KR101036610B1 - Apparatus for measuring ultrasonic beam width - Google Patents

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KR101036610B1
KR101036610B1 KR1020100115773A KR20100115773A KR101036610B1 KR 101036610 B1 KR101036610 B1 KR 101036610B1 KR 1020100115773 A KR1020100115773 A KR 1020100115773A KR 20100115773 A KR20100115773 A KR 20100115773A KR 101036610 B1 KR101036610 B1 KR 101036610B1
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ultrasonic
target ball
axis
beam width
ultrasonic sensor
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KR1020100115773A
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김영노
이재호
오동근
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나우기연주식회사
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Abstract

PURPOSE: An ultrasonic beam width measurement apparatus is provided to facilitate the measurement of the beam width of an ultrasonic sensor selected according to the kind of an object since beam width is measured on site. CONSTITUTION: An ultrasonic beam width measurement apparatus comprises a liquid tank(100), a target ball clamping unit(200), a sensor transfer unit, and a target transfer unit(600). The liquid tank stores medium liquid for ultrasonic transmission. The target ball clamping unit is placed inside the liquid tank and is coupled with the target ball to be detachable. The sensor transfer unit transfers and fixes the ultrasonic sensor to a measurement position using a gripper module, a straight line transfer module, and a rotary transfer module. The target transfer unit moves a target ball fixing unit vertically inside the liquid tank so the vertical distance between the ultrasonic sensor fixed to the gripper module and a target ball can be adjusted.

Description

초음파 빔폭 측정 장치{Apparatus for Measuring Ultrasonic Beam Width}Apparatus for Measuring Ultrasonic Beam Width

본 발명은 초음파 빔폭 측정 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 초음파 센서에서 발생되는 초음파에 대한 빔폭을 현장에서 용이하게 직접 측정할 수 있도록 함으로써, 피검사체의 종류에 따라 선택되는 초음파 센서의 빔폭 특성을 용이하게 파악할 수 있어 초음파 탐상 검사 작업을 더욱 정확하게 수행할 수 있도록 하고, 초음파 센서의 위치를 고정한 상태에서 타겟볼의 위치를 조절하며 초음파 센서의 초음파 빔폭을 측정할 수 있도록 구성함으로써, 초음파 센서의 초음파 빔폭 측정 결과에 대한 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있고, 초음파를 반사하는 타겟볼을 탈착 가능하게 구성함으로써, 초음파 센서에 따라 선택 적용되는 타겟볼을 용이하게 교체할 수 있어 다양한 초음파 센서에 대한 초음파 빔폭 측정 작업을 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 초음파 빔폭 측정 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an ultrasonic beam width measuring apparatus. More specifically, the beam width of the ultrasonic wave generated by the ultrasonic sensor can be directly and easily measured in the field, so that the beam width characteristic of the ultrasonic sensor selected according to the type of the inspected object can be easily grasped, so that the ultrasonic flaw detection work can be further performed. It is possible to improve the accuracy and reliability of the ultrasonic beamwidth measurement results of the ultrasonic sensor by performing accurate, by configuring the position of the target ball in the fixed state of the ultrasonic sensor and by measuring the ultrasonic beamwidth of the ultrasonic sensor. And by detachably configuring the target ball reflecting the ultrasonic waves, it is possible to easily replace the target ball to be selected according to the ultrasonic sensor can be quickly and easily to perform the ultrasonic beam width measurement for various ultrasonic sensors An ultrasonic beam width measuring apparatus.

초음파란 가청 주파수 범위(20~20000Hz)를 초과하는 주파수 형태의 음파를 의미하는데, 이러한 초음파는 지향성을 갖는 경우 금속과 같은 물체 내부를 진행할 때 직진성을 가지며 공간과 물체의 경계면에서 반사하는 성질을 갖는다. 또한, 초음파는 전자적 복사의 형태가 아닌 기계적 진동의 형태이므로 서로 다른 재질에서 다른 파장을 갖는다.Ultrasound refers to sound waves in the form of frequencies that exceed the audible frequency range (20 to 20000 Hz). These ultrasonic waves have a directivity when traveling inside an object, such as a metal, when directed, and reflect at the interface between the space and the object. . In addition, since the ultrasonic wave is not a form of electromagnetic radiation but a mechanical vibration, it has a different wavelength in different materials.

초음파 탐상 검사는 이러한 초음파를 이용하여 피검사체의 내부 혹은 표면에 존재하는 결함을 검사하는 방법으로, 피검사체에 초음파를 전달하여 표면 또는 내부에 존재하는 결함부로부터 반사되는 초음파의 신호를 분석함으로써 피검사체 내부의 결함을 검출하는 방식으로 진행된다. 즉, 초음파는 동일 매질(피검사체)에서는 직진하지만 다른 매질(결함)과 접하는 계면에서는 각 매질의 물리적 상태 및 성질(음향 임피던스)의 차이에 의하여 반사 또는 굴절하게 되므로, 먼저 초음파 센서를 통해 초음파를 피검사체 내부로 전달하고, 이중 다시 반사되는 초음파를 초음파 센서를 통해 수신하여 탐상기 CRT 상에 펄스신호 형태로 결함 지시를 나타내며, 이 신호를 분석하여 결함의 위치, 종류, 크기 등을 측정하게 된다.Ultrasonic flaw detection is a method of inspecting defects existing in or on the surface of an inspected object by using such ultrasonic waves. It proceeds by detecting defects inside the carcass. That is, the ultrasonic waves are reflected or refracted by the difference in the physical state and properties (acoustic impedance) of each medium at the interface which is straight in the same medium (subject) but is in contact with another medium (defect). The ultrasonic wave is transmitted to the inside of the test object, and the ultrasonic wave is reflected back through the ultrasonic sensor to indicate a defect indication in the form of a pulse signal on the flaw detector. The signal is analyzed to measure the position, type, size, and the like of the defect.

이러한 초음파 탐상 검사를 수행하는 초음파 탐상 검사 장치는 일반적으로 초음파를 발생시킴과 동시에 피검사체의 내부 결함으로부터 반사되는 초음파 신호를 수신하도록 구성되는 초음파 센서와, 초음파 센서의 수신부에 의해 수신된 신호를 펄스 신호로 표시하는 표시부와, 초음파 센서와 피검사체의 마찰 방지를 위한 액체 공급 장치 등을 포함하여 구성된다.Ultrasonic flaw detection apparatus for performing such ultrasonic flaw inspection generally generates an ultrasonic wave and simultaneously receives an ultrasonic signal reflected from an internal defect of the subject and pulses the signal received by the receiver of the ultrasonic sensor. And a display unit for displaying signals and a liquid supply device for preventing friction between the ultrasonic sensor and the inspected object.

이때, 초음파 센서는 센서 케이스의 일측에 커넥터부가 형성되어 외부 기기와 전기적으로 연결되도록 형성되며, 내부에는 인쇄회로기판이 배치되고, 인쇄회로기판에 연결되는 진동자가 센서 케이스의 일단에 초음파를 발생시키도록 배치된다. 진동자는 일체형 또는 분할형으로 구성될 수 있는데, 일체형은 하나의 진동자를 통해 초음파를 발생시킴과 동시에 초음파의 반사파를 수신하도록 구성되며, 분할형은 2개의 진동자를 통해 각각 초음파 발생 및 반사파 수신 기능이 개별적으로 이루어지도록 구성된다.At this time, the ultrasonic sensor is formed so that the connector portion is formed on one side of the sensor case to be electrically connected to the external device, the printed circuit board is disposed inside, the vibrator connected to the printed circuit board generates an ultrasonic wave at one end of the sensor case. It is arranged to be. The vibrator may be of an integral type or a split type, which is configured to generate ultrasonic waves through a single vibrator and receive reflected waves of ultrasonic waves, and the split type has ultrasonic generation and reflected wave reception functions through two vibrators, respectively. It is configured to be done individually.

이러한 초음파 센서는 예상되는 피검사체의 결함 종류에 따라 초음파 센서의 종류를 다르게 선택 적용해야 하는데, 이때, 초음파 센서를 선택하는 중요한 기준 중의 하나가 초음파 센서에서 발생되는 초음파에 대한 빔폭의 크기이다. 초음파 빔폭이 피검사체의 결함의 길이보다 상대적으로 크게 형성된 경우와 상대적으로 작게 형성된 경우는 각각 반사파에 대한 해석 방법이 달라지게 되므로, 초음파 센서의 초음파 빔폭에 대한 특성은 초음파 탐상 검사 작업에 있어서 매우 중요한 선택 인자라 할 수 있다.The ultrasonic sensor should be selected and applied differently to the type of ultrasonic sensor according to the expected defect type of the object under test, and one of the important criteria for selecting the ultrasonic sensor is the size of the beam width for the ultrasonic wave generated by the ultrasonic sensor. In the case where the ultrasonic beam width is formed to be larger than the defect length of the test object and formed to be relatively small, the analysis method for the reflected wave is different. Therefore, the characteristics of the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor are very important in the ultrasonic inspection work. It can be called an optional factor.

일반적으로 초음파 센서의 초음파 빔폭에 대한 정보는 초음파 센서의 제작 당시에 결정되어 사용자에게 제공되는데, 이러한 제작 당시의 최적 상태의 초음파 빔폭에 대한 정보는 실제 검사 현장에서는 오차가 발생되고 있으며, 특히, 일정 기간 사용함에 따라 초음파 빔폭의 크기가 변화하게 되는 등의 현상이 발생함으로써, 초음파 탐상 검사 작업에 대한 검사 결과의 정확도와 신뢰도를 크게 저하시키게 되는 문제가 있었다.
In general, the information on the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor is determined at the time of manufacture of the ultrasonic sensor and provided to the user, the information about the optimal ultrasonic beam width at the time of manufacturing is error occurs in the actual inspection site, in particular, for a certain period As a result of the phenomenon such as the change in the size of the ultrasonic beam width, there is a problem that greatly reduces the accuracy and reliability of the inspection results for the ultrasonic flaw inspection work.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 초음파 센서에서 발생되는 초음파에 대한 빔폭을 현장에서 용이하게 직접 측정할 수 있도록 함으로써, 피검사체의 종류에 따라 선택되는 초음파 센서의 빔폭 특성을 용이하게 파악할 수 있도록 하여 초음파 탐상 검사 작업을 더욱 정확하게 수행할 수 있도록 하는 초음파 빔폭 측정 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art, the object of the present invention is to make it easy to directly measure the beam width for the ultrasonic wave generated by the ultrasonic sensor in the field, by selecting the ultrasonic wave according to the type of the subject It is to provide an ultrasonic beamwidth measuring apparatus that can easily determine the beamwidth characteristics of the sensor to perform the ultrasonic flaw inspection more accurately.

