KR100964576B1 - 액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

제품의 수율을 향상시키기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법을 개시한다. 액정표시패널은 다수의 게이트 라인, 다수의 데이터 라인 및 다수의 게이트 라인 및 다수의 데이터 라인과 연결된 광 센싱 박막 트랜지스터를 갖는다. 광 센서 검사장치는 다수의 게이트 라인에 순차적으로 광 게이트 신호를 인가하는 신호 입력부 및 다수의 데이터 라인으로부터 광 게이트 신호에 대응하는 광 데이터 신호를 수신하는 신호 검사부를 갖는다. 신호 검사부는 각각의 데이터 라인별로 광 데이터 신호의 출력 여부를 검사한다. 광 센서 검사장치는 광 데이터 신호가 출력되지 않은 데이터 라인의 위치 및 현재 광 게이트 신호가 인가된 게이트 라인 위치를 이용하여 오동작이 발생한 광 센싱 박막 트랜지스터의 위치를 파악할 수 있다. 이에 따라, 광 센서 검사장치는 액정표시패널의 수율을 향상시킬 수 있다.
광 센싱, 터치 패널, 검사

Description

액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CHECKING LIGHT SENSOR OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널용 광 센서 검사 방법을 나타낸 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 액정표시패널을 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 TFT 기판을 나타낸 평면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 광 게이트 신호부로부터 출력되는 광 게이트 신호를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 광 게이트 신호에 따라 액정표시패널로부터 출력되는 광 데이터 신호를 나타낸 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 액정표시패널 200 : 광 센서 검사 장치
300 : 백라이트 어셈블리 400 : 라이트 펜
본 발명은 액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제품의 수율을 향상시키기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 화상을 표시하는 평판표시장치(FPD : Flat Panel Display)는 노트북 컴퓨터, 모니터, 텔레비전, 모바일 단말기 등에 널리 사용되고 있다.
평판표시장치가 적용되는 장치는 키보드나 마우스 또는 터치패널(Touch Screen Panel) 등을 이용하여 사용자가 요구하는 특정 처리를 수행한 후 그 수행 결과를 상기 평판표시장치를 이용하여 표시한다.
터치패널은 액정표시장치 상에 구비되어 화면상의 특정 위치에 사람의 손 또는 물체가 접촉되면 접촉된 위치를 파악하고, 내장된 소프트웨어는 접촉된 위치에 대응하는 특정처리를 수행한다.
상기 터치 패널은 액정표시패널의 상부에 구비된다. 따라서, 액정표시장치의 두께가 증가되는 단점이 있다.
광 센싱 액정표시패널은 외부로부터 입력된 광의 위치에 대응하는 위치 정보를 생성하고 이에 대응하는 특정 처리를 수행한다. 광 센싱 액정표시패널은 광 센서를 내장한다. 광 센서는 외부로부터 광이 입력되면, 상기 광이 입력된 지점에 대응하는 위치 정보를 생성한다
광 센싱 액정표시패널이 완성되면, 입력 광에 대응하여 광 센서가 정상적으로 동작하는지 여부를 검사하여 오동작이 발생된 광 센서의 위치 및 오동작이 발생된 광 센서의 개수를 파악해야 한다.
일반적인 액정표시패널의 검사 방법은, 게이트 라인, 데이터 라인 및 공통전압 라인에 전압을 인가한 후, 사람의 눈으로 액정표시패널을 검사한다. 이때, 다수 의 데이터 라인 및 게이트 라인 소정 개수로 그룹화하여 그룹 단위별로 전압을 인가한다. 액정표시패널의 검사 방법은, 전기신호를 입력하여 이에 대응하는 화상에 정확하게 출력되는 지를 시각적으로 검사한다.
이러한 검사 방법은 전기 신호를 입력하여 전기 신호로 출력하는 광 센서부의 검사 방법으로 부적합하며, 오동작이 발생된 광 센서부의 위치 파악 및 그 개수 파악이 어렵다.
본 발명의 목적은 제품의 수율을 향상시키기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 제품의 수율을 향상시키기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 액정표시패널용 광 센서 검사 장치는 신호 입력부 및 신호 검사부로 이루어진다.
액정표시패널은 제1 방향으로 배치된 다수의 게이트 라인, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 배치된 다수의 데이터 라인, 및 상기 다수의 게이트 라인 및 상기 다수의 데이터 라인과 연결되고 외부로부터 입사되는 광의 입사 지점에 대응하는 위치 정보를 생성하기 위한 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터를 갖는다.
