KR100953953B1 - Roll mold for imprint apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 임프린트 장치용 롤 금형은 회전 중심선이 위치하는 회전 중심체와, 회전 중심체의 둘레에 배치되어 회전 중심체와 동심원을 이루는 원통체를 형성하는 복수의 원호판과, 회전 중심체와 복수의 원호판 사이의 간격을 조절하기 위해 회전 중심체와 복수의 원호판 사이에 설치된 간격조절수단과, 미세 패턴을 갖고 원통체의 표면에 결합된 스탬프 판을 포함한다. 본 발명에 의한 임프린트 장치용 롤 금형은 내구성이 우수하고, 패턴의 전사도가 우수하다.The roll mold for an imprint apparatus according to the present invention includes a plurality of arc plates formed with a rotation center body in which a rotation center line is positioned, a circular body arranged around the rotation center body to form a concentric circle with the rotation center body, and a rotation center body and a plurality of arc plates. Spacing means for adjusting the spacing between the rotating center and the plurality of circular arc plate and a stamp plate having a fine pattern coupled to the surface of the cylindrical body. The roll mold for imprint apparatuses which concerns on this invention is excellent in durability, and is excellent in the transfer degree of a pattern.
Description
본 발명은 롤 금형에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세 패턴을 연속적으로 성형하기 위한 임프린트 장치용 롤 금형에 관한 것이다.The present invention relates to a roll mold, and more particularly, to a roll mold for an imprint apparatus for continuously forming a fine pattern.
최근 전자기기의 발달과 더불어 미세 가공 기술도 급속도로 발달하고 있다. 이러한 미세 가공 기술은 반도체회로뿐만 아니라 초소형 센서, 액츄에이터, 광학 기기 등 다양한 분야에 응용되고 있다. 미세 패턴을 형성하기 위한 기술로 현재까지 실리콘 기판에 배치 프로세스를 이용한 증착 또는 식각이 주로 이용되어 왔다. 그런데 이러한 방법은 제작 공정이 복잡하여 시설비가 많이 소요된다. 또한 깨지기 쉬운 재료가 이용되어 제작 공정에 있어 큰 주의가 요구되고, 재료비가 비교적 고가이고, 넓은 면적에 미세 패턴을 형성하기 어려운 단점이 있다.Recently, along with the development of electronic devices, fine processing technology is also rapidly developing. Such microfabrication technology is applied to various fields such as micro sensors, actuators, optical devices, as well as semiconductor circuits. As a technique for forming a fine pattern, deposition or etching using a batch process on a silicon substrate has been mainly used until now. However, this method requires a lot of facility costs due to the complicated manufacturing process. In addition, since fragile materials are used, great care is required in the manufacturing process, the material cost is relatively expensive, and it is difficult to form a fine pattern in a large area.
이러한 문제를 해결하기 위해 최근에는 고분자 성형 공정을 이용한 미세 패턴 제작에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있으며, 특히 미세 패턴을 넓은 면적에 연속적으로 성형할 수 있는 롤 금형을 이용한 임프린트(Imprint) 기술이 크게 각광받고 있다. 임프린트 방식은 기판 위의 성형 필름에 패턴이 형성된 스탬프(Stamp)를 놓고 압력을 가하여 회로 패턴을 찍는 것으로, 복잡한 노광 부품이 필요 없고 집적도를 획기적으로 향상할 수 있는 장점이 있다. 이러한 임프린트 방식은 가열식과 자외선식으로 구분된다. 가열식은 열 변형이 가능한 고분자 수지 표면을 고온에서 눌러 성형하는 방식이고, 자외선식은 광경화성 수지에 자외선을 조사하면서 패턴을 형성하는 방식이다.In order to solve this problem, researches on the production of fine patterns using a polymer molding process have been actively conducted. In particular, imprint technology using a roll mold capable of continuously forming a fine pattern in a large area is greatly increased. Be in the spotlight. The imprint method is to place a stamp on which a pattern is formed on a formed film on a substrate and to apply a pressure to print a circuit pattern, which does not require a complicated exposure component and has an advantage of significantly improving the degree of integration. This imprint method is divided into heating type and ultraviolet type. The heating method is a method of pressing the surface of the polymer resin capable of thermal deformation at a high temperature to be molded, and the ultraviolet method is a method of forming a pattern while irradiating ultraviolet light to the photocurable resin.
