KR100994160B1 - 토크 및 비틀림 각 검출 센서용 옵티컬 디스크 제조 방법 - Google Patents

토크 및 비틀림 각 검출 센서용 옵티컬 디스크 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 토크 및 비틀림 각 검출 센서용 옵티컬 디스크(optical disk)를 제조하기 위한 옵티컬 디스크 제조 방법에 관한 것이다. 옵티컬 디스크 제조 방법은, 스테인레스 기판의 표면을 전처리하는 전처리 단계, 상기 전처리된 스테인레스 기판 위에 감광제를 도포하여 감광제 층을 형성하는 감광제 층 형성 단계, 상기 감광제 층의 표면 중 상기 옵티컬 디스크의 형상에 대응하는 부분 이외의 부분이 빛에 노출될 수 있도록 하는 패턴을 가지는 필름을 상기 감광제 층 위에 배치한 후 노광을 수행하여 상기 감광제 층을 부분적으로 경화시키는 노광 단계, 상기 노광 단계를 수행한 후 상기 감광제 층 중 경화되지 않은 부분이 제거되도록 상기 감광제 층을 현상하는 현상 단계, 상기 감광제 층이 제거된 부분에 니켈 층이 형성되도록 니켈 전주 도금(electroforming)을 수행하는 전주 도금 단계, 그리고 상기 형성된 니켈 층을 상기 스테인레스 기판으로부터 분리하는 분리 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면 간단한 제조 공정 및 낮은 제조 원가로 보다 정밀한 옵티컬 디스크가 제조될 수 있다.
광학식 센서, 옵티컬 디스크, 스테인레스, 감광제, 노광, 현상, 전주 도금

Description

토크 및 비틀림 각 검출 센서용 옵티컬 디스크 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL DISK SENSOR FOR MEASURING TORQUE AND TWISTED ANGLE}
본 발명은 토크 및 비틀림 각 검출 센서용 옵티컬 디스크(optical disk)를 제조하기 위한 옵티컬 디스크 제조 방법에 관한 것이다.
토크(torque)를 전달하는 축에 설치되어 전달되는 토크 및 축의 비틀림 각을 검출하기 위한 광학식 센서가 사용되고 있다.
예를 들어, 이와 같은 광학식 센서는 자동차의 MDPS(motor driven power steering) 장치에 채택되어 토크 전달 축인 토션 바(torsion bar)의 비틀림 각 및 토크를 검출하는데 사용되고 있다. 이러한 광학식 센서는 서로 마주하도록 토션 바에 장착되는 두 장의 옵티컬 디스크(optical disk), 옵티컬 디스크의 상부에 배치되는 발광 장치, 옵티컬 디스크의 하부에 배치되는 수광 장치, 그리고 수광 장치에서 검출되는 빛의 양에 따른 신호를 생성하는 회로를 포함할 수 있다.
이러한 옵티컬 디스크는 매우 얇은 두께(0.09mm 내지 0.3mm 정도)로 원형 디스크의 형상을 가지며 원주 방향을 따라 형성된 복수의 통공을 포함한다. 발광 장치에서 발산된 빛이 이 통공을 통해서 아래의 수광 장치로 입사된다. 수광 장치로 입사되는 빛의 양에 따라 마주하는 두 장의 옵티컬 디스크의 상대 회전각을 알 수 있고 이를 기초로 토션 바의 비틀림 각 및 전달되는 토크를 검출할 수 있는 것이다.
이러한 옵티컬 디스크는 두께와 형상 등이 매우 정밀할 것이 요구되며, 두께나 형상의 오차는 검출되는 토크 및 비틀림 각에 오차를 유발한다.
