KR100947289B1 - 효율적인 냉각을 위한 급속 냉각방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피가공물을 냉각액에 담가서 빠르게 냉각하는 급속 냉각방법에 관한 것으로, 피가공물(P)이 관통되게 끼워지는 제1구멍(31)들과, 냉각액(CW)의 흐름을 유도하는 제2구멍(32)들로 이루어진 메쉬형태의 유속조절부재(30)를, 메쉬형 지그(20)와 베이스(10) 사이 및/또는 메쉬형 지그(20)와 메쉬형 지그(20) 사이에 배치해서, 유속조절부재(30)의 제1구멍(31)에 피가공물(P)이 끼워지도록 하여, 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해서 안정적으로 균일화되도록 하므로, 피가공물(P)의 냉각이 고르게 이루어지면서, 증기막 생성이 억제되어, 냉각속도 차이로 인한 열변형이 최소화되고, 증기막으로 인한 냉각속도의 저하가 효과적으로 방지되는 잇점이 있다.

Description

효율적인 냉각을 위한 급속 냉각방법{Quick cooling method for the efficient cooling}
본 발명은 피가공물을 냉각액에 담가서 빠르게 냉각하는 급속 냉각방법에 관한 것으로, 냉각속도 차이로 인한 열변형이 최소화되고, 증기막 생성이 억제되도록 하는 급속 냉각방법에 관한 것이다.
금속재질의 피가공물 열처리는 통상 도 1에 도시된 바와 같은 열처리장치를 이용하고 있는데, 이를 참조로 하여 열처리과정을 설명해 보면 다음과 같다.
우선, 베이스(10)에 피가공물(P)을 설치한 후, 공급장치(100)를 매개로 피가공물(P)이 적재 고정된 베이스(10)를 가열장치(200)로 공급한다.
상기 공급장치(100)에 의해 가열챔버(210) 내로 공급되어진 피가공물(P)은 베이스(10)에 얹혀진 상태로 이송기구(220)에 의해 이송되면서 히터(230)와 팬기구(240)에 의해 고르게 고온으로 가열된다.
상기 가열장치(200)의 가열챔버(210) 외부로 배출되어진 피가공물(P)은 냉각장치(300)의 냉각챔버(310) 내부의 이송기구(320)에 얹혀져 정위치되고, 이송기 구(320)에 피가공물(P)이 정위치되면 승강기구(330)에 의해 이송기구(320)가 하강하게 되어 이에 얹혀져 정위치된 고온의 피가공물(P)과 베이스(10)가 냉각챔버(310)의 냉각액(CW)에 투입되어 잠긴다. 상기 냉각액(CW)는 냉각액 순환기구(340)에 의해 순환되어서 베이스(10)와 피가공물(P)의 하부로부터 상부로 유동되어서 고온의 피가공물(P)과 베이스(10)를 빠르게 생각한다.
상기 피가공물(P)과 베이스(10)를 냉각시킨 냉각액(CW)는 열전도에 의해 차츰 온도가 상승되고, 냉각액(CW)의 온도가 상승되면 냉각효율이 저하되므로, 피가공물(P)을 적절하게 냉각하기 위해서는 열교환기(350)를 이용하여 냉각액(CW)의 온도를 항상 적정 온도 범위내로 유지시키는 것이 바람직하다.
상기 피가공물(P)의 냉각이 완료되면, 승강기구(330)에 의해서 이송기구(320)가 상승되어서 초기 위치로 복귀되어, 냉각액(CW)에 투입되어 잠겨진 피가공물(P)과 베이스(10)가 냉각액(CW)로부터 끄집어 내어진 후, 이송기구(320)에 의해 냉각챔버(310) 외부로 배출된다.
상기 냉각챔버(310) 외부로 배출되어진 피가공물(P)은 이후 배출장치(400)를 매개로 다음 공정으로 배출된다.
