KR101074383B1 - Lipuid crystal display device and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 상,하부기판의 공통전극을 연결시키기 위해서, 종래의 은접점 대신에 전도성 볼 스페이서가 섞인 실 라인을 구성한 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 액정표시장치는 상,하부기판과 그 사이에 충진된 액정층으로 구성된 액정패널과; 상기 하부기판의 일측 또는 양측 상부에 실장된 게이트 구동부와; 소오스 인쇄회로기판에 각각 연결되어 있는 복수개의 데이터 드라이버들로 구성된 데이터 구동부와; 상기 게이트 구동부와 데이터 구동부에 제어신호 및 화상정보를 출력하는 타이밍 제어부와; 상기 타이밍 제어부로부터 출력된 제어신호를 상기 게이트 구동부로 입력시키기 위해 일방향으로 배열된 제어신호 라인들과; 상기 제어신호 라인 또는 게이트 구동부 상부에 일방향으로 구성된 투명 도전막과; 상기 투명 도전막 상부에 적층 형성된 절연막과; 상기 합착된 상,하부기판 사이의 외곽부를 따라서 형성되고, 상기 제어신호 라인 또는/및 게이트 구동부의 상부에 오버랩되도록 형성되며, 전도성 볼 스페이서를 구비하여 구성된 씰 라인(seal line)을 포함함을 특징으로 한다.
실 라인, 전도성 볼 스페이서, 절연막
The present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the liquid crystal display comprising a seal line mixed with conductive ball spacers in place of the conventional silver contact point in order to connect the common electrodes of the upper and lower substrates. The liquid crystal display device comprises: a liquid crystal panel comprising upper and lower substrates and a liquid crystal layer filled therebetween; A gate driver mounted on one side or both sides of the lower substrate; A data driver comprising a plurality of data drivers respectively connected to the source printed circuit board; A timing controller which outputs a control signal and image information to the gate driver and the data driver; Control signal lines arranged in one direction to input a control signal output from the timing controller to the gate driver; A transparent conductive film formed in one direction on the control signal line or the gate driver; An insulating film stacked on the transparent conductive film; And a seal line formed along an outer portion between the bonded upper and lower substrates and overlapping the control signal line or the gate driver, and including a conductive ball spacer. It is done.
Seal line, conductive ball spacer, insulating film
Description
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 레이아웃도 1 is a layout diagram of a liquid crystal display according to the related art.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 레이아웃도 2 is a layout diagram of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 액정패널 에지영역에 위치한 회로부와 화소영역을 자른 구조 단면도3 is a cross-sectional view of a circuit portion and a pixel region disposed in an edge region of a liquid crystal panel according to the present invention.
도 4는 도 3에서 투명 도전막 상에 절연막을 형성하지 않았을 경우의 문제가 되는 액정패널 에지영역에 위치한 회로부와 화소영역을 자른 구조 단면도 FIG. 4 is a cross-sectional view of a circuit portion and a pixel region disposed in an edge region of a liquid crystal panel which is a problem when an insulating film is not formed on a transparent conductive film in FIG.
도 5a 내지 도 5k는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정 단면도 5A through 5K are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
30 : 상부기판 31 : 게이트 구동부 30: upper substrate 31: gate driver
32 : 데이터 TCP 33 : 소오스 인쇄회로기판32: data TCP 33: source printed circuit board
34 : 데이터 구동부 35 : 제어신호 라인 34: data driver 35: control signal line
40 : 액정패널 41 : 화소부 40: liquid crystal panel 41: pixel portion
42 : 씰 라인 43 : 씰런트 42: seal line 43: sealant
43a : 전도성 볼 스페이서 50 : 하부기판 43a: conductive ball spacer 50: lower substrate
51a : 구동 배선 51b : 클럭 라인 51a: drive
51c : 게이트 전극 51d : 도전성 패턴 51c:
52 : 게이트 절연막 53 : 비정질 실리콘층 52: gate insulating film 53: amorphous silicon layer
53a : 활성층 54 : n+ 비정질 실리콘층53a: active layer 54: n + amorphous silicon layer
54a : 오믹 콘택층 55 : 제 1 금속층 54a: ohmic contact layer 55: first metal layer
55a : 제 1 금속패턴 55b : 제 2 금속패턴 55a:
55c : 입력 신호 라인 55d : 데이터 라인 55c:
55e : 소오스 전극 55f : 드레인 전극 55e:
56 : 제 1 포토레지스트 패턴 57 : 보호막 56: first photoresist pattern 57: protective film
58 : 제 2 포토레지스트 패턴 58: second photoresist pattern
58a,58b,58c,58d,58e : 제 1, 제 2, 제 3, 제 4, 제 5 콘택홀58a, 58b, 58c, 58d, 58e: 1st, 2nd, 3rd, 4th, 5th contact hole
59 : 투명 도전막 59a, 59b : 제 1, 제 2 투명 도전막59: transparent
59c : 화소전극 60 : 절연막 59c: pixel electrode 60: insulating film
61 : 제 3 포토레지스트 패턴 71 : 블랙매트릭스층 61: third photoresist pattern 71: black matrix layer
72 : 칼라필터층 73 : 공통전극 72: color filter layer 73: common electrode
본 발명은 액정표시장치에 대한 것으로, 특히 하부기판에 게이트 구동부가 내장된 액정패널에서 상,하부기판의 공통전극을 전도성 볼 스페이서가 섞인 씰 라 인으로 구성할 때, 상판과 구동회로의 전기적 쇼트를 방지할 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device. In particular, in a liquid crystal panel in which a gate driver is embedded in a lower substrate, when the common electrode of the upper and lower substrates is formed of a seal line in which conductive ball spacers are mixed, an electrical short circuit between the upper plate and the driving circuit is performed. It relates to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same that can prevent the.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, the LCD (Lipuid Crystal Display Device), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro Luminescent Display), and VFD (Vacuum Fluorescent) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention, a variety of applications such as a television, a computer monitor, and the like for receiving and displaying broadcast signals have been developed.
