KR100982802B1

KR100982802B1 - Bubble absorbing apparatus for taking bubbles in in/out lines.

Info

Publication number: KR100982802B1
Application number: KR1020080098670A
Authority: KR
Inventors: 최용구
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2008-10-08
Filing date: 2008-10-08
Publication date: 2010-09-16
Also published as: KR20100039626A

Abstract

본 발명은 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치는 입구로부터 공급된 약액의 이물질을 걸러내는 카트리지, 상기 카트리지를 수용하며 상기 카트리지를 통과한 약액을 출구로 전달하는 하우징, 및 상기 카트리지를 통과하기 전 약액과 상기 카트리지를 통과한 약액에서 기포를 포함하는 약액을 하나의 관로로 통하여 수거하는 기포 수거부를 포함한다.The present invention provides a bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles. Bubble collecting device for removing the inlet and outlet bubbles according to an embodiment of the present invention is a cartridge for filtering foreign substances of the chemical liquid supplied from the inlet, a housing for receiving the cartridge and passing the chemical liquid passed through the cartridge to the outlet, and It includes a bubble collecting unit for collecting the chemical liquid containing bubbles from the chemical liquid and the chemical liquid passed through the cartridge through a single pipe before passing through the cartridge.

기포 제거, 에어 벤트(air vent) Bubble Removal, Air Vent

Description

Bubble absorbing apparatus for taking bubbles in in / out lines.

본 발명은 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 이물질을 제거하는 장치에서 약액에 포함된 기포를 입구 및 출구에서 수거하는 기포 수거 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles, and more particularly, to a bubble collection device for collecting the bubbles contained in the chemical liquid in the inlet and outlet in the device for removing foreign matter.

일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.In general, semiconductor devices are fabricated by repeating processes such as photo, diffusion, deposition, etching, and ion implantation on a substrate.

이러한 각 공정에 있어서, 약액이 사용될 때에는 별도의 약액 공급 장치를 통해 공정 처리 장치에 약액이 공급된다. 이때, 해당 공정의 조건에 부합하도록 약액이 공급되어야 한다.In each of these processes, when the chemical liquid is used, the chemical liquid is supplied to the process treatment apparatus through a separate chemical liquid supply device. At this time, the chemical liquid should be supplied to meet the conditions of the process.

약액에 포함된 이물질, 기포, 두 가지 종류 이상의 약액 혼합 등에 의하여 약액이 기판에 도포될 때, 기판 상의 약액이 균일하게 도포되지 못할 수 있다. When the chemical liquid is applied to the substrate by a foreign matter, bubbles, two or more kinds of chemical liquids contained in the chemical liquid, the chemical liquid on the substrate may not be uniformly applied.

예를 들어, 약액의 흐름 중에 발생하는 기포에 대하여는 약액 저장소에서 제거하기가 가능하지 않았다. For example, bubbles generated during the flow of a chemical liquid were not possible to remove from the chemical reservoir.

따라서, 연속적으로 공급되는 약액 등에서 발생하는 기포 등을 수거하는 장치가 필요하다.Therefore, there is a need for an apparatus for collecting bubbles and the like generated from continuously supplied chemical liquids.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 약액에서 발생되는 기포를 수거하는 기포 수거 장치를 제공하는 데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a bubble collection device for collecting the bubbles generated in the chemical liquid.

또한 본 발명의 해결하고자 하는 다른 과제는 배관을 간편하게 구성하는 기포 수거 장치를 제공하는 데 있다.In addition, another problem to be solved by the present invention is to provide a bubble collection device for easily configuring the pipe.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 일 양태는 입구로부터 공급된 약액의 이물질을 걸러내는 카트리지; 상기 카트리지를 수용하며 상기 카트리지를 통과한 약액을 출구로 전달하는 하우징; 및 상기 카트리지를 통과하기 전 약액과 상기 카트리지를 통과한 약액에서 기포를 포함하는 약액을 하나의 관로로 통하여 수거하는 기포 수거부를 포함한다.One aspect of the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles of the present invention to achieve the above object is a cartridge for filtering foreign matter of the chemical liquid supplied from the inlet; A housing which receives the cartridge and delivers the chemical liquid passing through the cartridge to an outlet; And a bubble collecting unit for collecting the chemical liquid including bubbles from the chemical liquid and the chemical liquid passing through the cartridge through a single pipe before passing through the cartridge.

