 70 is removed. As described above, the size of the first unevenness 12 exposed from the first opening 32 is small (FIG. 4A). The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of first pad 10 exposed from first opening 32 is 0.5 μm or less. Therefore, it is possible to prevent the adhesive material from remaining on the surface of the first pad 10 when the first protective film 70 is removed. No adhesive material adheres to the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 .

図2Gに示されるように、第2ソルダーレジスト層40と第2開口42上に第2保護膜80が形成される。第2保護膜80は樹脂製の保護膜である。第2保護膜80は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)製のフィルムである。第2保護膜80は、接着材料を介して第2ソルダーレジスト層40と第2開口42上に密に貼付される。第2保護膜80は、接着材料を介して、第2ソルダーレジスト層40の上面と第2開口42から露出する第2金属膜60の上面に密着する。 As shown in FIG. 2G, a second protective film 80 is formed on the second solder resist layer 40 and the second openings 42 . The second protective film 80 is a protective film made of resin. The second protective film 80 is a polyethylene terephthalate (PET) film, for example. The second protective film 80 is closely adhered onto the second solder resist layer 40 and the second opening 42 via an adhesive material. The second protective film 80 adheres to the upper surface of the second solder resist layer 40 and the upper surface of the second metal film 60 exposed from the second opening 42 via the adhesive material.

図2Hに示されるように、第1開口32から露出する第1パッド10上に第1金属膜50が形成される。第1金属膜50は電解めっきによって形成される。まずニッケル膜が形成され、その後ニッケル膜上に金膜が形成されることにより、第1金属膜50が形成される。一方、第1保護膜70で覆われている第2金属膜60上には電解めっき膜が形成されない。他の例では、第1金属膜50は、第2金属膜60と異なる金属で形成されれば、ニッケル膜とニッケル膜上のスズ膜、または、ニッケル膜とニッケル膜上のパラジウム膜とパラジウム膜上の金膜で形成されてもよい。上記の通り、第1開口32から露出する第1パッド10の表面には接着材料が付着していない。そのため、第1金属膜50が形成される際、第1パッド10の上面と第1金属膜50との高い密着性が実現される。 As shown in FIG. 2H, a first metal layer 50 is formed on the first pads 10 exposed through the first openings 32 . The first metal film 50 is formed by electrolytic plating. First, a nickel film is formed, and then a gold film is formed on the nickel film, thereby forming the first metal film 50 . On the other hand, no electrolytic plating film is formed on the second metal film 60 covered with the first protective film 70 . Alternatively, if the first metal film 50 is formed of a different metal than the second metal film 60, the nickel film and the tin film on the nickel film, or the nickel film and the palladium film on the nickel film and the palladium film. It may be formed of a gold film on top. As described above, no adhesive material adheres to the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 . Therefore, when the first metal film 50 is formed, high adhesion between the upper surface of the first pad 10 and the first metal film 50 is realized.

その後、第2保護膜80が除去される。実施形態のプリント配線板1(図1)が得られる。 After that, the second protective film 80 is removed. A printed wiring board 1 (FIG. 1) of the embodiment is obtained.

実施形態の製造方法では、第1開口32から露出する第1凹凸12の大きさが小さくされた後に第1ソルダーレジスト層30と第1開口32上に第1保護膜70が形成される。そのため、その後第1保護膜70が除去されても、第1パッド10の表面に接着材料が残存することが抑制される。そのため、第1開口32から露出する第1金属膜50が形成される際、第1パッド10の上面と第1金属膜50との高い密着性が実現される。実施形態の製造方法によると、接続信頼性の高いプリント配線板1が提供される。 In the manufacturing method of the embodiment, the first protective film 70 is formed on the first solder resist layer 30 and the first openings 32 after the size of the first unevenness 12 exposed from the first openings 32 is reduced. Therefore, even if the first protective film 70 is subsequently removed, the adhesive material is prevented from remaining on the surface of the first pad 10 . Therefore, when the first metal film 50 exposed from the first opening 32 is formed, high adhesion between the upper surface of the first pad 10 and the first metal film 50 is realized. According to the manufacturing method of the embodiment, printed wiring board 1 with high connection reliability is provided.

