KR100935502B1 - Process for producing aluminum material for electrode of electrolytic capacitor - Google Patents

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쇼와 덴코 가부시키가이샤
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Abstract

알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조함에 있어서, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함한다. 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정은, 열간 압연 이후이면 언제라도 좋다. 상기 냉간 압연의 개시로부터 종료까지의 도중의 공정에서 적어도 1회 행하는 것으로 할 수 있고, 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하는 것으로 할 수 있고, 최종 어닐링 후에 행하는 것으로 할 수 있다. In manufacturing an aluminum material for electrolytic capacitor electrodes by carrying out hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to an aluminum slab, the process after the said hot rolling includes the step of heating an aluminum material by contact with a heating body. . The contact heating step with the heating body of the aluminum material may be any time after the hot rolling. It can be performed at least once in the process from the start to the end of the cold rolling, can be performed before the final annealing after cold rolling, and can be carried out after the final annealing.

열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재, 접촉 가열 공정, 유기 용제, 계면 활성제, 알칼리 세정, 산 세정Hot rolling, cold rolling, final annealing, aluminum materials for electrolytic capacitor electrodes, contact heating process, organic solvents, surfactants, alkali cleaning, acid cleaning

Description

전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법{PROCESS FOR PRODUCING ALUMINUM MATERIAL FOR ELECTRODE OF ELECTROLYTIC CAPACITOR}Manufacturing method of aluminum material for electrolytic capacitor electrode {PROCESS FOR PRODUCING ALUMINUM MATERIAL FOR ELECTRODE OF ELECTROLYTIC CAPACITOR}

본 출원은 2001년 8월 3일에 출원된 일본 특허 출원 제2001-235940호, 2002년 4월 25일에 출원된 일본 특허 출원 제2002-123666호, 2002년 7월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2002-196867호, 2002년 7월 18일에 출원된 일본 특허 출원 제2002-209455호, 2002년 7월 18일에 출원된 일본 특허 출원 제2002-209459호 및 2001년 8월 17일자로 출원된 미국 가출원 제60/312,753호의 우선권 주장을 수반하는 것이며, 그 개시 내용은 그대로 본원의 일부를 구성하는 것이다. This application is Japanese Patent Application No. 2001-235940, filed on August 3, 2001, Japanese Patent Application No. 2002-123666, filed on April 25, 2002, and Japanese Patent Application on July 5, 2002. Japanese Patent Application No. 2002-209455, filed July 18, 2002, Japanese Patent Application No. 2002-209459, filed July 18, 2002, and August 17, 2001; It is accompanied by a priority claim in US Provisional Application No. 60 / 312,753, the disclosure of which is hereby incorporated into part.

본 출원은 2001년 8월 17일자로 미국 특허법 제111조 (b)의 규정에 근거해서 출원된 미국 가출원 제60/312,753호에 대해서 미국 특허법 제119조 (e)(1)에 의한 출원일의 이익을 주장하고 미국 특허법 제111조 (a)의 규정에 근거해서 출원된 것이다. This application claims the benefit of the date of filing under U.S. Patent Act No. 119 (e) (1) to U.S. Provisional Application No. 60 / 312,753, filed pursuant to U.S. Patent Act No. 111 (b), dated August 17, 2001. And filed under the provisions of Article 111 (a) of the US Patent Act.

본 발명은, 전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조 방법, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재, 전해 콘덴서용 전극재의 제조 방법 및 알루미늄 전해 콘덴서에 관한 것 이다. This invention relates to the manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitors, the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes, the manufacturing method of the electrode material for electrolytic capacitors, and an aluminum electrolytic capacitor.

한편, 본 명세서에 있어서 용어「알루미늄」은 그 합금을 포함하는 의미로 사용되고, 알루미늄재에는 박과 판 및 이들을 이용한 성형체가 포함된다. In addition, in this specification, the term "aluminum" is used by the meaning containing the alloy, and aluminum material contains foil, a plate, and the molded object using these.

알루미늄 전해 콘덴서용 전극재로서 일반적으로 이용되고 있는 알루미늄재는, 큰 표면적을 갖고 단위 면적당의 정전 용량이 큰 것이 요구되기 때문에, 전기 화학적 또는 화학적 에칭 처리를 실시하여 알루미늄재의 실효 면적을 확대하는 것이 행하여지고 있다. Since aluminum materials generally used as electrode materials for aluminum electrolytic capacitors are required to have large surface areas and large capacitances per unit area, electrochemical or chemical etching treatments are performed to increase the effective area of aluminum materials. have.

또한, 이 실효 면적의 증대를 목적으로 하여, 에칭 구멍을 보다 많고 크게 하는 것에 관해서 재료의 조성, 제조 공정, 에칭 방법 등 여러 가지 면에서 연구가 이루어지고 있다. Further, for the purpose of increasing the effective area, research has been made in various aspects such as the composition of the material, the manufacturing process, and the etching method for increasing the number of etching holes.

예를 들면, 직류 에칭법으로 터널형 피트(pit)를 생성시키는 전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조에 있어서, 통상은 (100)면의 결정 방위를 발달시키기 위해서 500℃ 전후의 온도에서 불활성 분위기 또는 진공 중에서 최종 어닐링하는 것이 행하여지고 있다. 또한, 최종 어닐링이란 마무리 냉간 압연 후 또는 마무리 냉간 압연, 세정 후에 실시하는 공정이다. For example, in the production of aluminum materials for electrolytic capacitors, which produce tunnel type pit by direct current etching, usually in an inert atmosphere or vacuum at a temperature of around 500 ° C. in order to develop a crystal orientation of the (100) plane. Final annealing is performed. In addition, final annealing is a process performed after finish cold rolling, or after finish cold rolling and washing | cleaning.

최종 어닐링 시에 알루미늄재의 표면에 결정성 산화물 입자가 생성된 경우, 전해 에칭 시에 결정 주변에서 에치 피트(etch-pit)가 생기는 것이 일부의 문헌에 개시되어 있고[예를 들면, 후꾸오까 기요시, 오사와 노부오, 모또오리 데쯔야, 경금속 학회 제95회 추계 대회 강연 개요 p.265(1998), 오사와 노부오, 후꾸오까 기 요시: 표면 기술, 50[7], 643(1999)], 그 결정성 산화물 입자를 알루미늄재의 표면에 생성시키는 것은 정전 용량의 향상에 기여한다고 고려된다. When crystalline oxide particles are formed on the surface of an aluminum material during final annealing, some documents disclose that etch-pits occur around crystals during electrolytic etching (for example, Fukuoka Kiyoshi, Osawa Nobuo, Motoori Tetsuya, Light Metals Society 95th Fall Conference Lecture Outline p.265 (1998), Nobuo Osawa, Fukuoka Yoshi: Surface Technology, 50 [7], 643 (1999)] The production on the surface of the aluminum material is considered to contribute to the improvement of the capacitance.

그렇지만, 전술한 바와 같이, 최종 어닐링의 일반적 분위기인 불활성 가스 분위기 또는 진공 분위기에서는 분위기 중의 산소가 극미량이기 때문에 최종 어닐링을 실시해도 결정화하기 어렵다. 반대로 산화 분위기 중에서 고온 어닐링하면 산화 피막이 두꺼워져 에치 피트의 균일성이 저하한다. However, as mentioned above, in the inert gas atmosphere or vacuum atmosphere which is a general atmosphere of final annealing, since oxygen in an atmosphere is very small, it is difficult to crystallize even if it carries out final annealing. On the contrary, when annealing at high temperature in an oxidizing atmosphere, an oxide film becomes thick and the uniformity of an etch pit falls.

알루미늄재의 표면에 결정을 많이 석출시키는 방법으로서, 일본 특허 공고 소58-34926호 공보에는 최종 어닐링 전에 증기 또는 습한 공기를 알루미늄재 표면에 분사하는 방법, 대기 중에서 200℃ 정도의 온도로 가열하는 방법, 가열된 물 또는 아민 수용액 중에 알루미늄재를 침지하는 소위 베마이트(boehmite) 처리 방법 등에 의해 수화 처리 피막을 형성하는 것이 개시되어 있다. As a method of depositing a lot of crystals on the surface of an aluminum material, Japanese Patent Publication No. 58-34926 discloses a method of spraying steam or wet air onto the surface of an aluminum material before final annealing, heating to a temperature of about 200 ° C. in the air, It is disclosed to form a hydration coating film by a so-called boehmite treatment method or the like in which an aluminum material is immersed in heated water or an amine aqueous solution.

