KR100939541B1 - 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법 - Google Patents

자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100939541B1
KR100939541B1 KR1020080014607A KR20080014607A KR100939541B1 KR 100939541 B1 KR100939541 B1 KR 100939541B1 KR 1020080014607 A KR1020080014607 A KR 1020080014607A KR 20080014607 A KR20080014607 A KR 20080014607A KR 100939541 B1 KR100939541 B1 KR 100939541B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
image
camera
angle
illumination
control signal
Prior art date
Application number
KR1020080014607A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090089192A (ko
Inventor
김교순
성용원
곽기업
Original Assignee
주식회사 앤비젼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 앤비젼 filed Critical 주식회사 앤비젼
Priority to KR1020080014607A priority Critical patent/KR100939541B1/ko
Publication of KR20090089192A publication Critical patent/KR20090089192A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100939541B1 publication Critical patent/KR100939541B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2834—Automated test systems [ATE]; using microprocessors or computers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8835—Adjustable illumination, e.g. software adjustable screen

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 또는 LCD 생산 과정에서 반도체 기판이나 다른 부품들의 표면 또는 내부에 존재하는 결함을 정확하게 검사하기 위해 카메라 및 조명의 각도를 자동으로 조절할 수 있는 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법에 관한 것으로서, 광축이 특정 지점에 일치되어 설치된 카메라 및 조명의 각도가 자동으로 조절되고, 영상을 촬영하는 영상 검사 장치 및 상기 영상 검사 장치를 제어하여 상기 카메라 및 상기 조명의 각도를 자동으로 조절하고, 상기 영상 검사 장치에서 촬영된 영상을 분석하여 품질을 검사하는 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하며, 카메라 및 조명의 광축(초점)을 고정하고, 제어 장치의 제어에 따라 자동으로 카메라와 조명의 각도를 조절할 수 있으므로 불필요한 비용과 시간 낭비를 줄일 수 있으며, 이에 따라 영상 촬영 시 진동의 발생과 전달을 최소화할 수 있다.
자동 영상 검사 시스템, 카메라, 조명, 영상 검사 장치, 제어 장치, 각도, 광축, 영상 품질 검사.

Description

자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법{SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC VISUAL INSPECTION}
본 발명은 자동 영상 검사 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 또는 LCD 생산 과정에서 반도체 기판이나 다른 부품들의 표면 또는 내부에 존재하는 결함을 정확하게 검사하기 위해 카메라 및 조명의 각도를 자동으로 조절할 수 있는 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법에 관한 것이다.
반도체 또는 LCD 등을 생산하는 현장에서는 다수의 세분화된 공정에 의해 최종 제품이 완성된다. 따라서 생산 과정에서 반도체 기판과 같은 부품의 결함은 나중에 완제품을 폐기해야 하는 심각한 문제를 야기할 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 적절한 시점에 반도체 기판이나 부품의 결함을 검출하는 검사 장비가 필요하게 되었다.
일반적으로 반도체 등을 검사하기 위해서는 고해상도의 디지털 카메라 또는 스캐너와 같은 원리의 라인 스캔 카메라 등의 장비가 주로 이용되고 있다. 특히, 라인 스캔 카메라가 초고해상도의 영상 획득에 유리하므로 많이 사용되고 있다.
하지만, 디지털 카메라 또는 라인 스캔 카메라를 이용하는 경우 카메라와 조명 장치가 검사 대상인 피사체와 이루는 거리 및 각도에 따라 다양한 영상이 획득되고, 그 획득된 영상에 따라 검사 결과가 달라지는 문제가 발생한다. 따라서 각각의 검사 대상에 따라 가장 적절한 카메라의 거리 및 각도와 조명 장치의 거리 및 각도를 사전에 시험을 통해 찾아야 한다.
이와 같은 시험을 통해 피사체에 대한 최적의 조건을 산출하기 위한 일반적인 검사 장비에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 각 피사체에 대해 최적의 조건을 산출하기 위한 검사 장비의 예를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 카메라(10)의 광축과 조명장치의 광축이 만나는 곳(30)에 피사체를 위치하도록 하고, 카메라(10)를 피사체와 직각이 되는 위치에 장착하고, 조명 장치(21)를 지지하는 지지축(20)을 수평 방향으로 이동시키면서 조명 장치(21)의 광축이 피사체를 향하도록 상하로 이동시키면서 가장 적절한 조명장치의 거리와 각도를 산출한다.
