KR100945355B1 - 액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법 - Google Patents

액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 피처리체 이송장치는 이송절차를 단순화하기 위한 것으로, 액정표시장치의 피처리체에 단위 공정을 실시하기 위한 제 1 로봇 설치부와 제 2 로봇 설치부 및 처리실로 이루어진 처리장치에서, 상기 제 1 로봇 설치부에 설치되며, 피처리체를 제 2 로봇 설치부로 출입시키는 제 1 로봇; 상기 제 2 로봇 설치부에 설치되며, 상기 피처리체를 처리실로 출입시키는 제 2 로봇; 상기 제 1 로봇에 설치된 제 1 로봇 암; 상기 제 2 로봇에 설치되며, 상기 제 1 로봇 암으로부터 피처리체를 로딩 받기 위해 그 상부에 상기 제 1 로봇 암의 두께보다 큰 단차를 가진 제 2 로봇 암; 및 상기 제 2 로봇에 설치되어 상기 피처리체가 로딩된 제 2 로봇 암을 처리실로 이동시키는 전진방향 구동장치부를 포함하며, 상기 제 2 로봇 암의 상부에 단차를 둠으로써 전진 구동만으로 피처리체의 이송이 가능한 것을 특징으로 한다.
피처리체, 이송장치, 로봇, 로봇 암

Description

액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법{APPARATUS FOR TRANSFERRING OBJECT OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF TRANSFERRING THE SAME}
도 1은 일반적인 액정표시장치의 제조공정을 나타내는 순서도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 피처리체 이송장치를 개략적으로 나타내는 평면도.
도 3은 도 2에 도시된 이송장치를 측면에서 바라본 도면.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
10 : 제 1 로봇 15 : 제 1 로봇 암
20 : 제 2 로봇 25 : 제 2 로봇 암
30 : 처리실 40: 피처리체
본 발명은 피처리체 이송장치에 관한 것으로, 특히 기판을 운반하는 이송장치의 구조를 개선한 액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법에 관한 것이다.
상세하게는 본 발명은 액정표시장치용 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 피처리체를 처리하는 때에, 처리 전후의 피처리체를 이송하기 위한 이송장치 및 이를 이용한 이송방법에 관한 것이다.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.
상기 액정표시장치는 크게 어레이(array) 기판과 칼라필터(color filter) 기판 및 상기 어레이 기판과 칼라필터 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.
이 때, 어레이 기판은 상기 기판 위에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인, 상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT), 그리고 상기 화소영역 위에 형성된 화소전극으로 구성된다.
또한, 칼라필터 기판은 색상을 구현하는 서브-칼라필터(R, G, B)를 포함한 칼라필터와 상기 서브-칼라필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통 전극으로 구성된다.
이와 같이 구성된 어레이 기판과 칼라필터 기판은 실런트(sealant)에 의해 합착되어 액정표시패널(panel)을 구성하는데, 이 때 두 기판의 합착은 상기 어레이 기판 또는 칼라필터 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.
즉, 액정표시장치의 제조공정은 서로 다른 제조공정을 거쳐 완성된 어레이 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정 셀(cell)을 형성하는 일련의 공정으로 이루어지며, 도 1을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
우선, 어레이 기판 위에 종횡으로 배열되어 복수의 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고, 상기 각각의 화소영역에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 스위칭소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S01). 이 때, 상기 어레이 기판 위에 상기 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.
또한, 칼라필터 기판에는 상기 어레이 기판 제조공정과 다른 공정에 의해서 적(Red; R), 녹(Green: G), 청(Blue: B)의 서브-칼라필터를 포함하는 칼라필터와 블랙매트릭스 및 공통전극을 형성한다(S04).
이어서, 어레이 기판과 칼라필터 기판 위에 각각 배향막을 도포한 후, 상기 어레이 기판과 칼라필터 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력을 제공하기 위한 배향막의 러빙(rubbing) 공정을 진행한다(S02, S05).
그 후, 어레이 기판에 셀갭(cell gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 산포하고, 칼라필터 기판의 외곽부에 실링재를 도포한 후 상기 어레이 기판과 칼라필터 기판에 압력을 가하여 합착한다(S03, S06, S07).
