KR101056392B1 - Surface inspection method and device - Google Patents

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KR101056392B1
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Abstract

본 발명은 피검체 표면의 평면영상과 함께 높이 차이를 인식할 수 있는 영상을 표출함으써 평면성불량 뿐만 아니라 높이 차이를 갖는 체적성 불량도 함께 검사할 수 있는 표면 검사방법 및 장치에 관한 것으로, 본 발명의 구체적인 특징은 피검체 표면을 메인 카메라로 가시광 촬영한 후 디지털 데이터로 전송하여 평면화상을 형성하고, 피검체의 표면을 IR로 촬영하여 아날로그 데이터로 전송하여 체적성 불량을 검출하도록 신호처리한 후 체적성 불량 위치를 메인 카메라의 촬영된 화면상에 OSD 표식으로 표시하도록 하는 표면 검사방법 및 장치이다.The present invention relates to a surface inspection method and apparatus for inspecting not only planarity defects but also volumetric defects having height differences by displaying images capable of recognizing height differences together with planar images of a subject surface. A specific feature of the invention is that the surface of the subject is photographed with a main camera and then transmitted as digital data to form a planar image, and the surface of the subject is photographed with IR and transmitted as analog data for signal processing to detect volumetric defects. And a surface inspection method and apparatus for displaying the volumetric defect location on the photographed screen of the main camera by an OSD marker.

평면성 불량, 체적성 불량, 돌출, 보조 카메라, 메인 카메라 Poor planarity, bad volume, protrusion, secondary camera, main camera

Description

표면 검사방법 및 장치{surface inspection method and apparatus therefor}Surface inspection method and apparatus therefor}

본 발명은 웨이퍼, PCB 등의 균일 표면을 갖는 물체의 불량여부를 검사하는 표면 검사방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면의 평면영상과 함께 높이 차이를 인식할 수 있는 영상을 표출함으써 평면성불량 뿐만 아니라 높이 차이를 갖는 체적성 불량도 함께 검사할 수 있는 표면 검사방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface inspection method and apparatus for inspecting whether an object having a uniform surface, such as a wafer or PCB, is defective. More specifically, by displaying an image capable of recognizing a height difference together with a planar image of a surface. The present invention relates to a surface inspection method and apparatus that can inspect not only planar defects but also volumetric defects having height differences.

특허 공개번호 10-2008-0025124(발명의 명칭: 웨이퍼의 표면 검사장치, 웨이퍼의 표면 검사방법, 불량웨이퍼의 판정장치, 불량 웨이퍼의 판정방법 및 웨이퍼표면 정보처리장치)에 기재된 발명은 웨이퍼의 평면 영상을 기초로 스크래치나 이물질의 부착을 판별하는 것이지만, 평면영상으로부터 돌출되거나 함몰된 불량을 찾기 위해서는 고도의 영상처리가 필요하기 때문에 작업효율이 늦어지게 된다.The invention described in Patent Publication No. 10-2008-0025124 (Invention name: wafer surface inspection apparatus, wafer surface inspection method, defective wafer determination apparatus, defective wafer determination method and wafer surface information processing apparatus) Determination of the adhesion of scratches or foreign objects on the basis of the image, but the work efficiency is slowed down because high image processing is required to find defects protruding or recessed from the planar image.

이와 같은 평면영상을 모니터로 표시하고, 모니터 영상에 의하여 불량을 판독할 때 높이 차이를 구분할 수 없어 불량 검출이 용이하지 않으며, 특히 조명효과로 넓은 면적에 대하여 평면성 불량(변색, 과부식 등)과 체적성 불량( 돌기, 찍힘, 스크래치 등)을 동시에 관찰하기 곤란하여 특정 영역을 확대해서, 즉 FOV를 좁게 해서 볼 수 밖에 없기 때문에 생산성이 떨어지게 되며, 검사자의 피로감이 심하게 된다.Such a flat image is displayed on the monitor, and when the defect is read out by the monitor image, height difference cannot be distinguished, so it is not easy to detect the defect, and in particular, the flatness defect (color change, overcorrosion, etc.) It is difficult to observe volumetric defects (protrusions, scratches, scratches, etc.) at the same time, so that the specific area is enlarged, that is, the FOV can be narrowed down, resulting in low productivity and severe fatigue of the inspector.

