KR101006433B1

KR101006433B1 - 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 기판

Info

Publication number: KR101006433B1
Application number: KR1020030037595A
Authority: KR
Inventors: 김희섭; 유두환; 오준학; 김종래; 홍성규; 양영철
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-06-11
Filing date: 2003-06-11
Publication date: 2011-01-06
Also published as: KR20040106758A

Abstract

제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단을 가지는 공통 전극, 안쪽면이 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판, 제2 절연기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선, 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단과 45°각도를 이루는 복수의 선형 홈을 가지는 보호막, 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극, 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판, 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판, 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층을 포함하는 액정 표시 장치를 마련한다.

액정표시장치, 수직배향, 수평배향, 홈, 시인성

Description

액정 표시 장치 및 그에 사용되는 기판{Liquid crystal display and substrate for the same}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 색필터 기판의 배치도이고,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고,

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이고,

도 5 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 5매 마스크 공정으로 제조하는 공정을 순서대로 나타내는 단면도이고,

도 10a, 10b 내지 도 15a, 15b는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 4매 마스크 공정으로 제조하는 공정을 순서대로 나타내는 단면도이다.

도 16는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이고,

도 17은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이고,

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 특히 광시야각을 확보한 수직 배향 모드 액정 표시 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 일반적으로 공통 전극과 색 필터(color filter) 등이 형성되어 있는 상부 기판과 박막 트랜지스터와 화소 전극 등이 형성되어 있는 하부 기판 사이에 액정 물질을 주입해 놓고 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현하는 장치이다.

그런데 액정 표시 장치는 시야각이 좁은 것이 중요한 단점이다. 이러한 단점을 극복하고자 시야각을 넓히기 위한 다양한 방안이 개발되고 있는데, 그 중에서도 전계가 인가되지 않은 상태에서 액정 분자의 장축을 상하 기판에 대하여 수직으로 배향하고 화소 전극과 그 대향 전극인 공통 전극에 일정한 개구 패턴을 형성하거나 돌기를 형성하는 방법이 유력시되고 있다.

개구 패턴을 형성하는 방법으로는 화소 전극과 공통 전극에 각각 개구 패턴을 형성하여 이들 개구 패턴으로 인하여 형성되는 프린지 필드(fringe field)를 이용하여 액정 분자들이 눕는 방향을 조절함으로써 시야각을 넓히는 방법이 있다.

돌기를 형성하는 방법은 상하 기판 위에 형성되어 있는 화소 전극과 공통 전 극 위에 각각 돌기를 형성하여 둠으로써 돌기에 의하여 왜곡되는 전기장을 이용하여 액정 분자의 눕는 방향을 조절하는 방식이다.

또 다른 방법으로는, 하부 기판 위에 형성되어 있는 화소 전극에는 개구 패턴을 형성하고 상부 기판에 형성되어 있는 공통 전극 위에는 돌기를 형성하여 개구 패턴과 돌기에 의하여 형성되는 프린지 필드를 이용하여 액정의 눕는 방향을 조절함으로써 소도메인을 형성하는 방식 등이 있다.

그런데, 이러한 도메인 분할형 액정 표시 장치에서는 도메인의 단변 부근에서 액정 분자의 배열이 흩어짐으로 인하여 텍스쳐가 발생한다. 텍스쳐는 휘도를 감소시키고 화질을 저하시킨다. 또한 도메인 분할 수단으로 형성하는 절개 패턴나 돌기 등으로 인하여 개구율이 저하된다. 개구율의 저하는 휘도의 감소로 이어진다. 또한, 액정 분자가 수직으로만 거동하기 때문에 측면 시인성이 충분하지 못하다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 수직 배향 모드 액정 표시 장치의 측면 시인성을 향상시키는 것이다.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 전극 패턴과 전극 패턴 사이에 전극패턴과 45°각도로 선형 홈을 배치한다.

구체적으로는, 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판, 상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단 을 가지는 공통 전극, 안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판, 제2 절연기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 포함하는 게이트선, 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선, 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단과 45°의 경사각으로 나란하게 다수의 선형 홈을 가지는 보호막, 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극, 상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층을 포함하는 액정 표시 장치를 마련한다.

이때, 상기 선형 홈은 게이트선 또는 데이터선과 수직이 되게 형성하는 것이 바람직하다.

또, 상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행이 되게 형성하는 것이 바람직하다.

또, 상기 제1 도메인 분할 수단과 제2 도메인 분할 수단은 절개 패턴 또는 돌기 패턴 중 어느 하나를 각각 선택하여 형성하는 것이 바람직하다.