한편, 상기 어레이 기판과 칼라필터 기판은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널영역이 형성되고 상기 패널영역 각각에 박막 트랜지스터와 칼라필터가 형성되기 때문에, 낱개의 액정표시패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단 및 가공해야만 한다(S08).
마지막으로, 상기와 같이 가공된 개개의 액정표시패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후, 상기 각 액정표시패널의 불량 여부를 가리는 검사 공정 진행함으로써 액정표시장치를 제작하게 된다(S09).
이와 같이 액정표시장치의 제조공정은 서로 상이한 단위 공정들로 연결되어 있기 때문에, 종래에는 유리기판과 같은 피처리체에 증착이나 식각 등의 단위 공정을 실시하기 위해 멀티-챔버(multi chamber)형 처리장치가 널리 이용되고 있었다.
상기 멀티-챔버형 처리장치는 감압하에서 피처리체에 각각 동종 또는 이종의 처리를 실시하는 복수개의 처리실, 상기 처리실에 접속되어 제 2 로드락(load lock)실로서 기능하는 반송실, 상기 반송실에 접속된 로드락실, 단위 공정들 사이에서 상기 피처리체를 운반하는 운반장치를 갖추고 있다.
기판 위에 소정의 박막을 증착하는 처리절차를 예를 들어 설명하면 다음과 같다.
먼저, 무인운송장치(Automatic Guided Vehicle; AGV)와 같은 운송장치로부터 로드락실로 피처리체인 기판이 반입된다.
상기 로드락실로 반입된 기판은 반송실내에 배치된 이송장치에 의해 로드락실로부터 반출되고 소정의 처리실로 반입된다.
이 때, 상기 반송실내에 배치된 이송장치는 기판을 이송하기 위한 로봇 암(arm)을 그 선단(先端)에 갖춘 다관절형의 로봇이 사용된다. 또한, 상기 이송장치는 기판의 반입과 반출을 위해 전진 구동장치뿐만 아니라 회전 구동장치도 가지고 있다.
상기 처리실에 반입된 기판에 플라즈마 화학기상증착(Chemical Vapour Deposition; CVD)법에 의한 성막처리가 행하여진다.
처리가 완료된 피처리체는 상기 절차의 역 경로를 거쳐서 다음 단위 공정을 위해 운송장치에 수용된다.
상기와 같이 종래의 이송 시스템은 피처리체에 단위 공정을 행하기 위해 여러 단계의 이송절차를 거처야 하므로, 이에 따라 공정절차를 복잡하게 하고 비용을 증가시키는 단점이 있었다.
특히, 상기 반송실내의 이송장치는 피처리체를 이송하기 위해 전진 구동과 함께 회전 구동을 필요로 하며, 상기 반송실내로 반입하기 위한 추가적인 로드락실이 필요하는 등 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 피처리체를 이송하는 이송장치의 구동 방법과 구조를 개선하여 이송절차를 간소화함으로써 공정이 단순화되고 공정시간을 단축시킨 액정표시장치용 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
기타 본 발명의 다른 특징 및 목적은 이하 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시장치용 피처리체 이송장치는 액정표시장치의 피처리체에 단위 공정을 실시하기 위한 제 1 로봇 설치부와 제 2 로봇 설치부 및 처리실로 이루어진 처리장치에서, 상기 제 1 로봇 설치부에 설치되며, 피처리체를 제 2 로봇 설치부로 출입시키는 제 1 로봇; 상기 제 2 로봇 설치부에 설치되며, 상기 피처리체를 처리실로 출입시키는 제 2 로봇; 상기 제 1 로봇에 설치된 제 1 로봇 암; 상기 제 2 로봇에 설치되며, 상기 제 1 로봇 암으로부터 피처리체를 로딩 받기 위해 그 상부에 상기 제 1 로봇 암의 두께보다 큰 단차를 가진 제 2 로봇 암; 및 상기 제 2 로봇에 설치되어 상기 피처리체가 로딩된 제 2 로봇 암을 처리실로 이동시키는 전진방향 구동장치부를 포함하며, 상기 제 2 로봇 암의 상부에 단차를 둠으로써 전진 구동만으로 피처리체의 이송이 가능한 것을 특징으로 한다.
