KR101065288B1 - Vacuum pump of cooling - Google Patents

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Abstract

본 발명은 냉각식 진공펌프에 관한 것이다. 더욱 자세하게는 진공펌프의 내부에 냉각수단을 구비함으로써, 전체적인 진공펌프의 외형이 커지는 것을 방지할 수 있으며, 또한 이차적인 냉각수단을 가짐으로써 보다 효율적으로 진공펌프에서 발생되는 열을 냉각시킬 수 있으며, 또한 진공펌프의 작동시 회전축에 조립된 베어링과 기어등에 자동적으로 윤활유를 공급함에 따라 진공펌프를 구성하는 부품들의 수명연장 및 파손을 미연에 방지할 수 있는 냉각식 진공펌프에 관한 것이다. The present invention relates to a cooled vacuum pump. More specifically, by providing a cooling means inside the vacuum pump, it is possible to prevent the appearance of the overall vacuum pump from growing large, and by having a secondary cooling means, it is possible to cool the heat generated in the vacuum pump more efficiently. In addition, the present invention relates to a cooling vacuum pump that can prevent the extension of life and damage of components constituting the vacuum pump by automatically supplying lubricating oil to the bearings and gears, etc. assembled to the rotating shaft during the operation of the vacuum pump.

냉각, 진공펌프, 스크루, 워터재킷, 윤활유, 하우징 Cooling, Vacuum Pumps, Screws, Water Jackets, Lubricants, Housings

Description

냉각식 진공펌프{Vacuum pump of cooling} Vacuum pump of cooling

본 발명은 냉각식 진공펌프에 관한 것이다. 더욱 자세하게는 진공펌프의 가동시 발생하는 열을 냉각수를 이용하여 효율적으로 낮추어 주는 워터재킷을 진공펌프의 내부에 구비함과 아울러 진공펌프의 회전축에 끼워진 베어링 및 기어등에 윤활유를 자동적으로 급유할 수 있는 냉각식 진공펌프에 관한 것이다. The present invention relates to a cooled vacuum pump. More specifically, a water jacket that efficiently lowers the heat generated during operation of the vacuum pump using cooling water is provided inside the vacuum pump, and lubricant oil can be automatically supplied to bearings and gears fitted to the rotary shaft of the vacuum pump. It relates to a cooled vacuum pump.

잘 알려진 바와 같이 진공펌프라 함은 압력차를 이용하여 기체를 강제 이송하는 수단을 말하는 것이며, 이하 첨부된 도 1을 참조하여 종래에 실시되던 진공펌프의 구성을 설명하도록 한다.As is well known, the vacuum pump means a means for forcibly transporting a gas by using a pressure difference. Hereinafter, a configuration of a vacuum pump conventionally implemented will be described with reference to FIG. 1.

종래에 실시되던 진공펌프는 상, 하부에 인입구(102)와 배출구(104)가 구비되어 있고 상부에 압축공간(105)이 형성된 하우징(100)과, 상기 하우징(100)의 내부에 설치되어 기체를 압축할 수 있도록 각각에 스크루(114)가 구비된 구동축(106)과 피동축(108) 및 동력원의 동력발생시 상기 구동축(106)의 동력을 피동축(108)으로 전달하는 구동기어(110)와 피동기어(112)을 포함하여 구성된다. The conventional vacuum pump is provided with an inlet 102 and an outlet 104 at the upper and lower sides, and a housing 100 having a compression space 105 formed thereon, and installed inside the housing 100. Drive gear 106 and a driven shaft 108, each of which is provided with a screw 114, so as to compress the drive gear 110 for transmitting the power of the drive shaft 106 to the driven shaft 108 when the power source is generated And a driven gear 112.

상기와 같이 구성된 진공펌프의 작동관계를 설명하면 동력원의 동력발생시 구동축(106)이 회전하며, 상기 구동축(106)에 조립된 구동기어(110)가 회전하여 상기 구동기어(110)에 치합된 피동기어(112)가 동반회전하게 되며, 상기 피동기어(112)의 회전으로 피동축(108)이 회전하게 된다. Referring to the operation relationship of the vacuum pump configured as described above, the drive shaft 106 is rotated when the power source is generated, the drive gear 110 assembled to the drive shaft 106 is rotated to be engaged with the drive gear 110 The gear 112 is co-rotated, and the driven shaft 108 is rotated by the rotation of the driven gear 112.

