KR101042195B1 - 대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광 - Google Patents

대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키기 위해, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하고, 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하며, 패턴 인스턴스 내에서, 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하고, 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성한다. 마스크리스 노광 방법은 스캔 데이터 중에서 점등 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 이렇게 래스터화된 스캔 데이터에 따라 다수의 포인트 광들이 이동 및 점멸함으로써 기판을 노광시킨다.

Description

대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광{MASKLESS LITHOGRAPHY USING RASTERIZATION OF MASSIVE POLYGONS}
본 발명은 마스크리스 노광 기술에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광 기술에 관한 것이다.
통상적으로 반도체나 LCD 기판에 소자들을 구현하기 위해 포토마스크를 이용한 노광 기술이 적용된다. 소자를 구성하는 최소 특징형상(feature)의 크기가 작아지고 동시에 웨이퍼나 기판의 크기가 커짐에 따라, 포토마스크를 제작하는 비용도 점점 커지고 있다. 이런 상황을 타개하기 위해 포토마스크를 사용하지 않는 노광 기술이 연구되고 있다.
기본적으로, 노광 기술은 포토레지스트에 선택적으로 빛을 조사하는 기술이므로, 기판 중 선택된 영역에만 직접 빛을 조사할 수 있다면, 기판을 포토마스크로 가리고 기판 전체에 빛을 쪼이는 종래의 기술을 충분히 대체할 수 있다. 만약, 좁은 영역에 조사되는 빔들을 스캐닝하면서 적절한 위치에서 켜고 끌 수 있다면, 원하는 영역만 노광시킬 수 있을 것이다.
마스크리스 노광 기술은 빛이 퍼지지 않고 일정 면적에 집중되게 하는 포인 트 광 발생에 관한 기술과, 발생되는 포인트 광들을 효과적으로 스캐닝 및 제어하는 기술이 문제될 수 있다.
특히, LCD의 경우, 최신 공정에 쓰이는 LCD 유리 기판의 크기가 2m가 넘을 정도로 대단히 크며, 전체 기판에 걸쳐 포인트 광들을 켜고 끄기 위한 제어 데이터를 생성하고, 저장하고, 전송하는 데에 큰 어려움이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 포인트 광의 제어 데이터를 빠르게 생성하고, 데이터를 효과적으로 전송할 수 있는 마스크리스 노광 기술을 제공하는 데에 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은, 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 상기 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계; 및
상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계;
상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및
다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
만약 상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
만약 상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은 상기 스캔 방향의 해상도에 따 라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 마스크리스 노광 방법은, 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 상기 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
상기 포인트 광이 지나는 스캔 라인마다, 상기 스캔 라인이 통과하는 모든 패턴 인스턴스들 내의 슬라브들의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들 사이의 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계; 및
상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 마스크리스 노광 장치는 위의 실시예들에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및
상기 스캔 데이터에 따라, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 마스크리스 노광 방법은, 포인트 광 어레이에서 발생시킨 다수의 포인트 광들을 스캔 방향으로 이동시키면서 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 상기 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계;
상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계;
상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터를 수신하는 단계; 및
상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터에 기초하여 상기 다수의 포인트 광들을 점멸시키는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계;
상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및
다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
만약 상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
만약 상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
바람직하게는, 상기 마스크리스 노광 방법은, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸될 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는
각 시간 프레임마다 모든 포인트 광들의 점멸 상태를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는
상기 포인트 광들의 점멸 상태의 변화를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 실시예는 마스크리스 노광 장치로써, 위의 노광 방법에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및
상기 스캔 데이터를 수신하고, 수신된 스캔 데이터에 따라 포인트 광 어레이에서 다수의 포인트 광들을 점멸시킴으로써, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 마스크리스 노광 기술은 폴리곤들의 슬라브 분할 및 래스터화를 통해 포인트 광의 제어 데이터를 빠르게 생성하고, 포인트 광의 동작 상태가 변하는 이벤트 발생 정보만을 전송함으로써 데이터를 효과적으로 전송할 수 있다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포인트 광 어레이를 가진 노광 장치에서 패턴을 스캐닝하는 동작을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 1을 참조하면, 포인트 광 어레이(point light array)(10)와 패턴(20)이 표시되어 있다. 포인트 광은 실질적으로 확산되지 않고 진행하는 일종의 빔과 같은 빛으로서, 렌즈를 이용하여 집광하는 방식, LCD 디스플레이의 화소를 이용하는 방식, 디지털적으로 제어되는 다수의 마이크로미러를 이용하여 광원 중 일부만 선택적으로 조사하는 방식 등이 제안되고 있다. 그 방식에 따라, 포인트 광 어레 이(10)가 직접 스캔 방향을 따라 이동할 수도 있고, 이와 달리 광원들은 실질적으로 움직이지 않고 포인트 광들의 조사 지점만 이동할 수도 있다.