이와 같은 기존의 검사 장비는 카메라(10)가 고정된 위치에서 조명 장치(21)의 위치 및 각도를 수동으로 조절하고, 카메라(10)의 각도 및 거리를 변경하고자 하는 경우에도 시험자가 수동으로 그 위치를 정한다. 이때, 조명 장치(21)를 다시 수동으로 조절해야 하는 번거로움이 있다. 이러한 수동 조절 방식은 많은 시간과 노력이 필요하고, 테스트 결과의 일관성을 지키기 어렵다.
또한, 이와 같이 카메라와 조명 장치의 최적의 설치 조건을 산출하지 않고 검사 장비를 설계 제작한다면, 검사 장비를 완성한 후에 카메라와 조명 장치의 최적의 거리 및 각도를 찾기 위해 불필요한 비용과 시간을 추가적으로 낭비해야 하는 문제점이 있다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 검사 대상인 피사체의 종류에 따라 검사 장비에 장착된 카메라 및 조명 장치의 거리 및 각도를 자동으로 조절하여 최적 조건을 산출하기 위한 자동영상검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 오차를 최소화하고 자동으로 거리 및 각도를 정밀하게 조절하여 산출된 최적의 조건으로 피사체를 직접 검사하기 위한 자동영상검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 영상획득을 위한 초점이 카메라와 조명의 각도와 거리를 조절하여도 그 초점은 변하지 않고 편리하게 조절 가능하고, 고정식이 아닌 가변식 장비의 취약점인 진동전달을 최소화하기 위한 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사 방법을 제공한다.
상기 이러한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 자동 영상 검사 시스템은, 특정 지점을 초점으로 하는 카메라 및 광축이 상기 특정 지점에 일치되어 설치된 조명을 포함하고, 상기 카메라 및 상기 조명의 각도가 제어 신호에 따라 조절되며, 영상을 촬영하는 영상 검사 장치; 및 상기 영상 검사 장치를 제어하기 위한 상기 제어 신호를 발생하여 상기 카메라 및 상기 조명의 각도를 조절하고, 상기 영상 검사 장치에서 촬영된 영상에서 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하며, 추출한 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 촬영된 영상의 품질을 검사하는 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 방법은, 특정 지점을 초점으로 하는 카메라 및 광축이 상기 특정 지점에 일치되어 설치된 조명을 포함하고 영상을 촬영하는 영상 검사 장치와, 상기 영상 검사 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하는 자동 영상 검사 시스템에서, 자동으로 영상을 감시하는 방법에 있어서, 상기 제어 장치에서 상기 영상 검사 장치로 발생한 제어 신호에 따라 상기 카메라의 각도를 조절하는 과정; 상기 제어 장치에서 상기 영상 검사 장치로 발생한 제어 신호에 따라 상기 조명의 각도를 조절하는 과정; 상기 영상 검사 장치에서 피사체의 영상을 촬영하는 과정; 상기 제어 장치에서 상기 촬영된 영상을 수신하여 수신된 영상에서 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하고, 추출한 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 수신된 영상의 품질을 검사하는 과정; 및 상기 영상의 품질 검사에 따른 결과를 저장하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명은 카메라 및 조명의 초점(광축)을 고정하고, 제어 장치의 제어에 따라 자동으로 카메라와 조명의 각도를 조절할 수 있으므로 불필요한 비용과 시간 낭비를 줄일 수 있으며, 이에 따라 영상 촬영 시 진동의 발생과 전달을 최소화할 수 있다.