임프린트 방식의 일예로 미국 공개특허 제2006-0188598호(2006. 8. 24. 공개)에는 롤 금형을 이용하여 자외선 경화수지에 연속적으로 미세 패턴을 형성하는 장치가 개시되어 있다. 상기 공보에 개시된 롤 금형은 자외선이 투과할 수 있는 투명한 롤러의 둘레에 투명한 임프린트 스탬프를 갖는 탄성중합체가 결합된 것이다. 롤 금형은 기판에 도포된 광중합체 물질(Photopolymer Material)과 접하여 회전하며, 롤 금형의 임프린트 스탬프가 광중합체 물질과 접할 때 임프린트 스탬프의 패턴이 광중합체 물질로 전사된다. 임프린트 스탬프의 패턴이 전사되는 부분에는 자외선이 조사되어 패턴이 전사된 광중합체 물질을 경화시킨다.As an example of an imprint method, US Patent Application Publication No. 2006-0188598 (August 24, 2006) discloses an apparatus for continuously forming a fine pattern on an ultraviolet curable resin using a roll mold. The roll mold disclosed in this publication combines an elastomer having a transparent imprint stamp around a transparent roller through which ultraviolet rays can pass. The roll mold rotates in contact with the photopolymer material applied to the substrate, and the pattern of the imprint stamp is transferred to the photopolymer material when the imprint stamp of the roll mold contacts the photopolymer material. The portion to which the pattern of the imprint stamp is transferred is irradiated with ultraviolet rays to cure the photopolymer material to which the pattern is transferred.
그런데, 종래 롤 금형은 임프린트 스탬프가 강도가 낮은 탄성중합체로 이루어지기 때문에, 내구성이 떨어지고 패턴 전사가 가능한 물질에 한계가 있다. 또한 패턴을 전사하기 위해 롤 금형에 압력을 가할 때, 패턴이 퍼져 롤 금형의 패턴과 전사된 패턴의 치수 차가 생기는 단점이 있다. 또한 종래 롤 금형은 제조하기 어려운 문제점이 있다.By the way, the conventional roll mold is limited in the material which is inferior in durability and pattern transfer is possible because the imprint stamp is made of a low-strength elastomer. In addition, when the pressure is applied to the roll mold to transfer the pattern, there is a disadvantage in that the pattern spreads and the dimension difference between the pattern of the roll mold and the transferred pattern occurs. In addition, the conventional roll mold has a problem that is difficult to manufacture.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 내구성이 우수하고 패턴의 전사도가 우수하며, 미세 패턴을 연속적으로 성형하는데 매우 효과적인 임프린트 장치용 롤 금형을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a roll mold for an imprint apparatus which is excellent in durability, excellent in transferability of a pattern, and highly effective in continuously forming fine patterns.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 임프린트 장치용 롤 금형은 회전 중심선이 위치하는 회전 중심체와, 회전 중심체의 둘레에 배치되어 회전 중심체와 동심원을 이루는 원통체를 형성하는 복수의 원호판과, 회전 중심체와 복수의 원호판 사이의 간격을 조절하기 위해 회전 중심체와 복수의 원호판 사이에 설치된 간격조절수단과, 미세 패턴을 갖고 원통체의 표면에 결합된 스탬프 판을 포함하는 것을 특징으로 한다.Roll mold for an imprint apparatus according to the present invention for achieving the above object is a rotational center body in which the rotation center line is located, a plurality of arc plates disposed around the rotation center body to form a cylindrical body concentric with the rotation center body, and rotation It characterized in that it comprises a stamping plate coupled to the surface of the cylindrical body having a fine pattern and the gap adjusting means provided between the rotating center body and the plurality of circular arc plate to adjust the distance between the central body and the plurality of arc plate.
