KR101032175B1 - Stage device and control method for the same - Google Patents

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Abstract

스테이지 장치 및 그 제어방법에 관하여 개시한다.

본 발명은 카메라 장치나 카메라 모듈에 사용되는 렌즈의 광학적 특성을 측정하는 렌즈 측정 장치 등에 있어서의 스테이지 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스테이지 장치는 복수개의 행과 복수개의 열로써 정렬되는 복수개의 렌즈를 구비하는 트레이가 놓이도록 구비되며, 상기 트레이에서 광축을 중심으로 동일한 각을 이루는 3개의 지지점을 지지하여 상기 트레이 평행도의 안정적 유지가 가능하도록 설계된 스테이지; 및 광축과 수직을 이루는 축을 기준으로 상기 스테이지를 틸팅시켜 상기 트레이의 평행도를 조절하는 틸팅장치를 포함하며, 트레이의 평행도를 정확하게 유지할 수 있는 수단을 제공하고, 또 세팅이 쉽고 간단한 방법에 의해 트레이의 평행도를 유지할 수 있는 효과가 있다.

Figure R1020080078514

A stage apparatus and a control method thereof are disclosed.

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stage apparatus and a control method thereof in a lens measuring apparatus for measuring optical characteristics of a lens used in a camera apparatus or a camera module. The stage apparatus according to the present invention is provided such that a tray having a plurality of lenses arranged in a plurality of rows and a plurality of columns is placed thereon, and the tray parallelism is supported by supporting three supporting points having the same angle around the optical axis. A stage designed to maintain stable; And a tilting device for adjusting the parallelism of the tray by tilting the stage about an axis perpendicular to the optical axis, and providing a means for accurately maintaining the parallelism of the tray, and setting the tray by an easy and simple method. It is effective to maintain parallelism.

Figure R1020080078514

Description

스테이지 장치 및 그 제어방법{STAGE DEVICE AND CONTROL METHOD FOR THE SAME}Stage device and its control method {STAGE DEVICE AND CONTROL METHOD FOR THE SAME}

본 발명은 스테이지 장치 및 그 제어방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 카메라 장치나 카메라 모듈에 사용되는 렌즈의 광학적 특성을 측정하는 렌즈 측정 장치 등에 있어서의 스테이지 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stage apparatus and a control method thereof, and more particularly, to a stage apparatus and a control method of a lens measuring apparatus for measuring optical characteristics of a lens used in a camera apparatus or a camera module.

일반적으로 카메라는 물론 이동통신 단말기나 각종 개인휴대단말장치 등에 장착되는 카메라 모듈에는 입사광을 굴절시켜 상이 맺어지도록 하는 렌즈가 하나 이상 구비된다.In general, a camera module mounted on a mobile communication terminal or various personal portable terminal devices, as well as a camera, is provided with at least one lens for refracting incident light to form an image.

렌즈는 제조된 후 소정의 검사를 거쳐 요구되는 광학적 특성을 갖는 것으로 판별된 양호한 렌즈만을 카메라나 카메라 모듈에 채용하고 불량인 것으로 판별된 렌즈는 폐기한다.The lens is manufactured and employs only a good lens in the camera or camera module which is determined to have the required optical characteristics through a predetermined inspection and discards the lens that is determined to be defective.

이와 같이 렌즈의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 렌즈의 광학적 특성 측정은 예컨대 카메라 모듈의 경우 렌즈 단독으로 검사하는 것이 아니라 카메라 모듈로서 조립된 상태에서 측정이 이루어지므로, 불량으로 판별되는 경우 카메라 모듈 전체를 폐기해야 하는 문제점이 있었다.As described above, the optical characteristics of the lens for checking whether the lens is good or bad are measured in the assembled state as a camera module instead of the lens module alone. There was a problem that must be discarded.

또한, 렌즈 단독으로 광학적 특성을 측정하는 경우에도 하나의 렌즈에 대한 광학적 특성을 측정한 후 다른 렌즈에 대해 광학적 특성을 측정하기 위해 장비를 다시 세팅해야 하므로 렌즈의 측정 작업이 매우 비효율적이고 측정 시간이 매우 장시간 소요되는 문제점이 있었다.In addition, in the case of measuring optical characteristics with a lens alone, the measuring operation of the lens is very inefficient and the measurement time is required since the optical characteristics of one lens must be measured and then the equipment must be set again to measure the optical characteristics of the other lens. There was a problem that takes a very long time.

따라서 복수개의 렌즈를 로딩하여 이를 통해 각각의 렌즈를 순차적으로 측정할 수 있도록 하는 것이 바람직한데, 이와 같이 복수개의 렌즈를 한꺼번에 로딩하여 각각의 피측정렌즈를 측정하는 경우 복수개의 피측정렌즈를 수납하는 트레이의 평행도가 보장되지 않으면 각 피측정렌즈 마다 다른 조건에서 측정이 이루어지기 대문에 측정결과에 심각한 영향을 미칠 수 있는 문제점이 있다.Therefore, it is preferable to load a plurality of lenses so that each lens can be measured sequentially. In this way, when a plurality of lenses are loaded at the same time to measure each lens to be measured, the plurality of lenses to be stored are stored. If the parallelism of the tray is not guaranteed, since the measurement is performed under different conditions for each lens to be measured, there is a problem that may seriously affect the measurement result.

본 발명은 복수개의 피측정렌즈를 수납하는 트레이를 로딩하여 각각의 피측정렌즈를 측정함에 있어서 모든 피측정렌즈에 대해 동일한 측정 조건을 적용할 수 있도록 트레이의 평행도를 정확하게 유지할 수 있는 수단을 제공하고, 또 세팅이 쉽고 간단한 방법으로 트레이의 평행도를 유지할 수 있도록 하는 스테이지 장치 및 그 제어방법을 제공한다.The present invention provides a means for accurately maintaining the parallelism of the tray to load the tray containing a plurality of the lens to be measured in order to apply the same measurement conditions for all of the lens to be measured. In addition, the present invention provides a stage apparatus and a control method for maintaining the parallelism of the tray in an easy and simple manner.