수화 처리 피막은 그 후의 최종 어닐링에 의해 결정성 산화물이 알루미늄재의 표면에 석출되기 쉽지만, Al-0H기를 표면에 많이 가지기 때문에 코일의 상태나 단판을 겹친 상태로 배치 어닐링(batch annealing)했을 경우에 밀착하기 쉬운 문제가 있었다. 또한, 대기 중에서 200℃ 정도의 온도로 가열하는 방법에서는 재현성 좋게 원하는 산화막을 얻기 위해서는, 수증기량의 제어 등 정확한 분위기 제어가 필요하여 알루미늄박 표면이 원하는 온도에 도달하는데 시간이 걸리는 결점이 있었다. The hydrated film is easily precipitated on the surface of the aluminum material by the final annealing afterwards, but has a lot of Al-0H groups on the surface, so that it is adhered to the case of batch annealing in the state of the coil or the overlapping plate. There was a problem that was easy to do. Moreover, in the method of heating to the temperature of about 200 degreeC in air | atmosphere, in order to obtain the reproducibly desired oxide film, accurate atmosphere control, such as control of the amount of water vapor | steam, was required, and there existed a fault which it takes time for the aluminum foil surface to reach a desired temperature.

또한, 일본 특허 공개 소63-116417호 공보에는 산소 또는 수분을 포함하는 산화성 분위기 중에 있어서의 연속 최종 어닐링에 의해

Figure 112004004180045-pct00001
-Al2O3을 석출시키는 기술이 개시되어 있는데, 최종 어닐링 시간이 단시간이기 때문에
Figure 112004004180045-pct00002
-Al2O3의 석출이 불충분할 우려가 있었다. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 63-116417 discloses a continuous final annealing in an oxidizing atmosphere containing oxygen or moisture.
Figure 112004004180045-pct00001
A technique for depositing -Al 2 O 3 is disclosed, since the final annealing time is short.
Figure 112004004180045-pct00002
There was a fear that precipitation of -Al 2 O 3 was insufficient.

또한, 에칭 특성을 양호하게 해서 높은 정전 용량을 얻기 위해서, 일본 특허 공개 평7-201673호 공보에는, 알루미늄박의 표면층을 제거하는 공정과, 제거 후, 온도: 40 내지 350℃, 이슬점: 0 내지 80℃, 시간: 30 내지 1800초의 조건으로 가열 산화하는 공정과, 가열 산화 후, 비산화성 분위기에서 어닐링하는 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법이 개시되어 있다. In addition, in order to improve etching characteristics and obtain high capacitance, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-201673 discloses a step of removing the surface layer of aluminum foil, and a temperature of 40 to 350 ° C and a dew point of 0 to 0 after removal. Disclosed is a method for producing an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, which comprises performing a step of heating and oxidizing under a condition of 80 ° C. and a time of 30 to 1800 seconds, and annealing in a non-oxidizing atmosphere after the heat oxidation.

또한, 일본 특허 공개 평5-279815호 공보에는, 최종 어닐링 전의 세정 처리 시, 알루미늄박 표면의 배리어형 산화 피막의 두께를 2.5 옹스트롬 이하로 조정하고, 또한, 상기 세정 처리 후, 상기 마무리 어닐링 처리 전에 있어서, 그 알루미늄박을 150 내지 400℃의 산화 분위기 중에서 가열 처리하고, 그 알루미늄박 표면의 배리어형 산화 피막의 두께를 10 옹스트롬 이하로 성장시키는 것을 특징으로 하는 전해 콘덴서 양극용 알루미늄박의 제조 방법이 개시되고, 가열 처리의 시간은 5분 내지 3시간 정도가 바람직하다고 기재되어 있다. In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-279815 discloses that, in the cleaning treatment before final annealing, the thickness of the barrier oxide film on the surface of the aluminum foil is adjusted to 2.5 angstroms or less, and after the cleaning treatment, before the finish annealing treatment The aluminum foil is heat-treated in an oxidizing atmosphere at 150 to 400 ° C., and the thickness of the barrier oxide film on the surface of the aluminum foil is grown to 10 angstroms or less. It is described that the time of the heat treatment is preferably about 5 minutes to 3 hours.

그렇지만, 전술한 일본 특허 공개 평7-201673호 공보 및 일본 특허 공개 평5-279815호 공보의 방법에서는, 세정 후에 가열을 행하기 때문에 안정화된 알루미늄재의 표층 산화 피막을 얻을 수 있지만, 가열 방법은 분위기 가열이기 때문에, 역시 가열에 의해 생성하는 산화 피막은 분위기의 영향을 받기 쉬워 가열 처리에 시간이 걸리는 문제가 있다. However, in the methods of Japanese Patent Laid-Open Nos. 7-201673 and 5-279815, the surface layer oxide film of a stabilized aluminum material can be obtained because heating is performed after washing, but the heating method is an atmosphere. Since it is heating, the oxide film produced | generated by heating also has a problem which is easy to be influenced by an atmosphere, and takes time for heat processing.

또한, 일본 특허 공개 평5-200406호 공보에는, 마무리 압연 이전에 표층 제거 세정, 최종 어닐링 전에 연속 저온 가열을 행함으로써, 정전 용량을 많게 하는 동시에 알루미늄재 코일의 폭방향의 정전 용량의 편차를 저감시키는 것이 개시되어 있다. Further, Japanese Patent Laid-Open No. 5-200406 discloses continuous low temperature heating prior to surface layer removal cleaning and final annealing before finishing rolling, thereby increasing the capacitance and reducing the variation in the capacitance in the width direction of the aluminum coil. Is disclosed.

그렇지만, 일본 특허 공개 평5-200406호 공보에서는 최종 어닐링 전에 분위기 가열을 실시하기 때문에, 알루미늄 표층 산화막은 안정된 것이 되지만, 재현성 좋게 원하는 산화막을 얻기 위해서는, 수증기량 등의 정확한 분위기 제어가 필요한 동시에, 분위기 가열이기 때문에 알루미늄재가 원하는 온도에 이르는데 시간이 걸리는 문제점이 있었다. However, in Japanese Patent Laid-Open No. 5-200406, since the heating of the atmosphere is performed before the final annealing, the aluminum surface oxide film becomes stable, but in order to obtain a desired oxide film with high reproducibility, accurate atmosphere control such as the amount of water vapor is required, and at the same time, the heating of the atmosphere is performed. Because of this, there was a problem that the aluminum material takes time to reach the desired temperature.

또한, 일본 특허 공개 평11-36053호 공보에는, 최종 어닐링 후의 알루미늄재를 대기 중, 진공 중 또는 불활성 분위기 중에서 가열하여 표면에 피트의 기점이 되는 결함을 많이 생성시키고, 그 이외의 표면의 용해를 방지하여 정전 용량을 향상시키는 방법이 개시되어 있다. 또한, 일본 특허 공개 평5-255821호 공보에는, 최종 어닐링(마무리 어닐링) 후의 알루미늄박을 알칼리 수용액으로 세정한 후, 150 내지 400℃에서 분위기 가열함으로써 정전 용량의 향상과 편차의 저감을 도모하는 것이 기재되어 있다.In addition, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 11-36053 discloses that the aluminum material after the final annealing is heated in the air, in a vacuum or in an inert atmosphere to generate a large number of defects which are starting points of pits on the surface, and dissolve other surfaces. A method of preventing and improving capacitance is disclosed. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 5-255821 discloses that after cleaning the aluminum foil after final annealing (finishing annealing) with an aqueous alkali solution, heating the atmosphere at 150 to 400 ° C. improves the capacitance and reduces the variation. It is described.

그렇지만, 상기 종래의 최종 어닐링 후의 가열 처리는 대기 중, 진공 중 또는 불활성 가스 중에서 행하여지기 때문에, 역시 산소나 수증기량의 영향을 받기 쉽고, 재현성 좋게 산화막을 에칭에 적합한 것으로 하기 위해서는, 수증기량 등 정확한 분위기 제어가 필요하여, 알루미늄박 표면이 원하는 온도에 도달하는데 시간이 걸리는 문제점이 있었다. However, since the conventional heat treatment after the final annealing is performed in the air, in the vacuum, or in an inert gas, it is also easy to be influenced by the amount of oxygen and water vapor, and in order to make the oxide film suitable for etching with good reproducibility, accurate atmosphere control such as the amount of water vapor There is a problem that the aluminum foil surface takes time to reach the desired temperature.

