KR101044372B1 - 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전위차에 따라 금속박막패턴이 변형되는 특성을 이용하여, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 변형된 금속박막패턴에 반사 또는 투과시켜 외부로 출력시킬 수 있도록 구성함으로써 광투과율을 향상시킬 수 있는 동시에 제조비용을 절감할 수 있는 금속박막패턴의 가용성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널은, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 입사시켜 정보를 표시하는 표시패널에 있어서, 상기 표시패널은, 제1기판과; 상기 제1기판의 상부에 격자형태로 형성되는 차광막패턴과; 상기 차광막패턴 및 상기 제1기판 상부에 형성되는 투명막과; 상기 격자형태의 차광막패턴 사이에 형성되는 투광영역 상에 형성되되, 일측은 상기 투명막 상부에 접속되고 나머지 부분은 상기 투명막과 이격되어 분리되도록 형성되는 다수개의 금속박막패턴; 및 상기 제1기판 상부에 이격되어 구비되되, 하부에 상기 금속박막패턴과 직교하는 방향으로 배열되는 대향전극패턴이 구비되는 제2기판;을 포함하여 구성되어, 상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴에 전계가 인가되면, 상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴 사이에 형성되는 전위차에 의해 상기 다수개의 금속박막패턴이 변형되도록 구성되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 다수개의 금속박막패턴의 변형을 수용할 수 있는 공간을 형성하도록 이격되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
LCD(Liquid Crystal Display), 평판표시장치, 표시패널, 전위차, 가요성, 금속박막패턴
Description
본 발명은 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전위차에 따라 금속박막패턴이 변형되는 특성을 이용하여, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 변형된 금속박막패턴에 반사 또는 투과시켜 외부로 출력시킬 수 있도록 구성함으로써 광투과율을 향상시킬 수 있는 동시에 제조비용을 절감할 수 있는 금속박막패턴의 가용성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
근래 들어오면서 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술을 중심으로 하여, 소형 및 경량화되면서 성능이 더욱 향상된 평판표시장치의 수요가 폭발적으로 늘어나고 있다. 이러한 평판표시장치 중에서 근래에 각광받고 있는 액정표시장치(liquid crystal display, LCD)는 소형화, 경량화 및 저전력 소비화 등의 이점을 가지고 있어서 기존의 브라운관(CRT, cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로서 점차 주목받아 왔고, 현재는 평판표시장치를 필요로 하는 소형 제품인 핸드폰 및 PDA(portable digital assistor) 등 뿐만 아니라 중대형 제품인 모니터 및 TV 등에도 장착되어 사용되고 있다.
일반적인 액정표시장치는 두 장의 투명기판 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 형성하고, 액정패널의 일면에 패널측으로 광을 출력시키는 백라이트유닛을 부착시키는 구조로 구성되며, 액정의 특정한 분자 배열에 전압을 인가하여 다른 분자배열로 변환시키고, 이러한 분자 배열에 의해 발광하는 액정셀의 복굴절성, 선광성, 2색성 및 광산란 특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로서 액정셀에 의한 광의 변조를 이용하여 정보를 표시하는 표시장치이다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 구조를 보여주는 단면도로서, 액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, TFT ; 13) 및 화소전극(12)이 형성되어 있는 제1기판(10), 제1기판(10)에 대향하며 컬러필터(Color Filter ; 22) 및 대향전극패턴(23)이 형성되어 있는 제2기판(20) 및 상기 양 기판 사이에 개재되는 액정층(30)으로 이루어진 액정표시패널(Liquid Crystal Display Panel)과, 액정표시패널에 광을 공급하기 위한 백라이트 유닛(Back-Light Unit, BLU ; 40)과, 액정표시패널 및 백라이트 유닛을 구동하기 위한 구동 모듈(미도시)을 포함하여 구성된다.
액정표시패널에 개재되는 액정층(30)은 광학적 이방성을 갖는 분자들로 구성되어 있으며, 전압이 가해지면 전기장의 방향에 따라 분자들의 배열이 변경되는 특징을 갖기 때문에 액정층(30)은 전압의 공급 여부에 따라, 광의 편광을 변경할 수 있다. 이러한 액정층(30)의 특성을 이용하여, 액정표시패널의 상부 및 하부에 편광판(11, 21)을 구비하여 광을 투과 또는 차단함으로써 영상을 표시할 수 있다.