[実施形態の第1改変例]
実施形態と実施形態の第1改変例が比較されると、プリント配線板1の製造工程において第1保護膜70と第2保護膜80が形成される順序が異なる。第1改変例では、第1開口32から露出する第1パッド10の表面と第2開口42から露出する第2パッド20の表面が同時にソフトエッチングされた後、先に第2ソルダーレジスト層40と第2開口42上に第2保護膜80が形成される。第2保護膜80は、接着材料を介して、第2ソルダーレジスト層40の上面と第2開口42から露出する第2パッド20の上面に密着する。
[First modification of the embodiment]
When the embodiment and the first modification of the embodiment are compared, the order in which first protective film 70 and second protective film 80 are formed in the manufacturing process of printed wiring board 1 is different. In the first modified example, the surface of the first pad 10 exposed through the first opening 32 and the surface of the second pad 20 exposed through the second opening 42 are soft-etched at the same time, and then the second solder resist layer 40 is first etched. A second protective film 80 is formed over the second opening 42 . The second protective film 80 adheres to the upper surface of the second solder resist layer 40 and the upper surface of the second pad 20 exposed through the second opening 42 via the adhesive material.

次いで、第1開口32から露出する第1パッド10上に第1金属膜50が形成される。第2保護膜80が除去される。第1ソルダーレジスト層30と第1開口32上に第1保護膜70が形成される。第1保護膜70は、接着材料を介して、第1ソルダーレジスト層30の上面と第1開口32から露出する第1金属膜50の上面に密着する。第2開口42から露出する第2パッド20上に第2金属膜60が形成される。第1保護膜70が除去される。実施形態のプリント配線板1(図1)が得られる。 A first metal film 50 is then formed on the first pad 10 exposed through the first opening 32 . The second protective film 80 is removed. A first protective film 70 is formed on the first solder resist layer 30 and the first openings 32 . The first protective film 70 adheres to the upper surface of the first solder resist layer 30 and the upper surface of the first metal film 50 exposed from the first opening 32 via an adhesive material. A second metal layer 60 is formed on the second pad 20 exposed through the second opening 42 . The first protective film 70 is removed. A printed wiring board 1 (FIG. 1) of the embodiment is obtained.

第1改変例の製造方法では、第2開口42から露出する第2凹凸22の大きさが小さくされた後に第2ソルダーレジスト層40と第2開口42上に第2保護膜80が形成される。そのため、その後第2保護膜80が除去されても、第2パッド20の表面に接着材料が残存することが抑制される。そのため、第2開口42から露出する第2金属膜60が形成される際、第2パッド20の上面と第2金属膜60との高い密着性が実現される。接続信頼性の高いプリント配線板1が提供される。 In the manufacturing method of the first modified example, the second protective film 80 is formed on the second solder resist layer 40 and the second openings 42 after the size of the second unevenness 22 exposed from the second openings 42 is reduced. . Therefore, even if the second protective film 80 is subsequently removed, the adhesive material is prevented from remaining on the surface of the second pad 20 . Therefore, when the second metal film 60 exposed from the second opening 42 is formed, high adhesion between the upper surface of the second pad 20 and the second metal film 60 is realized. A printed wiring board 1 with high connection reliability is provided.

