KR100936060B1 - 앵글 진공 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 앵글 진공 밸브를 제공한다. 상기 앵글 진공 밸브는 그 내부에 외부로부터 공급되는 압축 공기에 의하여 개폐되며 그 일단에 마그네트를 갖는 피스톤 축이 설치되는 실린더 몸체와, 상기 실린더 몸체의 외주에 서로 마주 보도록 형성되며, 상기 외주의 길이 방향을 따라 일정 길이로 마련되고, 상방으로 일정 길이 연장되는 레일 몸체와, 상기 레일 몸체의 상단부에서 직교되도록 벤딩되는 끼움 레일을 갖는 가이드 레일부와, 상기 가이드 레일부에 끼워져 활주되며, 일정 위치에서 고정되는 한 쌍의 고정 브라켓부와, 상기 한 쌍의 고정 브라켓부에 고정 설치되어 상기 마그네트로 인한 자기장을 감지하여 상기 피스톤 축 일단의 위치를 감지하는 센서를 구비한다.

또한, 본 발명은 진공 밸브로 인한 유로의 개폐 상태를 감지할 수 있는 센서의 설치 위치를 용이하게 이동 및 설치할 수 있음과 아울러 압축 공기의 공급에 의해 유동되는 피스톤 축을 엔지니어링 프라스틱 베어링으로 이동을 용이하게 가이드하고, 상기 피스톤 축의 마모 및 파손을 방지할 수 있다.

Description

앵글 진공 밸브{angle vacuum valve}

본 발명은 앵글 진공 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 밸브의 유로 개폐 상태를 감지할 수 있는 센서의 설치와 그 위치 선정 및 이동을 용이하게 할 수 있음과 아울러 압축 공기의 공급으로 인하여 유동되는 피스톤 축의 이동을 용이하게 가이드하고, 상기 피스톤 축의 마모 및 파손을 방지할 수 있는 앵글 진공 밸브에 관한 것이다.

전형적으로, 반도체나 엘씨디는 고정밀도를 가지므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공 상태에서 제조되어진다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업 구역과 대기와의 밀폐 기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 주게 된다.

상기의 반도체 소자는 기능이 다양해지고 메모리의 용량이 증가될수록 칩내의 집적도가 필수적으로 향상되어야 하고, 그 만큼 제조기술 및 공정기술 그리고 장비기술이 뒷받침되어야 한다. 특히, 반도체가 고집적화 되면 칩내의 선폭이 더욱 미세하게 관리되어야 하고, 이에 따른 오염물 관리의 중요성이 더욱 커지게 된다.

대기중에는 니트로겐(Nitrogen), 옥시겐(Oxygen), 네온(Neon) 등 많은 오염원이 있는데, 반도체 제조공정에는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버내의 공기와 이에 포함된 오염원을 진공펌프를 사용하여 배출시키고 있다.

한편, 챔버와 진공펌프와의 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력을 챔버로 전달하거나 차단하는 기능을 수행하는 센서 감지형 앵글 진공 밸브가 알려져 있다.

종래의 기술인 대한민국 등록특허 제10-0448173호는 내부에 형성된 중공(112)과, 챔버와 상기 중공(112)을 연결하는 제1통로(114)와, 상기 중공(112)과 진공펌프를 연결하는 제2통로(116)를 갖는 몸체(110); 상기 중공(112)으로부터 외부로 형성된 개구부(118)에 결합되고, 중심에 관통공(162)이 형성된 실플레이트(160); 상기 개구부(118)의 외측에서 상기 몸체(110)에 결합된 에어실린더(130); 상기 에어실린더(130) 내에서 왕복되는 피스톤(132); 상기 에어실린더(130) 내에서 상기 피스톤(132)을 탄성지지하는 압축스프링(134); 상기 압축스프링(134)과 대향되는 방향에서 상기 피스톤(132)에 연결되고, 상기 관통공(162)으로 통과된 샤프트(140); 상기 중공(112) 내에서 상기 실플레이트(160)에 결합된 벨로우즈(150); 상기 벨로우즈(150)의 상부에서 상기 샤프트(140)에 결합되어 제1통로(114)를 개폐하는 밀폐판(144);을 갖는 센서 감지형 앵글밸브에 있어서, 상기 관통공(162)에는 상기 샤프트(140)를 가이드하는 제2오링(172) 및 부싱(174)이 결합되고; 상기 샤프트(140)의 선단에는 나사부(142)가 형성되고, 상기 밀폐판(144)에는 상기 나사부(142)가 결합되는 너트부(146)가 형성되며; 상기 피스톤(132)에는 링형의 마그네트(180)가 결합되고, 상기 마그네트(180)의 자기장을 감지하는 한쌍의 홀센서(182) 가 브래킷(184)에 의해 상기 에어실린더(130)의 외부에 부착된 것을 특징으로 하는 센서 감지형 앵글 밸브를 제공한다.

