KR101034677B1 - 기판 홀더 - Google Patents

기판 홀더 Download PDF

Info

Publication number
KR101034677B1
KR101034677B1 KR1020090024201A KR20090024201A KR101034677B1 KR 101034677 B1 KR101034677 B1 KR 101034677B1 KR 1020090024201 A KR1020090024201 A KR 1020090024201A KR 20090024201 A KR20090024201 A KR 20090024201A KR 101034677 B1 KR101034677 B1 KR 101034677B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
main body
fixing
horizontal
vertical
Prior art date
Application number
KR1020090024201A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100105263A (ko
Inventor
이영훈
문장원
이진식
Original Assignee
주식회사바텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사바텍 filed Critical 주식회사바텍
Priority to KR1020090024201A priority Critical patent/KR101034677B1/ko
Publication of KR20100105263A publication Critical patent/KR20100105263A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101034677B1 publication Critical patent/KR101034677B1/ko

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B50/00—Containers, covers, furniture or holders specially adapted for surgical or diagnostic appliances or instruments, e.g. sterile covers
    • A61B50/20—Holders specially adapted for surgical or diagnostic appliances or instruments
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 홀더에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판을 올려놓는 본체와, 기판을 고정하는 클립에 수직 및 수평방향으로 탄성을 인가하여 기판을 고정하는 고정장치를 포함하는 기판 홀더에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이하여, 이동이 간편한 구조의 기판 홀더를 제공한다.
기판, 클립, 탄성부재