신호 입력부는 다수의 게이트 라인과 연결되어 각각의 게이트 라인별로 광 게이트 신호를 입력한다. 신호 검사부는 다수의 데이터 라인과 연결되고, 광 게이 트 신호에 대응하여 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터로부터 다수의 데이터 라인으로 인가되는 광 데이터 신호를 각각의 데이터 라인별로 수신한다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 액정표시패널용 광 센서 검사 방법은, 먼저 액정표시패널의 표시면으로 균일한 광을 조사하여 상기 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터를 턴-온시킨다.
이어, 광 게이트 신호를 다수의 게이트 라인에 순차적으로 인가한 후, 광 게이트 신호에 대응하는 광 데이터 신호를 상기 다수의 데이터 라인으로부터 수신한다. 각각의 데이터 라인으로부터 상기 광 데이터 신호가 출력되는지 여부를 검사한다. 광 데이터 신호가 미출력된 데이터 라인의 위치 및 현재 광 게이트 신호가 입력된 게이트 라인의 위치를 이용하여 오동작이 발생된 광 센싱 박막 트랜지스터의 위치를 파악한다.
이러한 액정표시패널용 광 센서 검사 장치 및 그 방법에 의하면, 광 센서 검사 장치는 광 게이트 신호를 액정표시패널의 게이트 라인별로 인가하고, 광 게이트 신호에 대응하는 광 데이터 신호를 데이터 라인별로 입력받음으로써, 오동작이 일어난 광 센싱 박막 트랜지스터의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널용 광 센서 검사 방법을 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 액정표시패널(100)은 광 감지부(LSP)를 내장한다. 상기 광 감지부(LSP)는 상기 액정표시패널(100)의 표시면으로 입사되는 입 사광의 입사 위치를 나타내는 위치 정보를 생성한다.
상기 액정표시패널(100)이 완성되면, 상기 액정표시패널(100)은 상기 광 감지부(LSP)가 상기 입사광에 정확하게 반응하는지 여부를 검사 받는다.
광 센서 검사장치(200)는 상기 액정표시패널(100)에 연결되어 상기 광 감지부(LSP)의 오동작 여부를 검사한다. 상기 광 센서 검사장치(200)는 상기 액정표시패널(100)로 광 게이트 신호를 입력하는 신호 입력부(210) 및 상기 액정표시패널(100)로부터 광 데이터 신호를 입력받는 신호 검사부(220)를 포함한다.
보다 상세히는, 상기 신호 입력부(210)는 상기 광 감지부(LSP)와 연결되어 상기 광 게이트 신호를 상기 광 감지부(LSP)로 인가한다. 상기 신호 검사부(220)는 상기 광 감지부(LSP)로부터 상기 광 게이트 신호에 대응하는 상기 광 데이터 신호를 입력받아 상기 광 감지부(LSP)의 오동작 여부를 검사한다.
도 2는 도 1에 도시된 액정표시패널을 나타낸 단면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 액정표시패널(100)은 아래에 구비된 백라이트 어셈블리(300)로부터 출사된 균일한 제1 광(L1)을 입력받아 화상을 표시한다.
상기 액정표시패널(100)은 광을 발생하는 라이트 펜(400)으로부터 화상이 표시되는 표시면으로 입사된 제2 광(L2)에 대응하는 위치 정보를 생성한다. 상기 액정표시패널(100)은 상기 위치 정보에 대응하는 화상을 디스플레이한다.
보다 상세히는, 상기 액정표시패널(100)은 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, TFT)(11, 12, 13)가 형성된 TFT 기판(110), 상기 TFT 기판(110)과 서로 대향하여 결합하는 컬러필터 기판(120) 및 상기 TFT 기판(110) 및 상기 컬러필터 기판(120) 사이에 개재된 액정층(130)을 포함한다.
구체적으로, 상기 TFT 기판(110)은 투명 유리 기판(111) 및 상기 투명 유리 기판(111) 상에 형성된 어레이 층(112)을 포함한다.
상기 어레이 층(112)은 상기 투명 유리 기판(111) 상에 매트릭스 형태로 형성된 TFT(11, 12, 13), 상기 TFT(11, 12, 13) 상에 형성된 유기 절연막(14), 상기 유기 절연막(14) 상에 형성된 화소 전극(15) 및 상기 화소 전극(15) 상에 형성된 반사 전극(17)을 포함한다.
상기 TFT(11, 13, 14)는 상기 액정층(130)에 신호 전압을 인가하고 차단하기 위한 액정구동 TFT(11) 및 상기 제2 광(L2)이 상기 액정표시패널(100)로 입사됨에 따라 상기 제2 광(L2)에 대응하는 위치 정보를 생성하는 광 센싱 TFT(12, 13)로 이루어진다.
