KR100990980B1 - Cover for Worktable - Google Patents

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Abstract

본 발명은 커버 작업대에 관한 것으로, 그 구성은 일정한 간격으로 한 쌍의 수평축이 구비된 베이스 프레임; 상기 수평축의 사이에 위치하여 회전 가능하게 설치되며, 커버가 안착되는 커버 설치부; 상기 커버 설치부에 설치되어 상기 수평축 측으로 슬라이딩 작동하여 상기 베이스 프레임에 대한 고정상태를 유지하게 하는 슬라이딩 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a cover workbench, the configuration comprising: a base frame having a pair of horizontal axes at regular intervals; A cover installation part disposed between the horizontal shafts and rotatably installed, and having a cover seated thereon; It is installed on the cover mounting portion is characterized in that the sliding stopper is provided to slide to the horizontal axis side to maintain a fixed state to the base frame.

본 발명은 상부 커버의 회전력과 자중에 의해 최소한의 하중을 인가받을 뿐만 아니라 조작자가 용이하게 조작할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect that not only the minimum load is applied by the rotational force and the weight of the upper cover but also the operator can easily operate.

커버 설치부, 수평축, 슬라이딩 스토퍼, 작업대 Cover Mount, Horizontal Shaft, Sliding Stopper, Work Table

Description

커버 작업대{Cover for Worktable}Cover work table {Cover for Worktable}

도 1은 종래의 일반적인 플라즈마 처리 장치를 나타내는 개략도.1 is a schematic view showing a conventional general plasma processing apparatus.

도 2는 종래 기술의 커버 작업대를 나타내는 사시도.2 is a perspective view showing a cover workbench of the prior art;

도 3은 본 발명의 커버 작업대를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing a cover workbench of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 슬라이딩 스토퍼를 나타내는 부분 확대 단면도.4 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating the sliding stopper shown in FIG. 3.

도 5는 본 발명에 따른 커버 작업대의 작동 상태를 나타내는 측면도.Figure 5 is a side view showing an operating state of the cover workbench according to the present invention.

도 6은 도 5의 도시된 슬라이딩 스토퍼의 작동 상태를 나타내는 부분 확대 단면도.FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view showing an operating state of the sliding stopper shown in FIG. 5. FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 작업대 110 : 커버 설치부100: work bench 110: cover mounting

120 : 수평축 130 : 베이스프레임120: horizontal axis 130: base frame

132 : 걸림홈 140 : 슬라이딩 스토퍼132: locking groove 140: sliding stopper

141 : 핀축 142,146 : 단턱141: pin shaft 142, 146: step

143 : 걸림부 143a : 볼143: latching portion 143a: ball

143b : 스프링 144 : 슬라이딩 캡143b: spring 144: sliding cap

145a,145b : 홈145a, 145b: home

본 발명은 커버 작업대에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 상부 커버의 회전력과 자중에 의해 최소한의 하중을 인가받을 뿐만 아니라 조작자가 용이하게 조작할 수 있는 커버 작업대에 관한 것이다.The present invention relates to a cover workbench, and more particularly, to a cover workbench that can be easily operated by the operator as well as the minimum load is applied by the rotational force and the weight of the upper cover.

일반적으로 LCD, PDP, EL 등의 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버 등의 진공 챔버가 연결되어 구성된다. 물론 경우에 따라서는 하나의 반송 챔버에 다수개의 공정챔버가 연결될 수도 있다.In general, a flat panel display device manufacturing apparatus for manufacturing a flat panel display device such as LCD, PDP, EL, etc. is configured by connecting a vacuum chamber such as a loadlock chamber, a transfer chamber and a process chamber. In some cases, of course, a plurality of process chambers may be connected to one transfer chamber.

이때, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 로드락 챔버(1)는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버(2)는 그 내부에 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버(1)에서 공정챔버(3)로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버(3)에서 로드락 챔버(1)로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버(3)는 진공 중 상태에서 플라즈마나 열 에너지를 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.At this time, as shown in Figure 1, the load lock chamber 1 serves to accept the unprocessed substrate from the outside or to take out the processed substrate to the outside, the transfer chamber 2 is a substrate therein Is provided with a robot for transferring the substrates between the chambers so that the substrate to be processed is transferred from the load lock chamber 1 to the process chamber 3, or the processed substrate is transferred from the process chamber 3 to the load lock chamber 1. The process chamber 3 serves to form a film or etch a film on a substrate using plasma or thermal energy in a vacuum state.