여기서, 상기 마그네트(180)는, 다수의 구간별로 구분되고, 상기 브래킷(184)은, 상기 에어실린더(130)의 플랜지(131)에 접촉되는 고정부(186); 상기 고정부(186)에 연결되고, 상기 홀센서(182)가 부착되는 센서부착부(190); 및 상기 센서부착부(190)에 연결되고, 상기 홀센서(182)로부터 인출된 전선의 단자가 설치되는 단자설치부(192);를 포함한다.

그러나, 상기 등록특허 제10-0448173호에서의 제2오링은 축이동하는 샤프트의 외주를 가이드하나, 샤프트의 다수의 위치에서 가이드하지 못함과 아울러 제2오링이 고무 재질로 이루어질 경우에 이동되는 샤프트를 구름 지지할 수 없고, 밸브의 내부에 일정 이상의 열이 발생되는 경우에 제2오링 자체에 열화가 발생되어 샤프트 및 관통공에 눌어붙는 문제점을 가질 수 있다.

이에 더하여, 상기 홀센서(182)가 부착되는 센서부착부(190)를 구비하나, 센서 부착부에서 홀센서의 위치를 가변시키는 경우에 홀센서를 슬라이딩 이동시키어 그 위치를 가변시킬 수 없고, 홀센서를 센서부착부로부터 제거하여 별도의 다른 위치에 재 설치하여야 하는 문제점을 갖는다.

또한, 상기와 같이 홀센서를 재설치하는 경우에 사용자가 바닥으로 떨어뜨리어 센서가 파손되는 문제점도 갖는다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 안출된 것으로서, 본 발명의 제1목적은 실린더 몸체의 내부에서 압축 공기의 공급에 따라 유동되는 피스톤 축의 이동 동작을 용이하게 감지할 수 있는 앵글 진공 밸브를 제공함에 있다.

본 발명의 제2목적은 고정 몸체의 가이드 홀에 끼워져 이동되는 피스톤 축의 외주 상의 마모를 용이하게 방지하여 진공 밸브의 부품 수명을 연장시킬 수 있는 앵글 진공 밸브를 제공함에 있다.

본 발명의 제3목적은 진공 밸브의 개폐 상태를 감지하기 위하여 상기 피스톤 축과 연동되는 마그네틱을 갖는 이동판의 위치를 감지하는 센서들을 실린더 몸체의 외주에 용이하게 가변시키어 고정할 수 있는 앵글 진공 밸브를 제공함에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르는 앵글 진공 밸브는 실린더 몸체와 상기 실린더 몸체의 내부에는 밸브를 개폐하는 피스톤부로 구성되는 앵글 진공 밸브에 있어서, 상기 실린더 몸체는 제1,2 실린더 몸체로 이루어지고, 상기 제2 실린더 몸체의 외주연에는 밸브의 개폐를 감지하는 센서가 설치되는 가이드 레일부가 형성된 구성으로 이루어진다.