포인트 광 어레이(10)에는 다수의 포인트 광원 셀들(11)이 MxN 매트릭스 배열되어 있다. 통상적으로, 포인트 광(12)의 빔 폭(w)은 포인트 광원 셀의 가로 및 세로 길이(d)보다 훨씬 작다. 이때, 포인트 광 어레이(10)가 그 가로 길이 방향이 스캔 방향(x축)과 평행하게 이동하면서 조사한다면, 빔 사이의 공백 때문에 여러 차례 왕복하면서 조사해야만 전체를 노광할 수 있을 것이다. 반면에, 포인트 광 어레이(10)가 도 1과 같이 θ만큼 약간 기울여 스캔 라인(13) 중심 사이의 간격(a)이 빔 폭(w)과 같거나 약간 작게 한다면, 한 차례 스캔으로 해당 영역을 공백 없이 노광할 수 있다.
비록 도 1에서는 하나의 스캔 라인(13)에 하나의 포인트 광이 지나가는 경우가 예시되었지만, 포인트 광 어레이(10)를 잘 살펴보면, 그 배열 형상에 따라 하나 이상인 K개의 포인트 광이 스캔될 수 있음을 알 수 있다. 어떤 하나의 스캔 라인(13)에는 같은 수의 포인트 광이 지나가도록 하는 것이 바람직하며, 지나가는 포인트 광의 수에 따라 노광의 강도를 변경할 수 있다. 또한, K>2인 경우에는, 포인트 광 어레이(10)의 상부와 하부에는 다른 포인트 광원 셀들에 비해 K 값이 맞지 않아 사용될 수 없는 포인트 광원 셀들(11)이 있을 수 있는데, 사용되지 못하는 셀들을 제외하고 실제 사용되는 포인트 광원 셀들(11)의 개수와 포인트 광 어레이(10)가 이동할 때에 동시에 처리되는 스캔 라인(13)의 수는 밀접한 관계가 있다.
예를 들어, 400x300 배열, 셀 크기 d=300㎛의 포인트 광 어레이를 이용할 경 우에, 패턴의 최소 특징형상을 표현하기 위한 y축 해상도를 10㎛이라면, θ=1.909°일 때 K는 10이며 스캔 라인의 중심 간격 a= 9.99445㎛로 결정된다. 하나의 스캔 라인마다 10개의 포인트 광이 조사될 수 있고, 유효한 스캔 라인의 개수는 387개이다.
도 1에서는 설명의 편의를 위해 K=1이고, 2x5 배열의 포인트 광 어레이(10)를 가지고 설명한다. 포인트 광 어레이(10)가 스캔 방향으로 이동하면서 한번에 처리할 수 있는 유효 스캔 라인(13)의 수는 10이다. 한편, 포인트 광원(12)의 폭(w)은 실제로는 스캔 라인의 간격(a)과 같거나 약간 더 크지만, 스캔 라인들 사이의 구별과 설명의 편의를 위해 스캔 라인의 간격(a)보다 작게 표현하였다.
포인트 광 어레이(10)는 스캔 방향으로 이동하면서 스캔 데이터를 실시간으로 또는 미리 전송받으며, 스캔 데이터에 따라 포인트 광(12)을 점등시키고 소등시킴으로써, 기판에 패턴을 형성할 수 있다.