종래의 옵티컬 디스크 제조 방법은 제조되는 옵티컬 디스크의 정밀도가 낮은 문제점을 가지거나 제품의 정밀도를 높이기 위해서 생산성이 떨어지거나 제조 원가가 높아지는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명이 이루고자 하는 과제는 간단한 제조 공정 및 낮은 제조 원가로 보다 정밀한 옵티컬 디스크를 제조하는 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 한 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은, 스테인레스 기판의 표면을 전처리하는 전처리 단계, 상기 전처리된 스테인레스 기판 위에 감광제를 도포하여 감광제 층을 형성하는 감광제 층 형성 단계, 상기 감광제 층의 표면 중 상기 옵티컬 디스크의 형상에 대응하는 부분 이외의 부분이 빛에 노출될 수 있도록 하는 패턴을 가지는 필름을 상기 감광제 층 위에 배치한 후 노광을 수행하여 상기 감광제 층을 부분적으로 경화시키는 노광 단계, 상기 노광 단계를 수행한 후 상기 감광제 층 중 경화되지 않은 부분이 제거되도록 상기 감광제 층을 현상하는 현상 단계, 상기 감광제 층이 제거된 부분에 니켈 층이 형성되도록 니켈 전주 도금(electroforming)을 수행하는 전주 도금 단계, 그리고 상기 형성된 니켈 층을 상기 스테인레스 기판으로부터 분리하는 분리 단계를 포함한다.
상기 전처리 단계에서 상기 스테인레스 기판의 표면에 헤어라인 패턴(hair line pattern)이 형성될 수 있다.
상기 감광제 층 형성단계에서 상기 감광제는 인쇄 타입의 실크스크린 방식으 로 도포될 수 있다.
상기 노광 단계에서 상기 감광제 층이 형성된 스테인레스 기판을 고정한 상태에서 UV램프에서 발산된 빛을 자동으로 차폐함으로써 노광이 수행될 수 있다.
상기 전주 도금 단계는 표면에 복수의 통공이 형성된 쉴드가 상기 니켈 층이 형성되는 상기 스테인레스 기판의 면을 둘러싸도록 설치된 상태에서 수행될 수 있다.
본 발명에 의하면, 평탄도가 높고 정밀한 옵티컬 디스크가 제조될 수 있다.
스테인레스 기판의 표면에 헤어라인 패턴을 형성하는 전처리 단계가 수행됨으로써 스테인레스 기판에 형성되는 옵티컬 디스크가 보다 쉽게 분리될 수 있으며 이에 따라 옵티컬 디스크 분리 과정에서 발생할 수 있는 제품 변형 등의 문제를 해결할 수 있다.
또한 감광제가 인쇄 타입의 실크스크린 방식으로 도포됨으로써 감광제가 보다 균일하게 도포될 수 있다.
나아가 노광을 수행함에 있어서, 광원이 켜진 상태에서 스테인레스 기판을 이동시키는 것이 아니라, 감광제 층이 형성된 스테인레스 기판을 고정한 상태에서 UV램프에서 발산된 빛을 자동으로 차폐함으로써 보다 정확한 노광이 이루어질 수 있고 이에 따라 제조되는 옵티컬 디스크의 정밀도가 향상될 수 있다.
특히, 니켈 전주 도금이 복수의 통공이 형성된 쉴드가 스테인레스 기판의 면을 둘러싸도록 설치된 상태에서 수행됨으로써, 니켈 층이 보다 균일하게 형성될 수 있으며 이에 따라 제도되는 옵티컬 디스크의 평탄도 및 정밀도가 크게 향상될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 제조된 옵티컬 디스크의 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 제조된 옵티컬 디스크(10)는 전체적으로 원형의 디스크 형태를 가진다. 옵티컬 디스크(10)는 고리 형상의 몸체(13)를 가지며 그 가운데에 통공(11)이 형성된다. 복수의 통공(15)이 몸체(13)에 방사상으로 형성되며, 몸체(13)의 외측에 돌출부(17)가 구비될 수 있다. 옵티컬 디스크(10)의 형태는 이에 한정되는 것이 아니며 다양하게 변형될 수 있으며. 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법도 본 발명의 보호 범위를 벗어나지 않으면서 옵티컬 디스크의 형태 변경에 따라 적절히 변경될 수 있다. 한편, 서로 마주하도록 배치되는 한 쌍의 옵티컬 디스크는 형상이나 크기 등에서 약간의 차이를 가지도록 설계될 수도 있으나 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 제조될 수 있음은 물론이다.