상기 액정구동 TFT(11)는 상기 액정층(130)에 상기 신호 전압을 인가하고 차단한다.
상기 광 센싱 TFT(12, 13)는 상기 제2 광에 응답하여 구동하는 제1 TFT(12) 및 상기 제1 TFT(12)와 전기적으로 연결된 제2 TFT(13)를 포함한다. 상기 광 센싱 TFT(12, 13)는 상기 제2 광(L2)이 입사됨에 따라 상기 제2 광이 입사된 지점 즉, 자기의 위치 정보를 나타낸다.
상기 광 감지부(LSP)는 다수의 광 센싱 TFT로 이루어진다. 상기 광 센싱 TFT(12, 13)는 상기 투명 유리 기판(111) 상에 매트릭스 형태로 형성된다.
상기 액정구동 TFT(11) 화상의 기본 단위인 각각의 화소마다 위치한다. 상기 광 센싱 TFT(12, 13)는 상기 각각의 화소마다 위치할 수도 있으며, 바람직하게는 임의의 화소 간격마다 위치한다.
상기 TFT(11, 12, 13)의 상부에는 상기 유기 절연막(14)이 적층된다. 상기 유기 절연막(14)은 일부분이 제거되어 상기 액정구동 TFT(11)의 드레인 전극을 노출하기 위한 콘택홀(16)을 형성한다.
상기 유기 절연막(14)의 상부에는 상기 화소 전극(15)이 적층된다. 상기 화소 전극(15)은 상기 광 센싱 TFT(12, 13)의 상부에는 형성되지 않으며, 상기 콘택홀(16)을 통해 상기 액정구동 TFT(11)와 전기적으로 연결된다.
상기 화소 전극(15)은 투명성 도전 물질인 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide; 이하, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide; 이하, IZO)로 이루어진다.
상기 화소 전극(15)의 상부에는 상기 액정표시패널(100)의 외부로부터 제공되는 외부 광을 반사하여 화상을 표시하기 위한 반사판(17)이 적층된다.
상기 반사판(17)은 일부분이 제거되어 상기 백라이트 어셈블리(300)로부터 제공되는 상기 제1 광(L1)을 투과하기 위한 투과창(LA1) 및 상기 제1 광(L1)의 진행방향과 반대 방향으로 입사되는 상기 제2 광(L2)을 투과하기 위한 광 센싱 개구부(LA2)를 형성한다. 상기 광 센싱 개구부(LA2)는 상기 제1 TFT(12)와 대응하는 영역에 형성된다.
상기 컬러필터 기판(120)의 표시면을 통해 입사된 상기 제2 광(L2)은 상기 광 센싱 개구부(LA2)를 통해 상기 제1 TFT(12)로 입사된다.
상기 반사판(17)은 반사율이 높은 알루미늄-네오디뮴(AlNd)으로 이루어진 단일 반사막 또는 알루미늄-네오디뮴(Alnd)과 몰디브덴 텅스텐(MoW)으로 이루어진 이중 반사막으로 이루어질 수 있다.
상기 TFT 기판(110)의 상부에는 상기 컬러필터 기판(120)이 구비된다. 상기 컬러필터 기판(120)은 투명 유리 기판(121) 및 상기 투명 유리 기판(121) 상에 형성된 컬러필터 층(122)을 포함한다.
상기 컬러필터 층(122)은 상기 제1 광(L1)을 이용하여 소정의 색을 발현한다. 상기 컬러필터 층(122)은 상기 제1 광(L1)을 이용하여 소정의 색을 발현하는 다수의 색화소 및 상기 다수의 색화소로부터 누설된 광을 차단하여 대비비(Contrast Ratio : C/R)를 향상시키기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)를 포함한다.
한편, 상기 TFT 기판(110) 및 상기 컬러필터 기판(120)의 사이에는 상기 액정층(130)이 개재된다. 상기 액정층(130)은 액정 분자의 배열 방향이 상기 TFT 기판(110) 및 상기 컬러필터 기판(120)에 대하여 연속적으로 90도 트위스트된 네마틱 (twisted nematic) 액정으로 형성된다.
도 3은 도 2에 도시된 TFT 기판을 나타낸 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 TFT 기판(110)은 상기 광 센싱 TFT(12, 13)와 연결된 다수의 게이트 라인(18) 및 상기 다수의 데이터 라인(19)을 포함한다.