또는, 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판, 상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 화소 영역을 구획하는 블랙 매트릭스, 상기 화소 영역 각각에 형성되어 있는 색 필터, 상기 색 필터 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단을 가지는 공통 전극, 안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판, 상기 제2 절연 기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 포함하는 게이트선, 상기 제2 절연 기판 위에 형성되어 있는 유지 전극선, 상기 게이트선 및 유지 전극선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 게이트 전극에 인접하는 소스 전극 및 상기 게이트 전극에 대하여 상기 소스 전극의 맞은편에 위치하는 드레인 전극을 포함하는 데이터선, 상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단과 45°의 경사각으로 나란하게 다수의 선형 홈을 가지는 보호막, 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극, 상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판, 상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층을 포함하는 액정 표시 장치를 제공한다.

이때, 상기 색 필터와 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 오버코트막을 더 포함할 수 있다.

또, 보호막과 화소 전극 사이에 유기막을 더 포함할 수 있으며 이 경우에는 유기막에 선형홈을 형성할 수 있다.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나 타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 색필터 기판의 배치도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이다.

액정 표시 장치는 하부 기판(110)과 이와 마주보고 있는 상부 기판(210) 및 하부 기판(110)과 상부 기판(210) 사이에 주입되어 기판(110, 210)에 대하여 수직으로 배향되어 있는 액정 분자를 포함하는 액정층(3)으로 이루어진다.

유리등의 투명한 절연 물질로 이루어진 하부 기판(110) 위에는 ITO(indium tin oxide)나 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있으며 제1 도메인 분할 수단(91, 92, 93, 94, 95, 96)을 가지고 있는 화소 전극(190)이 형성되어 있고, 각 화소 전극(190)은 박막 트랜지스터에 연결되어 화상 신호 전압을 인가 받는다. 이 때, 박막 트랜지스터는 주사 신호를 전달하는 게이트선(121) 과 화상 신호를 전달하는 데이터선(171)에 각각 연결되어 주사 신호에 따라 화소 전극(190)을 온(on)오프(off)한다. 또, 하부 기판(110)의 아래 면에는 하부 배향막(11)과 하부 편광판(12)이 순차적으로 부착되어 있다. 여기서, 화소 전극(190)은 반사형 액정 표시 장치인 경우 투명한 물질로 이루어지지 않을 수도 있고, 이 경우에는 하부 편광판(12)도 불필요하게 된다.

역시 유리등의 투명한 절연 물질로 이루어진 상부 기판(210)의 아래 면에 빛샘을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(220)와 적(R), 녹(G), 청(B)의 색필터(230) 및 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 여기서, 공통 전극(270)에는 제2 도메인 분할 수단(271, 272, 273, 274, 275, 276)이 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(220)는 화소 영역의 둘레 부분뿐만 아니라 공통 전극(270)의 제2 도메인 분할 수단(271, 272, 273, 274, 275, 276)과 중첩하는 부분에도 형성할 수 있다. 이는 제1 및 제2 도메인 분할 수단이 절개 패턴으로 형성되었을 경우에 절개 패턴으로 인하여 발생하는 빛샘을 방지하기 위함이다. 또, 상부 기판의 위에 면에는 상부 편광판이 배치되어 있다.

그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.

[제1 실시예]

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 액정 표시 장치는 하부 절연 기판(110)의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 하부 편광판(12), 안쪽면이 하부 절연 기판(110)의 안쪽면과 마주보고 있는 상부 절연 기판(210), 상부 절연 기판(210)의 바깥쪽면에 배치되어 있는 상부 편광판(22), 및 하부 절연 기판(110)과 상부 절연 기판(210) 사이에 주입되어 기판(110, 210)에 대하여 수직으로 배향되어 있는 액정 분자를 포함하는 액정층(3)으로 이루어진다.

하부의 절연 기판(110) 위에 가로 방향으로 게이트선(121)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 가로 방향으로 길게 형성되어 있으며, 게이트선(121)의 일부분인 게이트 전극(124)을 포함한다. 이때, 게이트선(121)의 한쪽 끝부분(129)은 외부 회로와의 연결을 위하여 폭이 확장되어 있다.

절연 기판(110) 위에는 게이트선(121)과 나란하게 유지 전극선(131)이 형성되어 있다. 유지 전극선(131)은 세로 방향으로 형성되어 있는 두 개의 유지 전극(133a, 133b)과 연결되어 있다. 이 때, 유지 전극선(131)은 2개 이상일 수도 있다. 여기서 게이트선(121), 게이트 전극(124), 유지 전극선(131) 및 유지 전극(133)은 알루미늄 또는 크롬 등의 금속으로 형성한다. 이 때, 이들은 단일층으로 형성할 수도 있고, 크롬층과 알루미늄층을 연속 적층하여 이루어진 이중층으로 형성할 수도 있다. 이외에도 여러 다양한 금속을 사용하여 게이트선과 유지 전극선을 형성할 수 있다.