이때, 공정 챔버(3) 내에서는 여러 가지 가스나 플라즈마를 이용하여 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 공정 챔버(3) 내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 부분의 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정 챔버(3)는 공정 챔버(3)의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정챔버(3)의 상부 커버(30)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.In this case, when a large number of processes are repeated using various gases or plasmas in the process chamber 3, equipment in the process chamber 3 may be damaged or contaminated, and thus replacement or repair of parts is required periodically. Therefore, the process chamber 3 is generally configured to open and close the upper cover 30 of the process chamber 3 to maintain the interior of the process chamber 3.

또한, 개폐된 상부 커버(30)는 작업대(10)로 이동시켜 유지 보수를 할 수 있게 하고 있다.In addition, the opened and closed upper cover 30 is moved to the worktable 10 to enable maintenance.

이때 상기 작업대(10)는 상기 상부 커버(30)를 안착 고정할 수 있는 고정부(11)와 고정된 상부 커버(30)를 회전부(12)를 회전시켜 내부를 확인할 수 있게 하고 있다. 그리고 상기 베이스프레임(13) 상에 상기 고정부(12)에 구비된 고정돌기(21)를 안착시킬 수 있는 걸림홈(22)을 고정바(23)에 의해 고정 구비하여 상기 상부 커버(30)가 수평을 유지할 수 있게 하고 있다.At this time, the work table 10 allows the fixing part 11 and the fixed upper cover 30 to rotate the rotating part 12 to check the inside of the upper cover 30. And the upper cover 30 is provided with a fixing groove 23 is fixed to the locking groove 22 for seating the fixing projection 21 provided on the fixing portion 12 on the base frame (13). To keep it level.

그러나 상기 고정돌기(21)와 걸림홈(22) 결합시 상기 상부 커버(30)의 회전력과 자중에 의해 걸림홈(22)과 고정돌기(21) 측에 많은 량의 중량이 인가되어 파손되는 등의 문제점이 있었으며, 이로 인해 상기 상부 커버(30)의 유지 보수 중 자중에 의해 고정바(23)가 휘어 조작자의 인적 피해가 발생할 수 있는 문제점이 있었다.However, when the fixing protrusion 21 and the locking groove 22 are coupled, a large amount of weight is applied to the locking groove 22 and the fixing protrusion 21 due to the rotational force and the weight of the upper cover 30, and the like. There was a problem that, due to the maintenance of the upper cover 30, the fixed bar 23 is bent due to its own weight, there was a problem that can cause human injury.

그리고 상기 고정바 및 고정돌기의 파손으로 인해 상부 커버가 수평을 유지하는데 어려움이 있었다.In addition, there is a difficulty in keeping the upper cover horizontal due to breakage of the fixing bar and the fixing protrusion.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 상부 커버의 회전력과 자중에 의해 최소한의 하중을 인가받을 뿐만 아니라 조작자가 용이하게 조작할 수 있는 커버 작업대를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a cover work table that can be easily operated by the operator as well as being applied to the minimum load by the rotational force and the weight of the upper cover. .

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following structure in order to achieve the above object.

본 발명의 커버 작업대는, 일정한 간격으로 한 쌍의 수평축이 구비된 베이스 프레임; 상기 수평축의 사이에 위치하여 회전 가능하게 설치되며, 커버가 안착되는 커버 설치부; 상기 커버 설치부에 설치되어 상기 수평축 측으로 슬라이딩 작동하여 상기 베이스 프레임에 대한 고정상태를 유지하게 하는 슬라이딩 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 한다.Cover working table of the present invention, the base frame provided with a pair of horizontal axis at regular intervals; A cover installation part disposed between the horizontal shafts and rotatably installed, and having a cover seated thereon; It is installed on the cover mounting portion is characterized in that the sliding stopper is provided to slide to the horizontal axis side to maintain a fixed state to the base frame.

