KR100980012B1 - Thin film transistor array panel - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 복수의 게이트선과 복수의 데이터선, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 복수의 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 복수의 화소 전극, 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 교차하는 수리선, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 쇼팅 바, 그리고 상기 쇼팅 바와 상기 수리선 사이에 연결되어 있으며 적어도 하나의 다이오드를 포함하는 정전기 방전 보호 회로를 포함하여 이루어진다. 이렇게 하면, 정전기 방전 보호 회로에 의하여 수리선으로 유입되는 정전기를 쇼팅 바로 흐르게 함으로써, 정전기가 박막 트랜지스터 표시판의 수리선에 유입되더라도 표시 영역에까지 정전기가 전달되는 것을 방지 할 수 있다.The thin film transistor array panel according to the present invention includes a plurality of gate lines, a plurality of data lines, a plurality of thin film transistors connected to the gate lines and the data lines, a plurality of pixel electrodes connected to the thin film transistors, the gate lines or the data. And a repair bar crossing the line, a shorting bar connected to the gate line and the data line, and an electrostatic discharge protection circuit connected between the shorting bar and the repair line and including at least one diode. In this way, the static electricity flowing into the repair line by the electrostatic discharge protection circuit flows into the shorting bar, and thus, even if the static electricity flows into the repair line of the thin film transistor array panel, the static electricity can be prevented from being transmitted to the display area.

정전기, 다이오드, 쇼팅 바, 수리선, 방전 보호 회로Static electricity, diodes, shorting bars, repair lines, discharge protection circuit

Description

박막 트랜지스터 표시판{Thin film transistor array panel}Thin film transistor array panel

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 개략적인 배치도이고,1 is a schematic layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 일 화소에 대한 배치도이고,2 is a layout view of one pixel of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 박막 트랜지스터 표시판을 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 2 taken along a line III-III '.

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to liquid crystal displays, and more particularly, to thin film transistor array panels for liquid crystal displays.

일반적으로 액정 표시 장치는 전계를 생성하는 전계 생성 전극을 가지고 있으며 소정의 간극을 두고 떨어져 있는 두 표시판과 두 표시판 사이의 간극에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정층을 포함한다. 이러한 액정 표시 장치는 전계 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전계를 생성하고, 전압의 크기에 의존하는 전계의 세기를 조절하여 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표시한다.In general, a liquid crystal display device includes a liquid crystal layer having a field generating electrode for generating an electric field and having an anisotropic dielectric constant injected into two display panels spaced apart from each other with a predetermined gap and a gap between the two display panels. Such a liquid crystal display generates an electric field in the liquid crystal layer by applying a voltage to the field generating electrode, and displays an image by controlling the transmittance of light passing through the liquid crystal layer by adjusting the intensity of the electric field depending on the magnitude of the voltage.

일반적인 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)는 전계를 생성하는 전계 생성 전극을 가지고 있으며 소정의 간극을 두고 떨어져 있는 두 표시판과 두 표시판 사이의 간극에 들어 있는 유전율 이방성(dielectric anisotropy)을 갖는 액정층을 포함한다. 이러한 액정 표시 장치는 전계 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전계를 생성하고, 전압의 크기에 의존하는 전계의 세기를 조절하여 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표시한다.In general, a liquid crystal display (LCD) has a field generating electrode for generating an electric field and has a dielectric anisotropy in the gap between the two display panels separated from each other with a predetermined gap. It includes. Such a liquid crystal display generates an electric field in the liquid crystal layer by applying a voltage to the field generating electrode, and displays an image by controlling the transmittance of light passing through the liquid crystal layer by adjusting the intensity of the electric field depending on the magnitude of the voltage.

