KR101972517B1 - Dual line optics inspection system for surface inspection of flexible device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Dark Field 조명계(경사 확산 조명)와 Silt 조명계(슬릿 조명) 2개의 Strobe 조명이 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라를 사용하여 Even, Odd 방식으로 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상, 다시 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상이 반복하여 촬영하여 영상을 취득하며, 상기 조건으로 검사대상체 표면의 파티클(Particle), 스크래치(Scratch), 스트레인(Stain), Mura 등의 표면 불량을 검사하는, 검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a dual-line optical inspection system for inspecting a surface of a test object, and more particularly, to a dual-line optical inspection system using a dark field illumination system (slope diffusion illumination) and a Silt illumination system (slit illumination) Scratch, and Strain on the surface of the inspection object by the above-mentioned conditions by repeating the second illumination imaging after the first illumination imaging and the second illumination imaging after the first illumination imaging again by the Even, Odd method, And to a dual line optical inspection system for inspecting the surface of a test object, which inspects surface defects such as cracks, stains, and Mura.

Description

검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템{Dual line optics inspection system for surface inspection of flexible device}Technical Field [0001] The present invention relates to a dual-line optical inspection system
본 발명은 검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 조명1과 조명2를 적용하되 2개의 Strobe 조명과 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라를 사용하여 Even, Odd 방식으로 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상, 다시 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상이 반복하여 촬영함으로써 조합된 영상(이미지)을 취득하며, 상기 조건으로 검사대상체 표면의 파티클(Particle), 스크래치(Scratch), 스트레인(Stain), Mura 등의 표면 불량을 검사하기 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a dual-line optical inspection system for inspecting a surface of a test object, and more particularly, Scratch, Strain (Strain) on the surface of the inspection object is obtained by repeatedly photographing the second illumination imaging after the first illumination imaging, ), Mura and the like to a dual line optical inspection system for inspecting surface defects.
PC 기반의 머신 비전 검사 시스템은 광학 조명, 카메라, 카메라 인터페이스(Frame Grabber, Gigabit Ethernet(GigE), IEEE1394, 카메라 링크, USB 3.0), 컴퓨터에 탑재되는 비전 영상처리를 위한 비전 검사 시스템, 비전 검사 영상처리 소프트웨어에 의한 획득된 이미지의 검사를 위한 영상 처리(image processing)를 통해 제품 표면의 이물, 스크래치, 패턴 오류를 검출한다.The PC-based machine vision inspection system consists of optical illumination, camera, camera interface (Frame Grabber, Gigabit Ethernet (GigE), IEEE1394, camera link, USB 3.0), vision inspection system for vision image processing mounted on computer, Scratches and pattern errors on the surface of the product are detected through image processing for inspection of acquired images by processing software.
비전 검사 영상 처리 소프트웨어는 이미지 획득(frame grabbing)/이미지 처리(imgae processing)/특징 추출(feature extraction)/결함 검출과 제어 기능을 제공하며, 멀티 카메라를 구비하는 Line scan camera 또는 Area scan camera과 연동된 컴퓨터의 비전 검사 시스템을 사용하여 제품 표면 결함을 검사하여 영상 처리(image processing)와 결함 검출 알고리즘을 가진 소프트웨어에 의해 정상 이미지와 검사 이미지의 특징값을 비교하여 이물질, 스크래치, 패턴 오류, 찍힘성 결함을 검출하고 결함 위치를 측정하여 제품 불량을 검출한다.Vision inspection image processing software provides frame grabbing, imgae processing, feature extraction / defect detection and control functions and interlocks with line scan camera or area scan camera equipped with multi camera The computer vision inspection system is used to check the surface defects of the product and compare the feature values of the normal image and the inspection image by the software with image processing and defect detection algorithm to detect foreign objects, The defect is detected and the defective position is measured to detect the product defect.
최근, 플렉시블 디스플레이(Flexible Display), Non Pattern PCB Panel, Lamination 투명 Film, 광학 Film 등의 Flexible한 제품들은 표면 Particle, stain, Mura 등의 불량도 존재하지만 찍힘, 솟음, 눌림등의 요철 불량도 함께 야기된다. Recently, Flexible products such as Flexible Display, Non-Pattern PCB Panel, Lamination Transparent Film and Optical Film have defects such as surface particles, stain, and Mura. However, irregularities such as sticking, do.
그러나, 불량을 검사하기 위해서는 다수의 조명이 필요로 하며, 이에 따른 검사장비의 원가상승, 검사시간 상승 문제가 발생된다. However, in order to inspect defects, a large number of lights are required, which raises the cost of the inspection equipment and raises the inspection time.
종래의 경우 조명1과 조명2가 합쳐서 카메라로 이미지를 획득하고 이를 다시 조명1과 조명2에 해당하는 영상으로 분리하는 경우, 이를 소프트웨어로 분리하므로 분리시에 노이즈가 발생하며, 이를 통해 결함을 검출하는 경우 정확한 결합검출이 어려운 문제가 있었다. In the conventional case, when the light 1 and the light 2 are combined and the image is acquired by the camera, and the image is separated into the images corresponding to the illumination 1 and the illumination 2, it is separated by software so that noise is generated during separation, There is a problem that exact combination detection is difficult.