상기 다수의 게이트 라인(18)은 제1 방향으로 배치되고, 외부로부터 입력된 광 게이트 신호를 전달한다. 상기 다수의 게이트 라인(18)은 N개의 게이트 라인(G_1, G_2, G_3, G_N-1, G_N)으로 이루어진다. 상기 다수의 게이트 라인(18) 은 제1 게이트 라인(G_1)으로부터 N번째 게이트 라인(G_N)순으로 순차적으로 배치된다.
상기 다수의 데이터 라인(19)은 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 배치되고, 광 데이터 신호를 전달한다. 상기 다수의 데이터 신호(19)는 K개의 데이터 라인(D_1, D_2, D_3, D_K-1, D_K)으로 이루어진다.
상기 다수의 데이터 라인(19)은 상기 광 게이트 신호에 응답하여 상기 광 감지부(LSP)로부터 생성된 광 데이터 신호를 전달한다.
상기 광 감지부(LSP)의 오동작 검사 시, 먼저 상기 액정표시패널(100)의 표시면에 균일한 제3 광을 조사하여 상기 다수의 게이트 라인(18) 및 상기 다수의 데이터 라인(19)과 연결된 상기 다수의 광 센싱 TFT를 턴-온 시킨다.
상기 다수의 게이트 라인(18)은 도 1에 도시된 상기 광 센서 검사장치(200)와 연결되어 상기 신호 입력부(210)로부터 상기 광 게이트 신호를 입력받고, 상기 다수의 데이터 라인(19)은 도 1에 도시된 상기 신호 검사부(220)로 상기 광 데이터 신호를 인가한다.
도 4는 도 1에 도시된 신호 입력부로부터 출력되는 광 게이트 신호를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 광 센서 검사시, 상기 액정표시패널(100)의 표시면으로 상기 제3 광이 조사된다.
상기 신호 입력부(210)는 상기 광 게이트 신호를 상기 게이트 라인(G_1, G_2, G_3, G_N-1, G_N) 별로 순차적으로 동기화하여 입력한다.
즉, 상기 신호 입력부(210)는 제1 게이트 라인(G_1)부터 N번째 게이트 라인(G_N) 순으로 광 게이트 신호를 입력한다.
상기 신호 입력부(210)는 먼저 제1 광 게이트 신호(GS_1)를 상기 제1 게이트 라인(G_1)에 입력한 후, 제2 및 제3 광 게이트 신호(GS_2, GS_3)를 제2 및 제3 게이트 라인(G_2, G_3)에 각각 순차적으로 입력하고, N번째 광 게이트 신호(GS_N)를 맨 마지막으로 상기 N번째 게이트 라인(G_N)에 입력한다.
도 5는 도 4에 도시된 광 게이트 신호에 따라 액정표시패널로부터 출력되는 광 데이터 신호의 일례를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 상기 광 감지부(LSP)는 상기 광 게이트 신호(GS_1, GD_2, G_3, GS_N-1, GS_N)에 대응하는 상기 광 데이터 신호(DS_1, DS_2, DS_3, DS_4, DS_5)를 생성한다.
상기 광 데이터 신호(DS_1, DS_2, DS_3, DS_4, DS_5)는 상기 다수의 데이터 라인(19)에 각각 인가되어 상기 신호 감지부(220)로 입력된다. 상기 각각의 데이터 라인(D_1, D_2, D_3, D_K-1, D_K)은 다수의 광 센싱 TFT와 연결되므로, 상기 각각의 게이트 라인(18)으로 인가되는 광 게이트 신호가 동기화 될 때마다 상기 광 데이터 신호들을 출력한다.
따라서, 상기 특정 위치의 광 센싱 TFT(12, 13)에 이상이 생길 경우, 해당 광 센싱 TFT(12, 13)의 위치를 쉽게 파악할 수 있다.
예를 들어, 상기 다수의 데이터 라인(19) 중에서 제1 내지 제3 데이터 라인(D_1, D_2, D_3)은 제1 내지 제3 광 데이터 신호(DS_1, DS_2, DS_3)를 출력하고, K-1번째 데이터 라인(D_K-1) 및 K번째 데이터 라인(D_K)은 각각 K-1번째 및 K번째 광 데이터 신호(DS_K-1, DS_K)를 출력한다.
먼저, 상기 액정표시패널(110)의 표시면에 상기 제3 광을 조사한 후, 상기 제1 게이트 라인(G_1)에 상기 제1 광 게이트 신호(GS_1)를 입력하면, 상기 다수의 데이터 라인(19)은 광 게이트 신호들을 각각 출력한다.