[実施形態の第2改変例]
実施形態と実施形態の第2改変例が比較されると、第1開口32から露出する第1パッド10の表面に対するエッチングと第2開口42から露出する第2パッド20の表面に対するエッチングのタイミングが異なる。第2改変例では、第1ソルダーレジスト層30と第2ソルダーレジスト層40が形成された後(図2C)に、第1開口32から露出する第1パッド10の表面のみがさらにエッチング(ソフトエッチング)される。この際、第2開口42から露出する第2パッド20の表面は、第1開口32から露出する第1パッド10の表面と同時にエッチングされない。第2開口42から露出する第2パッド20の表面は任意の保護膜によって保護されてもよい。第1開口32から露出する第1凹凸12の大きさが小さくなるが(図4A)、第2開口42から露出する第2凹凸22の大きさは大きいままである(図3B)。
[Second modification of the embodiment]
When the embodiment and the second modified example of the embodiment are compared, the timing of etching the surface of the first pad 10 exposed through the first opening 32 and the etching of the surface of the second pad 20 exposed through the second opening 42 are different. different. In the second modified example, after the first solder-resist layer 30 and the second solder-resist layer 40 are formed (FIG. 2C), only the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is further etched (soft etching). ) is done. At this time, the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is not etched at the same time as the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 . The surface of the second pad 20 exposed through the second opening 42 may be protected by any protective film. Although the size of the first unevenness 12 exposed from the first opening 32 decreases (FIG. 4A), the size of the second unevenness 22 exposed from the second opening 42 remains large (FIG. 3B).

この後、第1ソルダーレジスト層30と第1開口32上に第1保護膜70が形成される(図2D)。第1保護膜70が形成された後で、第2開口42から露出する第2パッド20の表面がさらにエッチング(ソフトエッチング)される。第1開口32から露出する第1パッド10は第1保護膜70で覆われているため、第2開口42から露出する第2パッド20の表面のみがエッチング(ソフトエッチング)される。第2開口42から露出する第2凹凸22の大きさが小さくなる(図4B)。 After that, a first protective film 70 is formed on the first solder resist layer 30 and the first openings 32 (FIG. 2D). After the first protective film 70 is formed, the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 is further etched (soft etched). Since the first pad 10 exposed through the first opening 32 is covered with the first protective film 70, only the surface of the second pad 20 exposed through the second opening 42 is etched (soft-etched). The size of the second unevenness 22 exposed from the second opening 42 is reduced (FIG. 4B).

以後の工程は実施形態と共通する。第2開口42から露出する第2パッド20上に第2金属膜60が形成される(図2E)。第1保護膜70が除去される(図2F)。第2保護膜80が形成される(図2G)。第1金属膜50が形成される(図2H)。第2保護膜80が除去される。プリント配線板1(図1)が得られる。 Subsequent steps are common to the embodiment. A second metal layer 60 is formed on the second pad 20 exposed through the second opening 42 (FIG. 2E). The first protective film 70 is removed (FIG. 2F). A second protective film 80 is formed (FIG. 2G). A first metal film 50 is formed (FIG. 2H). The second protective film 80 is removed. A printed wiring board 1 (FIG. 1) is obtained.

[第2改変例の別例]
第2改変例と第2改変例の別例が比較されると、第1開口32から露出する第1パッド10へのエッチングと第2開口42から露出する第2パッド20へのエッチングの順序が異なる。第2改変例の別例では、第1ソルダーレジスト層30と第2ソルダーレジスト層40が形成された後(図2C)に、第2開口42から露出する第2パッド20の表面のみがさらにエッチング(ソフトエッチング)される。この際、第1開口32から露出する第1パッド10の表面は、第2開口42から露出する第2パッド20の表面と同時にエッチングされない。第1開口32から露出する第1パッド10の表面は任意の保護膜によって保護されてもよい。第2開口42から露出する第2凹凸22の大きさが小さくなるが(図4B)、第1開口32から露出する第1凹凸12の大きさは大きいままである(図3A)。
[Another example of the second modified example]
Comparing the second modified example and another example of the second modified example, the order of etching the first pad 10 exposed from the first opening 32 and the etching the second pad 20 exposed from the second opening 42 is different. In another example of the second modification, after the first solder-resist layer 30 and the second solder-resist layer 40 are formed (FIG. 2C), only the surfaces of the second pads 20 exposed from the second openings 42 are further etched. (soft etching). At this time, the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is not etched at the same time as the surface of the second pad 20 exposed from the second opening 42 . The surface of the first pad 10 exposed through the first opening 32 may be protected by any protective film. Although the size of the second unevenness 22 exposed from the second opening 42 becomes smaller (FIG. 4B), the size of the first unevenness 12 exposed from the first opening 32 remains large (FIG. 3A).