본 발명은 이러한 문제점들을 개선하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 가시광선에 의하여 촬영된 평면영상과 함께 위치를 달리한 적외선(IR) 조명에 의해 먼지, 패턴, 돌기불량의 특징 점을 추출하여 변별 하도록 함으로써 정확하고 신속한 표면검사가 이루어지도록 한다.The present invention is to solve these problems, the problem of the present invention by extracting the feature points of dust, pattern, projection defects by the infrared (IR) illumination that is different from the position with the planar image photographed by visible light Discrimination allows accurate and rapid surface inspection.

또한, 본 발명의 다른 해결과제는 별도의 조명과 카메라를 사용하여 돌기(용출)결점, 먼지 등을 선택적으로 영상화하여, 좌표 값을 생성하도록 하고, 이를 평면영상에 표시하도록 함으로써 검사자가 용이하게 표면검사를 실시할 수 있도록 한다.In addition, another problem of the present invention is to selectively image projections (dissolution) defects, dust, etc. by using a separate illumination and a camera to generate coordinate values, and to display them on a planar image, thereby allowing the inspector to easily surface Allow the test to be carried out.

또한, 본 발명의 다른 해결과제는 돌출결점, 먼지 등의 체적성 위치가 평면영상에 표시되도록 함으로써 평면영상의 FOV를 넓게 형성할 수 있어 검사속도를 향상시키며, 검사자의 피로감을 줄이도록 하기 위한 것이다.   In addition, another problem of the present invention is to improve the inspection speed and reduce the fatigue of the inspector by making the FOV of the planar image wide by displaying the volume position of the protrusion defect, dust, etc. on the planar image. .

본 발명의 또 다른 해결과제들은 본 발명의 실시예를 설명하면서 기술하기로 한다.Still other challenges of the present invention will be described with reference to embodiments of the present invention.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 가시광선을 피검체에 조사하여 촬영하여 피검체의 영상을 모니터 표시하여 피검체의 불량여부를 판별하는 표면검사방법에 있어서: 상기 가시광선에 의한 피검체의 촬영 중에 상기 피검체의 표면에 적외선을 조사하여 촬영하는 적외선 촬영단계; 상기 적외선 촬영단계에 의하 여 촬영된 영상을 이진화시키는 2진화단계; 상기 2진화단계에 의하여 형성된 2진화 영상으로부터 체적성 불량 위치를 추출하는 불량위치 추출단계를 포함하는 것이다.The solution means of the present invention for solving the above problems is a surface inspection method for determining whether the subject is defective by monitoring the image of the subject by irradiating and photographing the visible light to the subject: blood by the visible light An infrared photographing step of photographing by irradiating infrared on the surface of the subject during imaging of the specimen; A binarization step of binarizing the image photographed by the infrared photographing step; And a defective position extraction step of extracting a volume defective position from the binarized image formed by the binarization step.

또한, 본 발명에서 상기 표면검사방법은 상기 모니터에 표시된 영상에 상기 불량위치 추출단계에서 추출된 위치에 OSD 표식을 표시하는 OSD 표시단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the surface inspection method may further include an OSD display step of displaying an OSD mark on the position extracted in the defective position extraction step on the image displayed on the monitor.

