KR101054337B1 - Thin Film Transistor Display Panels for Display Devices - Google Patents
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Abstract
절연 기판 위에 게이트 전극을 포함하는 게이트선이 형성되어 있다. 이들을 덮는 게이트 절연막 상부에는 반도체층과 도핑된 비정질 규소의 저항성 접촉층을 형성되어 있다. 게이트 절연막의 상부에는 게이트선과 절연되어 교차하는 데이터선과 저항성 접촉층과 접하는 소스 전극이 형성되어 있으며, 소스 전극과 마주하는 드레인 전극이 형성되어 있다. 이들을 덮는 보호막의 상부에는 접촉구를 통하여 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극이 형성되어 있다. 이때, 각각의 게이트선과 데이터선이 교차하여 화소영역을 이루게 된다. 특히 게이트 전극, 반도체층, 저항성 접촉층, 소스 전극, 드레인 전극 등으로 이루어지는 박막트랜지스터는 화소 행에 따라 그 위치를 좌우 교대로 달리하여 형성되어 있으며, 데이터선은 화소 전극을 기준으로 좌우로 나누어 위치시킨다. A gate line including a gate electrode is formed on the insulating substrate. An ohmic contact layer of a doped amorphous silicon is formed on the gate insulating layer covering the gate insulating layer. A source electrode in contact with the data line and the ohmic contact layer insulated from and intersecting the gate line is formed on the gate insulating film, and a drain electrode facing the source electrode is formed. The pixel electrode which is connected to the drain electrode through the contact hole is formed in the upper part of the protective film which covers these. At this time, the gate line and the data line cross each other to form a pixel area. In particular, thin film transistors including a gate electrode, a semiconductor layer, an ohmic contact layer, a source electrode, a drain electrode, and the like are formed by alternately changing their positions according to pixel rows, and the data lines are positioned to the left and right with respect to the pixel electrode. Let's do it.
액정표시장치, 기생용량, 화소전극, 데이터선LCD, parasitic capacitance, pixel electrode, data line
Description
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,1 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판에서 II-II' 및 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 각각의 단면도이고,2 and 3 are cross-sectional views taken along line II-II 'and III-III' of the TFT panel for the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,4 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 도 4의 박막 트랜지스터 표시판을 V-V'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,FIG. 5 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 4 taken along the line VV ′.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,6 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention.
도 7은 도6의 박막 트랜지스터 표시판을 VII-VII'선을 잘라 도시한 단면도이다. FIG. 7 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 6 taken along the line VII-VII ′. FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
121 게이트선, 123 게이트 전극,121 gate line, 123 gate electrode,
131 유지 전극, 131 sustain electrode,
151, 154 비정질 규소층, 151, 154 amorphous silicon layer,
171 데이터선, 173 소스 전극,171 data lines, 173 source electrodes,
175 드레인 전극, 190 화소 전극,175 drain electrodes, 190 pixel electrodes,
240 돌기, 270 기준 전극240 protuberances, 270 reference electrodes
본 발명은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor array panel for a liquid crystal display device.
액정 표시 장치는 일반적으로 공통 전극과 색필터(color filter) 등이 형성되어 있는 상부 표시판과 박막 트랜지스터와 화소 전극 등이 형성되어 있는 하부 표시판 사이에 액정 물질을 주입해 놓고 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전압을 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device injects a liquid crystal material between an upper display panel on which a common electrode and a color filter are formed, and a lower display panel on which a thin film transistor and a pixel electrode are formed. By applying a different voltage to form an electric field to change the arrangement of the liquid crystal molecules, and through this to adjust the transmittance of light to represent the image.
이러한 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법에서는 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 배선 또는 접촉구 등의 패턴을 형성하는데, 하나의 모 기판(mother glass)에는 여러 장의 표시 장치용 표시판이 만들어지며, 사진 식각 공정을 통하여 패턴을 완성한 다음에는 모 기판을 표시판으로 각각 분리한다. In the method of manufacturing a display panel for a liquid crystal display device, a pattern such as a wiring or a contact hole is formed by patterning by a photolithography process using a mask, and a plurality of display panels for display devices are made on a single mother glass. After the pattern is completed through an etching process, the mother substrate is separated into display panels.