이어, 상기 제2 게이트 라인(G_2)에 상기 제2 광 게이트 신호(GS_2)를 입력하면, 상기 다수의 데이터 라인(19)은 또 다시 상기 광 게이트 신호들을 각각 출력한다.
이때, 상기 제1 광 게이트 신호(GS_1) 입력 시, 상기 다수의 데이터 라인(19) 모두에서 상기 광 데이터 신호가 출력되고, 상기 제2 광 게이트 신호(GS_2) 입력 시, 상기 K번째 데이터 라인(D_K)에서 상기 광 데이터 신호가 출력되지 않았다.
이에 따라, 상기 다수의 게이트 라인(18) 중에서 제2 게이트 라인(G_2)에 위치하고, 상기 다수의 데이터 라인(19) 중에서 K번째 데이터 라인(D_K)에 위치하는 광 센싱 TFT(12, 13)에 이상이 발생했음을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 광 센서부(LSP) 검사 방법은, 다수의 게이트 라인의 순서대로 광 게이트 신호를 입력한 후 다수의 데이터 라인의 광 데이 터 신호 출력 여부를 체크함으로써, 특정 위치의 광 센싱 TFT(12, 13)에 이상이 발생했음을 쉽게 인지할 수 있다. 이에 따라, 광 센서 검사장치(200)는 오동작이 발생한 광 센싱 TFT(12, 13)의 위치 및 오동작이 발생한 광 센싱 TFT(12, 13)의 개수를 정확하게 파악할 수 있으므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 광 센서 검사장치는 액정표시패널의 표시면에 균일한 광을 조사한 후, 다수의 게이트 라인의 순서대로 광 게이트 신호를 입력한다. 이어, 광 센서 검사장치는 다수의 데이터 라인의 광 데이터 신호 출력 여부를 체크함으로써, 이상이 발생한 광 센싱 TFT의 위치를 쉽게 인지할 수 있다.
이에 따라, 광 센서 검사장치는 오동작이 발생한 광 센싱 TFT의 위치 및 오동작이 발생한 광 센싱 TFT의 개수를 정확하게 파악할 수 있으므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (3)

  1. 제1 방향으로 배치된 다수의 게이트 라인, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 배치된 다수의 데이터 라인, 및 상기 다수의 게이트 라인 및 상기 다수의 데이터 라인과 연결되고 외부로부터 입사되는 광의 입사 지점에 대응하는 위치 정보를 생성하기 위한 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터를 갖는 액정표시패널을 검사하기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 장치에 있어서,
    상기 다수의 게이트 라인과 연결되어 각각의 게이트 라인별로 광 게이트 신호를 입력하는 신호 입력부; 및
    상기 다수의 데이터 라인과 연결되고, 상기 광 게이트 신호에 대응하여 상기 다수의 광 센싱 박막 트랜지스로부터 상기 다수의 데이터 라인으로 인가되는 광 데이터 신호를 각각의 데이터 라인별로 수신하는 신호 검사부를 포함하는 액정표시패널용 광 센서 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 신호 입력부는 상기 광 게이트 신호를 상기 다수의 게이트 라인의 배열순서에 따라 순차적으로 인가하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널용 광 센서 검사장치.
  3. 제1 방향으로 배치된 다수의 게이트 라인, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방 향으로 배치된 다수의 데이터 라인, 및 상기 다수의 게이트 라인 및 상기 다수의 데이터 라인과 연결되고 외부로부터 입사되는 광의 입사 지점에 대응하는 위치 정보를 생성하기 위한 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터를 갖는 액정표시패널을 검사하기 위한 액정표시패널용 광 센서 검사 방법에 있어서,
    상기 액정표시패널의 표시면으로 균일한 광을 조사하여 상기 다수의 광 센싱 박막 트랜지스터를 턴-온시키는 단계;
    광 게이트 신호를 상기 다수의 게이트 라인에 순차적으로 인가하는 단계;
    상기 광 게이트 신호에 대응하는 광 데이터 신호를 상기 다수의 데이터 라인으로부터 수신하는 단계;
    상기 각각의 데이터 라인으로부터 상기 광 데이터 신호가 출력되는지 여부를 검사하는 단계; 및
    상기 광 데이터 신호가 미출력된 데이터 라인의 위치 및 현재 광 게이트 신호가 입력된 게이트 라인의 위치를 이용하여 오동작이 발생된 광 센싱 박막 트랜지스터의 위치를 파악하는 단계를 포함하는 액정표시패널용 광 센서 검사방법.
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