게이트선(121)과 게이트 전극(124) 및 유지 전극선(131) 및 유지 전극(133)의 위에는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다.

게이트 절연막(140)의 위에는 비정질 규소 등으로 이루어진 반도체층(150)이 형성되어 있다. 반도체층(150)은 세로 방향으로 길게 형성되어 있는 선형 반도체(151)와 선형 반도체(151)에서 돌출되어 있으며 게이트 전극(124)과 대응되는 부분에 형성되어 있는 섬형 반도체(154)를 포함한다.

반도체층(150) 위에는 비정질 규소와 같은 반도체 물질에 n형 불순물을 고농도로 도핑하여 형성한 저항성 접촉층(160)이 형성되어 있다. 저항성 접촉층(160)은 선형 반도체(151) 위에 그와 같은 패턴으로 형성되어 있는 선형 저항성 접촉 부재(161)와 게이트 전극(124)을 중심으로 하여 양측에 대향하고 있는 섬형 저항성 접촉 부재(165)를 포함한다.

저항성 접촉층(160) 및 게이트 절연막(140) 위에는 데이터선(171)이 형성되어 있다.

데이터선(171)은 게이트선(121)과 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하고, 데이터선(171)의 분지이며 저항성 접촉층(163)에도 연결되는 소스 전극(173), 소스 전극(173)과 분리되어 있으며 게이트 전극(123)에 대하여 소스 전극(173)의 반대편 섬형 저항성 접촉층(165) 위에 형성되어 있는 드레인 전극(175)을 포함한다. 이 때, 데이터선(171)의 한쪽 끝부분(179)은 외부 회로와의 연결을 위하여 폭이 확장되어 있다. 또, 게이트 절연막(140) 위에는 게이트선(121)과 중첩하는 다리부 금속편(172)이 형성되어 있다. 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)도 게이트선과 마찬가지로 크롬과 알루미늄 등의 물질로 형성한다. 또한 단일층 또는 다중층으로 형성할 수 있다.

이러한 데이터선(171)은 접합용 금속 패턴과 배선용 금속 패턴의 복수층으로 이루어질 수 있다.

데이터선(171)과 게이트 절연막(140) 위에는 질화규소 등의 무기 절연물로 이루어진 보호막(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)에는 드레인 전극(175)을 노출시키는 접촉구(185)가 형성되어 있으며, 후술할 화소 전극의 도메인 분할 수단인 절개 패턴(91, 92, 93, 95, 96)과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)이 복수개 형성되어 있다. 이때, 선형 홈(186)은 게이트선(121) 또는 데이터선(171)과 수직이 되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이때, 절개 패턴(91, 92, 93, 95, 96)과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)의 방향은 상부 및 하부의 편광판(12, 22)의 투과축과 평행하게 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따라 컨트라스트(contrast)가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

보호막(180) 위에는 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)을 가지며 접촉구(185)를 통하여 드레인 전극(175)와 연결되는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 ITO(indium tin oxide)나 IZO(indium zinc oxide) 등과 같은 투명 도전체나 알루미늄(Al)과 같은 광 반사 특성이 우수한 불투명 도전체를 사용하여 형성한다. 화소 전극(190)에 형성되어 있는 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)은 화소 전극(190)을 상하로 반분하는 위치에 가로 방향으로 형성되어 있는 가로 절개 패턴(93, 94)과 반분된 화소 전극(190)의 상하 부분에 각각 사선 방향으로 형성되어 있는 사선 절개 패턴(91, 92, 95, 96)을 포함한다. 이 때, 상의 사선 절개 패턴(91, 92)은 하의 사선 절개 패턴(95, 96)과 서로 수직을 이루고 있다. 이는 프린지 필드의 방향을 4 방향으로 고르게 분산시키기 위함이다.

이 때, 화소 전극(190)은 보호막(180)의 프로파일을 따라 형성되므로 보호막(180)에 형성되어 있는 선형 홈(186)과 같은 패턴의 홈을 가진다.