또한, 산업용 로봇의 직교좌표 구성과 틸트축의 구성은 수평, 수직, 틸트(Tilt)의 3개 축이 필요하지만 본 발명은 각도와 거리로 두 개의 축만으로 구성이 가능하므로 비용을 감소할 수 있으며, 고정밀 시스템에서 축의 수, 관절 등 자유도가 많을수록 정밀도가 떨어지는 원리 측면에서보다 정밀도를 높일 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
본 발명의 실시예에서는 1마이크로미터 이하의 정밀도로 영상을 획득하여 분석 검사하는 자동 영상 검사 시스템을 적용하여 설명하기로 하며, 이러한 자동영상검사 시스템은 카메라와 조명에 의한 촬영 시 카메라의 초점이 맞추어진 지점에 조명의 초점도 맞추어야 최적의 영상을 얻을 수 있다. 이러한 카메라 및 조명의 거리 및 각도를 조절하기 위해서는 정밀한 산업용 로봇을 사용하게 되는데, 이는 직교 좌표계의 구성을 갖으며, 카메라 및 조명의 각도 수정 시 X, Y축으로의 위치도 수정하여야 초점의 위치가 변하지 않고 촬영할 수 있다. 또한, 이는 영상의 획득을 위하여 필요한 경우 역광 조명을 사용할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 영상 검사를 위한 기본 원리는 카메라의 초점과 조명 장치의 광축이 만나는 지점에 피사체를 위치하도록 한 후에 카메라와 조명 장치의 각도 및 위치를 변경하는 경우에도 카메라의 초점과 조명 장치의 광축은 계속해서 피사체를 향하도록 하는 것이다.
그러면 정밀한 산업용 로봇을 사용하는 본 발명의 실시예에 따른 자동 영상 검사 시스템에 대해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자동 영상 검사 시스템의 구조를 도시한 도면이다.
상기 도 2를 참조하면, 상기 자동 영상 검사 시스템은 크게 컴퓨터 등의 제어 장치(110)와 영상 검사 장치(120)로 구분할 수 있다.
상기 제어 장치(110)는 영상 수신부(111), 영상 처리부(112) 및 장치 제어부(113)로 구성될 수 있으며, 상기 영상 검사 장치(120)는 구동부(121), 카메라(122) 및 조명(123)으로 구성될 수 있다. 상기 영상 검사 장치의 구체적인 구조는 첨부된 도 3에 도시된 바와 같다.
상기 영상 수신부(111)는 상기 카메라(122)에서 촬영된 영상을 수신하여 영상 처리부(122)로 전달하고, 상기 영상 처리부(112)는 촬영된 영상을 분석하여 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하고, 추출된 성분을 이용하여 품질을 검사한다. 상기 장치 제어부(113)는 상기 영상 처리부(112)에서 분석한 영상 품질이 미리 설정된 기준치에 미달하는 경우 다시 영상을 검사하도록 상기 카메라(122) 및 조명(123)의 각도를 조절하기 위한 제어 신호를 상기 구동부(121)로 전송한다. 즉, 상기 구동부(121)를 제어하여 상기 카메라(122) 및 조명(123)을 움직여 각도를 자동으로 조절한다.
상기 구동부(121)는 상기 카메라(122) 및 상기 조명(123)에 연결되어 상기 카메라(122) 및 상기 조명(123)을 움직이기 위한 기기들 Q1, Q2, Q3, Q4로서, 정밀한 산업용 로봇일 수 있다. 이러한 구동부(121)의 상기 기기들 중 Q2, Q3은 특정 지점(201)을 중심으로 회전하는 회전체(211, 212)와, 상기 카메라(122) 및 상기 조 명(123)을 상기 회전체(211, 212)에 각각 연결하여 상하, 좌우로 움직이게 하는 연결 수단(221, 222)과, 작업대(250) 상부 면을 따라 이동하는 이동 수단(231, 232)과, 일단은 상기 이동 수단(231, 232)에 연결되고 타단은 상기 회전체(211, 212)에 고정되는 지지대(241, 242)로 구성될 수 있다. 그리고 상기 구동부(121)의 상기 기기들 중 Q1, Q4는 작업대(250)에 해당되는 기기이다. 상기 지지대(241, 242)는 각각 일단의 한 점이 상기 특정 지점에 일치되고, 다른 한 점이 상기 작업대 측에 형성되고, 타단은 상기 회전체(211, 212)에 각각 고정되어 삼각형 구조로 형성되며, 이로 인해 삼각함수에 의해 계산되어지는 각도로 제어된다.