이와 같은 옵티컬 디스크(10)는 두 장이 한 쌍으로 사용될 수 있으며, 두 장의 옵티컬 디스크(10)가 통공(15)이 서로 대향하도록 마주하게 배치된 상태로 통공(11)이 토크 측정의 대상인 축에 삽입되게 설치될 수 있으며, 그 상태에서 축에 토크 전달에 의한 비틀림이 발생하면 두 장의 옵티컬 디스크(10) 사이에 상대 회전 이 발생하여 통공(15)이 서로 어긋나게 되면서 이 통공(15)을 통과하는 빛의 양이 감소하게 된다. 통공(15)을 통과하는 빛의 양에 따라 미리 설정된 데이터를 이용하여 옵티컬 디스크(10)가 설치된 축의 비틀림 각 및 토크를 산출해 낼 수 있다. 예를 들어, 옵티컬 디스크(10)는 자동차의 MDPS에 사용되는 광학식 센서에 위에서 설명한 방식으로 사용될 수 있다.
이하에서, 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 노광 공정에 사용되는 필름을 예시적으로 보여주는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 니켈 전주 도금 공정을 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 니켈 전주 도금 공정에 사용되는 쉴드(shield)를 보여주는 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 스테인레스 기판 위에 형성된 감광제 층에 전주 도금에 의해 니켈 층이 형성된 상태를 보여주는 도면이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따라 형성된 니켈 층이 스테인레스 기판으로부터 분리된 상태를 보여주는 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 스테인레스 기판의 표면에 감광제 패턴을 형성한 후 니켈 전주 도금을 통해 원하는 옵티컬 디스크의 형상에 대응하는 니켈 층을 형성하여 이를 분리함으로써 이루어진다.
우선, 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 스테인레스 기판 의 표면을 전처리하는 전처리 단계를 포함한다.
전처리 단계는 마스터 툴(master tool)인 스테인레스 기판의 평탄도를 높이고 표면 상태를 보다 이상적으로 만들어서 옵티컬 디스크(10)(즉, 니켈 층)가 형성된 스테인레스 기판의 표면으로부터 옵티컬 디스크(10)가 보다 용이하게 분리될 수 있도록 하기 위한 사전 공정이다.
예를 들어, 전처리 단계는 스테인레스 기판의 표면에 헤어라인 패턴(hair line patter)을 형성하는 것으로 수행될 수 있다. 스테인레스 기판의 표면에 헤어라인 패턴이 형성됨으로써, 스테인레스 기판의 표면에 전주 도금으로 형성되는 옵티컬 디스크(10)가 스테인레스 기판으로부터 보다 용이하게 분리될 수 있게 되며 이에 따라 옵티컬 디스크(10)의 분리 과정에서 발생할 수 있는 형상 변경 등이 최소화되어 보다 정밀한 옵티컬 디스크(10)가 제조될 수 있다.
한편, 스테인레스 기판의 표면 전처리 단계는 이물질을 제거하고 보다 정밀한 표면을 확보하기 위한 약품 처리 공정을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 전처리 단계는 스테인레스 기판의 표면을 가성 소다(NaOH 5% 수용액)로 탈지하여 유지분을 제거하는 공정을 포함할 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 스테인레스 기판의 표면에 감광제 층을 형성하는 단계를 포함한다. 감광제 층 형성은 스테인레스 기판의 표면에 감광제를 도포하고 이를 건조함으로써 이루어질 수 있다.
감광제로는 알칼리 현상성, 내열성, 밀착성이 우수한 레지스트(resist) 잉크가 사용될 수 있다.
그리고 감광제 도포는 롤 코팅(roll coating) 방식, 원심회전 코팅 방식, 인쇄 코팅 방식, 드라이 필름 코팅 방식 등 다양한 방식으로 수행될 수 있다.
감광제는 8 내지 15㎛ 정도의 두께로 도포될 수 있으며, 감광제 도포 두께의 정밀성은 제품의 치수 정밀도 및 추후 수행되는 노광 및 현상 공정의 작업성에 영향을 줄 수 있다.
특히, 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따르면, 감광제가 인쇄 코팅 방식의 실크스크린 방식으로 도포됨으로써 감광제 도포가 보다 정밀하게 이루어질 수 있으며 작업 속도 향상 및 제조 원가의 절감도 도모될 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 스테인레스 기판의 표면에 형성된 감광제 층을 부분적으로 노광하는 노광 단계를 포함한다. 감광제 층의 부분적 노광을 위해, 형성된 감광제 층의 표면 중 옵티컬 디스크의 형상에 대응하는 부분 이외의 부분이 빛에 노출될 수 있도록 하는 패턴을 가지는 필름(film)을 감광제 층 위에 배치한 상태에서 노광이 수행된다.