또한 종래의 다른 문제점으로 복수의 조명을 사용하는 경우 먼저 조명1에 대한 이미지를 획득하고, 이후에 조명2에 대한 이미지를 획득하므로, 이경우 조명1과 조명2에 대한 이미지를 명확히 분리할 수 있으나, 먼저 조명1에 대한 이미지를 획득하고 다시 초기 위치로 다시 되돌아와 조명2에 대한 영상을 얻어야 하므로 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.In addition, in the case of using a plurality of illuminations as a conventional problem, images for the illumination 1 are obtained first, and images for the illumination 2 are acquired after that. In this case, images for the illumination 1 and the illumination 2 can be clearly separated, There is a problem in that it takes a lot of time since the image for the illumination 1 is acquired first and then the image for the illumination 2 is obtained again after returning to the initial position.
특허 등록번호 10-17726730000 (등록일자 2017년 08월 23일), "멀티 광학 모듈 비전 검사 시스템", 주식회사 에이피에스Patent Registration No. 10-17726730000 (registered on August 23, 2017), "Multi-optic module vision inspection system", APS Co., Ltd.
종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 조명1과 조명2인 2개의 조명을 온/오프로 진행하면서 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라를 사용하여 Even, Odd 방식으로 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상, 다시 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상이 반복하여 촬영하여 영상을 취득하며, 불량을 검출하기 위해 상기 취득한 이미지로부터 조명1에 대한 이미지와 조명2에 대한 이미지를 각각 분리하는 듀얼 라인 광학 검사 시스템을 제공한다. An object of the present invention to solve the problems of the prior art is to provide a method and an apparatus for illuminating a second illuminating image after first illuminating image by Even, Odd method using one dual line scan camera while turning on / off two illuminations of Illumination 1 and Illumination 2 , A second line optical inspection system for separating an image for illumination 1 and an image for illumination 2 from the acquired image so as to acquire an image by repeatedly photographing the second illumination imaging after the first illumination imaging, do.
본 발명의 목적을 달성하기 위해, 복수의 조명을 사용하여 검사대상체(100)를 측정하는 검사장치에 있어서, 복수의 렌즈와 카메라를 구비하는 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라를 구비하는 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라(400);와 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명1(200);과 상기 조명1과 다른 위치에서 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명2(300):과 상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 각각의 카메라와 연결되며, 상기 조명1과 상기 조명2와 각각 연결되며, 상기 카메라의 셔터와 상기 조명1과 조명2를 온/오프시키는 신호를 전달하는 트리거 싱크 모듈(500);과 상기 카메라에서 획득한 이미지를 이미지 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하는 영상처리모듈(600);과 상기 검사대상체를 이송하는 이송테이블(90);과 상기 이송테이블의 모터(630)를 구동하는 구동드라이버(620);와 상기 트리거 싱크 모듈(500)과 상기 구동드라이버(620)을 제어하는 제어부(610);으로 이루어져, 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In order to achieve the object of the present invention, there is provided an inspection apparatus for measuring an inspection table body 100 using a plurality of lights, comprising: a first line scan camera having a plurality of lenses and a camera; (300) for irradiating the inspection object with light at a position different from that of the illumination light (1); and a second dual line scan camera (400) A trigger sink module 500 connected to each camera of the line scan camera and connected to the illumination 1 and the illumination 2, for transmitting a signal for turning on / off the shutter of the camera and the illumination 1 and the illumination 2; An image processing module 600 for image-processing an image acquired by the camera and separating the images into images corresponding to each illumination, a transfer table 90 for transferring the inspection object, and a motor 630 of the transfer table, And a control unit 610 for controlling the trigger sink module 500 and the driving driver 620. The image processing unit 610 processes an image acquired by the dual line scan camera, To detect defects in the image.
또한 본 발명은 상기 듀얼 라인 스캔 카메라는 고정된 위치에 구비되고, 상기 검사 대상체들이 놓인 테이블에는 이동량을 검출하는 센서(640);가 더 구비되며, 상기 조명1과 상기 조명2 및 상기 테이블과 상기 카메라를 동기시켜 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.Further, the dual line scan camera according to the present invention is further provided with a sensor 640 for detecting the movement amount of the table on which the inspection objects are placed, and the illumination 1, the illumination 2, And more particularly, to an inspection apparatus for detecting an image by processing an image acquired by the dual line scan camera in synchronism with a camera and separating the image into an image corresponding to each illumination.
또한 상기 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라로 형성된 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라에서 상기 제1 라인스캔 카메라의 라인폭 L1과 제2 라인스캔 카메라의 라인폭을 L2라 할 때 상기 L1 과 L2 는 L 로서 동일하며, 서로 인접하여 배치되고, 상기 듀얼 라인 스캔 카메라(400)를 통해 이미지를 획득할 때 상기 조명1(200)과 조명2(300)와 검사 대상체들이 놓인 이송테이블(90)에는 이동량과 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하되 상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 이송하며 이때 스텝단위의 이동량을 상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 라인폭 L에 캡처되는 만큼인 한스텝씩 이동하면서 이동 할때마다 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하고, 상기 한스텝씩 이동할 때 조명의 온/오프상태는 상기 트리거 싱크 모듈(500)을 통해 제어하되 이동하는 순서가 Even(짝수) 인 경우 조명1은 온상태이고, 조명2는 오프상태로 제어하여 영상을 획득하고, 이동하는 순서가 Odd(홀수)인 경우는 조명1은 오프상태이고, 조명2는 온상태로 제어하여 영상을 획득함에 따라 상기 한스텝씩 이동하면서 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In one dual line scan camera formed of the first line scan camera and the second line scan camera, when the line width L1 of the first line scan camera and the line width of the second line scan camera are L2, When the image is acquired through the dual line scan camera 400, the light 1 (200), the illumination 2 (300), and the transfer table 90 on which inspection objects are placed The moving amount and the shutter of the camera are controlled to acquire an image, and the image is transferred in steps of the transfer table 90. At this time, the moving amount of the step unit is moved by one step as much as the captured image is captured in the line width L of the dual line scan camera The ON / OFF state of the illumination is controlled through the trigger sink module 500, and the order of movement In the case of Even (even number), the illumination 1 is in the ON state, the illumination 2 is in the OFF state to obtain the image, and when the moving order is Odd (odd number), the illumination 1 is in the OFF state and the illumination 2 is in the ON state And an image obtained by the dual line scan camera while moving by one step as the image is acquired, and separating the image into an image corresponding to each illumination, thereby detecting defects.