여기서, 상기 공급장치(100), 이송기구(220,320), 배출장치(400)로는 공지의 컨베이어장치를 이용하였고, 상기 가열장치(200)와 냉각장치(300)는 이미 널리 공지되어 공연 실시되고 있으므로, 이에 대한 보다 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 피가공물의 열처리에 있어서, 피가공물의 가열은 상대적으로 긴 시간동 안 서서히 고르게 가열되지만, 피가공물의 냉각은 냉각액(CW)에 잠겨진 상태로 빠르게 냉각되므로, 피가공물의 냉각상태에 따라서 피가공물의 물적특성이 큰 영향을 받게 된다.
그러나, 이러한 종래 급속 냉각방법은 냉각액(CW)의 흐름을 안정화하고, 증기막으로 인한 냉각효율 저하를 억제할 수 있는 방안이 강구되지 못하여, 피가공물의 냉각효율이 좋지 못하고, 피가공물의 각 부위별로 냉각속도가 비교적 크게 차이나는 문제가 초래되었다.
이에 대해서 도 2a 내지 도 5를 참조하여 보다 상세히 설명해 보면 다음과 같다.
우선, 본 발명은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 냉각액(CW)가 유통되는 구멍(10a)들이 형성되어진 베이스(10)에, 메쉬형 지그(20)를 매개로, 피가공물(P)들을 설치하는 방식을 그 대상으로 하고 있다. 상기 메쉬형 지그(20)는, 베이스(10)에 고정되는 지지부(21)와, 지지부(21)에 고정되어 피가공물(P)을 지지하는 끼워지는 메쉬(22)로 이루어진다. 여기서, 상기 메쉬(22)로는, 도 3에 도시된 것과 같이 피가공물(P)이 삽입되는 제1구멍(22a)을 형성하는 제1구멍 형성틀(F1)만으로 이루어진 것을 이용할 수도 있고, 도 4에 도시된 것과 같이 제1구멍(22a)을 형성하는 제1구멍 형성틀(F1)과, 이들 제1구멍 형성틀(F1)을 상호 연결하는 연결틀(F2)로 이루어져서, 제1구멍 형성틀(F1)에 의한 제1구멍(22a)과, 제1구멍 형성틀(F1)과 연결틀(F2)에 의한 제2구멍(22b)이 형성되어진 것을 이용할 수도 있다. 본 실시예의 경우, 상기 메쉬(22)의 제1구멍(22a)에 끼워진 피가공물(P)이 베이스(10)에 얹혀져 지지되도록 하였다. 이러한 경우, 상기 메쉬(22)는 피가공물(P)이 전후좌우 사방으로 유동되지 않도록 지지하는 기능을 수행한다. 상기 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 결합물(P,10,20)을 승강기구(330 ; 도 1 참조)를 매개로 냉각챔버(310)의 냉각액(CW)에 투입하면, 도 5a에 도시된 바와 같이, 냉각액 순환기구(340)에 의해 순환되는 냉각액(CW)가 베이스(10)의 구멍(10a)을 통해서 하부로부터 유입된 후에 상부로 유동되어서, 피가공물(P)과 베이스(10) 및 메쉬형 지그(20)가 냉각액(CW)에 의해 빠르게 냉각된다. 이때, 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액의 유속은, 도 5b에 도시된 바와 같이, 냉각액 유동공간(A)에서의 유속이 가장 느리고, 냉각액 유동공간(C)에서의 유속이 가장 빠르며, 냉각액 유동공간(B)에서의 유속은 냉각액 유동공간(A)보다는 빠르고 냉각액 유동공간(C)보다는 느리므로, 유속 차이로 인한 냉각속도의 차이가 발생되어 피가공물(P)이 불균일하게 냉각된다. 더욱이, 상기 냉각액 유동공간(A,B,C)에서는 상호간의 이격거리와, 냉각액의 흐름 방해여부 등에 따라서 와류발생이 불균일하게 발생되고, 이와같이 유속과 와류발생이 불균일하게 되면 냉매 온도도 불균일하게 되어 피가공물(P)의 냉각은 더욱 불균일하게 된다. 이와 같이, 피가공물(P)의 냉각이 불균일하게 이루어지면, 각 부위별 온도차이로 인해서 비틀림 등과 같은 열변형이 발생되어 제품 불량이 초래되고, 제품 품질이 크게 저하되는 문제가 초래된다.
또한, 가열장치(200)에 의해 고온으로 가열된 피가공물(P)과 베이스(10) 및 메쉬형 지그(20)를 냉각액(CW)에 투입하게 되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 이들 결합물(P,10,20)에 접하는 냉각액(CW)가 고온에 의해 빠르게 기화되면서 이들 결합물(P,10,20) 표면에 증기막(c)이 형성된다. 이러한 증기막(c)은 피가공물{P ; 베이스(10) 및 메쉬형 지그(20)도 동일}과 냉각액(CW)간의 직접 접촉을 차단하게 되어, 피가공물(P)의 냉각속도를 떨어뜨리게 되는데, 종래에는 이러한 증기막(c) 형성을 억제할 수 있는 방안이 강구되지 못하여 냉각속도의 저하를 방지할 수 없다.
한편, 도 7a 및 도 7b는, 메쉬(22)의 제1구멍(22a)에 끼워진 피가공물(P)이 메쉬(22)에 걸쳐져 지지되도록 하였는데, 이러한 경우에도 상기 도 5a 내지 도 6에 도시된 바와 같은 문제가 동일하게 발생되므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제를 해소하기 위해 발명된 것으로, 냉각속도 차이로 인한 열변형이 최소화되고, 증기막 생성이 억제되도록 하는 급속 냉각방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다수의 피가공물(P)이 메쉬형 지그를 매개로 냉각액이 유통되는 구멍들이 형성되어진 베이스에 설치되어진 상태에서, 이들 결합물을 냉각챔버의 냉각액에 잠기도록 투입해서, 냉각액 순환기구에 의해 순환되어 베이스의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액에 의해서 이들 결합물이 빠르게 냉각되도록 하는 급속 냉각방법에 있어서, 상기 피가공물이 관통되게 끼워지는 제1구멍들과, 냉각액의 흐름을 유도하는 제2구멍들로 이루어진 메쉬형태의 유속조절부재를, 메쉬형 지그의 메쉬와 베이스 사이 또는 메쉬형 지그의 메쉬와 메쉬형 지그의 메쉬 사이에 배치해서, 유속조절부재의 제1구멍에 피가공물이 끼워지도록 하여, 베이스의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액의 흐름이 유속조절부재에 의해서 안정적으로 균일화되도록 하는 것을 특징으로 하는 급속 냉각방법으로 되어 있다.
이상 상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 피가공물(P)이 관통되게 끼워지는 제1구멍(31)들과, 냉각액(CW)의 흐름을 유도하는 제2구멍(32)들로 이루어진 메쉬형태의 유속조절부재(30)를, 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 베이스(10) 사이 또는 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22) 사이에 배치해서, 유속조절부재(30)의 제1구멍(31)에 피가공물(P)이 끼워지도록 하여, 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해서 안정적으로 균일화되도록 하므로, 피가공물(P)의 냉각이 고르게 이루어지면서, 증기막 생성이 억제되어, 냉각속도 차이로 인한 열변형이 최소화되고, 증기막으로 인한 냉각속도의 저하가 효과적으로 방지되는 잇점이 있다.
이하 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 급속 냉각방법은, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 다수의 피가공물(P)이 메쉬형 지그(20)를 매개로 냉각액(CW)가 유통되는 구멍(10a)들이 형성되어진 베이스(10)에 설치되어진 상태에서, 이들 결합물(P,10,20)을 냉각챔버(310)의 냉각액(CW)에 잠기도록 투입해서, 냉각액 순환기구(340)에 의해 순환되어 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)에 의해서 이들 결합물(P,10,20)이 빠르게 냉각되도록 하되, 상기 피가공물(P)이 관통되게 끼워지는 제1구멍(31)들과, 냉각액(CW)의 흐름을 유도하는 제2구멍(32)들로 이루어진 메쉬형태의 유속조절부재(30)를, 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 베이스(10) 사이 또는 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22) 사이에 배치해서, 유속조절부재(30)의 제1구멍(31)에 피가공물(P)이 끼워지도록 하여, 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해서 안정적으로 균일화되도록 하는 방식을 취하고 있다.
상기 유속조절부재(30)는 메쉬형 지그(20)의 지지부(21)에 직·간접적으로 고정된다.
본 실시예의 경우, 제1구멍(31)을 형성하는 제1구멍 형성틀(F1)과, 이들 제1구멍 형성틀(F1)을 상호 연결하는 연결틀(F2)로 이루어져서, 제1구멍 형성틀(F1)에 의한 제1구멍(31)과, 제1구멍 형성틀(F1)과 연결틀(F2)에 의한 제2구멍(32)이 형성되어진 구조를 이루되, 제2구멍(32)이 2 이상으로 분할되어서 제2구멍(32)의 크기가 제1구멍(31)보다 작게 형성되어진 것을 유속조절부재(30)로 적용하였다.
상기 유속조절부재(30)의 제2구멍(32)이 필요 이상으로 크게 되면, 냉각액(CW)의 안정화·균일화를 기대하기 어려우므로, 제2구멍(32)의 크기를 제1구멍(31)보다 작게 하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 도 8에 도시된 바와 같이, 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해 균일화되므로, 유속조절부재(30)의 제2구멍(32)을 통과하며 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 유속이 균일화되고, 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)의 제2구멍(32)을 통해서 상방향으로 고르게 유도되므로, 와류 발생이 억제되어 냉각액(CW)의 흐름이 안정화된다{유속조절부재(30)의 두께(도 8상에서 수직 높이)를 크게 할수록 냉각액(CW)의 흐름이 보다 안정적으로 상방향으로 유도된다}.
또한, 고온으로 가열된 피가공물(P)과 베이스(10) 및 메쉬형 지그(20)를 냉각액(CW)에 투입하게 되면, 투입시점부터 일정시간동안, 이들 결합물(P,10,20)의 표면에 냉각액(CW)가 접하며 기화되어, 이들 결합물(P,10,20)의 표면에 증기막(c ; 도 6 참조)이 형성되고, 이렇게 형성된 증기막(c)은 기포형태를 이루면서 상방향으로 떠오르게 되는데, 본 발명에 따르면, 상방향으로 떠오르는 증기막(c)이 유속조절부재(30)에 부딪힌 후, 유속조절부재(30)의 제2구멍(32)을 통해서 분산된 상태로 떠오르게 되므로, 증기막 현상이 크게 억제되어, 이로 인해서 발생되는 피가공물(P)의 냉각속도 저하가 효과적으로 방지된다.
한편, 도 10에 도시된 바와 같이 메쉬(22)의 제1구멍(22a)에 끼워진 피가공물(P)이 메쉬(22)에 걸쳐져 지지되도록 하는 경우에도 본 발명을 적용하면, 상기 도 7 및 도 8에 도시된 실시예와 같이 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해서 안정적으로 균일화된다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고 이하의 청구범위를 벗어나지 않는 한도내에서 보다 다양하게 변형 실시될 수 있음은 물론이다.
일예로, 일정한 구멍{본 실시예에서의 제2구멍에 해당}이 형성되어진 메쉬구조물을 펀칭 가공하여 이보다 큰 직경의 구멍{본 실시예에서의 제1구멍에 해당}을 형성해서, 제1구멍 형성틀(F1)이 없는 유속조절부재(30)를 제조한 후, 이러한 제1 구멍 형성틀(F1)이 없는 유속조절부재(30)를 본 발명에 적용할 수 있다.
도 1은 열처리장치의 일예를 도시한 구성도,
도 2a는 피가공물들이 메쉬 지그에 끼워져서 베이스에 지지된 상태를 도시한 정면도,
도 2b는 도 2a의 평면도,
도 3은 도 2a 및 도 2b에 도시된 메쉬 지그를 도시한 평면도,
도 4는 메쉬 지그의 다른 일예를 도시한 평면도,
도 5a 및 도 5b는 종래 냉각방법에서의 유속 차이를 설명하기 위한 도면,
도 6은 종래 냉각방법에서의 기포발생을 설명하기 위한 도면,
도 7a 및 도 7b는 피가공물들이 메쉬 지그에 걸쳐져서 베이스에 지지된 상태를 도시한 도면,
도 8은 본 발명에 따른 냉각방법의 일예를 설명하기 위한 도면,
도 9은 도 8에 도시된 유속조절부재의 평면도,
도 10은 본 발명에 따른 냉각방법의 다른 일예를 설명하기 위한 도면이다.
- 첨부도면의 주요 부분에 대한 용어 설명 -
10 ; 베이스, 10a ; 구멍,
20 ; 메쉬형 지그, 21 ; 지지부,
22 ; 메쉬, 22a ; 제1구멍,
22b ; 제2구멍, 30 ; 유속조절부재,
31 ; 제1구멍, 32 ; 제2구멍,
100 ; 공급장치, 200 ; 가열장치,
210 ; 가열챔버, 220 ; 이송기구,
230 ; 히터, 240 ; 팬기구,
300 ; 냉각장치, 310 ; 냉각챔버,
320 ; 이송기구, 330 ; 승강기구,
340 ; 냉각액 순환기구, 350 ; 열교환기,
400 ; 배출장치, F1 ; 제1구멍 형성틀,
F2 ; 연결틀, P ; 피가공물.

Claims (2)

  1. 다수의 피가공물(P)이 메쉬형 지그(20)를 매개로 냉각액(CW)가 유통되는 구멍(10a)들이 형성되어진 베이스(10)에 설치되어진 상태에서, 이들 결합물(P,10,20)을 냉각챔버(310)의 냉각액(CW)에 잠기도록 투입해서, 냉각액 순환기구(340)에 의해 순환되어 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)에 의해서 이들 결합물(P,10,20)이 빠르게 냉각되도록 하는 급속 냉각방법에 있어서,
    상기 피가공물(P)이 관통되게 끼워지는 제1구멍(31)들과, 냉각액(CW)의 흐름을 유도하는 제2구멍(32)들로 이루어진 메쉬형태의 유속조절부재(30)를, 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 베이스(10) 사이 또는 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22)와 메쉬형 지그(20)의 메쉬(22) 사이에 배치해서, 유속조절부재(30)의 제1구멍(31)에 피가공물(P)이 끼워지도록 하여, 베이스(10)의 하부로부터 상부로 유동되는 냉각액(CW)의 흐름이 유속조절부재(30)에 의해서 안정적으로 균일화되도록 하는 것을 특징으로 하는 효율적인 냉각을 위한 급속 냉각방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 유속조절부재(30)는, 제1구멍(31)을 형성하는 제1구멍 형성틀(F1)과, 이들 제1구멍 형성틀(F1)을 상호 연결하는 연결틀(F2)로 이루어져서, 제1구멍 형성틀(F1)에 의한 제1구멍(31)과, 제1구멍 형성틀(F1)과 연결틀(F2)에 의한 제2구멍(32)이 형성되어진 구조를 이루되, 제2구멍(32)이 2 이상으로 분할되어서 제2구멍(32)의 크기가 제1구멍(31)보다 작게 형성되어진 것을 특징으로 하는 효율적인 냉각을 위한 급속 냉각방법.
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KR102479373B1 (ko) * 2020-12-31 2022-12-21 한국재료연구원 타이타늄 판재의 뒤틀림 방지 냉각장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59190319A (ja) 1983-03-04 1984-10-29 Mazda Motor Corp 焼入浴の浴流調整装置
JPS61136628A (ja) 1984-12-04 1986-06-24 Toyota Motor Corp フオ−ク状部品の熱処理方法
JPS64219A (en) 1987-06-23 1989-01-05 Nissan Motor Co Ltd Quenching method
JPH0379004A (ja) * 1989-08-22 1991-04-04 Nichicon Corp 鉄芯の冷却方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59190319A (ja) 1983-03-04 1984-10-29 Mazda Motor Corp 焼入浴の浴流調整装置
JPS61136628A (ja) 1984-12-04 1986-06-24 Toyota Motor Corp フオ−ク状部品の熱処理方法
JPS64219A (en) 1987-06-23 1989-01-05 Nissan Motor Co Ltd Quenching method
JPH0379004A (ja) * 1989-08-22 1991-04-04 Nichicon Corp 鉄芯の冷却方法

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