KR101011797B1 - 전자 소자 분류 장치 - Google Patents

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KR101011797B1
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Abstract

본 발명은 전자 소자의 분류 효율을 향상시키는 전자 소자 분류 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 전자 소자 분류 장치는 외부로부터 전자 소자를 이송받는 로딩 모듈과, 지면과 평행한 수평면과 교차되는 면에서 개구되어 상기 전자 소자가 인입되는 인입구, 배출되는 배출구 및 상기 인입구와 상기 배출구 사이를 연결하는 연결 통로를 구비하는 분류 경로를 포함하고, 상기 인입구는 상기 연결 통로가 연장되는 방향과 교차하는 방향에 형성되는 수납 모듈 및 상기 로딩 모듈로부터 상기 전자 소자를 받아서, 전자 소자에 대응하는 상기 분류 경로의 인입구로 상기 전자 소자를 근접 이동시켜 배출시키는 이동 모듈을 포함한다.

Description

전자 소자 분류 장치{Apparatus for sorting electronic element}
본 발명은 전자 소자의 분류 효율을 향상시킨 전자 소자 분류 장치에 관한 것이다.
일반적으로 발광 소자나 반도체 소자 등의 전자 소자는 복수의 제조 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 전자 소자의 제조 공정을 살펴보면, 직접회로가 형성되도록 복수의 박막을 형성하고, 이를 칩 단위로 가공하는 공정과, 칩 단위의 전자 소자를 패키징하는 공정과, 패키징 완료된 전자 소자의 광학적 특성이나 전기적 특성을 측정하여 정상적인 작동 여부를 검사하는 검사 공정 및 검사 결과에 따라 전자 소자를 분류하는 공정을 포함한다.
종래의 전자 소자 분류 장치에 관하여 도 1을 참조하여 살펴보면 다음과 같다. 종래의 전자 소자 분류 장치(10)는 전자 소자(1)를 구분하여 수납하는 수납함(20)과, 분류 기준에 따라 해당 전자 소자(1)를 이동시켜 수납함(20)에 인입시키는 분류기(30)를 포함한다. 수납함(20)은 내부 저면이 곡면을 이루는 수납 몸체(22)를 포함하고, 수납 몸체(22)의 곡면에는 전자 소자(1)가 인입되어 수납되는 복수의 수납홀(24)이 형성된다. 또한, 분류기(30)는 복수의 수납홀(24) 중에서 전자 소자(1)의 분류 기준에 해당하는 수납홀(24)의 상측에 위치하도록 수평 이동되고, 해당 수납홀(24)의 상측에서 전자 소자(1)를 배출시키는 분류관(32)을 포함한다. 그런데, 종래의 전자 소자 분류 장치(10)는 분류관(32)이 수납 몸체(22)의 상측에서 수평 이동하여 복수의 수납홀(24)과 분류관(32)의 일단부, 즉 분류관(32)의 배출구 사이의 거리(L1, L2, L3)가 일정하지 않았다. 또한, 수납홀(24)의 개구인 인입구가 분류관(32)의 하측에서 경사진 형태로 대향되어 인입구의 수평 단면적(A1, A2, A3) 크기가 일정하지 않았다. 따라서, 분류관(32)의 내부를 통과하여 배출되는 전자 소자(1)가 해당 수납홀(24)에 원활하게 인입되지 못하고 다른 수납홀(24)에 인입됨에 따라 분류 기준이 각기 다른 전자 소자(1)가 혼입되는 문제점이 있었다. 즉, 전자 소자(1)의 분류 효율이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 전자 소자 분류 장치(10)에서는 분류관(32)의 배출구와 대향되는 복수의 수납홀(24)이 제한된 면적을 갖는 수납 몸체(22)의 저면에 형성되기 때문에 수납홀(24)의 형성 개수에 제한이 있었다. 따라서, 전자 소자(1)를 분류하기 위한 분류 기준의 개수가 늘어나는 경우에 수납홀(24)의 개수를 확장시키는데 한계가 있어 전자 소자(1)를 적절하게 분류시키지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명은 전자 소자의 분류 과정에서 혼입을 방지하여 전자 소자의 분류 효율을 향상시키는 전자 소자 분류 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 전자 소자의 분류 기준의 확장에 대응하여 복수의 분류별로 전자 소자를 적절하게 분류시킬 수 있는 전자 소자 분류 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 전자 소자 분류 장치는 외부로부터 전자 소자를 이송받는 로딩 모듈과, 지면과 평행한 수평면과 교차되는 면에서 개구되어 상기 전자 소자가 인입되는 인입구, 배출되는 배출구 및 상기 인입구와 상기 배출구 사이를 연결하는 연결 통로를 구비하는 분류 경로를 포함하고, 상기 인입구는 상기 연결 통로가 연장되는 방향과 교차하는 방향에 형성되는 수납 모듈 및 상기 로딩 모듈로부터 상기 전자 소자를 받아서, 전자 소자에 대응하는 상기 분류 경로의 인입구로 상기 전자 소자를 근접 이동시켜 배출시키는 이동 모듈을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전자 소자 분류 장치는 외부로부터 전자 소자를 이송받는 로딩 모듈과, 상기 전자 소자가 인입되는 인입구, 배출되는 배출구 및 상기 인입구와 상기 배출구 사이를 연결하는 연결 통로를 구비하는 분류 경로를 복수개 구비하고, 상기 복수의 분류 경로가 적어도 하나의 층상 구조로 형성되는 수납 모듈 및 상기 로딩 모듈로부터 상기 전자 소자를 받아서 상기 복수의 분류 경로 중에서 선택된 해당 분류 경로로 상기 전자 소자를 근접 이동시켜 배출시키는 이동 모듈을 포함한다.