여기서, 상기 가이드 레일부는 상기 실린더 몸체의 외주에 길이 방향을 따라 서로 마주 보도록 형성되되, 상방으로 일정 길이 연장되는 레일 몸체와, 상기 레일 몸체의 상단부에서 직교되도록 벤딩되는 끼움 레일을 갖는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 가이드 레일부는 레일 몸체의 하부 양측에 센서 안착부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 가이드 레일부에는 고정 브라켓부가 고정 지지되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 고정 브라켓부는 상기 센서의 일측으로부터 일정 길이 연장되며 하방으로의 돌출부가 형성되고 그 중앙을 관통하는 제1관통공이 형성되는 메인 브라켓과, 상기 메인 브라켓의 저부에 결합되며, 그 상단에 상기 제1돌출부가 끼워지는 홈이 형성되고, 그 하단에 그 하방을 따라 일정 길이 돌출되고 그 길이 방향을 따라 일정 길이 연장되는 한 쌍의 지지 돌기가 형성되고, 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 형성되는 서브 브라켓과, 상기 가이드 레일부에 끼워져 활주되며, 상기 제2관통공과 연통되는 제3관통공이 형성되는 활주 브라켓과, 상기 제1관통공과 상기 제2관통공과 상기 제3관통공에 끼워져 결합되는 고정 볼트로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 활주 브라켓은 그 하단이 상기 실린더 몸체의 외주측에 배치되고, 그 상단에 상기 한 쌍의 지지 돌기의 내측부를 지지하도록 돌출된 제 2돌출부가 형성되되, 상기 끼움 레일의 단부는 상기 한 쌍의 지지 돌기의 외측부에 위치되도록 상기 서브 브라켓의 하단과 상기 활주 브라켓의 상단의 사이 공간에 끼워져 활주되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 피스톤부는 상기 실린더 몸체의 내부 공간에 위치되되, 일정 길이를 갖는 피스톤 축과, 상기 개폐영역에 배치되도록 상기 피스톤 축의 일단에 설치되는 밸브 개폐판과, 상기 압축 공기 영역에 배치되도록 상기 피스톤 축의 타단에 설치되는 이동판과, 상기 밸브 개폐판과 상기 이동판의 사이에는 가이드 고정 부가 피스톤 축에 삽입 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이동판에는 외주에 마그네트가 설치되고, 상기 가이드 고정부의 중심에는 가이드 베어링이 설치되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 가이드 베어링은 엔지니어링 프라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 센서는 한 쌍으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 실린더 몸체의 내부에서 압축 공기의 공급 여부에 따라 유동되는 피스톤 축의 이동 동작을 용이하게 할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 고정 몸체의 가이드 홀에 끼워져 이동되는 피스톤 축의 의 이동을 용이하게 하고 외주 상의 마모를 방지하여 진공 밸브의 부품의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 진공 밸브의 개폐 상태를 감지하기 위하여 상기 피스톤 축과 연동되는 마그네틱을 갖는 이동판의 위치를 감지하는 센서들을 실린더 몸체의 외주에 고정시키는 위치를 용이하게 가변할 수 있는 효과를 갖는다.

이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 앵글 진공 밸브를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 앵글 진공 밸브를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'를 따르는 분해 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'를 따 르는 조립 단면도이고, 도 4는 본 발명의 앵글 진공 밸브의 폐쇄 상태에서 도 1에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따르는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 앵글 진공 밸브의 개방 상태에서 도 1에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따르는 다른 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따르는 가이드 고정부를 보여주는 단면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 가이드 홀의 다른 예를 보여주는 단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 앵글 진공 밸브는 크게 실린더 몸체(100)와 피스톤부(400)로 구성되어 진다.

상기 실린더 몸체(100)는 일측부에 서로 다른 방향의 유로를 형성하는 제1,2개구부(111,112)가 제1 실린더 몸체(110)의 내부에 공간을 형성하면서 구성된다.

또한, 상기 실린더 몸체(100)는 그 중앙부를 경계로 도 4에 도시된 고정 몸체(510)를 경계로 밸브 개폐영역(A1)과 압축공기 공급영역(A2)을 이룬다.

상기 실린더 몸체(100)는 상기 밸브 개폐영역(A1)이 형성되는 제1 실린더 몸체(110)와, 상기 제1 실린더 몸체(110)와 결합되며 상기 압축공기 공급영역(A2)이 형성되는 제2 실린더 몸체(120)로 구성된다.

또한, 상기 제1 실린더 몸체(110)와 상기 제2 실린더 몸체(120)가 결합되는 결합 경계부에는 제1,2 단턱부(115,125)가 각각 형성된다.

상기 제1,2 단턱부(115,125)는 하기에 기술된 고정 몸체(510)의 외주에서 돌출되는 걸림 돌출부(511)를 지지하여 고정하는 역할을 한다.

또한, 상기 실린더 몸체(100)는 상기 압축공기 공급영역(A2)의 서로 다른 위 치에서 외부로부터 압축 공기를 공급받도록 형성되는 한 쌍의 에어 공급홀(50)이 형성된다. 상기 에어 공급홀들(50)은 도면에 도시되지 않은 에어 공급기와 튜브로 연결될 수 있다.

