KR100945350B1 - Liquid crystal display device and fabrication method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 반사형 또는 반투과형 액정 표시소자에 있어서, 반사부에 형성되는 요철의 형태를 어느 한쪽의 두께가 다른 한쪽보다 더 두꺼운 비대칭 구조로 형성함으로써, 외부광의 반사효율을 더욱더 향상시킨 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display element and a method of manufacturing the same. In the reflective or semi-transmissive liquid crystal display element, the shape of the irregularities formed in the reflective portion is formed to have an asymmetric structure thicker than either one of the thicknesses, The reflection efficiency of external light is further improved.

Description

액정 표시소자 및 그 제조방법 { LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF }TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a liquid crystal display device,

도 1은 일반적인 반사형 액정 표시소자를 도시한 예시 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an exemplary sectional view showing a general reflection type liquid crystal display device. Fig.

도 2a내지 2f는 종래 반사판의 제조방법을 도시한 공정 수순도.FIGS. 2A to 2F are process flow charts showing a conventional method for manufacturing a reflective plate.

도 3은 본 발명에 따른 반사형 액정 표시소자를 도시한 도면.3 is a view showing a reflection type liquid crystal display device according to the present invention.

도 4는 도 3에 있어서 반사판 영역을 확대도시한 확대도면.Fig. 4 is an enlarged view showing an enlarged view of the reflector region in Fig. 3; Fig.

도 5a내지 도 5b는 도 4에 있어서, 제 1요철층의 평면 및 단면을 도시한 도면.Fig. 5A and Fig. 5B are plan views and cross-sectional views of the first uneven layer shown in Fig.

도 6a내지 6f는 본 발명에 따른 액정 표시소자의 제조방법을 도시한 공정수순도.6A to 6F are process flow charts showing a method of manufacturing a liquid crystal display element according to the present invention.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***DESCRIPTION OF THE REFERENCE SYMBOLS

210: 기판 220: 게이트 전극210: substrate 220: gate electrode

230: 게이트 절연막 240: 액티브층230: gate insulating film 240: active layer

250: 보호막 270: 반사전극250: protective film 270: reflective electrode

280: 제 1요철층 285: 제 2요철층280: first uneven layer 285: second uneven layer

본 발명은 액정 표시소자에 관한 것으로, 특히 반사효율 더욱더 향상시킬 수 있는 액정 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display element, and more particularly, to a liquid crystal display element capable of further improving reflection efficiency and a method of manufacturing the same.

최근, 통신 인프라의 확충에 의해, 컴퓨터 네트워크의 이용이 급속하게 확대하며, 필요한 정보를 언제든지, 어디에서도, 누구라도 이용할 수 있는 환경이 조성되어 왔다. 이에 이동성이 요구되는 개인용 정보통신기기, 웹(web) 단말기, 및 휴대용 단말기 등과 같은 정보통신기기 시장이 폭발적으로 증가함에 따라 무게가 가볍고 소비 전력이 작은 디스플레이에 대한 수요가 늘어나고 있다. 그리고, 종래와는 달리 숫자나 정해진 이미지의 온(on)/오프(off)만 수행하는 수준을 넘어서 정지 화상을 포함하는 다양한 정보를 표현할 수 있는 표시소자를 요구하고 있다. 이와 같은 요청에 있어서, 칼라 화상 표시가 가능한 모빌 기기에 대한 수요가 급속하게 확대하고 있다. 모빌 기기에 요구되는 특징은 가능한 한 박형, 경량, 저 소비 전력으로 장시간 사용이 가능한 것에 있다.In recent years, the expansion of communication infrastructure has rapidly expanded the use of computer networks, and an environment has been created in which the necessary information can be used anytime, anywhere, by anyone. As the market for information communication devices such as personal information communication devices, web terminals, and portable terminals requiring mobility explosively increases, the demand for displays that are light in weight and low in power consumption is increasing. Unlike the related art, a display device capable of expressing a variety of information including a still image beyond a level of performing only on / off of a number or a predetermined image is demanded. In response to such requests, demand for mobile devices capable of color image display is rapidly expanding. The characteristics required for a mobile device are as thin as possible, lightweight, and low power consumption for a long time.

액정 표시소자는 가볍고 박형이며 소비 전력이 적기 때문에 이와 같은 휴대용 정보통신기기에 많이 적용되고 있으나, 일반적인 투과형 액정 표시소자는 백라이트 소자가 필요로 하기 때문에 이를 휴대용 정보기기 등의 표시소자로 사용될 경우 백라이트의 소비 전력으로 휴대용 기기의 일회 충전 후 사용 시간이 단축될 뿐만 아니라 백라이트의 무게, 두께 등으로 인해 휴대성이 떨어지는 문제점이 있다. 이러한 문제점들을 극복하기 위해 근래 제시된 것이 반사형 액정 표시소자이다.Since a liquid crystal display device is light and thin and consumes a small amount of power, it is widely applied to such portable information communication devices. However, since a general transmissive liquid crystal display device requires a backlight device, when it is used as a display device of a portable information device, There is a problem that the use time of the portable device after a single charge is shortened due to power consumption, and the portability is degraded due to the weight and thickness of the backlight. In order to overcome these problems, a reflection type liquid crystal display device has been proposed recently.