본 발명의 실시예들에 따른 전자 소자 분류 장치에 의하면 전자 소자가 구분되어 인입되는 분류 경로를 지면에 대하여 교차하는 면 상에 형성하고, 전자 소자가 대응하는 분류 경로의 인입구로 전자 소자를 근접 이동시켜 배출함으로써 전자 소자의 분류 과정에서 혼입이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 전자 소자의 분류 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 분류 경로를 공간 상에서 용이하게 확장시킬 수 있어 전자 소자의 분류 기준이 확장되더라도, 이에 대응하여 분류 경로를 원활하게 증가시켜 복수의 분류별로 전자 소자를 적절하게 분류시킬 수 있다.
도 1은 종래의 전자 소자 분류 장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자 분류 장치의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 전자 소자 분류 장치의 측면 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 분류관의 설치 상태를 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 분류관의 인입구를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 이동 모듈의 구동 상태를 도시한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 살펴보기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자 분류 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 전자 소자 분류 장치의 측면 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 분류관의 설치 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 분류관의 인입구를 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 이동 모듈의 구동 상태를 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 전자 소자 분류 장치(1000)는 외부로부터 전자 소자(1)를 이송받는 로딩 모듈(100)과, 전자 소자(1)가 인입되는 인입구(212), 배출되는 배출구(214) 및 인입구(212)와 배출구(214) 사이를 연결하는 연결 통로(216)를 구비하는 분류 경로(210)를 포함하고, 인입구(212)는 연결 통로(216)가 연장되는 방향과 교차하는 방향에 형성되는 수납 모듈(200)과, 로딩 모듈(100)로부터 전자 소자(1)를 받아서, 전자 소자(1)에 대응하는 분류 경로(210)의 인입구(212)로 전자 소자(1)를 근접 이동시켜 배출시키는 이동 모듈(300)을 포함한다. 또한, 분류 경로(210)가 지면으로부터 이격되도록 수납 모듈(200)을 지지하는 프레임 모듈(400)을 포함한다. 프레임 모듈(400)은 분류 경로(210)로 둘러싸인 공간(S) 내에서 승강 구동(M; 도3 참조) 및/또는 회전 구동(R; 도3 참조)되는 이동 모듈(300)도 지지한다. 여기서, '지면'은 전자 소자 분류 장치(1000)가 설치되는 공장 바닥면을 포함한다. 분류 대상물인 전자 소자(1)는 분류 공정 이전의 검사 공정을 거치면서 전자 소자(1)의 전기적 특성이나 광학적 특성이 측정되고, 측정된 결과에 따라서 전자 소자(1)마다 분류 기준에 따른 등급 등이 설정된다.