この後、第2ソルダーレジスト層40と第2開口42上に第2保護膜80が形成される。第2保護膜80が形成された後で、第1開口32から露出する第1パッド10の表面がさらにエッチング(ソフトエッチング)される。第2開口42から露出する第2パッド20は第2保護膜80で覆われているため、第1開口32から露出する第1パッド10の表面のみがエッチング(ソフトエッチング)される。第1開口32から露出する第1凹凸12の大きさが小さくなる(図4A)。 After that, a second protective film 80 is formed on the second solder resist layer 40 and the second openings 42 . After the second protective film 80 is formed, the surface of the first pad 10 exposed from the first opening 32 is further etched (soft etched). Since the second pad 20 exposed through the second opening 42 is covered with the second protective film 80, only the surface of the first pad 10 exposed through the first opening 32 is etched (soft-etched). The size of the first unevenness 12 exposed from the first opening 32 is reduced (FIG. 4A).

以後の工程は上述の第1改変例と共通する。第1開口32から露出する第1パッド10上に第1金属膜50が形成される。第2保護膜80が除去される。第1保護膜70が形成される。第2金属膜60が形成される。第1保護膜70が除去される。プリント配線板1(図1)が得られる。 Subsequent steps are in common with the first modified example described above. A first metal layer 50 is formed on the first pad 10 exposed through the first opening 32 . The second protective film 80 is removed. A first protective film 70 is formed. A second metal film 60 is formed. The first protective film 70 is removed. A printed wiring board 1 (FIG. 1) is obtained.

[実施形態の第3改変例]
実施形態の第3改変例とそれ以外の実施形態(実施形態、第1改変例、第2改変例、第2改変例の別例)はほぼ同様である。異なる点が以下に示される。第3改変例では、第1金属膜50と第2金属膜60が同じ金属によって形成される。
[Third modified example of the embodiment]
The third modified example of the embodiment and other embodiments (embodiment, first modified example, second modified example, another example of the second modified example) are substantially the same. The points of difference are shown below. In a third modification, the first metal film 50 and the second metal film 60 are made of the same metal.

1 :プリント配線板
2 :コア基板
2a :上面
2b :下面
4 :樹脂絶縁層
6 :樹脂絶縁層
10 :第1パッド
12 :第1凹凸
20 :第2パッド
22 :第2凹凸
30 :第1ソルダーレジスト層
32 :第1開口
40 :第2ソルダーレジスト層
42 :第2開口
50 :第1金属膜
60 :第2金属膜
70 :第1保護膜
80 :第2保護膜
1: Printed wiring board 2: Core substrate 2a: Top surface 2b: Bottom surface 4: Resin insulation layer 6: Resin insulation layer 10: First pad 12: First unevenness 20: Second pad 22: Second unevenness 30: First solder Resist layer 32 : First opening 40 : Second solder resist layer 42 : Second opening 50 : First metal film 60 : Second metal film 70 : First protective film 80 : Second protective film

Claims (9)