또한, 본 발명의 다른 특징은 가시광선을 피검체에 조사하는 메인 조명; 적외선을 상기 피검체에 조사하는 보조 조명; 상기 가시광선에 의하여 상기 피검체를 촬상하는 메인 카메라; 상기 적외선에 의하여 상기 피검체를 촬상하는 보조 카메라; 상기 메인 카메라에 의하여 촬상된 영상을 모니터에 표시하도록 제어하고, 상기 보조 카메라에 의하여 촬상된 영상을 이진화시키고, 이진화된 영상으로부터 체적성불량부위를 판별하는 제어부를 포함하는 것이다.In addition, another feature of the present invention is the main illumination for irradiating visible light to the subject; Auxiliary illumination for irradiating infrared rays to the subject; A main camera which picks up the subject under the visible light; An auxiliary camera which picks up the subject by the infrared ray; And a controller for controlling to display an image captured by the main camera on a monitor, binarizing the image captured by the auxiliary camera, and determining a volumetric defect portion from the binarized image.

또한, 본 발명에서 상기 제어부는 상기 체적성 불량부위의 위치를 상기 모니터에 표시된 영상에 OSD(On Screen Display) 표식으로 표시하는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the control unit preferably displays the position of the defective volume portion on the image displayed on the monitor by OSD (On Screen Display) marker.

또한, 본 발명에서 상기 메인 카메라는 디지털 카메라이고, 상기 보조 카메라는 아날로그 카메라인것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the main camera is a digital camera, and the auxiliary camera is an analog camera.

또한, 본 발명에서 상기 보조 카메라는 1/30초당 1 프레임의 영상을 출력하고, 상기 메인 카메라는화소수가 크기 때문에 1/15초당 1프레임으로 영상을 출력하는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the auxiliary camera outputs an image of one frame per 1/30 second, and the main camera outputs an image at one frame per 1/15 second because the number of pixels is large.

또한, 본 발명에서 상기 메인 카메라와 상기 피검체 사이에는 메인 조명, 메 인 렌즈, 색선별 거울(dichroic mirror)이 순차적으로 설치되고, 상기 색선별 거울은 상기 피검체의 평면의 연직선상에 경사지게 설치되며, 상기 피검체에서 반사된 가시광선은 상기 색선별 거울을 투과하여 상기 메인 카메라에 입사되고, 상기 피검체에서 반사된 적외선은 상기 색선별 거울에서 반사되어 상기 보조 카메라로 입사되는 것이 바람직하다.Further, in the present invention, a main illumination, a main lens, and a dichroic mirror are sequentially installed between the main camera and the subject, and the dichroic mirror is installed to be inclined on a vertical line of the plane of the subject. The visible light reflected by the subject passes through the dichroic mirror and is incident on the main camera, and the infrared rays reflected by the subject are reflected by the dichroic mirror and is incident on the auxiliary camera.

상기 해결과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면, 메인 카메라로 평면화상을 촬영하고, 보조 카메라로 체적성 불량인 용출부위, 먼지, 스크래치등을 촬영하여 검출함으로써 메인 카메라에서 판독하기 어려운 체적성 불량을 편리하게 검출하도록 한다.According to the present invention having the above-described problems and solutions, volumetric defects that are difficult to read in the main camera by photographing planar images with the main camera and photographing and detecting elution sites, dust, scratches, etc., which are poor volumetric characteristics with the auxiliary camera. To be detected conveniently.

또한, 디지털 방식의 메인 카메라로 평면화상을 선명하게 촬영하도록 하고, 저가의 보조 카메라로 체적성 불량부위를 검출하여 OSD 표식을 하도록 함으로써 전체적인 설비의 비용을 낮출 수 있다.In addition, it is possible to lower the overall cost of equipment by allowing a digital main camera to clearly capture a planar image and an inexpensive auxiliary camera to detect a defective volume and display the OSD.

또한, 검사자가 하나의 메인 카메라로 촬영된 영상으로부터 체적성 불량과 평면성 불량을 동시에 검출하는 경우에 비하여 평면성 불량을 만을 검출하다가 모니터 영상에 OSD 표식이 발생된 후 그 부분만을 확대 재 검사하여 체적성 불량을 검사하는 방법이 작업속도을 대폭 향상 시킬 수 있으며, 피로감을 낮출 수 있다. In addition, compared to the case where the inspector detects volumetric defects and planarity defects simultaneously from an image taken by one main camera, the inspector detects only the planarity defects and then expands and re-examines only those portions after the OSD marker is generated on the monitor image. The method of inspecting defects can greatly improve the work speed and reduce fatigue.