이하, 첨부 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 액정표시장치에 대하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a liquid crystal display according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 레이아웃도이다. 1 is a layout diagram of a liquid crystal display according to the prior art.
종래 기술에 따른 액정표시장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 상,하부기판(10, 11)과 그 사이에 충진된 액정층(미도시)으로 구성된 액정패널(20)과, 하부기판(11)의 에지영역에 복수개의 게이트 드라이버로 구성된 게이트 구동부(12)와, 데이터 TCP(13)에 의해서 소오스 인쇄회로기판(14)에 각각 연결되어 있는 복수개의 드라이버들로 구성된 데이터 구동부(15)와, 상기 상,하부기판(10,11) 사이의 가장 자리에 형성되어 상,하부기판(10,11)을 합착시킨 씰 라인(seal line)(16)으로 구성되어 있다. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display according to the related art includes an upper and
상기에서 게이트 구동부(12)와 데이터 구동부(15)를 연결하는 IC는 FPC 또는 COF와 같은 방법을 사용한다. 도 1에는 게이트 COF를 적용한 예를 도시하였다. The IC connecting the
상기 게이트 구동부(12)와 데이터 구동부(15)에 제어신호 및 화상정보를 출력하는 타이밍 제어부(미도시)가 더 구비되어 있다. A timing controller (not shown) for outputting control signals and image information to the
상기에서 액정패널(20)의 내부에는 화상이 표시되는 화소부(21)가 정의되어 있고, 상기 하부기판(11)에는 수직 교차되어 매트릭스 형태의 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인 및 데이터라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 정의된 각 화소영역에 형성된 복수개의 화소전극과, 상기 게이트 라인의 신호에 따라 상기 데이터 라인의 신호를 각 화소전극에 인가하는 복수개의 박막트랜지스터(TFT)가 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 부분에 형성된다. In the
상기에서 박막 트랜지스터는 게이트라인의 일측에서 돌출된 게이트전극과, 게이트전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과, 게이트전극을 포함한 상부에 오버랩되어 있는 활성층과, 상기 데이터 라인의 일측에서 오버랩되며 게이트전극 일측에 오버랩되어 있는 소오스전극과, 상기 소오스전극과 이격되어 있는 드레인전극으로 구성된다. The thin film transistor includes a gate electrode protruding from one side of a gate line, a gate insulating film formed on the front surface including the gate electrode, an active layer overlapping an upper portion including the gate electrode, and a gate electrode overlapping at one side of the data line. And a source electrode overlapping each other, and a drain electrode spaced apart from the source electrode.
그리고 상기 데이터라인을 포함한 상부에 드레인전극에 제 1 콘택홀을 갖도록 보호막이 형성되어 있고, 제 1 콘택홀을 통해서 드레인전극과 화소전극이 콘택되어 있다. In addition, a passivation layer is formed on the drain electrode including the data line to have a first contact hole, and the drain electrode and the pixel electrode are contacted through the first contact hole.
그리고 상부기판(10)에는 도면에는 도시되어 있지 않지만, 블랙 매트릭스에 의해 화소영역별로 분리되어 도포된 칼라필터층과, 상기 화소전극의 상대 전극인 공통전극이 구비되어 있다. Although not shown in the drawing, the
상기 구성을 갖는 액정표시장치에서 액정은 상,하부기판(10,11) 사이에 구성된 공통전극과 화소전극에 전압이 인가됨에 의해서 구동한다. 따라서 상,하부기판(10,11)의 공통전극과 화소전극에 전압을 인가시키기 위해서는 공통전극이 화소전극과 연결되어 있어야 한다. 이를 위하여 일반적으로 상,하부기판(10,11) 사이에 은접점(Ag-Dot)(17)을 구비시킨다. 도 1에는 상하좌우 4부분의 모서리에 은접점(17)을 위치시켰다. In the liquid crystal display having the above configuration, the liquid crystal is driven by applying a voltage to the common electrode and the pixel electrode formed between the upper and
그러나, 상기 은접점(17)을 형성하는 공정은 그 공정이 복잡하여 많은 시간을 필요로 한다는 문제가 있다. However, the process of forming the
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로 특히, 상,하부기판의 공통전극을 연결시키기 위해서, 종래의 은접점 대신에 전도성 볼 스페이서가 섞인 실 라인을 구성한 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, in order to connect the common electrodes of the upper and lower substrates, a liquid crystal display device comprising a seal line in which conductive ball spacers are mixed instead of a conventional silver contact point and a manufacturing method thereof. The purpose is to provide.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치는 상,하부기판과 그 사이에 충진된 액정층으로 구성된 액정패널과; 상기 하부기판의 일측 또는 양측 상부에 실장된 게이트 구동부와; 소오스 인쇄회로기판에 각각 연결되어 있 는 복수개의 데이터 드라이버들로 구성된 데이터 구동부와; 상기 게이트 구동부와 데이터 구동부에 제어신호 및 화상정보를 출력하는 타이밍 제어부와; 상기 타이밍 제어부로부터 출력된 제어신호를 상기 게이트 구동부로 입력시키기 위해 일방향으로 배열된 제어신호 라인들과; 상기 제어신호 라인 또는 게이트 구동부 상부에 일방향으로 구성된 투명 도전막과; 상기 투명 도전막 상부에 적층 형성된 절연막과; 상기 합착된 상,하부기판 사이의 외곽부를 따라서 형성되고, 상기 제어신호 라인 또는/및 게이트 구동부의 상부에 오버랩되도록 형성되며, 전도성 볼 스페이서를 구비하여 구성된 씰 라인(seal line)을 포함함을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising: a liquid crystal panel including upper and lower substrates and a liquid crystal layer filled therebetween; A gate driver mounted on one side or both sides of the lower substrate; A data driver comprising a plurality of data drivers respectively connected to the source printed circuit board; A timing controller which outputs a control signal and image information to the gate driver and the data driver; Control signal lines arranged in one direction to input a control signal output from the timing controller to the gate driver; A transparent conductive film formed in one direction on the control signal line or the gate driver; An insulating film stacked on the transparent conductive film; And a seal line formed along an outer portion between the bonded upper and lower substrates and overlapping the control signal line or the gate driver, and including a conductive ball spacer. It is done.