Description

기판 홀더 {Substrate holder}
본 발명은 기판 홀더에 관한 것으로, 보다 구체적으로 판상형의 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이한 구조의 기판 홀더에 관한 것이다.
일반적으로 의료분야에서 일반적으로 사용되는 영상 진단 장치인 엑스선 촬영장치는 엑스선 발생부와 촬영판으로 이루어져 환자의 신체 일정 부위에 엑스선을 조사하여 뼈의 골절 여부 및 장기의 이상 여부 등을 검진하는 장치이다.
이때, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 엑스선 발생부와 촬영판 사이에 환자의 검진하고자 하는 신체부위를 위치시킨 상태에서 상기 엑스선 발생부에 의해 엑스선을 조사하면, 상기 촬영판을 통해 영상을 얻을 수 있는 구조로 이루어진다.
그러나, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 촬영판에서 촬영된 필름을 현상해야 하는 번거로움이 있었고, 여러 환자에 따른 필름을 보관, 관리하는 과정에서 많은 공간과 시간과 경비 및 인력이 필요한 문제점이 있었다.
따라서, 기존의 필름방식의 엑스선 촬영장치를 대체하는 기술로 DR(Digital Radiography)이라고 대표되는 X선 이미지 센서를 이용한 디지털 영상 진단 장치가 연구 진행되고 있다.
상기 디지털 영상 진단 장치는 디지털 방식으로 영상을 획득하는 장치로서, 엑스선을 디지털 센서에 조사하여 이를 전기적인 신호로 바꾸어서 영상을 획득하는 장치이다.
따라서, 상기 X선 이미지 센서는 디지털 영상 진단 장치의 핵심적인 기술로, 상기 디지털 센서의 성능에 따라 상기 디지털 영상 진단 장치에서 출력되는 영상의 질을 좌우하게 된다.
이러한 X선 이미지 센서는 주로 환자의 사지골절, 두부 및 흉부와 같은 광범위한 면적의 영상을 획득하게 되는데, 이로 인해 상기 디지털 센서는 대면적 X선 이미지 센서로 제조되어야 한다.
한편, 대면적 X선 이미지 센서의 제조 과정은 다음과 같다.
먼저, TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성시킨 후, 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 1 지지 테이블에 위치시킨다. 그 다음, 신틸레이터 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨 후 상기 기판 홀더를 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨다. 그리고 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착시킨 후, 합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링한다. 마지막으로, 합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널에 회로기판 및 커버를 설치 또는 조립하여 대면적 X선 이미지 센서를 완성한다.
이 때, 상기 신틸레이터 패널은 상기 제 2 지지 테이블에 진공 흡착 방식을 사용하여 장착되며, 상기 신틸레이터 패널이 상기 TFT 패널에 합착될 때 진공 흡착을 해제하여 상기 제 2 지지 테이블에서 상기 신틸레이터 패널이 분리되게 한다.
그러나, 상기 진공 흡착 방식의 고정은 상기 신틸레이터 패널의 변형을 유발시키며, 변형된 신틸레이터 패널이 상기 TFT 패널과 합착되어 대면적 X선 이미지 센서를 제조하게 되면 센싱 결과가 정확하지 않거나, 오작동 및 고장의 원인이 되는 문제점이 발생한다.
또한, TFT 패널과 신틸레이터 패널의 합착 과정에 진공 흡착 설비를 구비하여야 하기 때문에 비용이 상승하고, 제 2 지지 테이블에 상기 신틸레이터 패널을 장착하는 작업이 복잡하다는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점과 과거로부터 요청되어온 기술적 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이하여, 이동이 간편한 구조의 기판 홀더를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 종래의 대면적 X선 이미지 센서 제조 공정에서 기판을 고정시키기 위해 사용되는 진공 흡착 설비를 대체할 수 있으므로 기판의 변형을 방지하면서도 설비를 단순화시킬 수 있는 기판 홀더를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판을 올려놓는 본체, 및 상기 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치를 포함하고, 상기 고정장치는 상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되는 기판 고정 클립, 상기 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 탄성부는, 상기 본체에 고정되어 있는 제 1 고정부, 상기 제 1 고정부와 제 1 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 수직 탄성부는, 상기 수평 이동부와 제 2 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 수직 방향으로 이동하는 수직 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 이동부의 이동을 조절하는 수평 조절 손잡이를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 조절 손잡이를 당겨 상기 기판 고정 클립이 본체의 외측 방향으로 수평 이동한 상태에서 다시 본체의 내측 방향으로 이동하지 않도록 고정시키는 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 고정장치는 2 개의 기판 고정 클립을 구비 하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체의 하면에는 기판 홀더 이동 손잡이가 설치되는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체에는 외부 장치에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가 위치하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 기판은 대면적 센서 기판인 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