본 발명의 다른 목적은 초음파 센서의 위치를 고정한 상태에서 타겟볼의 위치를 조절하며 초음파 센서의 초음파 빔폭을 측정할 수 있도록 구성함으로써, 초음파 센서의 초음파 빔폭 측정 결과에 대한 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 초음파 빔폭 측정 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to adjust the position of the target ball in the fixed state of the ultrasonic sensor and configured to measure the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor, thereby improving the accuracy and reliability of the ultrasonic beam width measurement results of the ultrasonic sensor. It is to provide an ultrasonic beam width measuring apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은 초음파를 반사하는 타겟볼을 탈착 가능하게 구성함으로써, 초음파 센서에 따라 선택 적용되는 타겟볼을 용이하게 교체할 수 있어 다양한 초음파 센서에 대한 초음파 빔폭 측정 작업을 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 초음파 빔폭 측정 장치를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to detachable target ball reflecting the ultrasonic wave, it is possible to easily replace the target ball to be selected according to the ultrasonic sensor to quickly and easily ultrasonic beam width measurement operation for various ultrasonic sensors It is to provide an ultrasonic beam width measuring apparatus that can be performed.

본 발명은, 초음파 센서로부터 타겟볼에 초음파를 조사하고 상기 타겟볼에 의해 반사되어 나오는 반사파를 측정하여, 상기 초음파 센서의 초음파 빔폭을 측정하는 초음파 빔폭 측정 장치에 있어서, 초음파 전달을 위한 매질 액체를 저장할 수 있는 액체 저장조; 상기 액체 저장조 내부에 배치되어 상기 타겟볼이 탈착 가능하게 결합되는 타겟볼 고정 유닛; 상기 초음파 센서를 파지하여 고정하는 그리퍼 모듈과, 상기 그리퍼 모듈을 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 직선 이동시키는 직선 이송 모듈과, 상기 그리퍼 모듈을 상기 X축 및 Y축을 중심으로 회전 이동시키는 회전 이송 모듈을 통해 상기 초음파 센서를 측정 위치에 이송 고정하는 센서 이송 유닛; 및 상기 그리퍼 모듈에 고정된 상기 초음파 센서와 상기 타겟볼의 수직 이격 거리가 조절될 수 있도록 상기 타겟볼 고정 유닛을 상기 액체 저장조 내부에서 상기 Z축 방향으로 상하 이동시키는 타겟 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치를 제공한다.The present invention, in the ultrasonic beam width measuring apparatus for measuring the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor by irradiating the ultrasonic wave to the target ball from the ultrasonic sensor and reflected by the target ball, the medium liquid for ultrasonic transmission A liquid reservoir that can be stored; A target ball fixing unit disposed in the liquid reservoir and detachably coupled to the target ball; A gripper module for holding and fixing the ultrasonic sensor, a linear transfer module for linearly moving the gripper module in directions perpendicular to each other in the X, Y, and Z axes, and rotating the gripper module about the X and Y axes. A sensor transfer unit configured to transfer and fix the ultrasonic sensor to a measurement position through a rotating transfer module for moving; And a target transfer unit configured to vertically move the target ball fixing unit in the Z-axis direction within the liquid reservoir so that the vertical separation distance between the ultrasonic sensor fixed to the gripper module and the target ball can be adjusted. An ultrasonic beam width measuring apparatus is provided.

이때, 상기 타겟볼 고정 유닛은 자석의 자기력에 의해 상기 타겟볼이 탈착 가능하게 결합되도록 구성될 수 있다.In this case, the target ball fixing unit may be configured to be detachably coupled to the target ball by the magnetic force of the magnet.

또한, 상기 타겟볼 고정 유닛은 상기 액체 저장조 내부에 수평으로 배치되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 상향 돌출되게 결합되며 상단에 상기 자석이 결합되는 연결 샤프트; 상기 연결 샤프트의 상단 외주면을 감싸며 결합되고 중앙부에는 핀 고정홀이 상하 방향으로 관통 형성되는 핀 홀더; 및 자성체 재질로 형성되어 하단이 상기 자석에 접촉하도록 상기 핀 홀더의 핀 고정홀에 삽입 고정되는 지지핀을 포함하고, 상기 타겟볼은 상기 지지핀을 통해 전달되는 상기 자석의 자기력에 의해 상기 지지핀의 상단에 결합될 수 있다.The target ball fixing unit may further include: a base plate disposed horizontally inside the liquid reservoir; A connecting shaft coupled to the base plate to protrude upward and having the magnet coupled to an upper end thereof; A pin holder surrounding the upper outer circumferential surface of the connection shaft and having a pin fixing hole penetrating in a vertical direction in a central portion thereof; And a support pin formed of a magnetic material and inserted into and fixed to a pin fixing hole of the pin holder such that a bottom thereof contacts the magnet, and the target ball is supported by the magnetic force of the magnet transmitted through the support pin. Can be coupled to the top of the.

또한, 상기 타겟 이송 유닛은 외주면에 나사산이 형성되어 상기 베이스 플레이트에 관통 나사 결합되도록 상기 액체 저장조에 상기 Z축 방향으로 수직 배치되는 스크류 로드; 및 상기 스크류 로드를 상기 Z축 방향의 회전축을 중심으로 회전 구동하는 스크류 로드 구동부를 포함하고, 상기 스크류 로드가 상기 Z축 방향의 회전축을 중심으로 왕복 회전함에 따라 상기 베이스 플레이트가 상기 Z축 방향으로 상하 이동하도록 구성될 수 있다.The target transfer unit may further include a screw rod formed on an outer circumferential surface thereof and vertically disposed in the Z-axis direction in the liquid reservoir so that the screw thread is coupled to the base plate; And a screw rod driving unit configured to rotate the screw rod about the rotation axis in the Z axis direction, and the base plate moves in the Z axis direction as the screw rod reciprocates about the rotation axis in the Z axis direction. It may be configured to move up and down.

또한, 상기 그리퍼 모듈은 일측 방향으로 길게 형성되어 상기 회전 이송 모듈에 장착되는 가이드 블록; 상기 가이드 블록에 길이 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 2개의 바이스 블록; 및 외주면의 양단부에 서로 다른 방향의 나사산이 형성되어 상기 2개의 바이스 블록과 서로 다른 방향으로 나사 결합되는 작동 로드를 포함하고, 상기 2개의 바이스 블록은 상기 작동 로드의 회전에 따라 상호 근접하거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다.In addition, the gripper module is formed to be long in one direction guide block mounted to the rotary transfer module; Two vise blocks mounted on the guide block to be slidably movable in a longitudinal direction; And an actuating rod formed at both ends of an outer circumferential surface and screwed in different directions with the two vise blocks, wherein the two vise blocks are close to or away from each other according to the rotation of the actuating rod. It can be configured to move to.

또한, 상기 회전 이송 모듈은 상기 X축 및 Y축 중 어느 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동 가능하게 상기 직선 이송 모듈에 장착되는 제 1 회전 블록; 상기 X축 및 Y축 중 상기 제 1 회전 블록의 회전축과 평행하지 않은 나머지 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동 가능하게 상기 제 1 회전 블록에 장착되는 제 2 회전 블록; 및 상기 제 1 회전 블록 및 제 2 회전 블록을 각각 회전 구동하는 제 1 회전 구동부 및 제 2 회전 구동부를 포함하고, 상기 그리퍼 모듈의 가이드 블록은 상기 제 2 회전 블록에 장착되도록 구성될 수 있다.The rotation transfer module may further include a first rotation block mounted to the linear transfer module to be rotatable about a rotation axis parallel to any one of the X and Y axes; A second rotation block mounted to the first rotation block to be rotatable about the rotation axis parallel to the other axis not parallel to the rotation axis of the first rotation block among the X and Y axes; And a first rotation driver and a second rotation driver for rotationally driving the first rotation block and the second rotation block, respectively, and the guide block of the gripper module may be configured to be mounted to the second rotation block.

또한, 상기 직선 이송 모듈은 상기 X축 방향으로 길게 배치되어 상기 액체 저장조의 상단부에 장착되는 X축 갠트리; 상기 Y축 방향으로 길게 배치되어 상기 X축 갠트리에 상기 X축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Y축 갠트리; 상기 Z축 방향으로 길게 배치되어 상기 Y축 갠트리에 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Z축 갠트리; 및 상기 Z축 갠트리에 상기 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 이동 블록을 포함하고, 상기 회전 이송 모듈의 제 1 회전 블록은 상기 이동 블록에 회전 이동 가능하게 장착되도록 구성될 수 있다.
The linear transfer module may further include an X-axis gantry disposed in the X-axis direction and mounted to an upper end of the liquid reservoir; A Y-axis gantry disposed in the Y-axis direction and mounted to the X-axis gantry so as to be movable in the X-axis direction; A Z-axis gantry disposed long in the Z-axis direction and mounted to the Y-axis gantry so as to be movable in the Y-axis direction; And a moving block mounted to the Z axis gantry so as to be movable in the Z axis direction, wherein the first rotating block of the rotary feed module is rotatably mounted to the moving block.