상기 한 쌍의 에어 공급홀(50)은 제1 에어 공급홀(51)과 제2 에어 공급홀(52)로 구성된다.

상기 제1 에어 공급홀(51)은 하기에 기술될 이동판(430)의 외측부에 위치되고, 상기 제2 에어 공급홀(52)은 상기 이동판(430)과 가이드 고정부(500)의 사이 위치에 위치된다.

그리고, 도 1을 참조 하면, 상기 실린더 몸체(100)의 제2 실린더 몸체(120) 외주에는 가이드 레일부(200)가 설치된다.

상기 가이드 레일부(200)는 상기 실린더 몸체(100)의 외주에서 서로 마주 보도록 1쌍이 마련된다.

상기 가이드 레일부(200)의 구성을 보다 구체적으로 설명하기 위해 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 가이드 레일부(200)는 상기 제2 실린더 몸체(120) 외주의 길이 방향을 따라 일정 길이로 형성되고, 상방으로 일정 길이 연장되는 레일 몸체(210)와, 상기 레일 몸체(210)의 상단부에서 직교되도록 벤딩되는 끼움 레일(220)로 이루어진다.

그리고, 레일 몸체(210)의 하부 양측에는 센서 안착부(230)가 형성된다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 실린더 몸체(100)의 내부 공간에는 피스톤부(400)가 배치된다.

상기 피스톤부(400)는 일정 길이를 갖는 피스톤 축(410)과, 상기 밸브 개폐영역(A1)에 배치되도록 상기 피스톤 축(410)의 일단에 설치되는 밸브개폐판(420)과, 상기 압축공기 공급영역(A2)에 배치되도록 상기 피스톤 축(410)의 타단에 설치되며, 그 외주에 마그네트(M)가 설치되는 이동판(430)으로 구성된다.

여기서, 상기 이동판(430)을 경계로 우측에는 제1 에어 공급홀(51)이 위치되고, 좌측에는 제2 에어 공급홀(52)이 위치된다.

상기 실린더 몸체(100)의 내부 공간의 중앙부, 즉 제1 실린더 몸체(110)와 제2 실린더 몸체(120)가 결합되는 위치에는 상기 피스톤 축(410)의 이동을 가이드하는 가이드 고정부(500)가 위치된다.

상기 가이드 고정부(500)는 상기 피스톤 축(410)이 끼워지는 가이드 홀(520)이 형성되는 원판형의 고정 몸체(510)와, 상기 가이드 홀(520)의 길이 방향을 따라 상기 가이드 홀(520)의 근방의 다수의 위치에 설치되어 상기 피스톤 축(410)의 외주를 미끄럼 지지하는 가이드 베어링(530)으로 구성된다.

여기서, 상기 고정 몸체(510)의 외주에는 걸림 돌출부(511)가 형성된다. 상기 걸림 돌출부(511)는 제1,2 실린더 몸체(110,120)의 각각에 형성된 제1, 2 단턱부(115,125)에 지지되어 상기 고정 몸체(510)를 고정시킨다.

여기서, 상기 고정 몸체(510)에는 상기 가이드 홀(520)의 내측에 상기 가이드 베어링(530)이 압입되어 피스톤 축(410)과 미끄럼 운동을 한다.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 베어링(530)은 상기 가이드 홀(520)에 압입되어 구성될 수 있으며, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 가이드 홀(520)의 양측 단부에 단턱(540)을 형성하여 가이드 베어링(530)이 단턱(540)에 의해 지지 고정될 수도 있다.

한편, 상기 가이드 베어링(530)은 강도, 탄성(彈性)뿐만 아니라, 내충격성(耐衝擊性), 내마모성(耐磨耗性), 내열성(耐熱性), 내한성(耐寒性), 내약품성 및 전기절연성(電氣絶緣性)을 갖는 엔지니어링 플라스틱으로 이루어질 수 있다.

한편, 도 2 및 도 3을 참조 하면, 상기 실린더 몸체(100)의 외주에 위치된 가이드 레일부(200)에는 한 쌍의 고정 브라켓(300) 끼워져 활주 될 수 있고, 일정 위치에서 고정될 수 있다.

또한, 상기 한 쌍의 고정 브라켓(300)에는 이동판(430)에 설치된 마그네트(M)로 인한 자기장을 감지하여 상기 이동판(430)의 위치를 감지하는 센서(600)가 각각 설치된다.