본 발명의 기판 홀더는 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이하여, 이동이 간편한 구조를 이룬다.
또한, 본 발명의 기판 홀더는 종래의 대면적 X선 이미지 센서 제조 공정에서 기판을 고정시키기 위해 사용되는 진공 흡착 설비을 대체할 수 있으므로 기판의 변형을 방지하면서도 설비를 단순화시킬 수 있는 효과를 제공한다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1에는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 홀더의 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 기판 홀더의 반대측 면에 관한 사시도가 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 기판 홀더(100)는 본체(110) 및 고정장치를 포함하는 구조로 이루어진다.
상기 본체(110)는 기판을 올려놓을 수 있도록, 기판보다 넓은 크기의 판상형 부재로서, 기판의 크기 및 형태에 따라서 상기 본체의 형상이 다양해 질 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에서는 사각형의 기판을 고정하는 기판 홀더에 대한 도면 및 설명이 기재되어 있으나, 기판의 구조에 따라서 상기 기판 홀더의 본체는 원형, 타원형, 또는 다각형의 판상형 구조 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
상기 고정장치는 수직 탄성부, 수평 탄성부, 및 기판 고정 클립(140)을 포함하며, 상기 수직 탄성부는 상기 기판 고정 클립(140)에 수직 방향으로 탄력을 인가하여 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에 밀착되도록 한다. 또한, 상기 수평 탄성부는 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가한다. 따라서, 상기 본체(110) 상에 기판을 올려놓은 후, 상기 수평 탄성부의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립이 상기 본체의 내측으로 수평 이동하면서 상기 기판 고정 클립(140)의 일부가 상기 기판의 테두리 부위상에 위치하게 되고, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 기판의 테두리 부위를 수직으로 압박한다. 상기 고정장치의 작동에 관한 설명은 하기 도 3 내지 도 6의 설명에서 다시 구체적으로 설명한다.
또한 상기 고정장치는 기판을 안정적으로 고정할 수 있도록 복수 개가 상기 본체(110)의 테두리 부위에 설치된다. 구체적으로, 상기 고정장치는 상기 본체(110)의 테두리 부위에서 상기 본체(110)의 중심을 기준으로 대칭되도록 복수 개가 설치된다. 그리고, 상기 고정장치는 상기 기판을 더욱 안정적으로 고정할 수 있도록 기판 고정 클립(140)을 각각 2 개씩 포함된 구조로 이루어진다.
상기 본체(110)에서, 상기 기판이 고정되는 면의 반대측 면에는 이동 손잡이(170)가 위치하며, 따라서 상기 기판 홀더(100)를 용이하게 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 기판 홀더(100)에 기판이 고정된 상태, 또는 고정되어 있지 않은 상태에서 상기 기판 홀더를 다른 위치로 이동시키는 작업이 용이해진다.
또한, 상기 본체(110)에는 상기 기판 홀더(100)를 다른 외부 장치에 장착시키기 위한 장착 홈 또는 장착 나사(180)가 위치하며, 상기 다른 외부 장치에는 상기 장착 홈 또는 장착 나사에 대응하는 장착 나사 또는 장착 홈을 형성시켜서 상기 외부 장치에 상기 기판 홀더(100)가 안정적으로 장착되게 하는 구조를 이룬다. 그러나 상기 외부 장치에 상기 기판 홀더(100)가 장착나사 및 장착 홈에 의해서 장착되는 구조에 한정되지 않고, 다양한 구조로도 장착 구조의 구현이 가능하다.
도 3 내지 도 6에는 고정장치의 작동 구조에 관한 측면도들이 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 상기 고정장치는 수평 탄성부, 수직 탄성부, 기판 고정 클립(140), 및 상기 수평 탄성부를 조절하는 수평 조절 손잡이(150)를 포함하는 구조를 이룬다.
상기 수평 탄성부는 기판 홀더(100)의 본체(110)에 고정되어 있는 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128), 상기 제 1 고정부(122)와 제 1 탄성부재(126)로 연결되며, 상기 본체(110)의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부(124)를 포함한다.
상기 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128)는 상기 본체(110)에 고정되어 상기 수평 이동부(124)의 수평 이동의 범위를 제한한다. 따라서, 상기 수평 이동부(124)는 상기 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128) 사이에서 이동하며, 상기 수평 이동부(124)의 이동 축(129) 상에 제 1 탄성부재(126)가 위치한다. 그리고, 상기 수평 이동부(124)와 상기 기판 고정 클립(140)이 연결되어 있다. 또한, 상기 제 1 탄성부재(126)에 의해 상기 수평 이동부(124)에 탄력이 인가되어 상기 수평 이동부(124)가 상기 본체(110)의 내측 방향으로 이동한다. 상기 수평 조절 손잡이(150)는 상기 수평 이동부(124)의 이동 축(129)에 연결되어 있어서, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 상기 본체(110)의 외측으로 잡아당기면 상기 수평 이동부(124)도 상기 본체(110)의 외측으로 이동하게 되고, 따라서 상기 기판 고정 클립(140)도 상기 수평 이동부(124)의 이동에 따라 상기 본체(110)의 외측으로 이동한다.