상기 카메라(122)는 고해상도 디지털 카메라, 라인 스캔 카메라 또는 에리어 카메라 등이 다양하게 적용될 수 있다. 상기 카메라(122)는 좌우로 움직이는 시료판 위에 높은 필름 형태의 피 검사체의 표면이 중심축 즉, 상기 특정 지점(201)에 맞도록 설치되면, 이때의 중심축을 초점으로 하여 상기 구동부(121)의 회전체(210)에 설치된다.
상기 조명(123)은 상기 중심축을 초점으로 하는 카메라(122)와 광축이 일치하도록 즉, 상기 특정 지점(201)을 향하도록 상기 회전체(212)에 설치되며, 상기 회전체(212)에 연결된 지지대(242)를 이동시키는 이동 수단(232)에 의해 상기 회전체(212)가 회전함에 따라 각도 및 거리가 변환된다.
그러면 이와 같은 구조를 갖는 자동 영상 검사 시스템에서 자동 영상 검사 방법에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
라인 스캔 카메라와 같은 장비는 특성상 카메라가 물체를 바라보는 각도나 조명이 물체를 바라보는 여러 가지 각도마다 물체의 특성이 다르게 나타나므로 이를 연관성 있는 환경으로 가져가기 위해서는 영상 검사를 자동화해야 한다.
따라서 카메라와 조명을 한 점에 일치시키고, 카메라와 조명을 다양한 각도로 조절하며, 영상을 촬영하여 실험자가 원하는 결과를 얻을 때까지 자동으로 카메라의 각도를 조절해야 하는데, 이러한 각도 조절을 위한 동작을 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 자동 영상 검사 시스템에서 카메라의 각도를 자동으로 조절하기 위한 동작을 도시한 도면이다.
우선, 좌우로 움직이는 시료판 위에 높은 필름 형태의 피 검사체의 표면이 중심축에 맞도록 설치하고, 이 중심축을 초점으로 카메라(122)와 조명(123)의 광축이 일치하게 설치한다. 그러면 자동 영상 검사 시스템의 제어 장치(120)는 구동부(121)를 제어하여 상기 설치된 카메라(122)와 조명(123)을 움직인다.
상기 도 2 내지 도 4를 참조하여 구체적으로 설명하면, 300단계에서 제어 장치(120)는 카메라 및 조명을 초기화한 후, 301단계에서 카메라(122)의 각도를 변환할 것인지 확인한다. 확인 결과, 상기 카메라(122)의 각도를 변환하지 않는 경우 제어 장치(120)는 307단계를 수행하고, 그렇지 않은 경우에는 302단계에서 제어 장치(120)는 상기 구동부(121)로 카메라(122)의 각도를 변환시키기 위한 제어 신호를 발생하여 카메라(122)의 각도를 조절한다. 즉, 구동부(121)는 상기 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제어 신호에 따라 작업대(250) 상부 면을 따라 이동하는 이동 수 단(231)을 움직여 카메라(122)가 장착된 회전체(211)를 중심축을 기준으로 회전시킨다. 이렇게 회전체(211)가 회전됨에 따라 연결된 카메라(122)의 각도는 변하게 되며, 초점은 계속해서 중심축을 향하게 된다.
다음으로, 303단계에서 제어 장치(120)는 조명(123)의 각도를 변환시킬 것인지 확인한다. 확인 결과, 변환시키지 않는 경우 제어 장치(120)는 307단계를 수행하고, 그렇지 않은 경우에는 304단계에서 제어 장치(120)는 구동부(121)로 제어 신호를 전송하여 조명(123)의 각도를 조절한다. 즉, 구동부(121)는 상기 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제어 신호에 따라 작업대(250) 상부 면을 따라 이동하는 이동 수단(232)을 움직여 조명(123)이 장착된 회전체(212)를 중심축을 기준으로 회전시킨다. 이렇게 회전체(212)가 회전됨에 따라 연결된 카메라(122)의 각도는 변하게 되며, 초점은 계속해서 중심축을 향하게 된다.
이렇게 카메라(122) 및 조명(123)의 각도가 조절되면, 상기 카메라(122)는 상기 설치된 필름을 촬영하여 촬영된 영상을 제어 장치(120)로 전송한다.