본 발명에 따른 스테이지 장치는, 복수개의 행과 복수개의 열로써 정렬되는 복수개의 렌즈를 구비하는 트레이가 놓이도록 구비되며, 상기 트레이에서 광축을 중심으로 동일한 각을 이루는 3개의 지지점을 지지하여 상기 트레이 평행도의 안정적 유지가 가능하도록 설계된 스테이지; 및 광축과 수직을 이루는 축을 기준으로 상기 스테이지를 틸팅시켜 상기 트레이의 평행도를 조절하는 틸팅장치를 포함한다.The stage device according to the present invention is provided such that a tray having a plurality of lenses arranged in a plurality of rows and a plurality of columns is placed thereon, and the tray supports three support points having the same angle around an optical axis. A stage designed to stably maintain parallelism; And a tilting device configured to adjust the parallelism of the tray by tilting the stage with respect to an axis perpendicular to the optical axis.

또한, 상기 스테이지는, 센서유닛을 덮는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트에 개구되어 상기 센서유닛이 측정유닛에 대해 노출되도록 하는 개구부와, 상기 개구부에 마련되어 상기 트레이의 3개의 지지점이 각각 안착되는 3개의 안착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the stage includes a support plate covering the sensor unit, an opening that is opened in the support plate to expose the sensor unit to the measuring unit, and three openings provided in the opening to which three support points of the tray are respectively seated. Characterized in that it comprises a seating portion.

또한, 상기 틸팅장치는, 상기 지지플레이트를 틸팅시켜 상기 트레이의 평행도를 조절하도록 구비되는 복수개의 조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the tilting device is characterized in that it comprises a plurality of adjusting portion provided to adjust the parallelism of the tray by tilting the support plate.

또한, 상기 틸팅장치는, 상기 지지플레이트가 틸팅되는 정도를 감지하도록 구비되는 복수개의 변위센서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The tilting device may further include a plurality of displacement sensors provided to detect a degree of tilting of the support plate.

또한, 상기 틸팅장치는, 상기 지지플레이트를 틸팅시켜 상기 트레이의 평행도를 조절하도록 구비되며, 상기 지지플레이트에서 광축과 상기 각 안착부를 연결하는 연장선 상에 각각 구비되는 3개의 조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the tilting device is provided to adjust the parallelism of the tray by tilting the support plate, characterized in that the support plate comprises three control units provided on each of the extension line connecting the optical axis and the seating portion; do.

또한, 상기 조절부는, 상기 안착부와 상기 조절부 사이의 거리는 광축과 상기 안착부 사이의 거리와 같거나 그 보다 더 길게 되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the control unit, characterized in that the distance between the seating portion and the control unit is provided to be equal to or longer than the distance between the optical axis and the seating portion.

또한, 상기 틸팅장치는, 상기 지지플레이트에서 광축을 중심으로 상기 각 조절부 사이의 각을 이등분하는 위치에 구비되어 상기 지지플레이트가 틸팅되는 정도를 감지하는 3개의 변위센서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the tilting device further comprises three displacement sensors provided at positions bisecting the angles between the respective adjustment parts about the optical axis of the support plate to detect the degree of tilting of the support plate. do.

또한, 상기 트레이에 놓이도록 하여 상기 트레이의 평행도를 감지하는 평행감지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a parallel sensing member configured to be placed on the tray to sense parallelism of the tray.

또한, 상기 트레이에 놓이도록 하여 상기 트레이의 평행도를 감지하는 평행감지부재와, 상기 각 변위센서 및 상기 평행감지부재와 연결되어 상기 평행감지부재에서 감지된 평행도를 벗어나는지 여부를 상기 각 변위센서를 통해 판단하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The displacement sensor may be placed on the tray to detect parallelism of the tray, and the displacement sensor may be connected to each of the displacement sensors and the parallel sensing member so as to deviate from the parallelism detected by the parallel sensing member. Characterized in that further comprises a control unit to determine through.

또한, 상기 제어부와 연결되어 상기 평행감지부재에 의해 감지된 평행도의 수치값과 상기 평행도의 수치값 변화를 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The display apparatus may further include a display unit connected to the control unit to display the numerical value of the parallelism sensed by the parallel sensing member and the change of the numerical value of the parallelism.

또한, 상기 스테이지를 광축에 대해 수직을 이루는 종 방향 및 횡 방향으로 이동시키는 이동장치와, 상기 스테이지를 광축을 중심으로 소정 각도 회전시키는 회전장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a moving device for moving the stage in a longitudinal direction and a horizontal direction perpendicular to the optical axis, and a rotating device for rotating the stage a predetermined angle about the optical axis.

한편, 복수개의 행과 복수개의 열로써 정렬되는 복수개의 피측정렌즈를 구비하는 트레이의 광축을 중심으로 동일한 각을 이루는 3개의 지지점이 지지하여 상기 트레이 평행도의 안정적 유지가 가능하도록 설계된 스테이지에 상기 트레이를 로딩하는 로딩 단계; 상기 트레이의 각 지지점에서의 평행도 설정값을 결정하는 결정 단계; 상기 트레이의 각 피측정렌즈에 대해 광학특성의 측정이 이루어지는 측정 단계; 및 상기 트레이의 각 지지점에서의 평행도 수치값을 상기 설정값과 일치되도록 틸팅장치를 조정하는 조정 단계를 포함한다.On the other hand, the tray is supported on the stage having a plurality of support points at the same angle around the optical axis of the tray having a plurality of the lens to be aligned arranged in a plurality of rows and a plurality of columns to the stage designed to stably maintain the parallelism of the tray A loading step of loading; A determination step of determining a parallelism setting value at each support point of the tray; A measuring step of measuring optical characteristics of each lens under measurement of the tray; And an adjusting step of adjusting the tilting device so that the parallelism numerical value at each support point of the tray coincides with the set value.

또한, 상기 결정 단계는, 상기 트레이에 놓이도록 하여 평행감지부재를 설치하는 단계와, 상기 평행감지부재를 통해 상기 트레이의 각 지지점에서의 평행도를 감지하는 단계와, 상기 평행감지부재를 통해 감지된 상기 트레이의 각 지지점에서의 평행도 수치값을 설정값으로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The determining may include installing a parallel sensing member to be placed on the tray, sensing parallelism at each support point of the tray through the parallel sensing member, and detecting the parallel sensing member. And setting the numerical value of the parallelism at each support point of the tray to a set value.