예를 들어, 도 2를 참조하면, 필름(20)은 블랙(black) 부분(21)과 화이트(white) 부분(23)을 가지는 패턴으로 형성될 수 있으며, 이때 옵티컬 디스크의 제품 부분에 대응하는 부분은 블랙 부분(21)으로 구현되고 나머지 여백 부분은 화이트 부분(23)으로 구현될 수 있다. 필름은 옵티컬 디스크의 치수 정밀도를 높이기 위해 20000dpi 정도의 고해상도 출력으로 형성될 수 있다.
이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 옵티컬 디스크(10)의 제품 부분 이외의 부분도 일정 부분 블랙으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 옵티컬 디스크(10)의 가운 데에 있는 통공(11) 및 외부에 해당하는 부분 중 일부가 블랙 부분으로 구현될 수도 있으며, 이 부분과 옵티컬 디스크(10)의 제품 부분을 연결하는 연결 부분(25)이 블랙으로 이루어질 수 있다. 연결 부분(25)의 개수 및 위치는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 블랙 부분(21)은 빛을 차단하고 화이트 부분(23)은 빛을 통과시킨다.
이와 같은 패턴을 가지는 필름(20)을 감광제 층 위에 배치한 상태에서 노광이 수행됨으로써 감광제 층 중 옵티컬 디스크의 제품 부분, 즉 필름(20) 중 블랙 부분(21)으로 덮인 부분은 경화되지 않고 필름 중 화이트 부분(23)으로 덮인 부분은 경화된다. 이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 필름(20)은 여러 개의 옵티컬 디스크를 한꺼번에 제조할 수 있도록 여러 개의 옵티컬 디스크에 해당하는 패턴을 가질 수 있다.
이와 같이 필름(20)을 이용한 노광 과정이 수행된 후에 현상이 수행됨으로써 감광제 층 중 경화되지 않은 부분이 선택적으로 제거된다. 즉, 미리 설정된 패턴을 가지는 필름을 이용한 노광 및 현상에 의해 감광제 층 중 옵티컬 디스크의 제품에 해당하는 부분(경화되지 않은 부분)이 선택적으로 제거될 수 있다.
이와 같은 필름(20)을 스테인레스 기판에 형성된 감광제 층 위에 배치한 상태에서 노광 공정이 수행된다.
노광 공정은 UV(ultra violet) 램프에서 발산된 빛으로 감광제를 경화시킴으로써 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따르면 UV 램프를 자동 으로 차폐하는 방식으로 수행됨으로써 짧은 시간 내에 정확한 양과 방향으로 빛이 발산될 수 있어 노광이 보다 정확하고 안정적으로 수행될 수 있다. 즉, 종래에는 UV 램프가 계속적으로 발광되는 공간에 스테인레스 기판이 지나가는 방식으로 노광이 수행되었는데, 이러한 경우 빛이 평행하지 않은 방향으로 감광제 층에 조사되어 안정적인 노광이 수행되지 못하는 문제가 있었는데, 본 발명의 실시예는 스테인레스 기판을 고정한 상태에서 UV 램프를 자동으로 차폐하는 방식으로 노광이 조절됨으로써 보다 정확하고 안정적인 노광이 수행될 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 노광 공정을 수행한 후 감광제 층 중 노광 공정에 의해 경화되지 않은 부분이 제거되도록 감광제 층을 현상하는 현상 단계를 포함한다. 한편, 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 생산 수율을 높일 수 있도록 형상 공정 수행 후 자동 세척 기능을 포함할 수 있다.
이때, 현광 단계는 다수 개의 분사노즐로 현상액을 분사함으로써 UV 경화되지 않은 미세한 부분까지 제거될 수 있도록 수행될 수 있으며, 이에 따라 옵티컬 디스크의 정밀도가 향상될 수 있다.
위에서 설명한 바와 같은 필름(20)을 사용하여 노광 공정을 수행한 후 현상 공정을 수행함으로써 스테인레스 기판 위에 형성된 감광제 층이 선택적으로 제거되어 원하는 감광제 층의 패턴이 형성된다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 감광제 층이 제거된 부분에 니켈(Ni) 층이 형성되도록 니켈 전주 도금(electroforming)을 수행하 는 전주 도금 단계를 포함한다.
니켈 전주 도금은 종래에 알려진 방식으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 도금액으로 채워진 도금 탱크(tank)에 감광제 층이 부분적으로 제거된 스테인레스 기판과 금속 니켈을 담군 상태에서 금속 니켈이 양극이 되고 스테인레스 기판이 음극이 되도록 전기를 인가하면, 감광제 층이 제거된 스테인레스 기판의 표면에 전착되어 석출된다. 도금액은 유산 니켈, 염화 니켈, 및 붕산 등으로 이루어질 수 있으며, 도금액 조성비, 전류 및도, 온도, pH, 비중, 교반 방식 등을 조절하여 적절한 니켈 층 형성이 이루어지도록 할 수 있다. 그리고 옵티컬 디스크의 광택 향상을 위한 광택제가 첨가될 수 있다.
예를 들어, 도 3을 참조하면, 니켈 전주 도금은 감광제 층이 선택적으로 제거된 상태의 스테인레스 기판(37)과 니켈 인고트(nickel ingot)(35)를 도금 탱크(31)에 채워진 도금액(33)에 담근 상태에서 니켈 인고트(35)가 양극이 되고 스테인레스 기판(37)이 음극이 되도록 전기를 인가함으로써 수행될 수 있다.
양극에서는 니켈이 니켈 이온과 전자로 분해되고, 양극에서 생성된 니켈 이온이 음극으로 이동하여 전자와 결합함으로써 음극에서 니켈이 석출된다. 즉, 스테인레스 기판(37)의 표면 중 감광제 층이 제거된 부분에 니켈이 석출되면서 니켈 도금이 이루어진다.
이때, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 니켈 전주 도금에 의해 형성되는 니켈 층의 평탄도 향상을 위해, 니켈 전주 도금은 쉴드(shield)(40)가 스테인레스 기판(37)의 면(즉, 감광제 층 패턴이 형성된 면)을 둘러싸도록 설치된 상태에서 수 행될 수 있다. 쉴드(40)에는 다수의 통공(41)이 형성되며 니켈 이온이 이 통공(41)을 통과한 후 스테인레스 기판(37)의 표면에 도달하게 된다. 쉴드(40)가 없는 상태에서 니켈 전주 도금이 수행되는 경우, 스테인레스 기판의 외곽 모서리들 주위에서 전류 밀도가 높아 니켈 석출이 많아지고 이에 따라 스테인레스 기판의 중심부에 비해 모서리 부분에 형성되는 니켈 층이 두꺼워져 니켈 층의 평탄도가 좋지 않게 된다. 그러나 본 발명의 실시예에서와 같이, 스테인레스 기판(37)의 표면에 다수의 통공(41)을 가지는 쉴드(40)를 설치한 상태에서 니켈 전주 도금이 수행되면 니켈 이온이 통공에 의해 가이드(guide)된 후 스테인레스 기판(37)에 도달하므로 형성되는 니켈 층의 평탄도가 향상될 수 있다.
니켈 전주 도금에 의해 스테인레스 기판의 표면 중 경화된 감광제 층이 존재하는 부분에는 니켈 층이 형성되지 않고 감광제 층이 제거된 부분에 니켈 층이 형성된다. 즉, 도 5를 참조하면, 스테인레스 기판의 표면 중 감광제 층이 제거된 부분에는 니켈 층(51)이 형성되고, 경화된 감광제 층이 존재하는 부분(53)에는 니켈 층이 형성되지 않는다. 이때, 니켈 층(51)은 옵티컬 디스크에 해당하는 부분 외에 옵티컬 디스크에 해당하는 부분을 지지하기 위한 프레임 부분과 이 프레임과 옵티컬 디스크 부분을 연결하는 연결 부분을 더 포함할 수 있으며, 프레임 부분 및 연결 부분은 노광 공정 중 사용되는 필름에 프레임 부분은 블랙 부분으로 구현하고 노광, 현상, 및 전주 도금 공정을 수행하여 만들어 질 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 전주 도금 공정에 의해 형성된 니켈 층을 스테인레스 기판으로부터 분리하는 분리 단계를 포함한 다. 분리 공정은 감광제 찌꺼기를 제거하기 위한 약품 처리 과정을 포함할 수 있다.