상기와 같은 동작으로 구동축(106)과 피동축(108)에 구비된 스크루(114)가 상호 맞물린 상태에서 회전됨으로써 압축공간(105)의 기압은 외부의 기압보다 낮아지게 된다. By rotating in the state in which the screw 114 provided in the drive shaft 106 and the driven shaft 108 are engaged with each other by the above operation, the air pressure of the compression space 105 is lower than the external air pressure.

한편, 상기와 같이 구성된 진공펌프의 작동시에는 압축열이 발생하게 되며, 적절하게 진공펌프의 열을 냉각시켜주지 않게 되면 스크루(114)와 하우징(100) 및 스크루(114)간의 소착이 발생하게 되고, 이로 인하여 진공펌프가 파손되는 문제점이 있었다. On the other hand, during the operation of the vacuum pump configured as described above, the heat of compression is generated, and if the heat of the vacuum pump is not properly cooled, the squeeze between the screw 114 and the housing 100 and the screw 114 may occur. As a result, there was a problem that the vacuum pump is broken.

또한 통상적으로 상기 구동축(106)과 피동축(108)의 외주면에는 축의 원활한 회전을 지지하도록 베어링(116a, 116b)이 끼워지며, 상기 베어링(116a, 116b) 및 구동축(106)과 피동축(108)의 외주면에 끼워진 기어(110, 112)등은 마찰 및 부식으로 인한 파손을 방지하고자 윤활유를 급유해주어야 하나 하우징(100)의 내부에 설치된 베어링(116a, 116b) 및 기어(110, 112)등에게 직접적으로 윤활유를 급유하기란 상당히 어려운 문제점이 있었다. In addition, bearings 116a and 116b are inserted into outer circumferential surfaces of the drive shaft 106 and the driven shaft 108, and the bearings 116a and 116b and the drive shaft 106 and the driven shaft 108 are supported. Gears 110 and 112 fitted to the outer circumferential surface of) should be lubricated to prevent breakage due to friction and corrosion, but to bearings 116a and 116b and gears 110 and 112 installed inside the housing 100. Refueling directly has been a very difficult problem.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 본 발명은 진공펌프의 내부에 설치되어 진공펌프의 작동시 발생하는 열을 보다 효율적으로 냉각시켜줄 수 있는 냉각식 진공펌프를 제공함에 있다. The present invention to solve the above problems is to provide a cooling vacuum pump that can be installed inside the vacuum pump to more efficiently cool the heat generated during operation of the vacuum pump.

또한 본 발명은 진공펌프의 내부에 설치되어 회전축의 원활한 회전을 지지하는 베어링 및 회전축에 조립되어 회전축을 구동시키는 기어등에게 자동적으로 윤활유를 급유할 수 있는 진공펌프를 제공함에 있다. In another aspect, the present invention is to provide a vacuum pump that can be supplied to the inside of the vacuum pump to support the smooth rotation of the rotary shaft and the lubricant to automatically supply the lubricant to the gear to drive the rotary shaft and the like.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되어 구동원의 동력 발생시 회전하여 기체를 압축할 수 있도록 각각에 스크루가 구비된 구동축과 피동축을 포함하여 구성되는 통상적인 진공펌프에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention includes a housing, and a drive shaft and a driven shaft, each of which is provided with a screw so as to compress the gas by rotating when power is generated by the driving source, which is installed inside the housing. In a vacuum pump,