사진 식각 공정에서 마스크 크기보다 모 기판에서 패턴이 형성되는 액티브 영역(active area)이 큰 경우에 이 액티브 영역에 패턴을 형성하기 위해서는 액티브 영역을 분할하여 스텝 앤 리피트(step and repeat) 공정을 수행하는 분할 노광 이 필요하다. 이 경우 마스크의 전이(shift), 회전(rotation), 비틀림 (distortion) 등의 왜곡이 발생하기 때문에 노광된 영역 사이가 정확히 정렬되지 않아 노광된 영역 사이의 각 배선과 화소 전극 사이의 기생 용량 차이가 생기거나 또는 패턴 위치의 차이가 생기게 된다. 한편, 사진 식각 공정에서 각 적층된 층(Layer)간에 위치가 정확히 정렬되지 않는 경우, 전극과 전극사이의 기생 용량차이가 생기게 된다. 이러한 기생 용량의 차이와 패턴 위치의 차이는 각 영역의 전기적인 특성의 차이와 개구율의 차이를 초래하고, 노광 영역 간의 경계 부분에서 화면 밝기의 차이를 초래하게 되어, 가로줄 또는 세로줄 불량 또는 플리커(flicker)등 시인성 불량을 야기한다. In the photolithography process, when the active area in which the pattern is formed on the mother substrate is larger than the mask size, a step and repeat process is performed by dividing the active area to form a pattern in the active area. Split exposure is required. in this case Distortions such as shifts, rotations, and distortions of the mask cause distortions in the exposed areas, resulting in differences in parasitic capacitance between the wires and the pixel electrodes between the exposed areas. Or there is a difference in the pattern position. On the other hand, in the photolithography process, when the positions are not aligned correctly between the stacked layers, the parasitic capacitance difference between the electrodes is caused. This difference in parasitic capacitance and pattern position leads to differences in electrical properties and aperture ratios in each area, and results in a difference in screen brightness at the boundary between exposure areas, resulting in poor horizontal or vertical streaks or flicker. It causes poor visibility.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 세로줄 불량 또는 플리커 등 시인성 불량을 최소화할 수 있는 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a thin film transistor array panel for a display device capable of minimizing visibility defects such as vertical streaks or flicker.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 박막 트랜지스터는 화소 행에 따라 그 위치를 다르게 형성되어 있으며, 신호선은 화소 전극을 기준으로 좌우로 나누어 위치시킨다. In order to solve this problem, in the present invention, the thin film transistors are formed in different positions according to the pixel rows, and the signal lines are positioned to the left and right by dividing the pixel lines.
더욱 상세하게, 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에는 절연 기판 위에 제1 신호선이 형성되어 있고, 제1 신호선과 절연되어 교차하여 화소를 정의하는 제2 신호선이 형성되어 있다. 각각의 화소마다 화소 전극이 형성되어 있고, 제1 신호선, 제2 신호선 및 화소 전극에 3단자가 각각 전기적으로 연결되어 있 는 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. 이때, 각 화소 행의 박막트랜지스터들은 위아래로 이웃하는 화소 행의 박막트랜지스터들과는 좌우로 그 위치를 달리하여 형성되어 있으며, 제2 신호선은 화소 전극을 기준으로 좌우로 나누어 위치시킨다. More specifically, in the thin film transistor array panel according to the exemplary embodiment of the present invention, a first signal line is formed on an insulating substrate, and a second signal line is formed to insulate and cross the first signal line to define a pixel. A pixel electrode is formed for each pixel, and a thin film transistor having three terminals electrically connected to each of the first signal line, the second signal line, and the pixel electrode is formed. In this case, the thin film transistors of each pixel row are formed to be different from each other in the positions of the thin film transistors adjacent to the pixel rows up and down, and the second signal line is positioned to the left and right with respect to the pixel electrode.
또한, 화소 전극은 적어도 둘 이상으로 화소를 분할하는 돌기나 절개부를 가질 수 있다.In addition, the pixel electrode may have protrusions or cutouts that divide the pixel into at least two or more.
본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에는 절연 기판 위에 게이트 전극을 포함하는 게이트선이 형성되어 있고, 게이트선 상부에는 게이트 절연막이 형성되어 있다. 게이트 절연막 위에 반도체층 및 저항성 접촉층이 형성되어 있다. 게이트 절연막 상부에는 게이트선과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선이 형성되어 있고, 적어도 일부가 저항성 접촉층 위에 형성되어 있는 소스 전극과 적어도 일부가 저항성 접촉층 위에 형성되어 있으며 소스 전극과 대향하는 드레인 전극이 형성되어 있다. 반도체층을 덮는 보호막 상부에는 화소 전극이 형성되어 있다. In the thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment, a gate line including a gate electrode is formed on an insulating substrate, and a gate insulating layer is formed on the gate line. The semiconductor layer and the ohmic contact layer are formed on the gate insulating film. A data line defining a pixel is formed on the gate insulating layer to intersect the gate line, at least a portion of which is formed on the ohmic contact layer, and at least a portion of which is formed on the ohmic contact layer, and a drain electrode facing the source electrode. Formed. The pixel electrode is formed on the passivation film covering the semiconductor layer.
이때, 게이트 전극, 반도체층, 저항성 접촉층, 소스 전극, 드레인 전극 등으로 이루어지는 박막트랜지스터는 각각의 화소영역에 형성되어 있는데, 각 화소 행의 박막트랜지스터들은 위아래로 이웃하는 화소 행의 박막트랜지스터들과는 좌우로 그 위치를 달리하여 형성되어 있으며, 데이터선은 화소 전극을 기준으로 좌우로 나누어 위치시킨다. 데이터선 하부의 반도체층은 데이터선과 동일한 평면 모양을 가지는 것이 바람직하며, 화소 전극은 적어도 둘 이상으로 화소를 분할하는 돌기나 절개부를 가질 수 있다. In this case, thin film transistors including a gate electrode, a semiconductor layer, an ohmic contact layer, a source electrode, and a drain electrode are formed in each pixel area, and the thin film transistors of each pixel row are left and right opposite to the thin film transistors of the adjacent pixel row. The data lines are formed by changing their positions, and the data lines are positioned by dividing them left and right with respect to the pixel electrode. The semiconductor layer below the data line preferably has the same planar shape as the data line. The pixel electrode may have protrusions or cutouts that divide the pixel into at least two or more.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.