또한, 액정표시패널은 자체적으로 발광하지 못하는 비발광성 소자이기 때문에 백라이트 유닛(40)으로부터 광을 공급받아 영상을 표시하고 있다. 이러한 백라이트 유닛(40)은 통상적으로 백색광을 출력하기 때문에 액정표시패널을 통해 다양한 색상을 구현하기 위해서는, 액정표시패널을 이루는 2개의 기판 중 하나의 기판에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 3원색으로 이루어진 컬러필터(22)를 형성하고, 이 컬러필터(22)에 투과되는 광의 양을 조절하여 원하는 색상을 표시하는 컬러필터 방식이나, 또는 하나의 화소를 RGB 각각의 단위 화소로 분할하지 않고, 하나의 화소에 RGB 백라이트로부터 출력되는 RGB 3원색의 광을 시분할하여 순차적으로 표시함으로써 화상 표시시 눈의 잔상 효과를 이용하는 필드순차(Field Sequential, FS)구동방식이 이용될 수 있다.
그러나 종래기술에 따른 액정표시장치는 액정표시패널에 액정을 주입하기 전에 액정을 프리틸트(pretilt)시키기 위한 러빙 공정, 스페이서 주입공정, 액정 주입공정 등이 수행되는데, 특히, 러빙 공정은 배향홈의 형성, 배향막(14, 24)의 형성, 세정 공정, 건조 공정 등의 다단계 공정으로 이루어져 액정표시장치의 전체 제조 시간을 증가시키고, 배향홈을 형성하는 과정에서 미세한 파티클이 발생되어 제조 설비에서의 불량을 유발시키는 문제점이 있다.
또한, 백라이트 유닛(40)으로부터 출력되는 광이 편광판(11, 21), 컬러필터(22), 액정층(30) 등 다수 개의 층을 통과하여 외부로 출력되기 때문에 전체적인 광투과율이 저하된다는 문제점도 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여, 한 쌍의 투명기판 사이에 금속박막패턴을 형성하고, 전계를 인가하여 한 쌍의 투명기판 사이에 형성되는 전위차에 의해 금속박막패턴이 변형되는 특성을 이용하여 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 금속박막패턴의 하부면 또는 상부면으로 입사시켜 인접한 금속박막패턴을 통해 반사시켜 외부로 출력하거나 또는, 이와 함께 금속박막패턴 간에 형성되는 공간을 통해 광을 투과시킴으로써 광 투과율을 향상시킬 수 있고, 고가의 재료를 사용하지 않아도 되므로 제조비용을 절감할 수 있는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널은, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 입사시켜 정보를 표시하는 표시패널에 있어서, 상기 표시패널은, 제1기판과; 상기 제1기판의 상부에 격자형태로 형성되는 차광막패턴과; 상기 차광막패턴 및 상기 제1기판 상부에 형성되는 투명막과; 상기 격자형태의 차광막패턴 사이에 형성되는 투광영역 상에 형성되되, 일측은 상기 투명막 상부에 접속되고 나머지 부분은 상기 투명막과 이격되어 분리되도록 형성되는 다수개의 금속박막패턴; 및 상기 제1기판 상부에 이격되어 구비되되, 하부에 상기 금속박막패턴과 직교하는 방향으로 배열되는 대향전극패턴이 구비되는 제2기판;을 포함하여 구성되어, 상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴에 전계가 인가되면, 상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴 사이에 형성되는 전위차에 의해 상기 다수개의 금속박막패턴이 변형되도록 구성되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 다수개의 금속박막패턴의 변형을 수용할 수 있는 공간을 형성하도록 이격되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조방법은, 제1기판 상부에 격자형태의 차광막패턴을 형성하는 단계와; 상기 차광막패턴 및 상기 제1기판 상부에 투명막을 형성하는 단계와; 상기 투명막 상부의 상기 격자형태의 차광막패턴 사이에 형성되는 투광영역에 희생막패턴을 형성하는 단계와; 상기 희생막패턴 일측의 상기 투명막 상부로부터 상기 희생막패턴 일측면을 따라 상기 희생막패턴 상부로 이어지는 금속박막패턴을 형성하는 단계와; 상기 투명막 상부에 화소영역을 정의하는 격벽을 형성하는 단계와; 상기 희생막패턴을 제거하는 단계; 및 상기 제1기판 상부에 상기 금속박막패턴과 직교하는 방향으로 배열된 대향전극패턴이 형성된 제2기판을 정렬하여 합착하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 및 그 제조방법은, 한 쌍의 투명기판 사이에 금속박막패턴을 형성하고, 전계를 인가하여 한 쌍의 투명기판 사이에 형성되는 전위차에 의한 금속박막패턴의 변형을 이용하여, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 투과 또는 반사시켜 광 투과율을 조절함으로써, 특정 방향의 광을 여러 층에 걸쳐 투과시켜 외부로 출력하고 있는 LCD 표시패널에 비하여 광투과율을 향상시킬 수 있고, 편광판, 배향막 및 액정 등과 같은 고가의 재료를 사용하지 않아도 되므로 제조비용을 절감할 수 있다는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하지만, 본 발명은 그 요지를 이탈하지 않는 한 이하의 실시예에 한정되지 않는다.