또, 보호막(180)의 위에는 게이트선(121)을 건너 유지 전극(133a)과 유지 전극선(131)을 연결하는 유지 배선 연결 다리(84)가 형성되어 있다. 유지 배선 연결 다리(84)는 보호막(180)과 게이트 절연막(140)에 걸쳐 형성되어 있는 접촉구(183, 184)를 통하여 유지 전극(133a) 및 유지 전극선(131)에 접촉하고 있다. 유지 배선 연결 다리(84)는 다리부 금속편(172)과 중첩하고 있다. 유지 배선 연결 다리(91)는 하부 기판(110) 위의 유지 배선 전체를 전기적으로 연결하는 역할을 하고 있다. 이러한 유지 배선은 필요할 경우 게이트선(121)이나 데이터선(171)의 결함을 수리하는데 이용할 수 있고, 다리부 금속편(172)은 이러한 수리를 위하여 레이저를 조사할 때, 게이트선(121)과 유지 배선 연결 다리(91)의 전기적 연결을 보조하기 위하여 형성한다.

또, 보호막(180) 위에는 제1 접촉 구멍(181)을 통해 게이트선(121)의 한쪽 끝부분(129)과 연결되는 게이트 접촉 보조 부재(81) 및 제2 접촉 구멍(182)을 통해 데이터선(171)의 한쪽 끝부분(179)과 연결되는 데이터 접촉 보조 부재(82)가 형성되어 있다.

상부의 절연 기판(210)에는 빛이 새는 것을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(220)의 위에는 적(R), 녹(G), 청(B)의 색 필터(230)가 형성되어 있다. 색 필터(230)의 위에는 절개 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)를 가지는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 ITO 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전체로 형성한다.

공통 전극(270)의 절개 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)는 화소 전극(190)의 사선 절개 패턴(91, 92, 93, 95, 96)을 가운데에 끼고 있으며 이와 나란한 사선부와 화소 전극(190)의 변과 중첩되어 있는 굴절부를 포함하고 있다. 이 때, 굴절부는 세로 방향 굴절부와 가로 방향 굴절부로 분류된다.

이상과 같은 구조의 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 정렬하여 결합하고 그 사이에 액정 물질을 주입하여 수직 배향하면 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기본 구조가 마련된다. 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 정렬했을 때 화소 전극(190)의 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270)의 절개 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)은 화소 영역을 다수의 소도메인으로 분할한다. 이들 소도메인은 그 내부에 위치하는 액정 분자의 평균 장축 방향에 따라 4개의 종류로 분류된다.

이 때, 공통 전극(270)과 화소 전극(190) 사이에 구동 전압이 인가되면 화소 전극(190)의 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270)의 절개 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)에 의하여 프린지 필드가 형성되어 액정 분자는 소도메인 별로 특정한 방향으로 기울어진다. 이때, 액정 분자는 선형 홈이 형성되지 않았을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되어 액정 분자가 수직 거동만 하게 되어 측면 시인성 개선에 한계가 있었다. 그러나, 본 발명에서와 같이 절개 패턴을 가지는 각각의 전극 패턴에 대하여 45°의 경사각을 가지는 선형 홈을 화소 전극의 절개 패턴과 나란하게 다수개 형성하였을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루려는 힘과 선형 홈을 따라 누우려는 힘의 충돌에 의하여 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되던 액정 분자가 소도메인의 장변에 대하여 45°의 경사각을 가지며 기울어진다. 즉, 액정 분자가 수직 거동을 하는 동시에 수평 거동하게 되어 정면 시인성 뿐만 아니라 측면 시인성이 향상된다.

그러면 이러한 구조와 효과를 가지는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 방법에 대하여 설명한다.

먼저 도 5 내지 도 9를 참고로 하여 5매의 광마스크를 사용하는 방법에 대하여 설명한다.

먼저, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판(110) 위에 물리 화학적 특성이 우수한 Cr 또는 Mo 합금 등으로 이루어지는 제1 금속층(미도시함)과 저항이 작은 Al 또는 Ag 합금 등으로 이루어지는 제2 금속층(미도시함)을 스퍼터링 따위의 방법으로 연속 적층하고 마스크를 이용한 첫 번째 사진 식각 공정으로 건식 또는 습식 식각하여, 기판(110) 위에 게이트 전극(124)을 포함하는 게이트선(121)을 형성한다. 이 때, 도시하지는 않았으나 유지 전극선도 형성한다.(제1 마스크)

이 때, 제1 금속층을 Mo 합금으로 형성하고 제2 금속층을 Ag 합금으로 형성한 경우에는, 이들 두 층이 모두 Ag 합금 식각제인 인산, 질산, 초산 및 초순수(deionized water)를 혼합한 물질에 의하여 식각된다. 따라서 한 번의 식각 공정으로 이중층의 게이트선(121)을 형성할 수 있다. 또 인산, 질산, 초산 및 초순수 혼합물에 의한 Ag 합금과 Mo 합금에 대한 식각비는 Ag 합금에 대한 식각비가 더 크므로 게이트 배선에 필요한 30°정도의 테이퍼(taper) 각을 얻을 수 있다.