그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대하여 설명한다.Next, a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 구조를 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 표시판을 II-II' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 3은 도 1의 박막 트랜지스터 표시판에서 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 1 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor array panel according to a first exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 1 taken along line II-II ′, and FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line III-III 'of the TFT panel.
절연 기판(110) 위에 게이트 신호를 전달하는 게이트선(121)은 주로 가로 방향으로 뻗어 형성되어 있다. 또한 각 게이트선의 다른 일부는 아래 방향으로 돌출하여 복수의 확장부(expansion)를 가질 수도 있다. The
게이트선(121)은 물리적 성질이 다른 두 개 이상의 막을 포함하는 것이 바람 직하다. 하나의 도전막은 게이트 신호의 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 , 구리(Cu)이나 구리 합금, 은(Ag)이나 은 합금 등의 금속계열로 이루어지며, 다른 도전막은 다른 물질, 특히 IZO(indium zinc oxide) 또는 ITO(indium tin oxide)와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수한 물질 , 이를테면 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금[보기: 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금], 크롬(Cr) 등으로 이루어지는 것이 바람직하다. 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금과 알루미늄/몰리브덴 , 알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금/몰리브덴 등을 들 수 있다. 게이트선(121)의 측면은 각각 경사져 있으며 그 경사각은 기판(110)의 표면에 대하여 약 20-80°이다.The
게이트선(121) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A
게이트 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 등으로 이루어진 복수의 선형 반도체(151)가 형성되어 있다. 선형 반도체(151)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며 이로부터 복수의 돌출부(extension)(154)가 게이트 전극(123)을 향하여 뻗어 나와 있다. 또한 선형 반도체(151)는 이후에 형성되는 데이터선(171)을 따라 형성되어 있으며, 게이트선(121)과 만나는 지점 부근에서 폭이 커져서 게이트선(121)의 넓은 면적을 덮고 있다.A plurality of
반도체(151)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 복수의 선형 및 섬 형 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)가 형성되어 있다. 선형 접촉 부재(161)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 이 돌출부(163)와 섬형 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체(151)의 돌출부(154) 위에 위치한다.On the
저항 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 각각 복수의 데이터선(data line)(171)과 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)이 형성되어 있다.A plurality of
데이터선(171)은 뒤에 설명할 화소 전극(190)을 기준으로 지그재그(Zig-Zag)형태로 세로 방향으로 뻗어 형성되어 있으며, 게이트선(121)과 교차하며 데이터 전압(data voltage)을 전달한다. 각 데이터선(171)에서 드레인 전극(175)을 향하여 뻗은 복수의 가지가 소스 전극(source electrode)(173)을 이룬다. 한 쌍의 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 게이트 전극(124)에 대하여 서로 반대쪽에 위치한다. 게이트 전극(123), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체(151)의 돌출부(154)와 함께 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 돌출부(154)에 형성된다. 이때, 데이터선(171)은 굴곡부(176, 177)를 통하여 뒤에 설명할 화소전극(190)을 지나며, 각 화소 행의 박막트랜지스터들은 위아래로 이웃하는 화소 행의 박막트랜지스터들과는 좌우로 그 위치를 달리하여 형성된다.The
데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 또한 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금, 크롬(Cr) 따위의 도전막과 그 위에 위치한 알루미늄 계열 금속인 도전막을 포함하는 것이 바람직하다.The
데이터선(171) 및 드레인 전극(175)도 게이트선(121)과 마찬가지로 그 측면이 약 30-80°의 각도로 각각 경사져 있다.Like the
저항성 접촉 부재(161, 165)는 그 하부의 반도체(151)와 그 상부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다. 선형 반도체(151)는 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 비롯하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)에 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있으며, 대부분의 곳에서는 선형 반도체(151)의 폭이 데이터선(171)의 폭보다 작지만 앞서 설명했듯이 게이트선(121)과 만나는 부분에서 폭이 커져서 게이트선(121)과 데이터선(171) 사이의 절연을 강화한다. 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 노출된 반도체(151) 부분의 위에는 평탄화 특성이 우수하며 감광성 (photosensitivity)을 가지는 유기 물질 또는 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 등으로 이루어진 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다. 특히, 유기물질로 만들어진 보호막(180)은 유전상수(ĸ)가 2.5~3.5 사이며, 약 2um 두께로 증착될 수 있고, 질화막(SiNx)으로 이루어질 수도 있는 보호막(180)은 유전상수(ĸ)가 6~7 사이며 약 0.45um 두께로 증착될 수 있다. 또한 보호막(180)은 상기 SiNx 또는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 또는 유기막의 조합으로 이루어 질 수도 있다.The
