KR101006453B1 - 유기전계 발광소자의 형성방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기물을 이용한 발광 디스플레이 내에서 산소 및 수분을 흡수하기 위해 사용되는 게터제(getter)를 부착할 시에, 상기 게터제를 부착하는 데 소요되는 공정시간을 단축시킬 수 있는 유기전계 발광소자의 형성방법에 관해 개시한다.
개시된 본 발명의 유기전계 발광소자의 형성방법은 투명성 유리기판 상에 양극용 투명전극과 절연층 및 음극 분리용 격벽을 차례로 형성하는 단계와, 음극 분리용 격벽 및 투명전극 상에 유기발광층 및 음극용 금속전극을 차례로 형성하는 단계와, 1×10-7토르의 고진공챔버 내에서 상기 음극용 금속전극 표면에 게터제를 열증착하여 보호막을 형성시켜 상기 구성 요소들에의 산소 및는 수분 침투를 차단하는 단계를 구비한다.
Description
도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 유기 발광 표시장치 제조방법에서의 게터제를 열증착하여 보호막을 형성하는 과정을 설명하기 위한 공정별 단면도.
도 3은 도 2의 A부분확대도.
도 4는 진공챔버를 도시한 도면.
본 발명은 유기전계 발광소자의 형성방법에 관한 것으로서, 구체적으로는, 유기물을 이용한 발광 디스플레이 내에서 산소 및 수분을 흡수하기 위해 사용되는 게터제(getter)를 부착할 시에, 부착하는 데 소요되는 공정시간을 단축시킬 수 있는 유기전계 발광소자의 형성방법에 관한 것이다.
유기전계 발광 소자(Organic Light-Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러화상을 구현하는 초 경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 주목받고 있다. 상기 유기전계 발광소자 내에는 외부의 수분 및 산소를 흡습하여 디스플레이의 수명을 연장시키기 위한 Ca, CaO, Ba, BaO와 같 은 파우더 또는 필름 형태의 게터제를 부착하게 된다.
종래기술에 따른 유기전계 발광소자의 게터제 부착방법으로는, 한장의 투명성 유리기판 위의 단위 디스플레이 셀에 하나씩 게터제를 부착시키는 방식을 적용하며, 이후, 접착제를 이용하여 디스플레이에 합착시킨다.
한장의 투명기판 내에는 40~50개 이상의 단위 디스플레이 셀이 형성되는데,상술한 종래의 방법을 통해서는 각각의 단위 디스플레이 셀이 일일이 게터제를 하나씩 부착시켜야 하므로, 공정시간이 연장되는 문제점이 있다.
따라서, 상기 문제점을 해결하고자, 본 발명의 목적은 게터제를 열증착법에 의해 부착함으로써, 게터제 부착에 소요되는 공정시간을 단축시킬 수 있는 유기전계 발광소자의 형성방법을 제공하려는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 유기전계 발광소자의 형성방법은 투명성 유리기판 상에 양극용 투명전극과 절연층 및 음극 분리용 격벽을 차례로 형성하는 단계와, 음극 분리용 격벽 및 투명전극 상에 유기발광층 및 음극용 금속전극을 차례로 형성하는 단계와, 1×10-7토르의 고진공챔버 내에서 상기 음극용 금속전극 표면에 게터제를 열증착하여 보호막을 형성시켜 상기 구성 요소들에의 산소 및는 수분 침투를 차단하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 게터제로는 대기의 산소 및 수분을 흡수하는 Ca, CaO, Ba 및 BaO 중 어 느 하나를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 음극용 금속전극은 1~3eV 범위의 일함수값을 가진 고분자물질을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 양극용 투명전극은 4~5eV 범위의 일함수값을 가진 물질을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 보호막과 상기 음극용 금속전극 사이에 베리어층을 형성하는 단계를 추가하는 것이 바람직하다.
상기 베리어층은 플루오르계열의 폴리머를 이용하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조로하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 게터제 부착방법을 설명한다.