상기 하우징의 내부에는 외부에서 공급된 냉각수로 진공펌프에서 발생한 열을 냉각시키는 워터재킷이 설치되며; 상기 워터재킷은 직사각의 형태로 내부에는 상기 구동축 및 피동축이 통과하기 위한 관통구멍과, 상기 관통구멍 주위로 상기 냉각수를 수용하는 수용공간이 형성된 케이싱으로 구성하되, 상기 케이싱의 일측에는 상기 하우징에 형성되어 있는 제 1유로를 통해 유입된 냉각수를 수용공간으로 흘려 보내는 급수구멍이 형성되고; 상기 케이싱의 타측에는 상기 수용공간에 수용되어 있는 냉각수를 상기 하우징에 형성되어 있는 제 2유로로 배출시키는 배출구멍이 형성되는 것을 특징으로 한다. A water jacket is installed inside the housing to cool the heat generated from the vacuum pump with cooling water supplied from the outside; The water jacket has a rectangular shape and includes a casing having a through hole for passing the drive shaft and a driven shaft therein and a receiving space for accommodating the coolant around the through hole, wherein one side of the casing is disposed in the housing. A water supply hole for flowing the cooling water introduced through the first flow path formed into the accommodation space; The other side of the casing is characterized in that the discharge hole for discharging the cooling water contained in the accommodation space to the second flow path formed in the housing.

또한, 본 발명은 하우징의 아래쪽으로는 윤활유를 저장하는 제 3하우징과; 상기 구동축 및 피동축의 외주면에 형성된 나사산과; 상기 구동축 및 피동축의 내부에는 상기 제 3하우징에 저장된 윤활유를 유입하기 위한 통로와; 상기 통로와 연통하며 상기 통로를 통해 유입된 윤활유를 외부로 배출시키기 위한 토출구멍이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention comprises a third housing for storing the lubricant under the housing; A thread formed on an outer circumferential surface of the drive shaft and the driven shaft; A passage for introducing lubricating oil stored in the third housing in the drive shaft and the driven shaft; A discharge hole is formed in communication with the passage and for discharging the lubricating oil introduced through the passage to the outside.

본 발명은 진공펌프의 내부에 냉각수단을 구비함으로써, 전체적인 진공펌프의 외형이 커지는 것을 방지할 수 있으며, 또한 이차적인 냉각수단을 가짐으로써 보다 효율적으로 진공펌프에서 발생되는 열을 냉각시킬 수 있는 효과를 가져온다.According to the present invention, by providing a cooling means inside the vacuum pump, the overall appearance of the vacuum pump can be prevented from increasing, and by having a secondary cooling means, the heat generated in the vacuum pump can be more efficiently cooled. Bring it.

또한 본 발명은 진공펌프의 작동시 회전축에 조립된 베어링과 기어등에 자동적으로 윤활유를 공급함에 따라 진공펌프를 구성하는 부품들의 수명연장 및 파손을 미연에 방지하는 효과를 가져온다. In addition, the present invention, by automatically supplying lubricating oil to the bearings and gears, etc. assembled to the rotating shaft during the operation of the vacuum pump brings the effect of preventing the extension of life and damage of the components constituting the vacuum pump in advance.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 기술하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 냉각식 진공펌프의 구성을 나타낸 도면이며 도 3은 본 발명에 따른 냉각식 진공펌프에 구비된 워터재킷의 구성을 입체적으로 나타낸 도면이다. 2 is a view showing the configuration of a cooling vacuum pump according to the present invention, Figure 3 is a view showing three-dimensional configuration of the water jacket provided in the cooling vacuum pump according to the present invention.

도시된 바와 같이 냉각식 진공펌프는 상, 하부에 인입구(16)와 배출구(미도 시)가 구비되어 있고 상부에 압축공간(17)이 형성된 하우징(15)과, 상기 하우징(15)의 내부에 설치되어 기체를 압축할 수 있도록 각각에 스크루(26)가 구비된 구동축(18)과 피동축(20) 및 동력원이 외부로부터 전원을 인가받아 동력의 발생시 상기 구동축(18)의 동력을 피동축(20)으로 전달하는 구동기어(22)와 피동기어(24)을 포함하여 구성된다. As shown, the cooled vacuum pump has an inlet 16 and an outlet (not shown) at the top and the bottom thereof, and a housing 15 having a compression space 17 formed thereon, and an interior of the housing 15. Drive shaft 18 and driven shaft 20 and driven shaft 20 and a power source provided with a screw 26 on each of them so as to compress the gas are supplied with power from the outside to generate power of the drive shaft 18 when the power is generated. It comprises a drive gear 22 and the driven gear 24 to be transmitted to 20).

