KR100990420B1

KR100990420B1 - 방전 전극

Info

Publication number: KR100990420B1
Application number: KR1020090007424A
Authority: KR
Inventors: 가즈오 오카노
Original assignee: 가즈오 오카노
Priority date: 2008-07-08
Filing date: 2009-01-30
Publication date: 2010-10-29
Anticipated expiration: 2029-01-30
Also published as: JP2010020913A; CN101626145A; JP4233058B1; TWI332735B; KR20100006103A; TW201004078A; CN101626145B

Abstract

본 발명은, 선단(先端)의 뾰족한 끝에 있어서 이물질이 쉽게 부착되지 않고, 또한 부착되어도 날려 버릴 수 있도록 하여, 이물질 부착을 억제하여 양호한 방전 특성의 장기간의 유지를 실현하는 코로나 방전용의 방전 전극을 제공한다. 내부에 가스 유로(111)를 가지는 기체부(基體部)(110)와, 일부가 첨두체(尖頭體)(121)로서 이 첨두체(121)의 경사면(121a)까지 연통되는 경사면 흡출(吸出) 유로(123)를 내부에 가지는 선단부(120)를 구비하고, 선단부(120)는, 기체부(110)로부터 첨두체(121)가 돌출된 상태로 기체부(110)에 기계적으로 고정되고, 기체부(110)와 전기적으로 접속되고, 또한 기체부(110)의 가스 유로(111)와 경사면 흡출 유로(123)가 연통되는 방전 전극(100)으로 하였다.

코로나 방전용, 방전 전극, 기체부, 선단부, 가스 유로, 흡출 유로

Description

방전 전극 {DISCHARGE ELECTRODE}

본 발명은, 코로나 방전용의 방전 전극에 관한 것이다.

코로나 방전용의 방전 전극의 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본 특허출원 공개번호 2007-134141호 공보, 발명의 명칭: 이온화 장치의 전극침 유닛 및 이온화 장치)에 기재된 발명이 알려져 있다.

특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에 있어서, 전극침은, 전극침의 베이스부에 가까운 측의 일부에서 지지 부재에 의해 지지되고, 전극침의 선단부 주위를 에어가 흐르도록 하고 있다. 이로써, 전극침의 선단 부근에 있는 티끌이나 먼지 등이 에어에 의해 날아가 버리게 되어, 티끌이나 먼지 등이 부착되지 않도록 하고 있다.

또한, 다른 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 2(일본 특허출원 공개번호 1996-88074호 공보, 발명의 명칭: 이온 발생 장치용 방전 전극)에 기재된 발명이 알려져 있다.

또한, 다른 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 3(일본 특허출원 공개번호 2004-247107호 공보, 발명의 명칭: 노즐형 방전 전극)에 기재된 발명이 알려져 있다.

이들 특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술에 있어서, 노즐 선단을 침형으로 형성하고, 노즐 중앙으로부터 흡출되는 고속의 바람으로 이온을 탑재하여 원거리까지 이온을 반송(搬送)한다는 것이다. 이들 특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술의 방전 전극에서도, 바람에 의해 티끌이나 먼지 등이 쉽게 부착되지 않는다는 효과를 전망할 수 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 2007-134141호 공보(단락 번호[0055], 도 1)

[특허 문헌 2] 일본 특허출원 공개번호 1996-88074호 공보(도 1, 도 2)

[특허 문헌 3] 일본 특허출원 공개번호 2004-247107호 공보(도 1, 도 2)

특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에서는, 전극침의 선단 주위를 에어가 흐르는 공간으로 하고 있지만, 선단 부근에서 전극침이 뾰족하게 되어 있으므로, 에어가 흐르는 공간이 증대하여 감에 따라 에어가 분산되어 흘러가, 특히 선단 부근의 경사면에서는 에어의 분산이 현저해져 에어의 기세가 약해진다는 것이며, 만일 전극침의 침 선단의 경사면에 티끌, 먼지, 실록산 등(이하, 이물질이라고 함)이 부착되면, 에어로 제거하는 것은 용이하지 않고, 이물질이 약간은 퇴적될 우려가 있었다. 특히, 실리콘 수지 제품에 포함되는 저분자 실록산이 휘발한 가스 상태의 실록산이 퇴적되어 부착된 실록산이 이물질인 경우에는, 반도체용 실리콘 웨이퍼 등을 제조하고 있는 클린룸에 있어서는 전기 회로의 표면에 부착되면 접점 장해가 일 어나기 때문에 특히 문제가 있었다.