상기 수직 탄성부는 상기 수평 이동부(124)와 제 2 탄성부재(134)로 연결된 수직 이동부(132)를 포함한다. 상기 기판 고정 클립(140)은 상기 수직 이동부(132)와 수직 이동 축(136)으로 연결된다. 따라서 상기 수직 이동부(132)가 수직으로 이동하면 상기 기판 고정 클립(140)도 수직으로 이동한다. 즉, 상기 기판 고정 클립(140)은 상기 제 2 탄성부재(134)의 탄력에 의해서 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위를 압박하며, 상기 수직 이동부(132)를 누르면 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격된다.
상기 수평 조절 손잡이(150)를 당겨서 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 외측으로 이동한 구조가 도 6에 도시되어 있고, 상기 수직 이동부(132)를 눌러 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격된 구조가 도 7에 도시되어 있다. 또한, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 당기고 상기 수직 이동부(132)를 눌러 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격됨과 동시에 상기 본체(110)의 외측으로 이동한 구조가 도 8에 도시되어 있다.
상기 고정장치는 상기와 같은 작동 구조를 사용하여 상기 본체(110)상에 기판을 올려 놓은 후 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위를 압박하여 상기 기판을 고정하는 구조를 이룬다.
도 7에는 도 1의 기판 홀더의 고정장치의 측면도가 도시되어 있다.
도 7을 도 5 및 도 6과 함께 참조하면, 상기 수평 이동부(124)와 수평 이동축(129)으로 연결되는 수평 조절 손잡이(150)는 상기 제 1 고정부(122) 상에서 상 기 수평 이동축(129)을 중심으로 회전 가능한 구조로 이루어지며, 상기 수평 조절 손잡이(150)의 일측에는 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정시키기 위한 돌출부(152)가 위치한다. 또한 상기 제 1 고정부(122)에는 상기 돌출부(152)가 안착되는 홈(123)이 형성되어 있어서, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 당기고 소정의 각도로 회전시켜서 상기 돌출부(152)의 단부가 상기 홈(123)에 안착되도록 함으로써 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정될 수 있도록 한다.
즉, 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정한 후, 상기 본체(110) 상에 기판을 올리고, 상기 수평 조절 손잡이(150)의 고정을 해제하여 상기 기판을 상기 기판 홀더(100)에 고정하는 구조를 이룬다.
도 8에는 도 1의 기판 홀더에 기판이 고정된 구조의 모식도가 도시되어 있다. 도 8을 참조하면, 복수 개의 기판 고정 클립(140)이 기판의(10) 테두리 부위(12)를 압박하여 상기 기판(10)이 고정된 구조를 이룬다. 또한 본체(110)상에 기판(10)을 올려놓거나 분리하기 용이하게 하기 위해, 상기 기판(10)의 테두리(10)에 걸치는 구조의 픽업 홈(160)이 형성되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 기판 홀더는 대면적 패널을 고정하는 장치로서 바람직하게 사용될 수 있다. 상기 대면적 패널은 일반적으로 8×8(inch) 이상의 면적을 가지는 패널을 의미하며, 이중에서도 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 합착하여 제조되는 대면적 X선 이미지 센서의 제조 과정에서 본 발명의 기판 홀더가 바람직하게 사용될 수 있다.
상기 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 합착하는 과정은 다음과 같다. 먼저, TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성시킨 후, 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 1 지지 테이블에 위치시킨다. 그 다음, 본 발명의 실시예에 따른 기판 홀더(100)에 신틸레이터 패널을 장착시킨 후 상기 기판 홀더를 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨다. 그리고 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착시킨다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 홀더의 사시도이다;
도 2는 도 1의 기판 홀더의 반대측 면에 관한 사시도이다;
도 3 내지 도 6은 고정장치의 작동 구조에 관한 측면도들이다;
도 7은 도 1의 기판 홀더의 고정장치의 측면도이다;
도 8은 도 1의 기판 홀더에 기판이 고정된 구조의 모식도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 100 : 기판 홀더
110 : 본체 122 : 제 1 고정부
124 : 수평 이동부 126 : 제 1 탄성부재
132 : 수직 이동부 134 : 제 2 탄성부재
136 : 수직 이동축 140 : 기판 고정 클립
150 : 수평 조절 손잡이 170 : 이동 손잡이