다음, 도 6에 도시한 바와 같이, 게이트선(121)을 포함하는 기판(110) 위에 질화 규소 또는 산화 규소를 도포하여 게이트 절연막(140)을 형성한다.

이후, 게이트 절연막(140) 위에 불술물이 도핑되지 않은 반도체층 및 n형 불순물이 고농도로 도핑된 반도체층을 화학 기상 증착법을 이용하여 연속 증착한다. 이때, 사용되는 반도체 물질로는 비정질 규소가 있다. 그리고 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 불순물이 도핑된 반도체층과 불순물이 도핑되지 않은 반도체층을 차례로 패터닝하여 게이트 절연막(140) 바로 위에 섬형 반도체(154) 및 저항성 접촉층(160)을 형성한다.(제2 마스크)

다음, 도 7에 도시한 바와 같이, 저항성 접촉층(160)을 포함하는 기판 위에 Cr 또는 Mo 합금 등으로 이루어지는 제1 금속층(미도시함)과 저항이 작은 Al 또는 Ag 합금 등으로 이루어지는 제2 금속층(미도시함)을 스퍼터링 따위의 방법으로 연속 적층하고 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)을 포함하는 데이터선(171)을 형성한다.(제3 마스크)

이어, 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)으로 가려지지 않은 저항성 접촉층(160)을 식각하여 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 섬형 반도체(154)를 드러내고 양쪽으로 분리된 섬형 저항성 접촉 부재(163, 165)을 형성한다. 이때 섬형 반도체(154)의 상층부도 일정 부분이 식각될 수 있다.

이어, 도 8에 도시한 바와 같이, 데이터선(171) 및 유지 도전체(177)을 포함하는 기판(110) 위에 질화 물질을 도포하여 보호막(180)을 형성한다. 그리고 사진 식각 공정으로 식각하여 제1 내지 제4 접촉 구멍(181, 182, 185, 187)및 후술할 화소 전극의 절개 패턴과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)이 복수개 형성한다. 이때, 도시하지는 않았으나 유지 배선 연결 다리가 유지 전극선과 접촉하기 위한 접촉구도 이 단계에서 형성한다.(제4 마스크)

한편 데이터선(171) 및 유지 도전체(177)을 포함하는 기판(110) 위에 질화 물질을 도포하여 보호막(180)을 형성한 다음 보호막(180) 위에 유기막(미도시)을 형성할 수 있다. 이 경우에는 사진 식각 공정으로 보호막(180)과 유기막(미도시)을 동시에 식각하여 제1 내지 제4 접촉 구멍(181, 182, 185, 187)및 후술할 화소 전극의 절개 패턴과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)이 복수개 형성할 수 있다.

다음 마지막으로 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제4 접촉 구멍 및 다수개의 선형 홈부를 포함하는 기판 위에 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질을 증착한 다음 패터닝하여 드레인 전극(175), 화소 전극(190), 게이트선(121)의 한쪽 끝부분(129)과 연결되는 게이트 접촉 보조 부재(81), 데이터선(171)의 한쪽 끝부분(179)과 연결되는 데이터 접촉 보조 부재(82)를 형성한다. 한편, 도시하지는 않았으나 유지 배선 연결 다리도 이 단계에서 함께 형성한다.(제5 마스크)

4매의 광마스크를 사용하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 방법에 대하여 설명한다.

먼저, 도 10a 내지 10b에 도시한 바와 같이, 제1 실시예와 동일하게 기판(110) 위에 물리 화학적 특성이 우수한 Cr 또는 Mo 합금 등으로 이루어지는 제1 금속층(미도시함)과 저항이 작은 Al 또는 Ag 합금 등으로 이루어지는 제2 금속층(미도시함)을 스퍼터링 따위의 방법으로 연속 적층하고 마스크를 이용한 첫 번째 사진 식각 공정으로 건식 또는 습식 식각하여, 기판(110) 위에 게이트 전극(124)을 포함하는 게이트선(121)과 유지 전극선(131)을 형성한다.(제1 마스크)

여기서, 게이트선(121)은 가로방향으로 길게 형성되어 있으며, 게이트선(121)의 일부분인 게이트 전극(124)을 포함한다. 이 때, 게이트선(121)의 한쪽 끝부분(129)은 외부 회로와의 연결을 위하여 폭이 확장되어 있다. 유지 전극선(131)은 후술할 화소 전극(190) 및 화소 전극(190)과 연결된 유지 도전체(177)가 중첩되어 화소의 전하 보존 능력을 향상시키는 유지 축전기를 이루며, 화소 전극(190)과 게이트선(121)의 중첩으로 발생하는 유지 용량이 충분할 경우 형성하지 않을 수도 있다.