본 발명의 일 실시예에 따를 경우, 배관을 간편하게 하면서 약액에서 발생되는 기포를 용이하게 수거할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, bubbles generated in the chemical liquid can be easily collected while simplifying the piping.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있 을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.When an element is referred to as being "connected to" or "coupled to" with another element, it may be directly connected to or coupled with another element or through another element in between. This includes all cases. On the other hand, when one device is referred to as "directly connected to" or "directly coupled to" with another device indicates that no other device is intervened. Like reference numerals refer to like elements throughout. “And / or” includes each and all combinations of one or more of the items mentioned.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and / or sections, these elements, components and / or sections are of course not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, component or section from another element, component or section. Therefore, the first device, the first component, or the first section mentioned below may be a second device, a second component, or a second section within the technical spirit of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, “comprises” and / or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art. In addition, the terms defined in the commonly used dictionaries are not ideally or excessively interpreted unless they are specifically defined clearly.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 시스템을 개략적으로 보여준다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 시스템은 약액 저장부(100), 기포 수거 장치(200), 펌프(50), 제1 공급관(10), 제2 공급관(20), 회수관(30), 디스펜스 노즐(70), 제1 밸브(60_1) 및 제2 밸브(60_2)를 포함할 수 있다.1 schematically shows a chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention. Referring to Figure 1, the chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention is a chemical liquid storage unit 100, bubble collection device 200, pump 50, the first supply pipe 10, the second supply pipe 20 The recovery pipe 30 may include a dispense nozzle 70, a first valve 60_1, and a second valve 60_2.

약액 저장부(100)는 공정에 사용되는 약액을 저장하고, 약액이 필요 시에 약 액을 공급하는 역할을 한다. 약액 저장부(100)는 복수의 약액이 공급되어 혼합이 이루어지도록 혼합기(미도시)를 더 포함할 수 있다. 약액 저장부(100)는 약액을 저장하는 용기 및 상기 용기에 머무르는 약액을 가열할 수 있는 히터(미도시)를 포함할 수 있다. The chemical storage unit 100 stores the chemical liquid used in the process, and serves to supply the chemical liquid when the chemical liquid is needed. The chemical storage unit 100 may further include a mixer (not shown) such that a plurality of chemical liquids are supplied and mixed. The chemical storage unit 100 may include a container for storing the chemical liquid and a heater (not shown) capable of heating the chemical liquid staying in the container.

용기는 약액를 보관, 저장 할 수 있고, 히터(미도시)은 수조 내에 채워진 약액을 공정에서 사용될 수 있는 온도로 가열할 수 있다. 약액이 사용되는 공정에서의 액체의 온도는 공정의 종류 및 특성에 따라 달라진다. 예를 들어, 히터(미도시)은 40℃ 내지 80℃ 정도로 약액를 가열할 수 있다. 예를 들어, 약액은 불산, 황산, 질산, 인산 등과 같은 산성 용액도 있고, 수산화 칼륨, 수산화 나트륨, 암모늄 등을 함유하는 알칼리성 용액도 있으며, 세정액에 사용되는 화학 약품 등이 있지만 본 발명에서는 약액의 종류는 한정되지 않는다. 공정에 공급되는 액체의 종류, 농도, 양, 온도 등은 액체 공급 시스템을 통해서 조절될 수 있다. 이러한 약액은 혼합되거나, 온도의 증가 등에 의하여 기포(15)가 발생할 수 있다.The container may store and store the chemical liquid, and the heater (not shown) may heat the chemical liquid filled in the tank to a temperature that can be used in the process. The temperature of the liquid in the process in which the chemical liquid is used depends on the type and nature of the process. For example, a heater (not shown) may heat the chemical liquid at about 40 ° C to 80 ° C. For example, the chemical liquid may be an acidic solution such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, or the like, or an alkaline solution containing potassium hydroxide, sodium hydroxide, ammonium, or the like. Kind is not limited. The type, concentration, amount, temperature, etc. of the liquid supplied to the process can be controlled through the liquid supply system. Such chemical liquids may be mixed or bubbles 15 may be generated due to an increase in temperature or the like.