액정 표시 장치 중에서도 현재 주로 사용되는 것은 두 표시판 중 하나에 복수의 화소 전극이 각각 형성되어 있고 화소 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 복수의 박막 트랜지스터를 가지고 있는 액정 표시 장치이다. 화소 전극 및 박막 트랜지스터가 구비된 표시판(이하 박막 트랜지스터 표시판이라 함)에는 박막 트랜지스터에 신호를 전달하는 복수의 게이트선 및 복수의 데이터선이 구비되어 있다. 박막 트랜지스터는 게이트선을 통해 전달되는 게이트 신호에 따라 데이터선을 통해 전달되는 데이터 전압을 화소 전극으로 선택적으로 전송한다.Among the liquid crystal display devices, the liquid crystal display device includes a plurality of thin film transistors each having a plurality of pixel electrodes formed on one of the two display panels and switching voltages applied to the pixel electrodes. A display panel including a pixel electrode and a thin film transistor (hereinafter, referred to as a thin film transistor display panel) includes a plurality of gate lines and a plurality of data lines that transmit signals to the thin film transistors. The thin film transistor selectively transfers the data voltage transmitted through the data line to the pixel electrode according to the gate signal transmitted through the gate line.

따라서 게이트선 또는 데이터선이 단선되는 경우 박막 트랜지스터에 신호가 제대로 전달되지 못하고, 나아가 화소 전극에 데이터 전압이 전달되지 못하여 영상을 제대로 표시할 수 없다.Therefore, when the gate line or the data line is disconnected, the signal may not be properly transmitted to the thin film transistor, and further, the data voltage may not be transmitted to the pixel electrode, and thus the image may not be properly displayed.

게이트선 또는 데이터선의 이러한 단선 결함을 수리하기 위해서는 여러 가지 방법이 있지만, 표시판에서 표시 영역의 바깥쪽에 데이터선 및 게이트선과 교차하는 수리선(repair line)을 두고 교차하는 데이터선 또는 게이트선이 단선되면 수리 선을 이용하여 표시 영역의 바깥쪽으로 우회하여 신호를 전달하는 방법이 있다.There are various methods for repairing such disconnection defects in the gate line or data line. However, if the data line or gate line that crosses the display line has a repair line intersecting the data line and the gate line outside the display area. There is a method of transmitting a signal by detouring to the outside of the display area using a repair line.

그러나 이러한 수리선은 표시판의 가장자리에 위치하므로 제조 공정시 발생하는 정전기가 수리선을 타고 수리선과 교차하는 데이터선 및 게이트선을 통하여 흘러 박막 트랜지스터를 파괴하기 십상이다.However, since the repair line is located at the edge of the display panel, static electricity generated in the manufacturing process flows through the data line and the gate line intersecting the repair line on the repair line, and it is easy to destroy the thin film transistor.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 정전기 방전으로부터 표시판의 소자들을 보호할 수 있는 정전기 방전 보호 회로(electrostatic discharge protection circuit)를 구비한 박막 트랜지스터 표시판을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a thin film transistor array panel including an electrostatic discharge protection circuit capable of protecting elements of the display panel from electrostatic discharge.

이러한 과제를 이루기 위하여 본 발명에서는 다음과 같은 박막 트랜지스터 표시판을 마련한다.In order to achieve the above object, the present invention provides the following thin film transistor array panel.

보다 상세하게는 복수의 게이트선과 복수의 데이터선, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 복수의 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 복수의 화소 전극, 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 교차하는 수리선, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 쇼팅 바, 그리고 상기 쇼팅 바와 상기 수리선 사이에 연결되어 있으며 적어도 하나의 다이오드를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판을 마련한다.More specifically, a plurality of gate lines, a plurality of data lines, a plurality of thin film transistors connected to the gate lines and the data lines, a plurality of pixel electrodes connected to the thin film transistors, and repairs intersecting the gate lines or the data lines. A shorting bar connected to a line, the gate line, and the data line, and a thin film transistor array panel connected between the shorting bar and the repair line and including at least one diode is provided.