전자 소자 분류 장치(1000)의 골격을 형성하는 프레임 모듈(400)은 지면에 대해 수평하게 설치되는 선반 플레이트(410)와, 선반 플레이트(410)의 하부면 모서리 부분을 수직으로 지지하여 선반 플레이트(410)를 지면으로부터 이격 배치시키는 복수의 수직 프레임(420) 및 선반 플레이트(410)의 상측에 위치하도록 이동 모듈(300)의 위치를 고정시켜 지지하는 이동 모듈 지지 프레임(430)을 포함한다. 도면에서는 지면에서 수직으로 세워지는 복수의 수직 프레임(420)을 사용하여 선반 플레이트(410)를 지지하는 것을 예시하였지만, 공장 벽면에서 수평하게 돌출되는 수평 프레임(미도시) 또는 공장 천정에 연결되는 와이어를 선반 플레이트(410)에 결합시켜 선반 플레이트(410)가 지면으로부터 이격되도록 지지할 수 있다. 위와 같은 선반 플레이트(410)의 중앙 부위에는 이동 모듈(300)의 굴절된 하단부가 선반 플레이트(410)의 하측 공간에서 승강 구동(M) 및/또는 회전 구동(R)할 수 있도록 상하로 관통되는 이동홀(412)이 형성된다. 또한, 이동홀(412)의 개방 부위를 포함하는 선반 플레이트(410)의 하부면에는 수납 모듈(200)이 결합된다.
수납 모듈(200)은 선반 플레이트(410)의 하측 공간, 구체적으로는 지면과 선반 플레이트(410) 사이의 이격 공간에서 전자 소자(1)가 분류되는 영역인 분류 공간(S)을 형성한다. 종래에는 전자 소자(1)가 분류되는 영역이 곡면을 이루는 수납 몸체(22; 도1 참조)의 내부 저면에 형성되었지만, 본 실시예에서는 전자 소자(1)가 분류되는 영역이 공간 상에 형성되어 확장이 용이하다. 따라서, 전자 소자(1)의 특성을 세분화시켜 전자 소자(1)의 분류 개수가 늘어나더라도 전자 소자(1)의 분류 공간(S)을 분할하는 분류 경로(210) 개수의 확장이 용이하여 복수의 분류별로 전자 소자(1)들을 적절하게 분류시킬 수 있다.
분류 경로(210)는 양단부에 인입구(212)와 배출구(214)가 각각 형성되고 내측에 인입구(212)와 배출구(214)를 연결하는 연결 통로(216)를 구비한 관(pipe) 형상의 분류관으로 형성된다. 미도시되었지만, 본 발명의 변형예로서 단일 몸체의 내부에 복수의 연결 통로(216)가 관통되도록 형성하여 분류 경로(210)를 형성할 수 있다. 즉, 본 발명의 일실시예에서와 같이 복수의 분류관을 수평 방향(x방향, y방향 포함) 및 수직 방향(z방향) 중 적어도 어느 하나의 방향으로 배열시켜 수납 모듈(200)을 형성할 수 있으며, 변형예에서와 같이 단일 몸체의 내부에 수평 방향(x방향, y방향 포함) 및 수직 방향(z방향) 중 적어도 어느 하나의 방향으로 복수의 연결 통로(216)가 관통되도록 형성하여 수납 모듈(200)을 형성할 수 있다. (이하, 본 발명의 일실시예에 따른 '분류 경로(210)'를 형성할 수 있는 분류관에 동일한 도면 부호를 병기한다.)
본 발명의 일실시예에 따른 수납 모듈(200)은 전자 소자(1)가 구분되어 인입되는 복수의 분류관(210)과, 복수의 분류관(210)의 인입구(212)가 선반 플레이트(410)의 하측 공간에서 동일 지점을 수평하게 향하도록 배치되어 환형(ring shape) 몸체를 형성하며, 이러한 환형 몸체가 지면에 대하여 수직인 상하 방향(z방향)을 따라 적어도 하나 이상 결합되는 분류통(220)과, 분류통(220)을 형성하는 복수의 분류관(210) 중에서 전자 소자(1)에 대응하는 해당 분류관(210')으로 인입된 전자 소자(1)를 동일한 분류 기준, 예를 들어 전자 소자(1)의 광학적 특성 또는 전기적 특성에 따른 동일한 등급끼리 수납되도록 복수의 수납 공간(232)을 제공하는 수납함(230)을 포함한다. 도면에서는 복수의 분류관(210)의 지면과 평행한 수평면 상에서 환형으로 연결되었지만, 타원형, 다각형 등으로 연결될 수 있음은 물론이다. 분류 경로를 형성하는 분류관(210)은 관(pipe) 형상으로서 양단부는 전자 소자(1)가 인입되는 인입구(212)와, 인입된 전자 소자(1)가 배출되는 배출구(214)를 각각 형성하며, 내측에는 인입구(212)와 배출구(214)를 연결하는 연결 통로(216)가 형성된다. 이때, 전자 소자(1)가 구분되어 인입되는 분류 경로(210)는, 전자 소자(1)가 분류 경로(210)의 인입구(212)로 인입된 이후 추가적인 힘을 가하지 않고서도 연결 통로(216)를 따라 배출구(214)로 이송될 수 있도록 인입구(212)를 배출구(214)보다 지면으로부터 높은 위치에 위치시켜 분류관(210)이 하향 경사지게 형성된다. 또한, 인입구(212)와 배출구(214)를 연결하는 연결 통로(216)의 길이를 연장 또는 단축시킬 수 있으며, 인입구(212)의 하향 경사진 각도를 배출구(214)의 하향 경사진 각도보다 완만하게 형성할 수 있다. 전술한 바와 같이 단일 몸체의 내부에 복수의 연결 통로(216)를 관통 형성하여 분류 경로(210)를 형성하는 경우에는 연결 통로(216)가 분류관과 마찬가지로 하향 경사지게 형성됨은 물론이다. 한편, 분류 경로(210)의 인입구(212)는 지면과 평행한 수평면(예를 들어, 선반 플레이트(410)의 설치면)과 교차하는 면에서 개구(開口)된다.