Claims (9)

  1. 기판을 올려놓을 수 있는 상기 기판보다 넓은 크기의 판상형 부재로 된 본체; 및
    상기 본체에 올려진 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치; 를 포함하는데,
    상기 고정장치는,
    상기 본체에 고정되어 있는 제 1 고정부와 상기 제 1 고정부에 연결되는 제 1 탄성부재와 상기 본체의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부를 포함하여 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부;
    상기 수평 이동부와 연결되는 제 2 탄성부재로 연결되며 상기 본체의 수직 방향으로 이동하는 수직 이동부를 포함하여 상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부; 및
    상기 수직 이동부와 수직 이동축으로 연결되어 상기 수직 탄성부에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되거나 이격되는 기판 고정 클립;를 포함하고,
    상기 수평 이동부와 수평 이동축으로 연결되어, 상기 제 1 고정부 상에서 상기 수평 이동축을 중심으로 회전 가능한 구조를 갖고 상기 수평 이동부의 이동을 조절하는 수평 조절 손잡이와,
    상기 수평 조절 손잡이를 당겨 상기 기판 고정 클립이 본체의 외측 방향으로 수평 이동한 상태에서 다시 본체의 내측 방향으로 이동하지 않도록 고정시키는 걸림부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정장치는 2 개의 기판 고정 클립을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더;
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체의 하면에는 기판 홀더 이동 손잡이가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체에는 외부 장치에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가위치하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 대면적 센서 기판인 것을 특징으로 하는 기판 홀더.
KR1020090024201A 2009-03-20 2009-03-20 기판 홀더 KR101034677B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090024201A KR101034677B1 (ko) 2009-03-20 2009-03-20 기판 홀더

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090024201A KR101034677B1 (ko) 2009-03-20 2009-03-20 기판 홀더

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100105263A KR20100105263A (ko) 2010-09-29
KR101034677B1 true KR101034677B1 (ko) 2011-05-16

Family

ID=43009422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090024201A KR101034677B1 (ko) 2009-03-20 2009-03-20 기판 홀더

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101034677B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101591363B1 (ko) * 2014-10-27 2016-02-03 한국알박(주) 마그넷 슬라이딩 클램핑 장치
KR102514906B1 (ko) * 2021-04-23 2023-03-29 주식회사 에스엔씨솔루션 테스트 보드 구속장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100408415B1 (ko) * 2001-06-20 2003-12-06 삼성전자주식회사 시료 홀더, 시료 홀더 내에 시료 고정을 위한 보조장치 및이들을 이용한 시료 고정방법
KR20040083653A (ko) * 2003-03-24 2004-10-06 (주)네스디스플레이 기판 홀더 및 이를 적용한 기판 클립핑장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100408415B1 (ko) * 2001-06-20 2003-12-06 삼성전자주식회사 시료 홀더, 시료 홀더 내에 시료 고정을 위한 보조장치 및이들을 이용한 시료 고정방법
KR20040083653A (ko) * 2003-03-24 2004-10-06 (주)네스디스플레이 기판 홀더 및 이를 적용한 기판 클립핑장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100105263A (ko) 2010-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5568486B2 (ja) 放射線撮影用電子カセッテ
JP3990914B2 (ja) 放射線画像撮影装置
US9846246B2 (en) Method and apparatus with tiled image sensors
JP2007236805A (ja) 乳房撮影用ｘ線診断装置及び乳房撮影用ｘ線診断装置の制御方法
EP2051109A2 (en) Assembly features and shock protection for a digital radiography detector
US8735829B2 (en) Radiographic image capturing system, program storage medium, and method
US7429131B2 (en) Portable radiographic imaging apparatus
JP2004177251A (ja) 放射線画像撮影装置
JPH07303633A (ja) Ｘ線乳房撮影装置
KR101034677B1 (ko) 기판 홀더
JP2002181943A (ja) Ｘ線像撮像装置
KR101056072B1 (ko) 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법
JP4599282B2 (ja) 放射線撮影装置
JP5634883B2 (ja) 放射線撮影用電子カセッテ
JP2010088586A (ja) マンモグラフィ装置
KR20100105264A (ko) 기판 조립 테이블
US7548605B2 (en) Medical imaging apparatus
JP2017094131A (ja) 放射線撮像システム
JP2007097827A (ja) 乳房用ｘ線装置
JP6191136B2 (ja) 画像生成方法
WO2020129166A1 (ja) 医療画像用器具およびｘ線画像撮影装置
JP4819344B2 (ja) 半導体装置、放射線撮像装置、及びその製造方法
JP2004077641A (ja) 電子カセッテ
JP2006122117A (ja) 放射線画像検出装置及び放射線画像撮影システム
JP2013105033A (ja) Ｘ線画像撮影システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140502

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150430

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160502

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170424

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180409

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190328

Year of fee payment: 9