또한, 상기 조정 단계는, 상기 설정값을 모니터링하는 단계와, 상기 트레이의 각 지지점에서의 평행도 수치값을 변위센서를 통해 감지하는 단계와, 상기 변위센서를 통해 감지된 수치값을 상기 설정값과 비교하는 단계와, 상기 변위센서를 통해 감지된 수치값과 상기 설정값이 다를 경우 상기 설정값에 일치되도록 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The adjusting may include: monitoring the set value; detecting a numerical value of parallelism at each support point of the tray; using a displacement sensor; and adjusting the set value with the set value. And comparing the numerical value detected by the displacement sensor with the set value if the set value is different from each other.

본 발명에 따른 스테이지 장치 및 그 제어방법은 복수개의 피측정렌즈를 수 납하는 트레이를 로딩하여 각각의 피측정렌즈를 측정함에 있어서 모든 피측정렌즈에 대해 동일한 측정 조건을 적용할 수 있도록 트레이의 평행도를 정확하게 유지할 수 있는 수단을 제공하고, 또 세팅이 쉽고 간단한 방법에 의해 트레이의 평행도를 유지할 수 있는 효과가 있다.The stage device and the control method according to the present invention load the tray for storing a plurality of the lens to be measured, the parallelism of the tray so that the same measurement conditions can be applied to all of the lens to be measured in each measurement lens It is effective to maintain the parallelism of the tray by providing a means for maintaining precisely, and easy and simple setting.

본 발명에 따른 스테이지 장치 및 그 제어방법에 관한 실시예를 도면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.An embodiment of a stage device and a control method thereof according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

먼저 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 장치가 구비된 렌즈 측정 장치에 관하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 장치가 구비된 렌즈 측정 장치의 일 예를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 렌즈 측정 장치의 스테이지 장치에 트레이가 로딩된 상태를 나타낸 평면도이다.First, a lens measuring apparatus equipped with a stage apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. 1 is a perspective view illustrating an example of a lens measuring apparatus equipped with a stage apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view illustrating a tray loaded in a stage apparatus of the lens measuring apparatus illustrated in FIG. 1. to be.

본 발명에 따른 스테이지 장치가 구비된 렌즈 측정 장치는 기본적으로 피측정렌즈가 복수개의 행과 복수개의 열로서 정렬된 복수개의 피측정렌즈가 구비된 트레이를 움직이면서 각각의 피측정렌즈에 대해 광학특성을 측정하도록 한 것을 특징으로 한다.The lens measuring apparatus with the stage device according to the present invention basically provides optical characteristics for each lens to be measured while moving a tray including a plurality of lenses to be measured arranged as a plurality of rows and columns. It is characterized by measuring.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 일 예의 렌즈 측정 장치는 측정유닛(300), 센서유닛(500) 및 스테이지 장치(400)를 포함한다.As illustrated in FIGS. 1 and 2, an example lens measuring apparatus includes a measuring unit 300, a sensor unit 500, and a stage apparatus 400.

도 1에 도시된 실시예에서는 상기 스테이지 유닛(400)은 바닥면에 대한 지지력을 제공하는 베이스(100) 위에 설치되고, 상기 스테이지 유닛(400)과 인접하여 고정기둥(200)이 구비되며, 상기 고정기둥(200)에 상기 측정유닛(300)이 설치되도록 한 경우에 관하여 나타내고 있다.In the embodiment shown in Figure 1, the stage unit 400 is installed on the base 100 to provide a support for the bottom surface, the fixing unit 200 is provided adjacent to the stage unit 400, The case where the measuring unit 300 is installed in the fixed column 200 is shown.

상기 측정유닛(300)은 피측정렌즈를 측정하기 위한 차트를 제공하며 광축에 정렬(Align)되도록 이동 가능하게 구비되는데, 도 1에 도시된 바와 같이 차트유닛(310)과 조절렌즈유닛(330)을 포함하여 이루어지도록 함이 바람직하다.The measuring unit 300 provides a chart for measuring a lens under measurement and is provided to be movable to align with the optical axis. As shown in FIG. 1, the chart unit 310 and the adjusting lens unit 330 are provided. It is preferable to include a.

상기 차트유닛(310)은 소정의 광원을 제공하는 광원부(311)와, 소정 패턴이 형성된 차트를 구비하는 차트부(312), 그리고 차트유닛(310)을 이동시키도록 구비되는 차트유닛 구동장치를 포함하여 이루어진다.The chart unit 310 may include a light source unit 311 providing a predetermined light source, a chart unit 312 having a chart having a predetermined pattern, and a chart unit driving device provided to move the chart unit 310. It is made to include.

상기 광원부(311)는 피측정렌즈를 측정할 때 필요한 조도를 제공하는 광원을 구비한다. 그리고 상기 차트부(312)는 피측정렌즈의 광학특성 측정의 기준이 되는 소정의 패턴이 형성된 차트를 제공한다.The light source unit 311 includes a light source that provides illuminance necessary when measuring the lens to be measured. In addition, the chart unit 312 provides a chart in which a predetermined pattern, which is a reference for measuring optical characteristics of a lens under measurement, is formed.

상기 차트유닛 구동장치는 상기 차트유닛을 전후좌우의 직선방향으로 이동시키고, 또 광축에 대해 실질적으로 수직을 이루는 축을 기준으로 소정 각도 회전시키는 틸팅이 이루어지도록 한다.The chart unit driving device moves the chart unit in a straight line direction in front, rear, left and right, and makes a tilting to rotate a predetermined angle about an axis that is substantially perpendicular to the optical axis.

한편, 상기 조절렌즈유닛(330)은 그 내부에 조절렌즈(미도시)를 구비하고, 하단에 상기 스테이지 유닛(400)과 마주보도록 대물부(331)를 구비한다.On the other hand, the adjustment lens unit 330 is provided with an adjustment lens (not shown) therein, and has an objective portion 331 to face the stage unit 400 at the bottom.

상기 차트유닛(310)에 구비되는 차트의 크기는 피측정렌즈나 센서의 크기에 비해 매우 크기 때문에 상기 피측정렌즈를 통하여 차트 전체가 센서에 결상되기 위해서는 차트와 피측정렌즈 사이의 거리가 매우 멀리 떨어져 있어야 한다.Since the size of the chart provided in the chart unit 310 is very large compared to the size of the lens to be measured or the sensor, the distance between the chart and the lens to be measured is very far in order to form an image on the sensor through the lens to be measured. You must stay away.