본 발명에 의한 임프린트 장치용 롤 금형은 내구성이 우수하고, 패턴의 전사도가 우수하며, 미세 패턴을 연속적으로 성형하는데 매우 효과적이다. 또한 제조하기 용이한 효과가 있다.The roll mold for imprint apparatus according to the present invention is excellent in durability, excellent in transferability of patterns, and is very effective in continuously forming fine patterns. In addition, there is an effect that is easy to manufacture.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 임프린트 장치용 롤 금형에 대하여 설명한다.Hereinafter, a roll mold for an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형(100)은 회전 중심선(C)이 위치하는 회전 중심체(110)와, 회전 중심체(110)의 외주면에 결합된 탄성층(114)과, 탄성층(114)의 외주면에 결합된 복수의 원호판(120)과, 복수의 원호판(120)의 외부면에 결합된 복수의 스탬프 판(130)을 포함한다.As shown in Figure 1 and 2, the
도 2 및 도 3에 도시된 것과 같이, 회전 중심체(110)는 중앙의 회전 중심축(111)과, 회전 중심축(111)과 동심원을 이루도록 회전 중심축(111)의 외측에 위치하는 드럼(112)을 포함한다. 회전 중심축(111)은 속이 빈 중공축 형태로 이루어지고, 회전 중심축(111)과 드럼(112)은 일정한 간격으로 배치된 복수의 연결 리브(113)에 의해 일체로 결합되어 있다. 회전 중심체(110)는 금속이나 플라스틱, 또는 그 이외에 강성이 있는 다양한 재질로 이루어진다. 드럼(112)의 외주면에는 탄성층(114)이 결합되어 있다. 탄성층(114)은 회전 중심체(110)와 회전 중심체(110)의 외측에 위치하는 복수의 원호판(120) 사이의 간격을 조절하기 위한 간격조절수단이다. 탄성층(114)은 고무, 실리콘, 또는 그 이외의 탄성을 갖는 다양한 재질로 이루어진다.As shown in FIGS. 2 and 3, the
탄성층(114)의 외주면에는 회전 중심체(110)와 동심원을 이루는 원통체(127)를 형성하는 네 개의 원호판(120)이 결합된다. 도 2 및 도 4에 도시된 것과 같이, 복수의 원호판(120)은 모두 동일한 크기이고, 직사각형 판이 원통형의 탄성층(114) 외주면에 밀착될 수 있도록 굽은 형태로 이루어진다. 이들 원호판(120)은 길이 방향으로 서로 평행한 제 1 모서리(121) 및 제 2 모서리(122)와, 폭 방향으로 서로 평행한 제 3 모서리(123) 및 제 4 모서리(124)를 갖는다. 원호판(120)의 외부면 중간에는 원호판(120)을 제 3 모서리(123)에서 제 4 모서리(124) 방향으로 가로지르는 고정 리브(125)가 돌출 구비된다.Four
고정 리브(125)는 단면이 직사각형 형상으로 이루어지고, 스탬프 판(130)이 각각 접합되는 제 1 결합면(125a) 및 제 2 결합면(125b)을 갖는다. 제 1 결합 면(125a) 및 제 2 결합면(125b)은 원호판(120)의 외부면과 수직을 이룬다. 고정 리브(125)의 돌출 높이는 스탬프 판(130)의 두께 이하이고, 바람직하게는 스탬프 판(130)과의 높이차가 생기지 않도록 스탬프 판(130)의 두께와 같은 것이 좋다. 원호판(120)의 제 3 모서리(123)와 제 4 모서리(124) 각각에는 한 쌍의 돌기(126)가 회전 중심축(111)과 평행한 방향으로 돌출 구비된다. 이들 네 개의 돌기(126) 중 두 개는 제 3 모서리(123)의 양쪽 단부에 각각 하나씩 위치하고, 나머지 두 개는 제 4 모서리(124)의 양쪽 단부에 각각 하나씩 위치한다. 이들 돌기(126)는 롤 금형(100)을 제조하는 과정에서 원호판(120)을 탄성층(114)에 임시로 결합할 때 이용하는 것으로, 그 기능에 대해서는 롤 금형(100)을 제조하는 과정을 설명할 때 설명하기로 한다. 원호판(120)은 금속 재질로 이루어진다.The fixed
도 2 및 도 5에 도시된 것과 같이, 복수의 스탬프 판(130)에는 미세 패턴(130a)이 형성되어 있다. 도면에는 미세 패턴(130a)이 단순한 원형 홈으로 표시되어 있으나, 미세 패턴(130a)은 회로 패턴 등 다양한 모양의 요철 형태로 형성될 수 있다. 복수의 스탬프 판(130)은 네 개의 고정 리브(125)에 의해 구획되는 원통체(127) 외주면의 일부분에 대응하는 크기와 모양으로 이루어진다. 네 개의 고정 리브(125)가 원통체(127)의 외주면에 동일한 간격으로 회전 중심축(111)과 평행하게 배치되기 때문에, 복수의 스탬프 판(130)은 직사각형 판이 원통체(127)의 외주면에 밀착될 수 있도록 굽은 형태로 이루어지거나, 쉽게 굽혀질 수 있도록 두께가 얇은(예컨대, 0.5mm) 평판 형태로 이루어진다. 복수의 스탬프 판(130)은 길이 방향으로 팽행한 제 1 모서리(131) 및 제 2 모서리(132)와, 폭 방향으로 평행한 제 3 모서리(133) 및 제 4 모서리(134)를 갖는다.As shown in FIG. 2 and FIG. 5, the plurality of