다음, 도 11a 및 11b에 도시한 바와 같이, 게이트선(121) 및 유지 전극선(131) 위에 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(140), 불순물이 도핑되지 않은 비정질 규소층(150), 불순물이 도핑된 반도체층(160)을 화학 기상 증착법으로 순차적으로 적층한다. 이어 Cr 또는 Mo 합금 등으로 이루어지는 제1 금속층(701)과 저항이 작은 Al 또는 Ag 합금 등으로 이루어지는 제2 금속층(702)을 스퍼터링 따위의 방법으로 연속 적층한 다음 그 위에 감광막(PR)을 1㎛ 내지 2㎛의 두께로 도포한다.

그 후, 마스크를 통하여 감광막(PR)을 노광하면, 도 12a 및 12b에 도시한 바와 같이, 두께 전체가 감광된 부분과 두께의 일부만 감광된 부분을 가지는 감광막 패턴(PR)을 형성한다.

이어서 감광막 패턴(PR)을 현상하면 박막 트랜지스터의 채널부, 즉 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이에 위치한 부분(A)은 데이터 배선이 형성될 부분(B)에 위치한 부분보다 두께가 작게 되고, 기타 부분의 감광막은 모두 제거된다. 이때, 채널부에 남아 있는 감광막의 두께와 데이터선부에 남아 있는 감광막의 두께는 전자의 두께가 후자의 두께의 1/2 이하가 되도록 하는 것이 바람직하며, 예를 들면, 4000Å 이하인 것이 좋다.(제2 마스크)

도 13a 내지 도 13b에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴(PR) 및 그 하부의 막들, 즉 제1 및 제2 금속층(701, 702), 비정질 규소층(150) 및 불순물이 도핑된 반도체층(160)을 순차적으로 식각하여 제1 금속 패턴(711, 731, 751, 771, 791)과 제2 금속 패턴(712, 732, 752, 772, 792)으로 이루어지는 데이터선(171) 및 저항성 접촉층(160) 및 반도체층(151)을 형성한다.

좀더 구체적으로 설명하면, 감광막 패턴(PR)을 마스크로 하는 식각은 다단계로 이루어진다. 먼저 감광막 패턴(PR)이 형성되지 않은 영역(제3 부분 : C)을 습식 식각하여 제2 금속층(702)과 제1 금속층(701)을 제거함으로써 불순물이 도핑된 반도체층(160)을 노출한다. 이때 습식 식각은 초산, 인산, 질산을 적정 비율로 배 합한 산을 사용하여 동시에 제2 금속층(702) 및 제1 금속층(701)을 식각한다.

이후 제1 부분(A)의 감광막 패턴(PR)과 함께 제3 부분(C)의 불순물이 도핑된 반도체층인 저항성 접촉층(160) 및 불순물이 도핑되지 않은 반도체층(150)을 건식 식각하여 반도체층(151)을 완성하고 채널부가 분리되지 않은 저항성 접촉층(160)을 형성한다. 이때 제2 부분(B)의 감광층도 일부 식각 된다.

다음, 감광층을 애싱하여 제1 부분(A)을 제거함으로써 채널부 상부의 제2 금속층(702)을 노출한다.

이어서, 제1 부분(A)의 제2 금속층(702), 제1 금속층(701) 및 저항성 접촉층(160)을 식각하여 제1 금속 패턴(711, 731, 751, 791)과 제2 금속 패턴(712, 732, 752, 792)으로 이루어지는 데이터선(171) 및 저항성 접촉층(160), 반도체층(151)을 형성한다. 이때 제1 부분(A)의 반도체층(150) 및 제2 부분(B)의 감광막 패턴(PR)의 일부가 식각될 수 있다. 이어서 제2 부분(B)의 감광층(PR)을 제거한다.