그러나 상기한 바와 같은 구조는 렌즈 측정 장치 전체 크기를 너무 크게 하 기 때문에 매우 부적절하다.However, such a structure is very inadequate because the overall size of the lens measuring apparatus is too large.

따라서 차트와 피측정렌즈 사이의 거리를 가깝게 하면서 차트 전체의 이미지를 센서를 통해 얻을 수 있도록 하기 위해 차트의 이미지 크기를 조절하는 조절렌즈가 장착되는 것이다.Therefore, an adjustment lens is mounted to adjust the image size of the chart so that the image of the entire chart can be obtained through the sensor while keeping the distance between the chart and the lens under measurement.

상기 조절렌즈유닛(330)도 조절렌즈유닛 구동장치를 구비하여 전후좌우 및 높이 방향으로 이동되도록 하여 광축에 대해 정렬될 수 있도록 하는 것이 가능하다. 또한 조절렌즈유닛 구동장치 없이 고정되어 구비되는 것도 가능하다.The adjustment lens unit 330 may also be provided with an adjustment lens unit driving device so that the adjustment lens unit 330 can be moved in the front, rear, left, and right directions so as to be aligned with respect to the optical axis. It is also possible to be provided fixed without the adjustable lens unit driving device.

상기 센서유닛(500)은 피측정렌즈를 통한 차트의 이미지를 결상시키는 이미지 센싱용 칩 등으로 구현되는 센서(510)를 탑재하는 유닛으로서, 상기 센서로는 예컨대 CCD(Charge Coupled Device)나 CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) 등이 사용된다.The sensor unit 500 is a unit that includes a sensor 510 implemented as an image sensing chip for forming an image of a chart through a lens to be measured. Examples of the sensor include a charge coupled device (CCD) or a CMOS ( Complementary Metal-Oxide Semiconductor).

한편, 상기 스테이지 장치(400)는 상기 측정유닛(300)과 상기 센서유닛(500) 사이에 복수개의 행과 복수개의 열로써 정렬되는 복수개의 피측정렌즈를 구비하는 트레이(10)가 놓이는 스테이지(410)와, 광축과 실질적으로 수직을 이루는 축을 기준으로 상기 스테이지를 틸팅시키는 틸팅장치를 포함하여 이루어진다.The stage apparatus 400 includes a stage on which a tray 10 having a plurality of measured lenses arranged in a plurality of rows and a plurality of columns is arranged between the measuring unit 300 and the sensor unit 500. 410 and a tilting device for tilting the stage about an axis substantially perpendicular to the optical axis.

여기서 광축은 트레이(10) 상의 피측정렌즈(L)의 중심을 지나는 가상의 축으로서 이 광축에 대해 센서유닛(500)의 센서와 측정유닛(300)의 차트 및 조절렌즈 등의 중심이 일치되도록 한 상태에서 피측정렌즈(L)에 대한 측정이 이루어진다.The optical axis is a virtual axis passing through the center of the lens to be measured L on the tray 10 so that the center of the sensor of the sensor unit 500 and the chart of the measuring unit 300 and the adjusting lens coincide with the optical axis. In one state, the measurement is performed on the lens under measurement L. FIG.

상기 스테이지(410)는 트레이(10)를 로딩(Loading)시키도록 구비되는 구성요소로서, 상기 트레이(10)에서 광축을 중심으로 실질적으로 동일한 각을 이루는 3개 의 지지점(11, 12, 13)을 각각 지지하도록 구비된다.The stage 410 is a component provided to load the tray 10, and three support points 11, 12, 13 formed at substantially the same angle about an optical axis in the tray 10. It is provided to support each.

상기 스테이지(410)는, 상기 센서유닛(500)을 덮는 지지플레이트(411)와, 상기 지지플레이트(411)에 개구되어 상기 센서유닛(500)이 상기 측정유닛(300)에 대해 노출되도록 하는 개구부(412)와, 상기 개구부(412)에 마련되어 상기 트레이(10)의 3개의 지지점(11, 12, 13)이 각각 안착되는 3개의 안착부(401, 402, 403)를 구비한다.The stage 410 includes a support plate 411 covering the sensor unit 500, and an opening in the support plate 411 to expose the sensor unit 500 to the measurement unit 300. 412 and three seating portions 401, 402, 403 provided in the opening 412 to which three support points 11, 12, 13 of the tray 10 are seated, respectively.

즉 도 2에 도시된 바와 같이 트레이(10)의 일측 중심부에 제1지지점(11)이 마련되고, 트레이(10)의 타측 일 모서리에 제2지지점(12)이, 트레이(10)의 타측 타 모서리에 제3지지점(13)이 각각 마련된다.That is, as shown in FIG. 2, a first support point 11 is provided at a central portion of one side of the tray 10, and a second support point 12 is disposed at the other side of the tray 10, and the other side of the tray 10 is provided. Third supporting points 13 are provided at the corners, respectively.

상기 각 지지점(11, 12, 13)은 중심으로부터 각각 실질적으로 120˚의 각을 이루며 배치된다. Each of the support points 11, 12, 13 is arranged at an angle of substantially 120 ° from the center, respectively.

그리고 상기 각 지지점(11, 12, 13)이 안착되도록 상기 개구부(412)의 일측 중심부에는 제1안착부(401)가, 개구부(412)의 타측 일 모서리에 제2안착부(402)가, 그리고 개구부(412)의 타측 타 모서리에 제3안착부(403)가 각각 구비된다.In addition, a first seating portion 401 is formed at one center of one side of the opening 412, and a second seating portion 402 is formed at one corner of the other side of the opening 412 such that the support points 11, 12, 13 are seated. The third seat 403 is provided at the other side edge of the opening 412, respectively.

도 2에 도시된 바와 같이 상기 각 안착부(401, 402, 403)도 상기 각 지지점(11, 12, 13)에 대응하여 실질적으로 120˚의 각을 이루며 배치된다.As shown in FIG. 2, the seating parts 401, 402, and 403 are also disposed at substantially 120 ° to correspond to the support points 11, 12, and 13.

따라서 트레이(10)는 각 지지점(11, 12, 13)이 스테이지(410)의 개구부(412)에 구비되는 각 안착부(401, 402, 403)에 각각 안착됨으로써 로딩된다.Accordingly, the tray 10 is loaded by each support point 11, 12, 13 being seated on each seating portion 401, 402, 403 provided in the opening 412 of the stage 410, respectively.