제 1 모서리(131)에는 이와 인접하는 고정 리브(125)의 제 1 결합면(125a)에 접착되는 제 1 모서리면(131a)이 형성되고, 제 2 모서리(132)에는 이와 인접하는 다른 고정 리브(125)의 제 2 결합면(125b)에 접착되는 제 2 모서리면(132a)이 형성된다. 제 1 모서리면(131a) 및 제 2 모서리면(132a)은 고정 리브(125)의 제 1 결합면(125a) 및 제 2 결합면(125b) 각각에 대응하도록 스탬프 판(130)의 외부면과 내부면 사이에 수직으로 형성된다. 복수의 스탬프 판(130)은 원통체(127)의 외주면에 접착제로 접착될 수도 있으나, 견고한 접합을 위해 레이저 용접이나 초음파 용접과 같은 미세 용접법으로 고정 리브(125)에 용접된다. 스탬프 판(130)은 이에 형성된 미세 패턴(130a)이 쉽게 변형되지 못하도록 금속 재질로 이루어진다.The
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 제조 과정에 대하여 설명한다.Hereinafter, a manufacturing process of a roll mold according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
먼저, 회전 중심체(110)의 외주면에 탄성층(114)을 일정한 두께가 되도록 결합하고, 복수의 원호판(120)을 탄성층(114)의 외주면에 일정한 간격으로 배치한다. 이때 서로 인접하는 두 원호판(120) 사이에는 틈새(128)가 있어야 한다. 그리고 도 6a에 도시된 것과 같이, 서로 인접하는 두 원호판(120)을 조임장치(140)를 이용하여 탄성층(114)에 가결합한다.First, the
조임장치(140)는 돌기(126)의 외주면에 대응하는 홈(141a)(142a)을 갖는 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)와, 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)를 연결하는 연결부재(143)와, 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)에 동시에 나사 결합된 조절나 사(144)를 포함한다. 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)는 연결부재(143)에 힌지 결합되어 있다. 도면에는 조임장치(140)가 하나만 도시되어 있으나, 조임장치(140)는 서로 인접하는 두 원호판(120) 각각의 돌기(126)에 결합되어야 하므로 원호판(120)의 개수와 같이 네 개가 필요하다.The tightening device 140 includes a first jig 141 and a second jig 142 having grooves 141a and 142a corresponding to the outer circumferential surface of the
원호판(120)을 탄성층(114)에 가결합하기 위해서는, 먼저 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)의 각 홈(141a)(142a)에 두 원호판(120) 각각의 돌기(126)가 위치하도록 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)를 돌기(126) 각각에 밀착한다. 그리고, 조절나사(144)의 조작부(145)를 이용하여 조절나사(144)를 돌려 제 1 지그(141) 및 제 2 지그(142)를 서로 근접시킨다. 이때, 인접하는 두 원호판(120)의 틈새(128)는 작아지고, 원호판(120)은 탄성층(114)을 압축하면서 회전 중심체(110)에 가까워진다. 네 개의 조임장치(140)를 이용하여 네 개의 원호판(120)과 회전 중심체(110) 사이의 간격을 줄일 수 있다. 이때 네 개의 원호판(120)이 형성하는 원통체(127)의 직경이 줄어든다.In order to temporarily couple the