또한, 상기 수평축에는 상기 슬라이딩 스토퍼가 위치하도록 걸림홈이 형성되고, 상기 슬라이딩 스토퍼는 상기 커버 설치부의 측면에 돌출 형성된 핀축과, 상기 핀축의 외주에 슬라이딩 가능한 상태로 위치하는 슬라이딩 캡과, 상기 핀축과 상기 슬라이딩 캡의 사이에 위치하여 상기 슬라이딩 캡이 일정 간격으로 이동될 수 있게 하는 걸림부로 이루어지며, 상기 걸림부는 상기 핀축에 삽입상태로 설치되는 스프링과, 상기 스프링에 의해 지지되어 상기 슬라이딩 캡의 내측에 접촉하는 볼로 이루어지고, 상기 슬라이딩 캡의 내측면에는 상기 볼이 위치하도록 복수개의 홈이 형성된다.In addition, a locking groove is formed in the horizontal shaft so that the sliding stopper is located, and the sliding stopper includes a pin shaft protruding from the side of the cover installation part, a sliding cap positioned in a slidable state around the pin shaft, and the pin shaft; A locking part positioned between the sliding caps to allow the sliding cap to be moved at a predetermined interval, wherein the locking part is a spring installed in an inserted state on the pin shaft and supported by the spring to support the inner side of the sliding cap. It is made of a ball in contact with, the inner surface of the sliding cap is formed with a plurality of grooves so that the ball is located.

그리고, 상기 핀축 및 슬라이딩 캡에는 이탈을 방지하게 하는 단턱;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 커버 작업대.And, the cover shaft further comprises a; stepped to prevent the pin shaft and the sliding cap detachment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3 또는 도 4에 도시된 바에 의하면, 상기 작업대(100)는 챔버(미도시)에서 분리 이송된 상부 커버(30)를 안치하는 커버 설치부(110)와, 상기 커버 설치부(110)가 회동 가능하게 결합되는 한쌍의 수평축(120)과, 상기 커버 설치부(110) 및 수평축(120)이 결합 구비되는 베이스프레임(130)을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 3 or 4, the work table 100 includes a cover mounting unit 110 for placing the upper cover 30 separated and transferred from a chamber (not shown), and the cover mounting unit 110. It comprises a pair of horizontal axis 120 is rotatably coupled, and the base frame 130 is provided with the cover mounting portion 110 and the horizontal axis 120 is coupled.

상기 커버 설치부(110)는 내측이 상부 커버(30)가 안치될 수 있게 계단 형태의 다단으로 형성되어 있다. 또한 상기 커버 설치부(110)의 양측면에는 상기 수평축(120)을 중심으로 앞뒤측에 각각 한쌍의 슬라이딩 스토퍼(140)가 구비된다.The cover installation unit 110 is formed in a multi-stage in the form of a stair so that the upper cover 30 can be placed inside. In addition, a pair of sliding stoppers 140 are provided on both side surfaces of the cover installation unit 110 at the front and rear sides with respect to the horizontal axis 120.

또한, 상기 슬라이딩 스토퍼(140)는 핀축(141) 및 슬라이딩 캡(144)으로 이루어지며, 상기 핀축(141)과 슬라이딩 캡(144) 상에 각각 단턱(142,146)을 형성하고 있어서, 상기 단턱(142,146)에 의해 슬라이딩 캡이 이탈되는 것을 방지하고 있다.In addition, the sliding stopper 140 is composed of a pin shaft 141 and a sliding cap 144, the stepped (142, 146) are formed on the pin shaft 141 and the sliding cap 144, respectively, the stepped (142, 146) ), The sliding cap is prevented from being separated.

