KR100943258B1 - Liquid crystal display apparatus and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

제조 원가를 절감하기 위한 액정표시장치를 개시한다. 액정표시장치는 투명 절연기판 상에 박막 트랜지스터, 보호막, 화소 전극, 유기 절연막 및 반사 전극이 형성된다. 유기 절연막은 반사 영역 상에 형성되고, 반사 전극은 유기 절연막의 상면에 위치한다. 유기 절연막의 패턴 형성 시, 하나의 마스크를 이용하여 콘택홀 영역을 제거하고 유기 절연막의 상면에 복수의 요철을 형성한다. 이에 따라, 유기 절연막의 패턴을 형성하기 위한 공정을 단순화할 수 있고, 조립성을 향상시킬 수 있다.A liquid crystal display device for reducing manufacturing costs is disclosed. In a liquid crystal display device, a thin film transistor, a protective film, a pixel electrode, an organic insulating film, and a reflective electrode are formed on a transparent insulating substrate. The organic insulating film is formed on the reflective region, and the reflective electrode is located on the upper surface of the organic insulating film. In forming the pattern of the organic insulating layer, the contact hole region is removed using one mask, and a plurality of irregularities are formed on the upper surface of the organic insulating layer. Thereby, the process for forming the pattern of an organic insulating film can be simplified, and assembly property can be improved.

반사-투과형, 유기 절연막, 마스크Reflective-transmissive, organic insulating film, mask

Description

액정표시장치 및 이의 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}Liquid crystal display and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2f는 도 1에 도시된 액정표시장치의 제조 과정을 나타낸 단면도이다.2A to 2F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display shown in FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5f는 도 4에 도시된 액정표시장치의 제조 과정을 나타낸 단면도이다.5A through 5F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the LCD shown in FIG. 4.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.6 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100, 200, 300, 400 : 액정표시장치 110 : 투명 절연기판100, 200, 300, 400: liquid crystal display 110: transparent insulating substrate

120 : 박막 트랜지스터 130 : 게이트 절연막120 thin film transistor 130 gate insulating film

140 : 보호막 142 : 콘택홀140: protective film 142: contact hole

150,320 : 화소 전극 160, 210, 310, 410 : 유기 절 연막150, 320: pixel electrodes 160, 210, 310, 410: organic insulating film

170, 330 : 반사 전극170, 330: reflective electrode

본 발명은 액정표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제조 원가를 절감하기 위한 액정표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof for reducing the manufacturing cost.

일반적으로, 광을 이용하여 화상을 표시하는 액정표시장치는 상기 광을 제공받는 방법에 따라 투과형 액정표시장치, 반사형 액정표시장치 및 반사-투과형 액정표시장치로 분류할 수 있다. 상기 투과형 액정표시장치는 내장된 백라이트 어셈블리로부터 제공되는 광을 이용하여 화상을 표시한다. 상기 반사형 액정표시장치는 외부로부터 제공되는 외부광을 이용하여 화상을 표시한다. 상기 반사-투과형 액정표시장치는 상기 백라이트 어셈블리 및 상기 자연광을 이용하여 화상을 표시한다.In general, a liquid crystal display device that displays an image using light may be classified into a transmissive liquid crystal display device, a reflective liquid crystal display device, and a reflection-transmissive liquid crystal display device according to a method of receiving the light. The transmissive liquid crystal display displays an image using light provided from a built-in backlight assembly. The reflective liquid crystal display displays an image by using external light provided from the outside. The reflection-transmissive liquid crystal display displays an image using the backlight assembly and the natural light.

상기 반사-투과형 액정표시장치는 외부로부터 제공되는 외부광의 광량이 부족한 곳에서는 내부에 구비된 상기 백라이트 어셈블리로부터 제공되는 광을 액정패널에 투과시켜 영상을 표시한다. 반면, 상기 외부광의 광량이 풍부한 곳에서는 상기 외부광을 입사받아 이를 상기 액정패널에 반사하여 영상을 표시한다.The reflection-transmissive liquid crystal display displays an image by transmitting the light provided from the backlight assembly provided therein to the liquid crystal panel when the amount of external light provided from the outside is insufficient. On the other hand, in a place where the amount of external light is abundant, the external light is incident and reflected on the liquid crystal panel to display an image.

상기 반사-투과형 액정표시장치의 액정패널은 어레이 층을 갖는 하부 기판, 상기 광을 이용하여 소정의 색을 발현하는 컬러필터 층을 갖고 상기 하부 기판과 서로 대향하여 결합하는 상부 기판 및 상기 하부 및 상부 기판 사이에 개재되는 액 정층을 포함한다.The liquid crystal panel of the reflection-transmissive liquid crystal display device has a lower substrate having an array layer, an upper substrate having a color filter layer expressing a predetermined color using the light, and coupled to the lower substrate so as to face each other, and the lower and upper portions. And a liquid crystal layer interposed between the substrates.

상기 어레이 층은 상기 액정층에 신호 전압을 인가하고 차단하기 위한 스위칭 소자인 박막 트랜지스터 매트릭스 형상으로 형성된다. 상기 박막 트랜지스터의 상부에는 보호막, 화소 전극, 유기 절연막 및 반사 전극이 순차적으로 형성된다. 상기 반사 전극은 상기 외부광을 반사하여 상기 컬러필터 층으로 상기 외부광을 제공한다. 이때, 상기 외부광의 정면 반사하여 균일한 휘도 분포를 나타내기 위해 상기 유기 절연막의 상부에 복수의 요철을 형성한다. 따라서, 상기 유기 절연막을 패터닝하기 위해 두 개의 마스크가 요구된다. 즉, 콘택홀을 형성하기 위한 제1 마스크 및 상기 복수의 요철을 형성하기 위한 하프 톤 마스크(half-tone mask)인 제2 마스크가 사용된다.The array layer is formed in the shape of a thin film transistor matrix which is a switching element for applying and blocking a signal voltage to the liquid crystal layer. A passivation layer, a pixel electrode, an organic insulating layer, and a reflective electrode are sequentially formed on the thin film transistor. The reflective electrode reflects the external light to provide the external light to the color filter layer. In this case, a plurality of irregularities are formed on the organic insulating layer in order to front-reflect the external light to show a uniform luminance distribution. Thus, two masks are required to pattern the organic insulating film. That is, a first mask for forming a contact hole and a second mask that is a half-tone mask for forming the plurality of irregularities are used.

상기 투과형 액정표시장치는 상기 외부광의 정면 반사를 위한 상기 복수의 요철을 형성할 필요가 없으므로, 유기 절연막을 패터닝 할 경우에 상기 콘택홀을 형성하기 위한 제1 마스크 하나만 사용된다.Since the transmissive liquid crystal display does not need to form the plurality of irregularities for front reflection of the external light, only one first mask for forming the contact hole is used when patterning the organic insulating layer.

따라서, 상기 반사-투과형 액정표시장치는 상기 투과형 액정표시장치 보다 상기 하부 기판을 형성하기 위한 마스크가 한 개가 더 필요하므로, 저조 원감의 부담이 크다. 또한, 상기 백라이트 어셈블리로부터 제공되는 광을 투과하는 투과 영역에서 상기 광이 상기 복수의 요철이 형성된 유기 절연막을 투과해야하므로, 상기 광의 투과율이 낮아져 표시 품질이 저하된다.Therefore, the reflection-transmissive liquid crystal display device requires one more mask for forming the lower substrate than the transmissive liquid crystal display device, and thus the burden of low contrast is great. In addition, since the light must pass through the organic insulating film on which the plurality of irregularities are formed in the transmission region that transmits the light provided from the backlight assembly, the transmittance of the light is lowered and the display quality is lowered.

본 발명의 목적은 제조 공정을 단순화하고 제품의 원가를 절감하기 위한 액 정표시장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device for simplifying the manufacturing process and reducing the cost of the product.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 액정표시장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a method of manufacturing the above liquid crystal display device.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 액정표시장치는, 절연 기판, 박막 트랜지스터, 보호막, 화소 전극, 유기 절연막 및 반사 전극을 포함하여 이루어진다.According to an aspect of the present invention, a liquid crystal display device includes an insulating substrate, a thin film transistor, a protective film, a pixel electrode, an organic insulating film, and a reflective electrode.