상기 정전기 방전 보호 회로는 상기 주변 영역의 가장자리를 따라 형성되어 있으며 상기 다이오드를 통하여 상기 수리선과 상기 쇼팅 바에 연결되어 있는 도전성 배선을 더 포함하는 것이 바람직하다. The electrostatic discharge protection circuit may further include a conductive line formed along an edge of the peripheral area and connected to the repair line and the shorting bar through the diode.                     

또한 상기 다이오드는 상기 수리선에서 상기 도전성 배선을 향하여 순방향으로, 그리고 상기 도전성 배선에서 상기 쇼팅 바를 향하여 순방향으로 연결하는 것이 바람직하다.In addition, the diode may be connected in a forward direction from the repair line toward the conductive wire and in the forward direction from the conductive wire toward the shorting bar.

이하 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 위에 있다고 할 때, 이는 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 바로 위에 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, area, plate, etc. is over another part, this includes not only the part directly above the other part but also another part in the middle. On the contrary, when a part is just above another part, it means that there is no other part in the middle.

그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Next, a thin film transistor substrate according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이다.1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판(100)은 가로 방향으로 뻗어 있는 복수의 게이트선(G1-Gn)과 세로 방향으로 뻗어 있는 복수의 데이터선(D1-Dm)의 교차에 의해 한정되는 복수의 화소 영역이 모여 화상을 표시하는 표시 영역(A)과 표시 영역(A)을 제외한 주변 영역(B)으로 구분된 다.As illustrated in FIG. 1, the thin film transistor array panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention has a plurality of gate lines G1 -Gn extending in a horizontal direction and a plurality of data lines D1 extending in a vertical direction. A plurality of pixel regions defined by the intersection of Dm) are divided into a display region A for displaying an image and a peripheral region B except for the display region A. FIG.

표시 영역(A)의 각 화소 영역에는 게이트선(G1-Gn) 및 데이터선(D1-Dm)과 연결되어 있는 박막 트랜지스터(도시하지 않음) 및 이 박막 트랜지스터를 통하여 게이트선(G1-Gn) 및 데이터선(D1-Dm)과 전기적으로 연결되어 있는 화소(pixel) 전극(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 또한 서로 이웃하는 게이트선(G1-Gn) 사이에는 유지 전극선(도시하지 않음)이 형성될 수 있는데, 이는 화소 전극과 중첩하여 유지 축전기를 형성하기 위한 것이며, 이웃하는 화소 행의 게이트선(G1-Gn)과 화소 전극을 중첩시켜 유지 용량을 형성하는 경우에는 생략한다.Each pixel area of the display area A includes a thin film transistor (not shown) connected to the gate lines G1 -Gn and the data lines D1 -Dm, the gate lines G1 -Gn through the thin film transistor, and A pixel electrode (not shown) is electrically connected to the data lines D1 -Dm. In addition, a storage electrode line (not shown) may be formed between the gate lines G1 -Gn that are adjacent to each other. This is to form a storage capacitor by overlapping the pixel electrode, and the gate lines G1 of the neighboring pixel rows. It is omitted when the storage capacitor is formed by overlapping Gn) with the pixel electrode.

주변 영역(B)에는 게이트선(G1-Gn) 및 데이터선(D1-Dm)이 단선 또는 단락되었을 때 이들을 통하여 전달되는 신호를 표시 영역(A) 바깥으로 우회시켜 신호를 전달하기 위해 데이터선(D1-Dm) 및 게이트선(G1-Gn)과 교차하는 한 쌍의 수리선(61, 62)이 형성되어 있다.In the peripheral area B, when the gate lines G1 -Gn and the data lines D1 -Dm are disconnected or short-circuited, the signals transmitted through them are detoured to the outside of the display area A to transmit signals. A pair of repair lines 61 and 62 are formed to intersect D1-Dm and the gate lines G1-Gn.