본 발명에 의하면, 초음파 센서에서 발생되는 초음파에 대한 빔폭을 현장에서 용이하게 직접 측정할 수 있도록 함으로써, 피검사체의 종류에 따라 선택되는 초음파 센서의 빔폭 특성을 용이하게 파악할 수 있도록 하여 초음파 탐상 검사 작업을 더욱 정확하게 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.According to the present invention, the beam width of the ultrasonic wave generated by the ultrasonic sensor can be directly and easily measured in the field, so that the beam width characteristics of the ultrasonic sensor selected according to the type of the inspected object can be easily grasped, so that the ultrasonic flaw inspection work There is an effect that can be performed more accurately.

또한, 초음파 센서의 위치를 고정한 상태에서 타겟볼의 위치를 조절하며 초음파 센서의 초음파 빔폭을 측정할 수 있도록 구성함으로써, 초음파 센서의 초음파 빔폭 측정 결과에 대한 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, by adjusting the position of the target ball while fixing the position of the ultrasonic sensor and configured to measure the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor, there is an effect that can improve the accuracy and reliability of the ultrasonic beam width measurement results of the ultrasonic sensor. .

또한, 초음파를 반사하는 타겟볼을 탈착 가능하게 구성함으로써, 초음파 센서에 따라 선택 적용되는 타겟볼을 용이하게 교체할 수 있어 다양한 초음파 센서에 대한 초음파 빔폭 측정 작업을 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
In addition, by detachably configuring the target ball reflecting the ultrasonic waves, it is possible to easily replace the target ball to be selected according to the ultrasonic sensor, so that it is possible to quickly and easily perform the ultrasonic beam width measurement for various ultrasonic sensors There is.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 구성을 개념적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 구성을 개념적으로 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 타겟볼 고정 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 분해 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 그리퍼 모듈과 회전 이송 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 일부 분해 사시도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 이송 모듈을 통해 그리퍼 모듈을 X축 중심으로 회전 이동시키는 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 이송 모듈을 통해 그리퍼 모듈을 Y축 중심으로 회전 이동시키는 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치를 통해 X축 또는 Y축 방향의 초음파 빔폭을 측정하는 원리를 개략적으로 도시한 측정 흐름도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치를 통해 초음파 빔폭의 3차원 형상을 측정하는 원리를 개략적으로 도시한 개념도이다.
1 is a perspective view conceptually showing the configuration of an ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view conceptually showing the configuration of an ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention;
Figure 3 is an exploded cross-sectional view schematically showing the configuration of the target ball fixing unit of the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention,
4 is a partially exploded perspective view schematically showing the configuration of the gripper module and the rotational transfer module of the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 5 is a side view schematically showing an operating state in which a gripper module rotates about an X axis through a rotation transfer module according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 6 is a side view schematically showing an operating state in which the gripper module rotates about a Y axis through a rotation transfer module according to an embodiment of the present invention; FIG.
7 is a measurement flowchart schematically illustrating a principle of measuring an ultrasonic beam width in an X-axis or Y-axis direction by using an ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention;
8 is a conceptual diagram schematically illustrating a principle of measuring a three-dimensional shape of an ultrasonic beam width through an ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 구성을 개념적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 구성을 개념적으로 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 타겟볼 고정 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 분해 단면도이다.1 is a perspective view conceptually showing the configuration of an ultrasonic beamwidth measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view conceptually showing the configuration of the ultrasonic beamwidth measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, 3 is an exploded cross-sectional view schematically showing the configuration of the target ball fixing unit of the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치는 초음파 탐상 검사에 사용되는 초음파 센서(S)로부터 발생하는 초음파의 빔폭을 측정하는 장치로서, 초음파 센서(S)로부터 특정 타겟볼(T)에 초음파를 조사하고 타겟볼(T)에 의해 반사되어 나오는 반사파를 측정하여 초음파 센서(S)의 초음파 빔폭을 측정하는 방식으로 구성되며, 액체 저장조(100), 타겟볼 고정 유닛(200), 센서 이송 유닛(C) 및 타겟 이송 유닛(600)을 포함하여 구성된다.Ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention is a device for measuring the beam width of the ultrasonic wave generated from the ultrasonic sensor (S) used for the ultrasonic flaw detection, ultrasonic wave from the ultrasonic sensor (S) to a specific target ball (T) It is configured to measure the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor S by measuring the reflected wave reflected by the target ball (T), the liquid reservoir 100, the target ball fixing unit 200, sensor transfer unit And (C) and the target transfer unit 600.

액체 저장조(100)는 초음파 전달을 위한 매질 액체(M)를 저장할 수 있도록 형성된 것으로, 액체 저장조(100)에 매질 액체(M)가 저장되고, 이러한 매질 액체(M)를 전달 매체로 하여 초음파 센서(S)로부터 발생된 초음파가 타겟볼(T)에 전달된다. 즉, 초음파 센서(S)의 초음파 빔폭을 측정하는 시험은 초음파 센서(S) 및 타겟볼(T)을 매질 액체(M) 내부에 배치한 후, 초음파 센서(S)에 초음파를 발생시켜 타겟볼(T)에 조사시키고 타겟볼(T)로부터 반사되어 나오는 초음파의 반사파를 측정하는 방식으로 진행된다. 이때, 초음파 센서(S)는 일반적으로 방수 구조를 갖지 않으므로, 도 2에 도시된 바와 같이 초음파 센서(S)의 일단에 위치한 진동자(S1) 부분만 매질 액체(M)에 잠기도록 배치되고, 진동자(S1)를 통해 발생된 초음파가 매질 액체(M)를 통해 타겟볼(T)로 전달되도록 구성된다. 액체 저장조(100)에 저장되는 매질 액체(M)의 종류는 특정 액체로 제한될 필요가 없으므로 순수한 물이 사용될 수 있다.The liquid reservoir 100 is formed to store the medium liquid M for ultrasonic transmission, and the medium liquid M is stored in the liquid reservoir 100, and the ultrasonic sensor using the medium liquid M as a transmission medium. Ultrasound generated from S is transmitted to the target ball (T). That is, in the test for measuring the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor S, the ultrasonic sensor S and the target ball T are disposed in the medium liquid M, and then ultrasonic waves are generated in the ultrasonic sensor S to generate the target ball. Irradiated to (T) and proceeds by measuring the reflected wave of the ultrasonic wave reflected from the target ball (T). At this time, since the ultrasonic sensor S does not generally have a waterproof structure, as shown in FIG. 2, only a portion of the vibrator S1 located at one end of the ultrasonic sensor S is disposed to be immersed in the medium liquid M, and the vibrator The ultrasonic wave generated through S1 is configured to be delivered to the target ball T through the medium liquid M. Since the type of medium liquid M stored in the liquid reservoir 100 does not need to be limited to a specific liquid, pure water may be used.

타겟볼 고정 유닛(200)은 매질 액체(M) 내부에 배치되는 타겟볼(T)과 결합하여 타겟볼(T)을 위치 고정하기 위한 것으로, 액체 저장조(100) 내부에 배치되며 타겟볼(T)이 탈착 가능하게 결합되도록 형성되어 초음파 센서(S)의 종류에 따라 타겟볼(T)을 원활하게 교체 적용할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 타겟볼(T)은 일반적으로 구(球)형의 볼 형태로 형성되어 매질 액체(M) 내부의 특정 위치에 고정되는데, 이러한 타겟볼(T)은 정확한 측정 결과를 위해 초음파 센서(S)에서 발생되는 초음파 빔폭의 크기에 따라 그 직경이 서로 다른 종류로 적용되어야 한다. 따라서, 측정 대상인 초음파 센서(S)의 종류에 따라 타겟볼 고정 유닛(200)에 결합되는 타겟볼(T) 또한 다르게 적용되어야 하므로, 타겟볼 고정 유닛(200)은 타겟볼(T)을 용이하게 교체 적용할 수 있도록 타겟볼(T)이 탈착 가능하게 결합되는 형태로 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 타겟볼 고정 유닛(200)은 본 발명의 일 실시예에 따라 자석(250)을 이용하여 타겟볼(T)이 타겟볼 고정 유닛(200)에 용이하게 탈착 가능하도록 구성될 수 있는데, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.The target ball fixing unit 200 is for fixing the position of the target ball (T) in combination with the target ball (T) disposed inside the medium liquid (M), is disposed in the liquid reservoir 100 and the target ball (T) ) Is formed to be detachably coupled to be configured to smoothly replace and apply the target ball (T) according to the type of the ultrasonic sensor (S). Target ball (T) is generally formed in the shape of a ball (sphere) (ball) is fixed to a specific position inside the medium liquid (M), this target ball (T) in the ultrasonic sensor (S) for accurate measurement results Depending on the size of the generated ultrasonic beam width, the diameter should be applied in different kinds. Therefore, since the target ball T coupled to the target ball fixing unit 200 should also be applied differently according to the type of the ultrasonic sensor S to be measured, the target ball fixing unit 200 facilitates the target ball T. It is preferable that the target ball (T) is configured to be detachably coupled so that replacement can be applied. The target ball fixing unit 200 may be configured such that the target ball T is easily detachable to the target ball fixing unit 200 using the magnet 250 according to an embodiment of the present invention. Detailed description will be described later.