상기 절연 기판은 트랜지스터 영역, 투과 영역 및 반사영역으로 구분된다. 상기 박막 트랜지스터는 상기 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 형성된다. 상기 보호막은 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 절연기판 상에 형성되고, 상기 박막 트랜지스터의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀을 갖는다. 상기 화소 전극은 상기 콘택홀 및 상기 투과 및 반사 영역의 상기 보호막 상에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 박막 트랜지스터와 접한다. 상기 유기 절연막은 상기 반사 영역의 상기 화소 전극 상에 형성된다. 상기 반사 전극은 상기 유기 절연막 상에 형성되고, 외부로부터 제공되는 광을 반사한다.The insulating substrate is divided into a transistor region, a transmission region, and a reflection region. The thin film transistor is formed in the transistor region on the insulating substrate. The passivation layer is formed on the insulating substrate on which the thin film transistor is formed, and has a contact hole for exposing a portion of the thin film transistor. The pixel electrode is formed on the contact hole and the passivation layer of the transmissive and reflective region and contacts the thin film transistor through the contact hole. The organic insulating layer is formed on the pixel electrode in the reflective region. The reflective electrode is formed on the organic insulating film and reflects light provided from the outside.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 먼저, 상기 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 박막 트랜지스터를 형성한다. 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 기판 상에 보호막을 형성한다. 상기 보호막의 일부를 식각하여 상기 박막 트랜지스터의 일측을 노출하기 위한 콘택홀을 형성한다. 상기 콘택홀 및 투과 영역 및 반사 영역의 상기 보호막 상에 화소 전극을 형성한다. 상기 콘택홀 및 상기 화소 전극이 형성된 상기 보호막 상에 유기 절연막을 증착한다. 상기 트랜지스터 영역 및 상기 투과 영역의 상기 유기 절연막 및 상기 반사 영역의 유기 절연막의 일부분을 제거하고, 상기 유기 절연막의 상면에 복수의 요철부를 형성한다. 상기 유기 절연막 상에 반사 전극을 형성한다.Further, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to one feature for realizing the above object of the present invention, first, a thin film transistor is formed in the transistor region on the insulating substrate. A protective film is formed on the substrate on which the thin film transistor is formed. A portion of the passivation layer is etched to form a contact hole for exposing one side of the thin film transistor. A pixel electrode is formed on the passivation layer of the contact hole, the transmission region, and the reflection region. An organic insulating layer is deposited on the passivation layer on which the contact hole and the pixel electrode are formed. A portion of the organic insulating film of the transistor region and the transmissive region and the organic insulating film of the reflective region are removed, and a plurality of uneven portions are formed on an upper surface of the organic insulating film. A reflective electrode is formed on the organic insulating film.

이러한 액정표시장치 및 이의 제조 방법에 의하면, 상기 유기 절연막의 패턴을 형성하기 위한 공정을 단순화할 수 있고, 제조 원가를 절감할 수 있다.According to the liquid crystal display and the manufacturing method thereof, the process for forming the pattern of the organic insulating layer can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 액정표시장치(100)는 투명 절연 기판(110), 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, TFT)(120), 상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성된 보호막(140), 상기 보호막(140) 상에 형성된 화소 전극(150), 상기 화소 전극(150) 상에 형성된 유기 절연막(160) 및 상기 유기 절연막(160) 상에 형성된 반사 전극(170)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the liquid crystal display device 100 according to the present invention includes a transparent insulating substrate 110, a thin film transistor (TFT) 120 formed on the transparent insulating substrate 110, The passivation layer 140 formed on the transparent insulating substrate 110 on which the TFT 120 is formed, the pixel electrode 150 formed on the passivation layer 140, and the organic insulating layer 160 formed on the pixel electrode 150. And a reflective electrode 170 formed on the organic insulating layer 160.

보다 상세히는, 스위칭 소자인 상기 TFT(120)는 상기 투명 절연 기판(110)의 TFT 영역(D1)에 형성된다. 상기 TFT(120)는 게이트 라인(미도시)으로부터 분기되어 게이트 신호를 인가 받는 게이트 전극(121), 상기 게이트 전극(121)의 상부에 형성된 액티브 층(122), 상기 액티브 층(122)의 상부에 형성된 오믹 콘택층(123), 오믹콘택층(123)의 상부에 형성된 소오스 및 드레인 전극(124, 125)을 포함한다. In more detail, the TFT 120, which is a switching element, is formed in the TFT region D1 of the transparent insulating substrate 110. The TFT 120 branches from a gate line (not shown) to receive a gate signal, an active layer 122 formed on the gate electrode 121, and an upper portion of the active layer 122. And a source and drain electrodes 124 and 125 formed on the ohmic contact layer 123 and the ohmic contact layer 123.                     

상기 게이트 전극(121)이 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에는 금속물질과 접착력이 좋고 계면에 공기층 형성을 억제하는 산화실리콘(SiO2)이나 질화실리콘(SiNX)과 같은 무기 절연물질인 게이트 절연막(130)을 형성한다.A gate insulating film, which is an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN X ), which has good adhesion to a metal material and suppresses formation of an air layer at an interface on the transparent insulating substrate 110 on which the gate electrode 121 is formed. 130 is formed.

상기 게이트 절연막(130)의 상부에는 상기 게이트 전극(121)과 대응하는 위치에 비정질실리콘으로 이루어진 상기 액티브 층(122) 및 n+ 비정질실리콘으로 이루어진 상기 오믹 콘택층(123)이 순차적으로 적층된다. 이때, 상기 오믹 콘택층(123)은 중앙부가 시각되어 상기 액티브 층(122)의 일부분을 노출하는 채널 영역을 형성한다.The active layer 122 made of amorphous silicon and the ohmic contact layer 123 made of n + amorphous silicon are sequentially stacked on the gate insulating layer 130 at a position corresponding to the gate electrode 121. In this case, the ohmic contact layer 123 may be viewed at a central portion to form a channel region exposing a portion of the active layer 122.

상기 중앙부를 중심으로 두 개로 분리된 상기 오믹 콘택층(123)의 상면에는 상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)이 각각 구비된다. 상기 소오스 및 드레인 전극(124)은 일측이 상기 오믹 콘택층(123)의 상면에 위치하고, 타측이 상기 게이트 절연막(130)의 상면에 위치한다. 즉, 상기 소오스 및 드레인 전극(124)은 상기 오믹 콘택층(123)과 접하면서 상기 TFT 영역(D1)의 상기 게이트 절연막(130)과 접한다.The source and drain electrodes 124 and 125 are respectively provided on an upper surface of the ohmic contact layer 123 separated into two around the central portion. One end of the source and drain electrodes 124 may be disposed on an upper surface of the ohmic contact layer 123, and the other end thereof may be disposed on an upper surface of the gate insulating layer 130. In other words, the source and drain electrodes 124 contact the ohmic contact layer 123 and the gate insulating layer 130 of the TFT region D1.

상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에 상기 보호막(140)이 구비된다. 상기 보호막(140)은 상기 투명 절연 기판(110)의 전 영역에 도포된다. 이때, 상기 보호막(140)은 상기 TFT 영역(D1)에서는 상기 TFT(120)의 상부에 위치하여 상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)과 접한다. 상기 보호막(140)은 상기 투과 영역(D2) 및 상기 반사 영역(D3)에서는 상기 게이트 절연막(130)의 상면에 위 치한다. 상기 보호막(140)은 일부분이 식각되어 상기 드레인 전극(125)의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀(142)을 갖는다.The passivation layer 140 is provided on the transparent insulating substrate 110 on which the TFT 120 is formed. The passivation layer 140 is applied to the entire area of the transparent insulating substrate 110. In this case, the passivation layer 140 is positioned above the TFT 120 in the TFT region D1 to contact the source and drain electrodes 124 and 125. The passivation layer 140 is positioned on the top surface of the gate insulating layer 130 in the transmission region D2 and the reflection region D3. A portion of the passivation layer 140 is etched to have a contact hole 142 for exposing a portion of the drain electrode 125.