상기 상,하부기판이 합착된 상기 액정패널의 내부에는 화상이 표시되는 화소부가 정의되어 있고, 상기 하부기판의 화소부에는, 수직 교차되어 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인 및 데이터라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 정의된 각 화소영역에 형성된 복수개의 화소전극과, 상기 화소전극 상부에 적층 형성된 절연막과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 부분에 형성된 복수개의 박막트랜지스터와, 상기 상부기판의 화소부에는 블랙 매트릭스에 의해 화소영역별로 분리되어 도포된 칼라필터층과, 상기 화소전극의 상대 전극인 공통전극이 구비되어 있음을 특징으로 한다. A pixel portion for displaying an image is defined in the liquid crystal panel to which the upper and lower substrates are bonded; a plurality of gate lines and data lines vertically intersecting to define pixel regions in the pixel portion of the lower substrate; A plurality of pixel electrodes formed in each pixel region defined by each gate line and data line, an insulating film stacked on the pixel electrode, a plurality of thin film transistors formed at an intersection portion of each gate line and data line, The pixel portion of the upper substrate is provided with a color filter layer separated and applied to each pixel region by a black matrix, and a common electrode serving as a counter electrode of the pixel electrode.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 하부기판의 일측 또는 양측 상부에 실장된 게이트 구동부와, 상기 게이트 구동부에 제어신호를 출력하기 위한 제어신호 라인을 포함하며, 상기 하부기판에 구동 회로부와 화소부가 제 1, 제 2 영역으로 정의된 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 제 1 마 스크를 이용하여 상기 제 1 영역에 일방향으로 게이트 구동 배선과 제어신호 라인을 형성하고, 상기 제 2 영역에 게이트라인과 게이트전극 형성하는 제 1 단계; 제 2 마스크를 이용하여 상기 제 1 영역에 입력 신호 라인을 형성하고, 상기 제 2 영역에 상기 게이트라인과 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 데이터 라인과, 소오스 전극과 드레인 전극을 형성하는 제 2 단계; 상기 기판 전면에 보호막을 형성하는 제 3 단계; 제 3 마스크를 이용하여 상기 제 1 영역의 상기 구동 배선에는 제 1 콘택홀, 상기 입력 신호 라인의 양측 상부에는 제 2, 제 3 콘택홀, 상기 제어신호 라인에는 제 4 콘택홀을 형성하고, 상기 제 2 영역의 상기 드레인 전극 상에는 제 5 콘택홀을 형성하는 제 4 단계; 제 4 마스크를 이용하여 상기 제 1 영역의 상기 제 1 콘택홀에서 상기 제 2 콘택홀에는 제 1 투명 도전막 및 절연막을 적층 형성하고, 상기 제 3 콘택홀에서 상기 제 4 콘택홀에는 제 2 투명 도전막 및 절연막을 적층 형성하고, 상기 제 2 영역의 상기 화소영역에는 상기 제 5 콘택홀에 콘택되도록 화소전극과 절연막을 적층 형성하는 제 5 단계; 상기 하부기판의 외곽부를 에워싸도록 전도성 볼 스페이서가 섞인 씨일재를 형성하는 제 6 단계를 포함함을 특징으로 한다. The manufacturing method of the liquid crystal display according to the present invention having the above configuration includes a gate driver mounted on one side or both sides of a lower substrate, and a control signal line for outputting a control signal to the gate driver. In the method of manufacturing a liquid crystal display device in which a driving circuit portion and a pixel portion are defined as first and second regions on a substrate, a gate driving wiring and a control signal line are formed in one direction in the first region by using a first mask, Forming a gate line and a gate electrode in the second region; An input signal line in the first region using a second mask, and a data line arranged vertically and horizontally with the gate line in the second region to define a pixel region, a second electrode forming a source electrode and a drain electrode; step; Forming a passivation layer on the entire surface of the substrate; A first contact hole is formed in the driving wiring of the first region by using a third mask, second and third contact holes are formed on both sides of the input signal line, and a fourth contact hole is formed in the control signal line; A fourth step of forming a fifth contact hole on the drain electrode of the second region; A first transparent conductive film and an insulating film are formed in the second contact hole in the first contact hole of the first region by using a fourth mask, and a second transparent hole is formed in the fourth contact hole in the third contact hole. A fifth step of stacking a conductive film and an insulating film, and stacking a pixel electrode and an insulating film on the pixel area of the second area so as to contact the fifth contact hole; And a sixth step of forming a seal material in which conductive ball spacers are mixed so as to surround an outer portion of the lower substrate.
상기 제 6 단계에서, 상기 씨일재는 상기 화소부 외부의 상기 제어신호 라인 또는 상기 게이트 구동부 상부에 오버랩되도록 형성하는 것을 특징으로 한다. In the sixth step, the seal member may be formed to overlap the control signal line or the gate driver outside the pixel unit.