도 2a 내지 도 2g는 본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조과정을 보여주는 단면도이다.
먼저, 투명재질로 이루어진 제1기판(100) 상부에 차광막을 증착하고, 사진식각공정을 통해 차광막을 패터닝하여 격자형태의 차광막패턴(110)을 형성한다. 이때, 제1기판(100)은 투명기판으로서, 유리기판이나 연성을 갖는 플라스틱 등을 이용할 수 있고, 차광막은 광을 흡수하거나 반사시키는 재질으로서, 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이들의 합금물질 등의 도전체나 유기막 또는 무기막 등의 절연체가 사용될 수 있다. 격자형태의 차광막패턴(110) 사이에는 백라이트 유닛으로부터 입사되는 광이 투과될 수 있도록 투광영역이 형성된다. (도 2a 참조)
다음, 제1기판(100) 및 차광막패턴(110) 상부에 투명막(120)을 형성한다. 이때, 투명막(120)은 절연막으로서 차광막패턴(110)에 의해 형성된 단차를 제거하고, 차광막패턴(110)이 도전성의 금속재질로 형성되는 경우, 차광막패턴(110)과 이후에 형성되는 금속박막패턴(140)을 서로 절연시키는 역할을 하며, 산화막, 산화질화막, 질화막 등을 이용하여 단일막 또는 이들의 적층구조로 형성된다. (도 2b 참조)
그 다음, 투명막(120) 상부에 소정 두께의 희생막을 형성하고, 사진식각공정을 통해 패터닝하여 희생막패턴(130)을 형성한다. 희생막패턴(130)은 투명막(120)과 식각선택비 차이를 갖는 물질을 이용하여, 격자형태의 차광막패턴(110) 사이에 형성되는 투광영역에 형성되며, 사진식각공정시 테이퍼식각을 실시함으로써 희생막패턴(130)의 측벽이 경사를 가지며 형성되도록 한다. 이는 이후에 형성되는 금속박막패턴(140) 내에 경사를 갖는 단차를 형성함으로써 휨 또는 복원을 용이하게 하기 위함이다. (도 2c 참조)
다음, 투명막(120) 및 희생막패턴(130) 상부에 금속박막을 형성한다. 이때, 금속박막은 광을 차단하고 반사시키는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이들의 합금물질로 형성될 수 있으며, 상기한 물질들을 이용하여 2중 또는 3중 적층구조로 형성될 수 있다. 이렇게 금속박막을 2중 또는 3중 적층구조로 형성하는 경우에는, 최상부면과 최하부면에 형성되는 금속박막이 더 높은 반사율을 갖는 금속박막이 형성되도록 함으로써 외부로 출력되는 광의 효율을 향상시킬 수 있도록 한다.