본 발명의 목적은 정확한 분위기 제어를 필요로 하지 않고 단시간에 처리할 수 있고, 에칭 특성이 균일하고 에칭에 의한 면적 확대율이 큰 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법 및 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for producing an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode and an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, which can be processed in a short time without requiring accurate atmosphere control, and the etching characteristics are uniform and the area enlargement ratio by etching is large. Is in.

본 발명의 다른 목적은 상기 알루미늄재를 이용한 전해 콘덴서용 전극재의 제조 방법 및 알루미늄 전해 콘덴서를 제공하는 것에 있다. Another object of the present invention is to provide a method for producing an electrode material for an electrolytic capacitor using the aluminum material and an aluminum electrolytic capacitor.

본 발명은 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때에, 상기 열간 압연 이후의 공정에서 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법이다. In the present invention, when hot rolling, cold rolling, and final annealing are sequentially performed on an aluminum slab to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body in the step after the hot rolling is performed. It is a manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes characterized by including.

알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정은 열간 압연 이후이면 언제라도 좋다. 구체적으로는, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을, 상기 냉간 압연의 개시로부터 종료까지의 도중의 공정에서 적어도 1회 행하는 것으로 해도 좋다. The contact heating process of the aluminum material with the heating body may be performed at any time after the hot rolling. Specifically, the contact heating step with the heating body of the aluminum material may be carried out at least once in a step in the middle from the start to the end of the cold rolling.

또는, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하는 것으로 해도 좋고, 최종 어닐링 후에 행하는 것으로 해도 좋다. Or the contact heating process with the heating body of the said aluminum material may be performed before the final annealing after the cold rolling, or may be performed after the final annealing.                 

가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하는 것은, 가열체 표면에 따라 균일하게 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 제어가 비교적 용이한 동시에, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에, 분위기의 영향을 적게 할 수 있기 때문이다. The use of contact heating as the heating method is that the surface of the aluminum material can be brought to a desired temperature uniformly in a short time according to the surface of the heating body, so that the control is relatively easy and the heating can be rapidly performed in a short time. This is because the impact can be reduced.

본 발명의 다른 목적과 특징과 이익은 이하의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다. Other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description.

(제1 실시 형태) (1st embodiment)

본 실시 형태는 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을, 상기 냉간 압연의 개시로부터 종료까지의 도중의 공정에서 적어도 1회 행하는 경우이다. This embodiment is a case where the contact heating process with the heating body of an aluminum material is performed at least once in the process in the middle from the start to the end of the said cold rolling.

즉, 본원 발명자는 냉간 압연(마무리 냉간 압연을 포함)의 개시로부터 종료까지의 도중의 공정에 있어서, 적어도 1회 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열하여 알루미늄 표층 산화막을 치밀하고 균질한 것으로 함으로써, 최종 어닐링 후에, 에칭 특성이 균일하면서도 정전 용량이 높은 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻어지는 것을 발견했다. That is, the inventors of the present invention heat the aluminum material by contact with the heating body at least once in the process from the start to the end of the cold rolling (including the finish cold rolling) to make the aluminum surface layer oxide film dense and homogeneous. By doing this, it was found that after the final annealing, an aluminum material for electrolytic capacitor electrodes having a high etching capacity while having uniform etching characteristics was obtained.

가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하는 것은, 가열체 표면에 따라 균일하게 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 제어가 비교적 용이한 동시에, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에, 분위기의 영향을 적게 할 수 있기 때문이다. The use of contact heating as the heating method is that the surface of the aluminum material can be brought to a desired temperature uniformly in a short time according to the surface of the heating body, so that the control is relatively easy and the heating can be rapidly performed in a short time. This is because the impact can be reduced.

냉간 압연의 도중의 공정에 있어서, 적어도 1회 가열체와의 접촉에 의해 가 열된 알루미늄재는 냉간 압연 후, 필요에 따라서 세정된 후 최종 어닐링된다. In the process in the middle of cold rolling, the aluminum material heated by the contact with the heating body at least once is annealed after cold rolling, after washing as necessary.

최종 어닐링 시에 알루미늄 표면에 결정성 산화물 입자가 생성되었을 경우, 전해 에칭 시에 결정 주변에서 에치 피트가 생기는 것이 일부의 문헌에 기재되어 있고[예를 들면, 오사와 노부오, 후꾸오까 기요시: 표면 기술, 50[7], 643(1999)], 그 결정성 산화물 입자를 알루미늄 표면에 생성시키는 것은 정전 용량의 향상에 기여한다고 고려된다. When crystalline oxide particles are formed on the surface of aluminum during final annealing, some documents describe etch pits around crystals during electrolytic etching [for example, Osawa Nobuo, Fukuoka Kiyoshi: Surface Technology, 50 [7], 643 (1999)], It is considered that the production of the crystalline oxide particles on the aluminum surface contributes to the improvement of the capacitance.

접촉 가열에 의해 치밀하고 균질화된 표면 산화막을 가지는 알루미늄재는, 그 후의 냉간 압연에 의해 결함이 표면 전체에 균일하게 존재하게 된다. 이렇게 해서 얻어진 냉간 압연 후의 알루미늄재를, 그대로 또는 알루미늄을 용해시키지 않는 세정액으로 세정한 후 최종 어닐링함으로써, 미세한 결정성 산화물 등 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질이 표면에 균일하게 분산된 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻을 수 있다. In an aluminum material having a surface oxide film densified and homogenized by contact heating, defects are uniformly present on the entire surface by subsequent cold rolling. The cold rolled aluminum material thus obtained is washed as it is or with a cleaning solution which does not dissolve aluminum, followed by final annealing, whereby an electrolytic capacitor electrode in which substances capable of becoming nuclei of etch pits, such as fine crystalline oxides, are uniformly dispersed on the surface. An aluminum material for the purpose can be obtained.

상기 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질은, 결정성 산화물뿐만 아니라 비정질에서도 밀도가 높은 것 또는 두꺼운 것, 비정질 중에 결정성 산화물이나 금속 알루미늄이 포함되는 것이 포함된다. 또한, 결정성 산화물의 종류로서는

Figure 112004004180045-pct00003
-Al2O3를 포함하는 Al2O3, 베마이트를 포함하는 AlOOH, 알루미늄 이외의 함유 금속(예를 들면, Mg, Pb, Cu 등)의 복합 산화물 등이 있지만, 금속 산화물 또는 금속 수산화물 등에 특별히 한정되는 것은 아니다. The material that can be the nucleus of the etch pit includes not only a crystalline oxide but also one having a high density or thickness in amorphous, and one containing crystalline oxide or metallic aluminum in the amorphous state. In addition, as a kind of crystalline oxide
Figure 112004004180045-pct00003
-Al AlOOH containing 2 O 3 Al 2 O 3, boehmite, containing, containing a metal other than aluminum (for example, Mg, Pb, Cu, and so on) such as a composite oxide, but the metal oxide or metal hydroxide or the like of It is not specifically limited.

이러한 알루미늄재 표면의 산화 피막 중에서 다른 장소와 특성이 다른 것이 생성되면, 에칭 시에 에치 피트의 핵이 될 수 있다고 고려되어, 최종 어닐링 전에 급속 가열함으로써 어닐링 시에 결정이나 결정으로 전이하기 전의 상태의 비정질, 비정질 중에 결정이나 금속 알루미늄이 포함되는 물질이 생성되고, 이들이 에치 피트 핵이 된다고 추정된다. If the oxide film on the surface of the aluminum material is different from other places, it is considered that it may be a nucleus of the etch pit at the time of etching, and the state before the transition to the crystal or the crystal at the time of annealing by rapid heating before final annealing is considered. It is presumed that materials containing amorphous and metallic aluminum in amorphous and amorphous forms are produced, and these become etch pit nuclei.

