KR100935704B1 - 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 선상으로 연장되며 도체로 형성된 신호심선과, 이 신호심선의 축방향으로 연장되며, 일단이 신호심선의 반을 둘러싸도록 반원형으로 형성되고, 신호심선과 전기적으로 절연된 도체로 형성된 심선용 쉴드와, 신호심선에서 하부에서 하향으로 연장형성되는 신호전극과, 심선용 쉴드의 양측에서 하향으로 연장형성되는 접지전극을 포함하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 상기 신호전극의 하단이 연결되도록 하면서 신호전극의 하부에 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 신호접속부와; 상기 접지전극의 하단이 연결되도록 하면서 접지전극의 하부에서 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 접지접속부를 포함한다.

따라서, 신호전극과 접지전극이 기판의 기판 신호선과 기판 접지선에 탄력적으로 접속할 수 있게 함과 동시에 신호전극의 전극편과 접지전극의 접지편에 물리적인 힘이 가해질 경우, 신호접속부와 접지전속부 다수 개가 각각 분리되게 접속되기 때문에 물리적인 힘으로부터 안정적인 접속구조를 가질 수 있게 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터를 제공한다.

Description

반도체 부품 테스트 장치용 커넥터{CONNECTOR FOR SEMICONDUCTOR COMPONENT MOUNTING APPARATUS}

본 발명은 다수 개의 신호심선과 심선용 쉴드가 하우징에 형성된 수용부에 삽입되어 반도체 시험장치 등에서 시험에 필요한 신호를 생성하는 디바이스로 신호를 송수신하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 시험 장치 등에서 시험 대상이 되는 전자 디바이스(Device　Under　Test)를 시험하는 경우, 시험에 필요한 신호를 생성하는 테스터 제어장치 등과 전자 디바이스는, 테스트 헤드 등과 같은 매개체를 통하여 신호를 송수신한다.

그러나, 최근 전자 디바이스의 고성능화에 수반하여 전자 디바이스의 시험이 보다 고도화되고, 그로 인해 신호를 중계하는 전송로에 있어서, 신호의 열화나 주위에서의 소음혼입 등이 전자 디바이스의 시험을 실시하는데 장애가 되는 경우가 있다.

즉, 커넥터의 신호전극과 접지전극이 기판에 전기적으로 접속될 때, 신호전극과 접지전극에 물리적으로 과도한 힘이 가해질 경우 신호전극과 접지전극의 끝단 이 훼손되는 경우가 발생하면, 전기적 접속이 불안정 되기 때문에 상기한 바와 같은 신호의 열화나 소음혼입 등의 문제가 발생한다는 것이다.

도 1은 커넥터의 외관을 도시한 도면이며, 도 2는 커넥터의 평면을 도시한 도면이고, 도 3은 종래 심선용 쉴드의 구조를 도시한 사시도이고, 도 4는 종래 심선용 쉴드의 종단면도이며, 도 5은 종래 신호심선의 구조를 도시한 사시도이고, 도 6은 종래 신호심선의 종단면도이며, 도 7은 커넥터의 수용부에 삽입될 때의 신호심선과 심선용 쉴드의 배치구조를 도시한 도면이고, 도 8은 도 1의 수용부에 삽입된 신호심선 및 신호전극과 심선용 쉴드 및 접지전극의 저면을 확대한 도면이다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 커넥터(10)의 하우징(1)에는 상부에서 하부로 관통되는 수용부(2)가 형성되어 있으며, 이 수용부(2)에는 도 3에 도시된 심선용 쉴드(20)와 도 5에 도시된 신호심선(30)이 도 7과 같은 배치구조로 하부에서 상부로 삽입된다.

여기서, 종래의 심선용 쉴드(20)는 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 반원형으로 형성되어 있으며, 양측 하단에는 접지전극(21)이 연장형성된 구조이며, 도시된 바와 같이 심선용 쉴드(20)가 반원형으로써, 일측은 폐쇄되고, 타측은 개방된 구조이다.

특히, 상기 접지전극(21)은 심선용 쉴드(20)가 개방된 방향을 향하여 접지전극(21)이 절곡되는 바, 상기 접지전극(21)이 기판(도시하지 않음)에 탄력적으로 접촉되도록 하기 위하여 일측으로 1차 절곡한 상태에서 다시 타측으로 2차 절곡한 구조이다.