스테인레스 기판으로부터 분리된 니켈 층 중 옵티컬 디스크의 제품에 해당하는 부분을 다시 분리함으로써 옵티컬 디스크가 얻어진다.
즉, 도 6을 참조하면, 지지 역할을 하는 프레임(60)과 옵티컬 디스크에 해당하는 부분(옵티컬 디스크와 동일한 도면부호 사용함)(10)으로 이루어진 니켈 층이 스테인레스 기판으로부터 분리된 후에 옵티컬 디스크(10)를 프레임(60)으로부터 분리함으로써 옵티컬 디스크(10)가 얻어진다. 도 6에서 흰색으로 표시된 부분은 니켈 층이 존재하는 부분, 즉 옵티컬 디스크(10) 또는 프레임(60)에 해당하는 부분이고, 검은색으로 표시된 부분은 빈 공간에 해당한다.
프레임 부분(60)과 옵티컬 디스크(10)를 연결하는 연결 부분(61)을 제거함으로써 옵티컬 디스크(10)가 프레임(60)으로부터 분리될 수 있다. 연결 부분(61)의 개수와 위치는 옵티컬 디스크(10)가 프레임(60)에 의해 지지되기 적당하도록 선택될 수 있다. 이 연결 부분(61)은 도 2의 연결 부분(25)에 의해 형성되는 부분이다.
나아가 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법은 분리된 니켈 층(즉, 옵티컬 디스크)에 붙어 있는 이물질이나 먼지 등을 제거하기 위한 세척 공정을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 세척 공정은 초음파 세척기를 이용하여 수행될 수 있으며 이물질 제거를 위해 가성 소다(NaOH)가 사용될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한 정되지 아니하며 본 발명의 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 변경되어 균등한 것으로 인정되는 범위의 모든 변경 및 수정을 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 제조된 옵티컬 디스크의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 노광 공정에 사용되는 필름을 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 니켈 전주 도금 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따른 니켈 전주 도금 공정에 사용되는 쉴드를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 의해 스테인레스 기판 위에 형성된 감광제 층에 전주 도금에 의해 니켈 층이 형성된 상태를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 옵티컬 디스크 제조 방법에 따라 형성된 니켈 층이 스테인레스 기판으로부터 분리된 상태를 보여주는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 옵티컬 디스크 20: 필름
40: 쉴드

Claims (5)

  1. 옵티컬 디스크를 제조하는 옵티컬 디스크 제조 방법으로서,
    스테인레스 기판의 표면을 전처리하는 전처리 단계,
    상기 전처리된 스테인레스 기판 위에 감광제를 도포하여 감광제 층을 형성하는 감광제 층 형성 단계,
    상기 감광제 층의 표면 중 상기 옵티컬 디스크의 형상에 대응하는 부분 이외의 부분이 빛에 노출될 수 있도록 하는 패턴을 가지는 필름을 상기 감광제 층 위에 배치한 후 노광을 수행하여 상기 감광제 층을 부분적으로 경화시키는 노광 단계,
    상기 노광 단계를 수행한 후 상기 감광제 층 중 경화되지 않은 부분이 제거되도록 상기 감광제 층을 현상하는 현상 단계,
    상기 감광제 층이 제거된 부분에 니켈 층이 형성되도록 니켈 전주 도금(electroforming)을 수행하는 전주 도금 단계, 그리고
    상기 형성된 니켈 층을 상기 스테인레스 기판으로부터 분리하는 분리 단계를 포함하고,
    상기 전주 도금 단계는 표면에 복수의 통공이 형성된 쉴드가 상기 니켈 층이 형성되는 상기 스테인레스 기판의 면을 둘러싸도록 설치된 상태에서 수행되는 옵티컬 디스크 제조 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 전처리 단계에서 상기 스테인레스 기판의 표면에 헤어라인 패턴(hair line pattern)이 형성되는 옵티컬 디스크 제조 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 감광제 층 형성단계에서 상기 감광제는 인쇄 타입의 실크스크린 방식으로 도포되는 옵티컬 디스크 제조 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 노광 단계에서 상기 감광제 층이 형성된 스테인레스 기판을 고정한 상태에서 UV램프에서 발산된 빛을 자동으로 차폐함으로써 노광이 수행되는 옵티컬 디스크 제조 방법.
  5. 삭제
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