센서 이송 유닛(C)은 초음파 센서(S)를 파지하여 측정 위치에 이송 고정하기 위한 구성으로, 초음파 센서(S)를 파지하여 고정하는 그리퍼 모듈(300)과, 그리퍼 모듈(300)을 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 직선 이동시키는 직선 이송 모듈(400)과, 그리퍼 모듈(300)을 X축 및 Y축을 중심으로 회전 이동시키는 회전 이송 모듈(500)을 포함하여 구성된다. 이에 따라 초음파 센서(S)는 그리퍼 모듈(300)에 의해 파지 고정된 상태에서 직선 이송 모듈(400)을 통해 특정 위치로 이송되고 회전 이송 모듈(500)에 의해 일정 각도 범위로 회전하며 초음파를 발생시킨다. 이때, X축 및 Y축은 도 1에 도시된 바와 같이 수평면 상에서 서로 직교하는 2개의 축이며, Z축은 이러한 X축 및 Y축에 동시에 직교하는 수직 방향의 축으로 구성되는 것이 바람직하다. 따라서, 초음파 센서(S)는 직선 이송 모듈(400)에 의해 액체 저장조(100)의 수평면 상의 모든 지점으로 이동 가능하고, 액체 저장조(100)에 저장된 매질 액체(M)의 높이에 대응하여 도 2에 도시된 바와 같이 초음파 센서(S)의 진동자(S1) 부분만 매질 액체(M)에 잠기도록 Z축 방향으로 상하 이동 가능하다. 또한, 초음파 센서(S)는 이와 같이 진동자(S1) 부분만 매질 액체(M)에 잠긴 상태에서 초음파가 타겟볼(T)에 전달되도록 초음파를 발생시키며, 이 과정에서 회전 이송 모듈(500)에 의해 X축 및 Y축을 중심으로 회전할 수 있다.The sensor transfer unit (C) is configured to hold the ultrasonic sensor (S) for transport and fix it at a measurement position. The gripper module (300) holding and holding the ultrasonic sensor (S) and the gripper module (300) are perpendicular to each other. It comprises a linear transfer module 400 for linearly moving in the X-axis, Y-axis and Z-axis direction, and a rotary feed module 500 for rotating the gripper module 300 about the X-axis and the Y-axis. Accordingly, the ultrasonic sensor S is moved to a specific position through the linear transfer module 400 in a state of being gripped by the gripper module 300, and rotates in a predetermined angle range by the rotary transfer module 500 to generate ultrasonic waves. Let's do it. At this time, the X axis and the Y axis are two axes orthogonal to each other on a horizontal plane as shown in FIG. 1, and the Z axis is preferably configured as an axis in the vertical direction perpendicular to the X axis and the Y axis at the same time. Therefore, the ultrasonic sensor S is movable to all points on the horizontal plane of the liquid reservoir 100 by the linear transfer module 400, and corresponds to the height of the medium liquid M stored in the liquid reservoir 100. As shown in FIG. 3, only the vibrator S1 portion of the ultrasonic sensor S is vertically movable in the Z-axis direction so as to be immersed in the medium liquid M. As shown in FIG. In addition, the ultrasonic sensor S generates ultrasonic waves so that the ultrasonic waves are delivered to the target ball T in a state where only the vibrator S1 is immersed in the medium liquid M. In this process, the ultrasonic sensor S It can rotate about an X-axis and a Y-axis by this.

타겟 이송 유닛(600)은 센서 이송 유닛(C)의 그리퍼 모듈(300)에 고정된 초음파 센서(S)와 타겟볼 고정 유닛(200)에 고정된 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)가 조절될 수 있도록 타겟볼 고정 유닛(200)을 액체 저장조(100) 내부에서 Z축 방향으로 상하 이동시키도록 구성된다. 이때, 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)는 전술한 바와 같이 센서 이송 유닛(C)의 직선 이송 모듈(400)을 통해 초음파 센서(S)를 Z축 방향으로 상하 이동하는 방식으로도 가능하지만, 이와는 별도로 타겟 이송 유닛(600)을 통해 타겟볼(T)의 위치를 상하 이동시킴으로써 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)를 조절하는 이유는 초음파 센서(S)의 진동자(S1) 부분만 매질 액체(M)에 잠긴 상태에서 초음파 센서(S)의 상하 위치 변경 없이 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리를 조절하기 위함이다.The target transfer unit 600 is a vertical separation distance L between the ultrasonic sensor S fixed to the gripper module 300 of the sensor transfer unit C and the target ball T fixed to the target ball fixing unit 200. The target ball fixing unit 200 is configured to move up and down in the Z-axis direction in the liquid reservoir 100 so that the can be adjusted. At this time, the vertical separation distance L between the ultrasonic sensor S and the target ball T is the ultrasonic sensor S in the Z-axis direction through the linear transfer module 400 of the sensor transfer unit C as described above. It is also possible to move up and down, but separately from the vertical movement distance (L) of the ultrasonic sensor (S) and the target ball (T) by moving the position of the target ball (T) up and down separately through the target transfer unit (600). The reason is that in the state in which only the vibrator S1 of the ultrasonic sensor S is immersed in the medium liquid M, the vertical separation distance between the ultrasonic sensor S and the target ball T without changing the vertical position of the ultrasonic sensor S is changed. To adjust.

즉, 직선 이송 모듈(400)을 통해 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)를 더욱 근접하게 조절하기 위해서는 초음파 센서(S)를 계속해서 하향 이동하는 방식으로 진행되는데, 이 경우 매질 액체(M)의 저장 높이에 따라 초음파 센서(S)가 매질 액체(M)에 완전히 잠길 수 있으므로, 초음파 센서(S)를 하향 이동시키기 전 매질 액체(M)를 액체 저장조(100)로부터 배출하여 매질 액체(M)의 높이를 별도로 조절해야 한다. 이러한 과정은 매우 불편할 뿐만 아니라 매질 액체(M)의 높이를 정확하게 조절하기도 어렵기 때문에, 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)를 정확하게 세팅하기도 어렵고, 이에 따라 이후 초음파 빔폭에 대한 측정 과정에서 그 정확도가 현저히 저하될 수 있다. 이에 반해 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 장치는 초음파 센서(S)를 직선 이송 모듈(400)에 의해 하향 이동시켜 진동자(S1) 부분만 매질 액체(M)에 잠기도록 위치 고정한 상태에서 타겟 이송 유닛(600)을 통해 타겟볼(T)의 위치를 상하 이동하는 방식으로 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)를 조절할 수 있도록 구성된다. 따라서, 매질 액체(M)를 배출하여 매질 액체(M)의 높이를 별도로 조절할 필요가 없으며, 매질 액체(M)의 높이와 무관하게 타겟 이송 유닛(600)을 통해 타겟볼(T)의 상하 위치를 조절할 수 있기 때문에 더욱 정확하게 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)를 조절할 수 있고, 이에 따라 초음파 빔폭의 측정 결과에 대한 정확도를 향상시킬 수 있다.
That is, in order to more closely adjust the vertical separation distance L between the ultrasonic sensor S and the target ball T through the linear transfer module 400, the ultrasonic sensor S is continuously moved downward. In this case, since the ultrasonic sensor S may be completely immersed in the medium liquid M according to the storage height of the medium liquid M, the medium liquid M may be transferred to the liquid storage tank 100 before moving the ultrasonic sensor S downward. The height of the medium liquid (M) must be adjusted separately. This process is not only inconvenient, but also difficult to accurately adjust the height of the medium liquid (M), it is difficult to accurately set the vertical separation distance (L) of the ultrasonic sensor (S) and the target ball (T), and thus the ultrasonic wave In measuring the beam width, the accuracy may be significantly reduced. In contrast, the ultrasonic beam width apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention moves the ultrasonic sensor S downward by the linear transfer module 400 so that only the vibrator S1 is locked in the medium liquid M so as to be locked in the medium liquid M. It is configured to adjust the vertical separation distance (L) of the ultrasonic sensor (S) and the target ball (T) by moving the position of the target ball (T) up and down through the transfer unit (600). Therefore, it is not necessary to separately adjust the height of the medium liquid M by discharging the medium liquid M, and the upper and lower positions of the target ball T through the target transfer unit 600 regardless of the height of the medium liquid M. Since it is possible to adjust the vertical separation distance (L) of the ultrasonic sensor (S) and the target ball (T) more precisely, it is possible to improve the accuracy of the measurement results of the ultrasonic beam width.

다음으로, 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 세부 구성에 대해 좀 더 자세히 살펴본다.Next, a detailed configuration of the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 타겟볼 고정 유닛(200)은 전술한 바와 같이 자석(250)을 이용하여 타겟볼(T)이 자기력에 의해 타겟볼 고정 유닛(200)에 탈착 가능하게 결합되도록 구성될 수 있는데, 이를 위해 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 액체 저장조(100) 내부에 수평으로 배치되는 베이스 플레이트(210)와, 베이스 플레이트(210)에 상향 돌출되게 결합되며 상단에 자석이 결합되는 연결 샤프트(220)와, 연결 샤프트(220)의 상단 외주면을 감싸며 결합되고 중앙부에는 핀 고정홀(231)이 상하 방향으로 관통 형성되는 핀 홀더(230)와, 자성체 재질로 형성되어 하단이 자석(250)에 접촉하도록 핀 홀더(230)의 핀 고정홀(231)에 삽입 고정되는 지지핀(240)을 포함하여 구성된다.First, the target ball fixing unit 200 may be configured to be detachably coupled to the target ball fixing unit 200 by the magnetic force using the magnet 250 as described above, for this purpose As shown in FIGS. 2 and 3, a base plate 210 horizontally disposed inside the liquid reservoir 100 and a connection shaft 220 coupled to protrude upwardly to the base plate 210 and having a magnet coupled to an upper end thereof. And a pin holder 230 having a pin fixing hole 231 penetrating in an up and down direction and being coupled to the upper outer circumferential surface of the connection shaft 220 and formed in a magnetic material such that the lower end contacts the magnet 250. It is configured to include a support pin 240 that is inserted into the pin fixing hole 231 of the pin holder 230.