따라서, 상기 접지전극(21)에 탄력을 부여하기 위한 절곡공정이 두번에 걸쳐 이루어지기 때문에 공정의 수행시간이 지연될 뿐만 아니라 자칫 절곡부위에 오차가 발생할 경우에 기판과의 접속 시 접지전극(21)에 무리한 힘이 가해져 기판이 파손되거나 접지전극(21)이 변형되는 문제점이 발생하여 접속불량 또는 신호에러를 야기시키는 문제점으로 발생하게 된다.

즉, 상기한 바와 같이 접지전극(21)의 절곡불량 또는 물리적인 힘에 의한 접지전극(21)의 변형이 발생할 경우 기판과 접속하는 접지전극(21)의 끝단 위치 또는 형상이 변형되므로 이때 접속불량이 야기된다는 것이다.

한편, 도 5는 신호심선(30)의 구조를 도시한 것으로, 도시된 바와 같이 신호심선(30)의 하단에는 신호전극(31)이 하향으로 연장되고, 심선용 쉴드(20)와 같이 타측을 향하여 절곡되는 바, 도 6에 도시된 바와 같이 이 신호심선(30)의 신호전극(31)도 심선용 쉴드(20)의 접지전극(21)과 같이 일측으로 1차 절곡된 후 타측으로 2차 절곡되기 때문에 공정의 수행시간이 지연되는 것은 물론 물리적인 힘이 가해졌을 경우 기판을 파손시키거나 신호전극(31)이 변형됨으로써, 접속이 불량한 상태를 갖게 되므로 신호의 열화나 소음혼입 등의 문제가 발생하게 된다는 것이다.

상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 신호전극과 접지전극이 탄력적으로 기판에 접속되게 하기 위하여 신호전극과 접지전극을 다수 번 절곡하지 않고도 신호전극과 접지전극이 탄력적으로 기판에 접속할 수 있게 함과 더불어 신 호전극과 접지전극의 끝단의 일부가 훼손 또는 파손되더라도 안정적인 접속이 유지되도록 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기한 목적은, 선상으로 연장되며 도체로 형성된 신호심선과, 이 신호심선의 축방향으로 연장되며, 일단이 신호심선의 반을 둘러싸도록 반원형으로 형성되고, 신호심선과 전기적으로 절연된 도체로 형성된 심선용 쉴드와, 신호심선에서 하부에서 하향으로 연장형성되는 신호전극과, 심선용 쉴드의 양측에서 하향으로 연장형성되는 접지전극을 포함하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터에 있어서, 상기 신호전극의 하단이 연결되도록 하면서 신호전극의 하부에 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 신호접속부와; 상기 접지전극의 하단이 연결되도록 하면서 접지전극의 하부에서 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 접지접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터에 의해 달성된다.

여기서, 상기 신호전극은 수직방향 중심부분에서 하부로 수직된 신호연장부를 형성하고, 신호연장부 하단에서 반원형 심선용 쉴드를 향하여 경사지게 절곡하고, 상기 접지전극은 수직방향 중심부분에서 하부로 수직된 접지연장부를 형성하고, 접지연장부 하단에서 신호전극과 평행하게 절곡하는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같이 본 발명은 신호전극 및 접지전극에 신호연장부와 접지연장부를 형성함으로써, 한 번의 절곡공정만으로도 신호전극과 접지전극에 탄성력을 부여할 수 있게 되어 제조공정이 단축되는 효과를 가지며, 신호전극과 접지전극의 하부 도중에 다수 개의 신호접속부와 접지전속부를 성형하여 기판에 서로 분리되게 접속함으로써, 어느 하나의 신호접속부 또는 어느 하나의 접지접속부를 물리적으로 무리한 힘에 의하여 훼손 또는 변형된다 하더라도 나머지 접지접속부 또는 신호접속부가 기판에 안정적인 접속을 유지하게 되므로 접속불량에 의한 신호의 열화나 소음혼입 등의 문제를 해소시키며, 에러발생을 해소시킬 수 있는 효과를 가진다.

도 9는 본 발명에 따른 커넥터의 저면도이며, 도 10은 본 발명에 따른 신호심선의 구조를 도시한 사시도이고, 도 11은 도 10의 종단면도이며, 도 12는 본 발명에 따른 심선용 쉴드의 구조를 도시한 사시도이고, 도 13은 도 12의 종단면도이며, 도 14는 심선용 쉴드와 신호심선이 도 9의 커넥터에 형성된 수용부에 삽입되는 상태의 배치구조를 도시한 도면이고, 도 15는 도 9의 수용부에 삽입된 심선용 쉴드와 신호심선의 신호전극과 접지전극의 구조를 도시한 저면 부분 확대도이다.