한편, LCD기판이나 반도체 기판을 위한 전체 패턴은 일정 패턴 인스턴스들이 반복되는 경우가 많다. 따라서, 기준 패턴 인스턴스를 지정하고, 이로부터 스캔 데이터를 생성한 다음, 나머지 패턴 인스턴스들에 관하여는 기준 패턴 인스턴스들과의 기하학적 관계에 따라 각각의 스캔 데이터를 생성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 노광 장치는 제어부와 노광부를 포함할 수 있다. 제어부에서는 스캔 데이터를 생성하고, 생성된 스캔 데이터를 노광부에 전송한다. 노광부는 기판을 적재하고, 다수의 포인트 광을 이용하여 기판을 노광시킬 수 있다. 구체적으로, 노광부는 상기 스캔 데이터를 수신하고, 수신된 스캔 데이터에 따라 포인트 광 어레이에서 다수의 포인트 광들을 점멸시키면서 기판 상에 이동시킴으로써 기판을 노광시킨다.
이어서, 기준 패턴 인스턴스에서 스캔 데이터를 생성하는 과정을 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라, 패턴 인스턴스에서 스캔 데이터를 생성하기 위한 과정을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2를 참조하면, 임의의 패턴 인스턴스의 일부분(20)이 나타나 있다. 도 1과 비교하기 쉽도록 도 1의 패턴과 유사한 폴리곤(또는 다각형)으로 예시하였다. 예시한 폴리곤(20)은 12개의 선분으로 이루어져 있고, 각 선분은 l0부터 l11까지 명칭이 할당된다. 각 선분은 직선 방정식으로써, 즉 기울기, x 절편, y 절편 등의 정보로써 표현될 수 있으며, 이들 정보는 인덱스와 함께 선분 테이블에 저장될 수 있다.
각 선분들의 교점(이벤트 포인트)을 지나면서 스캔 방향과 평행한 직선은 y0, y1, y2, y3으로 표시되어 있다. 이러한 직선 y0, y1, y2, y3이 슬래브(slab)를 구별하는 선이다. 즉, y0와 y1 사이가 슬래브(s0)이고, y1과 y2 사이가 슬래브(s1)이며, y2와 y3사이가 슬래브(s2)이다. 이벤트 포인트들에 관하여, 각각의 y축 값이 인덱스와 함께 이벤트 포인트 테이블에 저장된다.
각각의 슬래브는 양쪽에 두 개의 선분을 가진다. 예를 들어, 슬래브(s2)는 선분(l7)과 선분(l5)가 경계선이다. 슬래브들에 관하여, 그 인덱스 및 양쪽 선분의 정보가 슬래브 테이블에 저장된다.
슬래브들은 스캔 방향으로 연장된 선에 의해 구분되므로, 슬래브의 양 경계선은 슬래브의 형태로 기판을 노광시키기 위해 포인트 광들이 켜졌다가 꺼지는 지점을 의미한다. 따라서, 각 포인트 광들이 슬래브를 어떻게 통과하는지를 살피면, 슬래브로부터 스캔 조각을 추출하고, 스캔 조각들의 집합으로부터 스캔 데이터를 생성할 수 있다.
포인트 광의 이동은 스캔 라인을 따라 이루어진다. 임의의 스캔 라인이 슬래브에 진입하는 지점에서 포인트 광이 점등되고 슬래브에서 이탈하는 지점에서 포인트 광이 소등하도록 스캔 데이터를 생성하는 것이 목적이다. 스캔 라인은 가로축에 평행하며 y값이 일정하다. 스캔 라인들의 간격(a)도 일정하므로, i번째 스캔 라인은 가장 하위의 스캔 라인 c0의 y값에 i×a를 더한 값이다. 이때, i번째 스캔 라인의 y값을 가지고 이벤트 포인트 테이블과 슬래브 테이블을 참조하면, 이 스캔 라인이 어떤 슬래브를 통과하는지 알 수 있고, 슬래브 테이블을 참조하면 어떤 경계 선분을 만나는지도 알 수 있다. 선분 테이블을 참조하면, 그 선분들의 직선 방정식을 알 수 있다.
이어서, i번째 스캔 라인이 해당 슬래브에 진입하는 지점은 스캔 라인의 y값을 슬래브의 왼쪽 경계 선분의 직선 방정식에 대입하면 알 수 있다. 마찬가지로 i번째 스캔 라인이 해당 슬래브에서 이탈하는 지점은 스캔 라인의 y값을 슬래브의 오른쪽 경계 선분의 직선 방정식에 대입하면 알 수 있다.
스캔 라인이 슬래브에 진입하는 지점부터 이탈하는 지점까지의 스캔 라인을 스캔 조각이라고 부를 수 있다. 이렇게 스캔 조각들의 좌표를 스캔 라인별로 종합하여 스캔 데이터를 구성할 수 있다.