특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술에서는, 전극침의 선단측에는 이물질이 부착될 우려를 낮게 하고 있지만, 전극침의 경사면이나 측면에 이물질이 부착되면, 에어가 흐르고 있지 않는 경우에는 이물질이 약간은 퇴적될 우려가 있었다. 또한, 전극이 앞이 뾰족하게 되어 있지 않으므로, 침형의 전극과 비교하여 방전 특성이 양호하지 않다는 문제도 있었다.

즉, 방전 전극의 경사면에서는 내측이나 외측의 어느 쪽에 에어류가 흐르고 있어도 이물질이 부착되기 쉬워 방전 특성이 열화될 우려가 있다는 문제가 있었다. 또한, 방전 전극을 앞이 뾰족하게 하여 침형의 방전 전극과 비교해도 뒤떨어지지 않는 방전 특성을 확보하려는 요청도 있었다.

그래서, 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 선단의 뾰족한 끝에 있어서 이물질이 쉽게 부착되지 않고, 또한 부착되어도 날려가 버릴 수 있도록 하여, 이물질 부착을 억제하여 양호한 방전 특성의 장기간의 유지를 실현하는 코로나 방전용의 방전 전극을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 청구항 1에 관한 방전 전극은,

전기적인 도체(導體)로 형성되고, 내부에 가스 유로를 가지는 기체부(基體部)와,

전기적인 도체로 형성되고, 일부가 첨두체(尖頭體)로서 이 첨두체의 경사면까지 연통되는 경사면 흡출(吸出) 유로를 내부에 가지는 선단부

를 구비하고,

선단부는, 기체부로부터 첨두체가 돌출된 상태로 기체부에 기계적으로 고정되고, 기체부와 전기적으로 접속되고, 또한 기체부의 가스 유로와 경사면 흡출 유로가 연통되고,
선단부의 첨두체는 다각(多角) 추체(錐體) 또는 원추체(圓錐體)인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 2에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 소물체(小物體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 소물체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 3에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중실(中實) 봉체(棒體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 직선 중실 봉체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 4에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중공(中空) 관체(管體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 직선 중공 관체 사이의 간극 및 관내 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 5에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 가요성(可撓性)을 가지는 전기적인 도체로서 표면에 복수개의 철부(凸部)가 형성되는 시트체를 소용돌이형으로 감아서 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 인접하는 2개의 시트체와 철부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 6에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 한 개의 직선 중공 관체를 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 7에 관한 방전 전극은,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 반경이 상이한 복수개의 직선 중공 관체를 다중 원통형으로 되도록 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 8에 관한 방전 전극은,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체를 상기 기체부에 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 상기 기체부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

삭제

이상과 같은 본 발명에 의하면, 선단의 뾰족한 끝에 있어서 이물질이 쉽게 부착되지 않고, 또한 부착되어도 날려 버릴 수 있도록 하여, 이물질 부착을 억제하여 양호한 방전 특성의 장기간의 유지를 실현하는 코로나 방전용의 방전 전극을 제공할 수 있다.

이어서, 본 발명을 실시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 1 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 1 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 1 (c)는 선단부의 일부 확대도이다. 방전 전극(100)은, 기체부(110), 선단부(120)를 구비하고 있다.

기체부(110)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(111)를 가진다. 이 가스 유로(111)에는 가스가 통류(通流)한다. 그리고, 본 명세서 중의 가스란 에어(세정된 공기), 질소 가스 등의 비반응성 가스, 희(希)가스 등이며, 적어도 피제전물(被除電物)에 분사 가능한 기체를 말한다. 본 형태에서는 기체부(110)는 일정 길이를 가지는 원관체(圓管體)로서 형성되어 있고, 원관체 내부의 중공 내부가 가스 유로(111)로 된다.

선단부(120)는 적어도 일부가 원추체인 첨두체(121)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(120)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(120)의 첨두체(121) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(111)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(120)는, 도 1 (c)에 나타낸 바와 같이, 전기적인 도체인 소물체(122)(본 형태에서는 금속 등의 전기적인 도체에 의한 구체)를 복수개 모아, 소물체(122)끼리의 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 구체(球體)인 소물체(122)의 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 선단부와 동일 형상의 구멍 부분 내에 복수개의 소물체(122)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시킨 후에 냉각하여 고착 형성한다. 방전 전극(100)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(120)는, 도 1 (a),(b),( c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되어 있고, 이 간극에 의해 첨두체(121)의 경사면(121a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(123)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(123)는 중단되지 않는 연속되는 공간이다.