최종 어닐링 전에 알루미늄을 용해하는 세정액으로 세정하는 경우에는, 접촉 가열에 의해 알루미늄재의 표면에 생성된 산화물은 제거되지만, 접촉 가열을 행하지 않을 경우에 비교해서 균일하게 표층이 세정액에 의해 용해되기 때문에, 최종 어닐링 후에 얻어지는 알루미늄재는 에치 피트 핵이 되는 물질이 표면에 균일하게 존재한 것이 된다. In the case of washing with a cleaning liquid that dissolves aluminum before final annealing, the oxides generated on the surface of the aluminum material by the contact heating are removed, but the surface layer is uniformly dissolved by the cleaning liquid as compared with the case where the contact heating is not performed. In the aluminum material obtained after annealing, the substance serving as the etch pit nucleus is uniformly present on the surface.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 냉간 압연 공정의 도중에 있어서, 이전 공정의 압연에 의해 생긴 알루미늄재의 결정 조직의 왜곡을 해소할 목적으로 중간 어닐링을 실시하는 경우에는, 중간 어닐링 전에 알루미늄재를 접촉 가열하여 알루미늄재의 표층 산화막을 치밀하고 균질한 것으로 함으로써, 중간 어닐링 시의 산화막의 성장을 방지할 수 있고, 알루미늄재 코일의 폭방향 및 길이방향의 알루미늄 표층 산화막을 균질한 것으로 할 수 있다. In the present embodiment, in the middle of the cold rolling step, when the intermediate annealing is carried out for the purpose of eliminating the distortion of the crystal structure of the aluminum material caused by the rolling in the previous step, the aluminum material is contact-heated before the intermediate annealing. By making the surface oxide film of the aluminum material dense and homogeneous, the growth of the oxide film during intermediate annealing can be prevented, and the aluminum surface layer oxide film in the width direction and the longitudinal direction of the aluminum material coil can be made homogeneous.

이하에, 전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조 방법을 설명한다. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitors is demonstrated below.

알루미늄재의 순도는 전해 콘덴서용으로 사용되는 범위이면 특별히 한정되지 않지만, 순도 99.9% 이상의 것이 바람직하고, 특히 99.95% 이상이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서 알루미늄재의 순도는 100%로부터 Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti 및 Ga의 합계 농도(%)를 뺀 값으로 한다. The purity of the aluminum material is not particularly limited as long as it is in a range used for an electrolytic capacitor, but a purity of 99.9% or more is preferable, particularly 99.95% or more. In addition, in this invention, the purity of an aluminum material shall be made into the value which subtracted the total concentration (%) of Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti, and Ga from 100%.                 

알루미늄재의 제조는, 한정되는 것은 아니지만, 알루미늄재의 용해 성분 조정·슬래브 주조, 균열(均熱) 처리, 열간 압연, 마무리 냉간 압연(저압 하 압연)을 포함하는 냉간 압연, 최종 어닐링의 순으로 실시되어, 냉간 압연의 개시 후 종료 전의 냉간 압연의 도중의 공정에서, 적어도 1회 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열한다. 예를 들면, 마무리 냉간 압연 전의 제1차 냉간 압연의 도중, 제1차 냉간 압연과 마무리 냉간 압연 사이 등에 있어서 접촉 가열을 행한다. 또한, 알루미늄재의 제조 공정 조건은 알루미늄재의 에칭 조건 등과의 관계로 적당히 변경된다. The production of the aluminum material is not limited, but is carried out in the order of melting component adjustment, slab casting, cracking treatment, hot rolling, cold rolling including cold rolling (low pressure rolling), and final annealing of the aluminum material. In the process of the cold rolling before completion | finish after the start of cold rolling, an aluminum material is heated at least 1 time by contact with a heating body. For example, contact heating is performed between the primary cold rolling and the finish cold rolling during the first cold rolling before the finish cold rolling. In addition, the manufacturing process conditions of an aluminum material are changed suitably with relationship with the etching conditions, etc. of an aluminum material.

또한, 냉간 압연 공정의 도중에 있어서, 이전 공정의 압연에 의해 생긴 알루미늄재의 결정 조직의 왜곡을 해소할 목적으로 중간 어닐링을 실시해도 좋다. 또한, 중간 어닐링 이전의 공정 또는 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에, 알루미늄재 표면의 불순물이나 유분을 제거할 목적으로 세정을 행해도 좋다. In the middle of the cold rolling step, the intermediate annealing may be performed for the purpose of eliminating the distortion of the crystal structure of the aluminum material produced by the rolling of the previous step. In addition, you may perform washing | cleaning for the purpose of removing the impurity and oil on the surface of an aluminum material before the process before intermediate annealing, or the final annealing after cold rolling.

상기 알루미늄재의 접촉 가열은, 알루미늄재의 표층 산화막을 치밀하고 균질한 것으로 함으로써, 최종 어닐링 후에 에칭 특성이 균일하면서도 정전 용량이 높은 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻기 위해서 행하는 것이다. Contact heating of the aluminum material is performed to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode having a high capacitance and a uniform etching characteristic after final annealing by making the surface oxide film of the aluminum material dense and homogeneous.

그러나, 접촉 가열 후의 압연 가공율이 너무 커지면, 접촉 가열에 의한 에칭 특성을 균일하게 하는 효과가 작아지기 때문에, 최후의 접촉 가열 후에 있어서 압연 재개 전의 알루미늄재의 두께를 A(㎛), 전체 냉간 압연 종료 후의 알루미늄재의 두께를 B(㎛)라고 했을 때, {(A-B)/A}×100(%)로 나타내어지는 접촉 가열 후의 압연 가공율이 60% 이하인 것이 바람직하고, 특히 30% 이하가 바람직하다. However, when the rolling work ratio after contact heating becomes too large, the effect of making the etching characteristics by contact heating uniform becomes small. Therefore, after the last contact heating, the thickness of the aluminum material before rolling restart is A (µm), and the entire cold rolling is finished. When the thickness of the aluminum material after that is B (micrometer), it is preferable that the rolling work rate after contact heating represented by {(AB) / A} x100 (%) is 60% or less, and 30% or less is especially preferable.                 

접촉 가열의 수단은, 열 롤, 가열 벨트, 가열판 등 접촉 가열이 가능한 것이면 좋고, 한 면씩 가열해도 좋고, 표리 중 한 쪽만을 가열해도 좋다. 가열체의 가열 표면의 재질로서는, 스테인레스, 도금, 세라믹스, 테프론 수지(등록 상표), 실리콘 수지 등 자유롭게 선택할 수 있지만, 알루미늄재의 표면 산화막이 가열체의 표면에 응착하지 않는 물질이 바람직하다. The means for the contact heating may be one capable of contact heating such as a heat roll, a heating belt, and a heating plate, and may be heated one by one, or only one of the front and back. As a material of the heating surface of the heating body, stainless, plating, ceramics, Teflon resin (registered trademark), silicone resin and the like can be freely selected, but a substance in which the surface oxide film of the aluminum material does not adhere to the surface of the heating body is preferable.

알루미늄재에 접촉시키는 가열체의 표면 온도는, 50 내지 450℃가 바람직하다. 가열체의 표면 온도가 50℃ 미만에서는, 가열이 불충분하게 되어, 최종 어닐링 시의 결정성 산화물 미립자 등 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성이 불충분해질 우려가 있다. 한편, 450℃보다 높아지면 산화막이 지나치게 두꺼워져 냉각 시에 주름이 발생하고, 조업상의 문제가 생길 우려가 있다. 보다 바람직한 가열체 표면 온도는 60 내지 400℃, 더욱 바람직하게는 100 내지 350℃이다. 특히 바람직한 가열체 표면 온도는 160 내지 290℃이다. As for the surface temperature of the heating body made to contact an aluminum material, 50-450 degreeC is preferable. If the surface temperature of the heating body is less than 50 ° C., the heating becomes insufficient, and there is a fear that the generation of substances that can become nuclei of etch pits, such as crystalline oxide fine particles during final annealing, may be insufficient. On the other hand, when it is higher than 450 degreeC, an oxide film will become too thick and wrinkles may arise at the time of cooling, and there exists a possibility that an operation problem may arise. More preferable heating body surface temperature is 60-400 degreeC, More preferably, it is 100-350 degreeC. Especially preferable heater surface temperature is 160-290 degreeC.