도 9에 도시된 바와 같이 커넥터(110)의 하우징(111)에 형성된 수용부(112)에는 도 10에 도시된 신호심선(120)이 가운데 위치되고, 도 12에 도시된 심선용 쉴드(130)가 신호심선(120)을 감싸듯이 도 14와 같은 배치구조로 삽입되어 고정되며, 도 10과 도 12에 도시된 바와 같이 신호심선(120)과 심선용 쉴드(130)의 구조는 신호전극(121)과 접지전극(131)의 구조를 제외하고 종래에 설명한 신호심선(120) 및 심선용 쉴드(130)의 구조와 동일하다.

상기 1개의 신호심선(120)에 형성된 1개의 신호전극(121)은 도 10과 도 11에 도시된 바와 같이 수직방향의 중심부분에서 신호심선(120)의 본체(120a)와 상단만이 일체로 연결된 상태로 하향으로 일정거리 수직연장되어 신호연장부(122)가 형성되고, 이 신호연장부(122)의 하단에서부터 일측을 향하여(즉, 반원형으로 형성된 심선용 쉴드(130)의 폐쇄된 부분과 개방된 부분 중 폐쇄된 부분을 향하여) 경사지게 절곡한다.

따라서, 상기 신호전극(121)의 절곡된 부분과 신호연장부(122)가 서로 탄력적으로 일체화되어 있으므로, 신호전극(121)을 1차 절곡하는 것만으로도 신호전극(121)이 기판에 접속할 때 탄력적인 접속을 가능하게 할 수 있게 되는 것이다.

여기서, 상기 신호전극(121)의 하부 끝단은 서로 연결되게 하면서 신호전극(121)의 하부에는 장공이 형성되어 이 장공에 의해 기판의 신호선(도시하지 않음)에 접속하는 신호접속부(123) 다수 개가 신호전극(121)의 하부 도중에 이격되게 형성된다.
이 신호전극(121)의 하부 도중에 이격되게 형성된 다수 개의 신호접속부(123)는 이격된 상태에서 기판의 신호선에 분리되게 접속된다.
즉, 신호전극(121)의 하부 도중에 형성되어 기판의 신호선에 접속하는 신호접속부(123)는 도 14에 도시된 바와 같이 하나의 장공에 의해 좌우 양측으로 2개 형성되며, 이 좌우 양측에 형성된 2개의 신호접속부(123)는 기판의 신호선에 이격된 상태에서 분리 접속하게 되는 것이다.

따라서, 상기 신호전극(121)과 기판이 접속될 때, 물리적인 힘이 과도하게 작용될 경우 물리적인 힘이 신호전극(121) 전체에 걸쳐 작용하지 않고 2개의 신호접속부(123) 중 일부에만 작용되게 함으로써, 나머지 하나의 신호접속부(123)는 최초의 구조 그대로를 유지할 수 있게 되어 기판과 안정적인 접속관계를 유지할 수 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명의 하나의 심선용 쉴드(130)의 양측에 2개의 접지전극(131)이 형성되고 각각의 접지전극(131)은 도 12와 도 13에 도시된 바와 같이 수직방향으로 가운데 부분으로부터 하부를 향하여 일정 길이만큼 접지연장부(132)가 수직으로 연장형성되게 하며, 이때, 상기 접지연장부(132)도 심선용 쉴드(130)의 본체(130a)와는 상단만이 일체로 연결된 구조를 갖게 하며, 접지연장부(132)의 하부는 신호전극(121)과 평행하게 절곡되게 한다.

따라서, 상기 접지전극(131)의 절곡된 부분과 접지연장부(132)가 서로 탄력적으로 일체화되어 있으므로, 접지전극(131)을 1차 절곡하는 것만으로도 접지전극(131)이 기판에 접속할 때 탄력적인 접속을 가능하게 할 수 있게 되는 것이다.

아울러, 상기 접지전극(131)의 하부 끝단도 상기 접지전극(131)의 하부 끝단은 서로 연결되게 하면서 접지전극(131)의 하부에는 장공이 형성되어 이 장공에 의해 기판의 접지선(도시하지 않음)에 접속하는 접지접속부(133) 다수 개가 접지전극(131)의 하부 도중에 이격되게 형성된다.
이 접지전극(131)의 하부 도중에 이격되게 형성된 다수 개의 접지접속부(133)는 이격된 상태에서 기판의 접지선에 분리되게 접속된다.
즉, 접지전극(131)의 하부 도중에 형성되어 기판의 접지선에 접속하는 접지접속부(123)는 도 14에 도시된 바와 같이 장공에 의해 좌우 양측으로 형성되며, 이 좌우 양측에 형성된 2개의 접지접속부(123)는 기판의 접지선에 이격된 상태에서 분리 접속하게 되는 것이다.
따라서, 상기 접지전극(131)과 기판이 접속될 때, 물리적인 힘이 과도하게 작용될 경우 물리적인 힘이 접지전극(131) 전체에 걸쳐 작용하지 않고 2개의 접지접속부(133) 중 일부에만 작용되게 함으로써, 나머지 하나의 접지접속부(133)는 최초의 구조 그대로를 유지할 수 있게 되어 기판과 안정적인 접속관계를 유지할 수 있게 되는 것이다.