상기 하우징(15)은 제 1하우징(10)과, 제 2하우징(12)과, 제 3하우징(14)으로 나누어져 조립됨으로써, 냉각식 진공펌프의 외형을 이룬다. 상기 제 2하우징(12)의 양측에는 제 1유로(34)와 제 2유로(46)가 형성된다. The housing 15 is divided into a first housing 10, a second housing 12, and a third housing 14 to be assembled to form an external shape of a cooled vacuum pump. The first passage 34 and the second passage 46 are formed at both sides of the second housing 12.

상기 제 1유로(34)는 냉각수를 제 1하우징(10)의 내부에 설치된 워터재킷(35)으로 보내기 위함이며, 상기 워터재킷(35)의 상세구성은 첨부된 도 3에서 도시하고 있다.The first flow path 34 is for sending the cooling water to the water jacket 35 installed inside the first housing 10, and the detailed configuration of the water jacket 35 is shown in FIG. 3.

상기 워터재킷(35)은 진공펌프의 작동시 발생하는 열을 냉각시키는 1차적인 수단이다. 상기 워터재킷(35)은 케이싱(36)과, 수용공간(38)과, 냉각수가 유입되는 급수구멍(42) 및 상기 냉각수를 후술할 챔버(52)로 보내기 위한 배출구멍(44)으로 이루어진다.The water jacket 35 is a primary means for cooling the heat generated during operation of the vacuum pump. The water jacket 35 includes a casing 36, a receiving space 38, a water supply hole 42 through which cooling water is introduced, and a discharge hole 44 for sending the cooling water to a chamber 52 to be described later.

상기 케이싱(36)은 워터재킷(35)의 외형을 이루는 부분으로서, 두개의 관통구멍(40)이 형성되며 상기 관통구멍(40)을 통해 구동축(18) 및 피동축(20)이 끼워지게 된다. The casing 36 constitutes an outer shape of the water jacket 35, and two through holes 40 are formed, and the driving shaft 18 and the driven shaft 20 are fitted through the through holes 40. .

상기 케이싱(36)의 일측에는 제 1유로(34)와 연통하여 냉각수를 수용공간(38)으로 보내기 위한 급수구멍(42)이 형성된다. 상기 급수구멍(42)은 양방향으 로 형성되어 상기 수용공간(38)과 연통되는 바 필요에 따라서는 다수개로 형성될 수 있다. 상기 급수구멍(42)을 통해 유입된 냉각수는 수용공간(38)으로 흘러간다. 상기 수용공간(38)은 냉각수를 일정시간 보관하여 진공펌프의 작동시 발생하는 열을 일차적으로 냉각시키는 곳이다. 상기 수용공간(38)으로 유입된 냉각수는 순환방식에 따라 일정시간 수용공간(38)에 머물다가 지속적으로 유입되는 냉각수에 의해 배출구멍(44)으로 빠져나가게 된다. 상기 배출구멍(44)은 제 2하우징(12)에 형성된 제 2유로(46)와 연통하도록 위치한다. 상기 배출구멍(44) 또한 상기 급수구멍(42)과 동일하도록 양방향으로 형성되며, 필요에 따라 다수개로 형성될 수 있다. One side of the casing 36 is in communication with the first flow path 34 is formed with a water supply hole 42 for sending the cooling water to the receiving space (38). The water supply hole 42 is formed in both directions to communicate with the receiving space 38 may be formed in plurality as necessary. Cooling water introduced through the water supply hole 42 flows into the receiving space 38. The accommodation space 38 is a place where the cooling water is stored for a predetermined time to cool the heat generated during the operation of the vacuum pump. The coolant introduced into the accommodation space 38 is discharged into the discharge hole 44 by the coolant continuously flowing in the accommodation space 38 for a predetermined time according to the circulation method. The discharge hole 44 is positioned to communicate with the second flow passage 46 formed in the second housing 12. The discharge hole 44 is also formed in both directions to be the same as the water supply hole 42, it may be formed in plural as necessary.