반사형 액정 표시소자는 주변광을 광원으로 사용하므로 전력 소모의 약 70% 이상을 차지하는 백라이트에 의한 전력 소모가 없고 백라이트에 의한 두께 및 무게 증가가 없다. 따라서, 매우 적은 전력으로 우수한 표시 품위를 가지는 정보 표시소자를 실현할 수 있다. 또 모빌 기기에서는 그 성격상, 옥외에서의 사용 적응성이 중요하게 되지만, 종래의 투과형 LCD에서는 밝은 외부 환경 하에서 패널 표면의 반사에 의해 색대비가 저하되는 시인성에 문제가 있는 반면에, 반사형 LCD에서는 오히려 더욱 선명하게 보이는 특징이 있다.Since the reflection type liquid crystal display device uses ambient light as a light source, there is no power consumption due to the backlight which occupies about 70% or more of power consumption, and there is no increase in thickness and weight due to the backlight. Therefore, it is possible to realize an information display device having excellent display quality with very little power. In the case of a mobile device, its adaptability to outdoor use is important due to its nature. However, in a conventional transmissive LCD, there is a problem in visibility that color contrast is lowered due to reflection of a panel surface under a bright external environment, There is a feature that looks rather clearer.

도 1은 일반적인 반사형 액정 표시소자를 도시한 예시 단면도이다.1 is an exemplary sectional view showing a general reflection type liquid crystal display device.

도면에 도시한 바와 같이, 종래 반사형 액정 표시소자는 블랙매트릭스(11), 칼라필터(13), 오버코트막(15), 그리고 공통전극(17)이 형성된 상부기판(10)과 반사전극(27)이 형성된 하부기판(20)과 그 사이에 충진된 액정층(30)으로 구성되며, 도면에 도시하진 않았지만 하부기판(30)에 형성되는 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 복수의 화소영역으로 나뉘며, 각 화소영역마다 스위칭소자로써의 박막 트랜지스터가 하나씩 배치된다. 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극(22), 오믹접촉층(24a)과 반도체층(24b)으로 이루어진 액티브층(24) 및 소스/드레인 전극(26a/26b)으로 구성되어 있으며, 게이트 전극(22)과 액트브층(24)과의 절연을 위하여 형성된 게이트 절연막(23)과 박막 트랜지스터를 보호하기 위한 보호막(25)이 추가로 형성되어 있다. 상기 반사전극(27)은 각 화소영역 마다 하나씩 형성되며 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극(26b)과 연결된다.As shown in the drawing, a conventional reflective liquid crystal display device includes an upper substrate 10 on which a black matrix 11, a color filter 13, an overcoat film 15, and a common electrode 17 are formed and a reflective electrode 27 And a liquid crystal layer 30 filled therebetween. The liquid crystal layer 30 is divided into a plurality of pixel regions by gate wirings and data wirings formed on the lower substrate 30 (not shown) And one thin film transistor as a switching element is arranged for each pixel region. The thin film transistor includes a gate electrode 22, an active layer 24 composed of an ohmic contact layer 24a and a semiconductor layer 24b, and source / drain electrodes 26a / 26b. The gate electrode 22, A gate insulating film 23 formed for insulation with the active layer 24 and a protective film 25 for protecting the thin film transistor are additionally formed. The reflective electrode 27 is formed for each pixel region and is connected to the drain electrode 26b of the thin film transistor.

반사전극(27)은 인가된 화소데이터전압에 따라 상부기판의 공통전극(17)과 함께 액정층(30)에 전기장을 인가하여 액정분자의 배열을 조절하는 화소전극(pixel electrode) 역할을 하며, 동시에 상부기판과 액정층을 통해 입사한 빛을 사용자의 시야방향으로 반사하는 반사막(mirror) 역할을 한다. 그러나, 반사전극의 표면이 평탄하면 특정방향의 외부광으로부터 입사한 빛은 상기 특정방향으로 반사되어 사용자가 반사되는 빛을 볼 수 있는 시야각 범위가 좁아지게 된다. 따라서, 시야각을 넓히기 위해서 상부기판에 광산란수단을 설치할 수도 있지만, 주로 이용되는 방법이 반사전극의 표면을 요철모양으로 형성하는 것이다.The reflective electrode 27 acts as a pixel electrode for adjusting the arrangement of liquid crystal molecules by applying an electric field to the liquid crystal layer 30 together with the common electrode 17 of the upper substrate in accordance with the applied pixel data voltage, And at the same time, serves as a mirror for reflecting the light incident through the upper substrate and the liquid crystal layer in the direction of the user's view. However, when the surface of the reflective electrode is flat, light incident from outside light in a specific direction is reflected in the specific direction, thereby narrowing the viewing angle range in which the user can see the reflected light. Therefore, although light scattering means may be provided on the upper substrate to widen the viewing angle, a method mainly used is to form the surface of the reflecting electrode in a concavo-convex shape.