즉, 수평 방향으로 배치되는 베이스 플레이트(210)의 중앙부에 상하 방향의 볼트 삽입홀(211)이 형성되고, 이러한 볼트 삽입홀(211)에 결합 볼트(212)가 삽입되며 베이스 플레이트(210)에 상향 돌출되도록 결합 너트(212)에 의해 고정된다. 연결 샤프트(220)는 하단부가 이러한 결합 볼트(212)에 나사 결합되도록 형성되며, 상단부에는 자석(250)이 삽입 결합되도록 자석 삽입홈(221)이 형성된다. 자석 삽입홈(221)에 자석(250)이 삽입 결합된 상태에서 연결 샤프트(220)의 상단 외주면을 감싸는 형태로 핀 홀더(230)가 나사 결합되며, 핀 홀더(230)의 중앙부에는 핀 고정홀(231)이 상하 방향으로 관통 형성된다. 지지핀(240)은 이러한 핀 고정홀(231)에 관통 삽입되어 하단이 자석(250)과 접촉하며 고정된다. 따라서, 자성체 재질의 지지핀(240)에도 자석(250)의 자기력이 전달되며 타겟볼(T)은 이러한 지지핀(240)을 통해 전달되는 자석(250)의 자기력에 의해 도 3에 도시된 바와 같이 지지핀(240)의 상단에 결합된다. 이와 같이 자기력에 의해 지지핀(240)의 상단에 결합되는 타겟볼(T)은 필요에 따라 용이하게 지지핀(240)으로부터 분리될 수 있으며, 용이하게 다른 종류의 타겟볼(T)로 교체 장착될 수 있다.That is, the bolt insertion hole 211 in the vertical direction is formed in the center of the base plate 210 arranged in the horizontal direction, the coupling bolt 212 is inserted into the bolt insertion hole 211 and the base plate 210 It is fixed by the coupling nut 212 to protrude upward. The connecting shaft 220 is formed so that the lower end is screwed to the coupling bolt 212, the magnet insertion groove 221 is formed so that the magnet 250 is inserted coupling. The pin holder 230 is screw-coupled to surround the upper outer circumferential surface of the connecting shaft 220 in a state in which the magnet 250 is inserted and coupled to the magnet insertion groove 221, and a pin fixing hole is formed at the center of the pin holder 230. 231 is formed to penetrate in the vertical direction. The support pin 240 is inserted through the pin fixing hole 231 so that the lower end contacts the magnet 250 and is fixed. Therefore, the magnetic force of the magnet 250 is also transmitted to the support pin 240 made of a magnetic material, and the target ball T is shown in FIG. 3 by the magnetic force of the magnet 250 transmitted through the support pin 240. It is coupled to the top of the support pin 240 as shown. As such, the target ball T coupled to the upper end of the support pin 240 by magnetic force can be easily separated from the support pin 240 as necessary, and easily replaced with another type of target ball T. Can be.

이러한 구조의 타겟볼 고정 유닛(200)은 모든 구성 요소가 각각 분리될 수 있도록 결합되는데, 특히, 도 3의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이 타겟볼(T)의 크기에 따라 지지핀(240)의 두께가 서로 다른 형태로 용이하게 교체 적용될 수 있도록 핀 홀더(230)와 연결 샤프트(220)가 나사 결합되는 형태로 분리 가능하게 형성된다. 이때, 서로 다른 핀 홀더(230)에 각각 형성되는 핀 고정홀(231)은 각각 서로 다른 내경을 갖도록 형성된다. 예를 들면, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 상대적으로 큰 크기의 타겟볼(T)이 장착된 상태에서, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 상대적으로 작은 크기의 타겟볼(T)로 교체되어야 하는 경우, 지지핀(240) 또한 두께가 작은 종류로 교체 적용되는 것이 바람직하므로, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 핀 고정홀(231)의 내경이 작게 형성된 별도의 핀 홀더(230)가 연결 샤프트(220)에 장착되는 것이 바람직하다. 이때, 지지핀(240)의 두께가 타겟볼(T)의 직경에 비해 일정 범위 이상으로 적용되면, 타겟볼(T)에 의해 반사되는 반사파의 반사 특성이 지지핀(240)에 의해 변화할 수 있으므로, 지지핀(240)의 두께는 타겟볼(T)이 안정적으로 결합될 수 있는 범위 내에서 충분히 작은 종류로 적용되는 것이 바람직하다.The target ball fixing unit 200 of this structure is coupled so that all the components can be separated from each other, in particular, as shown in (a) to (c) of Figure 3 is supported according to the size of the target ball (T) The pin holder 230 and the connecting shaft 220 are detachably formed so that the pins 240 can be easily replaced and applied in different shapes. At this time, the pin fixing holes 231 respectively formed in different pin holders 230 are formed to have different inner diameters. For example, in a state where a relatively large sized target ball T is mounted as shown in (c) of FIG. 3, a relatively small sized target ball (as shown in (a) of FIG. 3) If it is to be replaced by T), it is preferable that the support pin 240 is also applied to replace the small thickness, as shown in (a) of Figure 3 is a separate inner diameter of the pin fixing hole 231 is formed small The pin holder 230 is preferably mounted to the connecting shaft 220. At this time, if the thickness of the support pin 240 is applied over a predetermined range compared to the diameter of the target ball (T), the reflection characteristics of the reflected wave reflected by the target ball (T) can be changed by the support pin (240). Therefore, the thickness of the support pin 240 is preferably applied to a kind small enough within the range that the target ball (T) can be stably coupled.

또한, 이와 같은 타겟볼 고정 유닛(200)은 베이스 플레이트(210)를 통해 안정적인 구조를 이룸과 동시에 타겟볼(T)이 고정되는 위치는 베이스 플레이트(210)로부터 상향 이격된 위치에 형성됨으로써, 타겟볼(T)에 의해 반사되는 반사파의 반사 특성이 베이스 플레이트(210)에 의해 변화되지 않도록 구성된다. 이는 상대적으로 두께가 작은 지지핀(240) 및 연결 샤프트(220)의 구조를 통해서도 달성된다.
In addition, the target ball fixing unit 200 has a stable structure through the base plate 210 and at the same time the position where the target ball (T) is fixed is formed at a position spaced upward from the base plate 210, The reflection characteristic of the reflected wave reflected by the ball T is configured not to be changed by the base plate 210. This is also achieved through the structure of the support pin 240 and the connecting shaft 220 is relatively small thickness.

타겟 이송 유닛(600)은 이러한 타겟볼 고정 유닛(200)을 상하 방향으로 이동시킴으로써 타겟볼(T)과 초음파 센서(S)의 수직 이격 거리(L)를 조절하도록 구성되는데, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 외주면에 나사산(P)이 형성되어 타겟볼 고정 유닛(200)의 베이스 플레이트(210)에 관통 나사 결합되도록 액체 저장조(100) 내부에 Z축 방향으로 수직 배치되는 스크류 로드(610)와, 스크류 로드(610)를 Z축을 중심으로 회전 구동하는 스크류 로드 구동부(620)를 포함하여 구성될 수 있다. 이때, 스크류 로드(610)는 액체 저장조(100)의 상단 일측에 결합된 별도의 고정 블록(630)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. The target transfer unit 600 is configured to adjust the vertical separation distance L between the target ball T and the ultrasonic sensor S by moving the target ball fixing unit 200 in the vertical direction, FIGS. 1 and 2. Screw rod 610 is formed on the outer circumferential surface as shown in the vertically disposed in the Z-axis direction inside the liquid reservoir 100 to be threaded through the base plate 210 of the target ball fixing unit 200 And a screw rod driver 620 for rotating the screw rod 610 about the Z axis. In this case, the screw rod 610 may be rotatably coupled to a separate fixing block 630 coupled to one side of the upper end of the liquid reservoir 100.

이러한 구조에 따라 스크류 로드 구동부(620)에 의해 스크류 로드(610)가 Z축을 중심으로 회전하게 되면, 베이스 플레이트(210)가 스크류 로드(610)의 나사산(P)을 따라 Z축 방향으로 상하 이동하게 된다. 이와 같이 베이스 플레이트(210)가 상하 이동하면, 베이스 플레이트(210)를 기초로 결합되는 타겟볼(T)은 베이스 플레이트(210)와 함께 상하 이동하게 되고, 이에 따라 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리(L)가 조절된다.
According to this structure, when the screw rod 610 is rotated about the Z axis by the screw rod driving unit 620, the base plate 210 moves up and down in the Z axis direction along the thread P of the screw rod 610. Done. As such, when the base plate 210 moves up and down, the target ball T coupled to the base plate 210 moves up and down together with the base plate 210, and thus the ultrasonic sensor S and the target ball are moved. The vertical separation distance L of T is adjusted.

센서 이송 유닛(C)은 전술한 바와 같이 그리퍼 모듈(300)과, 직선 이송 모듈(400)과, 회전 이송 모듈(500)로 구성되는데, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 액체 저장조(100)의 상단 가장자리에 직선 이송 모듈(400)이 배치되고, 이러한 직선 이송 모듈(400)에 회전 이송 모듈(500)이 회전 가능하게 결합되며, 회전 이송 모듈(500)에 그리퍼 모듈(300)이 회전 이송 모듈(500)과 함께 회전하도록 결합된다. 따라서, 그리퍼 모듈(300)에 파지 고정되는 초음파 센서(S)는 회전 이송 모듈(500)에 의해 그리퍼 모듈(300)과 함께 X축 및 Y축을 중심으로 회전 이동하고, 직선 이송 모듈(400)에 의해 그리퍼 모듈(300) 및 회전 이송 모듈(500)과 함께 X축, Y축 및 Z축 방향으로 직성 이동하게 된다.As described above, the sensor transfer unit C includes a gripper module 300, a linear transfer module 400, and a rotation transfer module 500, as shown in FIGS. 1 and 2. The linear transfer module 400 is disposed at the upper edge of the linear transfer module, and the rotary transfer module 500 is rotatably coupled to the linear transfer module 400, and the gripper module 300 rotates to the rotary transfer module 500. It is coupled to rotate with the transfer module 500. Therefore, the ultrasonic sensor S gripped and fixed to the gripper module 300 is rotated about the X axis and the Y axis together with the gripper module 300 by the rotation transfer module 500, and the linear transfer module 400. As a result, the gripper module 300 and the rotational transfer module 500 move in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions.