도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 유기 발광 표시장치 제조방법에서의 게터제를 열증착하여 보호막을 형성하는 과정을 설명하기 위한 공정별 단면도이다. 또한, 도 3은 도 2의 A부분확대도이다. 한편, 도 4는 진공챔버를 도시한 도면이다.
본 발명의 유기전계 발광소자의 형성방법은, 도 1에 도시된 바와 같이, 먼저, 투명성 유리기판(21) 상에 양극용 투명전극(22)과 절연층(23) 및 음극 분리용 격벽(24)을 차례로 형성한다. 이때, 상기 양극용 투명전극(22)은 4~5eV 범위의 일함수값을 가진 물질을 이용한다.
이어, 상기 음극 분리용 격벽(24) 및 투명전극(22) 상에 유기발광층(25) 및 음극용 금속전극(26)을 차례로 형성한다. 이때, 상기 음극용 금속전극(26)은 1~3eV 범위의 일함수값을 가진 고분자물질을 이용한다.
그런 다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 1×10-7토르(Torr) 정도의 고진공 상태를 유지하고 있는 진공챔버(10)를 제공한다. 상기 진공챔버(10)는 상부에는 도 1의 공정이 완료된 게터제가 부착될 투명기판(20)이 장착되고, 하부에는 보우트(boat) 형태 또는 도가니(cruciable) 형태의 증발용기(30)가 장착된다.
이후, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 이러한 증발용기(30)에 게터제를 일정량 담은 다음, 1×10-7토르 정도의 고진공 하에서 열을 가하게 되면 상기 증발용기(30) 내의 게터제는 기화한다. 상기 기화된 게터제는, 투명성 유리기판(20) 위에, 정확히는 위에 유리기판(20) 위의 음극용 금속전극(26) 표면에 증착되어 보호막(28)을 형성한다. 이때, 상기 게터제로는 산소 및 수분을 흡수하는 성질을 가진 파우더(power) 형태의 Ca, CaO, Ba 및 BaO 중 어느 하나를 이용한다.
여기서, 보호막(28)은 상기 구성 요소들에의 산소 및는 수분 침투를 차단하는 역할을 하며, 한장의 투명기판 내의 40~50개 이상인 단위 디스플레이 셀에 동시에 형성된다.
한편, 상기 보호막(28)의 게터제에 흡수된 산소 및 수분이 하부의 음극용 금속전극(26)에 영향을 미칠 우려가 있기 때문에, 상기 보호막(28)과 상기 음극용 금속전극(26) 사이에 베리어층(27)을 형성할 수도 있다.
여기서, 베리어층(27)으로는 플루오르계열의 폴리머(Fluoro-polymer)를 이용한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 형성방법은 게터제를 단위 디스플레이 셀에 동시에 열증착방식으로 부착시킴으로써, 단위 디스플레이 셀에 일일이 게터제를 부착하는 기존에 비해 공정시간이 단축되는 이점이 있다. 이로써, 제품의 생산율이 향상된다.
Claims (6)
- 투명성 유리기판 상에 양극용 투명전극과 절연층 및 음극 분리용 격벽을 차례로 형성하는 단계와,상기 음극 분리용 격벽 및 투명전극 상에 유기발광층 및 음극용 금속전극을 차례로 형성하는 단계와,1×10-7토르의 고진공챔버 내에서 상기 음극용 금속전극 표면에 게터제를 열증착하여 보호막을 형성시켜 상기 구성 요소들에의 산소 및 수분 침투를 차단하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 게터제는 대기의 산소 및 수분을 흡수하는 Ca, CaO, Ba 및 BaO 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 음극용 금속전극은 1~3eV 범위의 일함수값을 가진 고분자물질을 이용하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 양극용 투명전극은 4~5eV 범위의 일함수값을 가진 물질을 이용하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 보호막과 상기 음극용 금속전극 사이에 베리어층을 형성하는 단계를 추가하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
- 제 5항에 있어서, 상기 베리어층은 플루오르계열의 폴리머를 이용하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 형성방법.
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