그리고, 이 선단부(120) 중 첨두체(121)가 기체부(110)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(100)이 완성된다. 이로써, 기체부(110)와 선단부(120)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(110)의 가스 유로(111)와 선단부(120)의 경사면 흡출 유로(123)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(100)의 기체부(110)에 가스를 공급하면, 가스 유 로(111)를 통해 선단부(120)의 경사면 흡출 유로(123)로 가스가 도입되어 첨두부(120)의 경사면(121a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(100)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(121a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(121a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

그리고, 본 형태에서는 소물체(122)로서 구체를 상정하여 설명하였으나, 구체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 도전성을 가지는 재료로 형성된 타원체, 다각형체, 요철(凹凸)을 가지는 불특정 형상의 소물체 등을 사용할 수 있다.

또한, 첨두체(121)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.

또한, 기체부(110)도 원관체에 한정되는 것은 아니고, 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(立體)(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(121)에서 코로나 방전에 의해 직류로 양이온 또는 음이온, 또한 교류로 양이온 및 음이온(이하, 직류와 교류를 고려한 후에 단지 이온이라고 함)이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.

이와 같은 방전 전극(100)에 의하면 거의 완전한 첨두체(121)임에도 불구하고 첨두체(121)의 경사면(121a)의 거의 전체면에서 가스 분사를 행하므로, 가스 분사에 의해 이물질, 특히 첨두체(121)의 경사면(121a)에 가스 상태의 실록산은 도달 할 수 없게 되어 절연성을 가지는 실록산 등의 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 전극의 장기간에 걸친 양호한 방전 특성의 유지가 가능해지고, 또한 실록산 등의 이물질이 피제전물에 분사될 염려도 없어져, 피제전물에 대하여 제전만을 확실하게 행한다. 또한, 생성된 이온을 경사면(121a)으로부터의 가스 분사에 의해 방전 전극(100)으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물의 표면에 확실하게 도달한다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 2는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 2 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 2 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 2 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 2 (d)는 다른 선단부의 평면 확대도이다. 방전 전극(200)은, 기체부(210), 선단부(220)를 구비하고 있다.

기체부(210)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(211)를 가진다. 이 가스 유로(211)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(210)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(211)로 된다.

선단부(220)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(221)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(220)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(220)의 첨두체(221) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(211)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(210)는 전기적인 도체인 직선 중실 봉체(222)(본 형태에서는 전기적인 도체에 의한 직선 환봉(丸棒))를 복수개 모아, 직선 중실 봉체(222)끼리의 접촉면만 고착하여 형성한 물체이 다. 이것은 직선 환봉인 직선 중실 봉체(222)의 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부(丸孔部) 내에 복수개의 직선 중실 봉체(222)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(200)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 또한, 선단을 절삭 가공하여 첨두체(221)를 형성한다. 이같이 하여 형성된 선단부(220)는, 도 2 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 직선 중실 봉체(222) 사이에 간극이 형성되고, 이 첨두체(221)의 경사면(221a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(223)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(223)는 주위 방향이나 반경 방향으로는 연속되지 않고, 상하 방향으로만 연속되는 직선형의 복수개의 공간이다.

그리고, 이 첨두체(221)가 기체부(210)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(200)이 완성된다. 이로써, 기체부(210)와 선단부(220)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(210)의 가스 유로(211)와 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(223)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(200)의 기체부(210)에 가스를 공급하면, 가스 유로(211)를 통해 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(223)로 가스가 도입되어 경사면(221a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(200)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(221a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(221a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두 체(221)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.

또한, 본 형태의 특징으로서 가스 분사의 방향이 아래쪽에 한정되므로, 가스 분사에 의해 아래쪽으로 이온이 분사되어 피제전물에 확실하게 도달한다.

그리고, 본 형태에서는 직선 중실 봉체로서 환봉을 상정하여 설명하였으나, 환봉에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 타원봉, 다각형을 가지는 각봉 등을 사용할 수 있다.

또한, 첨두체(221)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.

또한, 기체부(210)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.