이후, 사진식각공정을 통해 금속박막을 패터닝하여 금속박막패턴(140)을 형성하되, 금속박막패턴(140)은 희생막패턴(130) 일측의 투명막(120) 상부로부터 희생막패턴(130) 일측면을 따라 상기 희생막패턴(130) 상부로 이어지도록 형성된다. 즉, 금속박막패턴(140)의 일부는 희생막패턴(130)의 측면을 통해 투명막(120) 상에 접속되고, 나머지부분은 투명막(120) 상부에 접속된 부분과 경사를 갖는 단차로 연결된 상태로 희생막패턴(130)의 상부에 형성되도록 한다. 이렇게 형성되는 금속박막패턴(140)은 하나의 화소영역 내에 다수 개가 구비될 수 있고, 일 방향, 즉 투명막(120) 상에 접속되는 부분이 서로 전기적으로 접속되도록 형성될 수 있으며, 하나의 화소 내에서 서로 다른 방향으로 휘도록 형성될 수도 있다.
이러한 구성을 통해 금속박막패턴(140)은 전극으로 사용되는 동시에 휨 또는 복원되는 동작을 통해 백라이트 유닛으로부터 입사되는 광을 인접한 금속박막패턴(140)으로 반사시켜 외부로 광을 출력하는 역할을 하며, 외부로 출력되는 광량은 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210) 간에 인가되는 전위차에 의해 조절될 수 있다. (도 2d 참조)
다음, 전체표면 상부에 소정 두께의 절연막을 형성하고, 사진식각공정을 통해 절연막을 패터닝함으로써 화소영역을 정의하는 격벽(150)을 형성한다. 이때, 절연막은 광중합개시제, 바인더수지, 고분자모노머, 용매로 이루어진 포토레지스트에 크롬계열의 금속재료 또는 카본계열의 유기재료 등의 블랙매트릭스(Black Matrix, BM) 재료가 사용될 수도 있다. 또한, 격벽(150)을 통해 화소영역을 정의할 때에는 하나의 화소영역에 전기적으로 서로 연결된 다수 개의 금속박막패턴(140)이 구비될 수 있도록 하며, 하나의 화소영역에는 RGB를 표시하는 다수 개의 서브 화소가 위치될 수 있도록 한다. (도 2e 참조)
그 다음, 격벽(150), 금속박막패턴(140) 및 희생막패턴(130)의 식각선택비 차이를 이용한 선택적 식각방식을 통해 금속박막패턴(140) 하부에 형성된 희생막패턴(130)을 제거한다. 희생막패턴(130)이 제거된 이후, 금속박막패턴(140)의 일부는 투명막(120) 상부에 접속되고, 나머지 금속박막패턴(140)은 투명막(120)과 소정 거리 이격된 상태로 플로팅되어 있다. 이러한 구성을 통해 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210)에 전계가 인가되면 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210) 간의 전 위차에 의해 금속박막패턴(140)이 휘면서 변형되고, 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 금속박막패턴(140)의 하부면 또는 상부면으로 입사시켜 인접한 금속박막패턴(140)의 상부면 또는 하부면으로 반사시키거나, 또는 금속박막패턴(140)과 차광막패턴(110) 사이에 형성되는 공간을 통해 투과시킴으로써 외부로 출력시킬 수 있다. (도 2f 참조)
그 후, 제1기판(100)과, 제1기판(100) 상에 형성된 금속박막패턴(140)과 직교하는 방향으로 배열되는 대향전극패턴(210)이 형성된 제2기판(200)을 서로 정렬시켜 합착시킴으로써 표시패널의 형성과정을 완료한다. 이때, 제1기판(100)과 제2기판(200)은 금속박막패턴(140)의 변형을 수용할 수 있는 공간을 형성할 수 있도록 이격되어 합착되며, 대향전극패턴(210)은 투명재질의 도전체인 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 또는 비정질 ITO를 이용하여 형성될 수 있다. (도 2g 참조)
또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 백라이트 유닛으로부터 입사되는 광을 금속박막패턴(140)을 통해 반사 또는 투과시켜 외부로 출력하는 방향에 위치하는 기판(200) 상에 적색(Red), 녹색(Green) 및 청색(Blue)로 이루어진 컬러필터(220)를 추가로 형성하여 풀컬러(full-color)를 구현할 수도 있으며, 이러한 경우에는 컬러필터 각각의 색상 사이에 광이 누설되어 화질이 저하되는 것을 방지하기 위해 블랙매트릭스(230)를 형성할 수도 있다.