상기 제 2 단계는, 상기 하부기판 상에 비정질 실리콘층, n+ 비정질 실리콘층, 그리고 제 1 금속층을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 제 1 금속층 상의 상기 박막 트랜지스터의 채널부에 회절 노광부를 갖고, 상기 제 1 영역의 상기 입력 신 호 라인 형성 상부에 형성된 상기 제 2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정으로 상기 채널부에서만 얇은 두께를 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 이용한 습식각 공정으로 상기 제 1 금속층을 패터닝하여 상기 데이터 라인, 상기 소오스 전극, 상기 소오스 전극과 일체화된 드레인 전극으로 구성된 소오스/드레인 패턴을 형성하는 단계; 상기 동일한 포토레지스트 패턴을 이용한 건식 식각공정으로 상기 n+ 비정질 실리콘층과 상기 비정질 실리콘층을 패터닝하여 상기 제 1 영역에 입력 신호 라인 및 상기 제 2 영역에 오믹 접촉층과 활성층을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 애싱(Ashing)한 후, 이를 마스크로 건식 식각하여 상기 채널부의 상기 소오스/드레인 패턴 및 오믹접촉층을 식각하여 상기 소오스 전극과 상기 드레인 전극을 분리하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 한다. The second step may include sequentially forming an amorphous silicon layer, an n + amorphous silicon layer, and a first metal layer on the lower substrate; It has a diffraction exposure portion in the channel portion of the thin film transistor on the first metal layer, and has a thin thickness only in the channel portion in the photolithography process using the second mask formed on the input signal line formation of the first region. Forming a photoresist pattern; Patterning the first metal layer by a wet etching process using the photoresist pattern to form a source / drain pattern including the data line, the source electrode, and a drain electrode integrated with the source electrode; Patterning the n + amorphous silicon layer and the amorphous silicon layer by a dry etching process using the same photoresist pattern to form an ohmic contact layer and an active layer in the first region and the second region; Ashing the photoresist pattern and then dry etching the mask with the mask to etch the source / drain pattern and the ohmic contact layer of the channel part to separate the source electrode and the drain electrode; And removing the photoresist pattern.
상기 씨일재를 형성한 후, 상기 하부기판과 이에 대향되는 상면에 상부기판을 합착시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다. After forming the seal material, further comprising the step of bonding the upper substrate on the lower substrate and the upper surface opposite thereto.
첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시장치 및 그의 제조방법에 대하여 설명하면 다음과 같다. Referring to the accompanying drawings, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to an exemplary embodiment of the present invention will be described.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 레이아웃도이고, 도 3은 본 발명에 따른 액정패널 에지영역에 위치한 회로부와 화소영역을 자른 구조 단면도이다. FIG. 2 is a layout view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a circuit part and a pixel area disposed in an edge area of a liquid crystal panel according to the present invention.
그리고 도 4는 도 3에서 제 1, 제 2 투명 도전막 상에 절연막을 형성하지 않았을 경우의 문제가 되는 액정패널 에지영역에 위치한 회로부와 화소영역을 자른 구조 단면도이다. FIG. 4 is a cross-sectional view of the circuit part and the pixel area disposed in the edge area of the liquid crystal panel, which is a problem when the insulating film is not formed on the first and second transparent conductive films in FIG. 3.
본 발명에 따른 액정표시장치는 도 3에 도시한 바와 같이, 상,하부기판(30, 50)과 그 사이에 충진된 액정층(미도시)으로 구성된 액정패널(40)과, 상기 하부기판(50)의 일측 또는 양측 상부에 실장된 복수개의 게이트 드라이버들로 구성된 게이트 구동부(31)와, 데이터 TCP(32)에 의해서 소오스 인쇄회로기판(33)에 각각 연결되어 있는 복수개의 데이터 드라이버들로 구성된 데이터 구동부(34)와, 상기 게이트 구동부(31)와 데이터 구동부(34)에 제어신호 및 화상정보를 출력하는 타이밍 제어부(미도시)로 구성된다. As shown in FIG. 3, the liquid crystal display according to the present invention includes a
상기에서 데이터 구동부(34)는 데이터 TCP(32)를 이용하여 소오스 인쇄회로기판(33)과 연결시키지 않고, 게이트 구동부(31)와 같이 하부기판(50) 상부에 실장시켜 구성시킬 수도 있다. The
그리고 상기 타이밍 제어부로부터 출력된 제어신호를 각 게이트 구동부(31)로 입력시키기 위한 제어신호 라인(35)들이 일방향으로 복수개 배열되어 있다. 이때 타이밍 제어부에서는 제어신호로써, 소정의 클럭신호, 게이트 스타트 신호 및 타이밍 신호를 공급하여 게이트 구동부(31)와 데이터 구동부(34)의 구동 타이밍을 제어한다. In addition, a plurality of
그리고 상기 각 제어신호 라인(35)들에 접속되어 게이트 구동부(31)의 게이트 드라이버들로 신호를 입력시키는 입력신호 라인들(미도시)이 복수개 배열되어 있다. 그리고 도면에는 도시되지 않았지만, 하부기판(50)의 각 게이트 패드부에 순차적으로 주사신호를 출력하기 위해서 게이트 구동부(31)로부터 화소부(41)의 각 게이트 패드부로 출력신호 라인들이 연결되어 있다. A plurality of input signal lines (not shown) connected to the
상기에서 액정패널(40)의 내부에는 화상이 표시되는 화소부(41)가 정의되어 있고, 상기 하부기판(50)에는 수직 교차되어 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인 및 데이터라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 정의된 각 화소영역에 형성된 복수개의 화소전극과, 상기 게이트 라인의 신호에 따라 상기 데이터 라인의 신호를 각 화소전극에 인가하는 복수개의 박막트랜지스터가 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 부분에 형성된다. 그리고 상부기판(30)에는 블랙 매트릭스에 의해 화소영역별로 분리되어 도포된 칼라필터층과, 상기 화소전극의 상대 전극인 공통전극이 구비되어 있다. In the
상기 게이트 라인에 순차적으로 턴온(turn on) 신호를 인가하면 그 때마다 해당 라인의 화소전극에 데이터 신호가 인가되므로 영상이 표시된다.When a turn on signal is sequentially applied to the gate line, an image is displayed because a data signal is applied to the pixel electrode of the corresponding line.