환형 몸체로 배치되는 복수의 분류관(210)을 구비한 분류통(220)은 환형 몸체의 층상 구조 또는 층상 개수에 따라서 링 형상의 몸체(도4(a) 참조) 또는 관 형상의 몸체(도4(b) 참조)로 이루어진다. 도 4(a)는 환형 몸체가 1개인 경우, 도 4(b)는 환형 몸체가 복층 구조로 결합된 경우를 나타낸다. 분류통(220)은 복수의 분류관(210)의 인입구(212)가 링 또는 원통 관 형상의 몸체의 내주면을 형성하고, 복수의 분류관(210)의 배출구(214)는 외주면을 형성한다. 이러한 분류통(220)의 상단부에는 분류통(220) 내측의 상하 개방 부위가 선반 플레이트(410)에 형성되는 이동홀(412)의 직하(直下)에 위치되도록 선반 플레이트(410)와 분류통(220)을 연결시키는 고리 형상의 연결 플레이트(222)가 결합된다. 분류통(220)은 상하 개방된 내부 공간에 전자 소자(1)가 분류되는 분류 공간(S)을 형성하는데, 분류통(220)의 내주면을 형성하는 복수의 분류관(210)의 인입구(212)는 전자 소자(1)의 대응하여 분류 공간(S)을 다시 복수의 세분화된 분류 공간(Pn; 도4(c) 참조)으로 분할한다. 여기서, 분류 공간(S)이 선반 플레이트(410)의 하측 공간을 상하로 분할하는 것이라면, 세분화된 분류 공간(Pn)은 분류 공간(S)을 환형 몸체의 중심을 기준으로 수평면 상에서 분할하는 것을 의미한다. 환형 몸체의 중심은 후술되는 이동 모듈(300)의 연장 방향(z방향)을 따라 형성되는 가상의 기준축(C) 상에 위치된다. 본 실시예에서는 분류통(220)을 형성할 때 환형 몸체 각각에 분류관(210)을 동일한 개수로 배치시켜 형성하고, 이들을 상하 방향(z방향)을 따라 결합시켰지만, 변형예로서 분류통(220)의 하부에 위치될수록 분류관(210)의 개수를 증가시켜 환형 몸체를 형성할 수 있다. 즉, 분류통(220)을 복층 구조로 형성하여 분류 공간(S)을 증가시킬 수 있고, 환형 몸체를 수평면 상에서 팽창시켜 세분화된 분류 공간(Pn)을 증가시킬 수 있다. 즉, 전자 소자(1)에 대응하여 전자 소자(1)가 분류될 수 있는 영역을 용이하게 확장시킬 수 있다.