또한 본 발명은 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지에서 상기 한스텝씩 이동하는 순서가 Even 일때 조명1을 통해 얻은 이미지를 분리하여 조명1에 대한 이미지를 획득하고, Odd 일때 조명1을 통해 얻은 이미지를 분리하여 조명1에 대한 이미지를 획득하여, 측정하고자 하는 영역을 1회 스캔하여 영상을 획득하여 2개의 조명에 대한 영상을 획득하여 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In addition, according to the present invention, when the order of moving the image by the step-by-step is equal to the image acquired by the dual line scan camera, the image obtained through the illumination 1 is separated to acquire an image for the illumination 1, And acquires an image for the illumination 1, acquires an image by scanning the area to be measured once, acquires an image for the two lights, processes the image acquired by the dual line scan camera, And an inspection apparatus for detecting a defect by separating the defect into an image.
또한 본 발명은 상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 한스텝 이동하기 전에 조명1 및 조명2를 오프한 상태에서 첫 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명2를 오프하고, 두 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명1를 오프하며, 세 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명2를 오프하며, 네 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명1를 오프하는 과정을 측정하고자 하는 영역이 끝날때까지 반복함에 따라 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In the present invention, the illumination (1) and the illumination (2) are turned off in a step unit of the transfer table (90) After acquiring the image, it turns off the illumination 2, moves to the second (Even), turns on the illumination 1, acquires the image through the dual line scan camera, turns off the illumination 1, moves to the third (Odd) Then, the illumination 2 is turned on, the image is acquired through the dual line scan camera, and then the illumination 2 is turned off. After moving to the fourth (Even), the illumination 1 is turned on and the image is acquired through the dual line scan camera The process of turning off the next illumination 1 is repeated until the end of the area to be measured is processed so that the image obtained by the dual line scan camera is processed and separated into an image corresponding to each illumination to detect defects .
또한 본 발명은 상기 조명1은 동축조명(Bright Field)이고 조명2는 경사조명(Dark Field)을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 동축조명과 경사조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 동축조명에 대한 이미지와 경사조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In addition, in the present invention, the illumination 1 is a bright field and the illumination 2 is an oblique illumination in a dual line scan camera through one scan using a dark field, Wherein the image obtained by the dual line scan camera is processed by separating an image for coaxial illumination and an image for oblique illumination through image processing of the obtained image, And an inspection apparatus for detecting a defect by separating the image into an image corresponding to each illumination.
또한 본 발명은 상기 조명1은 청색(Blue)조명이고 조명2는 적색(Red)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 청색조명과 적색조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 청색조명에 대한 이미지와 적색조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In addition, the present invention is characterized in that the illumination 1 is a blue illumination and the illumination 2 is an image for blue illumination and red illumination in the dual line scan camera through one scan using Red illumination, The image obtained by the dual line scan camera is processed to separate the image for the blue illumination and the image for the red illumination through the image processing, To detect an image corresponding to the defect.
또한 본 발명은 상기 조명1은 백색(White)조명이고 조명2는 슬릿(Slit)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 백색조명과 슬릿조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 백색조명에 대한 이미지와 슬릿조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치에 관한 것이다.In the present invention, the illumination 1 is a white light and the illumination 2 is an image of a white illumination and a slit illumination in the dual line scan camera through one scan using a slit illumination, The image obtained by the dual line scan camera is processed to separate the image for the white illumination and the image for the slit illumination through the image processing, To detect an image corresponding to the defect.
본 발명에 따른 검사대상체의 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템을 이용하여 조명1과 조명2를 통해 1회의 스캐닝을 통해 얻은 이미지를 단순한 이미지 프로세싱을 통해 조명1과 조명2의 이미지로 분리하되 어떠한 노이즈도 없이 간단히 분리하고 이를 통해 결함을 검출함으로써 간단하고 빠르게 각 조명에 대한 이미지를 획득하는 효과가 있다.Using the dual line optical inspection system for inspection of the inspection object according to the present invention, an image obtained through one scanning through the illumination 1 and the illumination 2 is separated into the images of the illumination 1 and the illumination 2 through simple image processing, There is an effect of acquiring an image for each illumination simply and quickly by detecting the defects through the simple separation.
또한 상기 조명1과 조명2의 조합을 필요에 따라 어떠한 조합도 가능하므로 간단하고 빠르게 다양한 조명들의 조합을 통해 얻은 이미지를 통해 효율적으로 결함을 검출하는 효과가 있다. In addition, since any combination of the illumination 1 and the illumination 2 can be combined as needed, there is an effect of efficiently detecting a defect through an image obtained through a combination of various illuminations simply and quickly.