이에 따라 305단계에서 상기 제어 장치(120)는 상기 카메라(122)로부터 촬영된 영상을 수신하여 저장한 후, 306단계에서 추가로 영상을 촬영할 것인지 확인하여 추가로 촬영하는 경우, 상기 304단계로 진행하여 이후 과정을 반복 수행한다.
반면, 상기 추가로 촬영을 하지 않는 경우 307단계에서 제어 장치(120)는 상기 저장된 촬영 영상들의 품질을 검사한 후, 308단계에서 재검사 여부를 확인한 후 동작을 재검사할 경우 다시 301단계로 진행하여 이후 과정을 수행하고, 그렇지 않은 경우 309단계에서 제어 장치(120)는 영상 품질 검사 결과를 저장한 후 동작을 종료한다. 상기 307단계에서 상기 촬영 영상들의 품질 검사는 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출(Edge 두께 조사)하여 추출된 성분을 이용하여 이루어진다.
이와 같은 동작에서 설명한 바와 같이, Q2 즉, 카메라(122)의 회전체(211)에 연결된 이동 수단(231)을 이동시켜 상기 회전체(211)를 회전시키면, 카메라(122)의 초점 거리를 변화시킬 수 있으며, 상기 Q2에 설치된 지지대(241)는 Q1을 중심축과 일치되는 고정점과 상기 Q2에 중간 지점의 고정점과 Q1의 이송 수단(231)의 상단에 고정된 지점으로 이루어진 삼각형 구조로서, 이는 삼각함수에 의해 계산되어지는 각도로 제어가 가능하다. 이러한 카메라(122)의 각도 및 거리의 변화에도 불구하고, 광축은 중심축을 벗어나지 않는다.
상기 Q1의 정밀도를 1/100mm라고 할 때, 각도 정밀도는 0.00_도 정도로 제어가 가능하다. 또한, Q1 내지 Q4와 같은 산업용 로봇의 구조상 볼 스쿠류를 사용하게 되는데, 베어링 공차에 의한 백래시(Backlash)에 의해 필연적으로 오차가 발생하지만, 상기와 같이 삼각 구조에서는 90도가 유지되는 위치에서 조차도 수직축의 무게가 삼각구조에 의해 수평축으로 힘이 분산되어 Q1축의 바깥 방향으로 힘이 가해지게 된다. 즉, 수직축으로 놓은 로봇에서 백래시가 0이 되듯이 수평축에서도 백래시가 소멸되어진다. 따라서 영상 검사 장치의 각도, 거리를 오차 없이 정밀하게 제어할 수 있다. 그리고 삼각형 즉, 지지대(241, 242)의 각 꼭짓점은 회전이 가능해야 하므로 베어링과 축으로 구성되며, 각 꼭짓점의 축은 상기 도 3에 도시된 바와 같은 공압에 의한 고정 클램프 장치를 가지고 있어서 이송이 끝난 후 영상 촬영 시 진동의 발생과 전달을 최소화할 수 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 발명청구의 범위뿐만 아니라 이 발명청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 종래의 각 피사체에 대해 최적의 조건을 산출하기 위한 검사 장비의 예를 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자동 영상 검사 시스템의 구조를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 영상 검사 시스템의 영상 감지 장치의 세부 구조를 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 자동 영상 검사 시스템에서 카메라의 각도를 자동으로 조절하기 위한 동작을 도시한 도면.