본 발명에 따른 신호심선(120)의 신호전극(121)과 심선용 쉴드(130)의 접지전극(131)은 도 15에 도시된 바와 같이 커넥터(110) 하우징(111)에 형성된 수용부(112)에 신호심선(120)을 가운데 배치하고, 심선용 쉴드(130)가 신호심선(120)을 감싸듯이 배치되며, 수직으로 연장된 신호연장부(122)와 접지연장부(132)의 하단으로부터 하나의 신호전극(121)과 2개의 접지전극(131)이 일측으로 절곡되어 서로 나란한 평행상태의 구조를 갖게 되는 것이며, 이때, 상기 신호전극(121)과 접지전극(131)은 신호연장부(122)와 접지연장부(132)와 탄력적으로 연장 또는 절곡된 상태이므로 기판과 탄력적인 접속이 이루어질 수 있게 되는 것이다.

도 1은 커넥터의 외관을 도시한 도면.

도 2는 커넥터의 저면을 도시한 도면.

도 3은 종래 심선용 쉴드의 구조를 도시한 사시도.

도 4는 종래 심선용 쉴드의 종단면도.

도 5은 종래 신호심선의 구조를 도시한 사시도.

도 6은 종래 신호심선의 종단면도.

도 7은 커넥터의 수용부에 삽입될 때의 신호심선과 심선용 쉴드의 배치구조를 도시한 도면.

도 8은 도 1의 수용부에 삽입된 신호심선 및 신호전극과 심선용 쉴드 및 접지전극의 저면 중 A를 확대한 도면.

도 9는 본 발명에 따른 커넥터의 저면도.

도 10은 본 발명에 따른 신호심선의 구조를 도시한 사시도.

도 11은 도 10의 종단면도.

도 12는 본 발명에 따른 심선용 쉴드의 구조를 도시한 사시도.

도 13은 도 12의 종단면도.

도 14는 심선용 쉴드와 신호심선이 도 9의 커넥터에 형성된 수용부에 삽입되는 상태의 배치구조를 도시한 도면.

삭제

도 15는 도 9의 수용부에 삽입된 심선용 쉴드와 신호심선의 신호전극과 접지전극의 구조를 도시한 저면 중 B를 확대한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

110 : 커넥터 111 : 하우징

112 : 수용부 120 : 신호심선

121 : 신호전극 122 : 신호연장부

123 : 신호접속부 130 : 심선용 쉴드

131 : 접지전극 132 : 접지연장부

133 : 접지접속부

Claims (3)

1. 선상으로 연장되며 도체로 형성된 신호심선과, 이 신호심선의 축방향으로 연장되며, 일단이 신호심선의 반을 둘러싸도록 반원형으로 형성되고, 신호심선과 전기적으로 절연된 도체로 형성된 심선용 쉴드와, 신호심선 하부에서 하향으로 연장형성되는 신호전극과, 심선용 쉴드의 양측에서 하향으로 연장형성되는 접지전극을 포함하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터에 있어서,

   상기 신호전극의 하단이 연결되도록 하면서 신호전극의 하부에 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 신호접속부와;

   상기 접지전극의 하단이 연결되도록 하면서 접지전극의 하부에서 형성된 장공에 의해 일정 간격으로 이격 형성되어 기판에 서로 분리되게 접속되는 적어도 두 개 이상의 접지접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터.
2. 제1항에 있어서,

   상기 신호전극은 수직방향 중심부분에서 하부로 수직된 신호연장부를 형성하고, 신호연장부 하단에서 반원형 심선용 쉴드를 향하여 경사지게 절곡된 것을 특징으로 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터.
3. 제1항에 있어서,

   상기 접지전극은 수직방향 중심부분에서 하부로 수직된 접지연장부를 형성하 고, 접지연장부 하단에서 신호전극과 평행하게 절곡된 것을 특징으로 하는 반도체 부품 테스트 장치용 커넥터.

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