기포 수거 장치(200)는 약액 저장부(100) 및 후술할 디스펜스 노즐(70) 사이에 위치하여, 약액 저장부(100)로부터 디스펜스 노즐(70)에 약액을 전송하는 중에 발생하는 기포를 수거할 수 있다. 이와 함께, 기포 수거 장치(200)는 내부에 필터를 장착하여, 약액에 포함된 이물질, 파티클 등을 제거할 수 있다. 기포 수거 장치(200)는 기포가 포함된 약액을 수거하여 회수관(30)을 통하여 다시 약액 저장부(100)로 전달할 수 있다.The bubble collecting device 200 is located between the chemical storage unit 100 and the dispense nozzle 70 to be described later, and collects bubbles generated while transferring the chemical liquid from the chemical storage unit 100 to the dispense nozzle 70. Can be. In addition, the bubble collection device 200 may be equipped with a filter therein to remove foreign substances, particles, and the like contained in the chemical liquid. The bubble collection apparatus 200 may collect the chemical liquid containing bubbles and deliver the chemical liquid to the chemical liquid storage unit 100 through the recovery pipe 30.

디스펜스 노즐(70)은 약액 저장부(100)로부터 펌프(50)에 의해 공급된 약액 을 전달 받아, 공정챔버(미도시) 내에서 약액을 공급하는 역할을 한다. 디스펜스 노즐(70)은 약액을 전달 받아, 넓은 지역으로 균일하게 분사하기 위하여 다양한 형상으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 플레어(flare) 형상이거나 또는 슬릿 노즐의 형태로 될 수 있다.The dispense nozzle 70 receives the chemical liquid supplied by the pump 50 from the chemical liquid storage unit 100, and serves to supply the chemical liquid in a process chamber (not shown). The dispense nozzle 70 may be manufactured in various shapes in order to receive the chemical liquid and to uniformly spray the large area. For example, it may be flared or in the form of a slit nozzle.

도 1을 참조하여, 약액 공급 시스템의 동작을 간략히 설명하기로 한다. 먼저, 약액 공급을 위하여 제1 밸브(60_1) 및 제2 밸브(60_2)가 열린다. 약액 저장부(100)에 약액이 있는 상태에서, 펌프(50)는 저장된 약액에 압력을 가하여 약액을 제1 공급관(10)을 통하여 이동시킨다. 이동되는 약액은 약액 수거 장치(200)를 거치면서, 약액에 포함된 기포(15)가 수거된다. 기포 수거 장치(200)를 통과한 약액은 제2 공급관(20)을 통하여 디스펜스 노즐(70)로 전달된다. 디스펜스 노즐(70)에서는 전달된 약액을 공정 챔버 내에서 분사한다. 한편, 기포 수거 장치(200)는 수거된 기포를 포함하는 약액을 회수관(30)을 통하여 다시 약액 저장부(100)로 회수한다.Referring to Figure 1, the operation of the chemical liquid supply system will be briefly described. First, the first valve 60_1 and the second valve 60_2 are opened for chemical liquid supply. In a state where the chemical liquid is in the chemical storage unit 100, the pump 50 applies pressure to the stored chemical liquid to move the chemical liquid through the first supply pipe 10. The moving chemical liquid passes through the chemical liquid collection device 200, and the bubbles 15 contained in the chemical liquid are collected. The chemical liquid having passed through the bubble collection device 200 is delivered to the dispense nozzle 70 through the second supply pipe 20. The dispense nozzle 70 sprays the delivered chemical liquid in the process chamber. Meanwhile, the bubble collection apparatus 200 recovers the chemical liquid including the collected bubbles back to the chemical storage unit 100 through the recovery pipe 30.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도를 보여준다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치는 카트리지(230), 하우징(240), 기포 수거부(250) 및 배수부(280)를 포함할 수 있다.Figure 2 shows a cross-sectional view of the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles according to an embodiment of the present invention may include a cartridge 230, a housing 240, a bubble collection unit 250, and a drain 280. Can be.

하우징(240)은 기포 수거 장치의 외관을 형성하며, 후술할 카트리지(230)를 내부 공간을 두고 감싸는 역할을 한다. 하우징(240)은 약액이 출입할 수 있는 입구(210) 및 출구(220)를 포함할 수 있다. The housing 240 forms an appearance of the bubble collection device, and serves to surround the cartridge 230 to be described later with an inner space. The housing 240 may include an inlet 210 and an outlet 220 through which the chemical liquid can enter and exit.