알루미늄재 표면과 가열체 표면의 접촉 시간은 0.001 내지 60초로 하는 것이 바람직하다. 접촉 시간이 0.001초 미만에서는, 알루미늄재 표면을 충분히 가열할 수 없고, 에치 피트가 될 수 있는 물질이 균일하게 생성하지 않을 우려가 있다. 한편, 60초보다 길게 가열해도 산화막의 균질 효과가 포화에 도달할 우려가 있다. 특히 바람직한 접촉 시간은 0.01 내지 30초이다. 더욱 바람직한 접촉 시간은 0.1 내지 10초이다.It is preferable that the contact time of the surface of an aluminum material and the surface of a heating body shall be 0.001 to 60 second. If the contact time is less than 0.001 second, the surface of the aluminum material cannot be sufficiently heated, and there is a fear that a substance capable of being etched may not be produced uniformly. On the other hand, even if it heats longer than 60 second, there exists a possibility that the homogeneous effect of an oxide film may reach saturation. Particularly preferred contact time is 0.01 to 30 seconds. More preferred contact time is 0.1 to 10 seconds.

가열체의 표면 온도 및 접촉 시간은 접촉 전의 알루미늄재 표면 산화막의 특성을 고려해서 적당히 선택할 수 있다. 접촉 가열 분위기는 특별히 한정되지 않 고, 특별한 분위기 제어도 필요 없이 공기 중에서 실시할 수 있다. The surface temperature and the contact time of the heating body can be appropriately selected in consideration of the properties of the aluminum oxide surface oxide film before the contact. The contact heating atmosphere is not particularly limited and can be carried out in air without requiring any special atmosphere control.

가열체로서 열 롤을 이용한 가열 장치의 일례로서는, 알루미늄재의 표리면을 원하는 온도로 접촉 가열하기 위해서, 적어도 2개의 열 롤을 배치한 장치를 들 수 있다. 알루미늄재를 열 롤 등으로 접촉 가열한 후에 알루미늄재를 권취할 때에 주름이 생기는 경우에는, 열 롤 등에 의한 가열 후 1개 또는 복수개의 냉각 롤 등의 냉각체를 통과시켜 알루미늄재를 냉각시키고 나서 권취하는 구성으로 해도 좋다. 특히 냉각체로서 냉각 롤을 이용함으로써 간편하면서도 연속적으로 냉각을 행할 수 있다. 또한, 열 롤 등에 의해 알루미늄재를 원하는 접촉 가열 온도로 가열하기 전에, 다른 열 롤을 이용하여, 목적의 접촉 가열 온도보다 낮은 온도로 알루미늄재의 온도를 예비적으로 상승시켜 놓아도 된다. As an example of the heating apparatus which used the heat roll as a heating body, the apparatus which has arrange | positioned at least 2 heat rolls in order to contact-heat-heat the front and back surface of an aluminum material at a desired temperature is mentioned. If wrinkles occur when the aluminum material is wound up after the aluminum material is heated by contact with a heat roll or the like, after heating with a heat roll or the like, the aluminum material is cooled by passing through a cooling body such as one or a plurality of cooling rolls. It is good also as a structure to take. Especially by using a cooling roll as a cooling body, cooling can be performed simply and continuously. Moreover, before heating an aluminum material to desired contact heating temperature with a heat roll etc., you may raise the temperature of an aluminum material preliminarily to temperature lower than the target contact heating temperature using another heat roll.

중간 어닐링 이전의 공정 또는 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하는 세정에 이용하는 액은 특별히 한정되지 않지만, 유기 용제, 알칼리 수용액, 산 수용액, 아민 수용액, 암모니아 물, 물에 계면 활성제를 첨가한 것 등이 이용된다. Although the liquid used for the process performed before the intermediate annealing or before the final annealing after cold rolling is not particularly limited, an organic solvent, an aqueous alkali solution, an acid aqueous solution, an amine aqueous solution, ammonia water, or a surfactant added to water is used. .

상기 유기 용제의 예로서, 알코올, 디올, 톨루엔·크실렌 등의 방향족 탄화수소, 알칸계 탄화수소, 시클로헥산, 케톤, 에테르, 에스테르, 석유 제품 등을 들 수 있지만, 특별히 한정되는 것은 아니다. 또한, 복수의 유기 용제를 혼합하여 이용해도 좋고, 물과 혼합할 수 있는 유기 용제의 경우는 필요에 따라서 물과 혼합하여 이용해도 좋다. Examples of the organic solvent include, but are not particularly limited to, aromatic hydrocarbons such as alcohols, diols, toluene and xylene, alkanes, hydrocarbons, cyclohexane, ketones, ethers, esters, petroleum products, and the like. Moreover, you may mix and use a some organic solvent, and in the case of the organic solvent which can be mixed with water, you may mix and use with water as needed.

중간 어닐링 이전의 공정 또는 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하는 세정에 이용하는 세정액으로서, 알칼리 수용액이나 산 수용액이어도 좋다. 알칼리 수 용액에 포함되는 알칼리로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 칼슘, 규산 나트륨 등을 예시할 수 있고, 적어도 1종류 이상의 알칼리를 포함하는 수용액을 세정액으로서 이용할 수 있다. 또한, 산 수용액에 포함되는 산으로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 염산, 황산, 인산, 질산 등을 예시할 수 있고, 이들 산을 적어도 1종류 이상 포함하는 수용액을 세정액으로서 이용할 수 있다. As a washing | cleaning liquid used for the process performed before the intermediate annealing, or after final rolling after cold rolling, aqueous alkali solution or an acid aqueous solution may be sufficient. Although it does not specifically limit as alkali contained in alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, sodium silicate, etc. can be illustrated, The aqueous solution containing at least 1 type or more of alkali can be used as a washing | cleaning liquid. In addition, the acid contained in the acid aqueous solution is not particularly limited, and examples include hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, nitric acid, and the like, and an aqueous solution containing at least one or more of these acids can be used as the cleaning liquid.

상기 세정에 있어서의 세정액과 알루미늄재의 접촉 방법은 특별히 한정되지 않지만, 침지, 세정액 표면에의 알루미늄재의 접촉, 스프레이 등을 들 수 있다. Although the contact method of the cleaning liquid and aluminum material in the said washing | cleaning is not specifically limited, Dipping, the contact of aluminum material to the cleaning liquid surface, spray, etc. are mentioned.

마무리 냉간 압연 후, 필요하면 세정을 한 후, 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성을 촉진시키는 동시에, 알루미늄재의 결정 조직의 방위를 (100)방위로 조정해서 에칭 특성을 향상시키는 것을 주목적으로 하여 최종 어닐링이 실시된다. After finishing cold rolling, after washing, if necessary, it promotes the production of a material that can become the nucleus of the etch pit, and adjusts the orientation of the crystal structure of the aluminum material to the (100) orientation to improve the etching characteristics. The final annealing is performed.

최종 어닐링에 있어서는, 이전 공정인 냉간 압연 공정의 도중에서의 접촉 가열 공정에서 알루미늄재에 형성된 산화막의 두께를, 최종 어닐링 공정에서 지나치게 증대시켜서 에칭 특성을 열화시키지 않도록 최종 어닐링 후의 산화 피막의 합계 두께가 헌터 홀 법[M.S.Hunter and P. Fowle, J.Electrochem. Soc., 101[9], 483(1954) 참조]에 의한 두께로 2.5 내지 5nm가 되도록 최종 어닐링을 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 최종 어닐링 후의 알루미늄재의 (100)면적율은 90% 이상이 바람직하다. In the final annealing, the total thickness of the oxide film after the final annealing is increased so that the thickness of the oxide film formed in the aluminum material in the contact heating step in the middle of the cold rolling step, which is the previous step, is excessively increased in the final annealing step so as not to deteriorate the etching characteristics. Hunter Hall Law [MS Hunter and P. Fowle, J. Electrochem. Soc., 101 [9], 483 (1954)] is preferably subjected to final annealing to be 2.5 to 5 nm in thickness. Moreover, as for the (100) area ratio of the aluminum material after final annealing, 90% or more is preferable.