상기 센서(600)는 마그네트(M)로 인한 자기장을 감지하는 감지기일 수 있다.

상기 고정 브라켓(300)의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.

도 2를 참조 하면, 상기 고정 브라켓(300)은 가이드 레일부(200)에 끼워지는 활주 브라켓(340)과, 상기 활주 브라켓(340)의 상단에 위치되는 서브 브라켓(330)과, 상기 서브 브라켓(330)의 상단에 위치되는 메인 브라켓(310)과, 상기 메인 브라켓(310)의 상단에 위치되는 와셔(320)와, 상기 활주 브라켓(340), 상기 서브 브라켓(330), 상기 활주 브라켓(310) 및 상기 와셔(320)를 서로 고정하는 고정 볼트(350)로 구성된다.

상기 메인 브라켓(310)은 상기 센서(600)의 일측으로부터 일정 길이 연장되며 하방으로 제1돌출부(311)가 형성되고 그 중앙을 관통하는 제1관통공(310a)이 형성된다.

상기 서브 브라켓(330)은 상기 메인 브라켓(310)의 상부에 위치되는 와셔(320)와, 상기 메인 브라켓(310)의 저부에 결합되며, 그 상단에 상기 제1돌출부(311)가 끼워지는 홈(331)이 형성되고, 그 하단에 그 하방을 따라 일정 길이 돌출되고 그 길이 방향을 따라 일정 길이 연장되는 두 쌍의 지지 돌기(332)가 형성되고, 상기 제1관통공(310a)과 연통되는 제2관통공(330a)이 형성된다.

상기 활주 브라켓(340)은 상기 제2관통공(330a)과 연통되는 제3관통공(340a)이 형성되되, 제3관통공(340a)의 내부에는 고정볼트(350)가 결합되는 나사가 형성된다.

상기 활주 브라켓(340)은 그 하단이 상기 실린더 몸체(100)의 외주측에 배치되고, 그 상단에 상기 두 쌍의 지지 돌기(332)의 내측부에 지지되도록 돌출된 제2돌출부(341)가 형성된다.

여기서, 상기 레일 몸체(210)의 상부에 벤딩된 끼움 레일(220)의 단부, 즉 내측에는 상기 두 쌍의 지지 돌기(332)의 외측이 지지되도록 설치되어 상기 서브 브라켓(330)의 하단과 상기 활주 브라켓(340)의 상단의 사이 공간에 끼워져 활주되도록 된다.

그리고, 상기 메인 브라켓(310)과 일체로 형성된 센서(600)는 고정브라켓(300)의 구성에 의해 가이드 레일부(200)에 고정되는데 센서(600)의 안정적인 지 지를 위하여 센서(600)의 하부가 가이드 레일부(200)의 하부 측면에 형성된 센서 안착부(230)에 지지 안착되게 된다.

다음은, 본 발명의 앵글 진공 밸브의 작용 및 효과를 설명하도록 한다.

도 1을 참조 하면, 한 쌍의 센서(600)는 고정 브라켓(300)에 의하여 가이드 레일부(200)에 삽입되어 활주에 의해 일정 위치에 고정된다.

상기 한 쌍의 센서(600) 각각은 도 3에 도시된 바와 같이, 그 외주로 돌출 형성된 메인 브라켓(310)이 상기와 같이 서브 브라켓(330)과 활주 브라켓(340) 및 와셔(320)와 서로 고정 볼트(350)에 의하여 결합됨으로써 하나의 몸체로 조립된다.

이어, 상기 서브 브라켓(330)의 하단과 상기 활주 브라켓(340)의 상단 양측 사이에 형성되는 공간을 가이드 레일부(200)의 끼움 레일(220)에 끼운다.

이때, 상기 끼움 레일(220)의 단부는 상기 서브 브라켓(330)의 두 쌍의 지지 돌기(332)의 외측부에 지지되게 된다.

따라서, 상기 하나의 몸체로 조립된 센서(600)들은 상기 끼움 레일(220)을 따라 일정 위치로 활주되어 이동될 수 있다.

이어, 상기 센서(600)들은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 압축공기 공급영역(A2)에 위치시키게 된다.