예를 들어 도 2를 참조하면, 8번째 스캔 라인(c7)에 관하여 스캔 조각은 다음과 같이 얻을 수 있다. 스캔 라인(c7)의 y값은 c0+7*a이며, 이벤트 포인트 테이블로부터 c7의 y값이 y2와 y3 사이에 있음을 알 수 있고, 이는 3번째 슬래브(s2)에 해당한다. 슬래브 테이블로부터 3번째 슬래브(s2)는 양쪽의 경계 선분이 각각 l7과 l5임을 알 수 있고, 스캔 라인(c7)의 y 값을 선분들(l7, l5)의 직선 방정식에 대입하면, 스캔 라인(c7)이 3번째 슬래브(s2)에 진입하고 이탈하는 지점들의 x축 값들을 계산할 수 있다. 스캔 라인(c7)에 대해, 진입 지점의 x축 값과 이탈 지점의 x축 값이 스캔 조각의 시작과 끝을 의미한다.
전체 패턴에서 모든 스캔 라인에 대해 스캔 조각을 찾는 방법에 대해서, 두 가지 접근 방안이 있을 수 있다. 첫째, 스캔 라인 기준 탐색 방법은, 매 스캔 라인마다 전체 패턴에 걸쳐 스캔 조각을 찾는 방법이다. 둘째, 패턴 인스턴스 기준 탐색 방법은, 어느 기준 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들을 찾은 다음, 다음 패턴 인스턴스 내에서는 스캔 조각들을 차례로 찾는다.
첫 번째 방법은 직관적이기는 하나, 전체 패턴을 메모리에 저장한 상태에서 계산이 이루어져야 하고, 매 스캔 라인마다 전체 패턴을 대상으로 스캔 조각들을 계산하여야 하므로, 계산량이 훨씬 커질 수 있다.
두 번째 방법은 패턴 인스턴스 별로 스캔 조각들을 계산하므로, 전체 패턴에서 어떤 스캔 라인이 어느 패턴 인스턴스들을 지나가는지를 잘 고려하여야 한다.
예를 들어, 만약 패턴이 스캔 라인에 대해 약간 기울어진 경우에는, 어느 한 패턴 인스턴스의 위쪽 일부를 지나는 스캔 라인이 바로 위 패턴 인스턴스에서는 아래쪽 일부를 지나갈 수 있다. 패턴 인스턴스 별로 별도로 계산된 스캔 조각들이 어느 공통된 스캔 라인에 관한 것인지 연산이 명확하게 되어야 한다.
이를 위해 다음과 같이 패턴 인스턴스들 중에서 어떤 순서로 스캔 조각을 계산할 것인지 검토할 필요가 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에서, 패턴 인스턴스들이 스캔 라인과 평행하게 놓이지 않은 경우에 스캔 조각을 계산하는 과정을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
패턴 인스턴스들 별로 스캔 조각들을 계산하는 방법으로서, 패턴 인스턴스들이 스캔 방향에 대해 φ만큼 기울어져 있을 때에 스캔 조각들을 계산하는 방향이 약간 다를 수 있다.
도 3a에서는 기울어진 각도 φ가 0보다 작은 경우로써, 왼쪽 맨 아래 패턴 인스턴스부터 계산을 시작하여 위쪽 및 오른쪽 방향으로 지그재그로 계산하는 것이 바람직하다.
도 3b를 참조하면, 기울어진 각도 φ가 0보다 큰 경우로써, 왼쪽 맨 위 패턴 인스턴스부터 계산을 시작하여, 아래쪽 및 오른쪽 방향으로 지그재그로 계산하 는 것이 바람직하다.