즉 조명1은 백색(White)조명이고 조명2는 슬릿(Slit)조명으로 조합할 수 있으며, 조명1은 청색(Blue)조명이고 조명2는 적색(Red)조명으로 조합할 수 있고, 조명1은 동축조명(Bright Field)이고 조명2는 경사조명(Dark Field)로 조합할 수 있다.That is, the illumination 1 can be combined with the white illumination and the illumination 2 can be combined with the slit illumination. The illumination 1 can be combined with the blue illumination and the illumination 2 can be combined with the red illumination. Coaxial illumination (bright field) and illumination 2 can be combined with oblique illumination (Dark Field).
또한 조명1을 Dark Field 조명계(경사 확산 조명)로 적용하고 조명2를 Silt 조명(슬릿 조명)을 사용하여 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라를 사용하여 Even, Odd 방식으로 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상, 다시 첫번째 조명 촬상 후 두번째 조명 촬상이 반복하여 촬영하여 영상을 취득하며, 상기 조건으로 검사대상체(예로서 반도체 디바이스) 표면의 파티클(Particle), 스크래치(Scratch), 스트레인(Stain), Mura 등의 표면 불량을 검사하는 효과가 있다. In addition, the illumination 1 is applied to the dark field illumination system (oblique diffusion illumination) and the illumination 2 is illuminated by the Silt illumination (slit illumination) Scratch, Strain, Mura, etc. on the surface of the inspection object (semiconductor device, for example) due to the above conditions, and the second illumination imaging is repeatedly taken after the first illumination imaging . ≪ / RTI >
도 1은 본 발명의 검사대상체의 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템 구성도이다.
도 2는 획득하고자 하는 영상을 도시한 것이다
도 3은 조명1과 조명2를 적용하여 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라로 획득하는 과정을 도시한 것이다.
도 4는 조명1과 조명2를 통해 획득한 통합된 이미지로부터 조명1과 조명2의 각각의 이미지를 추출한 결과를 보여주는 것이다.
도 5는 각 조명의 조합을 통해 구현하는 조명 광학계 나타낸 것이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a dual-line optical inspection system for inspecting the surface of a test object of the present invention. FIG.
2 shows an image to be acquired
FIG. 3 shows a process of acquiring a single dual line scan camera by applying illumination 1 and illumination 2.
4 shows the result of extracting the respective images of the illumination 1 and the illumination 2 from the combined image acquired through the illumination 1 and the illumination 2.
5 shows an illumination optical system implemented through a combination of each illumination.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 발명의 구성 및 동작을 상세하게 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 검사대상체의 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템 구성도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a dual-line optical inspection system for inspecting the surface of a test object of the present invention. FIG.
본 발명의 검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템은 Dark Field 조명계(경사 확산 조명)와 Silt 조명계(슬릿 조명) 2개의 Strobe 조명이 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라(Dual Line Scan Camera)를 사용하여 상기 검사대상체를 이동시키는 순서에 따라 이미지를 획득하되, 이동시키는 순서에 따라 Even 시에는 조명1을 사용하여 이미지를 획득하고 Odd 시에는 조명2를 사용하여 이미지를 획득하며, 이렇게 획득된 이미지로부터 해당 조명에 대한 이미지를 추출하여 상기 추출하여 상기 이미지를 통해 검사대상체 표면의 파티클(Particle), 스크래치(Scratch), 스트레인(Stain), Mura 등의 표면 불량을 검사한다. The dual-line optical inspection system for inspecting the upper surface of the inspection object of the present invention uses a dark field illumination system (slope diffusion illumination) and a Silt illumination system (slit illumination) with two strobe lights using a single dual line scan camera An image is acquired in accordance with the order of moving the inspection object, and the image is acquired using the illumination 1 in the evening mode and the image 2 is acquired using the illumination 2 in the odd mode according to the moving sequence. The image of the illumination is extracted and extracted, and the surface defects of the particle, scratch, strain, and Mura on the surface of the inspection object are inspected through the image.
본 발명의 목적을 달성하기 위해, 복수의 조명을 사용하여 검사대상체(100)를 측정하는 검사장치에 있어서, 복수의 렌즈와 카메라를 구비하는 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라를 구비하는 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라(400);와 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명1(200);과 상기 조명1과 다른 위치에서 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명2(300):과 상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 각각의 카메라와 연결되며, 상기 조명1과 상기 조명2와 각각 연결되며, 상기 카메라의 셔터와 상기 조명1과 조명2를 온/오프시키는 신호를 전달하는 트리거 싱크 모듈(500);과 상기 카메라에서 획득한 이미지를 이미지 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하는 영상처리모듈(600);과 상기 검사대상체를 이송하는 이송테이블(90);과 상기 이송테이블의 모터(630)를 구동하는 구동드라이버(620);와 상기 트리거 싱크 모듈(500)과 상기 구동드라이버(620)을 제어하는 제어부(610);으로 이루어져, 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출한다. In order to achieve the object of the present invention, there is provided an inspection apparatus for measuring an inspection table body 100 using a plurality of lights, comprising: a first line scan camera having a plurality of lenses and a camera; (300) for irradiating the inspection object with light at a position different from that of the illumination light (1); and a second dual line scan camera (400) A trigger sink module 500 connected to each camera of the line scan camera and connected to the illumination 1 and the illumination 2, for transmitting a signal for turning on / off the shutter of the camera and the illumination 1 and the illumination 2; An image processing module 600 for image-processing an image acquired by the camera and separating the images into images corresponding to each illumination, a transfer table 90 for transferring the inspection object, and a motor 630 of the transfer table, And a control unit 610 for controlling the trigger sink module 500 and the driving driver 620. The image processing unit 610 processes an image acquired by the dual line scan camera, And the defect is detected.