이와 같이 위치시킨 이후에 도 3에 도시된 고정 볼트(350)를 일방향으로 회전시키면 상기 서브 브라켓(330)과 상기 활주 브라켓(340)은 서로 밀착되고, 이로 인하여 상기 서브 브라켓(330)의 하단과 상기 활주 브라켓(340)의 상단은 끼움 레 일(220)의 상하면에 고정 지지되게 된다.

따라서, 상기 센서(600)들 각각은 상기와 같은 방법으로 정해진 위치에 고정되게 된다.

이어, 도 4 및 도 5를 참조하면, 밸브의 개폐를 위하여 한 쌍의 에어 공급홀(50)로 압축 공기가 공급되게 된다.

도 4는 실린더 몸체(100)의 제1 개구부(111)가 밸브 개폐판(420)에 의하여 밀폐된 상태, 즉 밸브가 폐쇄된 상태를 나타내고 있다.

이 경우는 제1 에어 공급홀(51)로 압축 공기가 공급되면, 이 압축 공기는 이동판(430)의 일측면(도면에서 보아 우측면)에 압력을 발생시키고 이로 인하여 이동판(430) 및 개폐판(420)이 양단부에 설치된 피스톤 축(410)은 화살표 방향을 따라 좌측으로 이동된다.

여기서, 상기 피스톤 축(410)은 실린더 몸체(100)의 중앙부에 고정 설치된 고정 몸체(510)의 가이드 홀(520)을 통하여 이동이 가이드된다.

이때, 상기 가이드 홀(520)의 내측에 설치되는 가이드 베어링(530)은 상기 이동되는 피스톤 축(410)의 외주면과 면접촉하여 상기 이동되는 피스톤 축(410)을 그 외주에서 미끄럼 지지할 수 있다.

따라서, 상기 가이드 베어링(530)은 상기 피스톤 축(410)의 이동 동작을 용이하게 할 수 있고, 이에 더하여, 상기 피스톤 축(410)의 외면 또는 가이드 홀(520)의 내측면이 파손되는 것을 용이하게 방지할 수 있다.

이어, 상기 이동된 피스톤 축(410) 일단에 설치된 개폐판(420)은 상기 실린 더 몸체(100)의 일단에 형성된 제1 개구부(111)의 내측면에 밀착되어, 상기 제1 개구부(111)를 외부로부터 폐쇄할 수 있다.

이때, 상기 이동판(430)에 설치된 마그네트(M)가 좌측으로 이동하게 되고, 가이드 레일부(200)의 내측에 설치된 센서(600)에 의해 밸브가 폐쇄된 상태를 검지할 수 있게 된다.

한편, 도 5는 실린더 몸체(100)의 제1 개구부(111)가 개방된 상태, 즉 밸브가 개방된 상태를 나타내고 있다.

이 경우는, 제2 에어 공급홀(A2)로 압축 공기가 공급되면, 이 압축 공기는 이동판(430)의 타측면(도면에서 보아 좌측면)에 압력을 발생시키고 이로 인하여 이동판(430) 및 개폐판(420)이 양단부에 설치된 피스톤 축(410)은 화살표 방향을 따라 우측으로 이동된다.

여기서, 상기 피스톤 축(410)은 실린더 몸체(100)의 중앙부에 고정 설치된 고정 몸체(510)의 가이드 홀(520)을 통하여 이동이 가이드된다.

이때, 상기 가이드 홀(520)의 내측에 설치되는 가이드 베어링(530)은 상기 이동되는 피스톤 축(410)의 외주면과 면접촉하여 상기 이동되는 피스톤 축(410)을 그 외주에서 미끄럼 지지할 수 있다.

따라서, 상기 가이드 베어링(530)은 상기 피스톤 축(410)의 이동 동작을 용이하게 할 수 있고, 이에 더하여, 상기 피스톤 축(410)의 외면 또는 가이드 홀(520)의 내측면이 파손되는 것을 용이하게 방지할 수 있다.

이어, 상기 이동된 피스톤 축(410) 일단에 설치된 밸브 개폐판(420)은 상기 실린더 몸체(100)의 일단에 형성된 제1 개구부(111)로부터 이격되어 상기 제1 개구부(111)를 외부와 연통되도록 개방하여 제2 개구부(112)로 유동물이 흐를 수 있게 한다.

이때, 상기 이동판(430)에 설치된 마그네트(M)가 우측으로 이동하게 되고, 가이드 레일부(200)의 외측에 설치된 센서(600)에 의해 밸브가 개방된 상태를 검지하여 밸브의 개방을 확인할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능한 것이다.