그러나, 패턴의 배열과 스캔 방향은 일치하는 경우, 즉 φ=0인 경우가 대부분일 것이며, 이때에는 기준 패턴 인스턴스의 옆에 있는 패턴 인스턴스의 스캔 조각은, 기준 패턴 인스턴스에서 계산된 스캔 조각에 대해 기하학적으로 떨어져 있는 거리만큼 더해줌으로써 구할 수 있을 것이다. 따라서 계산량과 시간이 극적으로 줄어들 수 있다. 다만, 기준 패턴 인스턴스의 위쪽에 있는 패턴 인스턴스들에서는, 스캔 라인들이 배치되는 형태가 반드시 기준 패턴 인스턴스의 경우와 동일하지 않을 가능성이 크므로, 스캔 조각 계산을 직접 하는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 포인트 광의 스캔 데이터를 시간 축으로 정렬하는 과정을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
스캔 라인들은 포인트 광 어레이의 광원 셀들이 이동하는 경로이다. 포인트 광 어레이가 비스듬히 기울어진 상태로 이동하기 때문에, 각각의 광원 셀들은 어떤 동일한 x 좌표 값에서 점등하게 되어 있더라도 서로 다른 시간대에서 점등하게 된다. 광원 셀들의 점멸을 디지털적으로 제어하려면 스캔 데이터의 전송이 시간 축을 기준으로 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서, 앞서 x축 상의 점멸 위치를 기준으로 작성된 스캔 데이터는 해당 스캔 라인에 대응하는 광원 셀이 점멸 위치를 실제로 지나는 시간차를 고려하여 시간축에서 재정렬될 필요가 있다.
도 4를 참조하면, 위쪽 그래프는 각 광원 셀들이 이동하면서 점멸하는 위치 데이터를 나타내며, 아래쪽 그래프는 각 광원 셀들이 점멸하는 시간 데이터를 나타낸다. 각 스캔 라인은 상응하는 광원 셀들이 기준 위치에 도달하는 시간만큼 오른 쪽으로 시프트된다.
한편, 도 4의 위쪽 그래프에서는, 스캔 조각의 시작 및 종료 위치는 소정의 정밀도, 즉 해상도를 가지고 계산될 수 있다. 여기서, 시작 및 종료 위치의 정밀도가 높을수록 패턴은 더욱 정밀하게 만들어질 수 있지만, 포인트 광 어레이의 이동 속도는 낮을 것이고 공정 완료 시간은 오래 걸리며 스캔 데이터의 전체 크기와 전송량은 커져야 한다. 해상도는 품질과 노광에 걸리는 시간과 생산성 사이에서 균형을 가질 수 있도록 선택될 수 있다.
도 4의 아래쪽 그래프는 소정의 해상도를 가지고 광원 셀의 점멸을 제어할 수 있도록 시간축에서 재정렬된 스캔 데이터를 나타낸다. 예를 들어 4번 광원 셀을 제어하는 스캔 데이터는 기준 위치를 지난 이후 3 단위 시간에서 점등하였다가 k+1 단위 시간에서 소등한다.
도 5a, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따라 포인트 광의 스캔 데이터를 전송하는 방식을 개략적으로 설명하기 위한 개념도들이다.
도 5a는 예시적인 시간축 배열된 스캔 조각이고, 도 5b 및 도 5c는 스위프 포지션마다 스위프 이벤트 정보를 실시간 전송하는 방식을 설명하는 도면이다.
도 5a를 참조하면, 세로 축은 스캔 라인들이 인덱스와 함께 나타나 있고, 가로 축은 각 스위프 위치마다 스캔 조각이 시작하고 끝나는 사건, 즉 스위프 이벤트(sweep event)들이 스위프 인덱스와 함께 나타나 있다.
도 5b를 참조하면, 스캔 데이터는 순차적으로 연결된 리스트(linked list) 형태로 구현된 스위프 이벤트 테이블에 실려 전송된다.
스위프 위치 0번에서는 2번 스캔 라인만 점등하고 따라서 해당 정보만 전송된다. 스위프 위치 1번에서는 1번, 3번, 4번 스캔 라인이 점등하고, 2번 스캔 라인은 소등하는 정보가 전송된다. 스위프 위치 2번에서는 2번 스캔 라인이 다시 점등한다. 스위프 위치 5번에서는 아무 스위프 이벤트도 발생하지 않기 때문에, 전송되는 데이터가 없다.
한편, 포인트 광 어레이 측에서는 일단 지나간 스위프 위치의 스위프 이벤트에 대한 정보는 불필요하며, 따라서 과거의 스위프 이벤트 데이터는 삭제할 수 있고 메모리를 효율적으로 사용할 수 있다. 하지만 랜덤 액세스가 불가능하기 때문에 리스트 중에 스위프 이벤트를 테이블에 추가하려면 리스트의 처음부터 다시 차례로 검색해야 한다.