이하, 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일시예의 장치의 블록도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예 의 방법을 설명하는 순서도이다.1 is a block diagram of an apparatus of one embodiment of the invention, and FIG. 2 is a flow chart illustrating a method of one embodiment of the invention.

웨이퍼나 PCB 등의 피검체(7)의 표면은 메인 카메라(1)와 보조 카메라(3)로 촬영된다.The surface of the subject 7, such as a wafer or PCB, is photographed by the main camera 1 and the auxiliary camera 3.

이때, 메인 카메라(1)로 피검체(7)의 표면을 촬영하기 위해서는 메인 조명(9)이 점등되게 되고, 보조 카메라(3)로 피검체(7)의 표면을 촬영하기 위해서는 보조 조명(11), (13)이 점등된다. 메인 카메라(1)와 보조 카메라(3)의 촬영동작은 제어부(5)의 제어모듈(51) 에 의하여 제어되고, 메인 조명(9), 보조 조명(11), (13)은 제어모듈(51)에 의하여 제어되는 메인 조명 제어부(21), 보조 조명 제어부(23)에 의하여 제어된다.At this time, the main light 9 is turned on to photograph the surface of the subject 7 with the main camera 1, and the auxiliary light 11 is used to photograph the surface of the subject 7 with the auxiliary camera 3. ) And (13) light up. The photographing operation of the main camera 1 and the auxiliary camera 3 is controlled by the control module 51 of the controller 5, and the main lights 9, the auxiliary lights 11, 13 are controlled by the control module 51. Is controlled by the main lighting control unit 21 and the auxiliary lighting control unit 23.

또한, 메인 조명(9)은 400nm∼700nm 파장의 가시광선을 피검체(7)에 조사하고, 메인 카메라(1)는 피검체(7)에 반사된 가시광선을 CCD로 촬영하고, 디지털 전송방식에 의하여 제어모듈(51)에 전송하고, 제어모듈(51)은 미도시된 모니터에 촬영된 영상을 표시한다(S1), (S2), (S3). 이때, 모니터에 표시되는 영상은 평면영상으로 검사자가 평면영상으로부터 체적성 불량인 먼지나 용출부위를 직감적으로 판단하기는 매우 어렵다.In addition, the main illumination 9 irradiates the subject 7 with visible light having a wavelength of 400 nm to 700 nm, and the main camera 1 photographs the visible light reflected by the subject 7 with a CCD. By transmitting to the control module 51 by the control module 51, the control module 51 displays the captured image on the monitor (not shown) (S1), (S2), (S3). In this case, the image displayed on the monitor is a planar image, and it is very difficult for the inspector to intuitively determine dust or elution site, which is a poor volume from the planar image.

또한, 보조 조명(11), (13)은 비가시광선인 적외선 영역의 파장대를 조사하는 조명으로 2개 또는 4개 사용되며, 피검체(7)에 대하여 경사지게 조사된다. In addition, two or four auxiliary lights 11 and 13 are used to illuminate the wavelength band of the infrared region, which is an invisible light, and are irradiated with respect to the subject 7 inclinedly.

또한, 메인 카메라(1)와 피검체(7) 사이에는 하부에서 상부로 메인 조명(9), 메인 렌즈(15), 색선별 거울(dichroic mirror)(17)이 순차적으로 설치된다. 이때 색선별 거울(17)은 연직선상에 경사지게 설치되며, 피검체(7)에서 반사된 빛은 색 선별 거울(17)을 투과하여 메인 카메라(1)에 입사되게 되고, 피검체(7)에서 반사된 적외선은 색선별 거울(17)에서 반사되어 보조 카메라(3)로 입사된다.In addition, between the main camera 1 and the subject 7, a main light 9, a main lens 15, and a dichroic mirror 17 are sequentially installed from bottom to top. At this time, the dichroic mirror 17 is inclined on a vertical line, and the light reflected from the subject 7 passes through the color selection mirror 17 and is incident on the main camera 1, and the subject 7 The reflected infrared rays are reflected by the dichroic mirror 17 and are incident on the auxiliary camera 3.