표시판(100)의 가장자리 부근에는 쇼팅바(40)가 형성되어 있으며, 게이트선(G1-Gn) 및 데이터선(D1-Dm)은 표시 영역(A) 바깥의 주변 영역(B)으로 연장되어 쇼팅 바(40)와 연결되어 있다. 게이트선(G1-Gn) 및 데이터선(D1-Dm)으로 정전기가 유입되면 이 쇼팅 바(40)를 통하여 표시판(100) 전체에 정전기가 퍼져 방전된다.The shorting bar 40 is formed near the edge of the display panel 100, and the gate lines G1 -Gn and the data lines D1 -Dm extend to the peripheral area B outside the display area A and are shortened. It is connected to the bar 40. When static electricity flows into the gate lines G1 -Gn and the data lines D1 -Dm, the static electricity is spread and discharged over the entire display panel 100 through the shorting bar 40.

한편, 외부의 정전기는 수리선(61, 62)을 통하여도 표시 영역(A) 내로 용이하게 유입될 수 있다. 이러한 정전기를 효과적으로 방전시키기 위해서 수리선(61, 62)과 쇼팅 바(40)를 전기적으로 연결하는 정전기 방전 보호 회로(50)를 둔다. On the other hand, external static electricity may be easily introduced into the display area A through the repair lines 61 and 62. In order to effectively discharge such static electricity, an electrostatic discharge protection circuit 50 electrically connecting the repair lines 61 and 62 and the shorting bar 40 is provided.                     

정전기 방전 보호 회로(50)는 주변 영역(B)에 배치되며, 쇼팅 바(40)가 없는 쪽 표시판(100) 가장자리에 수리선(61, 62)과 인접하게 배치된 가드 링(guard ring) 또는 도전성 더미 배선(55), 그리고 수리선(61, 62)과 도전성 배선(55) 사이 및 도전성 배선(55)과 쇼팅 바(40) 사이에 연결된 복수의 정전기 보호용 다이오드(D)를 포함한다. 수리선(61, 62)과 도전성 배선(55) 사이의 다이오드(D)는 수리선(61, 62)에 번갈아 연결되어 있다. 수리선(61, 62)과 도전성 배선(55) 사이의 다이오드(D)는 수리선(61, 62)에서 도전성 배선(55)을 향하는 방향이 순방향이고, 도전성 배선(55)과 쇼팅 바(40) 사이의 다이오드(D)는 도전성 배선(55)에서 쇼팅 바(40)를 향하는 방향이 순방향이므로 수리선(61, 62)에 유입된 정전기는 다이오드(D)와 도전성 배선(55)을 통해서 쇼팅 바(40)로 흘러 방전된다.The electrostatic discharge protection circuit 50 is disposed in the peripheral area B, and is provided with a guard ring disposed adjacent to the repair lines 61 and 62 at the edge of the display panel 100 without the shorting bar 40. The conductive dummy wiring 55 includes a plurality of electrostatic protection diodes D connected between the repair lines 61 and 62 and the conductive wiring 55 and between the conductive wiring 55 and the shorting bar 40. The diodes D between the repair lines 61 and 62 and the conductive lines 55 are alternately connected to the repair lines 61 and 62. The diode D between the repair lines 61 and 62 and the conductive line 55 has a forward direction from the repair lines 61 and 62 to the conductive line 55, and the conductive line 55 and the shorting bar 40 are in a forward direction. Since the direction of the diode (D) between the conductive wire 55 toward the shorting bar 40 is forward, the static electricity introduced to the repair lines 61 and 62 is shorted through the diode D and the conductive wire 55. Flow is discharged to the bar 40.

본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 방전 보호 회로(50)는 수리선(61, 62)과 쇼팅 바(40) 사이에 연결된 복수의 정전기 보호용 다이오드(도시하지 않음)를 포함하여 수리선(61, 62)에 생긴 정전기를 직접 쇼팅 바(40)로 흘릴 수 있다.The electrostatic discharge protection circuit 50 according to another embodiment of the present invention includes a plurality of electrostatic protection diodes (not shown) connected between the repair lines 61 and 62 and the shorting bar 40. Static electricity generated in 62 may be directly flown to the shorting bar 40.