이와 같은 방전 전극(200)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체(221)의 경사면(221a)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 양호한 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 경사면(221a)으로부터 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이 형태에서는 먼저 도 2를 참조하여 설명한 방전 전극(200) 중 환봉 등의 직선 중실 봉체 대신에 원관(圓管) 등의 직선 중공 관체를 채용한 선단부로 하는 것이며, 끝의 형 태를 개량하는 것이다. 이 방전 전극(200)에서는 기체부(210)는 앞의 설명과 같은 구성을 가지는 것이며, 중복되는 설명을 생략하고 상위점으로 되는 선단부(210)만 설명한다.

선단부(220)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(221)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(220)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(220)의 첨두체(221) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(211)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(210)는 전기적인 도체인 직선 중공 관체(224)(본 형태에서는 전기적인 도체에 의한 직선형의 원관)를 복수개 모아 직선 중공 관체(224)끼리를 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 원관인 직선 중공 관체(224)의 외주 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부 내에 복수개의 직선 중공 관체(224)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(200)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 또한, 선단을 절삭 가공하여 첨두체(221)를 형성한다. 이같이 하여 형성된 선단부(220)는, 도 2 (d)에 나타낸 바와 같이 직선 중공 관체 사이에 형성되는 간극 및 관내 공간에 의해, 이 첨두체(221)의 경사면(221a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(225)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(225)는 주위 방향이나 반경 방향으로는 연속되지 않고, 상하 방향으로만 연속되는 직선형의 복수개의 공간이다.

그리고, 이 첨두체(221)가 기체부(210)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(200)이 완성된다. 이로써, 기 체부(210)와 선단부(220)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(210)의 가스 유로(211)와 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(225)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(200)의 기체부(210)에 가스를 공급하면, 가스 유로(211)를 통해 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(225)로 가스가 도입되어 경사면(221a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(200)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(221a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(221a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(221)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.

또한, 본 형태의 특징으로서 가스 분사의 방향이 아래쪽에 한정되고, 또한 직선 원관(224)의 관내 공간에 의해 유로가 증가한 경사면 흡출 유로(225)를 통해 가스 분사가 확실하게 행해지게 되어, 가스 분사에 의해 아래쪽으로 이온이 분사되어 피제전물에 확실하게 도달한다.

그리고, 본 형태에서는 직선 중공 관체(224)로서 원관체를 상정하여 설명하였으나, 원관체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 타원 관체, 다각형 구멍을 가지는 관 등을 사용할 수 있다.

또한, 기체부(210)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 3은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 3 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 3 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 3 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 3 (d)는 선단부의 측단면도이다. 도 4는 선단부의 설명도로서, 도 4 (a)는 제조 전의 선단부의 평면도, 도 4 (b)는 제조 전의 선단부의 정면도, 도 4 (c)는 제조 전의 다른 선단부의 정면도이다. 방전 전극(300)은, 기체부(310), 선단부(320)를 구비하고 있다.

기체부(310)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(311)를 가진다. 이 가스 유로(311)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(310)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(311)로 된다.

선단부(320)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(321)로 형성된다. 본 형태에서는 선단부(320)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(320)의 첨두체(321) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(311)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(320)는 가요성을 가지는 전기적인 도체(예를 들면, 금속판 등)에 의해 형성되고, 도 4 (a),(b)에 나타낸 바와 같이, 표면에 복수개의 철부(323)가 랜덤으로 배치되어 형성되는 시트체(322)를 소용돌이형으로 감아서 첨두체(321)를 포함하도록 형성하고, 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 시트체(322) 및 철부(323) 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부 내에, 감은 상태의 시트체(322)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(300)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 그리고, 본 형태에서는 시트체의 한 변을 경사부(322a)로서 형성하였으므로 시트체(322)를 감으면 나선형으로 끝이 뾰족하게 되므로, 절삭 가공이 불필요하게 하고 있다. 이같이 하여 형성된 선단부(320)는, 도 3 (c),(d)에 나타낸 바와 같이 인접하는 2개의 시트체(322)와 철부(凸部)(323)에 의해 간극 공간이 형성되고, 이 첨두체(321)의 경사면(321a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(324)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(324)는 나선 방향으로도 연속되는 공간이다.

그리고, 이 첨두체(321)가 기체부(310)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(300)이 완성된다. 이로써, 기체부(310)와 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(310)의 가스 유로(311)와 선단부(320)의 경사면 흡출 유로(324)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(300)의 기체부(310)에 가스를 공급하면, 가스 유로(311)를 통해 선단부(320)의 경사면 흡출 유로(324)로 가스가 도입되어 경사 면(321a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(300)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(321a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(321a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(321)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.