이와 같은 트레이의 3점 지지구조는 안정적이면서도 트레이의 평행도를 측정하기 위한 각 지지점에서의 틸팅 변위의 감지가 용이하고 또 각 지지점에서 틸팅을 조정하여 평행도를 조절하는 것이 용이하다는 장점이 있다.Such a three-point support structure of the tray is advantageous in that it is easy to detect the tilting displacement at each support point for measuring the parallelism of the tray, and it is easy to adjust the parallelism by adjusting the tilting at each support point.

한편, 상기 틸팅장치는 상기 지지플레이트(411)를 틸팅시켜 상기 트레이(10)의 평행도를 조절하도록 구비되는 복수개의 조절부와, 상기 지지플레이트(411)가 틸팅되는 정도를 감지하도록 구비되는 복수개의 변위센서(473)를 포함한다.On the other hand, the tilting device is a plurality of adjusters provided to adjust the parallelism of the tray 10 by tilting the support plate 411, and a plurality of provided to detect the degree of tilting the support plate 411 A displacement sensor 473.

상기 복수개의 조절부는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 지지플레이트(411)에서 광축과 상기 각 안착부(401, 402, 403)를 연결하는 연장선 상에 각각 구비되는 3개의 조절부(461, 462, 463)를 포함하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 2, the plurality of adjusting units include three adjusting units 461, 462, respectively provided on an extension line connecting the optical axis and the seating units 401, 402, and 403 in the support plate 411. 463).

즉 도 2에 도시된 바와 같이 광축(O)과 제1안착부(401)를 연결하는 연장선 상에 제1조절부(461)가 구비되고, 광축(O)과 제2안착부(402)를 연결하는 연장선 상에 제2조절부(462)가 구비되며, 광축(O)과 제3안착부(403)를 연결하는 연장선 상에 제3조절부(463)가 구비되도록 함이 바람직하다.That is, as shown in FIG. 2, the first adjusting part 461 is provided on an extension line connecting the optical axis O and the first seat 401, and the optical axis O and the second seat 402 are disposed. The second control unit 462 is provided on the extension line to connect, and the third control unit 463 is preferably provided on the extension line connecting the optical axis O and the third seating unit 403.

여기서 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 안착부(401)와 제1 조절부(461) 사이의 거리는 광축(O)과 제1 안착부(401) 사이의 거리와 같거나 그 보다 더 길게 되도록 구비되는 것이 바람직하고, 제2 조절부(462) 및 제3 조절부(463)도 상기 제1 조절부(461)와 마찬가지 거리로 구비되도록 함이 바람직하다.Here, as shown in FIG. 2, the distance between the first seating portion 401 and the first adjusting portion 461 is equal to or longer than the distance between the optical axis O and the first seating portion 401. Preferably, the second adjusting unit 462 and the third adjusting unit 463 are also preferably provided at the same distance as the first adjusting unit 461.

즉 제1 조절부(461), 제2 조절부(462) 및 제3 조절부(463)도 광축(O)을 중심으로 실질적으로 120˚의 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.That is, the first adjusting unit 461, the second adjusting unit 462, and the third adjusting unit 463 may also be disposed at substantially 120 ° intervals about the optical axis O.

한편, 상기 복수개의 변위센서는, 상기 지지플레이트(411)에서 광축(O)을 중심으로 상기 각 조절부(461, 462, 463) 사이의 각을 실질적으로 이등분하는 위치에 구비되어 상기 지지플레이트(411)가 틸팅되는 정도를 감지하는 3개의 변위센 서(471, 472, 473)를 포함하도록 함이 바람직하다.On the other hand, the plurality of displacement sensors, the support plate 411 is provided at a position that substantially divides the angle between each of the adjustment portion (461, 462, 463) around the optical axis (O) to the support plate ( It is preferable to include three displacement sensors (471, 472, 473) for detecting the degree to which the 411 is tilted.

즉 제1 조절부(461)와 제2 조절부(462) 사이의 각을 실질적으로 이등분하는 위치에 제1 변위센서(471)가 구비되고, 제2 조절부(462)와 제2 조절부(463) 사이의 각을 실질적으로 이등분하는 위치에 제2 변위센서(472)가 구비되며, 제3 조절부(463)와 제1 조절부(461) 사이의 각을 실질적으로 이등분하는 위치에 제3 변위센서(473)가 구비되도록 함이 바람직하다.That is, the first displacement sensor 471 is provided at a position which substantially bisects an angle between the first adjusting unit 461 and the second adjusting unit 462, and the second adjusting unit 462 and the second adjusting unit ( The second displacement sensor 472 is provided at a position that substantially divides the angle between the 463 and the third at a position which substantially bisects the angle between the third adjusting portion 463 and the first adjusting portion 461. Preferably, the displacement sensor 473 is provided.

상기 지지플레이트(411)와 트레이(10), 그리고 각 조절부(461, 462, 463) 및 각 변위센서(471, 472, 473) 등의 구조에 관한 측단면을 도 6에서 도시하였는데, 도 6에 도시된 바와 같이 각 조절부(461, 462, 463) 나사부재 등에 의해 구현될 수 있고 각 변위센서(471, 472, 473)는 지지플레이트(411)의 하단과 접촉되어 지지플레이트(411)의 틸팅 변위를 감지할 수 있도록 구비된다.Side cross-sectional views of the structure of the support plate 411 and the tray 10, and the adjusting units 461, 462, 463, and the displacement sensors 471, 472, and 473 are shown in FIG. As shown in the control portion 461, 462, 463 may be implemented by a screw member and the like, each displacement sensor (471, 472, 473) is in contact with the lower end of the support plate 411 of the support plate 411 It is provided to detect the tilting displacement.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 스테이지 장치(400)는 트레이(10)가 로딩된 상태에서 상기 트레이(10)가 전후좌우의 직선방향으로 이동될 수 있도록 하는 이동장치와, 광축을 중심으로 상기 트레이(10)가 소정 각도 회전할 수 있도록 하는 회전장치를 더 포함하여 구비되는 것이 바람직하다.1 and 2, the stage device 400 includes a moving device for allowing the tray 10 to be moved in a linear direction of front, rear, left and right while the tray 10 is loaded, and an optical axis. Preferably, the tray 10 further includes a rotating device that allows the tray 10 to rotate at a predetermined angle.