여기서, 직선 이송 모듈(400)은 액체 저장조(100)의 상단부에 X축 방향으로 길게 배치되는 X축 갠트리(410)와, Y축 방향으로 길게 배치되어 X축 갠트리(410)에 X축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Y축 갠트리(420)와, Z축 방향으로 길게 배치되어 Y축 갠트리(420)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Z축 갠트리(430)와, Z축 갠트리(430)에 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 이동 블록(440)을 포함하여 구성된다. 이러한 3축 갠트리는 각각 스크류 로드(미도시), 체인(미도시) 또는 벨트(미도시) 등의 기계 요소를 이용하여 각각의 해당 축 방향으로 대상물을 직선 이동시키는 구성으로, 자동화 설비와 관련하여 널리 사용되는 공지된 기술에 해당하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 Z축 갠트리(430)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 Y축 갠트리(420)에 결합된 별도의 결합 블록(431)에 Z축 방향으로 관통 결합되는 스크류 로드의 형태로 구성될 수 있으며, 사용자의 회전 조작에 의해 Z축 방향으로 상하 이동하여 하단에 결합된 이동 블록(440)이 상하 이동하도록 구성될 수 있다. 이러한 Z축 갠트리(430)는 초음파 센서(S)의 진동자(S1) 부분을 매질 액체(M)에 잠기도록 조절하는 구성으로, 사용자가 초음파 센서(S)의 하향 이동 거리를 육안으로 확인하며 수작업으로 이동 거리를 조절하도록 구성되는 것이 바람직하다.
Here, the linear transfer module 400 is disposed on the upper end of the liquid reservoir 100 in the X axis gantry 410 long, and arranged in the Y axis direction in the X axis gantry 410 in the X axis direction Y-axis gantry 420 that is mounted to be movable, Z-axis gantry 430 and Z-axis gantry 430, which is disposed long in the Z-axis direction and mounted to the Y-axis gantry 420 to be movable in the Y-axis direction It is configured to include a moving block 440 is mounted to be movable in the Z-axis direction. The three-axis gantry is a configuration that moves the object in each of the corresponding axial direction using a mechanical element such as a screw rod (not shown), a chain (not shown) or a belt (not shown), respectively, Since it corresponds to a well-known technique widely used, a detailed description thereof will be omitted. However, the Z-axis gantry 430 according to an embodiment of the present invention is coupled through the Z-axis direction to a separate coupling block 431 coupled to the Y-axis gantry 420, as shown in Figs. It may be configured in the form of a screw rod, the movement block 440 coupled to the bottom by moving up and down in the Z-axis direction by the user's rotation operation may be configured to move up and down. The Z-axis gantry 430 is configured to adjust the vibrator (S1) portion of the ultrasonic sensor (S) to be immersed in the medium liquid (M), the user visually confirms the downward movement distance of the ultrasonic sensor (S) by hand It is preferable to be configured to adjust the moving distance.

다음으로, 센서 이송 유닛(C)의 그리퍼 모듈(300)과 회전 이송 모듈(500)의 구성에 대해서 도 4 내지 도 6을 참조로 설명한다.Next, the structure of the gripper module 300 and the rotation transfer module 500 of the sensor transfer unit C is demonstrated with reference to FIGS.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치의 그리퍼 모듈과 회전 이송 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 일부 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 이송 모듈을 통해 그리퍼 모듈을 X축 중심으로 회전 이동시키는 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 이송 모듈을 통해 그리퍼 모듈을 Y축 중심으로 회전 이동시키는 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도이다.4 is a partially exploded perspective view schematically showing the configuration of the gripper module and the rotary feed module of the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a rotary feed module according to an embodiment of the present invention FIG. 6 is a side view schematically illustrating an operation state of rotating the gripper module about the X axis, and FIG. 6 schematically illustrates an operation state of rotating the gripper module about the Y axis through the rotation transfer module according to an embodiment of the present invention. It is a side view shown.

회전 이송 모듈(500)은 X축 및 Y축 중 어느 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동할 수 있도록 직선 이송 모듈(400)의 이동 블록(440)에 장착되는 제 1 회전 블록(510)과, X축 및 Y축 중 제 1 회전 블록(510)의 회전축과 평행하지 않은 나머지 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동할 수 있도록 제 1 회전 블록(510)에 장착되는 제 2 회전 블록(520)과, 제 1 회전 블록(510) 및 제 2 회전 블록(520)을 각각 회전 구동하는 제 1 회전 구동부(530) 및 제 2 회전 구동부(540)를 포함하여 구성될 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이 제 1 회전 블록(510)은 Y축을 중심으로 회전할 수 있도록 직선 이송 모듈(400)의 이동 블록(440)에 결합될 수 있고, 제 2 회전 블록(520)은 Y축과 직각인 X축을 중심으로 회전할 수 있도록 제 1 회전 블록(510)에 결합될 수 있다. 제 1 회전 구동부(530) 및 제 2 회전 구동부(540)는 각각 구동 모터의 형태로 각각의 해당 회전 블록(510,520)에 결합될 수 있다.The rotary feed module 500 may include a first rotary block 510 mounted to the moving block 440 of the linear transfer module 400 so that the rotary feed module 500 may rotate about a rotation axis parallel to one of the X and Y axes. , A second rotating block 520 mounted to the first rotating block 510 so as to be rotatable about a rotation axis parallel to the other axis not parallel to the rotation axis of the first rotation block 510 among the X and Y axes. ), And a first rotation driver 530 and a second rotation driver 540 for rotationally driving the first rotation block 510 and the second rotation block 520, respectively. For example, as shown in FIG. 4, the first rotation block 510 may be coupled to the moving block 440 of the linear transfer module 400 so as to rotate about the Y axis, and the second rotation block ( 520 may be coupled to the first rotation block 510 to rotate about an X axis perpendicular to the Y axis. The first rotary driver 530 and the second rotary driver 540 may be coupled to the respective rotary blocks 510 and 520 in the form of a driving motor, respectively.

그리퍼 모듈(300)은 이러한 회전 이송 모듈(500)에 고정 결합되는데, 일측 방향으로 길게 형성되어 회전 이송 모듈(500)의 제 2 회전 블록(520)에 고정 결합되는 가이드 블록(310)과, 가이드 블록(310)에 길이 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 2개의 바이스 블록(320)과, 외주면의 양단부에 서로 다른 방향의 나사산(P1,P2)이 형성되어 2개의 바이스 블록(320)과 서로 다른 방향으로 나사 결합되는 작동 로드(330)를 포함하여 구성된다. 이때, 가이드 블록(310)의 하단에는 바이스 블록(320)이 슬라이드 이동될 수 있도록 길이 방향으로 가이드 홈(311)이 형성되며, 바이스 블록(320)에는 이러한 가이드 홈(311)에 삽입되어 슬라이드 이동하도록 가이드 돌기(322)가 형성된다. 또한, 바이스 블록(320)에는 작동 로드(330)와 나사 결합할 수 있도록 나사홀(321)이 형성된다.The gripper module 300 is fixedly coupled to the rotary transfer module 500, and is formed to be long in one direction to guide the guide block 310 fixedly coupled to the second rotary block 520 of the rotary transfer module 500, and a guide. Two vise blocks 320 are mounted to the block 310 so as to be slidably movable in the longitudinal direction, and threads P1 and P2 in different directions are formed at both ends of the outer circumferential surface to be different from the two vise blocks 320. It comprises a working rod 330 screwed in the direction. At this time, the guide groove 310 is formed at the lower end of the guide block 310 in the longitudinal direction to allow the vise block 320 to slide, and the vise block 320 is inserted into the guide groove 311 and slides. The guide protrusion 322 is formed to be. In addition, the vise block 320 is formed with a screw hole 321 to be screwed with the operating rod 330.

이러한 구조에 따라 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 작동 로드(330)가 일측 방향으로 회전하게 되면 2개의 바이스 블록(320)이 서로 근접하는 방향으로 슬라이드 이동하며 초음파 센서(S)를 양측에서 가압 고정하게 되고, 작동 로드(330)가 반대 방향으로 회전하게 되면 2개의 바이스 블록(320)이 서로 멀어지는 방향으로 슬라이드 이동하며 초음파 센서(S)를 고정 해제하게 된다. 이때, 작동 로드(330)의 일단에는 사용자에 의해 회전 조작될 수 있도록 별도의 다이얼 손잡이(331)가 형성되고, 이를 통해 초음파 센서(S)의 파지 작업은 사용자의 수작업에 의해 이루어지도록 구성될 수 있다.According to this structure, as shown in (a) of FIG. 5, when the operating rod 330 rotates in one direction, the two vise blocks 320 slide in a direction close to each other and the ultrasonic sensors S both sides. In the pressure fixed, the operating rod 330 is rotated in the opposite direction, the two vise block 320 slides in a direction away from each other to release the ultrasonic sensor (S). In this case, a separate dial handle 331 is formed at one end of the operation rod 330 to be rotated by the user, through which the holding operation of the ultrasonic sensor S may be configured by a user's manual operation. have.

한편, 제 1 회전 블록(510)은 전술한 바와 같이 Y축을 중심으로 회전하도록 구성되고, 제 2 회전 블록(520)은 X축을 중심으로 회전하도록 구성될 수 있는데, 이 경우 도 5에 도시된 바와 같이 (a) 상태에서 (b) 및 (c) 상태로 제 2 회전 블록(520)이 제 2 회전 구동부(540)에 의해 X축을 중심으로 양측 방향으로 회전할 수 있고, 이에 따라 그리퍼 모듈(300)에 고정된 초음파 센서(S) 또한 X축을 중심으로 회전하게 된다. 마찬가지로, 도 6에 도시된 바와 같이 (a) 상태에서 (b) 및 (c) 상태로 제 1 회전 블록(510)이 제 1 회전 구동부(530)에 의해 Y축을 중심으로 양측 방향으로 회전할 수 있고, 이에 따라 초음파 센서(S) 또한 Y축을 중심으로 회전하게 된다. 이때, 제 1 회전 구동부(530) 및 제 2 회전 구동부(540)는 각각 별도의 제어부(미도시)를 통해 자동 제어되도록 구성되는 것이 정확한 측정 결과를 위해 바람직할 것이다.
Meanwhile, as described above, the first rotation block 510 may be configured to rotate about the Y axis, and the second rotation block 520 may be configured to rotate about the X axis, in this case, as shown in FIG. 5. As shown in (a) and (b) and (c), the second rotating block 520 may be rotated in both directions about the X axis by the second rotation driving unit 540, and thus the gripper module 300. The ultrasonic sensor S fixed to) also rotates about the X axis. Similarly, as shown in FIG. 6, the first rotation block 510 may be rotated in both directions about the Y axis by the first rotation driver 530 in the states (a) to (b) and (c). Thus, the ultrasonic sensor S also rotates about the Y axis. In this case, it is preferable that the first rotation driver 530 and the second rotation driver 540 be configured to be automatically controlled through separate controllers (not shown), respectively, for accurate measurement results.