그러면, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 대하여 구체적으로 설명한다.Next, a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 3은 도 2의 박막 트랜지스터 표시판을 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.2 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 2 taken along line III-III ′.

절연 기판(110) 위에 게이트 신호를 전달하는 복수의 게이트선(gate line)(121)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며, 각 게이트선(121)의 일부는 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124)을 이룬다. 또한 각 게이트선의 다른 일부는 아래 방향으로 돌출하여 복수의 확장부(expansion)(127)를 이룬다.A plurality of gate lines 121 are formed on the insulating substrate 110 to transfer gate signals. The gate line 121 mainly extends in the horizontal direction, and a part of each gate line 121 forms a plurality of gate electrodes 124. In addition, another portion of each gate line protrudes downward to form a plurality of expansions 127.

게이트선(121)은 물리적 성질이 다른 두 개의 막, 즉 하부막(121p)과 그 위의 상부막(121q)을 포함한다. 상부막(212)은 게이트 신호의 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속으로 이루어진다. 이와는 달리, 하부막(211)은 다른 물질, 특히 IZO(indium zinc oxide) 또는 ITO(indium tin oxide)와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금[보기: 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금], 크롬(Cr) 등으로 이루어진다. 하부막(121p)과 상부막(121q)의 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금을 들 수 있다. 도 1에서 게이트 전극(124)의 하부막과 상부막은 각각 도면 부호 124p, 124q로, 확장부(127)의 하부막과 상부막은 각각 도면 부호 127p, 127q로 표시되어 있다.The gate line 121 includes two layers having different physical properties, that is, a lower layer 121p and an upper layer 121q thereon. The upper layer 212 is formed of a metal having a low resistivity, for example, aluminum-based metal such as aluminum (Al) or an aluminum alloy, so as to reduce delay or voltage drop of the gate signal. In contrast, the lower layer 211 is a material having excellent physical, chemical and electrical contact properties with other materials, particularly indium zinc oxide (IZO) or indium tin oxide (ITO), such as molybdenum (Mo) and molybdenum alloys (eg, molybdenum alloys). -Tungsten (MoW) alloy], chromium (Cr) and the like. An example of the combination of the lower layer 121p and the upper layer 121q may be a chromium / aluminum-neodymium (Nd) alloy. In FIG. 1, lower and upper layers of the gate electrode 124 are denoted by reference numerals 124p and 124q, and lower and upper layers of the expansion unit 127 are denoted by reference numerals 127p and 127q, respectively.

하부막(121p)과 상부막(121q)의 측면은 각각 경사져 있으며 그 경사각은 기판(110)의 표면에 대하여 약 30-80°이다.Side surfaces of the lower layer 121p and the upper layer 121q are inclined, respectively, and the inclination angle thereof is about 30 to 80 ° with respect to the surface of the substrate 110.

게이트선(121) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 140 made of silicon nitride (SiNx) is formed on the gate line 121.

게이트 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 등으로 이루어진 복수의 선형 반도체(151)가 형성되어 있다. 선형 반도체(151)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며 이로부터 복수의 돌출부(extension)(154)가 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 나와 있다. 또한 선형 반도체(151)는 게이트선(121)과 만나는 지점 부근에서 폭이 커져서 게이트선(121)의 넓은 면적을 덮고 있다.A plurality of linear semiconductors 151 made of hydrogenated amorphous silicon (amorphous silicon is abbreviated a-Si) and the like are formed on the gate insulating layer 140. The linear semiconductor 151 extends mainly in the longitudinal direction, from which a plurality of extensions 154 extend toward the gate electrode 124. In addition, the linear semiconductor 151 increases in width near the point where the linear semiconductor 151 meets the gate line 121 to cover a large area of the gate line 121.