여기서 조명1과 조명2은 어떠한 조합이 되어도 상관없다. 즉 측정하고자 하는 측정대상물에서 결함을 추출하기 위해 다양한 광원의 위치, 광원의 종류, 광원의 밝기, 광원의 파장등이 필요하다면 이들 광원을 조합하여 사용함으로써 한번의 스켄으로 두개의 광원에 대한 이미지를 획득하고 상기 획득한 이미지를 처리하여 각 광원에 대한 이미지를 분리한 후 해당 이미지로 필요한 결함을 검출하는 작업을 진행한다. Here, illumination 1 and illumination 2 may be any combination. That is, in order to extract defects from a measurement object to be measured, if it is necessary to use various light source positions, type of light source, brightness of light source, wavelength of light source, etc., Acquires and processes the acquired image to separate images for each light source, and then performs a task of detecting a necessary defect in the image.
또한 상기 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라로 형성된 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라에서 상기 제1 라인스캔 카메라의 라인폭 L1과 제2 라인스캔 카메라의 라인폭을 L2라 할 때 상기 L1 과 L2 는 L 로서 동일하며, 서로 인접하여 배치된다(도 2 참조). In one dual line scan camera formed of the first line scan camera and the second line scan camera, when the line width L1 of the first line scan camera and the line width of the second line scan camera are L2, Are the same as L, and are arranged adjacent to each other (see Fig. 2).
상기 듀얼 라인 스캔 카메라(400)를 통해 이미지를 획득할 때 상기 조명1(200)과 조명2(300)와 검사 대상체들이 놓인 이송테이블(90)에는 이동량과 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하되 상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 이송하며 이때 스텝단위의 이동량을 상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 라인폭 L에 캡쳐되는 만큼인 한스텝씩 이동하면서 이동할 때마다 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하게 된다(도 3 참조). When acquiring an image through the dual line scan camera 400, the movement amount and the shutter of the camera are controlled to acquire an image on the transfer table 90 on which the illumination 1 200, the illumination 2 300, Is transferred in units of steps of the transfer table 90. At this time, each time the moving amount of the step unit moves while moving by the number of steps captured by the line width L of the dual line scan camera, the shutter of the camera is controlled to acquire an image (See FIG. 3).
이때 상기 한스텝씩 이동할 때 조명들의 온/오프상태는 상기 트리거 싱크 모듈(500)을 통해 제어하되 이동하는 순서가 Even(짝수)인 경우 조명1은 온(on)상태이고, 조명2는 오프(off)상태로 제어하여 영상을 획득하고, 이동하는 순서가 Odd(홀수)인 경우는 조명1은 오프(off)상태이고, 조명2는 온(on)상태로 제어하여 영상을 획득함에 따라 상기 한스텝씩 이동하면서 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 이미지를 획득하며 이후에 상기 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하게 된다.At this time, the ON / OFF states of the lights are controlled through the trigger sink module 500 when the moving order is Even (even number), and the illumination 1 is on and the illumination 2 is off ), The image is acquired. If the moving order is Odd (odd number), the illumination 1 is off and the illumination 2 is on. Thus, And acquires an image from the dual line scan camera while moving. Then, the acquired image is processed and separated into an image corresponding to each illumination to detect a defect.
또한 본 발명은 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지에서 상기 한스텝씩 이동하는 순서가 Even 일때 조명1을 통해 얻은 이미지를 분리하여 조명1에 대한 이미지를 획득하고, Odd 일때 조명1을 통해 얻은 이미지를 분리하여 조명1에 대한 이미지를 획득하여, 측정하고자 하는 영역을 1회 스캔하여 영상을 획득하여 2개의 조명에 대한 영상을 획득하여 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출한다.In addition, according to the present invention, when the order of moving the image by the step-by-step is equal to the image acquired by the dual line scan camera, the image obtained through the illumination 1 is separated to acquire an image for the illumination 1, And acquires an image for the illumination 1, acquires an image by scanning the area to be measured once, acquires an image for the two lights, processes the image acquired by the dual line scan camera, The defect is detected by separating into an image.
또한 본 발명은 상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 한스텝 이동하기 전에 조명1 및 조명2를 오프한 상태에서 첫 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명2를 오프하고, 두 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명1를 오프하며, 세 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명2를 오프하며, 네 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득한 다음 조명1를 오프하는 과정을 측정하고자 하는 영역이 끝날때까지 반복함에 따라 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출한다.In the present invention, the illumination (1) and the illumination (2) are turned off in a step unit of the transfer table (90) After acquiring the image, it turns off the illumination 2, moves to the second (Even), turns on the illumination 1, acquires the image through the dual line scan camera, turns off the illumination 1, moves to the third (Odd) Then, the illumination 2 is turned on, the image is acquired through the dual line scan camera, and then the illumination 2 is turned off. After moving to the fourth (Even), the illumination 1 is turned on and the image is acquired through the dual line scan camera The process of turning off the next illumination 1 is repeated until the end of the area to be measured is processed, and the image obtained by the dual line scan camera is processed and the defect is detected by separating into the image corresponding to each illumination.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 진행과정을 설명한다.3 to 5 illustrate the progress of the present invention.