제 1 로봇은 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 제 2 로봇 설치부로 이동시키는 수직방향 구동장치부를 추가로 포함할 수 있으며, 이송실은 상기 이송실의 내부를 진공 상태로 만드는 진공 펌프부를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 액정표시장치용 피처리체 이송방법은 피처리체를 제 1 로봇 암에 로딩하는 단계;제 2 로봇 암이 설치된 이송실의 압력을 대기압 상태로 만드는 가압 단계; 상기 이송실에 형성된 제 1 게이트를 여는 단계; 상기 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 상기 이송실 내부로 이동하는 단계; 상기 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 제 2 로봇 암 위로 정렬하는 단계; 상기 제 2 로봇 암 상부에 피처리체가 얹혀질 때까지 상기 제 1 로봇 암을 수직방향으로 하강하는 단계; 상기 피처리체가 로딩된 제 2 로봇 암을 전진 구동하여 처리실 내부로 이동하는 단계; 및 상기 피처리체를 처리실에 설치된 다수의 핀 위에 언로딩하는 단계를 포함하며, 상기 제 2 로봇 암의 상부에 상기 제 1 로봇 암의 두께보다 큰 단차를 둠으로써 전진 구동만으로 피처리체의 이송이 가능한 것을 특징으로 한다.
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또한, 상기 피처리체를 상기 제 2 로봇 암 위에 언로딩한 후에 상기 제 1 로봇 암을 이송실 밖으로 이동하는 단계와 상기 이송실의 제 1 게이트를 닫는 단계 및 상기 이송실의 압력을 낮추는 감압 단계를 추가로 포함할 수 있으며, 이송실의 압력을 낮춘 후에 상기 처리실에 형성된 제 2 게이트를 여는 단계를 추가로 포함할 수도 있다.
또한, 피처리체를 다수의 핀 위에 언로딩한 후에 상기 제 2 로봇 암을 이송실 밖으로 이동하는 단계와 상기 제 2 게이트를 닫는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송방법의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
이하에 있어서는 플라즈마 화학기상증착법에 의해 피처리체인 액정표시장치용 유리기판에 성막처리를 행하는 단위 공정을 실시하기 위한 이송에 한정하여 설명을 한다.
그러나, 본 발명을 상기와 같은 단위 공정을 위한 이송에 한정하는 것이 아니라, 피처리체에 소정의 처리를 행하는 어떠한 단위 공정을 위한 이송이라도 본 발명이 응용될 수 있을 것이다. 또한, 처리가 완료된 피처리체를 다음 단위 공정을 위해 반출하기 위한 이송에 대하여도 본 발명이 응용될 수 있을 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 피처리체 이송장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 제 1 로봇(10)이 설치된 제 1 로봇 설치부와 제 2 로봇(20)이 설치된 제 2 로봇 설치부 및 처리실(30)로 이루어져 있다. 상기 처리실(30)은 제 2 로봇(20)으로부터 반입된 액정표시장치용 유리기판에 성막처리를 하기 위한 소정의 공정장비영역이다.
상기 제 1 로봇(10)에는 제 2 로봇 설치부인 이송실로 기판을 반입 또는 상기 이송실로부터 반출하기 위한 제 1 로봇 암(15)이 설치되어 있으며, 상기 제 2 로봇(20)에는 기판을 처리실(30)로 반입 또는 상기 처리실(30)로부터 반출하기 위한 제 2 로봇 암(25)이 설치되어 있다.
상기 제 1 로봇 설치부는 무인운송장치와 같은 운송장치로부터 운반되어 온 피처리체인 기판을 받아 이송실로 반입하기 위한 영역으로 대기압하에서 작업을 진행하며, 상기 이송실은 제 1 로봇 설치부로부터 반입된 기판을 처리실(30)로 반입 하기 위한 영역으로 감압 분위기에서 작업을 진행한다.
본 실시예에 따른 상기 이송실은 종래의 반송실과 로드락실의 기능을 동시에 할 수 있어 공정진행을 원활하게 하며 공정시간을 단축시키는 효과를 제공한다.
이 때, 상기 제 1 로봇(10)에 설치된 제 1 로봇 암(15)은 기판을 제 2 로봇부(20)로 반입하는 역할을 하며, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 이송실에는 제 1 게이트가 형성되어 있어 상기 기판이 로딩된 제 1 로봇 암(15)의 이송실로의 이동을 용이하게 한다.
또한, 상기 제 1 로봇 암(15)은 일반적인 로봇 암과 같이 이송실로 기판을 반입하기 위해 전진 구동과 회전 구동 등을 할 수 있는 구동장치를 갖추고 있다.