그리고 상기 상,하부기판(30, 50)이 합착되는 외곽부를 따라서 씰 라인(seal line)(42)이 형성되어 있는데, 상기 씰 라인(42)은 상기 제어신호 라인(35) 또는/및 게이트 구동부(31)의 상부에 오버랩되어 있다. A
상기 씰 라인(42)은 상기 상,하부기판(30,60)의 공통전극(투명 도전막)을 전기적으로 연결하기 위해서, 전도성 볼 스페이서(43a)를 씰런트(sealant)(43)에 섞어서 구성하였다.(도 2, 도 3 참조) 도 2에서는 화소부(41) 상부의 씰 라인(42) 부분에서 상,하부기판(30)의 공통전극과 연결된다. 예를 들어서 'B'영역에서 이와 같이 연결된다. The
이에 의해서, 종래의 은접점(Ag-Dot)을 구비시키지 않고, 씰 라인(42)이 이 를 대신하게 하였다. As a result, the
이때 중요하게 고려할 사항은, 전도성 볼 스페이서를 섞어서 구성한 씰 라인(42)은 도전성을 갖기 때문에 제어신호 라인(35) 또는/및 게이트 구동부(31)와 오버랩 될 경우 제어신호 라인(35)이나 게이트 구동부(31)가 상부기판(30)과 전기적으로 연결되어 회로 구동이 불가능하게 된다. In this case, it is important to consider that since the
상기와 같은 문제없이 전도성 볼 스페이서를 씰런트에 섞어서 씰 라인(42)을 구성하기 위해서, 구동회로 전체 즉, 게이트 구동부(31)와 제어신호 라인(35)을 씰 라인(42) 안쪽에 배치하는 것도 생각할 수 있으나, 이렇게 구성하면 액정패널 전체의 크기가 증가하게 되는 문제가 발생한다. 상기 액정패널의 크기는 국제 규격으로 정해져 있으며, 임의 변경이 불가능하다. 따라서 구동회로 내장 액정패널의 경우 회로 내장을 위한 면적이 제한 것이다. 예를 들어 14~17" XGA급 노트북 컴퓨터용 액정패널의 경우에는 씰 라인(42) 안쪽으로 구동회로 전체를 구현하는 것은 불가능하며, 제어신호 라인 또는 게이트 구동부에 오버랩되도록 씰 라인(42)이 위치하게 된다. In order to form the
상기와 같이 전도성 볼 스페이서를 씰런트에 섞어 씰 라인(42)을 구성하기 위해서는 제어신호 라인(35) 또는/및 게이트 구동부(31) 상부에 위치한 씰 라인(42)속의 전도성 볼 스페이서에 의해서 제어신호 라인(35)과 게이트 구동부(31)가 상부기판(30)의 공통전극과 서로 연결되지 않고, 절연 상태를 유지해야 한다. In order to form the
그러나, 도 4에 도시한 바와 같이, 신호선 연결을 위해서 투명 도전막(ITO)을 이용하기 때문에 신호선 최상단에 투명 도전막(ITO)이 노출되어 전도성 볼 스페 이서에 의해서 상부기판(30)의 공통전극이 제어신호 라인과 전기적으로 연결된다. However, as shown in FIG. 4, since the transparent conductive film ITO is used to connect the signal lines, the transparent conductive film ITO is exposed at the top of the signal line, so that the common electrode of the
본 발명은 전도성 볼 스페이서를 씰런트에 섞어서 씰 라인(42)을 구성시킬 때, 상기와 같이 상부기판(30)과 제어신호 라인(35)이 전기적으로 연결되는 문제를 해결하기 위한 것으로, 도 3에 도시한 바와 같이, 제어신호 라인(35)에 오버랩된 투명 도전막(ITO)상부에는 절연막을 적층 형성하여, 제어신호 라인(35)과 투명 도전막을 상부기판(30)과 절연시키고, 상부기판(30)의 공통전극(73)과 하부기판(50)의 화소전극은 서로 연결시킬 수 있다. The present invention is to solve the problem that the
이하, 도면을 참조하여 액정패널 에지에 즉, 도 2의 'A'영역의 구동 회로부와 화소부의 단면 구조를 좀 더 자세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a cross-sectional structure of the driving circuit unit and the pixel unit of the liquid crystal panel edge, that is, the region 'A' of FIG. 2 will be described in detail with reference to the drawings.
상기에서 구동 회로부는 제어신호 라인(이하에서는 클럭라인으로 예시하여 설명함) 및 게이트 구동부가 위치한 부분을 일컷는다. In the above description, the driving circuit unit cuts portions of the control signal line (hereinafter, exemplarily described as a clock line) and the gate driver.
설명의 편의를 위하여 구동 회로부는 제 1 영역, 화소부는 제 2 영역이라고 정의하여 기술하고자 한다. For convenience of description, the driving circuit unit is defined as a first region and the pixel unit is defined as a second region.