그리고 상기 핀축(141)과 슬라이딩 캡(144)의 사이에 위치하는 걸림부(143)를 구비하고 있으며, 상기 걸림부(143)는 볼(143a)과 상기 볼(143a)을 탄성 지지하는 스프링(143b)으로 이루어진다. 이는 상기 걸림부(143)로 하여금 상기 핀축 상에서 슬라이딩 캡이 일정 간격을 갖고 이동될 수 있게 하기 위함이며, 상기 슬라이딩 캡의 내부면 상에 복수개의 홈(145a,145b)을 이격된 상태로 위치시켜 홈(145a)과 홈(145b) 사이에서 볼(143a)이 이동하며 걸리게 하는 것이 바람직하다.And a locking portion 143 positioned between the pin shaft 141 and the sliding cap 144, wherein the locking portion 143 is a spring (21) for elastically supporting the ball (143a) and the ball (143a). 143b). This is to allow the locking portion 143 to move the sliding cap at a predetermined interval on the pin shaft, and to position the plurality of grooves 145a and 145b spaced apart from each other on the inner surface of the sliding cap. Preferably, the ball 143a is moved and caught between the groove 145a and the groove 145b.

예컨대 상기 핀축(141) 상에서 상기 슬라이딩 캡(144)이 수평 슬라이딩되어 추출시 단턱(142,146)에 의해 이탈을 방지하도록 함과 동시에 걸림부(143)의 볼(143a)이 홈(145a)에서 홈(145b)로 이동하여 맞물려 슬라이딩 캡(144)의 유동을 방지하도록 하고 있다. 반대로 상기 슬라이딩 캡(144)이 핀축(141)의 내부로 수평 슬라이딩 삽입시 내측에 구비된 홈(145a)에 의해 유동되는 것을 방지하도록 하고 있는 것이다.For example, the sliding cap 144 is horizontally slid on the pin shaft 141 to prevent it from being separated by the step 142 and 146 during extraction, and at the same time, the ball 143a of the locking portion 143 is grooved in the groove 145a. It moves to 145b to prevent the sliding cap 144 from flowing. On the contrary, when the sliding cap 144 is horizontally inserted into the pin shaft 141, the sliding cap 144 is prevented from flowing by the groove 145a provided inside.

상기 수평축(120)은 베이스프레임 상면에 각각 구비되되 상기 커버 설치부와 축에 의해 결합되어 별도의 구동수단(미도시)에 의해 커버 설치부를 회동시키도록 하고 있다. 여기서 상기 수평축은 통상의 베어링이 내장된 형태를 한 베어링 하우징으로서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The horizontal shaft 120 is provided on the upper surface of the base frame, respectively, and is coupled by the cover mounting portion and the shaft to rotate the cover mounting portion by a separate driving means (not shown). Here, the horizontal axis is a bearing housing having a form in which a general bearing is embedded, and a detailed description thereof will be omitted.

상기 베이스프레임(130)은 상기 커버 설치부에 구비된 슬라이딩 스토퍼와 대응되는 위치에 걸림홈(132)을 형성시켜 커버 설치부가 회동시 슬라이딩 스토퍼(140)가 걸림홈(132)에 고정되어 수평을 유지토록 하고 있다.The base frame 130 forms a locking groove 132 at a position corresponding to the sliding stopper provided in the cover mounting portion, so that the sliding stopper 140 is fixed to the locking groove 132 when the cover mounting portion is rotated to be horizontal. To maintain it.

이하, 첨부된 도면 도 5 또는 도 6을 참조하여 본 발명의 작동 상태를 설명한다.Hereinafter, an operating state of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, FIG. 5 or FIG. 6.