이때 색선별 거울(17)을 사용하는 것은 가시광선과 적외선을 중복시켜 장치들이 작은 공간에 효율적으로 설치되도록 하고, 이들 중복된 광경로부터 가시광선과 적외선이 분리되도록 함으로써 장치를 소형화시킬 수 있도록 하기 위한 것이다. In this case, the use of the dichroic mirror 17 is to allow the devices to be efficiently installed in a small space by overlapping the visible light and the infrared ray, and to miniaturize the device by separating the visible light and the infrared light from these overlapping views.

보조 카메라(3)는 저가의 아날로그 카메라가 사용되며, 출력되는 영상은 아날로그 방식(NTSC)에 의하여 신호처리 모듈(53)에 입력되어 영상처리된다.As the auxiliary camera 3, a low-cost analog camera is used, and the output image is input to the signal processing module 53 by an analog method (NTSC) and processed.

신호처리 모듈(53)은 입력된 보조 카메라(3)의 영상을 2진화시킨 2진화 영상을 생성하고, 2진화 영상으로부터 체적성 결점을 판별하고, 체적성 결점이 존재할 때 체적성 결정의 좌표를 추출한다(S4), (S5), (S6), (S7).The signal processing module 53 generates a binarized image obtained by binarizing the image of the input auxiliary camera 3, discriminates the volumetric defect from the binarized image, and coordinates the volumetric determination when the volumetric defect exists. Extraction (S4), (S5), (S6) and (S7).

이때 2진화 영상을 생성하기 위하여 입력영상의 각점 밝기를 설정된 기준 밝기(쓰레스 홀드 값)와 비교하여 생성하게 되고, 기준 밝기의 값은 검사자또는 설계시에 의하여 설정된다.At this time, in order to generate the binarized image, the brightness of each point of the input image is generated by comparing with the set reference brightness (Threshold value), and the value of the reference brightness is set by the inspector or the design time.

제어부(5)의 OSD(On Screen Display) 모듈(55)은 신호처리 모듈(53)에 의하여 체적성 결점의 좌표가 생성될 때 모니터에 표시된 평면영상에 결점 좌표의 위치에 OSD 표식(예를 들어 점선 원 표시)을 표시하도록 한다(S8).The OSD (On Screen Display) module 55 of the control unit 5 generates an OSD mark (for example, the position of the defect coordinates on the planar image displayed on the monitor when the coordinates of the volumetric defects are generated by the signal processing module 53). A dotted line circle) is displayed (S8).

검사자는 통상적인 방법으로 모니터에 표시되는 평면영상에 의하여 평면성 불량(변색,과부식,끓임 등)을 검사하는 중에, 평면영상에 OSD 표식이 표시될 때 OSD 표식 부분만을 확대하여 봄으로써 체적성 불량(돌기, 찍힘, 스크래치 등)을 편리하게 판별할 수 있다.While inspecting flatness defects (discoloration, overcorrosion, boiling, etc.) by the planar image displayed on the monitor in the usual way, the inspector enlarges the OSD mark part only when the OSD mark is displayed on the planar image, resulting in volumetric defects. (Protrusions, stamps, scratches, etc.) can be discriminated conveniently.

이와 같이 검사자는 OSD 표식이 평면영상에 나타나기 전까지는 평면성 불량을 검사할 수 있기 때문에 넓은 FOV에 의하여 검사가 가능하므로 검사속도를 매우 빠르게 할 수 있고, OSD 표식이 표시되면 표시된 부분만을 확대하여 검사할 수 있도록 함으로써 검사자는 검사의 속도가 증진되게 되고, 검사시에 피로감을 덜 느끼게 된다.In this way, the inspector can inspect the defect of planarity until the OSD mark appears on the flat image. Therefore, the inspector can inspect by wide FOV, so that the inspection speed can be very fast. By doing so, the inspector can speed up the test and feel less tired during the test.