한편, 분류통(220)의 내주면을 형성하는 복수의 분류관(210)의 인입구(212)에는 전자 소자(1)의 인입을 원활하게 하기 위하여 전자 소자(1)가 인입되는 개구를 확장시킬 수 있다. 즉, 분류관(210)의 인입구(212)에서 끝단 부위(250; 도5 참조)를 끝단 방향으로 내경(r3)을 확장시키거나 또는 끝단 부위(250)를 끝단 방향으로 상향 경사지도록 형성할 수 있다. 분류 경로를 형성하는 분류관(210) 자체의 인입구(212)의 끝단 부위(250)를 확장 또는 상향 경사지게 형성하였지만, 인입구(212)에 별도의 관형 부재를 결합시키고, 관형 부재를 확장 또는 상향 경사지게 형성할 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이 분류 경로(210)가 단일 몸체의 내부에 형성되는 경우에 단일 몸체를 관통하여 형성되는 연결 통로의 일단부가 외측을 향해 내경이 커지도록 확장시키거나 또는 외측을 향해 상향 경사지도록 형성할 수 있다. 인입구(212)의 끝단 부위(250)는 외측을 향해 인입구(212)의 내경(r2)보다 큰 크기의 내경(r3)을 갖도록 형성될 수 있다(도5(a) 참조). 또한, 끝단 부위(250)의 수직 단면에서 끝단 부위(250)의 상측 부위(252)가 이동관(310)의 하단부를 상향 경사지게 형성하고, 끝단 부위(250)의 하측 부위(254)를 수평하게 형성하거나 또는 상측 부위(252)와 동일하게 상향 경사지게 형성할 수 있다. 또한, 끝단 부위(250)의 상측 부위(252)와 하측 부위(254)를 모두 상향 경사지도록 형성하는 경우 하측 부위(254)를 상측 부위(252)의 기울어진 각도보다 완만하게 형성할 수 있다(α≥β; 도5(b) 참조). 여기서, 인입구(212)의 내경(r2) 및 끝단 부위(250)의 내경(r3)은 이격된 상태로 대향되는 이동관(310)의 내경(r1)보다 크게 형성된다. 한편, 미도시되었지만 끝단 부위(250)의 상측 부위(252)를 하측 부위(254)보다 짧게 형성하거나 반대로 끝단 부위(250)의 하측 부위(254)를 상측 부위(252)보다 길게 형성할 수 있다. 따라서, 이동관(310)의 하단부에서 배출된 전자 소자(1)를 분류관(210)의 인입구(212)로 원활하게 인입시킬 수 있다.
한편, 분류통(220) 및 분류통(220)의 하측으로 이격 설치되는 수납함(230) 사이에는 굽힘이 가능하도록 연질의 복수의 수납관(240; 도3 참조)이 구비된다. 복수의 수납관(240)은 분류통(220)의 외주면을 형성하는 복수의 분류관(210)의 배출구(214)와 수납함(230)에 형성되는 복수의 수납 공간(232)이 일대일 대응되도록 연통시킨다. 따라서, 분류관(210)에 일단 인입된 전자 소자(1)는 분류관(210)의 배출구(214) 및 수납관(240)을 차례로 통과하여 수납함(230)에 형성되는 복수의 수납 공간(232) 중에서 특정된 하나의 수납 공간 내에 수납된다. 즉, 복수의 수납 공간(232) 각각에 동일한 분류 기준을 갖는 복수의 전자 소자(1)들을 수납시킬 수 있다. 한편, 분류통(220)과 수납함(230) 사이의 이격 공간에 전자 소자(1)를 분류관(210)에 인입시키는 과정에서 전자 소자(1)가 예기치 않은 원인으로 분류관(210)에 인입되지 못하고 탈락하는 경우, 탈락된 전자 소자(1)가 수납함(230)에 바로 혼입되는 것 등을 방지하기 위하여 차단막 등의 회수 수단(280)을 구비할 수 있다.
이동 모듈(300)은 전자 소자(1)를 로딩 모듈(100)으로부터 전달받아 복수의 분류관(210) 중에서 전자 소자(1)에 대응하는 해당 분류관(210')으로 근접 이송시키고, 해당 분류관(210')에 인입되도록 배출시킨다. 이를 위해, 이동 모듈(300)은 수직 방향(z방향)으로 연장 형성되고 분류관(210)의 인입구(212)의 개구와 대향되도록 하단부가 굴절된 이동관(310)과, 분류통(220)의 내부에 형성되는 분류 공간(S)에서 이동관(310)을 상하 방향(z방향)으로 승강 구동(M)시키는 승강 구동 기기(340)와, 분류 공간(S)에서 이동관(310)의 하단부가 수평면의 궤적을 형성하도록 회전 구동(R)시키는 회전 구동 기기(330)를 포함한다. 여기서, 승강 구동 기기(340)와 회전 구동 기기(330)는 이동관(310)의 연장선상에서 선반 플레이트(410)의 상부면 일측에 구비된 이동 모듈 지지 프레임(430)에 의해서 이동관(310)의 상측에 위치 고정될 수 있다.