상기 이동장치는 베이스(100)에 일 방향으로 이동가능하도록 구비되는 제1 이동플레이트(431)와, 상기 제1 이동플레이트(431)와 상기 스테이지(410) 사이에 구비되어 상기 제1 이동플레이트(431)와 수직을 이루는 방향으로 이동가능하게 구비되는 제2 이동플레이트(432)를 포함한다.The moving device is provided between the first moving plate 431 and the first moving plate 431 and the stage 410 provided on the base 100 to be movable in one direction. The second moving plate 432 is provided to be movable in the direction perpendicular to the 431.

그리고 회전장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 회전력을 발생시키는 모터(451)와, 상기 모터(451)와 상기 스테이지(410)의 지지플랜지(420)를 연결하며 상기 모터(451)의 회전력을 상기 스테이지(410)로 전달하여 상기 스테이지(410)를 회전시키는 동력전달부재(452)를 포함한다.1 and 2, the rotating device connects the motor 451 generating the rotational force with the support flange 420 of the stage 410. It includes a power transmission member 452 for transmitting the rotational force to the stage 410 to rotate the stage 410.

상기 동력전달부재(452)는 상기 모터(451)의 회전력을 상기 스테이지(410)로 전달하여 상기 스테이지(410)가 회전하도록 할 수 있는 모든 동력전달수단을 포함한다.The power transmission member 452 includes all power transmission means capable of transmitting the rotational force of the motor 451 to the stage 410 to allow the stage 410 to rotate.

상기 동력전달부재(452)의 일 예에 관하여 도 1에서는 동력전달벨트를 나타내고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 상기 모터(451)의 동력을 전달하는 기어장치 등도 포함된다.An example of the power transmission member 452 is illustrated in FIG. 1, but the power transmission belt is not limited thereto, and a gear device for transmitting power of the motor 451 is also included.

상기 지지플랜지(420)는 지지플레이트(411)를 지지하며 동력전달부재(452)가 구동력을 전달하는 부분이다. The support flange 420 supports the support plate 411 and is a portion to which the power transmission member 452 transmits a driving force.

한편, 도 7에 도시된 플로우 챠트에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 측정 장치의 제어방법에 관하여 도 3 내지 도 6에 도시된 도면을 참조하여 설명한다.Meanwhile, a control method of the lens measuring apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention according to the flowchart shown in FIG. 7 will be described with reference to the drawings shown in FIGS. 3 to 6.

도 3은 도 1에 도시된 실시예에 따른 렌즈 측정 장치에서 트레이가 로딩되고 평행감지부재를 설치하는 것에 관하여 도시한 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 렌즈 측정 장치의 주요 부분의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 3 is a view showing a tray loaded and installing a parallel sensing member in the lens measuring apparatus according to the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a side cross-sectional view of the main part of the lens measuring apparatus shown in FIG. Figure is a schematic diagram.

그리고 도 5는 도 3에 도시된 실시예에 따른 렌즈 측정 장치의 스테이지 장치에 트레이가 로딩된 상태를 나타낸 평면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 스테이지 장치의 주요 부분의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 5 is a plan view showing a tray loaded on a stage device of the lens measuring apparatus according to the embodiment shown in FIG. 3, and FIG. 6 is a schematic side cross-sectional view of a main part of the stage device shown in FIG. 5. One drawing.

먼저 본 발명이 일 실시예에 따른 렌즈 측정 장치로 피측정렌즈를 측정하기 위해서는 트레이(10)가 스테이지(410)에 로딩된다 (S10). 즉 도 3에 도시된 바와 같이 스테이지(410)에 트레이(10)가 로딩된다.First, in order to measure the lens under measurement using the lens measuring apparatus according to the exemplary embodiment, the tray 10 is loaded on the stage 410 (S10). That is, as shown in FIG. 3, the tray 10 is loaded on the stage 410.

그리고 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 평행감지부재(600)를 이용하여 로딩된 트레이(10)의 평행도를 측정한다(S20).3 and 4 measure the parallelism of the loaded tray 10 using the parallel sensing member 600 (S20).

즉 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 평행감지부재(600)를 측정유닛(300)과 트레이(10) 사이에 설치하고, 상기 평행감지부재(600)에 의해 감지되는 트레이(10)의 평행도 수치값을 산출한다.That is, as shown in FIGS. 3 and 4, the parallel sensing member 600 is installed between the measuring unit 300 and the tray 10, and the parallelism of the tray 10 sensed by the parallel sensing member 600. Calculate the numerical value.

이때 평행감지부재(600)는 트레이(10)의 각 지지점(11, 12, 13) 별로 평행도 수치값을 산출하여 표시부(D)를 통해 표시하도록 한다.At this time, the parallel sensing member 600 calculates the numerical value of the parallelism for each support point (11, 12, 13) of the tray 10 to display through the display unit (D).

여기서 평행감지부재(600)는 중공부(601)와 상기 중공부(601)의 하단에 구비되는 감지센서(610)를 포함하여 이루어진다. 감지센서(610)는 중공부(601)의 중심부에 와이어 등에 의해 고정된다.The parallel sensing member 600 includes a hollow part 601 and a sensing sensor 610 provided at a lower end of the hollow part 601. The detection sensor 610 is fixed to the center of the hollow portion 601 by a wire or the like.

상기한 바와 같이 평행감지부재(600)에 의해 트레이(10)의 각 지지점 별 평행도 수치값이 산출되면, 그 수치값을 설정값으로 설정한다(S30). 즉 트레이(10)의 제1 지지점(11)에서의 평행도와 제2 지지점(12)에서의 평행도, 그리고 제3 지지점(13)에서의 평행도에 대한 각각의 수치값을 산출하여 이를 설정값으로 설정한다.As described above, when the parallelism numerical value for each support point of the tray 10 is calculated by the parallel sensing member 600, the numerical value is set to the set value (S30). That is, the numerical values of the parallelism at the first support point 11 of the tray 10 and the parallelism at the second support point 12, and the parallelism at the third support point 13 are calculated and set as the set values. do.

이와 같은 설정값의 결정은, 트레이(10)의 평행도를 미리 정확하게 맞추어 놓은 상태에서 상기 평행감지부재(600)에 의해 평행도 수치값을 산출하여 설정값으로 설정하도록 하는 것이 바람직하다.In the determination of such a setting value, it is preferable that the parallel sensing member 600 calculates the parallelism numerical value and sets it as the setting value in a state where the parallelism of the tray 10 is accurately set in advance.