반도체(151)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 복수의 선형 및 섬형 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)가 형성되어 있다. 선형 접촉 부재(161)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 이 돌출부(163)와 섬형 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체(151)의 돌출부(154) 위에 위치한다.A plurality of linear and island ohmic contacts 161 and 165 made of a material such as n + hydrogenated amorphous silicon doped with silicide or n-type impurities at a high concentration are formed on the semiconductor 151. have. The linear contact member 161 has a plurality of protrusions 163, and the protrusions 163 and the island contact members 165 are paired and positioned on the protrusions 154 of the semiconductor 151.

반도체(151)와 저항성 접촉 부재(161, 165)의 측면 역시 경사져 있으며 경사각은 30-80°이다.Side surfaces of the semiconductor 151 and the ohmic contacts 161 and 165 are also inclined, and the inclination angle is 30 to 80 degrees.

저항 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 각각 복수의 데이터선(data line)(171)과 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175) 및 복수의 유지 축전기용 도전체(storage capacitor conductor)(177)가 형성되어 있다.The plurality of data lines 171, the plurality of drain electrodes 175, and the plurality of storage capacitors are disposed on the ohmic contacts 161 and 165 and the gate insulating layer 140, respectively. conductor 177 is formed.

데이터선(171)은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차하며 데이터 전압(data voltage)을 전달한다. 각 데이터선(171)에서 드레인 전극(175)을 향하여 뻗은 복수의 가지가 소스 전극(source electrode)(173)을 이룬다. 한 쌍의 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 게이트 전극(124)에 대하여 서로 반대쪽에 위치한다. 게이트 전극(124), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체(151)의 돌출부(154)와 함께 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 돌출부(154)에 형성된다.The data line 171 mainly extends in the vertical direction to cross the gate line 121 and transmit a data voltage. A plurality of branches extending from the data line 171 toward the drain electrode 175 forms a source electrode 173. The pair of source electrode 173 and the drain electrode 175 are separated from each other and positioned opposite to the gate electrode 124. The gate electrode 124, the source electrode 173, and the drain electrode 175 form a thin film transistor (TFT) together with the protrusion 154 of the semiconductor 151, and the channel of the thin film transistor is a source. A protrusion 154 is formed between the electrode 173 and the drain electrode 175.

유지 축전기용 도전체(177)는 게이트선(121)의 확장부(127)와 중첩되어 있다.The storage capacitor conductor 177 overlaps the extension portion 127 of the gate line 121.

데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)도 게이트선(121)과 마찬가지로 그 측면이 약 30-80°의 각도로 각각 경사져 있다. The data line 171, the drain electrode 175, and the conductor 177 for the storage capacitor are also inclined at an angle of about 30 to 80 °, similarly to the gate line 121.

저항성 접촉 부재(161, 165)는 그 하부의 반도체(151)와 그 상부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다. 선형 반도체(151)는 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 비롯하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)에 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있으며, 대부분의 곳에서는 선형 반도체(151)의 폭이 데이터선(171)의 폭보다 작지만 앞서 설명했듯이 게이트선(121)과 만나는 부분에서 폭이 커져서 게이트선(121)과 데이터선(171) 사이의 절연을 강화한다.The ohmic contacts 161 and 165 exist only between the semiconductor 151 below and the data line 171 and the drain electrode 175 above and serve to lower the contact resistance. The linear semiconductor 151 has an exposed portion between the source electrode 173 and the drain electrode 175 and is not covered by the data line 171 and the drain electrode 175, and in most places, the linear semiconductor 151 is provided. Although the width of is smaller than the width of the data line 171, as described above, the width becomes larger at the portion that meets the gate line 121 to strengthen the insulation between the gate line 121 and the data line 171.