도 5c를 참조하면, 스위프 이벤트 테이블의 세로 길이는 스캔 라인의 수이고, 가로 길이는 패턴의 너비를 스위프 간격으로 나눈 값이다. 예를 들어, 패턴 인스턴스의 크기가 400㎛×200㎛이고, 래스터화된 픽셀의 크기는 1㎛×1㎛이며 스위프 간격도 1㎛이고, 한 패턴을 가로지르는 스캔 라인의 수는 200개라고 하고, 패턴 인스턴스의 수가 10×5000 개라면, 전체 패턴을 노광하기 위해 필요한 스위프 이벤트 테이블의 크기는 2000×400이다. 앞서 살펴 보았듯이, 기준 패턴 인스턴스의 오른쪽에 있는 패턴 인스턴스들에 대해서는, 기준 패턴 인스턴스의 스캔 데이터에 소정의 기하학적 거리만 반영하면 되기 때문에, 나머지 4999개의 패턴 인스턴스들에 대해서는 기준 패턴 인스턴스의 스위프 이벤트 테이블을 반복적으로 재사용할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 포인트 광 래스터화 기법을 이용한 마스크리스 노광 절차를 전체적으로 설명하는 순서도이다.
도 6을 참조하면, 마스크리스 노광 절차는, 단계(S61)에서, 제공된 패턴 데이터로부터 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계로부터 시작한다. 특히 LCD 기판에는 수많은 픽셀들이 반복적으로 형성되며, 노광 패턴도 마찬가지로 어떤 폴리곤 형상들을 반복적으로 포함한다. 이러한 반복되는 형상들이 다음의 조건을 만족하면 패턴 인스턴스로 추출될 수 있다.
A. 모든 폴리곤이 닫혀 있다.
B. 반복되는 폴리곤의 집합으로 패턴을 구성할 수 있다.
C. 대규모의 폴리곤을 패턴 인스턴스의 행렬로 나타낼 수 있다.
D. 경계를 제외하면 모든 패턴 인스턴스들은 서로 겹치지 않는다.
E. 패턴의 높이와 너비를 알고 있다.
F. 패턴 인스턴스들의 행과 열 개수를 알고 있다.
이어서 고려해야 할 점은, 노광 대상 기판이 노광 장치의 스캔 방향과 출발 위치에 잘 정렬되지 않을 수 있다는 점이다. 세 가지 유형의 정렬 오류가 있을 수 있는데, x축 방향으로 오프셋되거나, y축 방향으로 오프셋되거나 또는 소정의 회전각을 가지고 기울어질 수 있다. 이들 정렬 오류는 복합적으로 발생할 수 있다. 본 발명에서는 노광 대상 기판의 정렬 이전에 패턴 인스턴스들의 추출이 이루어지고, 노광 대상 기판의 정렬 이후에 다음의 슬라브 구조 생성 작업이 이루어지므로, 이러한 정렬 오류 상황에 모두 대처할 수 있다.
이어서, 단계(S62)에서 기준 패턴 인스턴스 내의 다각형들을 분할하여 슬라브 구조를 생성한다. 도 2에서 설명한 바와 같이, 패턴 인스턴스 내의 다각형들을 이루는 선분들을 추출하고, 선분들의 교점을 추출한다. 이어서, 스캔 방향에 평행하면서 교점들을 지나는 직선들로써 다각형들을 분할하면, 이렇게 분할된 다각형의 각 부분들이 슬라브가 된다.
이때, 스캔 방향은 x축 또는 y축 방향의 오프셋 정렬 오류의 경우에는 변화하지 않지만, 회전 정렬 오류의 경우에는 노광 대상 기판의 회전각이 스캔 방향에 반영된다. 따라서, 도 3a 및 도 3b에서 설명한 바와 같이, 회전 정렬 오류에 대처할 수 있다.
단계(S63)에서, 포인트 광이 지나가는 스캔 라인들을 슬라브 구조에 중첩시키고, 각 스캔 라인마다 그 스캔 라인이 지나가는 슬라브의 양쪽 선분과 해당 스캔 라인이 교차하는 점들을 계산함으로써, 교차점 사이의 스캔 라인을 스캔 조각으로 추출하고, 스캔 조각의 위치 정보로부터 스캔 데이터를 생성한다.