이 최종 어닐링에 있어서의 처리 분위기는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 산화 피막의 두께를 지나치게 증대시키지 않도록 수분 및 산소가 적은 분위기 중에 서 가열하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 아르곤, 질소 등의 불활성 가스 중 또는 0.1Pa 이하의 진공 중에서 가열하는 것이 바람직하다. Although the processing atmosphere in this final annealing is not specifically limited, It is preferable to heat in the atmosphere with few moisture and oxygen so that the thickness of an oxide film may not be increased too much. Specifically, heating in an inert gas such as argon or nitrogen or in a vacuum of 0.1 Pa or less is preferable.

최종 어닐링의 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 코일로 권취한 상태로 배치 어닐링해도 좋고, 코일을 되감아 연속 어닐링한 후 코일로 권취해도 좋고, 배치 어닐링과 연속 어닐링 중 적어도 어느 하나를 복수회 행해도 좋다. The method of final annealing is not particularly limited, and may be batch annealed in a state of being wound with a coil, may be wound with a coil after winding the coil continuously and then annealed, or at least one of batch annealing and continuous annealing may be performed a plurality of times. good.

최종 어닐링 시의 온도, 시간은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 코일의 상태로 배치 어닐링을 행하는 경우는, 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃에서, 10 내지 50시간 어닐링하는 것이 바람직하다. 알루미늄 실체 온도가 450℃ 미만, 시간이 10분 미만에서는, 산화 피막 중의 에치 피트의 핵이 이루어질 수 있는 물질의 생성이 충분하지 않고, 그 분산 상태가 지나치게 성기게 되어서 결정을 에칭 핵으로 하는 에칭 시의 면적 확대 효과를 기대할 수 없을 우려가 있고, (100)면의 결정 방위의 발달도 불충분해질 우려가 있기 때문이다. 반대로 600℃를 초과해서 어닐링하면, 코일로 배치 어닐링하는 경우는 알루미늄재가 밀착을 일으키기 쉬워지고, 또한 50시간을 초과해서 어닐링해도 에칭 면적 확대 효과는 포화되어, 오히려 열 에너지 비용의 증대를 초래한다. 특히 바람직한 온도는, 알루미늄 실체 온도로 460 내지 580℃, 시간은 2O분 내지 40시간이다. Although the temperature and time at the time of final annealing are not specifically limited, For example, when performing batch annealing in the state of a coil, it is preferable to anneal for 10 to 50 hours at the aluminum substance temperature of 450-600 degreeC. When the aluminum substance temperature is less than 450 ° C. and the time is less than 10 minutes, the material capable of forming the nuclei of the etch pit in the oxide film is insufficient, and the dispersion state becomes excessively coarse, so that the etching is used as an etching nucleus. This is because there is a possibility that the area-expansion effect of N may not be expected, and the development of the crystal orientation of the (100) plane may also become insufficient. On the contrary, when the annealing exceeds 600 ° C., the aluminum material tends to be in close contact when annealing with a coil, and even if the annealing is over 50 hours, the etching area enlargement effect is saturated, and the thermal energy cost is increased. Especially preferable temperature is 460-580 degreeC in aluminum substance temperature, and time is 20 minutes-40 hours.

또한, 승온 속도·패턴은 특별히 한정되지 않고, 일정 속도로 승온시켜도 좋고, 승온, 온도 유지를 반복하면서 스텝 승온·냉각시켜도 좋고, 어닐링 공정에서 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃의 온도 영역에서 합계 10분 내지 50시간 어닐링시켜도 좋다. 최종 어닐링 후에 얻어지는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 두 께는 특별히 규정되는 것은 아니다. In addition, a temperature increase rate and a pattern are not specifically limited, You may heat up at a constant speed, You may heat up and cool step repeatedly, repeating temperature rising and temperature maintenance, and a total of 10 minutes in the temperature range of aluminum substance temperature 450-600 degreeC in an annealing process. You may anneal for 50 hours. The thickness of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes obtained after the final annealing is not particularly specified.

최종 어닐링을 종료한 알루미늄재에는, 면적 확대율 향상을 위해 에칭 처리를 실시한다. 에칭 처리 조건은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 직류 에칭법을 채용하는 것이 좋다. 직류 에칭법에 의해, 상기 최종 어닐링에 있어서 생성이 촉진된 에치 피트의 핵이 되는 부분에 있어서, 깊고 굵게 에칭되어 다수의 터널형 피트가 생성되고, 고정전 용량이 실현된다. The aluminum material after the final annealing is subjected to an etching process for improving the area enlargement ratio. Although the etching process conditions are not specifically limited, Preferably, the direct current etching method is employ | adopted. By the direct current etching method, in the final annealed portion, which becomes the nucleus of the etch pit that is promoted to be produced, deep and thick etching are performed to generate a large number of tunnel-type pits, and a fixed capacitance is realized.

에칭 처리 후, 바람직하게는 화성 처리를 해서 양극재로 하는 것이 좋고, 특히 중압용 및 고압용의 전해 콘덴서 전극재로서 이용하는 것이 좋다. 물론 음극재로서 이용하는 것을 방해하는 것은 아니다. After the etching treatment, preferably, chemical conversion treatment is performed to form the cathode material, and in particular, it is preferable to use the electrolytic capacitor electrode material for medium pressure and high pressure. Of course, it does not interfere with using as a negative electrode material.

상기와 같은 양극재 및/또는 음극재를 전극재로서 이용함으로써 알루미늄 전해 콘덴서가 구성된다. 이 전해 콘덴서에서는, 전극재의 면적 확대율이 증대되어 있기 때문에, 큰 정전 용량을 가지게 된다. An aluminum electrolytic capacitor is constructed by using the above positive electrode material and / or negative electrode material as an electrode material. In this electrolytic capacitor, since the area expansion ratio of the electrode material is increased, it has a large capacitance.

본 실시 형태에서는 냉간 압연 공정의 도중에 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열한 후, 최종 어닐링하기 때문에 에칭 특성이 균일한 전해 콘덴서용 알루미늄재를 제조할 수 있다. 특히, 가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하기 때문에, 균일하게 단시간에 알루미늄박 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 온도 제어가 비교적 용이한 동시에, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에, 분위기의 영향을 적게 할 수 있다. 따라서 이 전해 콘덴서용 알루미늄재를 에칭함으로써, 에치 피트가 균일하게 생성되어 효과적으로 에칭이 행하여지고, 그 결과, 면적 확대율을 향상시킬 수 있고, 나아가서는 정전 용량이 증대한 전해 콘덴서 전극재로 할 수 있고, 결과적으로 큰 정전 용량을 가지는 알루미늄 전해 콘덴서를 얻을 수 있다. In this embodiment, since an aluminum material is heated by contact with a heating body in the middle of a cold rolling process, and finally annealed, the aluminum material for electrolytic capacitors with uniform etching characteristics can be manufactured. In particular, since contact heating is used as the heating method, the surface of the aluminum foil can be reached at a desired temperature uniformly in a short time, and thus the temperature control is relatively easy, and the heating can be rapidly performed in a short time. Can be less. Therefore, by etching this electrolytic capacitor aluminum material, the etch pits are uniformly generated and effectively etched, and as a result, the area enlargement ratio can be improved, and further, the electrolytic capacitor electrode material having increased capacitance can be obtained. As a result, an aluminum electrolytic capacitor having a large capacitance can be obtained.

(제2 실시 형태) (2nd embodiment)

본 실시 형태는, 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을, 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하는 경우이다. This embodiment is a case where the contact heating process with the heating body of an aluminum material is performed before the final annealing after the said cold rolling.

즉, 냉간 압연 이후의 공정에 있어서, 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열함으로써, 그 후의 어닐링에 의해 에치 피트 핵이 될 수 있는 물질을 알루미늄재 표면에 석출시킨다. 가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하는 것은, 가열체 표면에 따라 균일하게 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 제어가 비교적 용이한 동시에, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에, 분위기의 영향을 적게 할 수 있기 때문이다. That is, in the step after cold rolling, by heating the aluminum material by contact with the heating body, a substance capable of becoming an etch pit nucleus is deposited on the surface of the aluminum material by subsequent annealing. The use of contact heating as the heating method is that the surface of the aluminum material can be brought to a desired temperature uniformly in a short time according to the surface of the heating body, so that the control is relatively easy and the heating can be rapidly performed in a short time. This is because the impact can be reduced.