도 3에 도시한 바와 같이, 하부기판(50)의 제 1 영역에는 일방향으로 배열된 게이트 구동 배선(51a)과, 제어 신호 라인을 이루는 클럭 라인(51b)이 형성되어 있다. 그리고 제 2 영역에는 게이트 라인이 일방향으로 배열되어 있고, 그의 일측에서 돌출된 게이트전극(51c)이 구비되어 있다. As shown in FIG. 3, the
그리고 상기 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b)과 게이트 전극(51c)을 포함한 하부기판(50) 상부에 게이트 절연막(52)이 형성되어 있다. The
상기 게이트 절연막(52)은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiO2)으로 형성할 수 있다. The
제 1 영역의 상기 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b) 사이의 하부기판(50)상에는 도전성 패턴(51d)과, 상기 도전성 패턴(51d) 상부 전면에 게이트 절연막(52)과, 상기 도전성 패턴(51d)을 포함한 게이트 절연막(52)상에 비정질 실리콘층(53)과 n+ 비정질 실리콘층(54)과 제 1 금속 패턴(55a)이 적층된 입력 신호 라인(55c)이 형성되어 있다. A
제 2 영역의 게이트전극(51c)을 포함한 게이트 절연막(52)의 일영역 상부에는 비정질 실리콘층으로 구성된 활성층(53a)이 형성되어 있다. An
그리고 상기 게이트 라인(미도시)과 수직 교차하여 화소영역을 정의하도록 데이터 라인(55d)이 형성되어 있고, 데이터라인(55d)의 일측에서 돌출되어 있으며 게이트 전극(51c)의 일측 상부에 오버랩 되도록 소오스 전극(55e)이 형성되어 있고, 소오스 전극(55e)과 이격되어 게이트 전극(51c) 타측 상부에 오버랩 되도록 드레인 전극(55f)이 형성되어 있다. 그리고 상기 활성층(53a)과 소오스 전극(55e) 및 드레인 전극(55f)의 사이에는 n+ 비정질 실리콘층으로 구성된 오믹 콘택층(54a)이 형성되어 있다. In addition, a
상기 제 1 영역의 입력 신호 라인(55c)은 상기 데이터라인과 동일층상에 형성된다. The
그리고, 상기 데이터라인(55d) 및 입력신호 라인(55c)을 포함한 하부기판 (50) 전면에 보호막(57)이 형성되어 있는데, 제 1 영역의 구동 배선(51a)에는 제 1 콘택홀(58a)이 형성되어 있고, 입력 신호 라인(55c)의 양측에는 제 2, 제 3 콘택홀(58b, 58c)이 형성되어 있고, 클럭 라인(51b)에는 제 4 콘택홀(58d)이 형성되어 있으며, 제 2 영역의 드레인 전극(55f) 상에는 제 5 콘택홀(58e)이 형성되어 있다. The
그리고 제 1 영역의 제 1 콘택홀(58a)에서 제 2 콘택홀(58b)에는 제 1 투명 도전막(59a)이 형성되어 있고, 제 1 영역의 제 3 콘택홀(58c)에서 제 4 콘택홀(58d)에는 제 2 투명 도전막(59b)이 형성되어 있다. 그리고 제 2 영역의 제 5 콘택홀(58e)에는 화소전극(59c)이 형성되어 있다. A first transparent
상기 입력 신호 라인(55c)은 제 1 투명 도전막(59a)과 제 2 투명 도전막(59b)을 연결하여 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b)을 서로 연결시킨다. The
상기에서 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b)과 화소전극(59c)의 상부에는 각각 절연막(60)이 적층 구성되어 있다. In the above, an insulating
그리고 상부기판(30)에는 화소영역을 제외한 영역에 블랙 매트릭스층(71)이 형성되어 있고, 상기 블랙 매트릭스층(71)을 포함한 상부기판(30)의 전면에는 공통전극(73)이 형성되어 있다. In addition, a
그리고 하부기판(50)의 보호막(57) 및 절연막(60) 상부에 액정패널(40)(도 2 참조)의 외곽부를 따라서 씰 라인(42)이 형성되어 있다. A
상기에서 씰 라인(42)은 상기 클럭 라인(51b)과 구동 배선(51a) 상부에 오버랩되어 있다. In this case, the
상기 씰 라인(42)은 씰런트(43) 내에 전도성 볼 스페이서(43a)를 구비하여 구성되어 있다. 이때 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b)과 화소전극(59c)의 상부에 절연막(60)이 더 구비되어 있으므로, 제 1 영역에서는 씰 라인(42)이 구동배선(51a)과 클럭 라인(51b) 상부에 오버랩되더라도 하부기판(50)과 상부기판(30)이 연결되는 문제는 발생되지 않기 때문에 내장된 회로는 정상 동작한다. The
그리고 내장회로의 구동을 위한 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b) 부분을 제외한 씰 라인(42)에서는 상,하부기판(30, 50)의 공통전극을 연결할 수 있으므로, 종래의 은접점을 제거하여 구성할 수 있다. In addition, since the common lines of the upper and
도 4는 상기에서 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b)과 화소전극(59c)의 상부에 절연막을 구비하지 않았을 경우의 문제를 제시한 도면으로, 도 3과 절연막이 없다는 것을 제외하고는 모두 동일하므로 동일 부호로 나타내었으며, 상기와 같이 구성할 경우, 씰 라인(42)이 제어신호 라인 또는/및 게이트 구동부에 오버랩되어 구성될 경우, 이 부분에서 씰 라인의 전도성 볼 스페이서에 의해서 제어신호 라인 또는/및 게이트 구동부가 상부기판의 공통전극과 쇼트되는 문제가 발생하게 된다. FIG. 4 is a diagram illustrating a problem when no insulating film is provided on the first and second transparent
이하 다른 부분은 동일하므로 설명은 생략하기로 한다. Since other parts are the same, the description thereof will be omitted.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법에 대하여 설명하면 다음과 같다. Next, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described.