이하에서는 상술한 제조과정을 통해 형성되는 표시패널을 이용하여 표시장치를 구성하는 실시예에 대하여 설명한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1실시예에 따른 금속박막패턴(140)의 가요 성을 이용한 표시패널의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 3a를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시장치는, 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210)에 전계가 인가되지 않은 상태로 금속박막패턴(140)이 백라이트 유닛(300)으로부터 출력되는 광을 차단한 상태를 보여주고 있다. 본 실시예에서는 표시패널이 백라이트 유닛(300)으로부터 출력되는 광을 제1기판(100)에 형성된 금속박막패턴(140)을 통해 반사 또는 투과시켜 제2기판(200)을 통해 외부로 출력할 수 있도록 구성되어 있고, 제2기판(200)으로 출력되는 광이 풀컬러를 구현할 수 있도록 제2기판(200)과 대향전극패턴(210) 사이에 컬러필터(220)가 형성되어 있으며, 컬러필터(220) 사이에는 컬러필터(220) 각각의 색상 사이에 광이 누설되어 화질이 저하되는 것을 방지하기 위한 블랙매트릭스(230)가 형성되어 있다.
도 3b를 참조하면, 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210)에 전계가 인가된 상태로 백라이트 유닛(300)으로부터 출력된 광이 전위차에 의해 휘어져 있는 금속박막패턴(140)의 하부면으로 입사되어 인접한 금속박막패턴(140)의 상부면으로 반사되어 제2기판(200)을 통해 외부로 출력되는 상태를 보여주고 있다.
도 3c를 참조하면, 백라이트 유닛(300)으로부터 출력된 광이 표시패널 측으로 입사되어 일부는 금속박막패턴(140)이 휘어져 금속박막패턴(140)과 차광막패턴(110) 사이에 형성된 공간으로 투과되고, 나머지는 금속박막패턴(140)의 하부면으로 입사되어 인접한 금속박막패턴(140)의 상부면으로 반사되어 제2기판(200)을 통해 외부로 출력되는 상태를 보여주고 있다.
이러한 경우, 금속박막패턴(140)과 대향전극패턴(210) 간에 형성되는 전위차를 조절하여 금속박막패턴(140)의 휘는 정도를 증가시킴으로써 금속박막패턴(140)과 차광막패턴(110) 사이에 광이 직접 투과될 수 있도록 공간을 형성하여 광투과율을 향상시키고 있는데, 금속박막패턴(140)의 휘는 정도는 형성되는 금속박막패턴(140)의 재질에 따라 전위차를 증가시키거나 또는 감소시킴으로써 조절될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 금속박막패턴(140)의 가요성을 이용한 표시장치는, 제2기판(200) 상에 컬러필터(220a), 블랙매트릭스(230a), 절연막(240), 차광막패턴(250), 투명막(260) 및 금속박막패턴(270)을 순차적으로 형성하고, 제2기판(200) 상부에 대향전극패턴(110a)이 형성된 제1기판(100)을 합착하여 표시패널을 형성한 구성으로서, 전계가 인가되어 금속박막패턴(270)이 휘어져 변형되면 백라이트 유닛(300)으로부터 출력되는 광을 제1기판(100)을 통해 금속박막패턴(270)의 상부면으로 입사시켜 인접한 금속박막패턴(270)의 하부면으로 반사시켜 제2기판(200)의 외부로 출력하는 상태를 보여주고 있다.
이러한 구성은 상술한 제1실시예와는 달리 제1기판(100) 상에 대향전극패턴(110a)이 형성되고, 제2기판(200) 상부에 금속박막패턴(270) 및 컬러필터(220a) 등이 형성되어 있다는 차이점이 있으며, 제1실시예에서와 같이 금속박막패턴(270) 과 차광막패턴(250) 간에 형성되는 전위차를 조절함으로써 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광의 일부는 금속박막패턴(270)과 차광막패턴(250) 사이에 형성되는 공간으로 투과시키고, 나머지는 인접한 금속박막패턴(270)으로 반사시킴으로써 광투과율을 향상시킬 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 통상적인 액정표시장치의 구조를 보여주는 단면도.