데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)와 노출된 반도체(151) 부분의 위에는 평탄화 특성이 우수하며 감광성(photosensitivity)을 가지는 유기 물질, 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질, 또는 무기 물질인 질화규소 따위로 이루어진 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다.On the data line 171, the drain electrode 175, the conductive capacitor 177 for the storage capacitor, and the exposed portion of the semiconductor 151, an organic material having excellent planarization characteristics and photosensitivity, plasma chemical vapor deposition (plasma) A passivation layer 180 made of a low dielectric constant insulating material such as a-Si: C: O, a-Si: O: F formed by enhanced chemical vapor deposition (PECVD), or silicon nitride, which is an inorganic material, is formed. It is.

보호막(180)에는 데이터선(171)의 끝 부분(179), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)를 각각 드러내는 복수의 접촉 구멍(contact hole)(182, 185, 187)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선(121)의 끝 부분을 드러내는 복수의 접촉 구멍(181)이 형성되어 있다.The passivation layer 180 includes a plurality of contact holes 182, 185, and 187 exposing the end portion 179 of the data line 171, the drain electrode 175, and the conductive capacitor conductor 177, respectively. A plurality of contact holes 181 are formed along with the gate insulating layer 140 to expose the ends of the gate lines 121.

보호막(180) 위에는 IZO 또는 ITO로 이루어진 복수의 화소 전극(pixel electrode)(190) 및 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(81, 82)가 형성되어 있다.A plurality of pixel electrodes 190 and a plurality of contact assistants 81 and 82 made of IZO or ITO are formed on the passivation layer 180.

화소 전극(190)은 접촉 구멍(185, 187)을 통하여 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)와 각각 물리적·전기적으로 연결되어 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받고 도전체(177)에 데이터 전압을 전달한다.The pixel electrode 190 is physically and electrically connected to the drain electrode 175 and the storage capacitor conductor 177 through the contact holes 185 and 187, respectively, to receive a data voltage from the drain electrode 175, and to connect the conductor. Transfer data voltage to 177.

데이터 전압이 인가된 화소 전극(190)은 공통 전압(common voltage)을 인가 받는 다른 표시판(도시하지 않음)의 공통 전극(도시하지 않음)과 함께 전기장을 생성함으로써 두 전극(190, 270) 사이의 액정층의 액정 분자들을 재배열시킨다.The pixel electrode 190 to which the data voltage is applied generates an electric field together with a common electrode (not shown) of another display panel (not shown) to which a common voltage is applied, thereby generating an electric field between the two electrodes 190 and 270. Rearrange the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer.

또한 화소 전극(190)과 공통 전극은 축전기[이하 액정 축전기(liquid crystal capacitor)라 함]을 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프된 후에도 인가된 전압을 유지하는데, 전압 유지 능력을 강화하기 위하여 액정 축전기와 병렬로 연결된 다른 축전기를 두며 이를 유지 축전기(storage electrode) 라 한다. 유지 축전기는 화소 전극(190) 및 이와 이웃하는 게이트선(121)[이를 전단 게이트선(previous gate line)이라 함]의 중첩 등으로 만들어지며, 유지 축전기의 정전 용량, 즉 유지 용량을 늘이기 위하여 게이트선(121)을 확장한 확장부(127)를 두어 중첩 면적을 크게 하는 한편, 화소 전극(190)과 연결되고 확장부(127)와 중첩 되는 유지 축전기용 도전체(177)를 보호막(180) 아래에 두어 둘 사이의 거리를 가깝게 한다.In addition, the pixel electrode 190 and the common electrode form a capacitor (hereinafter referred to as a liquid crystal capacitor) to maintain an applied voltage even after the thin film transistor is turned off, and in parallel with the liquid crystal capacitor to enhance the voltage holding capability. Other capacitors are connected to each other and are called storage electrodes. The storage capacitor is formed by overlapping the pixel electrode 190 and the neighboring gate line 121 (which is called a prior gate line), and the like to increase the capacitance of the storage capacitor, that is, the storage capacitance. An extension part 127 extending the line 121 is provided to increase the overlapped area, while the conductive capacitor conductor 177 is connected to the pixel electrode 190 and overlaps the extension part 127. Place it underneath to bring the distance between the two closer.

화소 전극(190)은 또한 이웃하는 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 중첩되어 개구율(aperture ratio)을 높이고 있으나, 중첩되지 않을 수도 있다.The pixel electrode 190 also overlaps the neighboring gate line 121 and the data line 171 to increase the aperture ratio, but may not overlap.

접촉 보조 부재(81, 82)는 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 게이트선(121)의 끝 부분 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)과 각각 연결된다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니며, 이들의 적용 여부는 선택적이다.The contact auxiliary members 81 and 82 are connected to the end portion of the gate line 121 and the end portion 179 of the data line 171 through the contact holes 181 and 182, respectively. The contact auxiliary members 81 and 82 complement the adhesion between the gate line 121 and the data line 171 and the external device and protect them, and their application is optional.

본 발명의 다른 실시예에 따르면 화소 전극(190)의 재료로 투명한 도전성 폴리머(polymer) 등을 사용하며, 반사형(reflective) 액정 표시 장치의 경우 불투명한 반사성 금속을 사용하여도 무방하다. 이때, 접촉 보조 부재(81, 82)는 화소 전극(190)과 다른 물질, 특히 IZO 또는 ITO로 만들어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a transparent conductive polymer may be used as the material of the pixel electrode 190, and in the case of a reflective liquid crystal display, an opaque reflective metal may be used. In this case, the contact assistants 81 and 82 may be made of a material different from the pixel electrode 190, in particular, IZO or ITO.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 박막 트랜지스터 표시판의 주변 영역에 수리선과 쇼팅 바를 연결하는 정전기 방전 보호 회로를 추가함으로써 박 막 트랜지스터 표시판의 수리선에 정전기가 유입되더라도 표시 영역에까지 정전기가 전달되는 것을 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, an electrostatic discharge protection circuit connecting the repair line and the shorting bar is added to the peripheral area of the thin film transistor array panel to prevent the static electricity from being transmitted to the display area even if static electricity flows into the repair line of the thin film transistor array panel. can do.

따라서 정전기에 의한 불량을 최소화하여 고품질의 박막 트랜지스터 표시판을 제공할 수 있다.Accordingly, a high quality thin film transistor array panel can be provided by minimizing defects caused by static electricity.

Claims (3)

복수의 게이트선과 복수의 데이터선, A plurality of gate lines and a plurality of data lines, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 복수의 박막 트랜지스터,A plurality of thin film transistors connected to the gate line and the data line, 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 복수의 화소 전극,A plurality of pixel electrodes connected to the thin film transistor, 상기 게이트선 또는 상기 데이터선과 교차하는 수리선,A repair line crossing the gate line or the data line, 상기 게이트선 및 상기 데이터선과 연결되어 있는 쇼팅 바, 그리고A shorting bar connected to the gate line and the data line, and 상기 쇼팅 바와 상기 수리선 사이에 연결되어 있으며 적어도 하나의 다이오드를 포함하는 정전기 방전 보호 회로An electrostatic discharge protection circuit connected between the shorting bar and the repair wire and including at least one diode 를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.Thin film transistor array panel comprising a. 제1항에서,In claim 1, 상기 정전기 방전 보호 회로는 상기 다이오드를 통하여 상기 수리선과 상기 쇼팅 바에 연결되어 있는 도전성 배선을 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.The electrostatic discharge protection circuit further comprises a conductive line connected to the repair line and the shorting bar through the diode. 제2항에서,In claim 2, 상기 다이오드는 상기 수리선에서 상기 도전성 배선을 향하여 순방향으로, 그리고 상기 도전성 배선에서 상기 쇼팅 바를 향하여 순방향으로 연결되어 있는 박막 트랜지스터 표시판.And the diode is connected in a forward direction from the repair line toward the conductive wiring and in a forward direction from the conductive wiring toward the shorting bar.
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