카트리지(230)는 입구(210)를 통하여 들어온 약액의 이물질이나 파티클을 걸러내는 역할을 한다. 카트리지(230)는 하우징(240) 내에 위치하여, 약액이 카트리지(230)를 통과하도록 한다.The cartridge 230 filters out foreign substances or particles of the chemical liquid introduced through the inlet 210. The cartridge 230 is located in the housing 240 to allow the chemical liquid to pass through the cartridge 230.

기포 수거부(250)는 기포를 포함하는 약액을 수거한다. 기포 수거부(250)는 하우징(240)의 상부에 위치하여, 기포가 약액의 비하여 비중에 낮아 떠오르는 원리를 이용하여, 기포를 포함하는 약액을 수거할 수 있다. 기포 수거부(250)는 카트리지(230)를 통과하기 전 약액 및 카트리지(230)를 통과하여 출구(220)로 빠져 나가려는 약액들로부터 기포를 포함하는 약액을 선별적으로 수거할 수 있다.The bubble collection unit 250 collects the chemical liquid including the bubble. Bubble collection unit 250 is located on the upper portion of the housing 240, by using the principle that the bubble rises in the specific gravity compared to the chemical liquid, it is possible to collect the chemical liquid containing the bubble. The bubble collecting unit 250 may selectively collect the chemical liquid including bubbles from the chemical liquid before passing through the cartridge 230 and the chemical liquid to pass through the cartridge 230 to the outlet 220.

기포 수거부(250)는 입구(210)에서 수거되는 기포 및 출구(220)에서 수거되는 기포를 하나의 관로를 통하여 동시에 수거할 수 있다. 기포 수거부(250)는 입구(210) 및 출구(220)이 사이에 칸막이(255)를 배치하여, 입구(210)에서 출구(220)로 곧바로 약액이 진행하는 것을 막아주어, 입구(210)를 통과한 약액이 카트리지(230)를 통과하도록 한다. 한편, 칸막이(255)의 주위에 입구(210) 및 출구(220)의 상부의 통공이 형성되고, 기포 수거부(250)는 상기 통공을 연결시키는 접합 통로부(253)를 따라 기포를 포함하는 약액을 하나의 관로로 모아 수거할 수 있다. The bubble collecting unit 250 may simultaneously collect the bubbles collected at the inlet 210 and the bubbles collected at the outlet 220 through one pipe. Bubble collecting unit 250 has a partition 255 between the inlet 210 and the outlet 220 to prevent the chemical from going straight from the inlet 210 to the outlet 220, the inlet 210 The chemical liquid passed through passes through the cartridge 230. On the other hand, the through hole of the upper portion of the inlet 210 and the outlet 220 is formed around the partition 255, the bubble collecting unit 250 includes a bubble along the junction passage portion 253 connecting the through hole The chemicals can be collected in one pipeline.

따라서, 기포 수거부(250)에 의하여 입구(210) 및 출구(220)를 통과하는 기포를 포함하는 약액을 동시에 수거할 수 있다. 그리하여 하나의 회수관(260)에 의하여 기포를 포함하는 약액을 회수하여, 기포 수거에 필요한 배관을 간편하게 할 수 있다.Accordingly, the chemical liquid including bubbles passing through the inlet 210 and the outlet 220 may be simultaneously collected by the bubble collecting unit 250. Thus, the chemical liquid containing bubbles can be recovered by one recovery pipe 260, so that piping necessary for collecting bubbles can be simplified.

배수부(280)는 기포 수거 장치를 교체하거나, 기포 수거 장치를 관리할 시에 카트리지(230) 및 하우징(240) 내에 잔류하는 약액을 배수한다. The drain 280 drains the chemical liquid remaining in the cartridge 230 and the housing 240 when the bubble collection device is replaced or the bubble collection device is managed.

상기와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기포 수거 장치에 의하여는 공급관을 따라 전달되면서 발생하는 약액 상의 기포를 간편하게 수거할 수 있고, 하나의 회수관(260)에 의하여 기포를 포함하는 약액을 회수하여 배관을 단순화시킬 수 있다.As described above, the bubble collection device according to an embodiment of the present invention can easily collect the bubbles on the chemical liquid generated while being delivered along the supply pipe, and the chemical liquid containing the bubbles by one recovery pipe 260. Withdrawal can simplify the piping.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도를 보여준다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치는 카트리지(230), 하우징(240), 기포 수거부(270) 및 배수부(280)를 포함할 수 있다.3 shows a cross-sectional view of a bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles in accordance with another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles according to another embodiment of the present invention may include a cartridge 230, a housing 240, a bubble collection unit 270, and a drain 280. Can be.