이동관(310)은 지면으로부터 수직으로 세워져 연장되는 관형 부재로서 로딩 모듈(100), 승강 구동 기기(340), 회전 구동 기기(330) 등과의 연결 부위를 형성하는 연결관(312, 314, 316)을 포함한다. 이동관(310)은 선반 플레이트(410)의 중앙 부위에 형성되는 이동홀(412) 및 선반 플레이트(410)의 하부면에 결합되는 분류통(220)의 분류 공간(S) 내에서 승강 구동(M) 및/또는 회전 구동(R)되며, 이동관(310)의 하단부는 분류관(210)의 인입구(212)와 대향될 수 있도록 굴절된 형상("ㄴ"자 형상)을 갖는다. 이러한 이동관(310)은 전자 소자(1)를 이송받는 로딩 모듈(100)과 연통되며, 로딩 모듈(100)에서 전달되는 전자 소자(1)를 이동관(310)의 내부에서 낙하시켜 분류관(210)의 인입구(212)로 근접 이송시키고, 분류관(210)의 인입구(212)에 인입될 수 있도록 배출시킨다.
이동관(310)의 상측에서 이동관(310)을 승강 구동(M)시키는 승강 구동 기기(340)는 모터 구동 방식, 실린더 구동 방식 등 다양한 방법을 사용하여 이동관(310)을 상하 방향(z방향)으로 왕복 구동시킬 수 있다. 예를 들어, 이동관(310)의 외주면에 이동관(310)의 연장 방향(z방향)을 따라 래크 기어(rack gear)를 형성하고, 래크 기어에 맞물리는 피니언 기어(pinion gear)를 모터 등의 구동원으로 회전시켜 상하 방향(z방향)으로 승강 구동(M)시킬 수 있다. 승강 구동 기기(340)의 상측에 연결되는 회전 구동 기기(330)는 이동관(310) 또는 이동관(310)과 연결된 승강 구동 기기(340)를 회전시킬 수 있다. 회전 구동 기기(330)는 이동관(310)의 연장 방향을 향하는 축인 가상의 기준축(C)을 회전 중심축으로 하여 이동관(310)의 만곡된 하단부를 수평면 상에서 궤적을 형성하도록 360°회전시킬 수 있다. 즉, 회전 구동 기기(330)는 이동관(310)의 굴절된 하단부를 분류통(220)의 복수의 세분화된 분류 공간(Pn) 중에서 어느 하나의 세분화된 분류 공간에 자유롭게 위치시킬 수 있다. 회전 구동 기기(330)로서 다양한 방식을 적용할 수 있다. 예를 들어, 연결관(314)의 외주면에 원형 기어나 원형 풀리 등을 결합시키고, 이와 맞물리는 기어 또는 벨트 등을 모터 등의 구동원으로 회전시켜 이동관(310)을 회전 구동(R)시킬 수 있다. 이와 같은 승강 구동 기기(340) 및/또는 회전 구동 기기(330)를 사용하여 이동관(310)의 하단부를 복수의 분류관(210) 중에서 선택된 어느 하나의 분류관(210')의 인입구(212')와 마주하도록 이동시킬 수 있다. 따라서, 전자 소자(1)를 복수의 분류관(210) 중에서 전자 소자(1)에 대응되는 해당 분류관(210')의 인입구(212')로 근접 이송시킬 수 있다.
한편, 이동 모듈(300)은 이동관(310)의 내부를 통과하는 전자 소자(1)를 보다 빠르게 이송시키기 위하여 전자 소자(1)의 낙하 방향(z방향)을 향해 이동관(310)의 내부에 공기 등의 가스를 분사하는 가스 분사 기기(320)를 포함할 수 있다. 미도시되었지만, 선반 플레이트(410)의 상부면 일측에는 승강 구동 기기(340)와 회전 구동 기기(330)에 전원을 공급하는 전원 공급 수단과, 가스 분사 기기(320)에 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 구비된다.
전술한 이동 모듈(300)에 분류 대상물인 전자 소자(1)를 전달하는 로딩 모듈(100)은 전자 소자(1)를 낙하시킬 수 있도록 이동 모듈(300)의 상단부에서 연결된다. 로딩 모듈(100)은 전자 소자(1)의 전기적 특성이나 광학적 특성이 측정되어 전자 소자(1) 각각의 분류 기준을 설정하는 검사 장치(50)로부터 전자 소자(1)를 이송받는 도입기(110)와, 이송받은 전자 소자(1)의 분류 기준을 확인하는 센서(500) 및 센서(500)에서 확인된 전자 소자(1)의 분류 기준에 따라 이동 모듈(300)의 구동을 제어하는 제어기(600)를 포함한다. 미도시되었지만, 로딩 모듈(100)에 전자 소자(1)를 이송하기 위해 전자 소자(1)를 픽업(pick up)할 수 있는 로봇 암(robot arm) 등을 포함할 수 있다.