보호막(180)이 유기 물질로 이루어진 실시예에서는 데이터선(171)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체(151)가 드러난 부분으로 보호막(180)의 유기 물질이 접하는 것을 방지하기 위해 보호막(180)은 유기막의 하부에 질화규소 또는 산화 규소로 이루어진 절연막이 추가될 수 있다. In an embodiment in which the
보호막(180)에는 드레인 전극(175), 게이트선(121)의 끝 부분(129) 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)을 각각 드러내는 복수의 접촉 구멍(contact hole)(185,182)이 형성되어 있다. 이와 같이, 보호막(180)이 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 끝 부분(129, 179)을 드러내는 접촉 구멍(181,182)을 가지는 실시예는 외부의 데이터 구동 회로를 이방성 도전막을 이용하여 게이트선(121) 및 데이터선(171)에 각각 연결하기 위해 데이터선(171)이 접촉부를 가지는 구조이며, 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 각 끝 부분(129,179)은 필요에 따라 게이트선(121) 및 데이터선(171)보다 넓은 폭을 가질 수도 있다. 다른 실시예에서는 게이트선(121) 및 데이터선(171)은 끝 부분에 접촉부를 가지지 않을 수 있다. 이러한 구조에서 기판의 상부에 직접 형성된 게이트 구동 회로 또는 데이터 구동 회로의 출력단에 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 끝 부분이(129, 179) 직접 연결되는 구조를 더 포함한다.In the
접촉 구멍(185, 181, 182)은 드레인 전극(175), 게이트선(121)의 끝 부분 (129) 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)을 드러내는데, 접촉 구멍(185, 181, 182)에서는 이후에 형성되는 ITO 또는 IZO의 도전막과 접촉 특성을 확보하기 위해 알루미늄 계열의 도전막이 드러나지 않는 것이 바람직하다. 이때, 접촉 구멍(185, 181, 182)은 드레인 전극(175), 게이트선(121)의 끝 부분(129) 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)의 경계선이 드러날 수도 있다. The contact holes 185, 181, and 182 expose the
보호막(180) 위에는 IZO 또는 ITO로 이루어진 복수의 화소 전극(pixel electrode)(190) 및 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(81, 82)가 형성되어 있다.A plurality of
화소 전극(190)은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 물리적·전기적으로 연결되어 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다. The
데이터 전압이 인가된 화소 전극(190)은 공통 전압(common voltage)을 인가 받는 다른 표시판(도시하지 않음)의 공통 전극(도시하지 않음)과 함께 전기장을 생성함으로써 액정층의 액정 분자들을 재배열시킨다.The
특히 게이트 전극(123), 반도체층(151), 저항성 접촉층(161), 소스 전극 (173), 드레인 전극(175) 등으로 이루어지는 박막트랜지스터는 화소 행에 따라 그 위치를 좌우 교대로 달리하여 형성되어 있으며, 데이터선(171)은 화소 전극(190)을 기준으로 좌우로 나누어 위치시킨다. In particular, a thin film transistor including the
이러한 본 발명의 실시예에 따른 구조에서는 제조 공정시 박막 패턴이 형성되는 액티브 영역을 다수의 영역으로 분할하여 스텝 앤 리피트 방식으로 노광공정을 진행할 때, 마스크의 오정렬이 발생하더라도 서로 다른 노광된 영역의 화소 전극(190)과 데이터선(171) 사이에서 발생하는 기생 용량은 거의 일정하다. 따라서, 노광 영역 간의 경계 부분에서 화면 밝기의 차이를 최소화할 수 있어 세로줄 불량 또는 플리커(flicker)등의 시인성 불량을 방지할 수 있다.In the structure according to the exemplary embodiment of the present invention, when the exposure process is performed in a step-and-repeat manner by dividing the active region in which the thin film pattern is formed in the manufacturing process into a plurality of regions, even if misalignment of the mask occurs, The parasitic capacitance generated between the
또한 제조 공정에서 게이트 전극(123)과 소스/드레인 전극(173,175)사이에 서 발생하는 기생용량은 거의 일정하다. 따라서, 가로줄 불량 등이 발생하는 시인성 불량들을 방지할 수 있다. In the manufacturing process, the parasitic capacitance generated between the
앞서 설명한 것처럼, 화소 전극(190)과 공통 전극은 축전기[이하 “액정 축전기(liquid crystal capacitor)”라 함]을 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프된 후에도 인가된 전압을 유지하는데, 전압 유지 능력을 강화하기 위하여 액정 축전기와 병렬로 연결된 다른 축전기를 두며 이를 "유지 축전기(storage electrode)"라 한다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 게이트선 및 데이터선의 각 끝 부분(129, 179)과 각각 연결된다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 각 끝 부분(179)과 구동 집적 회로와 같은 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니며, 이들의 적용 여부는 선택적이다.