상기 보호막(140)의 상부에는 상기 화소 전극(150)이 구비된다. 상기 화소 전극(150)은 상기 콘택홀(142) 및 상기 투과 및 반사 영역(D2, D3)에 위치한다. 이때, 상기 화소 전극(150)은 상기 콘택홀(142)을 이용하여 상기 드레인 전극(125)과 접한다. 따라서, 상기 화소 전극(150)은 상기 콘택홀(142)을 이용하여 상기 TFT(120)로부터 신호 전압을 인가받을 수 있다.The pixel electrode 150 is disposed on the passivation layer 140. The pixel electrode 150 is positioned in the contact hole 142 and the transmission and reflection regions D2 and D3. In this case, the pixel electrode 150 is in contact with the drain electrode 125 using the contact hole 142. Therefore, the pixel electrode 150 may receive a signal voltage from the TFT 120 using the contact hole 142.

상기 화소 전극(150)의 상부에는 상기 유기 절연막(160)이 구비된다. 상기 유기 절연막(160)은 상기 반사 영역(D3)위치한다. 상기 유기 절연막(160)의 상면에는 상기 액정표시장치(100)의 외부로부터 입사되는 외부광을 정면 반사하기 위한 복수의 요철(161)을 형성한다.The organic insulating layer 160 is provided on the pixel electrode 150. The organic insulating layer 160 is positioned in the reflective region D3. A plurality of recesses and protrusions 161 for front reflection of external light incident from the outside of the liquid crystal display device 100 are formed on the upper surface of the organic insulating layer 160.

상기 유기 절연막(160)의 상부에는 상기 반사 전극(170)이 구비된다. 상기 반사 전극(170)은 상기 투명 절연기판(110)의 상부로 입사되는 상기 외부광을 반사하고, 상기 유기 절연막(160)의 복수의 요철(161) 상에 형성되어 상기 외부광을 정면 반사시킨다.The reflective electrode 170 is provided on the organic insulating layer 160. The reflective electrode 170 reflects the external light incident on the transparent insulating substrate 110, and is formed on the uneven portions 161 of the organic insulating layer 160 to frontally reflect the external light. .

상기 반사 영역(D3)에는 상기 유기 절연막(160) 및 상기 반사 전극(170)이 형성된다. 반면에, 상기 투과 영역(D2)에는 상기 유기 절연막(160) 및 상기 반사 전극(170)이 형성되지 않으므로, 상기 투명 절연기판(110)의 아래에 구비되는 백라이트 어셈블리(미도시)로부터 제공되는 내부광을 투과한다.The organic insulating layer 160 and the reflective electrode 170 are formed in the reflective region D3. On the other hand, since the organic insulating layer 160 and the reflective electrode 170 are not formed in the transmission region D2, an interior provided from a backlight assembly (not shown) provided under the transparent insulating substrate 110. It transmits light.

따라서, 상기 액정표시장치(100)는 투과 모드에서는 상기 투과 영역(D2)을 통해 투과되는 상기 내부광을 이용하여 화상을 표시하고, 반사 모드에서는 상기 반사 영역(D3)의 상기 반사 전극(170)에 의해 반사된 상기 외부광을 이용하여 화상을 표시한다.Therefore, the liquid crystal display 100 displays an image using the internal light transmitted through the transmission area D2 in the transmission mode, and the reflection electrode 170 of the reflection area D3 in the reflection mode. An image is displayed using the external light reflected by the.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치(100)는 상기 유기 절연막(160)이 상기 반사 영역(D3)에만 존재하고 상기 투과 영역(D2)에서는 존재하지 않는다. 따라서, 상기 액정표시장치(100)가 투과 모드에서 동작할 경우, 상기 백라이트 어셈블리로부터 제공된 상기 내부광이 상기 유기 절연막(160)을 투과하지 않으므로, 투과 모드에서의 광의 투과율을 향상시킬 수 있다.As described above, in the liquid crystal display device 100 according to the present invention, the organic insulating layer 160 exists only in the reflective region D3 and does not exist in the transmission region D2. Therefore, when the liquid crystal display 100 operates in the transmissive mode, since the internal light provided from the backlight assembly does not transmit through the organic insulating layer 160, the transmittance of the light in the transmissive mode may be improved.

도 2a 내지 도 2f는 도 1에 도시된 액정표시장치의 제조 과정을 나타낸 단면도이다.2A to 2F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display shown in FIG. 1.

도 2a를 참조하면, 유리나 석영 또는 사파이어와 같은 재질로 형성된 상기 투명 절연기판(110) 상에 도전성 금속을 증착한 후, 제1 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 도전성 금속을 패터닝하여 상기 게이트 라인 및 상기 게이트 전극(121)을 형성한다. 이때, 상기 게이트 라인은 제1 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 게이트 전극(121)은 상기 게이트 라인으로부터 소정 면적 돌출되어 상기 TFT 영역(D1)에 형성된다. 상기 게이트 라인 및 게이트 전극(121)을 형성하기 위한 상기 도전성 금속으로는 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 등이 사용되며, 이중에서도 주로 알루미늄(Al)이 사용된다. 상기 도 2a에서는 상기 게이트 전극(121)을 단일막으로 형성하였으나, 이중막으로도 형성이 가능하다.Referring to FIG. 2A, after depositing a conductive metal on the transparent insulating substrate 110 formed of a material such as glass, quartz, or sapphire, patterning the conductive metal through a photolithography process using a first mask to form the gate line. And the gate electrode 121. In this case, the gate line extends in the first direction, and the gate electrode 121 protrudes a predetermined area from the gate line and is formed in the TFT region D1. Aluminum (Al), chromium (Cr), molybdenum (Mo), etc. are used as the conductive metal for forming the gate line and the gate electrode 121, and aluminum (Al) is mainly used. In FIG. 2A, the gate electrode 121 is formed as a single layer, but a double layer may be formed.

상기 게이트 라인 및 상기 게이트 전극(121)이 형성된 상기 투명 절연기판(110) 상에 상기 게이트 절연막(130)을 증착한다. 상기 게이트 절연막(130)은 플라즈마 화학기상증착(plasma-enhanced chemical vapor deposition : 이하, PECVD) 방법에 의해 증착되며, 약 4500Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다.The gate insulating layer 130 is deposited on the transparent insulating substrate 110 on which the gate line and the gate electrode 121 are formed. The gate insulating layer 130 is deposited by a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, and preferably has a thickness of about 4500 kPa.

상기 게이트 절연막(130)을 형성한 후에는 비정질 실리콘막 및 n+ 층이 도핑된 비정질 실리콘막을 상기 PECVD 방법에 의해 순차적으로 증착한다. 상기 비정질 실리콘막 및 상기 n+ 층이 도핑된 비정질 실리콘막은 제2 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 패터닝되어 상기 TFT 영역(D1)에 상기 액티브층(122) 및 상기 오믹 콘택층(123)을 형성한다. 이때, 상기 액티브층(122)의 일부분을 노출시켜 채널 영역을 형성하기 위해 상기 오믹 콘택층(123)의 중앙부가 일부분 식각된다. 상기 액티브층(122)은 약 2000Å의 두께를 갖는 것이 바람직하고, 상기 오믹 콘택층(123)은 약 500Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다.After the gate insulating layer 130 is formed, an amorphous silicon film and an amorphous silicon film doped with an n + layer are sequentially deposited by the PECVD method. The amorphous silicon film and the amorphous silicon film doped with the n + layer are patterned by a photolithography process using a second mask to form the active layer 122 and the ohmic contact layer 123 in the TFT region D1. . In this case, the center portion of the ohmic contact layer 123 is partially etched to expose a portion of the active layer 122 to form a channel region. The active layer 122 preferably has a thickness of about 2000 GPa, and the ohmic contact layer 123 preferably has a thickness of about 500 GPa.

상기 액티브층(122) 및 오믹 콘택층(123)이 형성된 상기 게이트 절연(130) 상에 상기 도전성 금속을 증착한다. 상기 도전성 금속은 제3 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 패터닝되어 데이터 신호를 전송하기 위한 데이터 라인(미도시), 상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)을 형성한다. 이때, 상기 소오스 전극(124)은 상기 데이터 라인으로부터 소정 면적으로 돌출되어 상기 TFT 영역(D1)에 형성된다. 상기 소오스 전극(124) 및 상기 드레인 전극(125)의 사이에는 상기 채널 영역이 위치한다.The conductive metal is deposited on the gate insulation 130 on which the active layer 122 and the ohmic contact layer 123 are formed. The conductive metal is patterned through a photolithography process using a third mask to form a data line (not shown), the source and drain electrodes 124 and 125 for transmitting a data signal. In this case, the source electrode 124 protrudes from the data line to a predetermined area and is formed in the TFT region D1. The channel region is positioned between the source electrode 124 and the drain electrode 125.