다음으로, 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치를 통한 초음파 빔폭 측정 과정을 도 7 및 도 8을 중심으로 살펴본다.Next, the ultrasonic beam width measurement process using the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 7 and 8.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치를 통해 X축 또는 Y축 방향의 초음파 빔폭을 측정하는 원리를 개략적으로 도시한 측정 흐름도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치를 통해 초음파 빔폭의 3차원 형상을 측정하는 원리를 개략적으로 도시한 개념도이다.FIG. 7 is a measurement flowchart schematically illustrating a principle of measuring an ultrasonic beam width in an X-axis or Y-axis direction using an ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a flowchart of FIG. 8 according to an embodiment of the present invention. It is a conceptual diagram schematically showing the principle of measuring the three-dimensional shape of the ultrasonic beam width through the ultrasonic beam width measuring apparatus.

초음파 센서(S)로부터 발생되는 초음파(W)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 초음파(W)가 발생되는 지점으로부터 일정 범위 이내에서는 일반적으로 진행 방향이 증가함에 따라 그 빔폭이 증가하는 형태로 나타난다. 이러한 초음파(W)의 형태는 도 7에 도시된 2차원적인 어느 한 평면에서 뿐만 아니라 도 8에 도시된 바와 같이 3차원적인 공간에서도 마찬가지로 나타난다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 빔폭 측정 장치는 초음파 센서(S)로부터 발생된 초음파(W)의 빔폭에 대해 3차원적인 빔폭의 형태를 측정할 수 있도록 구성된다. As illustrated in FIGS. 7 and 8, the ultrasonic wave W generated in the ultrasonic sensor S has a form in which its beam width increases as the direction of travel increases within a predetermined range from the point where the ultrasonic wave W is generated. Appears. The shape of the ultrasonic wave W is shown not only in one two-dimensional plane shown in FIG. 7 but also in three-dimensional space as shown in FIG. Therefore, the ultrasonic beam width measuring apparatus according to an embodiment of the present invention is configured to measure the shape of the three-dimensional beam width with respect to the beam width of the ultrasonic wave W generated from the ultrasonic sensor S.

좀 더 자세히 살펴보면, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이 직선 이송 모듈(400)을 통해 초음파 센서(S)의 중심을 타겟볼(T) 중심의 수직 방향에 배치하고 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)의 수직 이격 거리가 L1이 되도록 위치시킨 기준 상태에서, 초음파 센서(S)를 통해 초음파(W)를 발생시켜 타겟볼(T)에 조사하고, 이때 타겟볼(T)을 통해 반사되어 나오는 반사파를 초음파 센서(S)를 통해 측정한다. 이후 도 7의 (b),(c),(d)에 도시된 바와 같이 회전 이송 모듈(500)을 통해 초음파 센서(S)를 반시계 방향으로 회전시키며 연속적으로 반사파를 측정한다. 이와 같이 측정된 초음파(W)에 대한 반사파는 도 7의 (a) 상태에서 그 신호의 세기가 가장 크고, 도 7의 (b),(c) 상태로 회전할수록 그 신호의 세기가 감소하며, 도 7의 (d) 상태와 같이 초음파(W)의 진행 방향이 타겟볼(T)을 완전히 벗어나게 되면, 초음파 센서(S)에 반사파가 도달하지 않아 그 신호의 세기가 변화없이 일정하게 유지된다. 이러한 반사파에 대한 신호는 초음파 센서(S)에 의해 수신된 반사파 신호를 펄스 신호로 표시하는 별도의 표시부(700)를 통해 표시되며, 각각의 상태는 도 7의 (a) 내지 (d)에 도시된 바와 같이 표시부(700)에 펄스 신호로 연속 출력 표시된다. 한편, 마찬가지 방식으로 기준 상태인 도 7의 (e) 상태로부터 도 7의 (f),(g),(h) 상태로 초음파 센서(S)를 시계 방향으로 회전시켜가며 반사파를 측정하게 되면, 도 7의 (e) 내지 (h)에 도시된 바와 같은 형태의 펄스 신호가 표시부(700)에 새롭게 연속 출력 표시된다. 이는 도 7의 (a) 내지 (d)의 펄스 신호와 좌우 대칭되는 형태로 이러한 전 과정을 거쳐 나타나는 출력이 하나의 펄스 신호를 이루게 된다.In more detail, as shown in (a) of FIG. 7, the center of the ultrasonic sensor S is disposed in the vertical direction of the center of the target ball T through the linear transfer module 400 and the ultrasonic sensor S and In the reference state where the vertical separation distance of the target ball (T) to be L1, by generating an ultrasonic wave (W) through the ultrasonic sensor (S) and irradiates the target ball (T), at this time through the target ball (T) The reflected wave reflected is measured through the ultrasonic sensor (S). Then, as shown in (b), (c), (d) of Figure 7 through the rotary feed module 500 to rotate the ultrasonic sensor (S) in a counterclockwise direction to measure the reflected wave continuously. The reflected wave of the ultrasonic wave (W) measured as described above has the largest intensity of the signal in the state (a) of FIG. 7, and the intensity of the signal decreases as it rotates to the states (b) and (c) of FIG. As shown in (d) of FIG. 7, when the traveling direction of the ultrasonic wave W completely leaves the target ball T, the reflected wave does not reach the ultrasonic sensor S, and thus the intensity of the signal is maintained without change. The signal for the reflected wave is displayed through a separate display unit 700 which displays the reflected wave signal received by the ultrasonic sensor S as a pulse signal, and each state is shown in FIGS. 7A to 7D. As shown in the figure, the display unit 700 continuously outputs the pulse signal. In the same manner, when the ultrasonic wave S is rotated clockwise from the reference state (e) of FIG. 7 to the state (f), (g), (h) of FIG. A pulse signal having a shape as shown in FIGS. 7E to 7H is newly displayed on the display unit 700 continuously. This is in the form of left and right symmetry with the pulse signal of (a) to (d) of Fig. 7 outputs through this entire process forms a single pulse signal.

이와 같이 초음파 센서(S)를 타겟볼(T)에 대한 수직 방향의 위치에서 시계 방향 및 반시계 방향으로 회전시키게 되면, 반사파에 대한 신호가 최종적으로 도 7의 (h)에 도시된 펄스 신호로 나타나게 되며, 이는 초음파 빔폭이 타겟볼(T)을 완전히 벗어난 지점에서부터 좌우 양측에 균일한 구간이 나타나게 되므로, 펄스 신호 중 좌우 양측의 균일한 신호 구간을 제외한 중간 구간에 해당하는 영역이 초음파(W)에 대한 빔폭(WX1)을 나타내게 된다.As such, when the ultrasonic sensor S is rotated clockwise and counterclockwise at a position perpendicular to the target ball T, the signal for the reflected wave is finally converted into the pulse signal shown in FIG. Since the uniform beams appear on the left and right sides from the point where the ultrasonic beam width is completely outside the target ball T, the region corresponding to the middle section except the uniform signal sections on both the left and right sides of the pulse signal is the ultrasonic wave (W). It will be shown the beam width (WX1) for.

이때, 초음파 센서(S)는 직선 이송 모듈(400)에 의해 도 7의 (a)에 도시된 기준 상태로 위치하게 되고, 이후 회전 이송 모듈(500)에 의해 예를 들어 제 1 회전 블록(510)의 회전에 의해 초음파 센서(S)가 Y축을 중심으로 양방향으로 회전하며 도 7의 (a) 내지 (h) 상태를 이루게 된다. 이러한 과정을 통해 도 7에서 측정한 초음파(W)의 빔폭(WX1)은 X축 상에 나타나는 빔폭에 해당된다. 이와 같은 X축 빔폭(WX1)에 대한 측정 과정이 완료된 상태에서 제 2 회전 블록(520)의 회전에 의해 초음파 센서(S)를 X축을 중심으로 양방향으로 회전시키며 마찬가지 방식으로 초음파 빔폭을 측정하게 되면, Y축 상에 나타나는 Y축 빔폭(WY1)(도 8 참조)을 측정할 수 있다.In this case, the ultrasonic sensor S is positioned in the reference state shown in FIG. 7A by the linear transfer module 400, and then, for example, by the rotary transfer module 500, for example, the first rotation block 510. The ultrasonic sensor S rotates in both directions about the Y axis by the rotation of) and achieves the states (a) to (h) of FIG. 7. Through this process, the beam width WX1 of the ultrasonic wave W measured in FIG. 7 corresponds to the beam width appearing on the X axis. When the measurement process for the X-axis beam width WX1 is completed, the ultrasonic sensor S is rotated in both directions about the X-axis by the rotation of the second rotating block 520 and the ultrasonic beam width is measured in the same manner. , The Y-axis beam width WY1 (see FIG. 8) appearing on the Y-axis can be measured.