여기서 도 4에 도시된 바와 같이 평행감지부재(600)의 감지센서(610)는 제어부(M)에 연결되는데, 감지센서(610)와 제어부(M)와의 연결은 평행감지부재(600)를 장착할 때에만 이루어지고 트레이의 각 지지점 별 평행도 설정값이 설정된 후에 평행감지부재(600)를 제거할 경우에는 감지센서(610)와 제어부(M)의 연결은 끊어지도록 함이 바람직하다.Here, as shown in FIG. 4, the sensing sensor 610 of the parallel sensing member 600 is connected to the control unit M. The connection between the sensing sensor 610 and the control unit M is equipped with the parallel sensing member 600. When the parallel sensing member 600 is removed after setting only the parallelism setting value for each support point of the tray, it is preferable that the connection between the sensor 610 and the control unit M be disconnected.

한편, 상기한 바와 같이 트레이(10)의 각 지지점 별 평행도 설정값이 설정되면, 피측정렌즈에 대한 광학 특성의 측정이 이루어지고 동시에 상기 설정값이 변화하는지 여부를 모니터링(Monitering)한다(S40).On the other hand, as described above, when the parallelism setting value for each support point of the tray 10 is set, the optical characteristic of the lens under measurement is measured and at the same time monitoring whether the setting value is changed (Monitering). .

여기서 상기 설정값의 변화 여부의 모니터링은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 변위센서(471, 472, 473)에 의해 각각 이루어진다.In this case, the monitoring of the change of the set value is performed by the displacement sensors 471, 472, and 473 as shown in FIGS. 5 and 6, respectively.

트레이(10) 상에 수납된 피측정렌즈를 하나씩 순차적으로 측정하면서 스테이지 유닛(400)은 상기 트레이(10)가 이동되도록 하는데, 이 과정에서 트레이(10)의 평행도가 변화할 수 있다. The stage unit 400 causes the tray 10 to move while sequentially measuring the target lens stored on the tray 10 one by one. In this process, the parallelism of the tray 10 may change.

이때 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 지지플레이트(411)의 하단에 접촉되어 구비되는 각 변위센서(471, 472, 473)는 트레이(10)의 각 지지점에서의 평행도 수치값의 변화를 감지하여 제어부(M)로 전달하고, 상기 제어부(M)는 이를 표시부(D)에 표시하도록 한다.In this case, as shown in FIGS. 5 and 6, the displacement sensors 471, 472, and 473 provided in contact with the lower end of the support plate 411 detect a change in the numerical value of the parallelism at each support point of the tray 10. The controller M transmits the data to the controller M, and the controller M displays it on the display unit D.

즉 제어부(M)는 트레이의 각 지지점 별 평행도 설정값에 변화가 있는지 여부를 판단하여(S50), 만약 설정값에 변화가 있다면 각 지지점 별 평행도를 조정하고(S60), 피측정렌즈의 측정이 종료되었는지 판단한다(S70).That is, the controller M determines whether there is a change in the parallelism setting value for each support point of the tray (S50), and if there is a change in the setting value, adjusts the parallelism for each support point (S60), and the measurement of the lens to be measured is performed. It is determined whether it is finished (S70).

여기서 피측정렌즈의 측정이 종료되었는지의 판단은 트레이에 수납된 모든 피측정렌즈에 대한 측정이 끝났는지를 판단하는 것이다.The determination of whether the measurement of the lens under measurement is finished is to determine whether the measurement of all the lens to be measured stored in the tray is finished.

만약 트레이 상의 모든 피측정렌즈의 측정이 완료되었다면 스테이지로부터 트레이를 언로딩(Unloading)한다(S80). 그리고 만약 트레이 상의 모든 피측정렌즈의 측정이 완료되지 않았다면 다음 피측정렌즈의 위치로 이동하여(S71) 상기 S40 단계부터 반복 진행된다.If the measurement of all the measured lenses on the tray is completed, the tray is unloaded from the stage (S80). If the measurement of all the lens on the tray is not completed, the process moves to the position of the next lens to be measured (S71) and repeats from step S40.

상기 S60 단계에서 만약 설정값에 변화가 없다면 피측정렌즈의 측정이 종료되었는지 판단하여(S70), 만약 트레이 상의 모든 피측정렌즈에 대한 측정이 완료되지 않았다면 다음 피측정렌즈로 위치 이동하여(S71) 상기 S40 단계부터 반복 진행하고, 만약 트레이 상의 모든 피측정렌즈에 대한 측정이 완료되었다면 스테이지로부터 트레이를 언로딩한다(S80).In the step S60, if there is no change in the set value, it is determined whether the measurement of the lens under measurement is finished (S70). If the measurement of all the lens on the tray is not completed, the position is moved to the next lens under measurement (S71). The process is repeated from the step S40, and if the measurement of all the measured lenses on the tray is completed, the tray is unloaded from the stage (S80).

여기서 각 지지점 별 평행도 조절은 각 조절부(461, 462 463)를 조절함으로써 이루어진다.Here, the adjustment of the parallelism for each support point is made by adjusting the respective adjusting units 461 and 462 463.

즉 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 각 조절부(461, 462, 463)를 조작하면 트레이(10)에서의 각 지지점(11, 12, 13) 별 평행도 수치값이 변화하는데, 이때 그 평행도 수치값의 변화를 각 변위센서(471, 472, 473)가 감지하여 표시부(D)를 통해 표시된다.That is, as shown in FIGS. 5 and 6, when the adjustment units 461, 462, and 463 are manipulated, the numerical values of the parallelisms of the supporting points 11, 12, and 13 in the tray 10 change, where the parallelism Each displacement sensor 471, 472, 473 senses the change in the numerical value and is displayed on the display unit D.

사용자는 상기 표시부(D)에 표시된 트레이(10)의 각 지지점 별 평행도 수치값이 설정값과 일치될 때까지 각 조절부(461, 462, 463)를 조작함으로써 평행도가 설정값에 일치되도록 조절할 수 있다.The user can adjust the parallelism to match the set value by manipulating the adjusters 461, 462 and 463 until the numerical value of the parallelism for each support point of the tray 10 displayed on the display unit D matches the set value. have.

이때 광축으로부터 각 안착부(401, 402, 403)까지의 거리는 각 조절부(461, 462, 463)에서 각 안착부(401, 402, 403)까지의 거리와 같거나 그 보다 더 길게 되므로, 광축에서 각 안착부(401, 402, 403)까지의 거리 보다 광축에서 각 조절부(461, 462, 463)까지의 거리가 훨씬 길다.In this case, the distance from the optical axis to each seating portion 401, 402, 403 is equal to or longer than the distance from each seating portion 401, 462, 463 to each seating portion 401, 402, 403. The distance from the optical axis to each adjuster 461, 462, 463 is much longer than the distance from the seat 401, 402, 403.

따라서 각 조절부(461, 462, 463)에서 조작하는 변위 보다 각 안착부(401, 402, 403)에서 조절되는 변위는 더 적은 양이 되므로, 트레이의 평행도 조절을 미세하게 할 수 있다.Therefore, since the displacement controlled by each seating portion 401, 402, 403 is smaller than the displacement operated by each adjusting portion 461, 462, 463, the parallelism of the tray can be finely adjusted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 장치가 구비된 렌즈 측정 장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing an example of a lens measuring apparatus equipped with a stage apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 렌즈 측정 장치의 스테이지 장치에 트레이가 로딩된 상태를 나타낸 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating a tray loaded on a stage apparatus of the lens measuring apparatus of FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 실시예에 따른 렌즈 측정 장치에서 트레이가 로딩되고 평행감지부재를 설치하는 것에 관하여 도시한 도면이다.FIG. 3 is a view illustrating a tray loaded and installing a parallel sensing member in the lens measuring apparatus according to the exemplary embodiment shown in FIG. 1.

도 4는 도 3에 도시된 렌즈 측정 장치의 주요 부분의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a schematic cross-sectional view of a main part of the lens measuring apparatus shown in FIG. 3.

도 5는 도 3에 도시된 실시예에 따른 렌즈 측정 장치의 스테이지 장치에 트레이가 로딩된 상태를 나타낸 평면도이다.FIG. 5 is a plan view illustrating a tray loaded on a stage apparatus of the lens measuring apparatus according to the exemplary embodiment shown in FIG. 3.

도 6은 도 5에 도시된 스테이지 장치의 주요 부분의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 6 is a schematic side cross-sectional view of the main part of the stage apparatus shown in FIG. 5.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 장치의 제어방법에 관한 플로우 챠트를 나타낸 도면이다.7 is a flowchart illustrating a control method of a stage apparatus according to an embodiment of the present invention.

Claims (14)

복수개의 행과 복수개의 열로써 정렬되는 복수개의 렌즈를 구비하는 트레이가 놓이도록 구비되며, 상기 트레이에서 광축을 중심으로 동일한 각을 이루는 3개의 안착부를 구비하여 상기 트레이 평행도의 안정적 유지가 가능하도록 설계된 스테이지; 및A tray having a plurality of lenses arranged in a plurality of rows and a plurality of columns is provided so as to be placed, and the tray has three seating parts having the same angle around the optical axis, and designed to stably maintain the tray parallelism. stage; And 광축과 수직을 이루는 축을 기준으로 상기 스테이지를 틸팅시켜 상기 트레이의 평행도를 조절하도록, 상기 스테이지에서 광축과 상기 안착부를 연결하는 연장선 상에 각각 구비되는 3개의 조절부를 포함하고,And three adjustment parts respectively provided on an extension line connecting the optical axis and the seating part in the stage to adjust the parallelism of the tray by tilting the stage with respect to an axis perpendicular to the optical axis, 상기 조절부는, 상기 광축으로부터 상기 조절부까지의 거리가 상기 광축으로부터 상기 안착부까지의 거리보다 길게 형성되도록, 상기 스테이지에 배치되는 스테이지 장치.And the adjusting unit is disposed on the stage such that a distance from the optical axis to the adjusting unit is longer than a distance from the optical axis to the seating unit. 제1항에 있어서, 상기 스테이지는,The method of claim 1, wherein the stage, 센서유닛을 덮는 지지플레이트와,A support plate covering the sensor unit, 상기 지지플레이트에 개구되어 상기 센서유닛이 측정유닛에 대해 노출되도록 하는 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And an opening opening in the support plate to expose the sensor unit to the measurement unit. 삭제delete 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지지플레이트가 틸팅되는 정도를 감지하도록 구비되는 복수개의 변위센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And a plurality of displacement sensors provided to detect the degree of tilting of the support plate. 삭제delete 삭제delete 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지지플레이트에서 광축을 중심으로 상기 각 조절부 사이의 각을 이등분하는 위치에 구비되어 상기 지지플레이트가 틸팅되는 정도를 감지하는 3개의 변위센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.The stage device further comprises three displacement sensors which are provided at a position for dividing the angle between the respective adjustment parts about the optical axis in the support plate to detect the degree of tilting the support plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 트레이에 놓이도록 하여 상기 트레이의 평행도를 감지하는 평행감지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And a parallel sensing member configured to be placed on the tray to sense parallelism of the tray. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 트레이에 놓이도록 하여 상기 트레이의 평행도를 감지하는 평행감지부재와,A parallel sensing member configured to be placed on the tray to sense parallelism of the tray; 상기 각 변위센서 및 상기 평행감지부재와 연결되어 상기 평행감지부재에서 감지된 평행도를 벗어나는지 여부를 상기 각 변위센서를 통해 판단하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And a control unit connected to each of the displacement sensors and the parallel sensing member to determine whether each of the displacement sensors deviates from the parallelism sensed by the parallel sensing member. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 제어부와 연결되어 상기 평행감지부재에 의해 감지된 평행도의 수치값과 상기 평행도의 수치값 변화를 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And a display unit connected to the control unit to display the numerical value of the parallelism sensed by the parallel sensing member and the change of the numerical value of the parallelism. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 스테이지를 광축에 대해 수직을 이루는 종 방향 및 횡 방향으로 이동시키는 이동장치와,A moving device for moving the stage in the longitudinal and transverse directions perpendicular to the optical axis; 상기 스테이지를 광축을 중심으로 소정 각도 회전시키는 회전장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.And a rotating device for rotating the stage by a predetermined angle about the optical axis. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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