상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)의 상부 및 상기 게이트 절연막(130) 상에 상기 보호막(140)을 증착한다. 상기 보호막(140)은 TFT 영역(D1)에서 상기 TFT(120)의 상부에 위치하고, 상기 투과 및 반사 영역(D2, D3)에서는 상기 게이트 절연막(130)의 상부에 위치한다. 상기 보호막(140)은 산화실리콘(SiO2)이나 질화실리콘(SiNX)과 같은 무기 절연물질인로 이루어지며, 약 2000Å 두께를 갖는 것이 바람직하다.The passivation layer 140 is deposited on the source and drain electrodes 124 and 125 and on the gate insulating layer 130. The passivation layer 140 is positioned above the TFT 120 in the TFT region D1 and above the gate insulating layer 130 in the transmission and reflection regions D2 and D3. The passivation layer 140 is made of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN X ), and preferably has a thickness of about 2000 μs.

도 2b를 참조하면, 상기 보호막(140)은 제4 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 보호막(140)의 일부분을 식각하여 상기 콘택홀(142)을 형성한다.Referring to FIG. 2B, the passivation layer 140 forms a contact hole 142 by etching a portion of the passivation layer 140 through a photolithography process using a fourth mask.

도 2c를 참조하면, 상기 콘택홀(142) 및 상기 보호막(140)의 상부에 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : 이하, ITO)와 같이 전도성 투명 재질로 이루어진 화소 전극(150)을 도포한다. 상기 화소 전극(150)은 제5 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1) 중에서 상기 콘택홀(142)을 제외한 나머지 영역에 위치한 화소 전극(150)이 제거된다. 따라서, 상기 화소 전극(150)은 상기 콘택홀(142) 및 상기 반사 및 투과 영역(D2, D3)의 상기 보호막(140) 상부에 형성된다.Referring to FIG. 2C, a pixel electrode 150 made of a conductive transparent material such as indium tin oxide (ITO) is coated on the contact hole 142 and the passivation layer 140. The pixel electrode 150 is removed from the TFT region D1 in the remaining region of the TFT region D1 except for the contact hole 142 through a photolithography process using a fifth mask. Accordingly, the pixel electrode 150 is formed on the contact hole 142 and the passivation layer 140 in the reflective and transmissive regions D2 and D3.

도 2d 및 도 2e를 참조하면, 상기 화소 전극(150)이 형성된 상기 투명 절연기판(110)의 전 영역에 상기 유기 절연막(160)을 증착한다. 상기 유기 절연막(160)은 제6 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1) 및 상기 투과 영역(D2)에 위치한 유기 절연막(160)이 제거된다. 따라서, 상기 유기 절연막(160)은 상기 반사 영역(D3)의 상기 화소 전극(150) 상에 위치한다. 이때, 상기 반사 영역(D3)의 상기 유기 절연막(160)을 일부분 제거하여 기둥 형상의 유기 절연막(160) 을 형성한다. 상기 기둥 형상의 유기 절연막(160)은 소정 간격으로 이격되어 형성된다. 2D and 2E, the organic insulating layer 160 is deposited on the entire region of the transparent insulating substrate 110 on which the pixel electrode 150 is formed. In the organic insulating layer 160, the organic insulating layer 160 positioned in the TFT region D1 and the transmission region D2 is removed through a photolithography process using a sixth mask. Therefore, the organic insulating layer 160 is positioned on the pixel electrode 150 of the reflective region D3. In this case, the organic insulating layer 160 of the reflective region D3 is partially removed to form the columnar organic insulating layer 160. The columnar organic insulating layer 160 is formed to be spaced apart at a predetermined interval.

도 2f를 참조하면, 상기 소정 간격으로 이격되어 형성된 유기 절연막(160)은 열처리에 의해 상기 기둥 형상의 유기 절연막(160)이 녹아 리플로우(reflow)가 발생한다. 리플로우로 인해 상기 유기 절연막(160)의 상면에 복수의 요철(161)이 형성된다. 바람직하게는, 상기 복수의 요철(161)은 약 5 ~ 15도의 주경사도를 갖는다. 상기 복수의 요철(161)이 형성된 상기 유기 절연막(160)은 베이크 공정에 의해 경화된다.Referring to FIG. 2F, in the organic insulating layer 160 spaced apart from each other by the predetermined interval, the columnar organic insulating layer 160 is melted by heat treatment to generate a reflow. Due to the reflow, a plurality of irregularities 161 are formed on the upper surface of the organic insulating layer 160. Preferably, the plurality of irregularities 161 have a major inclination of about 5 to 15 degrees. The organic insulating layer 160 having the plurality of irregularities 161 is cured by a baking process.

상기 유기 절연막(160)이 형성된 상기 투명 절연기판(110)의 전영역에 상기 반사 전극(170)을 형성하기 위한 도전성 금속을 증착한다. 상기 도전성 금속은 약 1500 ~ 4000Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다. 상기 도전성 금속은 제7 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1) 및 상기 투과 영역(D2)의 도전성 금속이 제거되어 상기 반사 전극(170)을 형성한다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 반사 전극(170)은 반사 상기 유기 절연막(160) 상에 위치하고, 반사 모드에서 상기 외부광을 반사시켜 화상을 표시할 수 있도록 한다. 이때, 상기 반사 전극(170)은 상기 유기 절연막의 복수의 요철(161)로 인해 엠보싱 형상을 갖는다. 상기 반사 전극은 상기 엠보싱을 이용하여 상기 외부광을 정면 반사하므로, 정면 휘도를 향상시킬 수 있다.A conductive metal for forming the reflective electrode 170 is deposited on the entire region of the transparent insulating substrate 110 on which the organic insulating layer 160 is formed. It is preferable that the said conductive metal has a thickness of about 1500-4000 kPa. The conductive metal may be removed to form the reflective electrode 170 by removing the conductive metal of the TFT region D1 and the transmission region D2 through a photolithography process using a seventh mask. That is, as shown in FIG. 1, the reflective electrode 170 is positioned on the reflective organic insulating layer 160, and reflects the external light in the reflective mode to display an image. In this case, the reflective electrode 170 has an embossed shape due to the plurality of irregularities 161 of the organic insulating layer. Since the reflective electrode reflects the external light in front by using the embossing, the front brightness may be improved.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치(100)는 8매 마스크를 이용한 기존과 달리 7매 마스크를 이용하여 상기 액정표시장치(100)를 형성할 수 있다. 따라서, 고가의 마스크를 적게 사용하여 액정표시장치(100)를 제조할 수 있으므로 원가를 절감할 수 있다.As described above, the liquid crystal display device 100 according to the present invention may form the liquid crystal display device 100 using seven masks, unlike the existing one using eight masks. Therefore, since the liquid crystal display device 100 can be manufactured using less expensive masks, cost can be reduced.

또한, 유기 절연막의 상부에 화소 전극을 증착할 경우에는, 상기 화소 전극을 저온 증착해야하며, 화소 전극의 패터닝을 형성하기 위한 전처리 공정이 추가로 요구된다. 그러나, 본 발명에 따른 액정표시장치(100)는 상기 유기 절연막(160)을 상기 화소 전극(150)의 상부에 형성하므로, 상기 화소 전극(150)을 고온 증착할 수 있다.In addition, when the pixel electrode is deposited on the organic insulating layer, the pixel electrode must be deposited at low temperature, and a pretreatment step for forming the patterning of the pixel electrode is further required. However, since the organic insulating layer 160 is formed on the pixel electrode 150, the liquid crystal display device 100 according to the present invention can deposit the pixel electrode 150 at a high temperature.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치(200)는 유기 절연막(210)을 제외하고는 도 1에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 액정표시장치(100)와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 도 3에 도시된 본 발명에 따른 다른 실시예의 설명에 있어서, 도 1에 도시된 액정표시장치(100)와 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기하고, 그 기능에 대한 별도의 설명을 생략한다.Referring to FIG. 3, the liquid crystal display device 200 according to another exemplary embodiment of the present invention may include the liquid crystal display device 100 according to the exemplary embodiment of the present invention illustrated in FIG. 1 except for the organic insulating layer 210. Have the same configuration. Therefore, in the description of another embodiment according to the present invention illustrated in FIG. 3, the same reference numerals are given to components that perform the same function as the liquid crystal display device 100 illustrated in FIG. A separate description is omitted.