상기 제 2유로(46)는 전술한 바와 같이 일단은 워터재킷(35)의 배출구멍(44)과 연결되고, 타단에는 연결관(48)이 위치한다. 상기 연결관(48)은 제 2유로(46)의 타단에 위치한 상태에서 제 2하우징(12)과 조립되며, 상기 제 2유로(46)에서 흘러나오는 냉각수를 급수밸브(50)로 보내주는 역할이다. 상기 급수밸브(50)는 제 1하우징(10)에 형성된 챔버(52)와 연결된다. 상기 챔버(52)는 진공펌프의 작동시 발생하는 열을 냉각시키는 이차적인 수단이다. 상기 챔버(52)는 진공펌프의 외주면에 홈을 파서 제작하도록 하며 개방된 챔버(52)는 커버(56)를 볼팅등의 방식으로 조립시켜 밀폐시키도록 한다. 상기 챔버(52)는 워터재킷(35)과 동일하도록 급수밸브(50)를 통해 흘러들어온 냉각수를 일정시간 보관한 후 지속적으로 들어오는 냉각수에 의해 챔버(52)의 상단에 위치한 배출밸브(54)를 통해 흘러나가게 된다. As described above, the second passage 46 is connected to the discharge hole 44 of the water jacket 35 at one end thereof, and a connection pipe 48 is positioned at the other end thereof. The connecting pipe 48 is assembled with the second housing 12 in a state located at the other end of the second flow passage 46, and serves to send the cooling water flowing out of the second flow passage 46 to the water supply valve 50. to be. The water supply valve 50 is connected to the chamber 52 formed in the first housing 10. The chamber 52 is a secondary means for cooling the heat generated during operation of the vacuum pump. The chamber 52 is made by digging a groove on the outer circumferential surface of the vacuum pump and the open chamber 52 is assembled to seal the cover 56 in the manner of bolting or the like. The chamber 52 stores the cooling water flowing through the water supply valve 50 to be the same as the water jacket 35 for a predetermined time, and then discharges the discharge valve 54 located at the top of the chamber 52 by the cooling water continuously. It flows through.

한편, 구동축(18)과 피동축(20)의 내부에는 윤활유를 제1베어링(19a)과 제 2베어링(19b) 및 구동기어(22)와 피동기어(24)로 흘려보낼 수 있는 통로(30)와 토출 구멍(32)이 형성되며, 구동축(18) 및 피동축(20)의 구조는 동일하기에 하나의 구조(구동축)를 대표하여 기술하기로 한다.Meanwhile, a passage 30 through which lubricating oil can flow into the first bearing 19a and the second bearing 19b and the drive gear 22 and the driven gear 24 in the drive shaft 18 and the driven shaft 20. ) And a discharge hole 32 are formed, and the structure of the drive shaft 18 and the driven shaft 20 are the same, so that one structure (drive shaft) will be described.

상기 구동축(18)의 하단부에는 일정길이 만큼의 나사산(18a)이 형성되며, 캡(28)과 체결된다. 상기 캡(28)의 일측에는 유입구멍(28a)이 형성된다. 상기 유입구멍(28a)은 제 3하우징(14)의 내부에 고여있는 윤활유를 구동축(18)으로 보내기 위한 수단이다. 상기 구동축(18)의 내부에는 통로(30)가 형성된다. 상기 통로(30)는 소정의 길이 가량 함몰되게 형성되며, 구동축(18)의 회전시 회전력으로 인해 윤활유가 통로(30)를 따라 상승하여 구동축(18)의 상부에 위치한 토출구멍(32)으로 보내기 위함이다. 상기 토출구멍(32)은 구동축(18)에 형성된 통로(30)와 연통하여 형성된다. 즉 상기 구동축(18)의 회전으로 통로(30)를 타고 올라온 윤활유는 토출구멍(32)을 통해 구동축(18)의 외주면을 타고 흘러 내려가 구동축(18)에 순차적으로 끼워진 제 1베어링(19a)과 구동기어(22)및 제 2베어링(19b)에 스며들어가 윤활유를 급유하는 작업을 수행하게 되는 것이다. The lower end of the drive shaft 18 is formed with a predetermined length of thread (18a), and is fastened to the cap 28. Inlet hole 28a is formed at one side of the cap 28. The inflow hole 28a is a means for sending the lubricating oil accumulated in the third housing 14 to the drive shaft 18. A passage 30 is formed in the drive shaft 18. The passage 30 is formed to be recessed by a predetermined length, and the lubricant oil rises along the passage 30 due to the rotational force when the driving shaft 18 rotates and is sent to the discharge hole 32 located above the driving shaft 18. For sake. The discharge hole 32 is formed in communication with the passage 30 formed in the drive shaft 18. That is, the lubricating oil raised up the passage 30 by the rotation of the drive shaft 18 flows down the outer circumferential surface of the drive shaft 18 through the discharge hole 32 and the first bearing 19a sequentially inserted into the drive shaft 18. It penetrates into the drive gear 22 and the second bearing 19b to perform lubricating oil.