전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조에 있어서, 종래 일반적으로 (100)면의 결정 방위를 발달시키기 위해서, 450 내지 600℃의 온도 범위에서 불활성 분위기 또는 진공 중에서 최종 어닐링을 실시하고 있지만, 결정성 산화물 등 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질이 충분히 생성되지 않는다. 그래서, 최종 어닐링 전에 접촉 가열에 의해 급속 가열함으로써, 최종 어닐링 시에 결정성 산화물 미립자 등 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성을 촉진시킨다. In the production of aluminum materials for electrolytic capacitors, in general, in order to develop a crystal orientation of the (100) plane, final annealing is performed in an inert atmosphere or vacuum at a temperature range of 450 to 600 ° C, but etched pit such as crystalline oxide. There is not enough material to make the nucleus of. Thus, rapid heating by contact heating before final annealing promotes the production of a substance that can become nuclei of etch pits, such as crystalline oxide fine particles, during final annealing.

여기서 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질은, 결정성 산화물뿐만 아니라, 비정질에서도 밀도가 높은 것 또는 두꺼운 것, 비정질 중에 결정성 산화물이나 금속 알루미늄이 포함되는 것이 포함된다. 또한, 결정성 산화물의 종류로서는,

Figure 112004004180045-pct00004
-Al2O3를 포함하는 Al2O3, 베마이트를 포함하는 AlOOH, 알루미늄 이외의 함유 금속(예를 들면, Mg, Pb, Cu 등)의 복합 산화물 등이 있지만, 금속 산화물 또는 금속 수산화물 등으로 특별히 한정되는 것은 아니다. The material that can be the nucleus of the etch pit includes not only a crystalline oxide, but also one having a high density or thickness even in amorphous, and one containing crystalline oxide or metallic aluminum in the amorphous state. In addition, as a kind of crystalline oxide,
Figure 112004004180045-pct00004
-Al 2 O 3 Al 2 O 3 , AlOOH containing boehmite containing, containing a metal other than aluminum (for example, Mg, Pb, Cu, and so on) such as a composite oxide, but the metal oxide and a metal hydroxide such as It is not specifically limited to.

이러한 알루미늄재 표면의 산화 피막 중에서 다른 장소와 특성이 다른 것이 생성되면, 에칭 시에 에치 피트의 핵이 될 수 있다고 고려되어 최종 어닐링 전에 급속 가열함으로써, 어닐링 시에 결정이나 결정으로 전이하기 전의 상태의 비정질, 비정질 중에 결정이나 금속 알루미늄이 포함되는 물질이 생성하고, 이들이 에치 피트 핵이 된다고 추정된다. If the oxide film on the surface of the aluminum material is different from other places, it is considered that it may be the nucleus of the etch pit during etching, and is rapidly heated before the final annealing, so that the state before the transition to the crystal or the crystal during the annealing is considered. It is presumed that materials containing amorphous and metallic aluminum in amorphous and amorphous forms, and these become etch pit nuclei.

급속 가열의 방법으로서 가열체와의 접촉 가열을 이용하는 것은, 전술한 바와 같이, 극히 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있어 생산성이 뛰어나고, 단시간에 가열할 수 있기 때문에 분위기의 영향을 받기 어렵고, 알루미늄재 표면에 접촉하는 가열체 표면의 온도가 균일하면, 알루미늄 코일의 폭방향·길이방향으로 균일한 산화막을 형성할 수 있는 이점을 가지기 때문이다. The use of contact heating with a heating body as a method of rapid heating, as described above, can reach the desired temperature of the aluminum material surface in a very short time and is excellent in productivity, and can be heated in a short time. It is because it is difficult and the temperature of the surface of the heating body which contacts the surface of an aluminum material is uniform, because it has the advantage that a uniform oxide film can be formed in the width direction and the length direction of an aluminum coil.

이하에, 전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조 방법을 설명한다. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitors is demonstrated below.

알루미늄재의 순도는 전해 콘덴서용으로 사용되는 범위이면 특별히 한정되지 않지만, 순도 99.9% 이상의 것이 바람직하고, 특히 99.95% 이상이 바람직하다. 또한, 알루미늄재의 순도는 100%로부터 Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti 및 Ga의 합계 농도(%)를 뺀 값으로 한다. The purity of the aluminum material is not particularly limited as long as it is in a range used for an electrolytic capacitor, but a purity of 99.9% or more is preferable, particularly 99.95% or more. In addition, the purity of an aluminum material shall be the value which subtracted the total concentration (%) of Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti, and Ga from 100%.                 

알루미늄재의 제조는, 한정되는 것은 아니지만, 알루미늄재의 용해 성분 조정·슬래브 주조, 균열 처리, 열간 압연, 냉간 압연, 마무리 냉간 압연(저압 하 압연), 접촉 가열의 순으로 실시된다. 알루미늄재의 (100)면적율이 90% 이상인 것이 바람직하고, 알루미늄재의 에칭 조건과의 관계로부터, 알루미늄재의 제조 공정 조건은 적당히 변경된다. 한편, 압연 공정의 도중에 있어서, 이전 공정의 압연에 의해 생긴 알루미늄재의 결정 조직의 왜곡을 해소할 목적으로 어닐링(중간 어닐링이라 칭함)을 실시해도 좋다. 또한, 중간 어닐링 이전의 공정에서 알루미늄 표면의 불순물이나 유분을 제거할 목적으로 세정을 행해도 좋다. The production of the aluminum material is not limited, but is carried out in the order of melting component adjustment, slab casting, cracking treatment, hot rolling, cold rolling, finish cold rolling (low pressure rolling), and contact heating of the aluminum material. It is preferable that the (100) area ratio of an aluminum material is 90% or more, and the manufacturing process conditions of an aluminum material are changed suitably from the relationship with the etching conditions of an aluminum material. In addition, you may perform annealing (called intermediate | middle annealing) in the middle of a rolling process in order to eliminate the distortion of the crystal structure of the aluminum material produced by rolling of the previous process. In addition, in the process before intermediate annealing, you may wash | clean in order to remove the impurity and oil component of an aluminum surface.

중간 어닐링 이전의 공정에서 이용하는 세정액은 특별히 한정되지 않지만, 알칼리 수용액, 산 수용액, 유기 용제 등이 이용된다. Although the washing | cleaning liquid used at the process before intermediate annealing is not specifically limited, Alkali aqueous solution, an acidic aqueous solution, an organic solvent, etc. are used.

압연 공정을 종료한 알루미늄재는, 표면에 유분이 존재하기 때문에, 필요에 따라 최종 어닐링 전에 있어서 후술하는 접촉 가열 전 또는 접촉 가열 후의 적어도 어느 때인가 세정을 행하는 것이 바람직하다. 이러한 세정을 행함으로써 접촉 가열의 효과가 더욱 발휘되어 큰 정전 용량을 얻을 수 있다. Since the oil material exists in the surface of the aluminum material which finished the rolling process, it is preferable to wash at least any time before contact heating mentioned later or after contact heating before final annealing as needed. By performing such washing | cleaning, the effect of contact heating is further exhibited and a big electrostatic capacitance can be obtained.

압연 종료 후, 세정을 행하지 않고 접촉 가열을 하여 큰 마모분 등이 알루미늄재 표면에 부착되어 있는 경우에는 세정에 의해 제거하는 것이 바람직하다. It is preferable to remove by washing | cleaning, when contact heating is performed and washing | cleaning is carried out after completion | finish of rolling, and big abrasion powder etc. adhere to the aluminum material surface.

상기 접촉 가열 전 또는 접촉 가열 후의 세정에 이용되는 세정액은, 탈지를 목적으로 하기 때문에 유기 용제나 물에 계면 활성제를 첨가한 것이 이용된다. Since the washing | cleaning liquid used for the washing | cleaning before the said contact heating or after the contact heating is aimed at degreasing, what added surfactant to the organic solvent and water is used.

유기 용제로서는, 알루미늄을 용해시키지 않는 물질을 이용할 수 있고, 예로서 알코올, 디올, 톨루엔·크실렌 등의 방향족 탄화수소, 알칸계 탄화수소, 시클로 헥산, 케톤, 에테르, 에스테르, 석유 제품 등을 들 수 있지만, 특별히 한정되는 것은 아니다. As the organic solvent, a substance which does not dissolve aluminum can be used, and examples thereof include aromatic hydrocarbons such as alcohols, diols and toluene xylenes, alkanes, hydrocarbons, cyclohexane, ketones, ethers, esters, petroleum products, and the like. It is not specifically limited.

