KR100969551B1 - 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법 및 이를 이용한미세구조물 형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 제1 기판 상에 UV 경화성 고분자 패턴을 형성하는 단계;상기 UV 경화성 고분자 패턴과 UV 경화성 고분자층이 형성된 제2 기판을 정전기적 인력으로 접합시키는 단계; 및상기 접합된 UV 경화성 고분자 패턴과 상기 UV 경화성 고분자층 중합반응에 의하여 가교결합하도록 자외선을 조사하여 채널을 형성시키는 단계를 포함하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴 및 상기 UV 경화성 고분자층이 정전기적 인력을 유발시킬 수 있는 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴 및 상기 UV 경화성 고분자층이 폴리에틸렌글리콜(PEG), 폴리우레탄(poly urethane), 폴리스테렌(poly styrene), 및 폴리메틸메타크릴레이트(Poly Methyl MethAcrylate: PMMA)로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 기판 및 제2 기판은 폴리(에틸렌 테레프탈레이트)( Poly(Ethylene Terephthalate): PET)필름인 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴의 형성은 패터닝된 몰드를 준비하는 단계;상기 패터닝된 몰드 상에 UV 경화성 고분자를 적하하여 도포하는 단계;상기 도포된 UV 경화성 고분자와 접촉하도록 상기 제1 기판 을 적층하는 단계;상기 도포된 UV 경화성 고분자가 모세관 현상에 의하여 유동하여 미세패턴이 형성되는 단계;상기 형성된 미세패턴에 자외선을 조사하여 UV 경화성 고분자패턴을 형성시키는 단계; 및상기 패터닝된 몰드를 상기 UV 경화성 고분자패턴이 형성된 제1 기판에서 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제5 항에 있어서, 상기 미세패턴에 대한 자외선 조사가 상기 UV 경화성 고분자 패턴에 상기 UN경화성 고분자층과 가교결합할 수 있는 UV활성화그룹이 남아있도록 수행되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴의 형성은 패터닝된 몰드를 준 비하는 단계;상기 제1 기판 상에 상기 UV 경화성 고분자를 도포하는 단계;상기 도포된 UV 경화성 고분자와 접촉하도록 상기 패터닝된 몰드를 상기 제1 기판 상에 적층하는 단계;상기 도포된 UV 경화성 고분자가 모세관 현상에 의하여 유동하여 미세 패턴이 형성되는 단계;상기 형성된 미세 패턴에 자외선을 조사하여 UV 경화성 고분자 패턴을 형성시키는 단계; 및상기 패터닝된 몰드를 상기 UV 경화성 고분자패턴이 형성된 제1 기판에서 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자층의 형성은 상기 제2 기판 상에 UV 경화성 고분자(42)를 스핀코팅하는 단계; 및상기 스핀코팅된 UV 경화성 고분자에 자외선을 조사하여 UV 경화성 고분자층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세 채널 형성 방법.
- 제8 항에 있어서, 상기 스핀코팅된 UV 경화성 고분자에 대한 자외선 조사가 상기 UV 경화성 고분자층에 상기 UV 경화성 고분자 패턴과 가교결합할 수 있는 UV 활성화그룹이 남아있도록 수행되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제1 기판 상에 UV 경화성 고분자 패턴을 형성하는 단계;상기 UV 경화성 고분자 패턴과 제3 기판을 접촉시켜 정전기력에 의하여 상기 고분자 패턴과 제3 기판을 가역적으로 접합시키는 단계;상기 제3 기판과 가역적으로 접합된 상기 UV 경화성 고분자 패턴에 자외선을 조사하는 단계;상기 제3 기판과 상기 자외선이 조사된 상기 고분자 패턴 사이로 예비중합체(prepolymer)를 유동시켜 상기 제3 기판 상에 예비중합체 패턴을 형성하는 단계;상기 예비중합체 패턴에 자외선을 조사하여 상기 예비중합체 패턴을 경화하는 단계; 및상기 경화된 예비중합체 패턴이 형성된 상기 제3 기판으로부터 상기 UV 경화성 고분자 패턴이 형성된 제1 기판으로부터 제거하는 단계를 포함하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴은 선형 패턴이고, 상기 예비중합체 패턴은 상기 제3 기판 상에 형성된 선형구조물인 것을 특징으로 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴은 기둥 형상의 패턴이고, 상기 예비중합체 패턴은 상기 제3 기판을 부분적으로 노출시키는 홀을 가지는 형상의 구조물인 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 제3 기판이 정전기력에 의하여 상기 UV 경화성 고분자 패턴과 균일하게 접촉할 수 있는 필름타입의 기판인 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세채널 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 제3 기판이 금(Au) 또는 실리콘, 또는 글라스를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴과 제3 기판을 접촉시키기 전에 상기 고분자 패턴과 상기 제3 기판의 가역적 접합을 촉진시키기 위하여 상기 제3 기판 상에 플라즈마 처리를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 UV 경화성 고분자 패턴에 대한 자외선 조사에 의하여 상기 예비 중합체 패턴과 가교결합할 수 있는 UV 경화성 고분자 패턴 내의 UV활성화그룹이 제거되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
- 제10 항에 있어서, 상기 예비중합체 패턴에 대한 자외선 조사에 의한 상기 예비중합체 패턴과 상기 제3 기판 사이의 결합력이 상기 제3 기판과 가역적으로 접합된 상기 UV 경화성 고분자패턴에 대한 자외선 조사에 의한 제3 기판과 상기 UV 경화성 고분자 패턴 사이의 결합력보다 큰 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 미세구조물 형성방법.
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