제어기(600)는 회전 구동 기기(330)와 승강 구동 기기(340)의 구동을 제어하여 이동관(310)의 하단부의 위치를 조절하고, 가스 분사 기기(320)를 제어하여 가스의 분사 속도, 분사량 등을 조절할 수 있다. 상하로 연결되는 복수의 환형 몸체에서 환형 몸체마다 분류관(210)의 인입구(212)와 이동관(310)의 하단부 사이의 이격 거리가 다른 경우에는 전자 소자(1)의 배출 속도를 다르게 하기 위해 가스 분사 기기(320)는 제어기(600)에 의해 제어된다. 예를 들어 분류관(210)의 인입구(212)와 이동관(310)의 굴절된 하단부 사이의 이격 거리가 복층 구조의 환형 몸체에서 점점 커지는 경우, 전자 소자(1)의 배출 속도를 증가시키기 위해서 가스의 분사 속도 또는 분사량이 증가된다.
한편, 센서(500)는 이동관(310)의 하단부 일측에 부착되는 거리 감지 센서(미도시)를 포함할 수 있다. 거리 감지 센서는 분류관(210)의 인입구(212)와 이동관(310)의 하단부 사이의 이격 거리를 측정하며, 거리 감지 센서에서 측정된 값은 제어기(600)에 전송된다. 센서(500)는 프레임 모듈(400)의 일측에 부착될 수 있으며, 검사 장치(50)로부터 도입기(110)에 전자 소자(1)가 이송되는 순간 전자 소자(1)의 분류 기준을 확인하고, 확인된 정보를 제어기(600)로 전송한다. 제어기(600)는 확인된 전자 소자(1)에 대한 정보를 기반으로 이동관(310)의 굴절된 하단부가 복수의 분류관(210) 중에서 전자 소자(1)에 대응하는 해당 분류관(210')의 인입구(212')에 대향되도록 이동 모듈(300)을 구동시킨다. 이동관(310)의 하단부가 대응 위치에 도달하면 도입기(110)로 이송되는 전자 소자(1)는 이동관(310)을 따라 하측으로 이송되고, 이동관(310)의 굴절된 하단부와 대향되는 분류관의 인입구로 배출된다.
전술한 바와 같이 본 발명의 실시예들에 따른 전자 소자 분류 장치에 의하면 전자 소자가 구분되어 인입되는 분류 경로를 지면에 대하여 교차하는 면 상에 형성하고, 전자 소자가 대응하는 분류 경로의 인입구로 전자 소자를 근접 이동시켜 배출함으로써 전자 소자의 분류 과정에서 혼입이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 전자 소자의 분류 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 분류 경로를 공간 상에서 용이하게 확장시킬 수 있어 전자 소자의 분류 기준이 확장되더라도, 이에 대응하여 분류 경로를 원활하게 증가시켜 복수의 분류별로 전자 소자를 적절하게 분류시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에서는 분류 대상물로서 전자 소자를 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 다양한 소형, 박형의 부품에 대해서도 다양하게 설정될 수 있는 분류 기준에 따른 분류가 가능하다.
이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예들 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있음을 알 수 있을 것이다.