네 개의 조임장치(140)를 이용하여 네 개의 원호판(120)을 모두 탄성층(114)에 가결합한 후, 미세 패턴(130a)을 갖는 복수의 스탬프 판(130)을 원통체(127)의 외주면에 결합한다. 도 6b에 도시된 것과 같이, 스탬프 판(130) 하나를 인접하는 두 원호판(120)의 두 고정 리브(125) 사이에 위치시키고, 스탬프 판(130)의 제 1 모서리면(131a)을 고정 리브(125)의 제 1 결합면(125a)에 면접촉시킨다. 그리고 레이저 용접 또는 초음파 용접 등의 미세 용접법을 이용하여 스탬프 판(130)의 제 1 모서리(131)를 고정 리브(125)에 용접한다. 이때 제 1 모서리(131)와 제 1 결합 면(125a) 사이의 접합면(135)은 원호판(120)의 외부면과 수직을 이룬다.After all four
같은 방법으로 스탬프 판(130)의 제 2 모서리(132)를 인접하는 원호판(120)의 고정 리브(125)에 용접함으로써 하나의 스탬프 판(130)을 원통체(127)의 외주면에 결합한다. 또한 도 6c에 도시된 것과 같이, 다른 스탬프 판(130)의 제 2 모서리(132)를 인접하는 스탬프 판(130)이 용접된 고정 리브(125)의 제 2 결합면(125b)에 용접하여 네 개의 스탬프 판(130)을 모두 원통체(127)의 외주면에 결합한다. 이때 인접하는 두 원호판(120) 사이의 틈새(128)는 스탬프 판(130)이 덮음으로써 외부로 드러나지 않는다.In the same way, the
7a 및 도 7b은 스탬프 판(130)과 고정 리브(125) 사이의 접합면(136)(137)을 원호판(120)의 외부면과 경사지게 한 실시예를 나타낸 것이다. 도 7a에 도시된 고정 리브(125)는 그 단면이 삼각형 모양으로 된 것으로, 제 1 결합면(125c) 및 제 2 결합면(125d)이 원호판(120)의 외부면과 경사져 있다. 이 고정 리브(125)에 접착되는 스탬프 판(130)의 제 1 모서리면(131b) 및 제 2 모서리면(132b) 역시 제 1 결합면(125c) 및 제 2 결합면(125d)에 대응하도록 경사져 있다.7A and 7B show an embodiment in which the
도 7b에 도시된 고정 리브(125)는 그 단면이 사다리꼴 모양으로 된 것이다. 고정 리브(125)의 제 1 결합면(125e) 및 제 2 결합면(125f), 그리고 이 고정 리브(125)에 접착되는 스탬프 판(130)의 제 1 모서리면(131c) 및 제 2 모서리면(132c) 역시 원호판(120)의 외부면과 경사져 있다. 고정 리브(125)와 스탬프 판(130) 사이의 접합면(136)(137)을 경사지게 하여 접합 면적을 넓힘으로써, 고정 리브(125)와 스탬프 판(130)의 접합력을 높일 수 있다. 특히, 초음파 용접의 경우 초음파가 횡방향으로 작용하므로, 접합면(136)(137)을 경사지게 하는 것이 견고한 용접을 위해 유리하다.The fixed
복수의 스탬프 판(130)이 복수의 고정 리브(125)에 접착될 때 복수의 스탬프 판(130)의 내부면은 원통체(127)의 외주면에 고른 압력으로 밀착되지 않을 수 있다. 도 8에 도시된 것과 같이, 복수의 스탬프 판(130)을 원통체(127)에 결합한 후, 복수의 조임장치(140)를 복수의 원호판(120)에서 제거하면 탄성층(114)이 탄성 복원된다. 이때, 복수의 원호판(120)은 탄성층(114)의 탄성력에 의해 외부 방향으로 밀려나며, 복수의 원호판(120)과 회전 중심체(110) 사이의 간격이 벌어지면서 원통체(127)의 직경이 확장된다. 원통체(127)의 직경이 확장되면 복수의 스탬프 판(130)이 원통체(127)의 외주면에 견고하게 밀착된다.When the plurality of
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 측면도이다. 도 9에 도시된 롤 금형(100)은 복수의 원호판(120)(120')과 하나의 스탬프 판(130')을 포함한다. 복수의 원호판(120)(120') 중에서 스탬프 판(130')의 제 1 모서리(131') 및 제 2 모서리(132')가 위치하는 원호판(120)에만 고정 리브(125)가 구비되고, 나머지 원호판(120')에는 고정 리브(125)가 구비되지 않는다. 하나의 스탬프 판(130')을 사용할 경우 스탬프 판(130')의 접합 공정을 줄일 수 있어 제조 시간을 단축할 수 있다. 또한 스탬프 판(130')의 개수를 줄이면 고정 리브(125)의 개수를 줄일 수 있는 장점이 있다. 고정 리브(125)는 미세 패턴(130a)을 성형 필름에 전사할 때 성형 필름에 직접 접하는 부분이므로, 개수가 적은 것이 성형 필름에 불필요한 자국이 생기지 않게 하는데 유리하다.9 is a side view showing a roll mold according to another embodiment of the present invention. The
본 발명에 있어서, 원호판(120)과 스탬프 판(130)의 개수는 개시된 실시예 이외에 다양하게 변경될 수 있다. 다만, 스탬프 판(130)의 개수는 원호판(120)의 개수와 같거나 그 보다 적은 것이 제조 면이나 롤 금형(100)의 패턴 전사 면에서 유리하다.In the present invention, the number of the