한편, 도 2의 전술한 실시예에서 카트리지(230), 하우징(240) 및 배수부(280)에 대하여는 자세히 서술하였기에, 여기서는 기포 수거부(270)에 대하여 자세히 설명하기로 한다.Meanwhile, since the cartridge 230, the housing 240, and the drainage part 280 have been described in detail in the above-described embodiment of FIG. 2, the bubble collecting part 270 will be described in detail.

기포 수거부(270)는 입구(210) 및 출구(220)로부터 기포를 포함하는 약액을 동시에 수거할 수 있다. 입구(210)의 통로 상의 상부에 통공을 형성하고, 출구(220)의 통로 상의 상부에 통공을 각각 형성하여, 기포 수거부(270)의 제1 연결관(251) 및 제2 연결과(252)에 각각 연결될 수 있다. 제1 연결관(251) 및 제2 연결과(252)은 하나의 유닛으로 결합되어 접합 통로부를 구성할 수 있다. 따라서, 입구(210) 및 출구(220) 상에서 기포에 의하여 하우징(240)의 상부로 떠오르는 약액을 회수할 수 있다.The bubble collecting unit 270 may simultaneously collect chemical liquids including bubbles from the inlet 210 and the outlet 220. Through holes are formed in the upper part of the passage of the inlet 210, and through holes are formed in the upper part of the passage of the outlet 220, respectively, so that the first connecting pipe 251 and the second connection unit 252 of the bubble collecting unit 270 are formed. Respectively). The first connector 251 and the second connector 252 may be combined into one unit to form a junction passage. Therefore, the chemical liquid rising to the upper portion of the housing 240 by bubbles on the inlet 210 and the outlet 220 can be recovered.

기포 수거부(270)는 기포를 포함하는 약액이 역류하는 것을 방지하기 위하여 제1 연결관(251) 및/또는 제2 연결관(252)에 체크 밸브(310_1, 310_2)를 각각 장착할 수 있다. 체크 밸브(310_1, 310_2)는 약액이 회수관(260)으로의 이동을 허용하지만, 기포를 포함하는 약액이 다시 하우징(240)으로 역류하는 것을 막아줄 수 있다. 이와 함께, 제1 연결관(251)을 통하여 회수되는 약액이 제2 연결관(252)으로 역류하는 것을 체크 밸브(310_1)에 의하여 저지하며, 이와 반대로 제2 연결관(252)을 통하여 회수되는 약액이 제2 연결관(251)으로 역류하는 것을 체크 밸브(310_2)에 의하여 저지할 수 있다. The bubble collection unit 270 may be equipped with check valves 310_1 and 310_2, respectively, in the first connector 251 and / or the second connector 252 to prevent backflow of the chemical liquid including bubbles. . The check valves 310_1 and 310_2 allow the chemical liquid to move to the recovery pipe 260, but may prevent the chemical liquid including bubbles from flowing back to the housing 240. In addition, the check valve 310_1 prevents the chemical liquid recovered through the first connecting pipe 251 from flowing back to the second connecting pipe 252, and, on the contrary, is recovered through the second connecting pipe 252. The check valve 310_2 may prevent the chemical liquid from flowing back to the second connector 251.

상기와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 약액의 전달 중에 발생하는 기포를 용이하게 수거할 수 있고, 입출구(210, 220)에서의 기포를 포함하는 약액을 수거하면서 약액의 역류를 방지할 수 있다.As described above, according to an embodiment of the present invention can easily collect the bubbles generated during the delivery of the chemical liquid, it is possible to prevent the backflow of the chemical liquid while collecting the chemical liquid containing bubbles at the entrance and exit 210, 220 have.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도를 보여준다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치는 카트리지(230), 하우징(240), 기포 수거부(250) 및 배수부(280)를 포함할 수 있다.Figure 4 shows a cross-sectional view of the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles according to another embodiment of the present invention includes a cartridge 230, a housing 240, a bubble collection unit 250, and a drain 280. can do.

