KR101022273B1 - 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이 - Google Patents

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Abstract

적외선 센서를 이루는 유효감지영역을 충분하게 확보하여 필팩터를 크게 하는 적외선 센서 어레이를 제시한다. 그 어레이는 하면은 평탄하고 상면은 동일한 곡률을 가진 마이크로 렌즈들이 규칙적이고 반복적으로 배열된 렌즈 어레이의 하면 방향에 배치되어 렌즈 어레이를 통하여 입사된 빛이 집중되는 유효감지영역을 포함하는 적외선 센서들이 렌즈들에 대응하여 규칙적이고 반복적으로 배열된 적외선 센서 어레이를 포함한다.
적외선 센서 어레이, 필팩터, 마이크로 렌즈, 유효감지영역

Description

마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이{Infra-red sensor array having micro-lens}
본 발명은 적외선 센서 어레이(Infra-red sensor array)에 관한 것으로, 특히 필팩터를 증가시켜 감도를 향상시킬 수 있도록 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이에 관한 것이다.
적외선 센서 어레이는 이미지 프로세싱이나 디스플레이 되는 장면을 변환하는 광전(光電) 변환 프로세서에 사용된다. 즉, 적외선 센서는 적외선 등을 이용하여 피사체의 이동이나 존재를 파악한다. 구체적으로, 피사체에서 방출하거나 반사되는 적외선 및 근적외선을 전자기 방사 스펙트럼이나 그 조합을 이용하여 피사체의 변화를 구별한다. 실제로는 위와 같은 적외선 센서가 규칙적이고 반복적으로 배열된 적외선 센서 어레이를 사용한다.
이러한 적외선 센서 어레이의 단위 셀(cell)은 외부에서 입사된 광을 실질적으로 감지하는 유효감지영역(active detecting area)과 유효감지영역에서 검출된 신호를 처리하는 주변영역(non-active area)으로 이루어진다. 이때, 유효감지영역과 단위 셀의 면적비를 필팩터(fill factor)라고 한다. 즉, 필팩터가 크면 유효감 지영역이 큰 것을 의미한다. 이때, 단위 셀은 다양한 형태로 픽셀을 구성한다.
적외선 센서는 각 픽셀 당 필팩터를 충분하게 확보하는 것이 중요하다. 그런데, 적외선 센서를 제조하는 공정의 한계가 있고 또한 유효감지영역에서 검출된 신호를 처리하는 부품이 조합된 주변영역이 필수적으로 존재하게 되어, 적외선 센서에서 필팩터를 충분하게 확보하는 데 어려움이 있다. 특히, 적외선 센서 어레이를 이루는 픽셀의 수가 증가함에 따라, 하나의 셀의 크기도 작아지므로, 필팩터가 작아지는 문제점이 있다. 예컨대 하나의 적외선 센서 어레이에 640×480개의 픽셀을 포함하는 경우의 단위 셀의 피치는 통상적으로 약 25㎛인 데, 영상분해능 등을 고려하여 20㎛ 이하의 피치를 요구한다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 적외선 센서를 이루는 유효감지영역을 충분하게 확보하여 필팩터를 크게 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 적외선 센서 어레이는 하면은 평탄하고 상면은 동일한 곡률을 가진 단위 렌즈인 마이크로 렌즈들이 규칙적이고 반복적으로 배열된 렌즈 어레이 및 상기 렌즈 어레이의 하면 방향에 배치되어, 상기 렌즈 어레이를 통하여 입사된 빛이 집중되는 유효감지영역을 포함하는 적외선 센서들이 상기 렌즈들에 대응하여 규칙적이고 반복적으로 배열된 적외선 센서 어레 이를 포함한다.
본 발명의 센서 어레이에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 실리카, Si, Ge, ZnS, GaAs, 칼코겐나이드 화합물 및 투명고분자 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 이루어진 단일층 또는 상기 층으로 이루어진 복합층일 수 있다. 또한 상기 렌즈 어레이는 포토리소그래피 공정, 접촉인쇄(contact printing), 건식식각, 직접전사 마스크(direct writing mask), 리플로우(reflow) 공정 중에서 선택된 어느 하나의 공정을 이용하여 제조할 수 있다.
바람직한 센서 어레이에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 단위 렌즈 사이는 평탄한 부분을 포함하면서 스페이서 상에 놓일 수 있다. 또한 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 단위 렌즈 사이는 평탄한 부분이 없이 서로 결합된 부분을 포함하면서 스페이서 상에 놓일 수 있다. 나아가 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 적외선 센서 사이를 채울 수 있다.
본 발명의 적외선 센서 어레이에 의하면, 하면은 평탄하고 상면은 동일한 곡률을 가진 마이크로 렌즈들이 규칙적이고 반복적으로 배열된 렌즈 어레이를 적외선 센서 어레이 상에 배치함으로써, 적외선 센서를 이루는 유효감지영역을 충분하게 확보하여 필팩터를 크게 할 수 있다. 이에 따라, 센서 어레이에서 단위 셀의 피치가 종래에 비해 작아지더라고 필팩터를 충분하게 크게 하여 센서 어레이의 감도를 향상시킬 수 있다. 또한 필팩터를 높임으로써, 영상분해능 등을 고려하여 셀 피치를 20㎛ 이하로 줄이는 추세에 부응하여 감도가 높은 센서 어레이를 제공할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예들은 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
이하의 본 발명의 실시예는 필팩터를 높이고, 이에 따라 단위면적당 픽셀의 수가 증가하더라도 감지능력을 충분하게 확보할 수 있는 적외선 센서 어레이를 제시할 것이다. 이를 위해, 먼저 적외선 센서 어레이에 대하여 개념적으로 설명하고, 이어서 필팩터에 대하여 구체적으로 살펴보고, 마지막으로 필팩터를 높이기 위한 본 발명의 적외선 센서 어레이를 알아보기로 한다. 설명의 편의를 위하여, 유효감지영역을 포함하는 적외선 센서, 상기 적외선 센서 상에서 외부의 광을 유효감지영역에 입사시키는 렌즈 및 적외선 센서가 놓여지는 센서기판을 포함하여 단위 셀, 단위 셀로 구성되는 픽셀, 그리고 상기 픽셀들이 배열된 상태, 예컨대 640×480개의 픽셀을 센서 어레이라고 정의한다.
도 1은 본 발명에 적용되는 적외선 센서 어레이를 개념적으로 설명하기 위한 개략도이다.
도 1을 참조하면, 피사체(10)의 임의의 영상(12)은 직경(D0)이고 초점거리(fl)인 렌즈(20)를 거쳐 적외선 센서 어레이(30)에 의해 감지된다. 즉, 임의의 영상(12)은 렌즈(20)를 거쳐 어레이(30)의 임의의 픽셀(12a)에 감지되고, 이와 같은 방법을 피사체(10) 전체에 걸쳐 진행하면 적외선 센서 어레이(30)에 의해 피사체 이미지(10a)를 구성할 수 있다. 이때, 적외선 센서 어레이(30)는 렌즈(20)의 초점거리에 일치하도록 배치된다.
도 2a는 본 발명에 적용되는 필팩터(fill factor)를 설명하기 위하여 본 발명의 적외선 센서 어레이 중에서 2개의 단위 셀(60)을 포함하는 부분을 나타낸 단면도이고, 도 2b는 도 2a의 2개의 단위 셀 중에 하나를 나타낸 평면도이다.
도 2a 및 도 2b에 의하면, 단위 셀은 예를 들어 히트싱크(heat sink) 등과 같은 작용하는 적외선 센서 기판(50) 상에 적외선 센서(60)가 놓인다. 적외선 센서(60)는 외부에서 렌즈(70)를 통하여 입사된 광을 실질적으로 감지하는 유효감지영역(active detecting area; 62)과 유효감지영역에서 검출된 신호를 처리하는 주변영역(non-active area; 64)으로 이루어진다. 적외선 센서(60)는 렌즈(70)를 통해 입사되는 빛이 유효감지영역(62)에 집중되도록 확보된 간격만큼 렌즈(70)와 떨어져 있다.
필팩터는 (유효감지영역의 면적)/(적외선 센서의 면적)으로 정의되며, 필팩터가 크면 적외선 센서(60)를 차지하는 유효감지영역의 면적이 크다는 것을 의미한다. 각각의 적외선 센서(60)는, 최대 감도와 파워를 위해, 입사된 광이 유효감지영 역(62)에 집중되는 형태를 띤다. 한편 적외선 센서(60)의 감도나 파워는 적외선 센서에서 발생하는 전기적 신호의 세기에 영향을 받는다. 센서 어레이 전체 픽셀의 집중도는 유효감지영역(62)에 직접적으로 얻어진 방사(radiation) 파워(Pdet)에 비례하는 전기적 신호에 의해 좌우된다.
방사 파워(Pdet)는 다음과 같이 정의된다.
Pdet = τ0 *π*(1/[4(f/)2+1])*필팩터*셀 면적*L
여기서, τ0은 광학투과도, f/는 광학시스템의 초점거리(fl/D0), π는 3.14159265359…이고 L은 피사체의 광속이다. 위의 식을 살펴보면, 방사 파워는 전기적 신호의 결과물인 필팩터에 직접 비례한다. 이에 따라, 센서 어레이의 감도와 파워를 나타내는 방사 파워를 크게 하기 위해서는 필팩터를 크게 하는 것이 바람직하다.
이하에서는 앞에서 설명한 방사 파워를 크게 하기 위한 적외선 센서 어레이를 제시할 것이다. 센서 어레이의 필팩터를 증가시키기 위한 렌즈 어레이를 제시하고, 이를 채용한 센서 어레이의 사례를 제시할 것이다.
도 3은 본 발명의 센서 어레이에 적용되는 렌즈 어레이(70)를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3을 참조하면, 렌즈 어레이(70)는 단위 렌즈(72)인 마이크로 렌즈가 규칙적으로 반복되어 배열된 것이다. 단위 렌즈(72)는 타원형 또는 원형의 구의 일부에 해당하는 형상을 가지며, 곡률을 가지는 상면(72a)과 평탄한 하면(72b)을 포함한다. 상면(72a)은 하면(72b)의 임의의 위치에서 보아도 동일한 곡률을 가진다. 예를 들어, 하면(72b)의 중심에서 상면(72a)을 바라보는 곡률과 하면(72b)의 구석진 부분에서 상면(72a)을 바라보는 곡률은 동일하다. 이를 동일한 곡률을 가진 렌즈 어레이(70)라고 한다. 이와 같은 단위 렌즈(72)는 외부에서 입사된 광을 도 2a에서 설명한 유효감지영역에 집중시킨다.
렌즈 어레이(70)는 다양한 광학기판 물질, 예를 들어 실리카(silica), Si, Ge, ZnS, GaAs, 칼코겐나이드 화합물, 투명고분자 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 이루어진 단일층 또는 그 단일층의 복합층일 수 있다. 렌즈 어레이는 반도체 집적공정, 예컨대 포토리소그래피 공정, 접촉인쇄(contact printing), 건식식각, 직접전사 마스크(direct writing mask), 리플로우(reflow) 공정 등의 다양한 방법을 통하여 제조할 수 있다. 이때, 투명고분자로서는 PMMA, PC, PVDF 등이 사용될 수 있다.
도 4는 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 하나의 예를 나타낸 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위하여 센서 어레이는 도 3과 참조부호를 달리하기로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 입출력 신호를 제어하고 히트싱크의 역할을 하는 적외선 센서 기판(100) 상에 지지대(112)에 의해 제공되는 공간에 적외선 센서(110)들이 놓여진다. 적외선 센서(110)는 앞에서 설명한 바와 같이 유효감지영역과 주변영역을 포함한다. 이때, 센서 어레이를 구성하는 적외선 센서(110)의 집합 을 적외선 센서 어레이라고 한다. 적외선 센서 어레이의 둘레에는 렌즈 어레이(130)를 배치하기 위하여 스페이서(120)가 설치된다. 즉, 렌즈 어레이(130)는 스페이서(120)에 놓여진다.
본 발명의 적외선 센서(110)는 물체에서 방사되는 파장 0.75㎛ 이상의 복사선을 검출하여 식별하는 소자로서 기계, 구조 및 건물의 이상검지를 위한 열화상진단, 의학 분야에서 신경기구분석, 에너지 분야의 화염, 연소가스의 온도분포 계측 등에 활용되고 있다. 특히, 현대전에서 적외선 센서는 야간투시경이나 감시, 조준 망원경 등에 활용되고 있다. 즉, 적외선 센서는 상대적으로 미약한 외부신호를 처리하기 때문에 필팩터를 크게 하는 것이 매우 중요하다.
렌즈 어레이(130)는 도 3을 참조하여 설명한 단위 렌즈(70)와 동일한 특성이 구현되는 단위 렌즈(132)가 규칙적으로 반복되어 배열된 것이다. 단위 렌즈(132)는 상면은 동일한 곡률(도 3의 설명 참조)을 가지고, 단위 렌즈(132) 사이는 평탄한 부분(a)을 가진다. 평탄한 부분(a)은 센서 어레이를 설계하는 데 필요한 설계상의 여유일 수 있다. 경우에 따라, 렌즈 어레이(130)의 상면과 하면은 반사방지막(anti-reflection layer; 134)을 적어도 한 면에 형성할 수 있다.
도 5는 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 다른 예를 나타낸 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위하여 센서 어레이는 도 3과 참조부호를 달리하기로 한다. 이때, 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분은 도 4와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도시된 바와 같이, 렌즈 어레이(150)는 도 3을 참조하여 설명한 단위 렌 즈(70)와 동일한 특성이 구현되는 단위 렌즈(152)가 규칙적으로 반복되어 배열된 것이다. 단위 렌즈(152)는 상면은 동일한 곡률(도 3의 설명 참조)을 가지고, 단위 렌즈(152) 사이는 평탄한 부분이 없이 서로 결합된 구조(b)를 가진다. 경우에 따라, 렌즈 어레이(150)의 상면과 하면은 반사방지막(anti-reflection layer; 154)을 적어도 한 면에 형성할 수 있다. 이와 같은 센서 어레이는 도 4의 경우와는 달리 평탄한 부분(a)이 없이 서로 결합된 구조(b)를 가지므로, 센서 어레이에서의 단위 셀의 집적도를 높일 수 있다.
도 6은 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 또 다른 예를 나타낸 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위하여 센서 어레이는 도 3과 참조부호를 달리하기로 한다. 이때, 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분은 도 4와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 6을 참조하면, 렌즈 어레이(170)는 도 3을 참조하여 설명한 단위 렌즈(70)와 동일한 특성이 구현되는 단위 렌즈(172)가 규칙적으로 반복되어 배열된 것이다. 단위 렌즈(172)는 상면은 동일한 곡률(도 3의 설명 참조)을 가지고, 단위 렌즈(172) 사이는 평탄한 부분이 없이 서로 결합되고(b) 적외선 센서(110)를 덮는 구조를 가진다. 이때, 렌즈 어레이(170)는 도 5에서 설명한 것과는 다르게 스페이서에 놓여지지 않고 단위 셀(110) 사이에 채워져 지지되므로, 스페이서를 배치하는 공정이 요구되지 않는다. 물론, 달리 평탄한 부분(a)이 없이 서로 결합된 구조(b)를 가지므로, 센서 어레이에서의 단위 셀의 집적도를 높일 수 있다.
본 발명의 적외선 센서 어레이는 동일한 곡률의 상면을 가진 단위 렌즈인 마 이크로 렌즈들로 배열된 렌즈 어레이를 사용함으로써, 센서 어레이의 필팩터를 높여 이미지 프로세서의 특성을 향상시키고 센서 어레이의 무게 및 크기를 줄일 수 있다. 또한 필팩터를 높임으로써, 영상분해능 등을 고려하여 셀 피치를 20㎛ 이하로 줄이는 추세에 부응하여 감도가 높은 센서 어레이를 제공할 수 있다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
도 1은 본 발명에 적용되는 적외선 센서 어레이를 개념적으로 설명하기 위한 개략도이다.
도 2a는 본 발명에 적용되는 필팩터(fill factor)를 설명하기 위하여 본 발명의 적외선 센서 어레이 중에서 2개의 단위 셀을 포함하는 부분을 나타낸 단면도이고, 도 2b는 도 2a의 2개의 단위 셀 중에 하나를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 센서 어레이에 적용되는 렌즈 어레이를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 하나의 예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 다른 예를 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 3을 통하여 설명한 본 발명의 렌즈 어레이가 적용된 센서 어레이의 또 다른 예를 나타낸 단면도이다.
*도면의 주요부분에 부호의 설명*
70, 130, 150, 170; 렌즈 어레이
72, 132, 152, 172; 단위 렌즈
110; 적외선 센서 120; 스페이서
134, 154; 반사방지막

Claims (6)

  1. 하면은 평탄하고 상면은 동일한 곡률을 가진 단위 렌즈인 마이크로 렌즈들이 규칙적이고 반복적으로 배열된 렌즈 어레이; 및
    상기 렌즈 어레이의 하면 방향에 배치되어, 상기 렌즈 어레이를 통하여 입사된 빛이 집중되는 유효감지영역을 포함하는 적외선 센서들이 상기 렌즈들에 대응하여 규칙적이고 반복적으로 배열된 적외선 센서 어레이를 포함하고,
    상기 마이크로 렌즈의 상면은 상기 하면의 어느 위치에서 보아도 동일한 곡률을 가지는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 실리카, Si, Ge, ZnS, GaAs, 칼코겐나이드 화합물 및 투명고분자 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 이루어진 단일층 또는 상기 층으로 이루어진 복합층인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
  3. 제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 포토리소그래피 공정, 접촉인쇄(contact printing), 건식식각, 직접전사 마스크(direct writing mask), 리플로우(reflow) 공정 중에서 선택된 어느 하나의 공정을 이용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
  4. 제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 단위 렌즈 사이는 평탄한 부분을 포함하면서 스페이서 상에 놓이는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
  5. 제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 단위 렌즈 사이는 평탄한 부분이 없이 서로 결합된 부분을 포함하면서 스페이서 상에 놓이는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
  6. 제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 상기 어레이를 이루기 위하여 규칙적으로 반복되는 단위 렌즈를 포함하고, 상기 적외선 센서 사이를 채우는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈를 채용한 적외선 센서 어레이.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102931201A (zh) * 2011-08-11 2013-02-13 中国科学院微电子研究所 基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列及其制作方法
KR102372856B1 (ko) * 2014-11-28 2022-03-10 엘지전자 주식회사 마이크로 렌즈 어레이를 구비하는 광 검출 센서

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0121726Y1 (ko) * 1995-10-24 1998-08-01 김광호 에어컨디셔너용 적외선 센서 시스템
KR20050088064A (ko) * 2005-08-18 2005-09-01 삼성전자주식회사 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
JP2007315916A (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線センサ
JP2008288449A (ja) * 2007-05-18 2008-11-27 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 撮像装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0121726Y1 (ko) * 1995-10-24 1998-08-01 김광호 에어컨디셔너용 적외선 센서 시스템
KR20050088064A (ko) * 2005-08-18 2005-09-01 삼성전자주식회사 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
JP2007315916A (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線センサ
JP2008288449A (ja) * 2007-05-18 2008-11-27 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 撮像装置

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