도 10 및 도 11은 본 발명의 또다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 것이다. 도 10 및 도 11에 도시된 롤 금형(150)은 복수의 원호판(151)과 복수의 스탬프 판(157)의 형상이 도 1에 도시된 롤 금형(100)과 다르고, 그 이외의 구성은 도 1에 도시된 롤 금형(100)과 같다.10 and 11 show a roll mold according to another embodiment of the present invention. The shapes of the plurality of
복수의 원호판(151)은 사다리꼴 판이 탄성층(114)의 외주면에 밀착될 수 있도록 굽은 모양으로 이루어진다. 복수의 원호판(151)의 제 1 모서리(152) 및 제 2 모서리(153)는 서로 평행하지 않으며, 제 3 모서리(154)와 제 4 모서리(155)의 길이는 서로 다르다. 서로 인접하는 두 원호판(151)은 길이가 긴 제 3 모서리(154)와 길이가 짧은 제 4 모서리(155)가 서로 인접하도록 탄성층(114)의 외주면에 배치된다. 제 1 모서리(155)와 제 2 모서리(153)은 회전 중심축(111)과 경사져 있으므로, 인접하는 두 원호판(151) 사이의 틈새(128)도 회전 중심축(111)과 경사져 있다. 그리고 복수의 원호판(151)에 구비된 고정 리브(156)도 회전 중심축(111)과 경사져 있다. 복수의 스탬프 판(157)은 인접하는 두 고정 리브(156) 사이를 덮을 수 있도록 평행사변형 판이 굽은 모양으로 이루어진다.The plurality of
도 10 및 도 11에 도시된 롤 금형(150)은 인접하는 두 원호판(151) 사이의 틈새(128)와 고정 리브(156)가 회전 중심축(111)과 경사져 있으므로, 롤 금형(150) 이 성형 필름에 미세 패턴(130a)을 전사할 때 성형 필름에 틈새(128) 및 고정 리브(156)에 의한 자국이 생기는 문제를 줄일 수 있다. 또한 롤 금형의 크기가 같은 조건에서 고정 리브(156)가 회전 중심축(111)과 경사져 있으면, 스탬프 판(157)과 고정 리브(156) 사이의 접합면 크기를 크게 할 수 있고, 이로 인해 스탬프 판(157)과 복수의 원호판(151) 사이의 접합력을 증가시키는 효과를 얻을 수 있다.10 and 11, since the
도 12 내지 도 15b는 본 발명의 또다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 것이다. 도 12에 도시된 롤 금형(160)은 회전 중심선(C)이 위치하는 회전 중심체(161)와, 복수의 원호판(120)과, 복수의 스탬프 판(130)과, 복수의 간격조절장치(170)를 포함한다. 도 8, 도 9, 도 10에 도시된 롤 금형(160)은 복수의 원호판(120)과 회전 중심체(161) 사이의 간격을 조절하기 위한 간격조절수단으로 회전 중심체(161)의 외주면에 결합된 탄성층(114)이 사용된 것이나, 도 12에 도시된 롤 금형(160)은 간격조절수단으로 회전 중심체(161)와 복수의 원호판(120) 사이에 설치된 복수의 간격조절장치(170)를 사용한 것이다.12 to 15b show a roll mold according to another embodiment of the present invention. The
도 12 및 도 13에 도시된 것과 같이, 복수의 간격조절장치(170)는 원호판(120)과 결합되는 고정판(171)과, 고정판(171)과 회전 중심체(161)를 연결하는 제 1 관절장치(172) 및 제 2 관절장치(176)와, 제 1 관절장치(172) 및 제 2 관절장치(176)에 나사 결합된 나사축(180)을 포함한다. 제 1 관절장치(172) 및 제 2 관절장치(176)와의 결합을 위해 회전 중심체(161)의 외주면에는 제 1 고정부재(162) 및 제 2 고정부재(163)가 결합되어 있고, 고정판(171)의 내부면에는 제 3 고정부재(164) 및 제 4 고정부재(165)가 결합되어 있다. 고정판(171)은 원호판(120)의 크 기와 같은 크기로 이루어지고, 제 1 관절장치(172) 및 제 2 관절장치(176)에 의해 회전 중심체(161)로부터의 간격이 조절될 수 있다.12 and 13, the plurality of