단계(S64)에서, 다른 패턴 인스턴스에서도 스캔 데이터를 생성한다. 이때, 회전 정렬 오류가 없는 경우에는, 기준 패턴 인스턴스로부터 스캔 방향에 있는 패턴 인스턴스들에서는 기준 패턴 인스턴스의 스캔 데이터에 기하학적인 거리 정보를 반영함으로써 쉽게 스캔 데이터를 생성할 수 있다. 회전 정렬 오류가 있는 경우에는, 도 3a 및 도 3b에서 각각 설명한 바와 같이 패턴 인스턴스들의 계산 순서를 정할 수 있다.
이어서 단계(S65)에서는, 스캔 데이터를 스캔 방향의 해상도에 따라 래스터 화한다. 만약 스캔 방향의 해상도가 10㎛이라면, 스캔 조각의 시작 및 끝 위치 값은 1의 자리에서 반올림 처리될 수 있다.
단계(S66)에서는, 스캔 데이터는 포인트 광 어레이의 해당 포인트 광원 셀의 배치에 맞춰, 각 광원 셀이 실제 원하는 동작 위치에 도달하는 시차를 고려하여 시간축을 따라 정렬된다.
단계(S67)에서는, 시간축 정렬된 스캔 데이터는 포인트 광 어레이 측에 전송된다. 이때, 스캔 데이터는 각 단위 시간 프레임마다 모든 포인트 광원 셀의 상태 정보를 포함하여 전송될 수도 있겠지만, 포인트 광의 점멸 변화 이벤트가 있는 광원 셀의 상태 정보만 포함하여 전송하는 것이 데이터의 전송량 및 처리 능력 면에서 바람직할 수 있다. 스캔 데이터는 사전에 전송될 수도 있지만, 노광 공정 중에 실시간으로 전송될 수도 있다.
단계(S68)에서는, 포인트 광들을 스캔 방향으로 이동시키고, 상기 스캔 데이터에 따라 포인트 광원 셀을 점멸시키면서, 기판을 노광한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명이 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이와 균등하거나 또는 등가적인 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포인트 광 어레이를 가진 노광 장치에서 패턴을 스캐닝하는 동작을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라, 패턴 인스턴스에서 스캔 데이터를 생성하기 위한 과정을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에서, 패턴 인스턴스들이 스캔 라인과 평행하게 놓이지 않은 경우에 스캔 조각을 계산하는 과정을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 포인트 광의 스캔 데이터를 정렬하는 과정을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 5a, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따라 포인트 광의 스캔 데이터를 전송하는 방식을 개략적으로 설명하기 위한 개념도들이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 포인트 광 래스터화 기법을 이용한 마스크리스 노광 절차를 전체적으로 설명하는 순서도이다.

Claims (21)

  1. 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
    입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
    상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
    상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계; 및
    상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
    상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
    상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
    상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
    상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
    상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계;
    상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및
    다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
    상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
    상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  7. 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
    입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
    상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
    상기 포인트 광이 지나는 스캔 라인마다, 상기 스캔 라인이 통과하는 모든 패턴 인스턴스들 내의 슬라브들의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들 사이의 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
    상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
    상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
    상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
    상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
    상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
    상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계; 및
    상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  10. 청구항 7에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  11. 청구항 7에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  12. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 청구항에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및
    상기 스캔 데이터에 따라, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함하는 마스크리스 노광 장치.
  13. 포인트 광 어레이에서 발생시킨 다수의 포인트 광들을 스캔 방향으로 이동시키면서 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서,
    입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계;
    상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 상기 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계;
    상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상 기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계;
    상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계;
    상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터를 수신하는 단계; 및
    상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터에 기초하여 상기 다수의 포인트 광들을 점멸시키는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는
    상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계;
    상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및
    상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  15. 청구항 14에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
    상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계;
    상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계;
    상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및
    다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  16. 청구항 15에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는
    상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및
    상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  17. 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  18. 청구항 13에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고,
    상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  19. 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는
    각 시간 프레임마다 모든 포인트 광들의 점멸 상태를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  20. 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는
    상기 포인트 광들의 점멸 상태의 변화를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법.
  21. 청구항 13 내지 청구항 20 중 어느 한 청구항에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및
    상기 스캔 데이터를 수신하고, 수신된 스캔 데이터에 따라 포인트 광 어레이에서 다수의 포인트 광들을 점멸시킴으로써, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함하는 마스크리스 노광 장치.
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