Claims (12)

  1. 특정 지점을 초점으로 하는 카메라 및 광축이 상기 특정 지점에 일치되어 설치된 조명을 포함하고, 상기 카메라 및 상기 조명의 각도가 제어 신호에 따라 조절되며, 영상을 촬영하는 영상 검사 장치; 및
    상기 영상 검사 장치를 제어하기 위한 상기 제어 신호를 발생하여 상기 카메라 및 상기 조명의 각도를 조절하고, 상기 영상 검사 장치에서 촬영된 영상에서 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하며, 추출한 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 촬영된 영상의 품질을 검사하는 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 영상 검사 장치는,
    상기 특정 지점을 초점으로 하여 설치되고, 상기 제어 장치로부터의 상기 제어 신호에 따라 각도가 조절되어 영상을 촬영하는 상기 카메라;
    광축이 상기 특정 지점에 일치되어 설치되고, 상기 제어 신호에 따라 각도가 조절되는 상기 조명; 및
    상기 카메라 및 상기 조명에 연결되어 상기 제어 신호에 따라 상기 카메라 및 상기 조명의 각도를 조절하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동부는,
    검사 대상이 위치하는 작업대;
    상기 특정 지점을 초점으로 하는 상기 카메라가 장착되고, 상기 특정 지점을 기준으로 회전하는 회전체;
    상기 회전체를 지지해주는 지지대; 및
    상기 지지대의 일단에 연결되어 상기 작업대 상에서 이동하는 이동 수단을 포함하며,
    상기 제어 신호에 따라 상기 이동 수단이 이동함에 따라 상기 회전체가 회전하여 상기 회전체에 장착된 상기 카메라의 각도가 자동으로 조절됨을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 구동부는,
    검사 대상이 위치하는 작업대;
    상기 특정 지점에 광축이 일치하도록 상기 조명이 장착되고, 상기 특정 지점을 기준으로 회전하는 회전체;
    상기 회전체를 지지해주는 지지대; 및
    상기 지지대의 일단에 연결되어 상기 작업대 상에서 이동하는 이동 수단을 포함하며,
    상기 제어 신호에 따라 상기 이동 수단이 이동함에 따라 상기 회전체가 회전하여 상기 회전체에 장착된 상기 조명의 각도가 자동으로 조절됨을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 지지대는 일단의 한 점이 상기 특정 지점에 일치되고, 다른 한 점이 상기 작업대 측에 형성되고, 타단은 상기 회전체에 고정되어 삼각형 구조로 형성되어 삼각함수에 의해 계산되어지는 각도로 제어됨을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제어 장치는,
    상기 영상 검사 장치로부터 촬영된 영상을 수신하는 영상 수신부;
    상기 영상 수신부를 통해 수신된 영상에서 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하고, 추출한 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 수신된 영상의 품질을 분석하며, 품질 분석 결과를 저장하는 영상 처리부; 및
    상기 품질 분석 결과에 따라 상기 영상 검사 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 발생하는 장치 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템.
  7. 삭제
  8. 특정 지점을 초점으로 하는 카메라 및 광축이 상기 특정 지점에 일치되어 설치된 조명을 포함하고 영상을 촬영하는 영상 검사 장치와, 상기 영상 검사 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하는 자동 영상 검사 시스템에서, 자동으로 영상을 감시하는 방법에 있어서,
    상기 제어 장치에서 상기 영상 검사 장치로 발생한 제어 신호에 따라 상기 카메라의 각도를 조절하는 과정;
    상기 제어 장치에서 상기 영상 검사 장치로 발생한 제어 신호에 따라 상기 조명의 각도를 조절하는 과정;
    상기 영상 검사 장치에서 피사체의 영상을 촬영하는 과정;
    상기 제어 장치에서 상기 촬영된 영상을 수신하여 수신된 영상에서 주파수 성분 및 엣지(Edge) 성분을 추출하고, 추출한 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 수신된 영상의 품질을 검사하는 과정; 및
    상기 영상의 품질 검사에 따른 결과를 저장하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템에서의 자동 영상 감시 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제어 장치에서 상기 영상의 품질 검사에 따른 결과가 미리 정해진 기준치에 미달하는 경우 상기 피사체의 영상을 재검사하도록 상기 영상 검사 장치로 다시 제어 신호를 발생하는 과정을 더 포함하며, 상기 과정들을 반복 수행함을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템에서의 자동 영상 감시 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 카메라의 각도를 조절하는 과정은, 상기 제어 신호에 따라 상기 영상 감시 장치의 구동부를 동작시켜 상기 카메라가 장착된 상기 구동부의 회전체를 회전시킴으로써 상기 카메라의 각도를 자동으로 조절함을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템에서의 자동 영상 감시 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 조명의 각도를 조절하는 과정은, 상기 제어 신호에 따라 상기 영상 감시 장치의 구동부를 동작시켜 상기 조명이 장착된 상기 구동부의 회전체를 회전시킴으로써 상기 조명의 각도를 자동으로 조절함을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템에서의 자동 영상 감시 방법.