도 13 및 도 14에 도시된 것과 같이, 제 1 관절장치(172)는 제 1 고정부재(162)에 힌지 결합된 제 1 암(173)과, 일단이 제 3 고정부재(164)에 힌지 결합되고 타단이 제 1 암(173)과 힌지 결합된 제 2 암(174)과, 제 1 암(173)과 제 2 암(174)의 연결 부분에 결합된 제 1 너트 부재(175)를 포함한다. 제 2 관절장치(176)는 제 2 고정부재(163)에 힌지 결합된 제 3 암(177)과, 일단이 제 4 고정부재(165)에 힌지 결합되고 타단이 제 3 암(177)에 힌지 결합된 제 4 암(178)과, 제 3 암(177)과 제 4 암(178)의 연결 부분에 결합된 제 2 너트 부재(179)를 포함한다. 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)는 나사구멍을 가지고 있으며, 나사축(180)이 이들 나사구멍을 통해 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179) 각각에 나사 결합된다. 나사축(180)의 끝단에는 사용자 조작을 위한 조작부(181)가 구비된다.As shown in FIGS. 13 and 14, the
사용자가 조작부(181)를 이용하여 나사축(180)을 일방향으로 회전시키면 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)가 나사축(180)을 따라 서로 가까워지고, 나사축(180)을 반대방향으로 회전시키면 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)가 서로 멀어진다. 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)가 서로 가까워지면 제 1 암(173) 및 제 2 암(174)이 서로 벌어짐과 동시에 제 3 암(177) 및 제 4 암(178)이 서로 벌어짐으로써, 고정판(171)과 회전 중심체(161) 사이의 간격이 커진다. 반대로, 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)가 서로 멀어지면 제 1 암(173) 및 제 2 암(174)이 서로 접힘과 동시에 제 3 암(177) 및 제 4 암(178)이 서로 접힘으로써, 고정판(171)과 회전 중심체(161) 사이의 간격이 줄어든다.When the user rotates the
본 발명에 있어서, 간격조절장치(170)의 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 간격조절장치(170)의 다른 예로 턴버클 타입의 볼트-너트 구조, 랙-피니언 구조를 예로 들 수 있다. 이 이외에도 간격조절장치(170)는 회전 중심체(161)에 결합되는 제 1 연결수단과, 고정판(171)에 결합되고 제 1 연결수단에 움직임 가능하게 결합되는 제 2 연결수단과, 제 2 연결수단을 제 1 연결수단으로부터 이동시키는 작동수단을 포함하는 다른 구조로 변경될 수 있다. 도 13에 도시된 롤 금형(160)에 있어서, 제 1 연결수단은 제 1 암(173) 및 제 3 암(177)이고, 제 2 연결수단은 제 2 암(174) 및 제 4 암(178)이며, 작동수단은 나사축(180)이다. 여기에서 제 1 너트 부재(175) 및 제 2 너트 부재(179)는 생략될 수 있다. 이 경우 제 1 암(173) 또는 제 2 암(174)과, 제 3 암(177) 또는 제 4 암(178)에는 나사축(180)이 나사 결합될 수 있는 나사구멍이 형성된다.In the present invention, the structure of the
도 14에 도시된 것과 같이, 복수의 원호판(120)은 나사(182)를 통해 복수의 고정판(171) 각각에 결합된다. 복수의 원호판(120)이 복수의 고정판(171)에 나사(182)를 통해 결합됨으로써, 부품 교체가 용이하다.As shown in FIG. 14, the plurality of
도 15a에 도시된 것과 같이, 복수의 스탬프 판(130)은 레이저 용접 또는 초음파 용접 등의 미세 용접법을 통해 복수의 고정 리브(125)에 고정된다. 이때 복수의 스탬프 판(130) 각각의 내부면과 복수의 원호판(120)이 형성하는 원통체(127)의 외주면 사이가 들뜰 수 있으며, 이러한 들뜸은 원통체(127)의 직경을 확장함으로써 해결할 수 있다. 도 15b에 도시된 것과 같이, 복수의 간격조절장치(170)의 나사축(180)을 조작하여 회전 중심체(161)와 복수의 고정판(171) 사이의 간격을 넓히면 원통체(127)의 직경이 확장되어 복수의 스탬프 판(130)의 내부면이 원통체(127)의 외주면에 밀착된다.As shown in FIG. 15A, the plurality of
이상에서 설명한 본 발명에 의한 롤 금형(160)은 내구성이 우수하고, 패턴의 전사도가 우수하다. 또한, 미세 패턴을 연속적으로 성형하는데 매우 효과적이다.Roll die 160 according to the present invention described above is excellent in durability and excellent in the degree of transfer of the pattern. It is also very effective for continuously forming fine patterns.