1: 전자 소자 100: 로딩 모듈
200: 수납 모듈 210: 분류관
220: 분류 경로 230: 수납함
300: 이동 모듈 310: 이동관
320: 가스 분사 기기 330: 회전 구동 기기
340: 승강 구동 기기 400: 프레임 모듈
500: 센서 600: 제어기
1000: 전자 소자 분류 장치

Claims (14)

  1. 외부로부터 전자 소자를 이송받는 로딩 모듈과;
    지면과 평행한 수평면과 교차되는 면에서 개구되어 상기 전자 소자가 인입되는 인입구, 배출되는 배출구 및 상기 인입구와 상기 배출구 사이를 연결하는 연결 통로를 구비하는 분류 경로를 구비하는 수납 모듈; 및
    상기 로딩 모듈로부터 상기 전자 소자를 받아서 상기 분류 경로의 인입구에 상기 전자 소자가 근접하도록 이동시키고, 근접된 상기 전자 소자를 상기 인입구로 배출시키는 이동 모듈;
    을 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  2. 외부로부터 전자 소자를 이송받는 로딩 모듈과;
    상기 전자 소자가 인입되는 인입구, 배출되는 배출구 및 상기 인입구와 상기 배출구 사이를 연결하는 연결 통로를 구비하는 분류 경로를 복수개 구비하고, 상기 복수의 분류 경로가 적어도 하나의 층상 구조로 형성되는 수납 모듈; 및
    상기 로딩 모듈로부터 상기 전자 소자를 받아서 상기 복수의 분류 경로 중에서 선택된 해당 분류 경로의 인입구에 상기 전자 소자가 근접하도록 이동시키고, 근접된 상기 전자 소자를 상기 해당 분류 경로의 인입구로 배출시키는 이동 모듈;
    을 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 분류 경로가 지면으로부터 이격되도록 상기 수납 모듈을 지지하는 프레임 모듈을 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 분류 경로는,
    상기 인입구가 상기 배출구보다 높게 위치되어 하향 경사지게 연장되는 상기 연결 통로를 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 인입구는 끝단 방향으로 내경을 확장시키거나 또는 끝단 방향으로 상향 경사지도록 형성되는 전자 소자 분류 장치.
    상기 인입구는 끝단 방향으로 내경을 확장시키거나 또는 끝단 방향으로 상향 경사지도록 형성되는 전자 소자 분류 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 분류 경로는,
    수평 방향 및 수직 방향을 따라서 적어도 어느 방향으로 복수 개 배열되는 전자 소자 분류 장치.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 분류 경로는,
    단일 몸체의 내부를 관통하여 형성되는 전자 소자 분류 장치.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 분류 경로는,
    상기 인입구 및 상기 배출구가 양단부에 각각 구비되는 분류관으로 형성되는 전자 소자 분류 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 수납 모듈은,
    상기 분류관의 인입구가 지면과 평행한 수평면 상에서 동일 지점을 향하도록 상기 분류관이 복수 개 연결되고, 상기 복수의 분류관이 지면과 수직한 방향을 따라 적어도 하나 이상의 층상 구조로 연결되는 전자 소자 분류 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수의 분류관은 상기 수평면 상에서 환형으로 연결되는 전자 소자 분류 장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 수납 모듈은,
    지면과 수직한 방향을 따라 하측에 연결되는 층상 구조일수록 상기 분류관의 연결 개수가 증가되는 전자 소자 분류 장치.
  12. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 이동 모듈은,
    수직 방향으로 연장 형성되고, 상기 인입구의 개구와 대향되도록 하단부가 굴절되는 이동관을 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 이동 모듈은,
    상기 이동관을 지면에 수직한 방향으로 승강시키는 승강 구동 기기와;
    상기 이동관의 연장 방향을 회전축 방향으로 하여 상기 이동관을 회전시키는 회전 구동 기기; 및
    상기 이동관의 내부에 가스를 분사하는 가스 분사 기기;
    를 포함하는 전자 소자 분류 장치.
  14. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 로딩 모듈은,
    상기 전자 소자를 이송받아 상기 이송 모듈에 전달하는 도입기와;
    상기 전자 소자의 이송을 확인하는 센서; 및
    상기 센서와 연동되어 상기 이동 모듈의 구동을 제어하는 제어기;
    를 포함하는 전자 소자 분류 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101852073B1 (ko) * 2012-09-20 2018-04-27 (주)큐엠씨 전자부품 분류장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041108A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 송기선 핸들러의 반도체소자 분리 감지장치
KR20080103892A (ko) * 2007-05-25 2008-11-28 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드 전자 부품을 테스트하고 분류하기 위한 시스템
KR20090079762A (ko) * 2008-01-18 2009-07-22 가부시키가이샤 휴모 라보라토리 부품분류장치 및 이 장치를 이용한 전자부품 특성검사분류장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041108A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 송기선 핸들러의 반도체소자 분리 감지장치
KR20080103892A (ko) * 2007-05-25 2008-11-28 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드 전자 부품을 테스트하고 분류하기 위한 시스템
KR20090079762A (ko) * 2008-01-18 2009-07-22 가부시키가이샤 휴모 라보라토리 부품분류장치 및 이 장치를 이용한 전자부품 특성검사분류장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101852073B1 (ko) * 2012-09-20 2018-04-27 (주)큐엠씨 전자부품 분류장치

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