  12. 제8항에 있어서, 상기 수신된 영상의 품질을 검사하는 과정은,
    상기 수신된 영상을 분석하여 주파수 성분을 추출하는 단계;
    상기 수신된 영상을 분석하여 엣지(Edge) 성분을 추출하는 단계; 및
    상기 추출된 주파수 성분 및 엣지 성분이 기설정된 기준치를 만족하는지 여부를 판단하여 상기 수신된 영상의 품질을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 영상 검사 시스템에서의 자동 영상 감시 방법.
KR1020080014607A 2008-02-18 2008-02-18 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법 KR100939541B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080014607A KR100939541B1 (ko) 2008-02-18 2008-02-18 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080014607A KR100939541B1 (ko) 2008-02-18 2008-02-18 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090089192A KR20090089192A (ko) 2009-08-21
KR100939541B1 true KR100939541B1 (ko) 2010-02-03

Family

ID=41207538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080014607A KR100939541B1 (ko) 2008-02-18 2008-02-18 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100939541B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9066014B2 (en) * 2013-10-11 2015-06-23 Facebook, Inc. Applying video stabilization to a multimedia clip

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060094356A (ko) * 2005-02-24 2006-08-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 엘시디 검사장치
KR100662209B1 (ko) 2005-11-10 2006-12-28 태산엘시디 주식회사 백라이트 유닛의 비젼 및 휘도 검출시스템
KR100690027B1 (ko) 2006-01-02 2007-03-08 에버테크노 주식회사 Ｌｃｄ판넬 검사장치 및 방법
KR100840832B1 (ko) 2007-09-06 2008-06-23 호서대학교 산학협력단 엘시디패널의 외관 검사장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060094356A (ko) * 2005-02-24 2006-08-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 엘시디 검사장치
KR100662209B1 (ko) 2005-11-10 2006-12-28 태산엘시디 주식회사 백라이트 유닛의 비젼 및 휘도 검출시스템
KR100690027B1 (ko) 2006-01-02 2007-03-08 에버테크노 주식회사 Ｌｃｄ판넬 검사장치 및 방법
KR100840832B1 (ko) 2007-09-06 2008-06-23 호서대학교 산학협력단 엘시디패널의 외관 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090089192A (ko) 2009-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019217625A (ja) 軸類パーツの加工装置
US10521895B2 (en) Dynamic automatic focus tracking system
US10142621B2 (en) Mass production MTF testing machine
US20110128368A1 (en) Hole Inspection Method and Apparatus
KR101747852B1 (ko) 인쇄회로기판 코팅 검사장치 및 그 검사방법
US8164625B2 (en) Device and method for visually recording two-dimensional or three-dimensional objects
KR102119492B1 (ko) 표면 결함 검사 장치
JP7258869B2 (ja) パイプの雄ネジの輪郭を光学的に測定するためのデバイス
CN107993958B (zh) 半导体缺陷检测/光刻中的正交性补偿方法及补偿系统
JP6927790B2 (ja) 検査方法及び検査装置
CN114384091A (zh) 自动对焦装置、面板检测设备及其方法
CN110470247B (zh) 一种零件内外圆面同轴度的检测装置及检测方法
CN209992407U (zh) 线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置
CN112881405B (zh) 一种检测装置及检测方法
KR100939541B1 (ko) 자동 영상 검사 시스템 및 그 시스템에서의 자동 영상 검사방법
CN210720188U (zh) 一种快速自动化光学检测系统
KR20220044741A (ko) 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법
CN108273768B (zh) 一种偏光片筛选装置及筛选方法
JP2003294419A (ja) 微小寸法測定装置
CN111198190A (zh) 光学检测系统
CN215179745U (zh) 一种检测设备
CN112888531B (zh) 工件检查装置和工件检查方法
JPH03184742A (ja) Ｎｃ加工装置における原点補正方法
KR20100137066A (ko) 작업성이 향상된 전자기기용 표면 검사장치
TW202007954A (zh) 辨識孔壁瑕疵的檢測設備

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee