KR100994073B1 - 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록 - Google Patents

Abstract

본 발명은 히터블록에 관한 것으로서, 서포터에 의해 지지되며, 히터를 내장하는 몸체로 이루어지는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록에 관한 것으로서, 상기 히터블록의 몸체하부는 착탈 가능한 커버에 의해 감싸지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록을 제공한다.

본 발명에 의하면 히터블록몸체의 세정을 보다 간편하면서도 짧은 시간으로 수행할 수 있도록 하여 웨이퍼의 양산성을 제고할 수 있다.

히터블록, 커버

Description

커버가 장착된 히터 블록{Heater block having back side cover}

도 1은 종래 히터블록 장치 구성도.

도 2는 본 발명에 따른 히터블록 장치 구성도.

도 3은 본 발명에 따른 커버의 일실시예.

도 4는 본 발명에 따른 커버의 다른 실시예.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10, 100 : 히터블록몸체 12, 120 : 히터

14, 140 : 가이드핀 20, 200 : 서포터

30, 300 : 체결수단 40, 400 : 벨로스

160 : 커버 166 : 커버수직단

본 발명은 히터블록에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 히터블록 세정을 더 욱 간편하게 할 수 있는 커버가 장착된 히터블록에 관한 것이다.

일반적으로 히터블록(heater block)은 웨이퍼가 안치되는 공정챔버(process chamber, 이하에서는 챔버라 칭한다) 내부에 설치되어 웨이퍼의 안착기능과 함께 웨이퍼 가열에 필요한 온도조절을 동시에 수행할 수 있도록 설계된 장치이다.

통상 챔버 내부에서의 웨이퍼의 안착기능은 척에 의해서 이루어지나 척은 안착된 웨이퍼 가열에 필요한 온도조절 기능이 없어 별도의 히터장치가 필요로 하였는데, 이렇게 척과 별도 히터장치의 부가는 복잡한 웨이퍼 제조공정에 대응하기 어려워 웨이퍼 안착기능과 웨이퍼 온도조절 기능을 동시에 수행 가능한 히터블록이 개발되어 널리 사용되어 지고 있다.

도 1은 이러한 종래 히터블록의 기본적인 장치 구성을 보여주고 있는데 종래 히터블록은 기본적으로 히터(12)를 내장하고 있는 히터블록몸체(10)와, 상기 히터블록몸체(10)를 받치는 서포터(20)로 이루어진다.

상기 히터블록몸체(10)에는 이송된 웨이퍼(미도시)를 받아 상기 히터블록몸체(10) 상면에 안치시키기 위해 수직으로 승, 하강이 가능한 복수 개의 가이드핀(14)과 상기 가이드핀(14) 구동수단(미도시)을 포함하며, 상기 서포터(20)는 챔버 내부의 반응물질을 차단시키며 상기 히터블록몸체(10)를 별도의 구동수단(미도시)에 의해 수직으로 승, 하강시키는 주름진 벨로스(bellows, 40)로 감싸지며, 상기 히터블록몸체(10)와 상기 서포터(20)는 볼트 등과 같은 별도의 체결수단(30)에 의해 결합되어 진다.

상기와 같은 구성의 히터블록은 가이드핀(14)의 승, 하강에 의해 웨이퍼가 히터블록몸체(10) 상면에 놓여지면, 히터블록몸체 내부의 히터(12) 온도를 적절하게 조절함으로써 챔버 내부에 유입되는 반응가스들이 웨이퍼 상면에 증착될 수 있게 된다.

한편, 챔버 내부로 유입되는 반응가스들은 웨이퍼 상면 뿐 아니라 웨이퍼가 놓여지는 히터블록몸체에도 도포되어 누적막을 형성하게 되는데 이러한 누적막은 반복되는 공정에 있어 웨이퍼 박막의 균일성 및 박막 재현성에 악영향을 미쳐 히터블록몸체를 정기적으로 세정하는 별도 공정이 필요하게 된다.

히터블록몸체의 세정은 크게 히터블록몸체상면과 히터블록몸체후면으로 나누어 진행되는데, 통상 히터블록몸체상면에 형성되는 누적막은 SF6 등과 같은 불소형 에칭 가스로부터 여기된 플라즈마를 이용하여 제거를 하게 됨에 반해, 히터블록몸체 후면은 챔버에서 제거한 뒤 습식으로만 제거가 가능하다.

이는 히터블록몸체후면을 세정시 웨이퍼의 공정작업을 일단 중단하여야 하는 것을 의미하며, 세정에 필요한 시간 자체도 짧지가 않아 결국 히터블록몸체후면의 세정작업은 웨이퍼를 제조함에 있어 양산성을 크게 떨어뜨리는 요인이 되어 왔다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 극복하기 위해 고안된 것으로서, 히터블록몸체의 세정을 보다 간편하면서도 짧은 시간으로 수행할 수 있도록 하여 웨이퍼의 양산성을 제고할 수 있는 히터블록을 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 서포터에 의해 지지되며, 히터를 내장하는 몸체로 이루어지는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록에 관한 것으로서, 상기 히터블록의 몸체하부는 착탈 가능한 커버에 의해 감싸지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록을 제공한다.

상기 커버는 상기 히터블록 몸체의 측면 및 하부를 감싸는 것을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 커버는 알루미늄 나이트라이드 또는 그래파이트 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 한다.

상기 커버는 상기 히터블록 몸체에 별도의 체결수단으로 결합되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같은데 동일한 부분에 대해서는 도면부호만 달리할 뿐 동일한 명칭을 사용하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 바람직한 히터블록의 장치구성도로서, 본 발명에 따른 히터블록은 내부에 히터(120)를 장착하고 있는 히터블록몸체(100)와, 수직 승, 하강 가능한 벨로스(400)에 의해 감싸져 있으며 상기 히터블록몸체(100)를 지지할 수 있는 서포터(200)와, 상기 히터블록몸체(100)와 상기 서포터(200)를 결합시키는 복수 개의 체결수단(300)을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기 히터블록몸체(100)는 상면을 제외하고는 상기 히터블록몸체(100) 에 착탈 가능한 별도의 커버(160)에 의해 감싸지는데, 커버의 실시예들이 도 3 및 도 4에 각각 도시되어 있다.

도 3에 도시된 본 발명에 따른 커버(160)는 히터블록몸체(100)의 하면과 결합될 수 있도록 서포터(200)가 관통할 수 있는 중앙에 형성되는 커버홀(162)과, 상기 커버홀(162)을 중심으로 방사상으로 체결수단(300)이 관통할 수 있는 체결수단홀(164)과, 모서리를 따라 수직으로 돌출되어 히터블록몸체(100)의 측면을 감쌀 수 있는 수직단(166)을 포함하여 이루어진다.

또한, 본 발명에 따른 다른 실시예로서의 커버는 수직단이 없이 히터블록몸체(100)의 후면만을 감싸도록 상기 히터블록몸체(100)의 후면부와 동일한 형상으로 이루어짐을 도 4에서 확인할 수 있다.

커버(160)의 형상은 상기 커버(160)가 결합되는 히터블록몸체(100)의 형상에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로 도시된 형상에 한정되지 않음은 물론이다.

그리고, 상기 커버(160)에 형성되는 체결수단홀(164)은 히터블록몸체(100)와 서포터(200)를 결합시키는 체결수단(300)의 형상 및 개수에 따라 다양하게 변경될 수 있는 바 본 발명에 따른 체결수단홀(164)은 도면에 도시된 형상 및 개수에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 커버(160)의 재질은 히터(120)가 웨이퍼를 가열시킴에 따라 변형되지 않고 세정시 체결수단의 해체에 따라 히터블록몸체(100)로부터 제거될 수 만 있다면 재질에 관계없이 여러 가지 다양한 재질이 가능하나 내열성 등을 감안한다면 알루미늄 나이트라이드(AlN) 또는 그래파이트(graphite) 중에서 선택되는 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다.

만일 상기와 같은 구성으로 히터블록이 이루어진다면, 웨이퍼의 제조 공정이 반복적으로 수행되고 난 이후 히터블록몸체에 누적막이 형성되어 세정을 하고자 하는 경우, 히터(120)의 온도를 하강시킨 뒤 누적막이 형성된 채로 상기 히터블록몸체(100)를 감싸고 있는 커버(160)를 제거하고 새로 갈아 끼우기만 하면 히터블록몸체의 세정작업을 간편하게 끝낼 수 있게 되는 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 한정하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않음은 당업자에 자명하다 할 것이다.

본 발명에 의하면 히터블록몸체의 세정에 있어 상기 히터블록몸체를 감싸는 커버의 간단한 교체에 의해 마무리될 수 있으므로 세정작업에 따른 공정중단시간을 단축시켜 웨이퍼 생산성을 증진시킬 수 있는 이점을 가진다.

또한, 본 발명에 있어서의 커버는 히터블록몸체의 후면 및 측면까지 동시에 감쌀 수도 있어 히터블록몸체의 세정을 보다 간편하게 할 수 있게 해준다.

Claims (3)

1. 서포터에 의해 지지되며, 히터를 내장하는 몸체로 이루어지는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록에 관한 것으로서,

   상기 히터블록의 측면 및 후면을 밀착하여 감싸고, 상기 반도체 웨이퍼의 제조과정에서 증착된 누적막을 세정하기 위해 상기 히터블록으로부터 착탈 가능한 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 커버는 알루미늄 나이트라이드 및 그래파이트 중에서 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록.

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