As described above, the
한편, 이러한 본 발명의 다른 실시예로, 제조 비용을 줄이기 위해 도 1 내지 도 3에 도시한 박막 트랜지스터 표시판과 달리, 반도체(151)는 박막 트랜지스터가 위치하는 돌출부(154)를 제외하고 데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 그 하부의 저항성 접촉 부재(161, 165,)와 실질적으로 동일한 평면 형태를 가지게 할 수 있으며, 선형 반도체(151)는 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 그 하부의 저항성 접촉 부재(161, 165)의 아래에 존재하는 부분 외에도 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이에 이들에 가리지 않고 노출된 부분을 가질 수 있다.Meanwhile, in another embodiment of the present invention, unlike the thin film transistor array panel illustrated in FIGS. 1 to 3 to reduce the manufacturing cost, The
또한, 게이트선(121)은 구동 회로와 연결하기 위한 접촉부를 가지고 있지 않을 수도 있다. 둘 이상의 박막을 중간 두께를 가지는 부분을 포함하는 감광막 패턴을 이용하여 패터닝한 박막 트랜지스터 표시판에도 동일하게 적용할 수 있다.In addition, the
본 발명의 또 다른 실시예로, 화소 전극(190)의 재료로 투명한 도전성 폴리머(polymer) 등을 사용하며, 반사형(reflective) 액정 표시 장치의 경우 불투명한 반사성 금속을 사용하여도 무방하다. 이때, 접촉 보조 부재(81, 82)는 화소 전극(190)과 다른 물질, 특히 IZO 또는 ITO로 만들어질 수 있다.In another embodiment of the present invention, a transparent conductive polymer may be used as the material of the
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 5는 도 4에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 V-V' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.4 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel illustrated in FIG. 4 taken along a line V-V ′.
도 4 및 도 5에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판은 박막 트랜지스터 어레이 위에 색필터가 형성되어 있는 COA(color filter on array) 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에서도 동일하게 적용할 수 있다. 본 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 층상 구조는 대개 도 1 내지 도 3에 도시한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 층상 구조와 유사하다. 4 and 5, a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention is a thin film transistor substrate for a color filter on array (COA) liquid crystal display in which a color filter is formed on the thin film transistor array. The same applies to the structure. The layered structure of the thin film transistor array panel for a liquid crystal display device according to the present embodiment is generally similar to the layered structure of the thin film transistor array panel for liquid crystal display devices shown in FIGS. 1 to 3.
즉, 기판(110) 위에 복수의 게이트 전극(123)을 포함하는 복수의 게이트선(121)이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막(140), 복수의 선형 반도체 (151), 복수의 선형 저항성 접촉 부재(161) 및 복수의 섬형 저항성 접촉 부재(165)가 차례로 형성되어 있다. 저항성 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 복수의 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)을 포함하며, 굴곡부를(176, 177)가지며 지그재그 형태로 세로 방향으로 뻗어 화소전극(190)을 지나가는 복수의 데 이터선(171)이 형성되어있다. 게이트 전극(123), 반도체층(151), 저항성 접촉층 (161), 소스 전극(173), 드레인 전극(175) 등으로 이루어지는 박막트랜지스터는 화소 행에 따라 그 위치를 좌우 교대로 달리하여 형성되어 있다. 특히, 박막 트랜지스터의 채널(channel)층을 보호하기 위하여 소스전극(173), 드레인 전극(175)위에 질화막(SiNx)으로 이루어지는 보호막을 형성할 수 있다.
That is, the plurality of
여기서, 도 1 내지 도3 과는 달리 드레인 전극(175)을 드러내는 접촉구멍 (185)을 가지는 적, 녹, 청(R, G, B)의 컬러 필터가 세로 방향으로 형성되어 있다. 그리고 적, 녹, 청(R, G, B)의 컬러 필터의 경계는 화소영역에 대응되어 도시되어 있지만, 데이터선(171) 상부에서 서로 중첩되어 화소 영역 사이에서 누설되는 빛을 차단하는 기능을 가질 수 있으며, 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(129,179)에서는 형성되어 있지 않다.Here, unlike FIGS. 1 to 3 Red, green, and blue (R, G, B) color filters having a
청, 녹, 청(R, G, B)의 컬러 필터 상부의 보호막(802)은 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선의 끝 부분(129), 데이터선의 끝 부분(179)을 들어내는 접촉구멍(181,182)을 가지고 있다. 또한, 보호막(802)위에는 복수의 화소 전극(190)과 복수의 접촉 보조 부재(81,82)가 형성되어 있다. 특히, 보호막(802)은 유기물로 이루어져 있으며, 유전상수(ĸ)가 3.2~3.4며 두께는 1.5um이하가 바람직하며, 경우에 따라서는 보호막(802)을 형성을 하지 않을 수도 있다.The
또한, 유기물로 이루어진 블랙 매트릭스(220)가 박막 트랜지스터 표시판에 형성 될 수도 있다. In addition, a
또한, 게이트선(121)은 구동 회로와 연결하기 위한 접촉부를 가지고 있지 않 을 수도 있다.In addition, the
이러한 본 발명의 다른 실시예로, 제조 비용을 줄이기 위해 도 4 내지 도 5에 도시한 박막 트랜지스터 표시판과 달리, 반도체(151)는 박막 트랜지스터가 위치하는 돌출부(154)를 제외하면 데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 그 하부의 저항성 접촉 부재(161, 165,)와 실질적으로 동일한 평면 형태를 가지고 있다. 구체적으로는, 선형 반도체(151)는 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 그 하부의 저항성 접촉 부재(161, 165)의 아래에 존재하는 부분 외에도 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이에 이들에 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있다.In another embodiment of the present invention, unlike the thin film transistor array panel shown in FIGS. 4 to 5 to reduce the manufacturing cost, The
또한, 게이트선(121)은 구동 회로와 연결하기 위한 접촉부를 가지고 있지 않을 수도 있다.In addition, the
한편, 화소 전극은 액정 분자를 분할 배향하기 위한 도메인 규제 수단을 가질 수도 있으며, 이러한 구조에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.On the other hand, the pixel electrode may have a domain regulating means for the partial alignment of the liquid crystal molecules, this structure will be described in detail.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 7은 도 6의 액정 표시 장치를 VII-VII'선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.6 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the liquid crystal display of FIG. 6 taken along the line VII-VII ′.