상기와 같이 구성된 냉각식 진공펌프의 사용상태를 도 4와 도 5를 참조하여 설명하도록 한다. The use state of the cooling vacuum pump configured as described above will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

먼저 개략적으로 진공펌프의 구동순서를 살펴보면 먼저 구동원이 외부로부터 전원을 인가받아 동력을 발생시키면 구동축(18)이 회전하여 상기 구동축(18)의 일단에 조립된 구동기어(22)가 회전한다. 이어서 상기 구동기어(22)에 치합된 피동기어(24)가 회전하며 이어서 상기 피동기어(24)의 회전으로 피동축(20)이 연동하여 회전하게 된다. 이후 상기 구동축(18)과 피동축(20)에 구비된 스크루(26)가 상호 맞물린 상태에서 회전됨으로써 압축공간의 기압은 외부의 기압보다 낮아지게 되며 이때 인입구로(16)부터 기체가 압축공간으로 유입되어 압축된 다음 배출구(미도시)를 통해 배출되는 작동을 수행하는 것이다. First, the driving sequence of the vacuum pump is schematically described. First, when the driving source receives power from the outside to generate power, the driving shaft 18 is rotated to rotate the driving gear 22 assembled at one end of the driving shaft 18. Subsequently, the driven gear 24 meshed with the driving gear 22 rotates, and then the driven shaft 20 rotates in association with the rotation of the driven gear 24. Thereafter, the screw 26 provided in the drive shaft 18 and the driven shaft 20 are rotated in engagement with each other, so that the air pressure in the compression space is lower than the external air pressure. At this time, the gas from the inlet passage 16 into the compression space. Inlet is compressed and then discharged through an outlet (not shown).

상기와 같이 진공펌프의 작동시 발생되는 열을 냉각시키고자 하우징(15)의 내부에 설치된 워터재킷(35)으로 냉각수를 공급하게 되며, 첨부된 도 4를 참조하여 워터재킷(35)을 통한 냉각수의 흐름을 살펴보도록 한다. 도시된 바와 같이 냉각수를 주입하게 되면 제 2하우징(12)의 제 1유로(34)를 통하여 냉각수가 들어오게 되고, 상기 제 1유로(34)와 연통되어 있는 급수구멍(42)을 통하여 워터재킷(35)의 수용공간(38)으로 냉각수가 흘러들어오게 된다. 상기와 같이 냉각식 진공펌프의 냉각수의 유입방식은 순환식이기에 수용공간(38)으로 흘러들어온 냉각수는 진공펌프의 열을 냉각시킴과 동시에 지속적으로 제 1유로(34)를 통해 흘러들어오는 냉각수로 인하여 배출구멍(44)으로 빠져나가게 된다. 이어서 도 5에서와 같이 배출되는 냉각수는 배출구멍(44)과 연통되어 있는 제 2유로(46)를 통하여 흘러나가게 되며 연결관(48)을 통하여 제 1하우징(10)에 형성된 챔버(52)로 유입된다. 이후 점진적으로 냉각수가 차오름으로써 이차적인 냉각작용하여 진공펌프의 열을 냉각시켜주는 작업을 진행하도록 하며 일정수량 이상 차오를 시 배출밸브(54)를 통하여 외부로 흘러나가게 되며 외부로 배출되는 냉각수는 다시 제 1유로(34)를 통해 워터재킷(35)으로 유입되는 순환방식으로 진행된다. Cooling water is supplied to the water jacket 35 installed inside the housing 15 to cool the heat generated during operation of the vacuum pump as described above, and with reference to FIG. 4, the coolant through the water jacket 35. Let's look at the flow. As shown, when the coolant is injected, the coolant enters through the first channel 34 of the second housing 12 and the water jacket through the water supply hole 42 communicating with the first channel 34. Cooling water flows into the receiving space 38 of the (35). Since the cooling water inflow of the cooling vacuum pump is circulated as described above, the cooling water flowing into the accommodation space 38 cools the heat of the vacuum pump and is continuously flowed through the first flow path 34. It exits to the discharge hole 44. Subsequently, the cooling water discharged as shown in FIG. 5 flows out through the second flow passage 46 communicating with the discharge hole 44, and passes through the connecting pipe 48 to the chamber 52 formed in the first housing 10. Inflow. After that, the cooling water gradually fills up to allow the secondary cooling to proceed to cool the heat of the vacuum pump, and when more than a certain amount of water is charged, it flows out through the discharge valve 54 and the cooling water discharged to the outside It proceeds in a circulation manner flowing into the water jacket 35 through the first passage 34.