도 3(a)는 측정하고자 하는 대상물이고 도 3(b)는 측정하고자 하는 대상물에 라인이 그려져 있는데 상기 라인은 상기 제1 및 제2 라인스캔 카메라의 라인폭 L에 대응된다.3 (a) is an object to be measured. In FIG. 3 (b), lines are drawn on an object to be measured, and the line corresponds to the line width L of the first and second line scan cameras.
따라서 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득할때 도 3(b)에 그려진 라인이 상기의 한스텝이 되며 이 간격만큼씩 이동하면서 영상을 획득하게 된다.Accordingly, when acquiring an image through the dual line scan camera, the line drawn in FIG. 3 (b) becomes the above-mentioned one step, and the image is acquired while moving by this interval.
도 4는 테이블을 한스텝씩 이동하면 획득한 영상을 보여주고 있다. 도 4에서 L1과 L2는 동일하며 각각 제1 라인스캔 카메라의 라인폭 L1과 제2 라인스캔 카메라의 라인폭을 L2에 대응되어 획득되는 이미지의 간격이다.FIG. 4 shows an acquired image when the table is moved by one step. In FIG. 4, L1 and L2 are the same and are the intervals of images obtained corresponding to the line width L1 of the first line scan camera and the line width L2 of the second line scan camera, respectively.
여기서 A1 ~ A6은 조명1을 통해 획득한 이미지이고 B1 ~ B6는 조명2를 통해 획득된 이미지이며 이들 이미지는 A1, B1, A2, B2, A3, B3 ~~~ 순서로 한스텝씩 이동하면서 순차적으로 이미지를 얻게되며, 이러한 반복은 필요한 이미지를 획득할 때까지 진행하면 된다.Here, A1 to A6 are images acquired through Illumination 1, B1 to B6 are images acquired through Illumination 2, and these images are sequentially displayed in order of A1, B1, A2, B2, A3, An image is obtained, and such repetition is carried out until the required image is obtained.
이를 좀더 설명하면, 상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 한스텝 이동하기 전에 조명1 및 조명2를 오프한 상태에서 첫 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득(도 4의 A1에 해당)한 다음 조명2를 오프하고, 두 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득(도 4의 B1에 해당)한 다음 조명1를 오프하며, 세 번째(Odd)로 이동한 다음 조명2을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득(도 4의 A2에 해당)한 다음 조명2를 오프하며, 네 번째(Even)로 이동한 다음 조명1을 온하고, 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 영상을 획득(도 4의 B2에 해당)한 다음 조명1를 오프하는 과정을 측정하고자 하는 영역이 끝날때까지 반복함에 따라 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출한다.To be more specific, before moving the step-by-step in the unit of the transfer table 90, the illumination 1 and the illumination 2 are turned off, the first (Odd) is turned on, the illumination 2 is turned on, (Corresponding to A1 in Fig. 4), then turns off the illumination 2, moves to the second (Even), turns on the illumination 1, and acquires an image through the dual line scan camera (Corresponding to A2 in FIG. 4), then turns off the illumination 2, and then turns on the illumination 2, turns off the illumination 2, After moving to the fourth (Even), the illumination 1 is turned on, the image is acquired through the dual line scan camera (corresponding to B2 in FIG. 4), and the process of turning off the illumination 1 is repeated Processing the image acquired by the dual line scan camera W separated by the image corresponding to each light to detect the defect.
도 5는 상기 과정을 통해 획득된 이미지(도 5a)를 통해 조명1과 조명2에 해당하는 이미지를 추출하는 내용을 도시한 것이다. FIG. 5 shows an example of extracting images corresponding to illumination 1 and illumination 2 through an image (FIG. 5A) obtained through the above process.
도 5a 에서 보는 바와 같이 듀얼 라인 스캔 카메라를 통해 획득한 이미지는 조명1과 조명2가 번갈아 온/오프되면서 획득한 이미지이며 여기에서 A1, A2, A3, A4, A5, A6 를 추출하면 조명1에 대한 이미지를 얻을 수 있고, B1, B2, B3, B4, B5, B6 를 추출하면 조명21에 대한 이미지를 얻을 수 있다.As shown in FIG. 5A, the image acquired through the dual line scan camera is an image obtained by alternately turning on / off the illumination 1 and the illumination 2. When extracting A1, A2, A3, A4, A5 and A6, And extracts B1, B2, B3, B4, B5, and B6 to obtain an image for the illumination 21. [
일반적으로 조명 2개를 사용하여 획득한 이미지를 동시에 획득한 다음 이를 주파수 분석법 등을 통해 각각의 조명에 대한 이미지를 추출하는 경우 노이즈등이 실려 정확한 이미지를 획득하기 어려운 상황이다.In general, when images acquired using two lights are acquired at the same time and then images are extracted for each illumination through a frequency analysis method or the like, it is difficult to acquire accurate images due to noise and the like.
그러나 본 발명의 기법을 이용하면 해당 조명에만 영향을 받은 이미지를 얻을 수 있어 이미지 분석에 매우 유리하다. However, when the technique of the present invention is used, an image affected only by the corresponding illumination can be obtained, which is very advantageous for image analysis.
또한 본 발명은 상기 조명1은 동축조명(Bright Field)이고 조명2는 경사조명(Dark Field)을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 동축조명과 경사조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 동축조명에 대한 이미지와 경사조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출한다.In addition, in the present invention, the illumination 1 is a bright field and the illumination 2 is an oblique illumination in a dual line scan camera through one scan using a dark field, The obtained image is subjected to image processing to separate the image for the coaxial illumination and the image for the oblique illumination, and defects are detected using the separated images.