본 실시예에 따른 제 2 로봇 암(25)은 상기 로봇 암(25)의 앞부분이 처리실(30)를 바라보게 설치되어 있어 회전 구동이 필요 없이 전진 구동만으로 상기 로봇 암(25) 위에 로딩된 기판을 처리실(30)로 반입할 수 있다. 따라서, 상기 제 2 로봇 암(25)에는 전진 구동장치만 설치하면 되므로 이에 따라 설치면적이 줄어들게 되고, 회전 구동이 필요 없게 되어 이송실의 크기를 줄일 수 있다는 장점이 있다.
이 때, 상기 제 1 로봇 암(15)으로부터 기판을 로딩 받기 위해 상기 제 2 로봇 암(25)의 상부는 소정 높이의 단차를 가지게 된다. 즉, 상기 제 1 로봇 암(15)을 제 2 로봇 암(25) 위에 기판이 얹혀질 때까지 수직방향으로 하강시킬 때 상기 제 1 로봇 암(15)의 하부가 제 2 로봇 암(25)의 상부에 닿지 않도록 상기 제 2 로봇 암(25)은 단차를 가지도록 형성된다.
도면에는 제 2 로봇 암(25)의 처리실(30)로의 입출(入出)을 위해 처리실(30)에 제 2 게이트(32)가 형성되어 있으나, 상기 이송실에 형성할 수 있으며 상기 이송실과 처리실(30) 사이에 형성할 수도 있다.
상기와 같이 구성된 이송장치를 이용한 기판의 이송방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 운송장치로부터 운반되어 온 피처리체인 기판을 제 1 로봇(10)의 로봇암(15)에 로딩한다.
다음으로 기판의 이송실로의 반입을 위해 우선, 상기 이송실에 압력을 가해 대기압과 동일하게 만들고 상기 이송실에 형성된 제 1 게이트를 연다.
이후, 기판이 로딩된 제 1 로봇 암(15)을 이송실 쪽으로 전진 구동시켜 상기 이송실 내부로 이동시킨다.
이 때, 상기 기판을 제 2 로봇 암(25) 위에 언로딩하기 위해 상기 기판이 로딩된 제 1 로봇 암(15)을 제 2 로봇 암(25) 위로 정렬시킨 후 상기 제 2 로봇 암(25) 위에 기판이 얹혀질 때까지 상기 제 1 로봇 암(15)을 수직방향으로 하강시킨다.
기판이 상기 제 2 로봇 암(25) 위에 언로딩된 후에는 상기 제 1 로봇 암(15)을 이송실 밖으로 이동시킨 후 상기 이송실의 제 1 게이트를 닫고 상기 이송실의 압력을 낮추는 감압을 실시한다.
이후, 상기 기판에 소정 공정을 행하기 위해 처리실(30)로 반입한다. 상기 반입은 처리실(30)에 형성된 제 2 게이트(32)를 열고 상기 기판이 로딩된 제 2 로 봇 암(25)을 처리실(30) 쪽으로 전진 구동시켜 행하게 된다. 상기 제 2 로봇 암(25)의 앞부분은 처리실(30)을 바라보고 있어 제 1 로봇 암(15)으로부터 이송 받은 즉시 전진 구동만으로 상기 처리실(30)로 이송시킬 수 있게 된다.
이후, 상기 기판을 처리실(30)에 설치된 다수의 핀(31) 위에 언로딩한 후에 상기 제 2 로봇 암(25)을 처리실(30) 밖으로 이동시킨 후 상기 제 2 게이트(32)를 닫는다.
도 3은 도 2에 도시된 이송장치를 측면에서 바라본 도면으로, 제 1 로봇 설치부에서 제 2 로봇 설치부를 바라볼 때의 제 1 로봇 암과 제 2 로봇 암의 개략적인 형태를 나타내고 있다.
도면에 도시된 바와 같이, 제 1 로봇 암(15) 위에 로딩되어 있는 피처리체인 기판(40)을 제 2 로봇 암(25) 위에 얹혀놓기 위해 상기 제 2 로봇 암(25)의 상부(빗금친 부분)는 소정의 높이를 가지도록 단차가 형성되어 있다.
즉, 상기 소정의 단차에 의해 기판(40)을 제 2 로봇 암(25) 위에 얹혀놓을 때까지 상기 제 1 로봇 암(15)을 제 2 로봇 암(25) 쪽으로 수직하게 하강시킬 수 있으며, 상기 제 2 로봇 암(25) 위에 기판이 놓여지게 되면 그 상태에서 제 1 로봇 암(15)을 후방으로 이동시킬 수 있게 된다.
따라서, 종래와 같이 기판의 반입을 위한 상기 기판을 수납하는 구조물인 버퍼(buffer)가 불필요하며 그에 따른 수납절차가 불필요해져 이송절차를 간소화할 수 있게 된다. 그 결과 전체공정이 단순화되며 이에 따른 비용 감소의 효과를 얻을 수 있게 된다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이 아니라 바람직한 실시예로서 해석되어야 한다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 액정표시장치의 피처리체 이송장치는 회전 구동이 불필요한 구조로 이송실의 크기 축소와 이송절차 개선의 효과를 제공한다.
또한, 본 발명의 액정표시장치의 피처리체 이송장치 및 이를 이용한 이송절차는 제 2 로봇 암의 상부에 단차를 둠으로써 전진 구동만으로도 피처리체의 이송이 가능해지며, 그 결과 이송절차를 단순화시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 액정표시장치의 피처리체에 단위 공정을 실시하기 위한 제 1 로봇 설치부와 제 2 로봇 설치부 및 처리실로 이루어진 처리장치에서,
    상기 제 1 로봇 설치부에 설치되며, 피처리체를 제 2 로봇 설치부로 출입시키는 제 1 로봇;
    상기 제 2 로봇 설치부에 설치되며, 상기 피처리체를 처리실로 출입시키는 제 2 로봇;
    상기 제 1 로봇에 설치된 제 1 로봇 암;
    상기 제 2 로봇에 설치되며, 상기 제 1 로봇 암으로부터 피처리체를 로딩 받기 위해 그 상부에 상기 제 1 로봇 암의 두께보다 큰 단차를 가진 제 2 로봇 암; 및
    상기 제 2 로봇에 설치되어 상기 피처리체가 로딩된 제 2 로봇 암을 처리실로 이동시키는 전진방향 구동장치부를 포함하며, 상기 제 2 로봇 암의 상부에 단차를 둠으로써 전진 구동만으로 피처리체의 이송이 가능한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 제 1 로봇은 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 제 2 로봇 설치부로 이동시키는 수직방향 구동장치부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 이송실은 상기 이송실의 내부를 진공 상태로 만드는 진공 펌프부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송장치.
  4. 피처리체를 제 1 로봇 암에 로딩하는 단계;
    제 2 로봇 암이 설치된 이송실의 압력을 대기압 상태로 만드는 가압 단계;
    상기 이송실에 형성된 제 1 게이트를 여는 단계;
    상기 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 상기 이송실 내부로 이동하는 단계;
    상기 피처리체가 로딩된 제 1 로봇 암을 제 2 로봇 암 위로 정렬하는 단계;
    상기 제 2 로봇 암 상부에 피처리체가 얹혀질 때까지 상기 제 1 로봇 암을 수직방향으로 하강하는 단계;
    상기 피처리체가 로딩된 제 2 로봇 암을 전진 구동하여 처리실 내부로 이동하는 단계; 및
    상기 피처리체를 처리실에 설치된 다수의 핀 위에 언로딩하는 단계를 포함하며, 상기 제 2 로봇 암의 상부에 상기 제 1 로봇 암의 두께보다 큰 단차를 둠으로써 전진 구동만으로 피처리체의 이송이 가능한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 4 항에 있어서, 피처리체를 상기 제 2 로봇 암 위에 언로딩한 후에 상기 제 1 로봇 암을 이송실 밖으로 이동하는 단계와 상기 이송실의 제 1 게이트를 닫는 단계 및 상기 이송실의 압력을 낮추는 감압 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 이송실의 압력을 낮춘 후에 상기 처리실에 형성된 제 2 게이트를 여는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송방법.
  9. 제 4 항에 있어서, 피처리체를 다수의 핀 위에 언로딩한 후에 상기 제 2 로봇 암을 이송실 밖으로 이동하는 단계와 상기 제 2 게이트를 닫는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 피처리체 이송방법.
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