본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터 표시판(100)과 이와 마주보고 있는 공통 전극 표시판(200) 및 이들 두 표시판 사이에 주입되어 있고 그에 포함되어 있는 액정 분자의 장축이 이들 표시판에 대하여 수직으로 배향되어 있는 액정층(300)으로 이루어진다. In the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention, the thin film transistor array panel 100, the common electrode panel 200 facing each other, and the long axis of the liquid crystal molecules included between the two display panels are included in the display panel. It consists of a liquid crystal layer 300 oriented perpendicular to the.
먼저, 도 6 및 도 7을 참고로 하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 트랜 지스터 표시판에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.First, a thin film transistor array panel according to a third exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 6 and 7.
절연 기판(110) 위에 가로 방향으로 게이트선(121)이 형성되어 있고, 게이트선(121)에 게이트 전극(123)이 연결되어 있다. 게이트선(121)의 한쪽 끝 부분(129)은 외부 회로와의 연결을 위하여 형성되어 있다. 절연 기판(110) 위에는 유지 전극선(131)및 유지 전극(133)이 형성되어 있다. 유지 전극선(131)은 가로 방향으로 뻗어 있고 유지 전극(133)은 마름모꼴 또는 직사각형으로 유지 전극선(131)에 연결되어 있는데, 게이트 전극(123)에 인접하게 배치되어 있다. The
게이트선(121) 및 유지 전극선(131)은 물리 화학적 특성이 우수한 Cr 또는 Mo 합금 등으로 이루어지는 제1층과, 저항이 작은 Al 또는 Ag 또는 이들의 합금 등으로 이루어지는 제2층의 이중층으로 이루어질 수 있으며, 필요에 따라서는 단일층으로 이루어지나 또는 3중층 이상으로 이루어질 수도 있다. The
게이트선(121) 및 유지 전극선(131)의 위에는 게이트 절연막(140)이 형성되어 있으며, 그 위에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(150)이 형성되어 있다. 반도체층(150)은 박막 트랜지스터의 채널을 형성하는 채널부를 포함하며, 반도체층(150)의 위에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉층이 형성되어 있다. 저항성 접촉층은 소스전극부 저항성 부재(162)와 게이트 전극(123)을 중심으로 한 드레인 전극부 저항성 부재(163)로 이루어져 있다.A
저항성 접촉층 및 게이트 절연막(140) 위에는 데이터선(171)과 드레인 전극(175)이 형성되어 있다. 데이터선(171)은 길게 뻗어 있으며 게이트선(121)과 교차하고 있으며, 데이터선(171)에 연결되어 있으며 소스부 저항성 부재(162)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(173)을 가진다. 데이터선(171)의 한쪽 끝 부분(179)은 외부 회로와 연결하기 위하여 형성되어 있다.The
여기서, 데이터선(171)은 화소의 길이를 주기로 하여 반복적으로 화소 영역을 좌우로 나누면서 굽은 부분, 세로로 뻗은 부분, 화소전극(190)을 가로지르는 부분을 가진다. 이 때, 데이터선(171)의 굽은 부분은 두 개의 직선 부분으로 이루어지며, 이들 두 개의 직선 부분 중 하나는 게이트선(121)에 대하여 45도를 이루고, 다른 한 부분은 게이트선(121)에 대하여 -45도를 이룬다. 데이터선(171)의 세로로 뻗은 부분에는 소스 전극(173)이 연결되어 있고, 이 부분이 게이트선(121)과 교차한다. 또한 가로지르는 부분은 게이트 선(121)과 평행하게 이루어져 있다. 여기서, 공통 전극 표시판(200)쪽에 형성된 블랙 매트릭스(220)로 가리지 못하여 데이터선(171)과 데이터선 사이에 빛샘 현상이 발생하는데, 이를 방지하기 위해서 플로팅 금속패턴(122)을 형성할 수 있다. 플로팅 금속패턴(122)은 게이트 선(121)과 같은 물질로 동시에 형성하는 것이 바람직하며, 서로 이웃하는 데이터선들 사이에 형성하는 것이 바람직하다. Here, the
그리고, 게이트선(121)과 데이터선(171)이 교차하여 이루는 화소는 꺾인 띠 모양을 가진다. 드레인 전극(175)은 화소 전극(190)과 연결되는 부분이 직사각형 모양으로 넓게 확장되어서 유지 전극(133)과 중첩하고 있다. 이와 같이, 드레인 전극(175)은 유지 전극(133)과 게이트 절연막(140)만을 사이에 두고 중첩함으로써 보다 효과적으로 유지 용량을 형성한다.