또한 본 발명은 상기 조명1은 청색(Blue)조명이고 조명2는 적색(Red)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 청색조명과 적색조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 청색조명에 대한 이미지와 적색조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출한다. In addition, the present invention is characterized in that the illumination 1 is a blue illumination and the illumination 2 is an image for blue illumination and red illumination in the dual line scan camera through one scan using Red illumination, The image for the blue illumination and the image for the red illumination are separated from each other and the defects are detected using the separated images.
또한 본 발명은 상기 조명1은 백색(White)조명이고 조명2는 슬릿(Slit)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 백색조명과 슬릿조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 백색조명에 대한 이미지와 슬릿조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출한다.In the present invention, the illumination 1 is a white light and the illumination 2 is an image of a white illumination and a slit illumination in the dual line scan camera through one scan using a slit illumination, The image for the white illumination and the image for the slit illumination are separated from each other, and the defects are detected using the separated images.
듀얼 라인 스캔 카메라(400)는 10~40㎛ 범위의 고해상도 CCD 카메라 또는 CMOS 이미지 센서를 사용한다. The dual line scan camera 400 uses a high resolution CCD camera or a CMOS image sensor in the range of 10 to 40 mu m.
도 6는 Dark Field 조명계(경사 확산 조명)과 Slit 조명계(슬릿 조명)의 조명 광학계 구현 방식을 나타내며 조명의 형태에 따라 아래와 같이 여러가지 형태로 사용할 수 있다. FIG. 6 shows a method of implementing an illumination optical system of a dark field illumination system (oblique diffusion illumination) and a slit illumination system (slit illumination), and can be used in various forms according to the type of illumination as follows.
Dark Field 조명계(경사 확산 조명)은 경사 확산 조명으로 사용되는 Dark Field 조명계로써 White LED를 이용한 집광형 Bar 조명을 사용할 수 있다. The dark field illumination system (oblique diffusion illumination) is a dark field illumination system used for oblique diffusion illumination and can use condensing bar illumination using white LED.
상기 Dark Field 조명계는 광축과 카메라의 광축에 따라 전반사, 경계반사 조건을 셋팅할 수 있으며 이를 통해 파티클(Particle), 스크래치(Scratch), 스트레인(Stain), Mura 등의 검사 대상체의 표면 불량을 검사할 수 있다. The dark field illumination system can set the total reflection and boundary reflection conditions according to the optical axis and the optical axis of the camera and check the surface defects of the object such as particles, scratches, strains, and Mura .
Slit 조명계(슬릿 조명)는 슬릿 조명으로 사용되고, 슬릿 조명은 Bar Type 조명 앞단에 슬릿(Slit)를 추가하여 검사대상체 표면에 투영하는 형태로 사용할 수 있다. 투영된 Slit 무늬는 표면의 요철 형태에 따라 도시된 바와 같은 변형을 일으킨다. 따라서 찍힘, 눌림 등과 같은 오목한 변형은 Slit가 바깥쪽으로 벌어지고, 솟음, Bubble 등과 같은 볼록한 변형은 Slit가 안쪽으로 향하게 된다. The slit illumination system (slit illumination) is used as a slit illumination, and the slit illumination can be used to project a slit on the front surface of a bar type illumination to be projected on the inspection surface. The projected slit pattern causes a deformation as shown according to the concave-convex shape of the surface. Therefore, concave deformation such as stamping, pressing, etc., causes the slit to spread outward, and convex deformation such as bulging, bubble, and the like causes the slit to face inward.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자가 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the present invention.
100: 검사대상체(100) 200: 조명1
300: 조명2 400: 듀얼 라인 스캔 카메라
500: 트리거 싱크 모듈 600: 영상처리모
90: 이송테이블 630: 이송테이블의 모터
620: 구동드라이버 610: 제어부
100: inspection body (100) 200: illumination 1
300: Lighting 2 400: Dual line scan camera
500: Trigger sync module 600: Image processing module
90: Transfer table 630: Motor of the transfer table
620: driving driver 610:

Claims (6)

  1. 복수의 조명을 사용하여 검사대상체(100)를 측정하는 검사장치에 있어서
    복수의 렌즈와 카메라를 구비하는 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라를 구비하는 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라(400);
    상기 검사대상체에 광을 조사하는 조명1(200);과
    상기 조명1과 다른 위치에서 상기 검사대상체에 광을 조사하는 조명2(300):과
    상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 각각의 카메라와 연결되며, 상기 조명1과 상기 조명2와 각각 연결되며, 상기 카메라의 셔터와 상기 조명1과 조명2를 온/오프시키는 신호를 전달하는 트리거 싱크 모듈(500);과
    상기 카메라에서 획득한 이미지를 이미지 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하는 영상처리모듈(600);과
    상기 검사대상체를 이송하는 이송테이블(90);과
    상기 이송테이블의 모터(630)를 구동하는 구동드라이버(620);와
    상기 트리거 싱크 모듈(500)과 상기 구동드라이버(620)을 제어하는 제어부(610);를 포함하며
    상기 듀얼 라인 스캔 카메라는 고정된 위치에 구비되고,
    상기 검사 대상체들이 놓인 테이블에는 이동량을 검출하는 센서(640);가 더 구비되며,
    상기 조명1과 상기 조명2 및 상기 테이블과 상기 카메라를 동기시킨후 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하되
    상기 제1 라인 스캔 카메라와 제2 라인 스캔 카메라로 형성된 1개의 듀얼 라인 스캔 카메라에서
    상기 제1 라인스캔 카메라의 라인폭 L1과 제2 라인스캔 카메라의 라인폭을 L2라 할 때
    상기 L1 과 L2 는 L 로서 동일하며, 서로 인접하여 배치되고,
    상기 듀얼 라인 스캔 카메라(400)를 통해 이미지를 획득할 때
    상기 조명1(200)과 조명2(300)와 검사 대상체들이 놓인 이송테이블(90)에는 이동량과 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하고
    상기 이송테이블(90)의 스텝단위로 이송하며 이때 스텝단위의 이동량을 상기 듀얼 라인 스캔 카메라의 라인폭 L에 캡처되는 만큼인 한스텝씩 이동하면서 이동 할때마다 카메라의 셔터를 제어하여 영상을 획득하고,
    상기 한스텝씩 이동할 때 조명의 온/오프상태는 상기 트리거 싱크 모듈(500)을 통해 제어하되 이동하는 순서가 Even(짝수) 인 경우 조명1은 온상태이고, 조명2는 오프상태로 제어하여 영상을 획득하고, 이동하는 순서가 Odd(홀수)인 경우는 조명1은 오프상태이고, 조명2는 온상태로 제어하여 영상을 획득함에 따라 상기 한스텝씩 이동하면서 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치.