이와 같이 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)과의 수직 이격 거리 L1 상태에서 X축 빔폭(WX1)과 Y축 빔폭(WY1)을 측정한 이후에는 타겟 이송 유닛(600)을 통해 초음파 센서(S)의 위치를 고정한 상태에서 타겟볼(T)의 위치를 상하 방향으로 이동시켜 초음파 센서(S)와 타겟볼(T)과의 수직 이격 거리가 L1 보다 더 큰 L2 상태가 되도록 한다. 이와 같이 수직 이격 거리 L2 상태에서 L1 상태와 마찬가지 방식으로 X축 빔폭(WX2)과 Y축 빔폭(WY2)를 측정하면, 수직 이격 거리 L1부터 L2까지의 3차원적인 초음파 빔폭을 구할 수 있다. 이때, 3차원적인 초음파 빔폭은 L1 지점과 L2 지점에서 측정한 초음파 빔폭을 연산하여 이론적으로 구한 값이므로, 이에 대한 정확성을 좀더 향상하기 위해서는 좀더 많은 지점에서 X축 빔폭과 Y축 빔폭을 측정하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 도 8에 도시된 바와 같이 수직 이격 거리가 L3인 지점에서도 X축 빔폭(WX3)과 Y축 빔폭(WY3)을 측정하는 방식으로 그 정확성을 향상시킬 수 있다. 물론, 3개 지점 이상 더 많은 지점에서 측정할 수도 있을 것이다.
As described above, after measuring the X-axis beam width WX1 and the Y-axis beam width WY1 in the vertical separation distance L1 between the ultrasonic sensor S and the target ball T, the ultrasonic sensor ( By moving the position of the target ball (T) in the up and down direction while fixing the position of S) so that the vertical separation distance between the ultrasonic sensor (S) and the target ball (T) is larger than L1. As described above, by measuring the X-axis beam width WX2 and the Y-axis beam width WY2 in the same manner as in the L1 state in the vertical distance L2 state, the three-dimensional ultrasonic beam width from the vertical distance L1 to L2 can be obtained. In this case, the three-dimensional ultrasonic beam width is theoretically obtained by calculating the ultrasonic beam widths measured at the L1 and L2 points. Therefore, in order to further improve the accuracy, measuring the X-axis beam width and the Y-axis beam width at more points is recommended. desirable. For example, as shown in FIG. 8, the accuracy of the X-axis beam width WX3 and the Y-axis beam width WY3 may be improved even at a point where the vertical separation distance is L3. Of course, you can also measure at three or more points.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

100: 액체 저장조 200: 타겟볼 고정 유닛
250: 자석 300: 그리퍼 모듈
400: 직선 이송 모듈 500: 회전 이송 모듈
600: 타겟 이송 유닛
100: liquid reservoir 200: target ball fixing unit
250: magnet 300: gripper module
400: linear feed module 500: rotary feed module
600: target transfer unit

Claims (7)

초음파 센서로부터 타겟볼에 초음파를 조사하고 상기 타겟볼에 의해 반사되어 나오는 반사파를 측정하여, 상기 초음파 센서의 초음파 빔폭을 측정하는 초음파 빔폭 측정 장치에 있어서,
초음파 전달을 위한 매질 액체를 저장할 수 있는 액체 저장조;
상기 액체 저장조 내부에 배치되어 상기 타겟볼이 탈착 가능하게 결합되는 타겟볼 고정 유닛;
상기 초음파 센서를 파지하여 고정하는 그리퍼 모듈과, 상기 그리퍼 모듈을 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 직선 이동시키는 직선 이송 모듈과, 상기 그리퍼 모듈을 상기 X축 및 Y축을 중심으로 회전 이동시키는 회전 이송 모듈을 통해 상기 초음파 센서를 측정 위치에 이송 고정하는 센서 이송 유닛; 및
상기 그리퍼 모듈에 고정된 상기 초음파 센서와 상기 타겟볼의 수직 이격 거리가 조절될 수 있도록 상기 타겟볼 고정 유닛을 상기 액체 저장조 내부에서 상기 Z축 방향으로 상하 이동시키는 타겟 이송 유닛
을 포함하고, 상기 그리퍼 모듈은
일측 방향으로 길게 형성되어 상기 회전 이송 모듈에 장착되는 가이드 블록;
상기 가이드 블록에 길이 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 2개의 바이스 블록; 및
외주면의 양단부에 서로 다른 방향의 나사산이 형성되어 상기 2개의 바이스 블록과 서로 다른 방향으로 나사 결합되는 작동 로드
를 포함하고, 상기 2개의 바이스 블록은 상기 작동 로드의 회전에 따라 상호 근접하거나 멀어지는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.
In the ultrasonic beam width measuring apparatus for irradiating the ultrasonic wave to the target ball from the ultrasonic sensor and measuring the reflected wave reflected by the target ball, the ultrasonic beam width of the ultrasonic sensor,
A liquid reservoir capable of storing medium liquid for ultrasonic delivery;
A target ball fixing unit disposed in the liquid reservoir and detachably coupled to the target ball;
A gripper module for holding and fixing the ultrasonic sensor, a linear transfer module for linearly moving the gripper module in directions perpendicular to each other in the X, Y, and Z axes, and rotating the gripper module about the X and Y axes. A sensor transfer unit configured to transfer and fix the ultrasonic sensor to a measurement position through a rotating transfer module for moving; And
Target transfer unit for vertically moving the target ball fixing unit in the Z-axis direction in the liquid reservoir so that the vertical separation distance between the ultrasonic sensor and the target ball fixed to the gripper module can be adjusted
It includes, the gripper module
A guide block extending in one direction and mounted to the rotary transfer module;
Two vise blocks mounted on the guide block to be slidably movable in a longitudinal direction; And
Operating rods are formed at both ends of the outer circumferential surface in different directions to screw the two vise blocks in different directions.
And the two vise blocks move in a direction approaching or away from each other according to the rotation of the working rod.
제 1 항에 있어서,
상기 타겟볼 고정 유닛은 자석의 자기력에 의해 상기 타겟볼이 탈착 가능하게 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.
The method of claim 1,
The target ball fixing unit is an ultrasonic beam width measuring apparatus, characterized in that configured to be detachably coupled to the target ball by a magnetic force of a magnet.
제 2 항에 있어서,
상기 타겟볼 고정 유닛은
상기 액체 저장조 내부에 수평으로 배치되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 상향 돌출되게 결합되며 상단에 상기 자석이 결합되는 연결 샤프트;
상기 연결 샤프트의 상단 외주면을 감싸며 결합되고 중앙부에는 핀 고정홀이 상하 방향으로 관통 형성되는 핀 홀더; 및
자성체 재질로 형성되어 하단이 상기 자석에 접촉하도록 상기 핀 홀더의 핀 고정홀에 삽입 고정되는 지지핀
을 포함하고, 상기 타겟볼은 상기 지지핀을 통해 전달되는 상기 자석의 자기력에 의해 상기 지지핀의 상단에 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.
The method of claim 2,
The target ball fixing unit
A base plate disposed horizontally in the liquid reservoir;
A connecting shaft coupled to the base plate to protrude upward and having the magnet coupled to an upper end thereof;
A pin holder surrounding the upper outer circumferential surface of the connection shaft and having a pin fixing hole penetrating in a vertical direction in a central portion thereof; And
A support pin formed of a magnetic material and inserted into and fixed in a pin fixing hole of the pin holder such that a bottom thereof contacts the magnet.
And the target ball is coupled to an upper end of the support pin by a magnetic force of the magnet transmitted through the support pin.
제 3 항에 있어서,
상기 타겟 이송 유닛은
외주면에 나사산이 형성되어 상기 베이스 플레이트에 관통 나사 결합되도록 상기 액체 저장조에 상기 Z축 방향으로 수직 배치되는 스크류 로드; 및
상기 스크류 로드를 상기 Z축 방향의 회전축을 중심으로 회전 구동하는 스크류 로드 구동부
를 포함하고, 상기 스크류 로드가 상기 Z축 방향의 회전축을 중심으로 왕복 회전함에 따라 상기 베이스 플레이트가 상기 Z축 방향으로 상하 이동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.
The method of claim 3, wherein
The target transfer unit is
A screw rod formed on an outer circumferential surface thereof and vertically disposed in the Z-axis direction in the liquid reservoir so as to be threaded through the base plate; And
Screw rod driving unit for rotating the screw rod about the rotation axis in the Z-axis direction
And, wherein the base plate is configured to move up and down in the Z-axis direction as the screw rod reciprocates about a rotation axis in the Z-axis direction.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 회전 이송 모듈은
상기 X축 및 Y축 중 어느 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동 가능하게 상기 직선 이송 모듈에 장착되는 제 1 회전 블록;
상기 X축 및 Y축 중 상기 제 1 회전 블록의 회전축과 평행하지 않은 나머지 한 축과 평행한 회전축을 중심으로 회전 이동 가능하게 상기 제 1 회전 블록에 장착되는 제 2 회전 블록; 및
상기 제 1 회전 블록 및 제 2 회전 블록을 각각 회전 구동하는 제 1 회전 구동부 및 제 2 회전 구동부
를 포함하고, 상기 그리퍼 모듈의 가이드 블록은 상기 제 2 회전 블록에 장착되는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.
The method of claim 1,
The rotary feed module
A first rotating block mounted to the linear transfer module to be rotatable about a rotation axis parallel to one of the X and Y axes;
A second rotation block mounted to the first rotation block to be rotatable about the rotation axis parallel to the other axis not parallel to the rotation axis of the first rotation block among the X and Y axes; And
A first rotational drive and a second rotational drive for rotating the first and second rotational blocks respectively;
And a guide block of the gripper module is mounted to the second rotating block.
제 6 항에 있어서,
상기 직선 이송 모듈은
상기 X축 방향으로 길게 배치되어 상기 액체 저장조의 상단부에 장착되는 X축 갠트리;
상기 Y축 방향으로 길게 배치되어 상기 X축 갠트리에 상기 X축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Y축 갠트리;
상기 Z축 방향으로 길게 배치되어 상기 Y축 갠트리에 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 Z축 갠트리; 및
상기 Z축 갠트리에 상기 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 이동 블록
을 포함하고, 상기 회전 이송 모듈의 제 1 회전 블록은 상기 이동 블록에 회전 이동 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 초음파 빔폭 측정 장치.









The method according to claim 6,
The linear transfer module
An X-axis gantry disposed in the X-axis direction and mounted to an upper end of the liquid reservoir;
A Y-axis gantry disposed in the Y-axis direction and mounted to the X-axis gantry so as to be movable in the X-axis direction;
A Z-axis gantry disposed long in the Z-axis direction and mounted to the Y-axis gantry so as to be movable in the Y-axis direction; And
Moving block mounted to the Z-axis gantry movably in the Z-axis direction
And a first rotary block of the rotary feed module is rotatably mounted to the movable block.









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