도 1은 본 발명의 앵글 진공 밸브를 보여주는 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'를 따르는 분해 단면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'를 따르는 조립 단면도이다.

도 4는 본 발명의 앵글 진공 밸브의 폐쇄 상태에서 도 1에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따르는 단면도이다.

도 5는 본 발명의 앵글 진공 밸브의 개방 상태에서 도 1에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따르는 다른 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따르는 가이드 고정부를 보여주는 단면도이다.

도 7은 도 6에 도시된 가이드 홀의 다른 예를 보여주는 단면도이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

100 : 실린더 몸체 200 : 가이드 레일부

210 : 레일 몸체 220 : 끼움 레일

300 : 고정 브라켓부 310 : 메인 브라켓

320 : 와셔 330 : 서브 브라켓

340 : 활주 브라켓 400 : 피스톤부

410 : 피스톤 축 420 : 개폐판

430 : 이동판 500 : 가이드 고정부

510 : 고정 몸체 520 : 가이드 홀

530 : 가이드 베어링 600 : 센서

Claims (11)

1. 실린더 몸체와 상기 실린더 몸체의 내부에는 밸브를 개폐하는 피스톤부로 구성되는 앵글 진공 밸브에 있어서,

   상기 실린더 몸체는 제1,2 실린더 몸체로 이루어지고, 상기 제2 실린더 몸체의 외주연에는 밸브의 개폐를 감지하는 센서가 구비된 고정 브라켓부가 설치되는 가이드 레일부가 형성되고,

   상기 고정 브라켓부는 상기 센서의 일측으로부터 일정 길이 연장되며 하방으로의 제1돌출부가 형성되고 그 중앙을 관통하는 제1관통공이 형성되는 메인 브라켓과, 상기 메인 브라켓의 저부에 결합되며, 그 상단에 상기 제1돌출부가 끼워지는 홈이 형성되고, 그 하단에 그 하방을 따라 일정 길이 돌출되고 그 길이 방향을 따라 일정 길이 연장되는 한 쌍의 지지 돌기가 형성되고, 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 형성되는 서브 브라켓과, 상기 가이드 레일부에 끼워져 활주되며, 상기 제2관통공과 연통되는 제3관통공이 형성되는 활주 브라켓과, 상기 제1관통공과 상기 제2관통공과 상기 제3관통공에 끼워져 결합되는 고정 볼트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
2. 제1항에 있어서,

   상기 가이드 레일부는 상기 실린더 몸체의 외주에 길이 방향을 따라 서로 마주 보도록 형성되되, 상방으로 일정 길이 연장되는 레일 몸체와, 상기 레일 몸체의 상단부에서 직교되도록 벤딩되는 끼움 레일을 갖는 것을 특징으로 하는 앤글 진공 밸브.
3. 제2항에 있어서,

   상기 가이드 레일부는 레일 몸체의 하부 양측에 센서 안착부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 앤글 진공 밸브.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,

   상기 활주 브라켓은 그 하단이 상기 실린더 몸체의 외주측에 배치되고, 그 상단에 상기 한 쌍의 지지 돌기의 내측부를 지지하도록 돌출된 제 2돌출부가 형성되되, 끼움 레일의 단부는 상기 한 쌍의 지지 돌기의 외측부에 위치되도록 상기 서브 브라켓의 하단과 상기 활주 브라켓의 상단의 사이 공간에 끼워져 활주되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
7. 제1항에 있어서,

   상기 피스톤부는 상기 실린더 몸체의 내부 공간에 위치되되, 일정 길이를 갖는 피스톤 축과, 개폐영역에 배치되도록 상기 피스톤 축의 일단에 설치되는 밸브 개폐판과, 압축 공기 영역에 배치되도록 상기 피스톤 축의 타단에 설치되는 이동판과, 상기 밸브 개폐판과 상기 이동판의 사이에는 가이드 고정부가 피스톤 축에 삽입 설치된 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
8. 제7항에 있어서,

   상기 이동판에는 외주에 마그네트가 설치되는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
9. 제7항에 있어서,

   상기 가이드 고정부의 중심에는 가이드 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
10. 제9항에 있어서,

    상기 가이드 베어링은 엔지니어링 프라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.
11. 제1항에 있어서,

    상기 센서는 한 쌍으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 앵글 진공 밸브.

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