    1. An inspection apparatus for measuring an inspection table body (100) using a plurality of illuminations
    One dual line scan camera (400) having a first line scan camera having a plurality of lenses and a camera and a second line scan camera;
    A light 1 (200) for irradiating the inspection object with light;
    A light 2 (300) for irradiating the inspection object with light at a position different from the illumination 1;
    A trigger sink module 500 connected to each camera of the dual line scan camera and connected to the illuminator 1 and the illuminator 2 for transmitting a signal for turning on and off the shutter of the camera and the illuminator 1 and the illuminator 2 );and
    An image processing module 600 for image-processing an image acquired by the camera and separating the image into an image corresponding to each illumination;
    A transfer table 90 for transferring the inspection table body;
    A driving driver 620 for driving the motor 630 of the transfer table;
    And a controller 610 for controlling the trigger sink module 500 and the driving driver 620
    The dual line scan camera is provided at a fixed position,
    And a sensor (640) for detecting a movement amount on the table on which the inspection objects are placed,
    After the illumination 1, the illumination 2, and the table are synchronized with the camera, an image acquired by the dual line scan camera is processed
    One dual line scan camera formed of the first line scan camera and the second line scan camera
    When the line width L1 of the first line scan camera and the line width of the second line scan camera are L2
    L1 and L2 are the same as L and are arranged adjacent to each other,
    When acquiring an image through the dual line scan camera 400
    The movement amount and the shutter of the camera are controlled to acquire an image on the illumination table 200, the illumination 2 300, and the transfer table 90 on which the inspection objects are placed
    The image is acquired by controlling the shutter of the camera every time when the moving amount of the step unit is shifted by the step width corresponding to the line width L captured by the line width L of the dual line scan camera ,
    The on / off state of the illumination is controlled through the trigger sink module 500 when the moving order is even (even), and the illumination 1 is in the on state and the illumination 2 is in the off state, When the moving order is Odd (odd number), the illumination 1 is in the off state and the illumination 2 is in the on state, and the image acquired by the dual line scan camera is processed And separates the image into an image corresponding to each illumination, thereby detecting a defect.
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  4. 제1항에 있어서
    상기 조명1은 동축조명(Bright Field)이고 조명2는 경사조명(Dark Field)을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 동축조명과 경사조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 동축조명에 대한 이미지와 경사조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치.
    The method of claim 1, wherein
    The illumination 1 is a bright field and the illumination 2 is a dark field to obtain an image for coaxial illumination and oblique illumination in the dual line scan camera through one scan, The image obtained by the dual line scan camera is processed to separate the image for the coaxial illumination and the image for the oblique illumination, and the defect is detected using the separated image. And the defect is detected.
  5. 제1항에 있어서
    상기 조명1은 청색(Blue)조명이고 조명2는 적색(Red)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 청색조명과 적색조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 청색조명에 대한 이미지와 적색조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치.
    The method of claim 1, wherein
    The illumination 1 is a blue illumination and the illumination 2 is a red illumination to obtain an image for blue illumination and red illumination in the dual line scan camera through one scan, Wherein the image obtained by the dual line scan camera is processed to separate the image for the blue illumination and the image for the red illumination, To detect defects.
  6. 제1항에 있어서
    상기 조명1은 백색(White)조명이고 조명2는 슬릿(Slit)조명을 사용하여 1회의 스캔을 통해 상기듀얼 라인 스캔 카메라에서 백색조명과 슬릿조명에 대한 이미지를 획득하고, 상기 획득된 이미지를 이미지 처리를 통해 백색조명에 대한 이미지와 슬릿조명에 대한 이미지를 분리하여 각각 분리된 영상을 이용하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 상기 듀얼 라인 스캔 카메라에서 획득한 이미지를 처리하여 각 조명에 해당하는 이미지로 분리하여 결함을 검출하는 검사장치.
    The method of claim 1, wherein
    The illumination 1 is a white illumination and the illumination 2 is a slit illumination to acquire an image for white illumination and slit illumination in the dual line scan camera through one scan, The image obtained by the dual line scan camera is processed to separate the image for the white illumination and the image for the slit illumination, and the defect is detected using the separated image, To detect defects.
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