그리고, 본 형태에서는 도 4 (a),(b)에 나타낸 바와 같은 철부(323)가 형성된 시트체(322)를 상정하여 설명하였으나, 이와 같은 시트체(322)에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 도 4 (c)에 나타낸 바와 같이, 시트체(322)의 한 변에 감기용의 축으로 되는 축부(325)를 설치해도 된다.

또한, 첨두체(321)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.

또한, 경사부가 없는 직사각형상의 시트체(322)를 감아서 고착하여 원기둥체를 형성하고, 이 원기둥체의 선단을 절삭 가공하여 첨두체(321)를 형성하도록 해도 된다.

또 철부(323)도 도 4 (b),(c)와 같이 랜덤으로 배치한 것이 아니고, 격자형이나 지그재그형라는 규칙성을 가지는 배치로 해도 된다.

또한, 기체부(310)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.

이와 같은 방전 전극(300)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체(321)의 경사면(321a)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다.

또한, 생성된 이온을 경사면(321a)으로부터 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 5는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 5 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 5 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 5 (c)는 선단부의 측단면도이다. 방전 전극(400)은, 기체부(410), 선단부(420)를 구비하고 있다.

기체부(410)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(411)를 가진다. 이 가스 유로(411)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(410)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(411)로 된다.

선단부(420)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(421)와 그 주위에 침형체(421)와는 반경이 상이한 직선 중공 관체(423)를 지지부(424)에 의해 납땜이나 은땜 등에 의해 고정하여 침형체(421)의 선단과 직선 중공 관체(423)의 단부가 경사면(422) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(422)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(422)에는 기체부(410)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(421)는, 직선 중공 관체(423)로부터 돌출된 구성으로 된다. 침형 체(421)와 직선 중공 관체(423)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(425)가 형성된다. 본 형태에서는 직선 중공 관체(423)와 기체부(410)의 간극 공간도 포함된다. 방전 전극(400)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(420)는, 도 5 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(422)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(425)가 내부에 형성된다.

그리고, 이 첨두체가 기체부(410)로부터 돌출하도록 한 상상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(400)이 완성된다. 이로써, 기체부(410)와 선단부(420)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(410)의 가스 유로(411)와 선단부(420)의 경사면 흡출 유로(425)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(400)의 기체부(410)에 가스를 공급하면, 가스 유로(411)를 통해 선단부(420)의 경사면 흡출 유로(425)로 가스가 도입되어 경사면(422)의 거의 전역, 특히 침형체(421)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(400)에서는, 부유하는 이물질이 침형체(421)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 침형체(421)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체 중 특히 침형체에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.

그리고, 본 형태에서는 기체부나 선단부의 관체가, 원관체인 것으로 하여 설명하였으나, 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 그 외주면에 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.

이와 같은 방전 전극(400)에 의하면 가스 분사에 의해 첨두체의 경사면(422), 특히 침형체(421)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 6은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 6 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 6 (b)는 방전 전극의 평면도이다. 도 7은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 7 (a)는 선단부의 사시외관도, 도 7 (b)는 침형체의 지지부의 설명도, 도 7 (c)는 접속부의 설명도, 도 7 (d)는 접속부의 설명도, 도 7 (e)는 선단부의 단면도이다. 방전 전극(500)은, 기체부(510), 선단부(520)를 구비하고 있다.

기체부(510)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(511)를 가진다. 이 가스 유로(511)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(510)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(511)로 된다.

선단부(520)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(521)와 그 주위에 반경이 상이한 복수개의 직선 중공 관체(523)를 지지부(524)에 의해 납땜이나 은땜 등 에 의해 고정하여 침체(521)의 선단과 직선 중공 관체(523)의 단부가 경사면(522) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(522)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(522)에는 기체부(510)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(521)는, 직선 중공 관체(523)로부터 돌출된 구성으로 된다. 여기서 보다 구체적으로는, 도 7 (a)에 나타낸 바와 같이, 직경이 상이한 직선 중공 관체(대)(523a), 직선 중공 관체(중)(523b), 직선 중공 관체(소)(523c)라는 3개의 원관체에 의해 형성하면 된다. 또한, 지지부(524)로서 도 7 (b)에 나타낸 바와 같이 침형체(521)로부터 돌출하는 돌기로 하고, 직선 중공 관체(523)의 내부에 형성되는 홈부(523a)에 한쪽으로부터 삽입되어, 도 7 (c),(d)에 나타낸 바와 같이 회전이나 슬라이드 이동할 수 없도록 한 상태로 하고, 납땜이나 은땜 등에 의해 견고하게 고정하는 접속부를 형성하도록 하면 된다. 또한, 침형체(521)와 직선 중공 관체(523)의 간극 공간 및 인접하는 2개의 직선 중공 관체(523)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(525)가 형성된다. 본 형태에서는 직선 중공 관체(523)와 기체부(510)의 간극 공간도 포함된다. 방전 전극(500)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(520)는, 도 6 (a),(b)나 도 7 (a),(e)에 나타낸 바와 같이 간극 공간이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(522)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(525)가 내부에 형성된다.