도 5a 내지 도 5k는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정 단면도이다. 5A through 5K are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은, 도 5a에 도시한 바와 같이, 하부기판(50)상에 도전성 금속을 증착하고, 제 1 마스크를 이용한 포토 및 식각 공정 을 이용하여 도전성 금속을 패터닝하여, 하부기판(50)의 제 1 영역에는 일방향으로 배열된 게이트 구동 배선(51a)과, 제어 신호 라인을 이루는 클럭 라인(51b)을 형성하고, 제 2 영역에는 일방향으로 배열된 게이트 라인과, 그 일측에서 돌출되는 게이트전극(51c)을 형성한다. 그리고 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b) 사이의 하부기판(50)상에는 도전성 패턴(51d)을 형성한다. First, in the method of manufacturing the liquid crystal display of the present invention, as shown in FIG. 5A, the conductive metal is deposited on the
다음에 도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b)과 게이트 전극(51c)을 포함한 하부기판(50) 상부에 게이트 절연막(52), 비정질 실리콘층(53), n+ 비정질 실리콘층(54), 그리고 소오스/드레인 형성용 제 1 금속층(55)을 순차적으로 형성한다.Next, as shown in FIG. 5B, a
상기 게이트 절연막(52)은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiO2)으로 형성할 수 있다. The
이후에 도 5c에 도시한 바와 같이, 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정으로 제 1 포토레지스트 패턴(56)을 형성한다. 이 경우 제 2 마스크는 제 1 영역에 입력 신호 라인 상부 및 제 1 영역의 박막 트랜지스터 상부에 구성되는데, 박막 트랜지스터의 채널부에 회절 노광부를 갖는 회절 노광 마스크를 이용함으로써 채널부의 제 1 포토레지스트 패턴(56)이 다른 소오스/드레인 패턴부 보다 낮은 높이를 갖게 한다. Subsequently, as illustrated in FIG. 5C, the
이어서, 도 5d에 도시한 바와 같이, 제 1 포토레지스트 패턴(56)을 이용한 습식 식각공정으로 제 1 금속층(55)을 패터닝하여, 제 1 영역에는 입력 신호 라인 형성용 제 1 금속 패턴(55a)을 형성시키고, 제 2 영역에는 데이터 라인, 소오스 전극 및 드레인 전극 형성용 제 2 금속패턴(55b)을 일체화되도록 형성한다. Subsequently, as illustrated in FIG. 5D, the
그 다음, 동일한 제 1 포토레지스트 패턴(56)을 이용한 건식 식각공정으로 n+ 비정질 실리콘층(54)과 비정질 실리콘층(53)을 동시에 패터닝한다. Next, the n +
이에 의해서 제 1 영역에는 비정질 실리콘층(53)과 n+ 비정질 실리콘층(54)과 제 1 금속 패턴(55a)이 적층된 입력 신호 라인(55c)이 형성된다. As a result, an
그리고, 도 5e에 도시한 바와 같이, 제 1 포토레지스트 패턴(56)을 채널부에서 상대적으로 낮은 높이를 갖는 제 1 포토레지스트 패턴(56)이 제거되도록 애싱(Ashing) 공정을 진행한 후, 건식 식각공정으로 채널부의 제 2 금속패턴(55b) 및 n+ 비정질 실리콘층(54)이 식각된다. 이에 따라, 활성층(53a)과, 소오스 전극(55e)과 드레인 전극(55f)이 전기적으로 분리된다. 그리고 게이트라인과 교차 배열되어 화소영역을 정의하도록 데이터라인(55d)이 형성된다. 그리고 소오스 전극(55e)와 활성층(53a) 사이와 드레인 전극(55d)과 활성층(53a) 사이에 오믹 콘택층(54a)이 형성된다. As shown in FIG. 5E, the ashing process is performed such that the
이어서, 스트립 공정으로 제 2 금속패턴(55b) 위에 남아 있는 제 1 포토레지스트 패턴(56)을 제거한다.Subsequently, the
상기 공정에 의해서 게이트전극(51a)과 활성층(53a)과 소오스전극(55e)과 드레인전극(55f)으로 구성된 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된다. Through this process, a thin film transistor (TFT) including a
이후에 도 5f에 도시된 바와 같이, 박막 트랜지스터(TFT)를 포함한 하부기판(50) 전면에 PECVD 등의 증착방법으로 보호막(57)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5F, the
이후에 보호막(57) 상에 포토레지스트를 도포한 후, 제 3 마스크를 이용 포토 및 식각 공정으로 제 2 포토레지스트 패턴(58)을 형성한다. Thereafter, after the photoresist is applied on the
상기 제 2 포토레지스트 패턴(58)을 마스크로 보호막(57)을 식각하여 제 1 영역의 구동 배선(51a)에는 제 1 콘택홀(58a), 입력 신호 라인(55c)의 양측에는 제 2, 제 3 콘택홀(58b,58c), 클럭 라인(51b)에는 제 4 콘택홀(58d)을 형성하고, 제 2 영역의 드레인 전극(55f) 상에는 제 5 콘택홀(58e)을 형성한다. The
이후에 제 2 포토레지스트 패턴(58)을 제거한다. Thereafter, the
다음에 도 5g에 도시한 바와 같이, 전면에 투명 도전막(59)과 절연막(60)을 차례로 증착한 후, 절연막(60)상에 포토레지스트를 도포한 후, 제 4 마스크를 이용 포토 및 식각 공정으로 제 3 포토레지스트 패턴(61)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 5G, after the transparent
도 5h에 도시한 바와 같이, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(61)을 마스크로 절연막(60)과 투명 도전막(59)을 차례로 식각해서, 제 1 영역의 제 1 콘택홀(58a)에서 제 2 콘택홀(58b)에는 제 1 투명 도전막(59a)을 형성하고, 제 1 영역의 제 3 콘택홀(58c)에서 제 4 콘택홀(58d)에는 제 2 투명 도전막(59b)을 형성하고, 제 2 영역의 제 5 콘택홀(58e)에는 화소전극(59c)을 형성한다. As shown in FIG. 5H, the insulating
상기 입력 신호 라인(55c)과 제 1 투명 도전막(59a)과 제 2 투명 도전막(59c)을 통하여 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b)이 서로 연결된다. The driving
상기에서와 같이 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b)과 화소전극(59c)의 상부에 각각 절연막(60)이 더 구비되도록 한다. As described above, the insulating
그리고 도면에는 도시되지 않았지만, 하부기판(50)의 보호막 상에 제 1 배향 막을 형성한다. Although not shown in the figure, a first alignment layer is formed on the protective layer of the
도 5i에 도시한 바와 같이, 상기 하부기판(50)에 상기 구성물들을 형성함과 동시에, 하부기판(50)과 대향되는 상부기판(30)에는 블랙매트릭스(71)와 칼라필터층(72)과 공통전극(73) 및 제 2 배향막(미도시)을 공정 순서에 따라서 순차적으로 형성한다. As shown in FIG. 5I, the components are formed on the
이후에, 도 5j에 도시한 바와 같이, 상,하부기판(30, 50) 사이의 액정이 바깥으로 새는 것을 방지하고, 합착공정시 상,하부기판(30, 50)의 접착을 돕기 위해, 하부기판(50)의 외곽부를 에워싸도록 씰 라인(42)을 형성한다. 상기 씰 라인(42)은 씰런트(43)내에 전도성 볼 스페이서(43a)를 섞어서 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5J, in order to prevent the liquid crystal between the upper and
이때 씰 라인(42)은 화소부 외부의 제어신호 라인() 또는 게이트 구동부() 상부에 오버랩된다.(도 2 참조) At this time, the
다음에 도 5k에 도시한 바와 같이, 상,하부기판(30, 50)을 합착하고, 가열하여 상기 씨일재를 경화시킴으로써 상,하부기판(30, 50)을 접착시킨다. Next, as shown in FIG. 5K, the upper and
상기와 같이 씰 라인(42)에 전도성 볼 스페이서(43a)를 섞어서 형성할 때, 구동 배선(51a)과 클럭 라인(51b)을 연결하기 위한 제 1, 제 2 투명 도전막(59a, 59b)과, 화소전극(59c)의 상부에 각각 절연막(60)을 적층 형성함으로써, 제어신호 라인(35)과 게이트 구동부(31)가 씰 라인(42)에 의해서 상부기판(30)의 공통전극에 쇼트되는 것을 방지시켰다. When the
즉, 액정패널에 게이트 구동부를 내장한 경우, 씰 라인이 상기 게이트 구동부 또는 이에 신호를 인가하기 위한 제어신호 라인에 오버랩 되어 형성되더라도 전 기적으로 연결되지 않아서 내장된 게이트 구동부는 정상 동작을 한다. That is, when the gate driver is embedded in the liquid crystal panel, even though the seal line is formed to overlap the gate driver or the control signal line for applying the signal, the gate driver is not electrically connected and the embedded gate driver operates normally.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention.
따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Accordingly, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the above embodiments, but should be determined by the claims.
상기와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다. The liquid crystal display according to the present invention as described above and a manufacturing method thereof have the following effects.
첫째, 전도성 볼 스페이서가 섞여서 형성된 씰 라인으로 상,하부기판의 공통전극을 연결시킬 수 있으므로 종래의 은접점 공정을 진행하지 않아도 되므로 공정을 단순화시킬 수 있다. First, since the common electrode of the upper and lower substrates may be connected by a seal line formed by mixing the conductive ball spacers, the process may be simplified since the conventional silver contact process may not be performed.
둘째, 내장된 게이트 구동부 또는/및 제어신호 라인 상부에 전도성 볼 스페이서가 섞인 씰 라인을 오버랩 시키더라도, 투명 도전막(ITO)으로 구성된 내장된 게이트 구동부와 제어신호 라인 및 화소전극 상부에 절연막을 적층 형성함으로써, 전도성 볼 스페이서에 의해 내장된 게이트 구동부와 제어신호 라인이 상부기판의 공통전극에 전기적으로 연결되는 것을 방지할 수 있다. Second, even if the seal gate including the conductive ball spacer is mixed on the embedded gate driver or / and the control signal line, the insulating film is stacked on the control signal line and the pixel electrode. By forming, the gate driver and the control signal line embedded by the conductive ball spacer can be prevented from being electrically connected to the common electrode of the upper substrate.
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Families Citing this family (6)
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KR101383776B1 (en) * | 2007-03-28 | 2014-04-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display Substrate, Method of Manufacturing The Same And Liquid Crystal Display Device Having The Same |
KR101641358B1 (en) * | 2009-12-14 | 2016-08-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | Liquid Crystal Display Device and method for manufacturing thereof |
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CN113985661A (en) * | 2021-10-22 | 2022-01-28 | Tcl华星光电技术有限公司 | Display panel and liquid crystal display device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002023662A (en) | 2000-07-11 | 2002-01-23 | Seiko Epson Corp | Electrooptical device and electronic equipment |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9612464B2 (en) | 2013-07-01 | 2017-04-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display |
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