도 2a내지 2f를 참조하여 종래 요철모양을 가지는 반사전극의 형성방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.A method of forming a reflective electrode having a concave-convex shape will now be described with reference to FIGS. 2A to 2F.

먼저, 도 2a에 도시한 바와 같이, 기판(31) 위에 감광성수지막(33)을 형성한다.First, as shown in Fig. 2A, a photosensitive resin film 33 is formed on a substrate 31. Then, as shown in Fig.

그 다음, 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 감광성수지막(33)을 마스크(35)로 차단하고 감광수지막(33)의 전면에 자외선(화살표)을 조사한다.2B, the photosensitive resin film 33 is shielded by a mask 35, and ultraviolet rays (arrows) are irradiated on the entire surface of the photosensitive resin film 33. Then, as shown in Fig.

그 후, 도 2c에 도시한 바와 같이, 감광성수지막(33)을 현상액에 용해시켜 기판(31) 위에 볼록 패턴(37)을 형성한다.Thereafter, as shown in Fig. 2C, the photosensitive resin film 33 is dissolved in a developing solution to form a convex pattern 37 on the substrate 31. Then, as shown in Fig.

이어서, 도 2d에 도시한 바와 같이, 상기 볼록 패턴(37)에 열처리를 실시하여 표면이 돔형을 가지도록 형성한다.Then, as shown in Fig. 2D, the convex pattern 37 is subjected to heat treatment to form a dome-shaped surface.

그 후, 도 2e에 도시한 바와 같이, 톰형을 가지는 감광성수지 패턴(37) 및 기판(31)의 상부전면에 스핀고팅을 이용하여 오버코팅막(39)을 형성 연속된 요철 표면을 갖게 한다.Thereafter, as shown in FIG. 2E, the photosensitive resin pattern 37 having a tom shape and the overcoat film 39 are formed on the upper surface of the substrate 31 using spin gating to provide a continuous uneven surface.

마지막으로, 도 2f에 도시한 바와 같이, 불투명한 금속을 스퍼터링(sputtering)법으로 적층하여 금속막(38)을 형성한다. 표면이 요철모양이고 대칭형 구조를 가지는 금속막은 입사되는 광을 여러각으로 산란시키는 역할을 하여 반사효율 및 시야각을 향상시키는 역할을 한다.Finally, as shown in FIG. 2F, opaque metal is deposited by a sputtering method to form a metal film 38. The metal film having a concavo-convex shape and a symmetrical structure serves to scatter incident light at various angles, thereby improving reflection efficiency and viewing angle.

그러나, 상기와 같이 대칭형 구조를 가지는 종래 요철의 형태는 반사효율을 향상시키는데 한계가 있었다.However, the conventional concavo-convex shape having a symmetrical structure as described above has limitations in improving the reflection efficiency.

따라서, 본 발명은 외부에서 입사되는 빛의 반사효율을 더욱더 향상시키기 위해서 이루어진 것으로, 요철을 형성하기 위하여 1차 패턴을 형성한 다음 상기 패턴 상부에 유기막을 코팅한 후, 기판을 기울여서 상기 유기막이 한쪽방향으로 몰리도록하여 비대칭구조를 가지는 반사요철층을 형성함으로써 고효율 반사판을 가지는 액정 표시소자를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made in order to further improve the reflection efficiency of light incident from the outside. In order to improve the reflection efficiency of light incident from the outside, a primary pattern is formed to form irregularities, an organic film is coated on the pattern, To form a reflective concavo-convex layer having an asymmetric structure, thereby providing a liquid crystal display element having a highly efficient reflection plate.

기타 본 발명의 목적 및 특징은 이하의 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 기술될 것이다.Other objects and features of the present invention will be described in detail in the following description of the invention and claims.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시소자는 칼리필터 및 공통전극이 형성된 상부기판과 박막 트랜지스터와 비대칭구조를 가지는 요철층이 형성된 반사판과 그 사이에 충진된 액정층을 포함하고 있다.In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention includes an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed, a thin film transistor, a reflector on which an asperity layer having an asymmetric structure is formed, and a liquid crystal layer filled therebetween.

상기 요철층은 각각의 패턴이 어느 한쪽으로 쏠려서 상대적으로 어느 한쪽부분의 두께가 다른쪽에 비해 더 두껍게 형성되어 있으며 요철층 상부에는 불투명한 금속으로 이루어진 반사전극이 형성되어 있다. The concavo-convex layer is formed such that each pattern is directed to one side, and the thickness of one of the opposed portions is relatively thicker than that of the other portion. A reflective electrode made of opaque metal is formed on the uneven layer.                     

상기 박막 트랜지스터는 주사신호가 인가되는 게이트 전극과, 주사신호에 대응하여 데이터 신호를 전송하도록 마련된 액티브층과, 액티브층과 게이트 전극을 전기적으로 격리시켜주는 게이트 절연막과, 액티브층의 상부에 형성되어 데이터 신호를 인가하는 소스 전극과, 데이터 신호를 화소 전극에 인가하는 드레인 전극으로 구성되어 있다.The thin film transistor includes a gate electrode to which a scan signal is applied, an active layer adapted to transmit a data signal in response to the scan signal, a gate insulating film for electrically isolating the active layer from the gate electrode, A source electrode for applying a data signal, and a drain electrode for applying a data signal to the pixel electrode.

또한, 본 발명에 따른 액정 표시소자의 제조방법은 투명한 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성한 후 그 상부에 보호막을 형성하는 단계와; 화소영역의 보호막 상부에 유기막 또는 무기막을 형성한 후, 패터닝하여 제 1요철층을 형성하는 단계와; 상기 제 1요철층 상부 및 보호막 상부에 유기막을 코팅한 후 상기 기판을 소정각도 기울이는 단계와; 기판을 기울인 상태에서 상기 유기막을 경화시켜 제 2요철층을 형성하는 단계와; 상기 제 2요철층 상부에 반사전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: forming a thin film transistor on a transparent substrate and forming a protective film thereon; Forming an organic layer or an inorganic layer on the passivation layer of the pixel region and patterning the organic layer or the inorganic layer to form a first rugged layer; Coating an organic film on the first irregular layer and the protective film and then tilting the substrate at a predetermined angle; Forming a second uneven layer by curing the organic film while tilting the substrate; And forming a reflective electrode on the second rugged layer.

유기막을 코팅한 후 기판을 기울이는 단계에서 유기막은 한쪽으로 쏠리게 되며 이후, 경화과정을 거치게 되면 기울여지 쪽의 두께가 더 두껍게 형성된 비대칭 구조를 가지게 된다. 이와 같이 요철층이 비대칭 구조를 가지게 되면 대칭 구조에 비하여 외부의 빛을 더욱 효과적으로 반사시켜 광반사 효율을 더욱더 향상시킬 수 있다.In the step of tilting the substrate after coating the organic film, the organic film is tilted to one side and then, when the curing process is performed, the tilted side has an asymmetric structure with a thicker thickness. If the uneven layer has an asymmetric structure, the external light can be reflected more effectively than the symmetrical structure, and the light reflection efficiency can be further improved.

이하, 참조한 도면을 통하여 본 발명에 대하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 반사형 액정 표시소자를 도시한 것이고, 도 4는 도 3 에 있어서 반사판 영역을 확대도시한 확대도면이다.FIG. 3 shows a reflection type liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 4 is an enlarged view showing an enlarged view of a reflection plate area in FIG.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 반사형 액정 표시소자는 칼라필터(130)를 포함하는 상부기판(100)과 박막 트랜지스터 및 비대칭 구조를 가지는 요철층(285) 및 반사전극(270)이 형성된 반사판을 포함하고 있는 하부기판(200)과 그 사이에 충진된 액정층(300)으로 구성되어 있다.3, the reflection type liquid crystal display according to the present invention includes an upper substrate 100 including a color filter 130, a thin film transistor, an uneven layer 285 having an asymmetric structure, and a reflective electrode 270 And a liquid crystal layer 300 filled between the lower substrate 200 and the lower substrate 200.

상기 상부기판(100)에는 박막 트랜지스터의 상부 영역에 형성된 블랙매트릭스(110)및 칼라필터(130)의 평탄화를 위한 오버코트막(150)이 형성되어 있으며, 그 상부 전면에는 액정을 구동시키기 위한 공통전극(170)이 형성되어 있다.A black matrix 110 formed in an upper region of the thin film transistor and an overcoat film 150 for planarizing the color filter 130 are formed on the upper substrate 100. A common electrode 150 for driving the liquid crystal (Not shown).

상기 하부기판(200)에 형성된 박막 트랜지스터는 주사 신호가 인가되는 게이트 전극(220)과, 주사 신호에 대응하여 데이터 신호를 전송해주는 액티브층(active layer)(240)과, 상기 액티브층(active layer)(240)과 게이트 전극(220)을 전기적으로 격리시켜주는 게이트 절연막(gate insulator)(230)과, 액티브층(active layer)(240)의 양쪽 측면 상부에 형성되어 데이터 신호를 인가하는 소스 전극(260a)과, 데이터 신호를 반사전극(270)에 인가하는 드레인 전극(260b)으로 구성되어 있으며, 상기 소스/드레인 전극(260a/260b)을 포함하는 박막 트랜지스터를 보호하기 위한 보호막(250)이 추가로 형성되어 있다.The thin film transistor formed on the lower substrate 200 includes a gate electrode 220 to which a scan signal is applied, an active layer 240 for transmitting a data signal in response to a scan signal, A gate insulator 230 for electrically isolating the source electrode 240 and the gate electrode 220 from each other and a source electrode 230 formed on both sides of the active layer 240, And a drain electrode 260b for applying a data signal to the reflective electrode 270. The protective layer 250 for protecting the thin film transistor including the source / drain electrodes 260a / 260b Respectively.

상기 게이트 전극(220)에 하이 레벨(high level)을 갖는 주사신호가 인가되면 액티브층(240)에는 전자가 이동할 수 있는 채널(channel)이 형성되므로 소스 전극(260a)의 데이터 신호가 액티브층(240)을 경유하여 드레인 전극(260b)으로 전달된다. 반면에, 게이트 전극(220)에 로우 레벨(low level)을 갖는 주사 신호가 인가되면 액티브층(240)에 형성된 채널이 차단되므로 드레인 전극(260b)으로 데이터신호의 전송이 중단된다.When a scanning signal having a high level is applied to the gate electrode 220, a channel through which electrons can move is formed in the active layer 240, so that the data signal of the source electrode 260a is applied to the active layer 240 to the drain electrode 260b. On the other hand, when a scan signal having a low level is applied to the gate electrode 220, the channel formed in the active layer 240 is cut off, thereby stopping the transmission of the data signal to the drain electrode 260b.

상기 액티브층(240)은 비정질 실리콘(a-Si)을 증착하여 형성된 반도체층(240b)과, 반도체층(240b)의 양쪽 측면의 상단에 비정질 실리콘을 증착하여 형성된 오믹 접촉층(ohmic contact layer)(240a)으로 형성되어 있다.The active layer 240 includes a semiconductor layer 240b formed by depositing amorphous silicon (a-Si), an ohmic contact layer formed by depositing amorphous silicon on both sides of the semiconductor layer 240b, (240a).

또한, 외부에서 입사되는 광을 효율적으로 반사시키기 위해 형성된 상기 요철층(220)은 가운데를 기준으로 하여 좌우의 높이가 서로 다른 비대칭 형상을 가지고 있으며, 이는 대칭 형상에 비하여 빛을 더욱더 효율적으로 반사시키는 역할을 한다.The uneven layer 220 formed to efficiently reflect light incident from the outside has an asymmetric shape having different heights at left and right with respect to the center. This is because the light is reflected more efficiently than the symmetrical shape It plays a role.

요철층(285)의 상부에는 실질적으로 외부광을 반사시킴과 아울러 박막 트랜지스터의 드레인 전극(260b)과 전기적으로 연결되어 액정을 구동시키는 반사전극(270)이 형성되어 있다. 이때, 반사전극(270)은 Al, Al합금, Ag와 같은 반사율이 우수한 금속물질로 이루어져 있다.An upper portion of the uneven layer 285 is formed with a reflective electrode 270 that substantially reflects external light and is electrically connected to the drain electrode 260b of the thin film transistor to drive the liquid crystal. At this time, the reflective electrode 270 is made of a metal material having excellent reflectivity such as Al, Al alloy, Ag, or the like.

도 4는 요철이 형성된 반사판의 일부영역을 확대한 도면으로, 도시한 바와 같이 보호막(250) 상부에 불규칙적으로 또는 규칙적으로 형성된 패턴들로 이루어진 제 1요철층(280)이 형성되어 있으며, 노출된 보호막(250) 및 제 1요철층(280)의 상부에 유기막으로 이루어지진 제 2요철층(285)이 형성되어 있다. 보호막(250)과 제 2요철층(285) 사이에 형성된 제 1요철층(280)의 모양은 원 또는 사각형등의 다양한 형태를 가질 수 있다.FIG. 4 is an enlarged view of a part of the area of the reflective plate on which irregularities are formed. As shown in FIG. 4, the first irregular layer 280 is formed on the protective layer 250 in irregular or regular patterns. A second uneven layer 285 formed of an organic film is formed on the protective film 250 and the first uneven layer 280. The shape of the first uneven layer 280 formed between the protective film 250 and the second uneven layer 285 may have various shapes such as a circle or a square.

도 5a는 상기 제 1요철층(280)이 가질 수 있는 몇가지 형태의 예를 도시한 것이다. 도면에 도시 한바와 같이 원형 또는 정사각형 또는 마름모등의 형태를 가질 수 있다. 이때, 그 상부에 형성된 제 2요철층(285)은 그 하부에 형성된 제 1요철층(280)의 형태에 상관없이 그 단면이 도 5b에 도시한 바와 같이 모두 동일한다. 즉, 제 1요철층(280)의 상부에 형성된 제 2요철층(285)은 일괄적으로 한쪽의 두께가 높이가 다른 한쪽보다 더 두꺼운 비대칭 구조를 가지고 있으며, 그 폭은 약 3㎛ 이상이다.FIG. 5A shows an example of several forms that the first rugged layer 280 may have. It may have a circular shape, a square shape or a rhombus shape as shown in the drawing. At this time, the second uneven layer 285 formed on the upper part thereof is the same as the section of the first uneven layer 280 formed on the lower part thereof, as shown in FIG. 5B. In other words, the second uneven layer 285 formed on the upper portion of the first uneven layer 280 has an asymmetric structure in which one of the thicknesses is thicker than the other, and the width is about 3 탆 or more.

이하, 도 6a 내지 6e를 통하여 도 3과 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 반사형 액정 표시소자의 박막 트랜지스터 및 반사판의 제조 방법에 관하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a thin film transistor and a reflection plate of a reflection type liquid crystal display device according to the present invention having the structure as shown in FIG. 3 will be described in detail with reference to FIGS. 6A to 6E. FIG.

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이 투명한 기판(210) 상에 금속 물질을 스퍼터링 하여, 포토레지스트(photo resist)를 이용한 사진 식각(photo-etching) 방법으로 패터닝(pattering) 하여 박막 트랜지스터의 게이트 전극(220)을 형성한다.First, as shown in FIG. 6A, a metal material is sputtered on a transparent substrate 210 and patterned by a photo-etching method using a photo resist to form a gate electrode 220 are formed.

그리고, 도 6b에 도시한 바와 같이, 게이트 전극(220) 및 투명한 기판(210)의 SiNx 또는 SiO2 등과 같은 무기물을 전면 증착하여 게이트 절연막(230)을 형성한다. 이후, 게이트 절연막(230) 상에 비정질 실리콘(amorphous-Si)으로 이루어진 반도체층(240b)과 인(P)이 도핑된 n+ 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 접촉층(240a)을 연속 증착한 후, 패터닝하여 박막 트랜지스터의 액티브층(240)을 형성한다.6B, the gate electrode 220 and the inorganic material such as SiNx or SiO2 of the transparent substrate 210 are deposited on the entire surface to form the gate insulating film 230. Then, as shown in FIG. Then, a semiconductor layer 240b made of amorphous-Si and an ohmic contact layer 240a made of n + amorphous silicon doped with phosphorous (P) are successively deposited on the gate insulating layer 230 and then patterned Thereby forming the active layer 240 of the thin film transistor.

다음은, 도 6c에 도시한 바와 같이, 오믹 접촉층(240a)과 게이트 절연막(230) 상에 금속 물질을 전면 증착한 다음 패터닝한다. 패터닝된 금속 물질층은 박막 트랜지스터의 소스 전극(260a) 및 드레인 전극(260b)이 된다.Next, as shown in FIG. 6C, a metal material is entirely deposited on the ohmic contact layer 240a and the gate insulating film 230, and then patterned. The patterned metal material layer becomes the source electrode 260a and the drain electrode 260b of the thin film transistor.

이 후, 소스 전극(260a) 및 드레인 전극(260b) 상에 노출된 오믹 접촉층(240a)을 에칭 작업에 의해 제거하고, 노출된 반도체층(240b)을 포함하여 소스 및 드레인 전극(260a,260b) 및 게이트 절연막(230)상에 SiNx이나 또는 SiO2와 같은 무기물이나, BCB 또는 아크릴과 같은 유기물로 이루어진 보호막(250)을 형성한 후, 박막 트랜지스터의 드레인 전극(260b) 상의 보호막(250) 부분에 마스크 패턴을 이용한 에칭 작업에 의해 제거하고 콘택홀(251)을 형성한다.Thereafter, the ohmic contact layer 240a exposed on the source electrode 260a and the drain electrode 260b is removed by etching and the source and drain electrodes 260a and 260b (including the exposed semiconductor layer 240b) A protective film 250 made of an inorganic material such as SiNx or SiO2 or an organic material such as BCB or acrylic is formed on the gate insulating film 230 and the protective film 250 on the drain electrode 260b of the thin film transistor Is removed by an etching operation using a mask pattern, and a contact hole 251 is formed.

이어서, 도 6d에 도시한 바와 같이, 화소영역에 형성된 보호막(250) 상에 SiNx 또는 SiO2와 같은 무기물이나, BCB 또는 아크릴과 같은 유기물을 형성한 후, 패터닝하여 원 또는 사각의 형태를 가지는 제 1요철층(280)을 형성한다. 이때, 보호막(250) 상에 패턴의 형태로 형성된 제 1요철층(280)들은 불규칙한 분포를 가지도록 형성하거나 규칙적으로 분포하도록 형성할 수 있다.6D, an inorganic material such as SiNx or SiO2, an organic material such as BCB or acrylic is formed on the protective film 250 formed in the pixel region, and then patterned to form a first So that the uneven layer 280 is formed. At this time, the first uneven layers 280 formed in the form of a pattern on the protective film 250 may be formed to have an irregular distribution or be distributed regularly.

이후에, 도 6e에 도시한 바와 같이, 불규칙 또는 규칙적으로 배열된 제 1요철층(280) 및 상기 제 1요철층들 사이에 노출된 보호막(250)의 상부에 BCB, 아크릴, PR 수지등과 같은 유기막을 코팅한 후, 유기막이 경화되기 전에 기판을 소정각도로 기울여 상기 유기막이 어느 한쪽으로 쏠리도록 한다.  Thereafter, as shown in FIG. 6E, BCB, acrylic, PR resin, and the like are formed on the irregularly or regularly arranged first unevenness layer 280 and the protective layer 250 exposed between the first unevenness layers After coating the same organic film, the substrate is tilted at a predetermined angle before the organic film is cured, so that the organic film is moved to one side.

다음으로, 상기 기판을 기울인 상태에서 유기막을 경화시켜 양쪽에 대하여 두께가 서로 다른 제 2요철층(285)을 형성한다. 이때, 유기막을 경화시키기 위한 베이킹(baking) 온도는 100∼300℃이며, 경화방법은 UV경화 또는 열(heat) 경화를 이용할 수 있다. 이때, 기판의 기울임 각 θ는 평평한 면을 기준으로 하여 기판이 90°이하의 각을 가지도록 한다.Next, the organic layer is cured in a state in which the substrate is tilted to form a second uneven layer 285 having a different thickness with respect to both sides. At this time, the baking temperature for curing the organic film is 100 to 300 占 폚, and the curing method may use UV curing or heat curing. At this time, the tilt angle [theta] of the substrate has an angle of not more than 90 [deg.] With reference to a flat surface.

마지막으로, 도 6f에 도시한 바와 같이, 제 2요철층(285) 상부에 Al 또는 Al합금(AlNd; Aluminum-Neodymium) 등과 같은 불투명한 금속층을 증착한 후, 상기 컨택홀(251)을 통하여 드레인 전극(260b)과 연결되도록 반사전극(270)을 형성한다.Finally, as shown in FIG. 6F, an opaque metal layer such as Al or Al-Aluminum (AlNd) is deposited on the second unevenness layer 285, A reflective electrode 270 is formed to be connected to the electrode 260b.

상기한 바와 같이, 본 발명은 반사판에 형성된 요철의 구조를 비대칭 형태로 형성함으로써 반사 효율을 더욱더 향상시킨 것이다. As described above, the present invention improves the reflection efficiency by forming the asperities formed on the reflection plate in an asymmetrical form.

본 발명은 실시예에 제시된 반사형 액정 표시소자 이외에도 투과영역과 반사영역이 한 화소내 함께 형성된 반투과형 액정 표시소자의 반사부에도 적용될 수 있다.The present invention can be applied to a reflective portion of a transflective liquid crystal display element in which a transmissive region and a reflective region are formed together in one pixel in addition to the reflective liquid crystal display element shown in the embodiments.

반투과형 액정 표시소자의 경우에는 투명전극 형성시 제 1요철층을 함께 형성 할 수 있기 때문에 제 1요철층 형성에 따른 추가 공정 즉, 포토레지스트 도포, develop, 식각, 스트립(strip)등을 포함하는 패터닝 공정을 생략 할 수 있으며, 이에 따라 제조 비용도 줄일 수 있는 잇점이 있다.In the case of the transflective liquid crystal display device, since the first uneven layer can be formed together when the transparent electrode is formed, it is possible to form the first uneven layer by performing the additional process for forming the first uneven layer such as the photoresist application, develop, etch, strip, It is possible to omit the patterning process, thereby reducing the manufacturing cost.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 반사판에 형성되는 요철층의 모양을 어느 한쪽이 다른 한쪽에 비하여 두꺼운 비대칭 구조로 형성함으로써, 종래에 비하여 반사휘도를 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the shape of the concavo-convex layer formed on the reflection plate is formed into a thick asymmetric structure as compared with the other one, so that the reflection brightness can be further improved as compared with the conventional one.

Claims (19)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 스위칭 영역과 화소영역이 정의된 기판과;A substrate on which a switching region and a pixel region are defined; 상기 스위칭 영역에 형성되고, 게이트 전극, 소스 전극, 그리고 드레인 전극을 가진 박막 트랜지스터와;A thin film transistor formed in the switching region and having a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode; 상기 박막 트랜지스터 및 화소영역에 형성된 보호막과;A protective film formed on the thin film transistor and the pixel region; 상기 화소영역의 보호막 상에 형성된 제 1요철층과;A first rugged layer formed on the protective film of the pixel region; 상기 제 1요철층 및 그 사이의 보호막 상에 형성되고, 어느 한쪽의 두께가 다른 한쪽의 두께에 비하여 두껍게 형성된 제 2요철층과;A second uneven layer formed on the first uneven layer and a protective film therebetween, the second uneven layer being thicker than the thickness of one of the first uneven layer and the other one; 상기 제 2요철층 상에 형성되고 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 반사전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.And a reflective electrode formed on the second uneven layer and connected to a drain electrode of the thin film transistor. 제 5항에 있어서, 제 1요철층은 불규칙적으로 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first uneven layer is irregularly distributed. 제 5항에 있어서, 제 1요철층은 규칙적으로 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first uneven layer is regularly distributed. 제 5항에 있어서, 상기 제 1요철층은 BCB, 아크릴, 수지 PR와 같은 유기물인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first rugged layer is an organic material such as BCB, acrylic or resin PR. 제 5항에 있어서, 상기 제 1요철층은 SiOx 또는 SiNx와 같은 무기물인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first rugged layer is an inorganic material such as SiOx or SiNx. 제 5항에 있어서, 상기 제 2요철층은 BCB, 아크릴, 수지 PR와 같은 유기물인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the second uneven layer is an organic material such as BCB, acrylic, and resin PR. 제 5항에 있어서, 상기 제 1요철층은 원형상인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first uneven layer is a circular shape. 제 5항에 있어서, 상기 제 1요철층은 사각형상인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the first uneven layer is a quadrangular shape. 제 5항에 있어서, 상기 제 1요철층의 폭은 3㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the width of the first uneven layer is 3 m or more. 스위칭 영역과 화소 영역이 정의된 기판을 준비하는 단계와;Preparing a substrate on which a switching region and a pixel region are defined; 상기 스위칭 영역에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;Forming a thin film transistor in the switching region; 상기 박막 트랜지스터 및 화소영역에 보호막을 형성하는 단계와;Forming a protective film on the thin film transistor and the pixel region; 상기 화소영역의 보호막 상에 제 1요철층을 형성하는 단계와;Forming a first uneven layer on the protective film of the pixel region; 상기 제 1요철층 및 그 사이의 보호막 상에 유기물을 도포하는 단계와;Applying an organic material on the first unevenness layer and a protective film therebetween; 상기 기판을 기울이는 단계와;Tilting the substrate; 상기 기판을 기울인 상태에서 유기물을 베이킹한 후, 경화시켜 기울린 쪽의 두께가 다른 쪽 보다 더 두꺼운 제 2요철층을 형성하는 단계와;Baking the organic material in an inclined state of the substrate, curing the organic material, and forming a second concavo-convex layer having a thickness greater than that of the other side; 상기 제 2요철층 상에 반사전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.And forming a reflective electrode on the second unevenness layer. 제 14항에 있어서, 상기 박막 트랜지스터를 형성하는 단계는 투명한 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계와;15. The method of claim 14, wherein forming the thin film transistor comprises: forming a gate electrode on a transparent substrate; 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 증착하는 단계와;Depositing a gate insulating film on the gate electrode; 상기 게이트 전극 상부 및 상기 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계와;Forming a semiconductor layer on the gate electrode and on the gate insulating layer; 상기 반도체층 상부 측면에 형성된 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.And forming source and drain electrodes on the upper side of the semiconductor layer. 제 14항에 있어서, 상기 기판을 기울이는 기울기 각은 평평한 면을 기준으로 90° 미만인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.15. The method of claim 14, wherein the inclination angle at which the substrate is tilted is less than 90 DEG with respect to a flat surface. 삭제delete 제 14항에 있어서, 상기 유기물의 베이킹 온도는 100∼300℃ 인 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.15. The method of claim 14, wherein the organic material has a baking temperature of 100 to 300 캜. 제 14항에 있어서, 상기 유기물의 경화 방법은 열 도는 UV를 이용하는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.15. The method of claim 14, wherein the organic material is cured using heat or UV.
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