이상에서 설명한 본 발명은 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명은 기재된 특허청구범위의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능하다.The present invention described above is not limited to the configuration and operation as shown and described. That is, the present invention is capable of various changes and modifications within the spirit and scope of the appended claims.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 분해 사시도이다.Figure 2 is an exploded perspective view showing a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 회전 중심체 및 탄성층을 나타낸 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing a rotating center of the roll die and the elastic layer according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 원호판을 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing an arc plate of a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 스탬프 판을 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view showing a stamp plate of a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 6a는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 탄성층에 원호판을 가조립하는 방법을 나타낸 정면도이다.Figure 6a is a front view showing a method for temporarily assembling the arc plate in the elastic layer of the roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 6b 및 도 6c는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 원호판에 스탬프 판을 접합하는 과정을 나타낸 정면도이다.6B and 6C are front views illustrating a process of bonding a stamp plate to an arc plate of a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형의 고정 리브의 다양한 변형예를 나타낸 것이다.7A and 7B illustrate various modifications of the fixing ribs of the roll mold according to the embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 일실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 정면도이다.8 is a front view showing a roll mold according to an embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 정면도이다.9 is a front view showing a roll mold according to another embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 또다른 일실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 사시도이다.10 is a perspective view showing a roll mold according to another embodiment of the present invention.
도 11은 본 발명의 또다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 분해 사시도이다.11 is an exploded perspective view showing a roll mold according to another embodiment of the present invention.
도 12는 본 발명의 또다른 실시예에 의한 롤 금형을 나타낸 분해 사시도이 다.12 is an exploded perspective view showing a roll mold according to another embodiment of the present invention.
도 13은 도 12에 도시된 롤 금형의 간격조절장치의 구성을 설명하기 위한 측단면도이다.13 is a side cross-sectional view for explaining the configuration of the gap adjusting device of the roll mold shown in FIG.
도 14는 도 12에 도시된 롤 금형의 고정판과 원호판의 결합 방법을 설명하기 위한 정단면도이다.FIG. 14 is a front sectional view for explaining a method of joining the fixed plate and the arc plate of the roll die shown in FIG. 12.
도 15a는 도 12에 도시된 롤 금형에 있어서 복수의 스탬프 판을 복수의 고정 리브에 접합한 상태를 나타낸 정면도이다.FIG. 15A is a front view illustrating a state in which a plurality of stamp plates are joined to a plurality of fixed ribs in the roll die illustrated in FIG. 12.
도 15b는 도 12에 도시된 롤 금형에 있어서 복수의 간격조절장치를 이용하여 복수의 스탬프 판을 원통체의 외주면에 밀착시킨 상태를 나타낸 정면도이다.FIG. 15B is a front view showing a state in which a plurality of stamp plates are brought into close contact with the outer circumferential surface of the cylindrical body by using the plurality of gap adjusting devices in the roll mold shown in FIG. 12.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing
100, 150, 160 : 롤 금형 110, 161 : 회전 중심체100, 150, 160: roll
112 : 드럼 114 : 탄성층112: drum 114: elastic layer
120, 120', 151 : 원호판 125, 156 : 고정 리브120, 120 ', 151:
126 : 돌기 127 : 원통체126: projection 127: cylindrical body
128 : 틈새 130, 157 : 스탬프 판128:
140 : 조임장치 170 : 간결조절장치140: tightening device 170: short control device
171 : 고정판 172, 176 : 제 1, 2 관절장치171: fixing
180 : 나사축180: screw shaft
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