The pixel formed by the intersection of the
데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 위에는 유기 절연막으로 이루어진 보호막(180)이 형성되어 있다. 여기서 보호막(180)은 감광성 유기 물질을 노광 및 현상하여 형성한다. 필요에 따라서는 보호막(180)을 감광성이 없는 유기 물질을 도포하고 사진 식각 공정을 통하여 형성할 수 있다. 또한 보호막(180)은 질화규소 또는 산화 규소로 이루어진 절연막이 추가될 수 있다.A
보호막(180)에는 드레인 전극(175)과 데이터선(171)의 끝 부분(179)을 각각 노출시키는 복수의 접촉 구멍(185, 182)이 구비되어 있으며, 게이트선(121)의 끝 부분(129) 일부를 드러내는 복수의 접촉 구멍(181)이 게이트 절연막(140)과 보호막(180)을 관통하고 있다. The
보호막(180) 위에는 접촉구(185)를 통하여 드레인 전극(175)과 연결되어 있으며 화소의 모양을 따라 꺾인 띠 모양으로 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 이 때, 화소 전극(190)은 가장자리가 데이터선(171)과 중첩할 정도로 넓게 형성되어 있어서 최대한의 개구율을 확보하고 있다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 게이트선 및 데이터선의 각 끝 부분(129, 179)과 각각 연결된다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 각 끝 부분(179)과 구동 집적 회로와 같은 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니며, 이들의 적용 여부는 선택적이다.The
화소 전극(190), 접촉 보조 부재(81, 82)는 ITO(indium tin oxide)나 IZO(indium zinc oxide) 등과 같은 투명 도전체나 알루미늄(Al)과 같은 광 반사 특성이 우수한 불투명 도전체 따위로 만들어진다.
The
이제, 도 6 및 도 7을 참고로 하여 공통 전극 표시판(200)에 대하여 설명한다.The common electrode display panel 200 will now be described with reference to FIGS. 6 and 7.
유리 등의 투명한 절연 물질로 이루어진 상부 기판(210)의 아래 면에 빛샘을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(220)와 적, 녹, 청(R, G, B)의 색필터(230)가 순차적으로 형성되어 있고, 색필터(230) 위에는 유기 물질로 이루어진 오버코트막(250)이 형성되어 있다. 오버코트막(250)의 위에는 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있는 공통 전극(270)이 형성되어 있으며, 공통 전극(270)의 상부에는 유기 물질로 이루어진 돌기(240)가 형성되어 있다.The
이 때, 돌기(240)는 도메인 규제 수단으로서 작용하며 그 폭은 5㎛에서 10㎛ 사이인 것이 바람직하다. 만약 도메인 규제 수단으로 프린지 필드를 형성하기 위해 공통 전극(270)에 돌기(240) 대신 절개부를 형성하는 경우에는 절개부의 폭을 9㎛에서 12㎛ 사이로 하는 것이 바람직하다.At this time, the
여기서 블랙 매트릭스(220)는 데이터선(171)의 굽은 부분에 대응하는 선형 부분과 데이터선(171)의 세로로 뻗은 부분 및 박막 트랜지스터 부분에 대응하는 부분을 포함한다. The
적, 녹, 청(R, G, B)의 색필터(230)는 블랙 매트릭스(220)에 의하여 구획되는 화소 열을 따라 세로로 길게 형성되어 있고 화소의 모양을 따라 주기적으로 구부러져 있다.The color filters 230 of red, green, and blue (R, G, B) are vertically long along the pixel column defined by the
돌기(240) 역시 구부러져 있어서 굽은 화소를 좌우로 양분하는 모양으로 형성되어 있는데, 돌기(240)의 끝단은 다양한 모양을 가질 수 있다.
The
이러한 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판(100)과 공통 전극 표시판(200)에는 서로 마주하는 면 상부에 배향막(13, 23)이 각각 형성되어 있다. 이때, 각각의 배향막(13, 23)은 액정 분자를 기판 면에 대하여 수직으로 배향하는 수직 배향막일 수 있으며 그렇지 않을 수도 있다.In the thin film transistor array panel 100 and the common electrode panel 200 according to the exemplary embodiment of the present invention, the alignment layers 13 and 23 are formed on the surfaces facing each other. In this case, each of the alignment layers 13 and 23 may or may not be a vertical alignment layer that orients the liquid crystal molecules perpendicularly to the substrate surface.
이상과 같은 구조의 박막 트랜지스터 표시판(100)과 공통 전극 표시판(200)을 결합하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정층(300)을 형성하면 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 기본 패널이 이루어진다. When the liquid crystal layer 300 is formed by combining the thin film transistor array panel 100 and the common electrode display panel 200 having the above structure and injecting liquid crystal therebetween, the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention The panel is made.
액정층(300)에 포함되어 있는 액정 분자는 화소 전극(190)과 공통 전극(270) 사이에 전계가 인가되지 않은 상태에서 그 방향자가 하부 기판(110)과 상부 기판 (210)에 대하여 수직을 이루도록 배향되어 있고, 음의 유전율 이방성을 가진다. The liquid crystal molecules included in the liquid crystal layer 300 have their directors perpendicular to the
하부 기판(110)과 상부 기판(210)은 화소 전극(190)이 색필터(230)와 대응하여 정확하게 중첩되도록 정렬된다. 이렇게 하면, 화소의 액정 분자(310)들은 돌기(240)에 의해 형성된 돌기(240)의 경사면에 대하여 수직하게 배향되어 복수의 도메인으로 분할 배향된다. 이 때, 화소는 돌기(240)에 의하여 좌우로 양분되며, 화소의 꺾인 부분을 중심으로 하여 상하에서 액정의 배향 방향이 서로 달라서 4종류의 도메인으로 분할된다.The
이러한 액정 표시 장치의 구조에서 색필터(230)가 공통 전극 표시판(200)에 배치되어 있지만, 박막 트랜지스터 표시판(100)에 배치할 수 있으며, 이 경우에는 게이트 절연막(140) 또는 보호막(180)의 하부에 형성될 수 있다. Although the
액정 표시 장치는 이러한 기본 패널 양측에 편광판, 백라이트, 보상판 등의 요소들을 배치하여 이루어진다. 이 때 편광판은 기본 패널 양측에 각각 하나씩 배치되며 그 투과축은 게이트선(121)에 대하여 둘 중 하나는 나란하고 나머지 하나는 수직을 이루도록 배치한다.The liquid crystal display is formed by disposing elements such as a polarizer, a backlight, and a compensation plate on both sides of the basic panel. In this case, one polarizer is disposed on each side of the base panel, and the transmission axis thereof is disposed so that one of the two is parallel to the
이상과 같은 구조로 액정 표시 장치를 형성하면 액정에 전계가 인가되었을 때 각 도메인 내의 액정이 도메인의 장변에 대하여 수직을 이루는 방향으로 기울어지게 된다. 그런데 이 방향은 데이터선(171)에 대하여 수직을 이루는 방향이므로 데이터선(171)을 사이에 두고 인접하는 두 화소 전극(190) 사이에서 형성되는 측방향 전계에 의하여 액정이 기울어지는 방향과 일치하는 것으로서 측방향 전계가 각 도메인의 액정 배향을 도와주게 된다. When the liquid crystal display device is formed as described above, when an electric field is applied to the liquid crystal, the liquid crystal in each domain is inclined in a direction perpendicular to the long side of the domain. However, since the direction is perpendicular to the
액정 표시 장치는 데이터선(171) 양측에 위치하는 화소 전극에 극성이 반대인 전압을 인가하는 점반전 구동, 열반전 구동, 2점 반전 구동 등의 반전 구동 방법을 일반적으로 사용하므로 측방향 전계는 거의 항상 발생하고 그 방향은 도메인의 액정 배향을 돕는 방향이 된다.Since the liquid crystal display generally uses inversion driving methods such as point inversion driving, thermal inversion driving, and two-point inversion driving, which apply voltages having opposite polarities to pixel electrodes positioned on both sides of the
또한, 편광판의 투과축을 게이트선(121)에 대하여 수직 또는 나란한 방향으로 배치하므로 편광판을 저렴하게 제조할 수 있으면서도 모든 도메인에서 액정의 배향 방향이 편광판의 투과축과 45도를 이루게 되어 최고 휘도를 얻을 수 있다. In addition, since the transmission axis of the polarizing plate is disposed in a direction perpendicular to or parallel to the
이와 같이 게이트 전극, 반도체층, 저항성 접촉층, 소스 전극, 드레인 전극 등으로 이루어지는 박막트랜지스터는 화소 행에 따라 그 위치를 좌우 교대로 달리하여 형성되어 있으며, 데이터선은 화소 전극을 기준으로 좌우로 나누어 위치 시켜 서, 게이트 전극과 소스/드레인 사이에서 발생하는 기생용량이나, 화소 전극과 데이터선 사이에서 발생하는 기생 용량을 거의 일정하게 형성할 수 있어, 가로줄불량, 세로줄불량 또는 플리커 등 시인성 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.As described above, thin film transistors including a gate electrode, a semiconductor layer, an ohmic contact layer, a source electrode, a drain electrode, and the like are formed by alternately shifting positions of the thin film transistors according to the pixel rows. By positioning, the parasitic capacitance generated between the gate electrode and the source / drain or the parasitic capacitance generated between the pixel electrode and the data line can be formed almost uniformly, resulting in poor visibility such as horizontal streaks, vertical streaks or flicker. Can be prevented.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.
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