한편, 상기와 같이 진공펌프의 작동시 구동축(18)이 회전함과 동시에 캡(28)의 유입구멍(28a)으로 유입된 윤활유는 상기 구동축(18)의 하단부에 형성된 나사 산(18a)을 타고 흘러내려 가게 된다. 지속적으로 흘러내려 간 윤활유는 구동축(18)의 단부에 형성된 통로(30)에 위치하게 되며, 회전력으로 인하여 구동축(18)에 형성된 통로(30)를 타고 상승하여 토출구멍(32)을 통해 배출되며, 상기 구동축(18)의 외주면을 타고 흘러 내려가 순차적으로 구동축(18)의 외주면에 끼워진 제 1베어링(19a)과 구동기어(22) 및 제 2베어링(19b)에 윤활유를 급유하게 되는 것이다. 또한 구동축(18)과 연동하여 회전하는 피동축(20)은 상기 구동축(18)과 동일한 동작을 수행하므로 설명은 생략하도록 한다. On the other hand, when the drive shaft 18 is rotated during operation of the vacuum pump as described above, the lubricating oil introduced into the inlet hole 28a of the cap 28 is carried on the screw thread 18a formed at the lower end of the drive shaft 18. It will flow down. The lubricating oil flowing down continuously is positioned in the passage 30 formed at the end of the drive shaft 18, and ascends through the passage 30 formed in the drive shaft 18 due to the rotational force, and is discharged through the discharge hole 32. In addition, the circulating oil flows down the outer circumferential surface of the drive shaft 18 and sequentially lubricates the first bearing 19a, the drive gear 22, and the second bearing 19b fitted to the outer circumferential surface of the drive shaft 18. In addition, the driven shaft 20 which rotates in conjunction with the drive shaft 18 performs the same operation as the drive shaft 18, so description thereof will be omitted.

도 1은 종래에 실시되던 진공펌프의 구성을 나타낸 도면1 is a view showing the configuration of a conventional vacuum pump

도 2는 본 발명에 따른 냉각식 진공펌프의 구성을 나타낸 도면2 is a view showing the configuration of a cooling vacuum pump according to the present invention

도 3은 본 발명에 따른 냉각식 진공펌프에 구비된 워터재킷의 구성을 입체적으로 나타낸 도면3 is a view showing three-dimensionally the configuration of the water jacket provided in the cooling vacuum pump according to the present invention

도 4는 본 발명에 따른 냉각식 진공펌프에 구비된 워터재킷으로 냉각수의 흐름을 나타낸 도면Figure 4 is a view showing the flow of cooling water to the water jacket provided in the cooling vacuum pump according to the present invention

도 5는 본 발명에 따른 냉각수 진공펌프의 사용상태를 나타낸 도면5 is a view showing a state of use of the coolant vacuum pump according to the present invention

<도면의 주요부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>

15: 하우징 18: 구동축       15: housing 18: drive shaft

20: 피동축 26: 스크루       20: driven shaft 26: screw

28: 캡 28a: 유입구멍       28: cap 28a: inlet hole

30: 통로 32: 토출구멍       30: passage 32: discharge hole

35: 워터재킷 42: 급수구멍       35: water jacket 42: water supply hole

44: 배출구멍        44: discharge hole

Claims (2)