도 3은 본 발명의 일실시예서 메인 카메라와 보조 카메라의 영상전송 타임챠트이다.3 is an image transmission time chart of a main camera and an auxiliary camera according to an embodiment of the present invention.

보조 카메라(3)는 아날로그 카메라로 CCD에 촬영된 영상은 1/30초에 1frame으로 전송되게 되며, 비월주사로 even fied와 odd field로 전송되게 되고, 제어모듈(51)은 입력되는 영상으로부터 동기신호(Sync)를 추출하고, 이들 동기신호와 일치하게 보조 조명(11), (13)이 점등되도록 점등신호를 메인 조명 제어부(23)에 전송한다. 또한, 제어모듈(51)은 4번째의 동기신호(Sync)에 외부 트리거신호(Ext. Trig)를 생성하고, 이 신호 간격동안 메인 카메라(1)의 CCD 영상신호를 모니터에 전송하며, 이 신호에 따라서 기설정된 시간 동안 메인 조명(9)이 점등되도록 점등신호를 메인 조명 제어부(21)를 전송한다.The auxiliary camera 3 is an analog camera and the image captured by the CCD is transmitted in 1 frame in 1/30 seconds, and is transmitted in even fied and odd fields by interlaced scanning, and the control module 51 synchronizes from the input image. The signal Sync is extracted and the lighting signal is transmitted to the main lighting control unit 23 so that the auxiliary lights 11 and 13 light up in accordance with these synchronization signals. In addition, the control module 51 generates an external trigger signal Ext.Trig to the fourth synchronization signal Sync, and transmits the CCD image signal of the main camera 1 to the monitor during this signal interval. The main lighting control unit 21 transmits a lighting signal so that the main lighting 9 is turned on for a preset time.

도 4는 본 발명의 보조카메라에서 촬영된 오리지날 영상이고, 도 5는 도 4의 오리지날 영상에 대하여 이진 영상과 좌표축선이 표시된 영상이고, 도 6은 메인 카메라의 영상에 체적성 불량의 좌표가 OSD로 표시된 영상이다. 4 is an original image photographed by the auxiliary camera of the present invention, FIG. 5 is an image in which a binary image and a coordinate axis are displayed with respect to the original image of FIG. 4, and FIG. 6 is an OSD of a volumetric defect in an image of the main camera. This is the video shown.

돌출부위나 먼지와 같은 체적성 불량부위의 영상은 피검체의 평면부위보다 밝은 값을 가지게 되고, 이러한 영상이 신호처리 모듈(53)에 입력되어 설정된 기준 값인 쓰레스 홀드값과 비교된 후 밝은 값을 갖는 돌출부위나 먼지와 같은 체적성 불량부위 부분의 영상만이 도 5와 같이 표시되게 되고, 이진화된 영상의 일정 밝기 값을 갖는 부분의 위치가 추출된다. 도 5는 추출된 좌표값이 좌표축선으로 표시된 것을 예시하고 있다. An image of a defective volume such as a protrusion or dust has a brighter value than a plane of the subject, and the image is input to the signal processing module 53 and compared with a threshold value, which is a reference value. Only the image of the defective volume part such as the protrusion part or the dust part is displayed as shown in FIG. 5, and the position of the part having a predetermined brightness value of the binarized image is extracted. 5 illustrates that the extracted coordinate values are represented by coordinate axes.

OSD 모듈(55)은 메인 카메라(1)로 촬영되고, 모니터 표시되는 평면영상에 체적성 불량의 좌표위치에 OSD표식(원 표식)을 표시한다.The OSD module 55 is photographed by the main camera 1 and displays an OSD mark (circle mark) at a coordinate position of volumetric defect in a planar image displayed on a monitor.