이어, 도 14a 내지 도 14b에 도시한 바와 같이, 데이터선(171)을 포함한 기판 위에 질화 물질을 증착하여 보호막(180)을 형성한 다음 사진 식각 공정으로 제1 내지 제4 접촉 구멍(181, 182, 185, 187) 및 후술할 화소 전극의 절개 패턴과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)이 복수개 형성한다. 이때, 도시하지는 않았으나 유지 배선 연결 다리가 유지 전극선과 접촉하기 위한 접촉구도 이 단계에서 형성한다.(제3 마스크)

한편, 데이터선(171) 및 유지 도전체(177)을 포함하는 기판(110) 위에 질화 물질을 도포하여 보호막(180)을 형성한 다음 보호막(180) 위에 유기막(미도시)을 형성할 수 있다. 이 경우에는 사진 식각 공정으로 보호막(180)과 유기막(미도시)을 동시에 식각하여 제1 내지 제4 접촉 구멍(181, 182, 185, 187)및 후술할 화소 전극의 절개 패턴과 45°의 각도를 이루는 선형 홈(186)이 복수개 형성할 수 있다.

마지막으로, 도 15a 내지 도 15b에 도시한 바와 같이, 400 Å 내지 500 Å 두께의 ITO층 또는 IZO층을 증착하고 사진 식각하여 드레인 전극(175) 및 유지 용량용 전극(177)과 연결된 화소 전극(190), 게이트선(121)의 한쪽 끝부분(129)과 연결되는 게이트 접촉 보조 부재(81), 데이터선(171)의 한쪽 끝부분(179)과 연결되는 데이터 접촉 보조 부재(82)를 형성한다. 한편, 도시하지는 않았으나 유지 배선 연결 다리도 이 단계에서 함께 형성한다.(제4 마스크)

[제2 실시예]

도 16은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이다.

도 16에 도시한 바와 같이, 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치와 동일하며 액정 표시 장치의 도메인 분할 수단에 있어서 상부와 하부 기판의 도메인 분할 수단이 각각 돌기 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.

보다 상세하게는 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 정렬했을 때 화소 전극(190) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)은 화소 영역을 다수의 소도메인으로 분할한다. 이들 소도메인은 그 내부에 위치하는 액정 분자의 평균 장축 방향에 따라 4개의 종류로 분류된다.

이 때, 공통 전극(270)과 화소 전극(190) 사이에 구동 전압이 인가되면 화소 전극(190) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)에 의하여 프린지 필드가 형성되어 액정 분자는 소도메인 별로 특정한 방향으로 기울어진다. 이때, 액정 분자는 선형 홈이 형성되지 않았을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되어 액정 분자가 수직 거동만 하게 되어 측면 시인성 개선에 한계가 있었다. 그러나, 본 발명에서와 같이 돌기 패턴을 가지는 각각의 전극 패턴에 대하여 45°의 경사각을 가지는 선형 홈을 화소 전극 위에 형성되어 있는 돌기 패턴과 나란하게 다수개 형성하였을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루려는 힘과 선형 홈을 따라 누우려는 힘의 충돌에 의하여 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되던 액정 분자가 소도메인의 장변에 대하여 45°의 경사각을 가지며 기울어진다. 즉, 액정 분자가 수직 거동을 하는 동시에 수평 거동하게 되어 정면 시인성 뿐만 아니라 측면 시인성이 향상된다.

[제3 실시예]

도 17은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이다.

도 17에 도시한 바와 같이, 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제1 실시예 에 따른 액정 표시 장치와 동일하며 액정 표시 장치의 상부와 하부 기판의 도메인 분할 수단이 상부 기판의 도메인 분할 수단은 돌기 패턴으로 형성되며 하부 기판의 도메인 분할 수단은 절개 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.

보다 상세하게는 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 정렬했을 때 화소 전극(190) 위에 형성되어 있는 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)은 화소 영역을 다수의 소도메인으로 분할한다. 이들 소도메인은 그 내부에 위치하는 액정 분자의 평균 장축 방향에 따라 4개의 종류로 분류된다.

이 때, 공통 전극(270)과 화소 전극(190) 사이에 구동 전압이 인가되면 화소 전극(190) 위에 형성되어 있는 절개 패턴(91, 92, 93, 94, 95, 96)과 공통 전극(270) 위에 형성되어 있는 돌기 패턴(271, 272, 273, 274, 275, 276)에 의하여 프린지 필드가 형성되어 액정 분자는 소도메인 별로 특정한 방향으로 기울어진다. 이때, 액정 분자는 선형 홈이 형성되지 않았을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되어 액정 분자가 수직 거동만 하게 되어 측면 시인성 개선에 한계가 있었다. 그러나, 본 발명에서와 같이 돌기 및 절개 패턴을 가지는 각각의 화소 및 공통 전극 패턴에 대하여 45°의 경사각을 가지는 선형 홈을 화소 전극 위에 형성되어 있는 절개 패턴과 나란하게 다수개 형성하였을 경우에는 장축이 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루려는 힘과 선형 홈(186)을 따라 누우려는 힘의 충돌에 의하여 소도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 되던 액정 분자가 소도메인의 장변에 대하여 45°의 경사각을 가 지며 기울어진다. 즉, 액정 분자가 수직 거동을 하는 동시에 수평 거동하게 되어 정면 시인성 뿐만 아니라 측면 시인성이 향상된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. 특히, 화소 전극과 공통 전극에 형성하는 절개 패턴의 배치는 여러 다양한 변형이 있을 수 있다.