그리고, 이 첨두체가 기체부(510)로부터 돌출하도록 한 상상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(500)이 완성된다. 이로써, 기체 부(510)와 선단부(520)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(510)의 가스 유로(511)와 선단부(520)의 경사면 흡출 유로(525)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(500)의 기체부(510)에 가스를 공급하면, 가스 유로(511)를 통해 선단부(520)의 경사면 흡출 유로(525)로 가스가 도입되어 경사면(522)의 거의 전역, 특히 침형체(521)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(500)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(522)이나 침형체(521)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(522)이나 침형체(521)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같은 방전 전극(500)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체의 경사면(522), 특히 침형체(521)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.

이어서, 본 형태에 의한 방전 전극에 있어서의 효과에 대하여 실험을 행하였으므로 설명한다. 도 8은 방전 전극에 있어서의 이물질의 부착 상태를 설명하는 사진이며, 도 8 (a)는 종래 방식의 방전 전극의 사진, 도 8 (b)는 본 발명의 방전 전극의 사용 초기의 사진, 도 8 (c)는 본 발명의 방전 전극의 소정 기간 경과 후의 사진이다. 도 8 (b),(c)는, 도 7 (e)에 나타낸 방전 전극(500)의 침형체(521)의 선단이며, 도 7 (e)의 A부에 나타낸 개소이다. 종래 방식의 방전 전극에서는 소정 기간 경과 후에 도 8 (a)에 나타낸 바와 같이 이물질(실록산)이 부착되지만, 본 발명의 방식에서는 도 8 (b)의 사용의 초기로부터 도 8 (c)의 소정 기간 경과 후까지 경과한 후에도 초기와 변함없이, 이물질이 부착되지 않은 것이 확인되었다.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 9는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 9 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 9 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 9 (c)는 선단부의 측단면도이다. 방전 전극(600)은, 기체부(610), 선단부(620)를 구비하고 있다.

기체부(610)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(611)를 가진다. 이 가스 유로(611)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(610)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(611)로 된다.

선단부(620)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(621)를, 동일하게 전기적인 도체에 의해 형성된 지지부(623)에 의해 납땜이나 은땜 등에 의해 고정하여 침형체(621)의 선단이 경사면(622) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(622)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(622)에는 기체부(610)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(621)는, 기체부(610)로부터 돌출된 구성으로 된다. 침형체(621)와 기체부(610)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(624)가 형성된다. 방전 전극(600)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(620)는, 도 9 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(622)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(624)가 내부에 형성된다. 또한, 기체부(610)와 선단부(620)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(610)의 가스 유로(611)와 선단부(620)의 경사면 흡출 유로(624)가 연통된다.

이와 같은 방전 전극(600)의 기체부(610)에 가스를 공급하면, 가스 유로(611)를 통해 선단부(620)의 경사면 흡출 유로(624)로 가스가 도입되어 경사면(622)의 거의 전역, 특히 침형체(621)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(600)에서는, 부유하는 이물질이 침형체(621)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 침형체(621)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.

이와 같은 방전 전극(600)에 의하면 가스 분사에 의해 첨두체의 경사면, 특히 침형체(621)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다.

또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.

이상 설명한 각 형태의 방전 전극은, 이물질이 부착되지 않도록 했기 때문에, 양호한 방전 특성의 유지를 도모하고, 또한 이물질이 피제전물에 분사되지 않도록 하여, 피제전물의 제전만을 확실하게 행하도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 1 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 1 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 1 (c)는 선단부의 일부 확대도이다.

도 2는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 2 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 2 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 2 (c)는 선단부의 확대도, 도 2 (d)는 다른 선단부의 평면 확대도이다.

도 3은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 3 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 3 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 3 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 3 (d)는 선단부의 측단면도이다.

도 4는 선단부의 설명도로서, 도 4 (a)는 제조 전의 선단부의 평면도, 도 4 (b)는 제조 전의 선단부의 정면도, 도 4 (c)는 제조 전의 다른 선단부의 정면도이다.

도 5는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 5 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 5 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 5 (c)는 선단부의 측단면도이다.

도 6은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 6 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 6 (b)는 방전 전극의 평면도이다.

도 7은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 7 (a)는 선단부의 사시외관도, 도 7 (b)는 침형체의 지지부의 설명도, 도 7 (c)는 접속부의 설명도, 도 7 (d)는 접속부의 설명도, 도 7 (e)는 선단부의 단면도이다.

도 8은 방전 전극에 있어서의 이물질의 부착 상태를 설명하는 사진으로서, 도 8 (a)는 종래 방식의 방전 전극의 사진, 도 8 (b)는 본 발명의 방전 전극의 사용 초기의 사진, 도 8 (c)는 본 발명의 방전 전극의 소정 기간 경과 후의 사진이다.

도 9는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 9 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 9 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 9 (c)는 선단부의 측단면도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

(100): 방전 전극

(110): 기체부

(111): 가스 유로

(120): 선단부

(121): 첨두체

(121a): 경사면

(122): 소물체

(123): 경사면 흡출 유로(간극)

(200): 방전 전극

(210): 기체부

(211): 가스 유로

(220): 선단부

(221): 첨두체

(221a): 경사면

(222): 직선 중실 환봉체(환봉)

(223): 경사면 흡출 유로(간극)

(224): 직선 중공 원관체(원관)

(225): 경사면 흡출 유로(간극, 관내 공간)

(300): 방전 전극

(310): 기체부

(311): 가스 유로

(320): 선단부

(321): 첨두체

(321a): 경사면

(322): 시트체

(322a): 경사부

(323): 철부

(324): 경사면 흡출 유로(간극)

(325): 축부

(400): 방전 전극

(410): 기체부

(411): 가스 유로

(420): 선단부

(421): 침형체

(422): 경사면

(423): 직선 중공 관체

(424): 지지부

(425): 경사면 흡출 유로(간극 공간)

(500): 방전 전극

(510): 기체부

(511): 가스 유로

(520): 선단부

(521): 침형체

(522): 경사면

(523): 직선 중공 관체

(523a): 직선 중공 관체(대)

(523b): 직선 중공 관체(중)

(523c): 직선 중공 관체(소)

(524): 지지부(돌기)

(525): 경사면 흡출 유로(간극 공간)

(600): 방전 전극

(610): 기체부

(611): 가스 유로

(620): 선단부

(621): 침형체

(622): 경사면

(623): 지지부

(624): 경사면 흡출 유로(간극 공간)

Claims

전기적인 도체(導體)로 형성되고, 내부에 가스 유로를 가지는 기체부(基體部)와,

전기적인 도체로 형성되고, 일부가 첨두체(尖頭體)로서 이 첨두체의 경사면까지 연통되는 경사면 흡출(吸出) 유로를 내부에 가지는 선단부

를 구비하고,

상기 선단부는, 상기 기체부로부터 상기 첨두체가 돌출된 상태로 상기 기체부에 기계적으로 고정되고, 상기 기체부와 전기적으로 접속되고, 또한 상기 기체부의 가스 유로와 경사면 흡출 유로가 연통되고,

상기 선단부의 첨두체는 다각(多角) 추체(錐體) 또는 원추체(圓錐體)인,

방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 소물체(小物體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 상기 복수개의 소물체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중실(中實) 봉체(棒體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 상기 복수개의 직선 중실 봉체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중공(中空) 관체(管體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 상기 복수개의 직선 중공 관체 사이의 간극 및 관내 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 가요성(可撓性)을 가지는 전기적인 도체로서 표면에 복수개의 철부(凸部)가 형성되는 시트체를 소용돌이형으로 감아서 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 인접하는 2개의 시트체와 철부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 한 개의 직선 중공 관체를 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 반경이 상이 한 복수개의 직선 중공 관체를 다중 원통형으로 되도록 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
제1항에 있어서,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체를 상기 기체부에 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 상기 기체부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는, 방전 전극.
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