제 1 내지 제 3하우징(10, 12, 14)으로 나뉘어져 구성한 하우징(15)과, 상기 하우징(15)의 내부에 설치되어 구동원의 동력 발생시 회전하여 기체를 압축할 수 있도록 각각에 스크루(26)가 구비된 구동축(18)과 피동축(20)을 포함하여 구성되는 냉각식 진공펌프에 있어서,A housing 15 configured to be divided into first to third housings 10, 12, and 14, and a screw 26 installed in each of the housings 15 so as to be rotated when power is generated by a driving source to compress the gas. In the cooling vacuum pump comprising a drive shaft 18 and the driven shaft 20 is provided, 상기 하우징(15)의 내부에는 외부에서 공급된 냉각수로 진공펌프에서 발생한 열을 냉각시키는 워터재킷(35)이 설치되며;A water jacket 35 is installed inside the housing 15 to cool the heat generated from the vacuum pump with cooling water supplied from the outside; 상기 워터재킷(35)은 직사각의 형태로 내부에는 상기 구동축(18) 및 피동축(20)이 통과하기 위한 관통구멍(40)과, 상기 관통구멍(40) 주위로 상기 냉각수를 수용하는 수용공간(38)이 형성된 케이싱(36)으로 구성하되,The water jacket 35 has a rectangular shape and has a through hole 40 through which the drive shaft 18 and the driven shaft 20 pass, and a receiving space accommodating the cooling water around the through hole 40. (38) is formed of a casing 36 formed, 상기 케이싱(36)의 일측에는 상기 하우징(15)에 형성되어 있는 제 1유로(34)를 통해 유입된 냉각수를 수용공간(38)으로 흘려 보내는 급수구멍(42)이 형성되고;One side of the casing 36 is formed with a water supply hole 42 for flowing the coolant flowing through the first passage 34 formed in the housing 15 to the receiving space 38; 상기 케이싱(36)의 타측에는 상기 수용공간(38)에 수용되어 있는 냉각수를 상기 하우징(15)에 형성되어 있는 제 2유로(46)로 배출시키는 배출구멍(44)이 형성되도록 구성하며;A discharge hole 44 is formed at the other side of the casing 36 to discharge the cooling water contained in the accommodation space 38 to the second flow passage 46 formed in the housing 15; 상기 제 1하우징(10)의 외주면에는 챔버(52)가 함몰 형성된 상태에서 커버(56)로 밀폐 구성되며;An outer circumferential surface of the first housing 10 is hermetically sealed by a cover 56 in a state in which the chamber 52 is recessed; 상기 챔버(52)에는 급수밸브(50)의 일단이 연결되고, 상기 급수밸브(50)의 타단은 상기 제 2유로(46)와 연결관(48)으로 연결 구성되어, 상기 배출구멍(44)을 통해 배출되는 냉각수를 공급받아 보관하며 진공펌프에서 발생한 열을 냉각시키도록 구성함을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.One end of the water supply valve 50 is connected to the chamber 52, and the other end of the water supply valve 50 is connected to the second flow passage 46 and the connection pipe 48, and the discharge hole 44 is connected to the chamber 52. Cooling vacuum pump, characterized in that configured to cool the heat generated by the vacuum pump is supplied and stored discharged through. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하우징(15)의 아래쪽으로는 윤활유를 저장하는 제 3하우징(14)과;A third housing (14) for storing lubricating oil under the housing (15); 상기 구동축(18) 및 피동축(20)의 외주면에 형성된 나사산(18a, 20a)과; Threads 18a and 20a formed on the outer circumferential surfaces of the drive shaft 18 and the driven shaft 20; 상기 구동축(18) 및 피동축(20)의 내부에는 상기 제 3하우징(14)에 저장된 윤활유를 유입하기 위한 통로(30)와;A passage (30) for introducing lubricant stored in the third housing (14) in the drive shaft (18) and the driven shaft (20); 상기 통로(30)와 연통하며 상기 통로(30)를 통해 유입된 윤활유를 상기 구동축(18)의 외주면으로 배출시키기 위한 토출구멍(32)이 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.Cooling vacuum pump, characterized in that the discharge hole (32) in communication with the passage (30) for discharging the lubricating oil introduced through the passage (30) to the outer peripheral surface of the drive shaft (18).
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