이상과 같은 구성을 통하여 수직 배향 모드 액정 표시 장치의 측면 시인성을 향상시킬 수 있다.

Claims

제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단을 가지는 공통 전극,

안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판,

상기 제2 절연기판 위에 형성되어 있는 게이트선,

상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,

상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선,

상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단과 45°각도를 이루는 복수의 선형 홈을 가지는 보호막,

상기 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극,

상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판,

상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판,

상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 선형 홈은 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 수직을 이루도록 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행하는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 제1 도메인 분할 수단은 돌기 패턴으로 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단은 절개 패턴으로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 절개 패턴을 가지는 공통 전극,

안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판,

상기 제2 절연기판 위에 형성되어 있는 게이트선,

상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,

상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선,

상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 절개 패턴과 45°각도를 이루는 복수의 선형 홈을 가지는 보호막,

상기 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 절개 패턴을 가지는 화소 전극,

상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판,

상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판,

상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제5항에서,

상기 선형 홈은 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 수직을 이루도록 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제5항에서,

상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행하는 액정 표시 장치.
제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 돌기 패턴을 가지는 공통 전극,

안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판,

상기 제2 절연기판 위에 형성되어 있는 게이트선,

상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,

상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선,

상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 제1 돌기 패턴과 45°각도를 이루는 복 수의 선형 홈을 가지는 보호막,

상기 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 돌기 패턴을 가지는 화소 전극,

상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판,

상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판,

상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제8항에서,

상기 선형 홈은 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 수직을 이루도록 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제8항에서,

상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행하는 액정 표시 장치.
제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단을 가지는 공통 전극,

안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판,

상기 제2 절연기판 위에 형성되어 있는 게이트선,

상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,

상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선,

상기 데이터선 위에 무기 물질로 이루어진 보호막,

상기 보호막 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단과 45°각도를 이루는 복수의 선형 홈을 가지는 유기막,

상기 유기막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극,

상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판,

상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판,

상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제11항에서,

상기 선형 홈은 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 수직을 이루도록 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제11항에서,

상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행하는 액정 표시 장치.
제11항에서,

상기 제1 도메인 분할 수단과 제2 도메인 분할 수단은 각각 절개 패턴 또는 돌기 패턴 중 어느 하나를 선택하여 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제1 절연 기판,

상기 제1 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제1 편광판,

상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 화소 영역을 구획하는 블랙 매트릭스,

상기 화소 영역 각각에 형성되어 있는 색 필터,

상기 색 필터 위에 형성되어 있으며 제1 도메인 분할 수단을 가지는 공통 전극,

안쪽면이 상기 제1 절연 기판의 안쪽면과 대향하고 있는 제2 절연 기판,

상기 제2 절연 기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 포함하는 게이트선,

상기 제2 절연 기판 위에 형성되어 있는 유지 전극선,

상기 게이트선 및 유지 전극선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,

상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 게이트 전극에 인접하는 소 스 전극 및 상기 게이트 전극에 대하여 상기 소스 전극의 맞은편에 위치하는 드레인 전극을 포함하는 데이터선,

상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 상기 제1 도메인 분할 수단과 45°의 각도를 이루는 복수의 선형 홈을 가지는 보호막,

상기 보호막 위에 형성되어 있으며 제2 도메인 분할 수단을 가지는 화소 전극,

상기 제2 절연 기판의 바깥쪽 면에 배치되어 있는 제2 편광판,

상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 사이에 형성되어 있으며 수직 배향 모드인 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제15항에서,

상기 색 필터와 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 오버코트막을 더 포함하는 액정 표시 장치.
제15항에서,

상기 선형 홈은 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 수직을 이루도록 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제15항에서,

상기 선형 홈의 방향이 상기 제1 및 제2 편광판의 투과축과 평행하는 액정 표시 장치.
제15항에서,

상기 제1 도메인 분할 수단과 제2 도메인 분할 수단은 각각 절개 패턴 또는 돌기 패턴 중 어느 하나를 선택하여 형성되어 있는 액정 표시 장치.