도 5를 참조하면, 별도의 이송장치(미도시)를 이용해 챔버에서 상부 커버를 분리 이동시켜 상기 커버 설치부(110) 상에 상부 커버(30)를 안치시킴과 동시에 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 커버 설치부에 구비된 슬라이딩 스토퍼(140)에서 슬라이딩 캡(144)을 수평 슬라이딩시켜 베이스프레임(130)에 형성된 걸림홈(132)에 고정시켜 상부 커버가 수평 상태가 되도록 한다. 이때 상기 슬라이딩 스토퍼(140)는 핀축(141)에 구비된 단턱(142,146)에 의해 상기 슬라이딩 캡이 이탈되는 것을 방지하도록 하고 있으며, 상기 슬라이딩 캡(144)과 핀축(141)은 상기 걸림부(143)와 홈에 의해 유동하는 것을 방지하도록 하고 있다. 이렇게 슬라이딩 스토퍼를 커버 설치부에 구비시키고 슬라이딩 스토퍼에 의해 커버 설치부를 수평 유지시킴으로써 상기 상부 커버의 자중이나 회전력에 의한 충격을 최소화하며 조작할 수 있게 되는 것이다.Referring to FIG. 5, the upper cover 30 is separated from the chamber by using a separate transfer device (not shown) and the upper cover 30 is placed on the cover installation unit 110, as shown in FIG. 6. In addition, the sliding cap 144 is horizontally slid from the sliding stopper 140 provided in the cover installation unit to be fixed to the locking groove 132 formed in the base frame 130 so that the upper cover is in a horizontal state. In this case, the sliding stopper 140 prevents the sliding cap from being separated by the stepped portions 142 and 146 of the pin shaft 141. The sliding cap 144 and the pin shaft 141 are connected to the locking portion 143. ) And grooves to prevent flow. The sliding stopper is provided in the cover mounting portion and the cover mounting portion is leveled by the sliding stopper, thereby minimizing the impact caused by the weight or rotational force of the upper cover.

이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.The invention being thus described, it will be obvious that the same way may be varied in many ways. Such modifications are intended to be within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

본 발명은 앞서 본 구성에 의해 다음과 같은 효과를 가진다.The present invention has the following effects by the above configuration.

본 발명은 상부 커버의 회전력과 자중에 의해 최소한의 하중을 인가받을 뿐만 아니라 조작자가 용이하게 조작할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect that not only the minimum load is applied by the rotational force and the weight of the upper cover but also the operator can easily operate.

Claims (5)

일정한 간격으로 한 쌍의 수평축이 구비된 베이스 프레임;A base frame provided with a pair of horizontal axes at regular intervals; 상기 수평축의 사이에 위치하여 회전 가능하게 설치되며, 커버가 안착되는 커버 설치부;A cover installation part disposed between the horizontal shafts and rotatably installed, and having a cover seated thereon; 상기 커버 설치부에 설치되어 상기 수평축 측으로 슬라이딩 작동하여 상기 베이스 프레임에 대한 고정상태를 유지하게 하는 슬라이딩 스토퍼가 구비되며,Is provided on the cover mounting portion is provided with a sliding stopper for sliding to the horizontal axis side to maintain a fixed state to the base frame, 상기 수평축에는 상기 슬라이딩 스토퍼가 위치하도록 걸림홈이 형성되고, 상기 슬라이딩 스토퍼는 상기 커버 설치부의 측면에 돌출 형성된 핀축과, 상기 핀축의 외주에 슬라이딩 가능한 상태로 위치하는 슬라이딩 캡과, 상기 핀축과 상기 슬라이딩 캡의 사이에 위치하여 상기 슬라이딩 캡이 일정 간격으로 이동될 수 있게 하는 걸림부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커버 작업대. A locking groove is formed in the horizontal shaft so that the sliding stopper is positioned. The sliding stopper includes a pin shaft protruding from a side of the cover installation unit, a sliding cap positioned in a slidable state on an outer circumference of the pin shaft, and the pin shaft and the sliding. The cover workbench, characterized in that the locking portion is located between the caps to allow the sliding cap to be moved at regular intervals . 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 걸림부는 상기 핀축에 삽입상태로 설치되는 스프링과, 상기 스프링에 의해 지지되어 상기 슬라이딩 캡의 내측에 접촉하는 볼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커버 작업대.The locking unit is a cover workbench, characterized in that consisting of a spring installed in the pin shaft inserted into the state, the ball is supported by the spring in contact with the inside of the sliding cap. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 슬라이딩 캡의 내측면에는 상기 볼이 위치하도록 복수개의 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 작업대.A cover workbench, characterized in that a plurality of grooves are formed on the inner surface of the sliding cap so that the ball is located. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핀축 및 슬라이딩 캡에는 이탈을 방지하게 하는 단턱;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 커버 작업대.The pin shaft and the sliding cap step cover to prevent the separation; further comprising a cover workbench.
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