도 1은 본 발명의 일시예의 장치의 블록도이다.1 is a block diagram of an apparatus of one embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예의 방법을 설명하는 순서도이다.2 is a flow chart illustrating a method of one embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예서 메인 카메라와 보조 카메라의 영상전송 타임챠트이다.3 is an image transmission time chart of a main camera and an auxiliary camera according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 보조카메라에서 촬영된 오리지날 영상이다.4 is an original image taken by the auxiliary camera of the present invention.

도 5는 도 4의 오리지날 영상에 대하여 이진 영상과 좌표축선이 표시된 영상이다.5 is an image in which a binary image and a coordinate axis are displayed with respect to the original image of FIG. 4.

도 6은 메인 카메라의 영상에 체적성 불량의 좌표가 OSD로 표시된 영상이다. 6 is an image in which coordinates of volumetric defects are displayed in an OSD of an image of a main camera.

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 가시광선을 피검체에 조사하는 메인 조명;Main illumination for irradiating visible light to a subject; 적외선을 상기 피검체에 조사하는 보조 조명;Auxiliary illumination for irradiating infrared rays to the subject; 상기 가시광선에 의하여 상기 피검체를 촬상하는 메인 카메라;A main camera which picks up the subject under the visible light; 상기 적외선에 의하여 상기 피검체를 촬상하는 보조 카메라;An auxiliary camera which picks up the subject by the infrared ray; 상기 메인 카메라에 의하여 촬상된 영상을 모니터에 표시하도록 제어하고, 상기 보조 카메라에 의하여 촬상된 영상을 이진화시키고, 이진화된 영상으로부터 체적성불량부위를 판별하는 제어부를 포함하며,A control unit for controlling to display an image captured by the main camera on a monitor, binarizing the image captured by the auxiliary camera, and determining a volumetric defect region from the binary image; 상기 메인 카메라와 상기 피검체 사이에는 메인 조명, 메인 렌즈, 색선별 거울(dichroic mirror)이 순차적으로 설치되고, 상기 색선별 거울은 상기 피검체의 평면의 연직선상에 경사지게 설치되며, 상기 피검체에서 반사된 가시광선은 상기 색선별 거울을 투과하여 상기 메인 카메라에 입사되고, 상기 피검체에서 반사된 적외선은 상기 색선별 거울에서 반사되어 상기 보조 카메라로 입사되는 것을 특징으로 하는 표면검사장치.Main illumination, a main lens, and a dichroic mirror are sequentially installed between the main camera and the subject, and the dichroic mirror is installed to be inclined on a vertical line of the plane of the subject. The reflected visible light passes through the dichroic mirror and is incident on the main camera, and the infrared rays reflected by the subject are reflected by the dichroic mirror and incident on the auxiliary camera. 청구항 제3항에 있어서, 상기 제어부는 상기 체적성 불량부위의 위치를 상기 모니터에 표시된 영상에 OSD(On Screen Display) 표식으로 표시하는 것을 특징으로 하는 표면검사장치.The surface inspection apparatus according to claim 3, wherein the controller displays the position of the defective volume portion on an image displayed on the monitor by an OSD (On Screen Display) mark. 청구항 제3항에 있어서, 상기 메인 카메라는 디지털 카메라이고, 상기 보조 카메라는 아날로그 카메라인것을 특징으로 하는 표면검사장치.The surface inspection apparatus according to claim 3, wherein the main camera is a digital camera and the auxiliary camera is an analog camera. 청구항 제3항에 있어서, 상기 보조 카메라는 1/30초당 1 프레임의 영상을 출력하고, 상기 메인 카메라는 1/15초당 1프레임으로 영상을 출력하는 것을 특징으로 하는 표면검사장치.The surface inspection apparatus according to claim 3, wherein the auxiliary camera outputs an image of one frame per 1/30 second, and the main camera outputs an image of one frame per 1/15 second. 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006153633A (en) * 2004-11-29 2006-06-15 Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd Flaw determining device of matter to be inspected
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