도 2a 내지 도 2g는 본 발명에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조과정을 보여주는 단면도.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1실시예에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 구성을 보여주는 단면도.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 구성을 보여주는 단면도.
<도면의 주요부에 대한 설명>
100 : 제1기판 110, 250 : 차광막패턴
110a, 210 : 대향전극패턴 120, 260 : 투명막
130 : 희생막패턴 140, 270 : 금속박막패턴
150 : 격벽 200 : 제2기판
220, 220a : 컬러필터 230, 230a : BM
240 : 절연막 300 : 백라이트 유닛
Claims (10)
- 백라이트 유닛으로부터 출력되는 광을 입사시켜 정보를 표시하는 표시패널에 있어서,상기 표시패널은,제1기판과;상기 제1기판의 상부에 격자형태로 형성되는 차광막패턴과;상기 차광막패턴 및 상기 제1기판 상부에 형성되는 투명막과;상기 격자형태의 차광막패턴 사이에 형성되는 투광영역 상에 형성되되, 일측은 상기 투명막 상부에 접속되고 나머지 부분은 상기 투명막과 이격되어 분리되도록 형성되는 다수개의 금속박막패턴; 및상기 제1기판 상부에 이격되어 구비되되, 하부에 상기 금속박막패턴과 직교하는 방향으로 배열되는 대향전극패턴이 구비되는 제2기판;을 포함하여 구성되어,상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴에 전계가 인가되면, 상기 다수개의 금속박막패턴과 상기 대향전극패턴 사이에 형성되는 전위차에 의해 상기 다수개의 금속박막패턴이 변형되도록 구성되며,상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 다수개의 금속박막패턴의 변형을 수용할 수 있는 공간을 형성하도록 이격되어 구비되는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 차광막패턴은,알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이들의 합금물질, 불투명 유기막 및 불투명 무기막으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 한 가지의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 금속박막패턴은,알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 및 이들의 합금물질으로 이루어지는 군에서 선택되는 한 가지 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 금속박막패턴은,알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 및 이들의 합금물질으로 이루어지는 군에서 선택되는 두 가지 이상의 물질을 사용하여 형성되는 적층구조인 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 금속박막패턴은,상기 투명막 상부에 접속되는 부분과 상기 투명막 상부와 이격되어 분리되도록 형성되는 부분이 경사를 갖는 단차로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널.
- 제1기판 상부에 격자형태의 차광막패턴을 형성하는 단계와;상기 차광막패턴 및 상기 제1기판 상부에 투명막을 형성하는 단계와;상기 투명막 상부의 상기 격자형태의 차광막패턴 사이에 형성되는 투광영역에 희생막패턴을 형성하는 단계와;상기 희생막패턴 일측의 상기 투명막 상부로부터 상기 희생막패턴 일측면을 따라 상기 희생막패턴 상부로 이어지는 금속박막패턴을 형성하는 단계와;상기 투명막 상부에 화소영역을 정의하는 격벽을 형성하는 단계와;상기 희생막패턴을 제거하는 단계; 및상기 제1기판 상부에 상기 금속박막패턴과 직교하는 방향으로 배열된 대향전극패턴이 형성된 제2기판을 정렬하여 합착하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 제1기판과 상기 차광막패턴 사이에,컬러필터를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 제2기판과 대향전극패턴 사이에,컬러필터를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 희생막패턴을 형성하는 단계는,상기 투명막 상부에 희생막을 형성하는 단계; 및사진식각공정을 통해 상기 투광영역 상에 희생막패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되되,상기 사진식각공정 시 상기 희생막패턴의 측벽에 경사가 형성되도록 테이퍼식각공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 희생막패턴을 제거하는 단계는,상기 금속박막패턴, 상기 투명막패턴 및 상기 격벽과의 식각선택비 차이를 이용한 선택적 식각공정으로 수행되어, 상기 금속박막패턴의 일측은 상기 투명막 상부에 접속되고, 상기 금속박막패턴의 나머지 부분은 상기 투명막으로부터 이격되어 분리되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 금속박막패턴의 가요성을 이용한 표시패널의 제조방법.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
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Payment date: 20140420 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160524 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |