KR101019437B1 - 압력 진동 흡착 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
압력 진동 흡착 시스템은 개구가 있는 압력 용기(20)와, 상기 개구에 유체 연결되는 제1 캐비티가 있는 본체를 포함하는 밸브 매니폴드(10)를 구비한다. 상기 본체는 통로(4)가 채널(2)을 캐비티(1)에 연결하도록 통로(4)와 채널(2)을 더 포함한다. 밸브 매니폴드(10)는 통로(4) 내에 마련된 밸브(31)를 더 포함한다. 상기 밸브(31)는 통로(4)를 통한 채널(2)과 캐비티(1) 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성된다.
Description
본 발명은 압력 진동 흡착 시스템용 밸브 조립체에 관한 것이다.
압력 진동 흡착(PSA)은 적어도 하나의 정제된 생성 기체와 라피네이트 부산물의 혼합물을 제공하기 위해 기체 혼합물을 분류하는 데에 사용되는 기법이다. PSA는 특히 다른 기체들로부터 수소를, 공기로부터 산소와 질소를, 천연 가스로부터 헬륨을 분리하는 데에 성공적으로 사용되어 왔다.
초기의 PSA 시스템은 일반적으로 병렬로 작동되는 4개의 흡착 용기를 이용하였다. 그러한 PSA 시스템의 일례가 와그너(Wagner)에게 허여된 미국 특허 제3,430,418호에 개시되어 있다. 와그너의 프로세스에 대한 추후의 개선안은 4개의 흡착 베드를 유지하면서 추가의 압력 균등화 단계를 추가하였고[바타(Batta)에게 허여된 미국 특허 제3,564,816호 참조], 그 후에는 7개 이상의 베드에 대해 훨씬 더 많은 압력 균등화 단계를 추가하였다[푸더러(Fuderer) 등에게 허여된 미국 특허 제3,986,849호]. 이러한 압력 균등화 단계의 개수와 흡착 용기의 개수의 증가는 생성물 복구 및 흡착 생산성을 증가시키도록 실행되었다. 불행히도, 성능의 증가는 시스템을 작동시키는 데 필요한 밸브 개수의 동시 증가를 동반하였다. 예컨대, 와그너의 시스템은 적어도 31개의 밸브를, 바타의 시스템은 적어도 33개의 밸브를, 푸더러 등의 시스템은 적어도 44개의 밸브를 이용하였다.
PSA 시스템에서 흡착 용기 및 밸브 개수의 증가는 제조 비용 및 작동 비용을 바람직스럽지 못하게 증가시킨다. PSA 시스템에 채용된 베드 및/또는 밸브의 개수를 경제적으로 사용하는 혁신적인 많은 사이클이 제안되었다. 그러한 시스템 중 우수한 예가 맥콤스(McCombs)에게 허여된 미국 특허 제3,738,087호에 개시되어 있고, 또한 추후의 프로세스가 맥콤스에게 허여된 미국 특허 제4,194,890호에 개시되어 있다. 이들 특허는 흡착 용기를 2개 갖춘 PSA 시스템을 개시하고 있다. 그러나, 생성물은 연속적인 운반이 일반적으로 불가능하거나 감소된 생성 압력에서만 달성될 수 있다. 또한, 이 종류의 사이클은 일반적으로 소정의 공급 조건 세트에서 낮은 생성 기체 복구 및 흡착 이용을 제공한다고 알려져 있다. 고성능을 유지하면서도 밸브의 수가 더 작은 보다 복잡한 사이클을 만들거나 적어도 와그너, 바타 및 푸더러 등의 장치보다 간단한 배관 장치를 제조하기 위한 노력이 스토커에게 허여된 미국 특허 제4,761,165호와 듀하이어 등에게 허여된 미국 특허 제6,146,450호에 나타나 있다.
초기의 공정들로부터 복잡성을 감소시키는 많은 밸브능을 조합시킴으로써 회전 밸브 장치의 실시를 통해 기계적 복잡성을 감소시키는 여러 가지 PSA 시스템이 제안되었다. 그러한 시스템의 예로는 사이더에게 허여된 미국 특허 제4,272,265호, 라베나우 등에게 허여된 미국 특허 제4,925,464호 및 키퍼 등에게 허여된 미국 특허 제6,063,161호가 있다. 각각의 경우에, 하나 이상의 독립적인 밸브 대신에 밸브능을 갖는 하나 이상의 회전 조립체의 사용을 채용하였다. 이들 방법은 유리하게는 전통적인 방식으로 배관된 독립적인 밸브에 비해 배관 복잡성을 감소시키지만, 바람직하지 못한 특징이 몇 개 있다. 먼저, 상기 방법은 다양한 PSA 사이클 단계의 상대적인 기간이 결정되고, 이에 따라 공급 원료 조성, 온도, 압력 또는 유량이 변동하도록 작동을 최적화시키기 위하여 유동 조건의 변화에 응답할 수 없다. 키퍼 등은 바람직하지 않게 복잡성을 증가시키고 동작 중에 조정될 수 없는 PSA 사이클을 미세하게 튜닝하도록 기본 회전 밸브에 이차 밸브의 추가를 개시하고 있다. 둘째로, 모든 회전 밸브는 불순한 공급 또는 폐기 기체로부터 정제된 제품을 분리하기 위해 슬라이딩 밀봉면에 의존한다. 실제로, 키퍼 등은 이러한 제품 순도에 대한 잠재적인 제한을 극복하기 위하여 요구되는 정교한 기계적 단계를 교시하고 있다. 슬라이딩 시일은 유지 보수하기가 더 어려워서 밀봉 상태가 열악하고 슬라이딩이 없는 간단한 접촉 밀봉부보다 입자 오염물로 인해 손상되기 쉽다. 최종적으로, 회전 밸브 장치는 그 실시에 필요한 회전 밸브 출입 장치가 복잡하기 때문에 매우 복잡한 사이클을 수행하기 어렵게 된다. 따라서, 이들 밸브는 주로 당분야에서 교시된 가장 진보된 사이클에 비해 생성물 복구와 흡착 이용이 비교적 낮은 간단한 사이클를 실시하는 데 사용되었다.
당분야의 많은 PSA 사이클에 존재하는 추가 특징으로는 정제된 생성 기체에 의한 흡착 용기의 카운터플로우 블로우다운의 사용이 있다. 바타 또는 푸더러 등의 사이클과 같은 초기의 사이클에서, 이것은 압력 조절 밸브 또는 스로틀 장치를 통해 저압으로 유지되는 독립적인 생성 기체 매니폴드를 제공함으로써 달성되었으 며, 독립적으로 구동되는 밸브가 각 흡착 용기를 위해 제공되었다. 별법으로서, 몇몇의 간단한 사이클에는 생성 매니폴드를 각 용기에 결합하는 흐름 제어 밸브가 마련되었다. 이 방법의 일예가 맥콤스에게 허여된 미국 특허 제4,194,890호에 개시되어 있다. 이 간소화된 방법은 용기를 통한 생성 기체의 흐름이 독립적으로 제어될 수 없어, 전통적인 방법에 비해 생성물 복구가 감소하게 된다는 단점이 있다. 비례 제어되는 밸브를 이용한 개선된 제2 방안은 스토커가 교시하고 있다. 생성물 운반 밸브의 비례 제어 방법은 종래 기술에 비해 배관 연결부의 개수를 바람직하게 감소시켜 사이클의 몇몇 단계에서 흐름을 완전히 중지시키는 능력을 제공하지만, 비례 밸브는 온오프 밸브보다 신뢰성이 낮고 비용이 높을 수 있다.
본 발명의 발명자들은 상기 특허들에 개시된 압력 진동 흡착 시스템 중 어떠한 것도 별개로 배관된 밸브를 사용하는 전통적인 구성으로부터 임의의 중요한 기계적 편향을 교시하지 않는다고 단정하였다. 본 발명자들은 각 밸브가 적어도 2개의 배관 연결부를 필요로 하기 때문에, 독립적으로 연결된 밸브의 사용은 매우 바람직하지 않다고 단정하였다. 이들 연결부는 흔히 생성물의 순도를 보장하고/보장하거나 유해성 또는 가연성 프로세스 기체의 누설을 방지하기 위해 고가의 피팅으로 이루어지거나 용접을 통해서 제조된다. 이 피팅의 급증은 바람직하지 못하게 제조 비용을 증가시키고, 패키지 시스템의 용적을 증가시키며, 누설 가능성으로 인해 안전성 및 신뢰성을 감소시킨다.
배관 및 그에 수반되어 패키징에 필요한 용적의 급증은 또한 흡착 용기에 기계적 지지부를 제공할 필요성에 의해 복잡해진다. 비교적 큰 질량으로 인해 배관 및 밸브는 이들 모두가 주의하여 설계되어 양호하게 지지되지 않으면 압력 용기에 상당한 힘을 발휘할 수 있다. 그러한 지지부의 제공은 시스템 질량, 용적 및 제조 비용을 불리하게 증가시킨다. 또한, 압력 응력의 사이클 본성으로 인해 피로 파괴를 받게 되는 흡착 용기는 고도로 국부화된 응력을 보상하기 위하여 그 중량을 추가로 증가시키는 일없이 구조적으로 지지하는 것은 본래 어렵다.
전술한 다른 압력 진동 흡착(PSA) 시스템과 관련된 문제를 제거하기 위한 노력으로, 본 발명은 후술하는 바와 같이 신뢰성 있고, 비용 효율적인 압력 진동 흡착 시스템을 제공한다.
본 발명은 채용한 흡착 베드의 개수 또는 근원적인 사이클의 복잡성과 상관없이 전통적인 방법에 비해 기계적인 복잡성을 감소시키는 개선된 PSA용 기계적 장치를 제공한다. 본 발명은 밸브 기능의 작동을 독립적으로 제어하는 능력을 희생시키는 일없이 기계적 복잡성을 감소시켜 작동 중에 시스템의 제어를 최적화한다. 또한, 본 발명은 슬라이딩 시일 또는 회전 밸브가 필요없이 기계적 복잡성을 감소시킨다.
또한, 본 발명은 유리하게는 온-오프 기능을 갖는 단일의 구동식 밸브를 사용하여 순수한 생성 기체가 있는 흡착 용기의 역류 블로우다운 뿐만 아니라 병류(co-current) 생성물 운반을 제공하는 개선된 방법을 제공한다. 본 발명은 또한 생성 기체 흐름 제어의 개선된 방법을 실시하는 신규한 장치를 제공한다.
본 발명은 유리하게는 독립적으로 구동되는 밸브를 흡착 용기에 직접 분기시 키는 신규한 장치를 제공한다.
본 발명은 또한 유리하게는 센서, 서비스 포트, 배출 밸브, 릴리프 밸브 및 PSA 사이클의 작동에 유리하다고 생각되는 기타 보조 구성 요소의 부착 지점으로서 기능할 수도 있는 신규한 분기 장치를 제공한다. 본 발명은 또한 흡착 용기를 물리적으로 지지하는 데 사용될 수 있는 신규한 분기 장치를 제공한다. 본 발명은 또한 유리하게는 용기에 해로운 굽힘 모멘트를 가하는 일없이 용기의 열 및 압력 사이클에 순응하는 구조적 지지부를 제공한다.
본 발명은 유리하게는 온-오프 기능을 갖는 16개의 구동식 밸브만을 이용하여 2개의 압력 균등화 및 역류 생성물 정제로 4개 베드의 PSA를 실시하는 데 사용될 수 있는 개선된 장치를 제공한다.
본 발명의 보다 완벽한 이해 및 그 수반되는 많은 이점은 특히 첨부 도면과 함께 고려할 때 다음의 상세한 설명을 참조하면 쉽게 명백하게 된다.
도 1은 숨겨진 요부가 점선에 의해 나타나 있는 본 발명에 따른 밸브 매니폴드의 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 2개의 매니폴드 조립체를 갖춘 흡착 용기를 도시한다.
도 3은 본 발명의 매니폴드 요부를 사용하여 4개의 흡착 용기의 압력 진동 흡착 사이클을 동작시키는 장치를 도시한다.
도 4는 3개의 밸브를 장착하고 볼트로 체결된 플랜지 요부를 갖는 본 발명의 대안적인 매니폴드 장치를 도시한다.
도 5a는 지지 구조체에 장착된 2개의 매니폴드 조립체를 갖는 흡착 용기를 도시하고, 도 5b와 5c는 도 5a의 확대도이다.
도 6a와 6b는 하나의 구동 밸브를 사용하여 생성물 운반 및 카운터플로우 정제를 제어하는 개선된 방법의 작동 원리를 도시하는 흐름도이다.
도 7, 8 및 9는 도 6b에 열거된 방법을 실행하는 장치의 실시예의 횡단면도로서, 별개의 3개의 작동 모드로 밸브 장치가 도시되어 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 다음의 설명에 있어서, 실질적으로 동일한 기능과 배치를 갖는 구성 요소들은 동일한 참조 번호로 나타내고, 반복 설명은 필요할 때에만 하기로 한다.
도 1은 본 발명의 밸브 매니폴드(10)의 3차원 사시도를 도시하고 있다. 상기 밸브 매니폴드(10)에는 흡착 용기(20; 도 2 참조)와 연통하는 적어도 하나의 플리넘 캐비티(1)가 마련되어 있다. 상기 플리넘 캐비티(1)는 내부 갤러리 또는 유체 통로(4)를 통해 유체 채널(2)과 연통한다. 매니폴드(10)는 하나 이상의 통로(4)에 의해 하나 이상의 캐비티(1)에 연결되는 하나 이상의 채널(2)을 포함할 수 있다는 것을 유념해야 한다. 여기에 기재된 교시를 기초로 하여 당업자에게 다양한 다른 구조가 쉽게 명백할 것이다.
갤러리(4)를 통한 유체의 흐름은 밸브 포트(5)에 장착되어 밸브 시트(6) 상에 안착되는 밸브에 의해 제어되는 것이 유리할 수 있다. 도 1의 매니폴드에 있어 서, 실질적으로 밸브 포트(5)와 중심이 같은 시트를 갖는 밸브가 마련된다. 피스톤, 플런저, 니들 및 글로브라고 통칭하는 유형의 밸브는 이러한 선형 관계를 갖는다. 본 발명의 매니폴드에는 다른 유형의 밸브가 사용될 수도 있지만, 밸브 포트와 중심이 같은 시트를 갖는 밸브가 바람직하다. 전체 밸브 본체가 일체식으로 부착되는 밸브가 특히 바람직하다. 이들 밸브의 일예로는 플런저, 피스톤, 니들 및 특정한 유형의 글로브 밸브가 있다. 피스톤 유형의 밸브가 특히 바람직하다.
도 1로부터 하나 이상의 유체 채널(2)이 밸브 매니폴드(10)에 통합될 수도 있다는 것을 알 수 있다. 사실, 밸브 매니폴드(10)의 밸브 본체에는 임의의 개수의 유체 채널이 통합될 수 있다. 더욱이, 각 유체 채널에는 하나 이상의 유체 포트(3)가 마련될 수 있으며, 각 유체 채널에는 센서, 기구, 압력 릴리프 밸브 또는 PSA 사이클의 동작을 위해 필요한 것으로 생각되는 다른 부속품을 수용할 수 있는 추가의 요부 또는 포트가 마련될 수도 있다. 또한, 매니폴드의 다른 영역에는 플리넘 캐비티(1) 또는 압력 용기(20)의 내부와 직접 연통하는 그러한 요부가 마련될 수도 있다. 많은 유형의 글로브 밸브와 같이 밸브 시트 아래로부터 조립되는 밸브를 제공하기 위한 접근 포트를 제공하는 것이 바람직할 수도 있다.
도 1에 도시된 밸브 매니폴드(10)는 주조, 기계 가공, 분말 야금, 단조 또는 당업계에 알려진 공정들의 임의의 조합에 의해 제조될 수 있다. 또한, 밸브 매니폴드(10)는 해당 사이클의 작동 조건에 적절한 임의의 재료로 이루어질 수 있다.
도 1은 2개의 유체 채널(2)을 병렬로 구비한 밸브 매니폴드(10)를 도시하고 있으며, 양 유체 채널(2)은 플리넘 캐비티(1)의 동일 측면에 설치된다. 유체 채널(2)은 플리넘 캐비티(1)에 대해 적당한 갤러리 및 밸브 기능을 용이하게 하는 임의의 지점에 설치될 수도 있다. 유체 채널(2)의 위치는 전체 흡착 베드 패키징, PSA 사이클 구성, 밸브 억세스, 구조적 지지, 또는 다른 인자에 의해 규정된다.
도 1의 밸브 매니폴드(10)는 흡착 용기(20)와 연통하는 공통의 플리넘 캐비티(1)와 병렬로 연통하는 2개의 유체 채널(2)을 병렬로 구비하고 있다. 따라서, 상기 밸브 매니폴드는 와그너, 바타, 푸더러 등 및 스토커 특허들의 PSA 사이클에 개시된 흡착 베드 유입 기능을 적절히 수행할 수 있는 구성을 제공한다. 그러나, 본 발명의 밸브 매니폴드(10)는 전통적인 구성에 요구되는 적어도 6개의 연결부 대신에, 이 과제를 달성하기 위해 흡착 용기 당 오직 4개의 상호 연결부만을 필요로 한다는 것이 명백하다. 또한, 본 발명의 밸브 매니폴드(10)의 내부 용적은 당업계의 종래 파이프 연결부에 비해 유리하게 감소된다. 이러한 용적 감소는 PSA 사이클에서 생성물 복구를 개선시킨다.
도 1의 밸브 매니폴드(10)에는 적어도 하나의 장착 보스(12)가 마련된다. 상기 장착 보스(12)는 낮은 응력의 영역에서 흡착 용기에 대한 연결을 가능하게 하고, 이에 따라 용기의 벽이 유리하게는 다른 방법의 지지부보다 얇게 제조될 수 있게 한다. 장착 보스는 정기 점검용 밸브 억세스의 고려, 패키징의 간소화, 매니폴드 제작의 용이성 및 다른 인자를 기초로 하여 고찰되는 구성에 편리한 임의의 지점에 배치될 수 있다.
도 1의 밸브 매니폴드(10)에는 이 매니폴드(10)를 압력 용기에 결합하는 데 사용되는 부착 수단이 마련되는 것이 바람직하다. 도 1에 있어서, 상기 부착 수단 (11)은 용접, 브레이징, 솔더링 또는 접착제 접합을 통해 결합하기에 아주 적합한 것이다.
도 2는 본 발명의 매니폴드(10)의 각 단부에 마련되는 흡착 용기(20)를 도시하고 있다. 매니폴드(10)는 용접, 브레이징, 솔더링, 접착제 접합 또는 다른 유사한 수단에 의해 부착될 수도 있다. 별법으로서, 매니폴드(10)는 볼트 체결식 플랜지, 나사 체결식 연결부, 브리치 블록 연결부, 스냅 링 또는 다양한 다른 비영구적 수단에 의해 용기(20)에 결합될 수도 있다. 그러한 착탈 가능한 연결부는 유리하게는 영구적 연결부에 비해 흡착이 훨씬 용이하게 점검 및/또는 착탈될 수 있게 하지만, 또한 바람직하지 못하게 용기 크기, 중량 및 제조 비용을 증가시켜서 어느쪽 방법도 명백하게 바람직하지는 않다.
도 2의 흡착 용기는 조인트(23)에서 원통형 부분(22)에 연결된 반구형 부분(21)을 갖는 것으로 도시되어 있다. 이 실시예는 어떠한 방식으로도 본 발명을 제한하도록 의도되지 않는다. 용기(20)는 임의의 횡단면 형태를 가질 수 있다. 조인트(23)는 용접, 브레이징, 접착제 접합 또는 다른 방법에 의해 형성되거나, 플랜지 또는 다른 착탈식 연결부가 마련될 수도 있다. 또한, 전체 용기(20)는 스웨이징, 단조, 주조, 필라멘트 와인딩 또는 다른 유사한 수단에 의해 단일체로서 형성될 수도 있다. 흡착 용기는 또한 다른 흡착 용기, 서지 탱크, 중간 흡착 용기, 구조체 또는 복합 용기를 형성하는 다른 요부에 기계적으로 결합될 수도 있다. 따라서, 흡착 용기의 형태는 본 발명의 실시를 어떠한 방식으로도 제한하지 않는다.
도 3은 PSA 시스템을 형성하는 4개의 흡착 용기(20)를 도시하고 있다. 도 3 에 있어서, 각 밸브 매니폴드(10)에는 2개의 밸브(31)가 마련되어 있다. 각 유체 채널은 유체 커넥터(32)를 통해 다른 모든 용기와 연통할 수 있다. 상기 유체 커넥터(32)는 여기에 도시된 바와 같은 강성의 파이프일 수 있거나, 유연한 가요성 관일 수도 있다. 사실, 상호 연결하는 유체 커넥터의 기능 형태는 본 발명의 실시를 어떠한 방식으로도 제한하지 않으며, 해당 공정의 조건을 기초로 하여 선택될 수 있다. 또한, 유체 커넥터는 영구적으로, 또는 착탈식 커넥터를 통해 매니폴드(10)에 결합될 수 있다.
유체 커넥터(32)와 조합된 각 유체 채널이 밸브들과 각 흡착 용기의 플리넘 캐비티 사이에 연속적인 유체 경로를 형성한다는 것은 도면을 살펴봄으로써 알 수 있다. 따라서, PSA 사이클의 상이한 지점에서 동작하는 용기 간의 유체 교환을 기도하는 임의의 사이클이 본 발명의 매니폴드에 구현될 수도 있다. 그렇게 되는 것이 바람직하다면, 매니폴드는 2개 이상의 개별 흡착 용기와 연통하는 하나 이상의 더 큰 매니폴드로 통합될 수도 있다. 그렇게 통합된 매니폴드는 유체 커넥터(32)를 완전히 제거할 수 있다. 통합된 매니폴드는 주조, 몰딩, 기계 가공 및 다른 기법과 상기 기법들의 조합에 의해 제조될 수 있다. 통합된 매니폴드의 물리적 범위는 흡착 용기의 크기와 관련되기 때문에, 매니폴드의 바람직한 명시는 각 시스템의 상세한 실행성 및 경제성에 종속된다. 따라서, 비교적 큰 용기 직경의 시스템에는 독립적인 매니폴드가 바람직한 반면에, 작은 직경의 용기에는 2개 이상의 용기와 연통하는 통합된 매니폴드가 바람직할 수 있다.
따라서, 본 발명은 구체적으로 일체식 매니폴드와 용기를 갖는 PSA 시스템을 기도하며, 그 모두는 별법으로서 단일의 구성 요소 또는 많은 구성 요소로 형성될 수 있고, 독립적인 밸브 요소는 PSA 사이클의 상이한 위상 중에 유체 교환을 위한 용기 사이에 병렬식 연결을 기도하는 임의의 PSA 사이클을 사실상 실현하는 방식으로 흡착 용기와 연통한다. 도 3은 공압 구동에 의한 피스톤 밸브를 도시하고 있지만, 본 명세서에서는 다른 유형의 밸브도 예상된다. 밸브는 공압적으로, 전자기적으로, 유압적으로 또는 캠샤프트, 기어 트레인 또는 기타 수단에 의한 기계적 구동 장치를 통해 구동될 수 있다. 많은 흡착 용기와 연통하는 일체식 매니폴드를 갖는 소형의 시스템에서는 직접적인 기계적 구동이 바람직할 수 있는데, 그 이유는 그러한 시스템이 기계적 구동 장치를 통해 성공적인 작동에 필요한 정밀한 기계적 공차에 알맞기 때문이다. 운동축이 밸브 포트에 평행한 밸브가 바람직하다. 운동축이 밸브 포트 및 밸브 시트 양자와 중심이 같은 밸브가 특히 바람직하다.
도 4는 와그너, 바타 또는 푸더러 등에서와 같이 생성물 기체를 사용하는 역류 정제 또는 블로우다운에 사이클을 실행하는 데 아주 적합한 본 발명의 매니폴드의 다른 실시예를 도시하고 있다. 본 발명의 이 실시예에서, 하나 이상의 유체 채널(2)은 PSA 사이클의 흡착 단계 중에 순수 생성물의 운반을 위한 제1 밸브 포트(5)와 생성 매니폴드로부터 역류 정제 또는 블로우다운 기체의 제어를 위한 제2 밸브 포트(41)와 연통한다. 도 4에서, 상기 포트(5, 41)는 동일한 치수를 갖는 것으로 도시되어 있지만, 이와 달리 상기 2개의 포트의 치수는 상이한 크기 및/또는 유형의 밸브를 수용하여 적절한 생성물 흐름을 실행하기 위하여 다를 수도 있다. 도 4의 실시예는 유리하게는 적절한 PSA 사이클 성능을 달성하기 위하여 피스톤 밸브 의 흐름 특성을 조절하는 데 사용될 수 있는 조절 가능한 밸브 이동 중지부를 갖는 피스톤 밸브를 채용한다.
도 4는 또한 PSA 시스템의 작동 및 유지 보수에 사용되는 센서를 수용하는 데 사용될 수 있는 센서 포트(46)를 도시하고 있다. 상기 도 4에 도시된 센서 포트(46)는 플리넘 캐비티(1)에 결합된다. 그러나, 센서 포트는 또한 PSA 시스템에서 취한 특정한 측정에 따라 채널(2) 및/또는 통로(4)에 결합될 수도 있다.
도 4의 밸브 매니폴드는 또한 볼트 체결식 플랜지 인터페이스(42)를 구현한다. 플랜지 인터페이스(42)는 밸브 매니폴드를 나사식 결합구, 예컨대 볼트 또는 스터드에 의해 용기(20)에 결합시킨다. 그러한 결합은 바람직하게는 흡착 점검 또는 교체를 용이하게 하도록 밸브 매니폴드의 착탈을 용이하게 해준다. 도 4에는 볼트 체결식 매니폴드가 도시되어 있지만, 본 발명자에 의해, 일체형 나사식 연결부, 브리치 블록 연결부, 스냅 링 및 다른 유사한 수단과 같은 다른 유형의 착탈식 연결부가 예상된다.
도 4에 도시된 추가의 바람직한 요부는 핀 저널(43)이 있는 구조적 지지 보스이다. 상기 핀 저널(43)은 핀 체결식 연결부를 통해 용기를 지지하는 수단을 제공한다. 핀 저널(43) 등의 커넥터는 모멘트가 아니라 하중을 지지한다. 흡착 용기(20)의 각 단부에 핀 체결식 연결부를 제공함으로써, 용기는 하나 이상의 요크 또는 바아 연결구에 의해 지지 구조체에 부착될 수도 있다. 바람직하게는, 용기의 일반부가 핀 체결식 연결부에 의해 지지 구조체에 부착되는 반면에, 용기의 제2 단부는 요크 또는 바아 연결구를 통해 부착하게 된다. 따라서, 용기(20; 도 2 및 도 3 참조)는 3개 바아 연결구로 요소를 형성한다.
도 5a, 5b 및 5c는 그 양단부에 밸브 매니폴드(10)가 장착된 흡착 용기(20)를 도시하고 있다. 도 5b는 밸브 매니폴드(10)가 핀 저널(43)을 통해 강성 연결구(48)에 부착되고 연결구(49)는 지지 구조체(47)에 연결된 용기(20) 일단부의 확대도를 도시하고 있다. 핀 저널(43)은 핀(49a)에 의해 연결구(48)에 회전 가능하게 연결되고, 연결구(48)는 핀(49c)에 의해 지지 구조체(47)에 회전 가능하게 연결된다. 도 5c는 밸브 매니폴드(10)가 핀 저널(43)을 통해 지지 구조체(47)에 직접 부착된 용기(20)의 대향 단부의 확대도를 도시하고 있다. 도 5c의 매니폴드(10)는 핀(49c)에 의해 지지 구조체(47)에 회전 가능하게 연결된다. 따라서, 도 5a, 5b, 및 5c에 도시된 흡착 용기(20)는 3개의 바아 연결구로 요소를 형성한다.
3개의 바아 연결구는 용기의 회전에 의한 용기의 길이 변화에 순응할 수 있다. 이 유형의 부착은 용접 또는 볼트 체결을 통한 강성 지지부에 여러 가지 이점을 제공한다. 먼저, 바람직한 3개의 바아 연결구 장착은 용기의 압력 및/또는 온도에서 사이클에 의해 생기는 용기의 길이 변화에 순응할 수 있다. 그러한 길이 변화는 PSA 시스템에서 피할 수 없으며, 용기 및 강성 지지 수단에 반응 부하를 바람직하지 못하게 생성시킨다. 본 발명의 3개의 바아의 구조적 지지는 용기와 지지부 사이에 모멘트를 전달하지 않는다는 제2 이점이 있다. 따라서, 용기 중량, 풍하중, 지진 또는 다른 인자로 인해 용기 및/또는 구조체에 가해지는 하중이 용기 또는 매니폴드를 벤딩시키지 않게 된다. 이 구성은 바람직하게는 용기 및 매니폴드 상의 응력을 감소시키고, 용기와 매니폴드 양자에 필요한 강도 및 경도를 감소 시켜 용기, 매니폴드 및 지지 구조체의 설계를 간단하게 된다.
도 6a는 와그너, 바타 및 푸더러 등의 공정에서 흡착 용기의 생성 단부로부터 정제 및 압축된 생성 기체의 제어를 나타내는 유체 흐름도이다. PSA 사이클의 흡착 단계 중에, 정제된 생성물은 PSA 용기의 생성 단부로부터 도관(51)과 밸브(52)를 통해 출구(53)로 유동한다. 밸브(52)는 여기에서 일방향의 정상 상태 폐쇄형 공기 구동식 밸브로서 도시되어 있지만, 다른 유형의 밸브를 채용할 수 있다. 흡착 단계가 완료된 후에 PSA 공정의 다른 단계 중에, 정제된 생성 기체가 유리하게는 역류 유동 단계에서 흡착 용기를 세척하는 데 사용되는 경우가 흔히 있다. 당업계에서, 이것은 생성 압력을 압력 레귤레이터(54)를 사용하여 중간 압력 아래로 조절한 다음, 조절된 기체 스트림을 제2 밸브(55)를 통해 허용함으로써 달성되는 것이 일반적이다. 이 종류의 시스템에서, 각 용기에는 도 6a의 밸브(52, 55)에 대응하는 2개의 밸브가 마련되고, 각 시스템에는 하나의 조절 밸브(54)가 마련되어 있다. 당분야의 시스템에 이들 밸브를 제공하면, 배관 복잡성과 비용을 바람직하지 못하게 증가시키고, 또한 제어 시스템의 복잡성을 증가시키고, 이들 밸브를 구동시키기 위한 여분의 용량이 마련되어야 한다. 이 복잡성 문제는 단일의 조절 가능한 밸브를 제공함으로써 스토커에 의해 처리되었다. 그러나, 조절 가능한 밸브는 온-오프 밸브보다 훨씬 더 비용이 비싸고, 이에 따라 밸브 비용이 상당한 시스템에는 바람직하지 못하다.
도 6b는 본 발명의 다른 생성 기체 흐름 제어 시스템을 도시하고 있다. 개선된 방법의 흡착 단계에서, 생성 기체는 입구(51) 및 계량 오리피스(57)와 병렬 배치된 역지 밸브(56)를 통해 유동한다. 이어서, 생성물은 구동식 온/오프 밸브(58)를 통해 생성물 출구(53)로 유동한다. 역지 밸브는 스프링 복귀 밸브로서 도면에 도시되어 있지만, 다른 유형의 역지 밸브를 채용할 수도 있다. 사이클의 역류 흐름 단계 중에, 온/오프 밸브(58)가 개방되고, 생성물 매니폴드의 생성 기체는 지점(53)으로부터 개방된 온/오프 밸브(58)와 계량 오리피스(57)를 통해, 그리고 지점(51)을 통해 생성물 매니폴드보다 압력이 낮은 흡착 용기로 유동한다. 역지 밸브(56)는 역류를 허용하지 않으므로, 역류 기체의 유량은 계량 오리피스(57)에 의해 완전히 제어될 수 있다. 이 조립체의 제3 작동 상태에 있어서, 온/오프 밸브(58)는 폐쇄되고, 흡착 용기들 사이의 흐름은 그 상대 압력에 상관없이 발생하지 않는다.
역지 밸브(56)와 계량 오리피스(57)의 기능은 흐름 제어 밸브 등의 단일 구성 요소로 조합될 수도 있다. 흐름 제어 밸브와 온/오프 밸브의 조합하면, 구동 복잡성이 덜 하고, 상호 연결부의 개수가 적고, 다른 시스템보다 비용이 적게 된다. 도 6b에 도시된 가변 오리피스 요부를 고정 오리피스로 대체함으로써 추가로 간소화될 수 있다.
본 발명의 개선된 생성물 흐름 제어 방법은 본 발명의 매니폴드 장치에 유리하게 조합되어 생성 기체 흐름을 제어하는 매우 간단한 장치를 형성할 수 있다. 그러한 구성에 있어서, 동일한 유형의 온/오프 밸브가 사용되지만, 유체 채널(2)과 플리넘 캐비티(1) 사이에는 흡착 용기(20)와 연통하는 역지 밸브가 개재되어야 한다. 여러 유형의 적절하고 콤팩트한 역지 밸브는 당업계에 공지되어 있고, 리드 밸브와 카트리지 밸브를 포함한다. 도 7은 역지 밸브의 특히 바람직한 실시예를 포함하는 본 발명의 밸브 매니폴드 조립체의 단면도를 도시하고 있다. 도 7의 단면도에 도시된 바와 같이, 온/오프 밸브(31)는 밸브 포트(5)에 삽입된다. 여기에 단순화한 형태로 도시된 밸브 스템과 시일(61)은 밸브 시트(62)와 접촉한다. 이 위치에서, 밸브 시일과 밸브 시트는 내부 갤러리(4)를 통한 유체 채널(2)과 플리넘 캐비티(1) 사이의 흐름을 방지한다. 본 발명의 특히 바람직한 역지 밸브는 밸브 시일(61)을 둘러싸는 밀봉컵(63)과, 상기 밀봉컵을 시트 영역에 대해 편향시키는 밀봉 스프링(64)을 구비한다.
도 8은 압축 및 정제된 생성 기체가 플리넘 캐비티(1)로부터 갤러리(4)를 통해 유체 채널(2)로 유동하는 흡착 단계 중에 본 발명의 역지 밸브의 도시를 비롯하여 도 7에 도시된 매니폴드의 다른 단면도를 보여주고 있다. 이 구성에 있어서, 온/오프 밸브 시일 조립체(61)는 밸브 액츄에이터에 의해 상승되어 있고, 밀봉컵(63)은 유체 압력에 의해 시트 영역(62)에서 상승되어 있다. 밀봉 스프링(64)은 압력에 의해 압축된다. 밀봉 스프링을 선택하면, 조립체의 흐름에 대한 저항, 이에 따라 조립체를 통한 압력 강하가 결정된다. 역지 밸브 조립체에 낮은 압력 강하를 부여하기 위해서는 스프링 상수가 낮은 밀봉 스프링이 바람직하다.
도 9는 PSA 사이클의 역류 흐름 단계 중에 본 발명의 역지 밸브의 도시를 비롯하여 도 7에 도시된 매니폴드의 다른 단면도를 보여주고 있다. 이 단계 중에, 유체 채널(2) 내에서의 생성물 압력은 플리넘 캐비티(1)의 내압보다 높다. 따라서, 스프링(64)에 대해 시트 영역(62)에서 밀봉컵(63)을 상승시키는 압력이 존재하지 않는다. 온/오프 밸브 시일(61)은 그 액츄에이터에 의해 시트 영역에서 상승되어 있다. 밀봉컵(63)에는 흐름 계량 오리피스(65)가 마련되어 생성물이 채널(2)로부터 플리넘 캐비티(1)로 흐르게 한다. 흐름 계량 오리피스(65)는 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 하나 이상의 포트 형태로 형성될 수 있고, 또는 흐름 계량 오리피스는 밸브 스템과 밀봉컵 사이에 간극을 제공하거나 밀봉컵과 시트 영역의 접합점에 갭, 구멍 또는 다른 요부를 제공함으로써 구성될 수 있다. 또한, 이들 구성의 임의의 조합을 본 발명에 따른 흐름 계량 오리피스로서 채용할 수도 있다. 여기에 도시된 역지 밸브의 특히 바람직한 실시예는 2개의 부품만을 이용하는 특별한 이점을 갖는데, 그 각각은 간단한 형태를 갖고 쉽게 제조될 수 있다.
본 발명의 밸브는 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않고 캐비티 내의 흐름을 제한하지 않도록 구성된다는 것을 유념해야 한다. 상기 밸브는 단순히 통로를 통해 캐비티와 채널 사이의 유체 흐름을 제어하도록 구성된다. 따라서, 임의의 소정 밸브가 고장나더라도, 채널을 따라 흐르는 흐름과 캐비티 내의 흐름이 필요에 따라 유지될 수 있다.
상기 실시예들 중 임의의 실시예를 이용하여, 생성물 흐름을 제어하는 본 발명의 방법은 와그너, 바타, 푸더러 등 및 다른 PSA 시스템의 교시에 비해 구동식 밸브의 개수를 유리하게 감소시킨다. 이 밸브 개수의 감소는 신뢰성을 증가시키면서 비용 및 복잡성을 감소시킨다. 또한, PSA 제어 시스템의 복잡성을 감소시킨다.
본 발명의 매니폴드 장치는 실질적으로 다수의 방법으로 임의의 PSA 시스템을 개선시킨다. 먼저, 밸브들 사이의 배관 및 분기에서의 데드 용적이 크게 저감되기 때문에 소정 작동 조건에서 생성물 복구가 증가된다. 둘째로, 밸브 조립체의 기계적 복잡성이 감소되고, 이에 대응하여 제조의 어려움 및 누설 가능성이 감소된다. 셋째로, 밸브 및 배관 질량 및 용적의 감소는 PSA 시스템의 풋프린트 및 질량을 감소시킴으로써, 흡착 용기에 가해지는 기계적 하중 및 지지 구조체의 필요성을 저감시킨다. 더욱이, 매니폴드 조립체는 지지 구조체와 흡착 용기 사이의 모멘트를 제거하는 핀 체결식 연결부를 이용하는 구조적 지지 수단을 제공한다. 이들 모멘트의 제거는 유리하게는 용기 상의 응력을 감소시켜, 적절한 상승 시간을 달성하기 위하여 요구되는 용기 재료 사용량을 감소시키게 된다.
흐름 도관 요부와 하나 이상의 용기용 밸브 포트를 조합한 본 발명의 매니폴드 장치의 사용은 또한 다른 시스템에 비해 전체의 복잡성, 용적 및 질량을 감소시킬 수 있다. 또한, 그러한 일체식 매니폴드는 캠샤프트 또는 기어 트레인 등의 기계적 수단을 통한 밸브 구동을 가능하게 함으로써, 제어 시스템의 복잡성 및 비용을 추가로 저감시킨다. 시일과 시트 사이에 선형 이동하는 밸브를 사용하는 본 발명의 매니폴드 장치의 바람직한 실시예에서, 이들 이점은 회전 밸브 시스템에서 채용한 슬라이딩 시일을 제거하면서 제공된다. 슬라이딩 시일의 제거는 생성물의 복구 및 순도의 향상과 신뢰성 증가를 용이하게 한다. 또한, 밸브가 독립적으로 구동되면, 본 발명의 PSA 시스템은 작동 중에 변하는 이송 조건에 최적화될 수 있다.
본 발명의 개선된 생성물 흐름 제어 방법을 본 발명의 매니폴드 장치에 조합하면, PSA 시스템은 더욱 개선된다. 이들 개선은 구동식 밸브 사용량의 감소, 제어 시스템의 복잡성 감소, 신뢰성 증가 및 시스템 제조의 복잡성 및 비용의 급격한 저감을 포함한다.
본 발명의 방법 및 장치의 가장 두드러진 특징은 거의 모든 PSA 시스템에 광범위하게 적용될 수 있다. 또한, 장치 및 방법 양자는 유리하게는 임의의 생성 용량의 PSA 시스템에 적용될 수도 있다. 2000년 6월 29일자로 출원된 미국 가출원 제60/214,737호, 2000년 6월 7일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/588,575호, 2000년 8월 21일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/642,008호, 2001년 8월 14일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/928,437호, 2002년 3월 15일자로 출원된 미국 특허 출원 제10/097,745호 각각의 전체 개시 내용과, 현재 본 출원과 함께 출원된 Franklin D. Lomax, Jr.의 발명의 명칭이 "복잡성이 감소된 높은 복구율의 PSA 사이클 및 장치(high recovery PSA cycles and apparatus with reduced complexity)"인 특허 출원은 참조로서 그 전체가 본 명세서에 합체된다.
본 명세서에 도시 및 설명된 모범적인 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 기술하며, 어떠한 방식으로도 청구 범위의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다는 것을 유념해야 한다.
상기 교시의 견지에서 본 발명의 수많은 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 첨부된 청구 범위의 범주 내에서, 본 발명은 본 명세서에 구체적으로 설명된 것과 달리 실시될 수도 있다는 것을 이해해야 한다.
Claims (57)
- 하나 이상의 압력 용기를 구비한 압력 진동 흡착 시스템용 밸브 매니폴드로서,제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비하는 본체로서, 상기 제1 캐비티는 하나 이상의 압력 용기에 유체 연결 가능하고, 상기 제1 통로는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 본체와,상기 제1 통로 내에 마련된 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제1 밸브와,다른 압력 용기에 유체 연결 가능한 상기 본체 내의 제2 캐비티로서, 상기 본체는 상기 제1 채널을 상기 제2 캐비티에 연결하는 제2 통로를 구비하는 것인 제2 캐비티와,상기 제2 통로 내에 마련된 제2 밸브로서, 상기 제1 채널과 상기 제2 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제2 밸브를 포함하고,상기 제1 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 제3 통로와 제2 채널을 구비하고, 상기 제3 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하며,상기 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하고, 상기 제3 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티에 병렬식 흐름 연결을 제공하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티의 동일한 측면에 연결되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 제3 통로를 구비하고,상기 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하며, 상기 제3 밸브는 상기 제3 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제5항에 있어서, 상기 본체는 제2 채널과 제4 통로를 구비하고, 상기 제4 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하며,상기 밸브 매니폴드는 상기 제4 통로 내에 마련된 제4 밸브를 더 포함하며, 상기 제4 밸브는 상기 제4 통로를 통한 상기 제2 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 제2 채널, 제3 통로 및 제4 통로를 구비하고, 상기 제3 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하고, 상기 제4 통로는 상기 제2 채널을 상기 제2 캐비티에 연결하며,상기 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하고, 상기 제3 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되며,상기 밸브 매니폴드는 상기 제4 통로 내에 마련된 제4 밸브를 더 포함하고, 상기 제4 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제2 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제8항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티와 제2 캐비티 사이에 병렬식 흐름 연결을 제공하도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 캐비티 내의 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 제1 캐비티에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 제1 통로에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 제1 채널에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 밸브 매니폴드.
- 하나 이상의 압력 용기를 구비한 압력 진동 흡착 시스템용 밸브 매니폴드로서,제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비하는 본체로서, 상기 제1 캐비티는 하나 이상의 압력 용기에 유체 연결 가능하고, 상기 제1 통로는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 본체와,상기 제1 통로 내에 마련된 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제1 밸브를 포함하고,상기 밸브 매니폴드는 하나 이상의 압력 용기에 견고하게 연결 가능하고,상기 밸브 매니폴드는 지지 구조체에 연결 가능한 핀 저널을 구비한 장착 보스를 더 포함하는 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 통로는 제1 밸브가 수용되는 밸브 포트와 밸브 시트를 포함하는 것인 밸브 매니폴드.
- 제16항에 있어서, 상기 밸브 시트는 상기 밸브 포트와 중심이 같은 것인 밸브 매니폴드.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 밸브는, 상기 제1 채널이 상기 제1 캐비티로부터 밀봉되는 상기 제1 통로의 밸브 시트와의 밀봉 접촉 위치와 상기 밸브 시트와의 비접촉 위치 사이에서 선택적으로 구동되도록 구성되는 밸브 시일을 포함하고, 상기 제1 밸브는 계량 오리피스를 구비한 추가 밀봉 부재를 더 포함하는 것인 밸브 매니폴드.
- 하나 이상의 압력 용기를 구비한 압력 진동 흡착 시스템용 밸브 매니폴드로서,제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비하는 본체로서, 상기 제1 캐비티는 하나 이상의 압력 용기에 유체 연결 가능하고, 상기 제1 통로는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 본체와,상기 제1 통로 내에 마련된 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제1 밸브를 포함하고,상기 제1 밸브는,역지 밸브와,상기 역지 밸브와 병렬로 마련된 계량 오리피스와,상기 역지 밸브 및 계량 오리피스와 직렬로 마련된 온/오프 밸브를 구비하는 것인 밸브 매니폴드.
- 제19항에 있어서, 상기 역지 밸브는 상기 온/오프 밸브를 내부에 수용하도록 구성되는 밀봉컵을 구비하고,상기 계량 오리피스는 상기 밀봉컵을 통하도록 마련되며,상기 밀봉컵은 상기 제1 통로 내에 마련된 밸브 시트를 향해 편향된 스프링인 것인 밸브 매니폴드.
- 제19항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 통로 내에 마련된 밸브 시트와 접촉 및 비접촉 상태가 되도록 온/오프 밸브를 선형으로 구동시키도록 구성되는 원동 장치를 포함하는 것인 밸브 매니폴드.
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- 제1 개구를 구비한 제1 압력 용기와,제2 개구를 구비한 제2 압력 용기와,제1 밸브 매니폴드를 구비하는 압력 진동 흡착 시스템으로서,상기 제1 밸브 매니폴드는,제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비한 제1 본체로서, 상기 제1 캐비티는 상기 제1 압력 용기의 상기 제1 개구에 유체 연결되고, 상기 제1 통로는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 제1 본체와,상기 제1 통로 내에 마련된 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 상기 제1 밸브와,상기 제2 압력 용기의 제2 개구에 유체 연결되는 상기 제1 본체의 제2 캐비티로서, 상기 제1 본체가 상기 제1 채널을 상기 제2 캐비티에 연결하는 제2 통로를 더 구비하는 것인 제2 캐비티와,상기 제2 통로 내에 마련된 제2 밸브로서, 상기 제1 채널과 상기 제2 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제2 밸브를 포함하며상기 제1 밸브가 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체는 제3 통로와 제2 채널을 구비하고, 상기 제3 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하며,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하고, 상기 제3 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제24항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티에 병렬식 흐름 연결을 제공하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제24항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티의 동일한 측면에 연결되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 제3 통로를 구비하고,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하며, 상기 제3 밸브는 상기 제3 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제27항에 있어서,상기 제1 본체는 제2 채널과 제4 통로를 포함하고, 상기 제4 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하며,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제4 통로 내에 마련된 제4 밸브를 더 구비하고, 상기 제4 밸브는 상기 제4 통로를 통한 상기 제2 채널과 제1 캐비티 사이의 유체 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
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- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체에는 제2 채널, 제3 통로 및 제4 통로를 포함하고, 상기 제3 통로는 상기 제2 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하고, 상기 제4 통로는 상기 제2 채널을 상기 제2 캐비티에 연결하며,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브를 더 포함하고, 상기 제3 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되며,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제4 통로 내에 마련된 제4 밸브를 더 포함하고, 상기 제4 밸브는 상기 제2 채널과 상기 제2 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제30항에 있어서, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널은 상기 제1 캐비티와 상기 제2 캐비티 사이에 병렬식 흐름 연결을 제공하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제2 밸브는 상기 제2 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제2 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
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- 제23항에 있어서,제3 개구를 가지는 제3 압력 용기와, 제4 개구를 가지는 제4 압력 용기를 더 포함하고,상기 제1 밸브 매니폴드의 상기 제1 몸체는 제3 캐비티, 제3 통로, 제4 캐비티 및 제4 통로와, 상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브와, 상기 제4 통로 내에 마련된 제4 밸브를 더 포함하고,상기 제3 캐비티는 상기 제3 압력 용기의 상기 제3 개구에 유체 연결되고, 상기 제3 통로는 상기 제1 채널을 상기 제3 캐비티에 연결하며, 상기 제4 캐비티는 상기 제4 압력 용기의 상기 제4 개구에 유체 연결되고, 상기 제4 통로는 상기 제1 채널을 상기 제4 캐비티에 연결하며,상기 제3 밸브는 상기 제3 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제3 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되고,상기 제4 밸브는 상기 제4 통로를 통한 제1 채널과 제4 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제37항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제1 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되며,상기 제2 밸브는 상기 제2 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제2 밸브는 상기 제2 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되며,상기 제3 밸브는 상기 제3 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제3 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되며,상기 제4 밸브는 상기 제4 캐비티를 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되고,상기 제4 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제2 밸브는 상기 제1 채널을 따라 흐르는 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 캐비티 내의 흐름을 제한하지 않도록 구성되는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체는 상기 제1 캐비티에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체는 상기 제1 통로에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 본체는 상기 제1 채널에 연결된 센서 포트를 더 구비하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제1 개구를 구비한 제1 압력 용기와, 제1 밸브 매니폴드를 포함하는 압력 진동 흡착 시스템으로서,상기 제1 밸브 매니폴드는,제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비한 제1 본체로서, 상기 제1 캐비티는 상기 제1 압력 용기의 제1 개구에 유체 연결되고, 상기 제1 통로는 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 제1 본체와,상기 제1 통로 내에 마련된 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제1 밸브를 포함하며,상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제1 압력 용기에 견고하게 연결되고,상기 제1 밸브 매니폴드는 지지 구조체에 연결 가능한 핀 저널을 구비하는 제1 장착 보스를 더 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 압력 용기는 제3 개구를 구비하고,상기 압력 진동 흡착 시스템은 제2 밸브 매니폴드를 더 포함하고,상기 제2 밸브 매니폴드는,제3 캐비티, 제3 통로 및 제2 채널을 구비하는 제2 본체로서, 상기 제3 캐비티는 상기 제1 압력 용기의 상기 제3 개구에 유체 연결되며, 상기 제3 통로는 상기 제2 채널을 제3 캐비티에 연결하는 것인 제2 본체와,상기 제3 통로 내에 마련된 제3 밸브로서, 상기 제3 통로를 통한 상기 제2 채널과 상기 제3 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 것인 제3 밸브를 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제45항에 있어서, 상기 제1 밸브 매니폴드는 상기 제1 압력 용기에 견고하게 연결되고,상기 제1 밸브 매니폴드는 지지 구조체에 피봇 연결 가능한 핀 저널을 구비한 제1 장착 보스를 더 포함하며,상기 제2 밸브 매니폴드는 상기 제1 압력 용기에 견고하게 연결되고,상기 제2 밸브 매니폴드는 지지 구조체에 피봇 연결 가능한 연결구에 피봇 연결되는 핀 저널을 구비한 제2 장착 보스를 더 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 통로는 상기 제1 밸브가 수용되는 밸브 포트와 밸브 시트를 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제47항에 있어서, 상기 밸브 시트는 상기 밸브 포트와 중심이 같은 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 제1 밸브는, 상기 제1 채널이 상기 제1 캐비티로부터 밀봉되는 상기 제1 통로의 밸브 시트와의 밀봉 접촉 위치와 상기 밸브 시트와의 비접촉 위치 사이에서 선택적으로 구동되도록 구성되는 밸브 시일을 포함하고, 상기 제1 밸브는 계량 오리피스를 구비하는 추가 밀봉 부재를 더 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제1 개구를 가지는 제1 압력 용기와, 제1 밸브 매니폴드를 포함하는 압력 진동 흡착 시스템으로서,상기 제1 밸브 매니폴드가제1 캐비티, 제1 통로 및 제1 채널을 구비한 제1 본체로서, 상기 제1 캐비티가 상기 제1 압력 용기의 상기 제1 개구에 유체 연결되고 상기 제1 통로가 상기 제1 채널을 상기 제1 캐비티에 연결하는 것인 제1 본체와,상기 제1 통로 내에 배치되는 제1 밸브로서, 상기 제1 통로를 통한 상기 제1 채널과 상기 제1 캐비티 사이의 흐름을 선택적으로 허용 및 제한하도록 구성되는 제1 밸브를 포함하고,상기 제1 밸브가,역지 밸브와,상기 역지 밸브와 병렬로 마련된 계량 오리피스와,상기 역지 밸브 및 계량 오리피스와 직렬로 마련된 온/오프 밸브를 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제50항에 있어서, 상기 역지 밸브는 상기 온/오프 밸브를 내부에 수용하도록 구성되는 밀봉컵을 구비하고,상기 계량 오리피스는 상기 밀봉컵을 통하도록 마련되며,상기 밀봉컵은 상기 제1 통로 내에 마련된 밸브 시트를 향해 편향된 스프링인 것인 압력 진동 흡착 시스템.
- 제50항에 있어서, 상기 제1 밸브는 상기 제1 통로 내에 마련된 밸브 시트와 접촉 및 비접촉 상태가 되도록 온/오프 밸브를 선형으로 구동시키도록 구성되는 원동 장치를 포함하는 것인 압력 진동 흡착 시스템.
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