最上の樹脂絶縁層を形成することと、
前記最上の樹脂絶縁層上に電子部品を搭載するための第1パッドを形成することと、
前記第1パッドの表面に第1凹凸を形成することと、
前記最上の樹脂絶縁層と前記第1パッド上に前記第1パッドを露出するための第1開口を有する第1ソルダーレジスト層を形成することと、
前記第1開口から露出する前記第1凹凸の大きさを小さくすることで前記第1開口から露出する前記第1パッドの上面の算術平均粗さ(Ra)を0.5μm以下にすることと、
前記第1凹凸の大きさを小さくすることの後に前記第1ソルダーレジスト層と前記第1開口上に第1保護膜を形成することと、
最下の樹脂絶縁層を形成することと、
前記最下の樹脂絶縁層上にマザーボードと接続するための第2パッドを形成することと、
前記第2パッドの表面に第2凹凸を形成することと、
前記最下の樹脂絶縁層と前記第2パッド上に前記第2パッドを露出するための第2開口を有する第2ソルダーレジスト層を形成することと、
前記第1保護膜を形成することの後に前記第2開口から露出する前記第2パッド上に第2金属膜を形成することと、
前記第2金属膜を形成することの後に前記第1保護膜を除去すること、とを含むプリント配線板の製造方法。
forming an uppermost resin insulation layer;
forming a first pad for mounting an electronic component on the uppermost resin insulation layer;
forming a first unevenness on the surface of the first pad;
forming a first solder resist layer having a first opening for exposing the first pad on the uppermost resin insulation layer and the first pad;
making the arithmetic mean roughness (Ra) of the upper surface of the first pad exposed from the first opening smaller than 0.5 μm by reducing the size of the first unevenness exposed from the first opening;
forming a first protective film on the first solder resist layer and the first opening after reducing the size of the first unevenness;
forming a lowermost resin insulation layer;
forming a second pad for connection with a motherboard on the lowermost resin insulation layer;
forming second unevenness on the surface of the second pad;
forming a second solder resist layer having a second opening for exposing the second pad on the lowermost resin insulation layer and the second pad;
forming a second metal film on the second pad exposed from the second opening after forming the first protective film;
and removing the first protective film after forming the second metal film.
請求項1のプリント配線板の製造方法であって、さらに、前記第2開口から露出する前記第2凹凸の大きさを小さくすることで前記第2開口から露出する前記第2パッドの上面の算術平均粗さ(Ra)を0.5μm以下にすることと、前記第2凹凸の大きさを小さくすることの後に前記第2ソルダーレジスト層と前記第2開口上に第2保護膜を形成することと、前記第2保護膜を形成することの後に前記第1開口から露出する前記第1パッド上に第1金属膜を形成することと、前記第1金属膜を形成することの後に前記第2保護膜を除去すること、とを含む。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1, further comprising reducing the size of the second unevenness exposed from the second opening, thereby reducing the size of the upper surface of the second pad exposed from the second opening. making the average roughness (Ra) 0.5 μm or less; and forming a second protective film on the second solder resist layer and the second opening after reducing the size of the second unevenness. forming a first metal film on the first pad exposed from the first opening after forming the second protective film; forming the first metal film and then forming the second metal film; and removing the overcoat. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第1金属膜を形成する第1金属は前記第2金属膜を形成する第2金属と異なる。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein the first metal forming the first metal film is different from the second metal forming the second metal film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第1金属膜は、ニッケル膜と前記ニッケル膜上の金膜、または、ニッケル膜と前記ニッケル膜上のスズ膜、または、ニッケル膜と前記ニッケル膜上のパラジウム膜と前記パラジウム膜上の金膜で形成されており、前記第2金属膜は、ニッケル膜と前記ニッケル膜上の金膜、または、ニッケル膜と前記ニッケル膜上のスズ膜、または、ニッケル膜と前記ニッケル膜上のパラジウム膜と前記パラジウム膜上の金膜で形成されている。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein the first metal film comprises a nickel film and a gold film over the nickel film, a nickel film and a tin film over the nickel film, or a nickel film. The second metal film is formed of a palladium film on the nickel film and a gold film on the palladium film, and the second metal film is the nickel film and the gold film on the nickel film, or the nickel film and the tin film on the nickel film. film, or a nickel film, a palladium film on the nickel film, and a gold film on the palladium film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第2保護膜を形成することは前記第1保護膜を除去することの後に行われる。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein forming the second protective film is performed after removing the first protective film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第1保護膜を形成することは前記第2保護膜を除去することの後に行われる。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein forming the first protective film is performed after removing the second protective film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第2凹凸の大きさを小さくすることは前記第1保護膜を形成することの後に行われる。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein reducing the size of said second unevenness is performed after forming said first protective film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第1凹凸の大きさを小さくすることは前記第2保護膜を形成することの後に行われる。 3. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein reducing the size of said first unevenness is performed after forming said second protective film. 請求項2のプリント配線板の製造方法であって、前記第1凹凸の大きさを小さくすること前記第2凹凸の大きさを小さくすることは同時に行われる。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 2, wherein reducing the size of said first unevenness and reducing the size of said second unevenness are performed at the same time.
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