본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치(200)는 투명 절연 기판(110), 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성되는 TFT(120), 상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성된 보호막(140), 상기 보호막(140) 상에 형성된 화소 전극(150), 상기 화소 전극(150) 상에 형성된 유기 절연막(210) 및 상기 유기 절연막(210) 상에 형성된 반사 전극(170)을 포함한다.The liquid crystal display device 200 according to another exemplary embodiment of the present invention may include a transparent insulating substrate 110, a TFT 120 formed on the transparent insulating substrate 110, and the transparent insulating substrate on which the TFT 120 is formed. A passivation layer 140 formed on the passivation layer 110, a pixel electrode 150 formed on the passivation layer 140, an organic insulating layer 210 formed on the pixel electrode 150, and a reflective electrode formed on the organic insulating layer 210. And 170.

상기 반사 영역(D3)의 상기 화소 전극(150) 상에 형성된 상기 유기 절연막(210)은 복수의 돌기로 이루어지고, 각각의 돌기(211)는 상기 외부광을 정면 반사시키기 위해 반구 형상을 갖는다. 바람직하게는, 상기 돌기(211)는 약 5 ~ 15도의 주경사도를 갖는다. 상기 복수의 돌기는 서로 소정의 간격으로 이격되어 형성되고, 상기 이격 공간 사이로 상기 화소 전극(150)이 노출된다.The organic insulating layer 210 formed on the pixel electrode 150 of the reflective region D3 is formed of a plurality of protrusions, and each of the protrusions 211 has a hemispherical shape to frontally reflect the external light. Preferably, the protrusion 211 has a major inclination of about 5 to 15 degrees. The plurality of protrusions are formed to be spaced apart from each other at predetermined intervals, and the pixel electrode 150 is exposed between the spaces.

상기 유기 절연막(210) 상에 구비되는 상기 반사 전극(170)은 상기 복수의 돌기 상에 위치하고, 상기 외부광을 반사시킨다. 이때. 상기 반사 전극(170)은 상기 이격 공간 사이로 노출된 상기 화소 전극(150)과 접하게 된다.The reflective electrode 170 provided on the organic insulating layer 210 is positioned on the plurality of protrusions and reflects the external light. At this time. The reflective electrode 170 is in contact with the pixel electrode 150 exposed between the separation spaces.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치(300)는 유기 절연막(310), 화소 전극(320) 및 반사 전극(330)을 제외하고는 도 1에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 액정표시장치(100)와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 도 4에 도시된 본 발명에 따른 다른 실시예의 설명에 있어서, 도 1에 도시된 액정표시장치(100)와 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기하고, 그 기능에 대한 별도의 설명을 생략한다.Referring to FIG. 4, the liquid crystal display 300 according to another exemplary embodiment of the present invention may include the present invention illustrated in FIG. 1 except for the organic insulating layer 310, the pixel electrode 320, and the reflective electrode 330. It has the same configuration as the liquid crystal display device 100 according to the embodiment. Therefore, in the description of another embodiment according to the present invention illustrated in FIG. 4, the same reference numerals are given to components that perform the same functions as the liquid crystal display device 100 illustrated in FIG. A separate description is omitted.

상기 액정표시장치(300)는 투명 절연 기판(110), 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성되는 TFT(120), 상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성된 보호막(140), 상기 보호막(140) 상에 형성된 유기 절연막(310), 상기 유기 절연막(310) 상에 형성된 화소 전극(320) 및 상기 화소 전극(320) 상에 형성된 반사 전극(330)을 포함한다. The liquid crystal display 300 may include a transparent insulating substrate 110, a TFT 120 formed on the transparent insulating substrate 110, and a protective film formed on the transparent insulating substrate 110 on which the TFT 120 is formed. 140, an organic insulating layer 310 formed on the passivation layer 140, a pixel electrode 320 formed on the organic insulating layer 310, and a reflective electrode 330 formed on the pixel electrode 320.                     

상기 TFT(120)는 상기 투명 절연기판(110)의 TFT 영역(D1)에 형성되고, 상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연기판(110)의 상부에는 상기 보호막(140)이 형성된다.The TFT 120 is formed in the TFT region D1 of the transparent insulating substrate 110, and the passivation layer 140 is formed on the transparent insulating substrate 110 on which the TFT 120 is formed.

상기 보호막(140)은 상기 TFT(120)의 상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)의 상부에 위치하고, 상기 투과 및 반사 영역(D2, D3)의 상기 게이트 절연막(130) 상에 위치한다. 상기 보호막(140)은 상기 드레인 전극(125) 상의 일부분이 식각되어 상기 드레인 전극(125)의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀(142)을 갖는다.The passivation layer 140 is positioned on the source and drain electrodes 124 and 125 of the TFT 120 and is disposed on the gate insulating layer 130 of the transmission and reflection regions D2 and D3. A portion of the passivation layer 140 may be etched to have a contact hole 142 for exposing a portion of the drain electrode 125.

상기 보호막(140)의 상부에는 상기 유기 절연막(310)이 구비된다. 상기 유기 절연막(310)은 상기 반사 영역(D3)에 위치하고, 상면에 복수의 요철(311)이 형성된다.The organic insulating layer 310 is provided on the passivation layer 140. The organic insulating layer 310 is positioned in the reflective region D3, and a plurality of irregularities 311 are formed on an upper surface thereof.

상기 유기 절연막(310)의 상부에는 상기 화소 전극(320)이 구비된다. 상기 화소 전극(320)은 상기 콘택홀(142)에 형성되어 상기 드레인 전극(125)과 접촉한다. 상기 화소 전극(320)은 상기 TFT 영역(D1)에서는 상기 콘택홀(142)이 형성된 영역에 위치하고, 상기 투과 영역(D2)에서는 상기 보호막(140)의 상면에 위치하며, 상기 반사 영역(D3)에서는 상기 유기 절연막(310)의 상면에 위치한다.The pixel electrode 320 is disposed on the organic insulating layer 310. The pixel electrode 320 is formed in the contact hole 142 to contact the drain electrode 125. The pixel electrode 320 is positioned in a region where the contact hole 142 is formed in the TFT region D1, and is positioned on an upper surface of the passivation layer 140 in the transmission region D2, and the reflective region D3. In the upper surface of the organic insulating layer 310.

상기 화소 전극(320)의 상부에는 상기 반사 전극(330)이 구비된다. 상기 반사 전극(330)은 상기 반사 영역(D3)에 위치하고, 상기 유기 절연막(310)의 상면에 형성된 상기 복수의 요철부(311)로 인해 엠보싱 형상을 갖는다. 따라서, 상기 반사 전극(330)은 상기 엠보싱 형상을 이용하여 상기 외부광을 정면 반사한다.The reflective electrode 330 is provided on the pixel electrode 320. The reflective electrode 330 is positioned in the reflective region D3 and has an embossed shape due to the plurality of uneven parts 311 formed on the top surface of the organic insulating layer 310. Therefore, the reflective electrode 330 front-reflects the external light using the embossed shape.

상술한 바와 같이, 상기 액정표시장치(300)는 상기 투과 영역(D2)에서 상기 유기 절연막(310)을 제거한다. 따라서, 상기 투명 절연기판(110)의 하부에 구비되는 상기 백라이트 어셈블리로부터 상기 투명 절연기판(110)으로 제공되는 내부광의 투과율을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 투과형 액정표시장치와 동일한 휘도를 얻을 수 있고, 투과 모드에서의 표시 특성을 향상시킬 수 있다.As described above, the liquid crystal display 300 removes the organic insulating layer 310 in the transmission region D2. Therefore, the transmittance of the internal light provided to the transparent insulating substrate 110 from the backlight assembly provided under the transparent insulating substrate 110 can be improved. As a result, the same luminance as that of the transmissive liquid crystal display can be obtained, and the display characteristics in the transmissive mode can be improved.

도 5a 내지 도 5f는 도 4에 도시된 액정표시장치의 제조 과정을 나타낸 단면도이다.5A through 5F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the LCD shown in FIG. 4.

도 5a를 참조하면, 유리나 석영 또는 사파이어와 같은 재질로 형성된 상기 투명 절연기판(110) 상에 도전성 금속을 증착한 후, 제1 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 도전성 금속을 패터닝하여 상기 게이트 라인 및 상기 게이트 전극(121)을 형성한다. 이때, 상기 게이트 라인은 제1 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 게이트 전극(121)은 상기 게이트 라인으로부터 소정 면적 돌출되어 상기 TFT 영역(D1)에 형성된다. 상기 게이트 라인 및 게이트 전극(121)을 형성하기 위한 상기 도전성 금속으로는 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 등이 사용되며, 이중에서도 주로 알루미늄(Al)이 사용된다. 상기 도 5a에서는 상기 게이트 전극(121)을 단일막으로 형성하였으나, 이중막으로도 형성이 가능하다.Referring to FIG. 5A, after depositing a conductive metal on the transparent insulating substrate 110 formed of a material such as glass, quartz, or sapphire, patterning the conductive metal through a photolithography process using a first mask to form the gate line. And the gate electrode 121. In this case, the gate line extends in the first direction, and the gate electrode 121 protrudes a predetermined area from the gate line and is formed in the TFT region D1. Aluminum (Al), chromium (Cr), molybdenum (Mo), etc. are used as the conductive metal for forming the gate line and the gate electrode 121, and aluminum (Al) is mainly used. In FIG. 5A, the gate electrode 121 is formed as a single layer, but a double layer may be formed.

상기 게이트 라인 및 상기 게이트 전극(121)이 형성된 상기 투명 절연기판(110) 상에 상기 게이트 절연막(130)을 증착한다. 상기 게이트 절연막(130)은 PECVD 방법에 의해 증착되며, 약 4500Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다.The gate insulating layer 130 is deposited on the transparent insulating substrate 110 on which the gate line and the gate electrode 121 are formed. The gate insulating layer 130 is deposited by a PECVD method, and preferably has a thickness of about 4500 kPa.

상기 게이트 절연막(130)을 형성한 후에는 비정질 실리콘막 및 n+ 층이 도핑 된 비정질 실리콘막을 상기 PECVD 방법에 의해 순차적으로 증착한다. 상기 비정질 실리콘막 및 상기 n+ 층이 도핑된 비정질 실리콘막은 제2 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 패터닝되어 상기 TFT 영역(D1)에 상기 액티브층(122) 및 상기 오믹 콘택층(123)을 형성한다. 이때, 상기 액티브층(122)의 일부분을 노출시켜 채널 영역을 형성하기 위해 상기 오믹 콘택층(123)의 중앙부가 일부분 식각된다. 상기 액티브층(122)은 약 2000Å의 두께를 갖는 것이 바람직하고, 상기 오믹 콘택층(123)은 약 500Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다.After the gate insulating layer 130 is formed, an amorphous silicon film and an amorphous silicon film doped with an n + layer are sequentially deposited by the PECVD method. The amorphous silicon film and the amorphous silicon film doped with the n + layer are patterned by a photolithography process using a second mask to form the active layer 122 and the ohmic contact layer 123 in the TFT region D1. . In this case, the center portion of the ohmic contact layer 123 is partially etched to expose a portion of the active layer 122 to form a channel region. The active layer 122 preferably has a thickness of about 2000 GPa, and the ohmic contact layer 123 preferably has a thickness of about 500 GPa.

상기 액티브층(122) 및 오믹 콘택층(123)이 형성된 상기 게이트 절연(130) 상에 상기 도전성 금속을 증착한다. 상기 도전성 금속은 제3 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 패터닝되어 데이터 신호를 전송하기 위한 데이터 라인(미도시), 상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)을 형성한다. 상기 소오스 전극(124)은 상기 데이터 라인으로부터 소정 면적으로 돌출되어 상기 TFT 영역(D1)에 형성되고, 상기 데이터 라인은 상기 제1 방향과 서로 직교하는 제2 방향으로 연장되어 형성된다. 이때, 상기 소오스 전극(124) 및 상기 드레인 전극(125)의 사이에는 상기 채널 영역이 위치한다.The conductive metal is deposited on the gate insulation 130 on which the active layer 122 and the ohmic contact layer 123 are formed. The conductive metal is patterned through a photolithography process using a third mask to form a data line (not shown), the source and drain electrodes 124 and 125 for transmitting a data signal. The source electrode 124 protrudes from the data line in a predetermined area and is formed in the TFT region D1, and the data line extends in a second direction perpendicular to the first direction. In this case, the channel region is positioned between the source electrode 124 and the drain electrode 125.

상기 소오스 및 드레인 전극(124, 125)의 상부 및 상기 게이트 절연막(130) 상에 상기 보호막(140)을 증착한다. 상기 보호막(140)은 TFT 영역(D1)에서 상기 TFT(120)의 상부에 위치하고, 상기 투과 및 반사 영역(D2, D3)에서는 상기 게이트 절연막(130)의 상부에 위치한다. 상기 보호막(140)은 산화실리콘(SiO2)이나 질화실 리콘(SiNX)과 같은 무기 절연물질인로 이루어지며, 약 2000Å 두께를 갖는 것이 바람직하다.The passivation layer 140 is deposited on the source and drain electrodes 124 and 125 and on the gate insulating layer 130. The passivation layer 140 is positioned above the TFT 120 in the TFT region D1 and above the gate insulating layer 130 in the transmission and reflection regions D2 and D3. The passivation layer 140 is made of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN X ), and preferably has a thickness of about 2000 μs.

도 5b를 참조하면, 상기 보호막(140)은 제4 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 보호막(140)의 일부분이 식각되어 상기 드레인 전극(125)의 일부분을 노출하기 위한 상기 콘택홀(142)을 형성한다.Referring to FIG. 5B, a portion of the passivation layer 140 is etched through a photolithography process using a fourth mask to expose a portion of the drain electrode 125. To form.

도 5c 및 도 5d를 참조하면, 상기 보호막(140)이 형성된 상기 투명 절연기판(110)의 전 영역에 상기 유기 절연막(310)을 증착한다. 상기 유기 절연막(160)은 제5 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1) 및 상기 투과 영역(D2)의 유기 절연막(310)이 제거된다. 따라서, 상기 유기 절연막(310)은 상기 반사 영역(D3)의 보호막(140) 상에 위치한다. 이때, 상기 반사 영역(D3)의 상기 유기 절연막(310)을 일부분 제거하여 기둥 형상의 유기 절연막(310)을 형성한다. 상기 기둥 형상의 유기 절연막(310)은 소정 간격으로 이격되어 형성된다. 5C and 5D, the organic insulating layer 310 is deposited on the entire region of the transparent insulating substrate 110 on which the passivation layer 140 is formed. The organic insulating layer 160 is removed from the organic insulating layer 310 of the TFT region D1 and the transparent region D2 by a photolithography process using a fifth mask. Therefore, the organic insulating layer 310 is positioned on the passivation layer 140 of the reflective region D3. In this case, the organic insulating layer 310 of the reflective region D3 is partially removed to form the columnar organic insulating layer 310. The columnar organic insulating layer 310 is formed to be spaced apart at a predetermined interval.

도 5e를 참조하면, 상기 기둥 형상의 유기 절연막(320)은 열처리에 의해 형태가 변형되는 리플로우가 발생한다. 리플로우로 인해 상기 유기 절연막(310)의 상면에 복수의 요철(311)이 형성된다. 바람직하게는, 상기 복수의 요철(311)은 약 5 ~ 15도의 주경사도를 갖는다. 상기 복수의 요철(311)이 형성된 상기 유기 절연막(310)은 베이크 공정에 의해 경화된다.Referring to FIG. 5E, the columnar organic insulating layer 320 has a reflow in which its shape is deformed by heat treatment. Due to the reflow, a plurality of irregularities 311 are formed on the upper surface of the organic insulating layer 310. Preferably, the plurality of unevennesses 311 have a main slope of about 5 to 15 degrees. The organic insulating layer 310 on which the plurality of unevennesses 311 are formed is cured by a baking process.

도 5f를 참조하면, 상기 유기 절연막(310)이 형성된 상기 투명 절연기판(110)의 전영역에 ITO와 같이 전도성 투명 재질로 이루어진 화소 전극(320)을 도포한다. 상기 화소 전극(320)은 제6 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1)에 위치한 화소 전극(320)을 제거한다. 이때, 상기 콘택홀(142)에 형성된 화소 전극(320)은 그대로 남겨놓는다. 따라서, 상기 화소 전극(320)은 상기 TFT 영역(D1)에서는 상기 콘택홀(142)에 위치하고, 상기 투과 영역(D2)에서는 상기 보호막(140)의 상면 위치하며, 상기 반사 영역(D3)에서는 상기 유기 절연막(310)의 상면에 위치한다.Referring to FIG. 5F, a pixel electrode 320 made of a conductive transparent material such as ITO is coated on the entire region of the transparent insulating substrate 110 on which the organic insulating layer 310 is formed. The pixel electrode 320 removes the pixel electrode 320 positioned in the TFT region D1 through a photolithography process using a sixth mask. In this case, the pixel electrode 320 formed in the contact hole 142 is left as it is. Accordingly, the pixel electrode 320 is positioned in the contact hole 142 in the TFT region D1, and is positioned on the top surface of the passivation layer 140 in the transmission region D2, and in the reflective region D3. It is located on the upper surface of the organic insulating layer 310.

상기 화소 전극(320)을 형성한 후에는 상기 투명 절연기판(110)의 전영역에 상기 도전성 금속을 증착한다. 상기 도전성 금속은 약 1500 ~ 4000Å의 두께를 갖는 것이 바람직하다. 상기 도전성 금속은 제7 마스크를 이용한 사진 식각 공정을 통해 상기 TFT 영역(D1) 및 상기 투과 영역(D2)의 상기 도전성 금속이 제거되어 상기 반사 전극(330)을 형성한다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 반사 전극(330)은 상기 반사 영역(D3)의 화소 전극(320) 상면에 형성된다. 상기 반사 전극(330)은 상기 유기 절연막(310)의 복수의 요철(311)에 의해 엠보싱 형상을 가지며, 상기 엠보싱으로 인해 상기 외부광을 정면 반사한다.After the pixel electrode 320 is formed, the conductive metal is deposited on the entire area of the transparent insulating substrate 110. It is preferable that the said conductive metal has a thickness of about 1500-4000 kPa. The conductive metal is removed to form the reflective electrode 330 by removing the conductive metal of the TFT region D1 and the transmission region D2 through a photolithography process using a seventh mask. That is, as shown in FIG. 4, the reflective electrode 330 is formed on the upper surface of the pixel electrode 320 of the reflective region D3. The reflective electrode 330 has an embossed shape by the plurality of unevennesses 311 of the organic insulating layer 310, and reflects the external light in front due to the embossing.

상술한 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치(300)는 8매 마스크를 이용한 기존과 달리 7매 마스크를 이용하여 상기 액정표시장치(300)를 형성할 수 있다. 따라서, 고가의 마스크를 적게 사용하여 액정표시장치(300)를 제조할 수 있으므로 원가를 절감할 수 있다.As described above, the liquid crystal display device 300 according to another exemplary embodiment of the present invention may form the liquid crystal display device 300 using seven masks, unlike the existing one using eight masks. Therefore, since the liquid crystal display device 300 can be manufactured using less expensive masks, cost can be reduced.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이 다.6 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치(400)는 유기 절연막(410)을 제외하고는 도 4에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치(300)와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 도 6에 도시된 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 설명에 있어서, 도 4에 도시된 액정표시장치(300)와 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기하고, 그 기능에 대한 별도의 설명을 생략한다.Referring to FIG. 6, the liquid crystal display 400 according to another exemplary embodiment of the present invention is the liquid crystal display 300 according to another exemplary embodiment of the present invention illustrated in FIG. 4 except for the organic insulating layer 410. Has the same configuration as Therefore, in the description of still another embodiment according to the present invention shown in FIG. 6, the same reference numerals are given to components that perform the same function as the liquid crystal display device 300 shown in FIG. A separate description of the description is omitted.

상기 액정표시장치(400)는 투명 절연 기판(110), 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성되는 TFT(120), 상기 TFT(120)가 형성된 상기 투명 절연 기판(110) 상에 형성된 보호막(140), 상기 보호막(140) 상에 형성된 유기 절연막(410), 상기 유기 절연막(410) 상에 형성된 화소 전극(320) 및 상기 화소 전극(320) 상에 형성된 반사 전극(330)을 포함한다.The liquid crystal display device 400 may include a transparent insulating substrate 110, a TFT 120 formed on the transparent insulating substrate 110, and a protective film formed on the transparent insulating substrate 110 on which the TFT 120 is formed. 140, an organic insulating layer 410 formed on the passivation layer 140, a pixel electrode 320 formed on the organic insulating layer 410, and a reflective electrode 330 formed on the pixel electrode 320.

상기 반사 영역(D3)의 상기 보호막(140) 상에 형성된 상기 유기 절연막(410)은 복수의 돌기로 이루어지고, 각각의 돌기(411)는 상기 외부광을 정면 반사시키기 위해 반구 형상을 갖는다. 바람직하게는, 상기 돌기(411)는 약 5 ~ 15도의 주경사도를 갖는다. 상기 복수의 돌기는 서로 소정의 간격으로 이격되어 형성되고, 상기 이격 공간 사이로 상기 보호막(140)이 노출된다.The organic insulating layer 410 formed on the passivation layer 140 of the reflective region D3 is formed of a plurality of protrusions, and each of the protrusions 411 has a hemispherical shape to frontally reflect the external light. Preferably, the protrusion 411 has a major inclination of about 5 to 15 degrees. The plurality of protrusions are formed to be spaced apart from each other at a predetermined interval, and the protective layer 140 is exposed between the spaced spaces.

상기 유기 절연막(410)의 상부에는 상기 화소 전극(320)이 구비된다. 상기 콘택홀(142)에 형성되어 상기 콘택홀(142)에 의해 노출된 상기 드레인 전극(125)의 일부분과 접한다. 상기 화소 전극(320)은 상기 투과 영역(D2)에서는 상기 보호막(140)의 상면에 위치하고, 상기 반사 영역(D3)에서는 상기 유기 절연막(410)의 상면에 위치한다. 이때, 상기 화소 전극(320)은 상기 유기 절연막(410)의 복수의 돌기가 서로 이격된 이격 공간 사이로 노출된 상기 보호막(140)과 접한다.The pixel electrode 320 is provided on the organic insulating layer 410. The contact hole 142 is formed to contact a portion of the drain electrode 125 exposed by the contact hole 142. The pixel electrode 320 is positioned on the top surface of the passivation layer 140 in the transmission region D2 and on the top surface of the organic insulating layer 410 in the reflection region D3. In this case, the pixel electrode 320 contacts the passivation layer 140 exposed between the spaced spaces in which the plurality of protrusions of the organic insulating layer 410 are spaced apart from each other.

상기 화소 전극(320)의 상부에는 상기 반사 전극(330)이 구비된다. 상기 반사 전극은 상기 반사 영역(D3)에 위치하고, 상기 유기 절연막(310)에 의해 엠보싱 형상을 갖는다. 상기 반사 전극(330)은 상기 엠보싱을 이용하여 상기 외부광을 정면 반사한다.The reflective electrode 330 is provided on the pixel electrode 320. The reflective electrode is positioned in the reflective region D3 and has an embossed shape by the organic insulating layer 310. The reflective electrode 330 front-reflects the external light using the embossing.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 반사-투과형 액정표시장치에서 유기 절연막을 형성 시, 반사 전극이 형성되는 반사 영역에만 형성함으로써, 투과 모드에서 광의 투과율을 높일 수 있고, 표시 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, when the organic insulating layer is formed in the reflective-transmissive liquid crystal display device, the organic insulating film is formed only in the reflective region where the reflective electrode is formed, thereby increasing the transmittance of light in the transmissive mode and improving the display quality. have.

또한, 유기 절연막의 패턴 형성 시, 하나의 마스크를 이용하여 콘택홀 영역의 유기 절연막을 제거하고, 절연막의 상면에 복수의 요철을 형성할 수 있다. 이에 따라, 고가의 마스크의 수를 줄일 수 있어 제조 원가를 절감할 수 있고, 유기 절연막의 공정을 단순할 수 있으므로 조립성을 향상시킬 수 있다.In addition, when forming the organic insulating layer, a single mask may be used to remove the organic insulating layer in the contact hole region, and a plurality of irregularities may be formed on the upper surface of the insulating layer. Accordingly, the number of expensive masks can be reduced, manufacturing costs can be reduced, and the process of the organic insulating film can be simplified, thereby improving the assemblability.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the embodiments, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand.

Claims (10)

트랜지스터 영역, 투과 영역 및 반사영역으로 구분되는 절연 기판;An insulating substrate divided into a transistor region, a transmission region, and a reflection region; 상기 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 형성되는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed in the transistor region on the insulating substrate; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 절연 기판 상에 형성되고, 상기 박막 트랜지스터의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀을 갖는 보호막;A passivation layer formed on the insulating substrate on which the thin film transistor is formed and having a contact hole for exposing a portion of the thin film transistor; 상기 콘택홀 및 상기 투과 및 반사 영역의 상기 보호막 상에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 박막 트랜지스터와 접하는 화소 전극;A pixel electrode formed on the contact hole and the passivation layer of the transmissive and reflective region and in contact with the thin film transistor through the contact hole; 상기 반사 영역에 대응하는 상기 화소 전극 상에만 형성된 유기 절연막; 및An organic insulating layer formed only on the pixel electrode corresponding to the reflective region; And 상기 유기 절연막 상에 형성되고, 외부로부터 제공되는 광을 반사하기 위한 반사 전극을 포함하는 액정표시장치A liquid crystal display device formed on the organic insulating layer and including a reflective electrode for reflecting light provided from the outside. 제1항에 있어서, 상기 유기 절연막은 상면에 상기 광을 정면 반사하기 위한 복수의 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the organic insulating film has a plurality of uneven parts formed on the top thereof to reflect the light in front. 제1항에 있어서, 상기 유기 절연막은 상기 광을 정면 반사하기 위하여 서로 이격된 복수의 돌기로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the organic insulating layer is formed of a plurality of protrusions spaced apart from each other to reflect the light in front. 트랜지스터 영역, 투과 영역 및 반사 영역으로 구분되는 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a thin film transistor in the transistor region on the insulating substrate divided into a transistor region, a transmission region and a reflection region; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 기판 상에 보호막을 형성하는 단계;Forming a protective film on the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 보호막의 일부를 식각하여 상기 박막 트랜지스터의 일측을 노출하기 위한 콘택홀을 형성하는 단계;Etching a portion of the passivation layer to form a contact hole for exposing one side of the thin film transistor; 상기 콘택홀 및 투과 영역 및 반사 영역의 상기 보호막 상에 화소 전극을 형성하는 단계;Forming a pixel electrode on the passivation layer of the contact hole, the transmission region, and the reflection region; 상기 콘택홀 및 상기 화소 전극이 형성된 상기 보호막 상에 유기 절연막을 증착하는 단계;Depositing an organic insulating layer on the passivation layer on which the contact hole and the pixel electrode are formed; 상기 반사 영역의 유기절연막의 일부분과, 상기 트랜지스터 영역 및 상기 투과 영역의 상기 유기 절연막을 제거하고, 상기 유기 절연막의 상면에 복수의 요철부를 형성하는 단계; 및Removing a portion of the organic insulating film in the reflective region, the organic insulating film in the transistor region and the transmission region, and forming a plurality of uneven parts on an upper surface of the organic insulating film; And 상기 유기 절연막의 상면에 반사 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치 제조 방법.Forming a reflective electrode on an upper surface of the organic insulating layer. 제4항에 있어서, 상기 유기 절연막의 제거 및 상기 복수의 요철부를 형성하는 단계는,The method of claim 4, wherein the removing of the organic insulating layer and forming the plurality of uneven parts are performed. 광 차단 영역 및 광 투과 영역으로 구분되는 마스크를 이용하여 상기 트랜지스터 영역 및 상기 투과 영역의 상기 유기 절연막과 상기 반사 영역의 유기 절연막의 일부분을 한번의 노광 공정을 통해 제거하는 단계; 및Removing a portion of the organic insulating layer of the transistor region and the transparent region and the organic insulating layer of the reflective region by one exposure process using a mask divided into a light blocking region and a light transmitting region; And 상기 유기 절연막을 열 처리하여 상기 유기 절연막의 상면에 상기 복수의 요철부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.And heat treating the organic insulating layer to form the plurality of uneven parts on an upper surface of the organic insulating layer. 트랜지스터 영역, 투과 영역 및 반사영역으로 구분되는 절연 기판;An insulating substrate divided into a transistor region, a transmission region, and a reflection region; 상기 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 형성되는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed in the transistor region on the insulating substrate; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 절연 기판 상에 형성되고, 상기 박막 트랜지스터의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀을 갖는 보호막;A passivation layer formed on the insulating substrate on which the thin film transistor is formed and having a contact hole for exposing a portion of the thin film transistor; 상기 반사 영역에 대응하는 상기 보호막 상에만 형성된 유기 절연막;An organic insulating layer formed only on the passivation layer corresponding to the reflective region; 상기 콘택홀과 상기 유기 절연막 상부 및 상기 투과 영역의 상기 보호막 상부에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 박막 트랜지스터와 접하는 화소 전극; 및A pixel electrode formed over the contact hole, the organic insulating layer, and an upper portion of the passivation layer in the transmission region, and contacting the thin film transistor through the contact hole; And 상기 반사 영역에 대응하는 상기 화소 전극 상에만 형성되고, 외부로부터 제공되는 광을 반사하기 위한 반사 전극을 포함하는 액정표시장치.And a reflective electrode formed only on the pixel electrode corresponding to the reflective region and reflecting light provided from the outside. 제6항에 있어서, 상기 유기 절연막은 상면에 복수의 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.The liquid crystal display of claim 6, wherein the organic insulating layer has a plurality of uneven parts formed on an upper surface thereof. 제6항에 있어서, 상기 유기 절연막은 상기 광을 정면 반사하기 위하여 서로 이격된 복수의 돌기로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치.7. The liquid crystal display device according to claim 6, wherein the organic insulating film is formed of a plurality of protrusions spaced apart from each other to reflect the light in front. 트랜지스터 영역, 투과 영역 및 반사 영역으로 구분되는 절연 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a thin film transistor in the transistor region on the insulating substrate divided into a transistor region, a transmission region and a reflection region; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 기판 상에 보호막을 형성하는 단계;Forming a protective film on the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 보호막의 일부를 식각하여 상기 박막 트랜지스터의 일측을 노출하기 위한 콘택홀을 형성하는 단계;Etching a portion of the passivation layer to form a contact hole for exposing one side of the thin film transistor; 상기 콘택홀 및 상기 보호막 상에 유기 절연막을 증착하는 단계;Depositing an organic insulating layer on the contact hole and the passivation layer; 상기 반사 영역의 유기 절연막의 일부분과, 상기 트랜지스터 영역 및 상기 투과 영역의 상기 유기 절연막을 제거하고, 상기 유기 절연막의 상면에 복수의 요철부를 형성하는 단계; Removing a portion of the organic insulating film in the reflective region, the organic insulating film in the transistor region and the transmission region, and forming a plurality of uneven parts on an upper surface of the organic insulating film; 상기 콘택홀과 상기 투과 영역의 상기 보호막 상부 및 상기 유기 절연막의 상면에 화소 전극을 형성하는 단계; 및Forming a pixel electrode on the contact hole, the passivation layer in the transmission region, and an upper surface of the organic insulating layer; And 상기 반사 영역의 상기 화소 전극 상에 반사 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치 제조 방법.And forming a reflective electrode on the pixel electrode in the reflective region. 제9항에 있어서, 상기 유기 절연막의 제거 및 상기 복수의 요철부를 형성하는 단계는,The method of claim 9, wherein the removing of the organic insulating layer and forming the plurality of uneven parts are performed. 광 차단 영역 및 광 투과 영역으로 구분되는 마스크를 이용하여 상기 트랜지스터 영역 및 상기 투과 영역의 상기 유기 절연막과 상기 반사 영역의 유기 절연막의 일부분을 한번의 노광 공정을 통해 제거하는 단계; 및Removing a portion of the organic insulating layer of the transistor region and the transparent region and the organic insulating layer of the reflective region by one exposure process using a mask divided into a light blocking region and a light transmitting region; And 상기 유기 절연막을 열 처리하여 상기 유기 절연막의 상면에 상기 복수의 요철부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.And heat treating the organic insulating layer to form the plurality of uneven parts on an upper surface of the organic insulating layer.
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