한편, 도 2의 전술한 실시예에서 카트리지(230), 하우징(240), 기포 수거부(250) 및 배수부(280)에 대하여는 자세히 서술하였기에, 여기서는 하우징(240)에서의 입구(210) 및 출구(220)에 대하여 자세히 설명하기로 한다.Meanwhile, in the above-described embodiment of FIG. 2, the cartridge 230, the housing 240, the bubble collecting unit 250, and the draining unit 280 have been described in detail, and thus, the inlet 210 and the housing 210 of the housing 240 are described in detail. The outlet 220 will be described in detail.

입구(210) 및 출구(220)에는 소정의 메쉬(405)를 포함하는 기포 제거막(400, 410)을 포함할 수 있다. 기포 제거막(400, 410)은 약액이 지나가는 방향의 수직인 방향으로 세워지며, 메쉬(405)는 소정의 공간을 가지는 기포가 파쇄되는 크 기로 될 수 있다. 메쉬(405)의 크기는 규칙 또는 불규칙적일 수 있고, 메쉬(405)의 배치도 규칙 또는 불규칙적으로 될 수 있다. 따라서, 기포를 포함하는 약액이 기포 제거막(400, 410)을 통과하면서 소정의 메쉬(405)에 의하여 기포가 파쇄될 수 있다.The inlet 210 and the outlet 220 may include bubble removing films 400 and 410 including a predetermined mesh 405. The bubble removing layers 400 and 410 may be erected in a direction perpendicular to the direction in which the chemical liquid passes, and the mesh 405 may have a size in which bubbles having a predetermined space are broken. The size of the mesh 405 may be regular or irregular, and the layout of the mesh 405 may be regular or irregular. Therefore, bubbles may be broken by the predetermined mesh 405 while the chemical liquid including bubbles passes through the bubble removing layers 400 and 410.

따라서, 상기와 같이 입구(210) 및/또는 출구(220)에서의 기포 제거막(410, 410)을 이용하여 기포를 파쇄함으로써 기포를 제거할 수 있다. Therefore, bubbles may be removed by breaking the bubbles using the bubble removal films 410 and 410 at the inlet 210 and / or the outlet 220 as described above.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 시스템을 개략적으로 보여주는 도면이다.1 is a view schematically showing a chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입구 및 출구 기포를 제거하는 기포 수거 장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a bubble collection device for removing inlet and outlet bubbles according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100: 약액 저장부 200: 기포 수거 장치100: chemical storage unit 200: bubble collection device

230: 카트리지 240: 하우징230: cartridge 240: housing

250: 기포 회수부 253: 접합 통로부250: bubble recovery part 253: bonding passage part

251: 제1 연결관 252: 제2 연결관251: first connector 252: second connector

310_1, 310_2: 체크 밸브 260: 회수관310_1, 310_2: check valve 260: recovery pipe

Claims

A cartridge for filtering foreign substances from the chemical liquid supplied from the inlet;

A housing which receives the cartridge and delivers the chemical liquid passing through the cartridge to an outlet; And

And a bubble collecting unit for collecting the chemical liquid including bubbles from the chemical liquid and the chemical liquid passing through the cartridge through a single pipe before passing through the cartridge,

The bubble collecting unit

A junction passage part disposed on the housing and providing a passage through which the chemical liquid including the bubble passes from the through hole of the outlet and the through hole of the inlet; And

Bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles, including piping connecting the junction passage portion and the chemical liquid storage tank.

delete

The bubble collecting unit

An inlet having a through hole connected to the outlet and the inlet respectively separated by a partition, and including a conduit passage for receiving a chemical liquid containing the bubbles from each of the through holes and transferring the chemical liquid containing the bubbles to the chemical liquid recovery part through a single passage; Bubble collection device to remove outlet air bubbles.

The method according to claim 1 or 3,

And the bubble collecting unit includes a check valve that prevents backflow of the chemical liquid including the bubble, and removes the inlet and outlet bubbles.

The method of claim 1,

The outlet or the inlet further comprises a bubble removing film having a plurality of mesh, the inlet and outlet bubble removing apparatus for removing the bubble.

The method of claim 1,

The lower part of the housing further comprises a drain for draining the chemical (drain), the bubble collection device for removing the inlet and outlet bubbles.