상기 알코올의 예로서는, 메탄올(CH3OH), 에탄올(C2H50H), 1-프로판올 (CH3CH2CH2OH), 2-프로판올(CH3CH2(0H)CH3 ), 1-부탄올(CH3CH2CH2CH2OH), 2-부탄올 (CH3CH2CH2(0H)CH3), 1-펜탄올(CH3CH2CH 2CH2CH2OH), 2-펜탄올(CH3CH2CH2CH2 (0H)CH3) 등을 들 수 있고, CnH2n+10H(n=1 내지 10의 자연수)로 나타내어지는 것이 바람직하다. 또한, 시클로헥사놀 등의 지건(脂乾) 탄화수소류도 이용할 수 있다. Examples of the alcohol include methanol (CH 3 OH), ethanol (C 2 H 5 0H), 1-propanol (CH 3 CH 2 CH 2 OH), 2-propanol (CH 3 CH 2 (0H) CH 3 ), 1 -Butanol (CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 OH), 2-butanol (CH 3 CH 2 CH 2 (0H) CH 3 ), 1-pentanol (CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 OH), 2 -Pentanol (CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 (0H) CH 3 ) and the like, and are preferably represented by C n H 2n + 1 0H (natural number of n = 1 to 10). In addition, aliphatic hydrocarbons such as cyclohexanol can also be used.

상기 디올의 예로서는, 1,2-에탄디올(H0CH2CH2OH), 1,2-프로판디올 (CH3CH(OH)CH2OH), 1,3-프로판디올(HOCH2CH2CH2OH) 등을 예시할 수 있다. Examples of the diol include 1,2-ethanediol (H0CH 2 CH 2 OH), 1,2-propanediol (CH 3 CH (OH) CH 2 OH), 1,3-propanediol (HOCH 2 CH 2 CH 2 OH) etc. can be illustrated.

상기 알칸계 탄화수소의 예로서는, 펜탄(C5H12), 헥산(C6H14), 헵탄(C7H16), 옥탄(C8H18), 노난(C9H20), 데칸(C10H22) 등을 들 수 있고 CnH2n+2(n=5 내지 15의 자연수)로 나타내어지는 것이 바람직하다. 또한, 시클로헥산 등 지건식 탄화수소의 적용도 가능하다. Examples of the alkane hydrocarbons include pentane (C 5 H 12 ), hexane (C 6 H 1 4), heptane (C 7 H 16 ), octane (C 8 H 18 ), nonane (C 9 H 20 ), and decane ( C 10 H 22 ), and the like, and are preferably represented by C n H 2n + 2 (a natural number of n = 5 to 15). In addition, application of a dry-dry hydrocarbon, such as cyclohexane, is also possible.

상기 케톤의 예로서는, 아세톤(CH3COCH3), 2-부타논(CH3COC2H 5), 3-펜타논(CH3CH2COCH2CH3), 3-메틸-2-부타논(CH3COCH(CH 3)2) 등을 예시할 수 있고, R1COR2(R1 및 R2:지방족 탄화수소기이며, R1과 R 2의 탄소수의 합계가 8 이하)로 나타 내어지는 것이 바람직하다. 또한, 시클로 헥사논(C6H10O) 등 환상 케톤을 이용해도 좋다.Examples of the ketones include acetone (CH 3 COCH 3 ), 2-butanone (CH 3 COC 2 H 5 ), 3-pentanone (CH 3 CH 2 COCH 2 CH 3 ), and 3-methyl-2-butanone ( CH 3 COCH (CH 3 ) 2 ) and the like, and R 1 COR 2 (R 1 and R 2 are aliphatic hydrocarbon groups, and the sum of the carbon number of R 1 and R 2 is 8 or less). desirable. It is also possible to use a cyclic ketone such as cyclohexanone (C 6 H 10 O).

상기 에테르의 예로서는, R1-O-R2(R1 및 R2:지방족 탄화수소기이며, R1과 R2의 탄소수의 합계가 8이하)로 나타내어지는 물질, 2-메톡시 에탄올(CH30CH2CH2OH), 2-에톡시에탄올(CH3CH2OCH2CH2OH), 2-부톡시 에탄올(CH3 CH2CH2CH2OCH2CH2OH) 2-(2-에톡시)에톡시에탄올(CH3CH2OCH2CH20CH2CH20H) 등의 글리콜 에테르도 포함된다. Examples of the ether, R 1 -OR 2 (R 1 and R 2: an aliphatic hydrocarbon group, R 1 and less than the total number of carbon atoms of R 2 8) represented by the material, 2-methoxy ethanol (CH 3 0CH 2 CH 2 OH), 2- ethoxyethanol (CH 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OH), 2- butoxyethanol (CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 OCH 2 CH 2 OH) 2 - ( 2-ethoxy) Glycol ethers such as ethoxyethanol (CH 3 CH 2 OCH 2 CH 2 0CH 2 CH 2 0H) are also included.

상기 에스테르의 예로서는, CH3COOR(R:탄소수 1 내지 5인 지방족 탄화수소기)로 나타내어지는 아세트산 에스테르를 예시할 수 있다. Examples of the ester, CH 3 COOR: there can be mentioned acetic acid ester represented by (R 1 to 5 carbon atoms in the aliphatic hydrocarbon group).

상기 석유 제품의 예로서는, 공업 가솔린(JIS K 2201), 자동차 가솔린(JIS K 2202), 항공 가솔린(JIS K 2206), 등유(JIS K 2203), 경유(JIS K 2204), 항공 가솔린(JIS K 2206), 석유 에테르(JIS K 8593), 석유 벤진(JIS K 8594), 리그로인(JIS K8937), 케로신 등을 들 수 있다. Examples of the petroleum products include industrial gasoline (JIS K 2201), automobile gasoline (JIS K 2202), aviation gasoline (JIS K 2206), kerosene (JIS K 2203), diesel oil (JIS K 2204), aviation gasoline (JIS K 2206). ), Petroleum ether (JIS K 8593), petroleum benzine (JIS K 8594), ligroin (JIS K8937), kerosene and the like.

상기 유기 용제로서는, 복수의 유기 용제를 혼합하여 이용해도 좋고, 물과 혼합할 수 있는 유기 용제의 경우는, 필요에 따라서 물과 혼합하여 이용해도 좋다. As said organic solvent, you may mix and use a some organic solvent, and in the case of the organic solvent which can be mixed with water, you may mix and use with water as needed.

한편, 상기 세정에 이용하는, 물에 계면 활성제를 첨가한 세정액 중에 포함되는 계면 활성제로서는, 음이온 계면 활성제, 양이온 계면 활성제, 비이온성 계면 활성제를 이용할 수 있다. On the other hand, as surfactant contained in the washing | cleaning liquid which added surfactant to water used for the said washing | cleaning, anionic surfactant, cationic surfactant, and nonionic surfactant can be used.

음이온 계면 활성제로서는, 황산 에스테르염, 술폰산염을 이용할 수 있다. As the anionic surfactant, sulfuric acid ester salts and sulfonates can be used.                 

상기 황산 에스테르염으로서는, R-OSO3Na(R=탄소수 8 내지 18의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기)를 이용할 수 있고, 구체적으로는 도데실 황산 나트륨(C12H250SO3Na), 헥사 데실 황산 나트륨(C16 H33OSO3Na), 스테아릴 황산 나트륨(C18H37OSO3Na), 올레일 황산 나트륨(C18H 35OSO3Na) 등을 예시할 수 있다. As the sulfuric acid ester salt, R-OSO 3 Na (unsaturated hydrocarbon group having one or two double bonds or a saturated hydrocarbon group having 8 to 18 carbon atoms) may be used, and specifically, sodium dodecyl sulfate (C 12 H). 25 0 SO 3 Na), hexadecyl sulfate (C 16 H 33 OSO 3 Na), stearyl sodium sulfate (C 18 H 37 OSO 3 Na), sodium oleic sulfate (C 18 H 35 OSO 3 Na), and the like. can do.

상기 술폰산염은, R-S03Na(R=탄소수 8 내지 18의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기) 또는 도데실 벤젠 술폰산 나트륨(C12H25-C6 H4-SO3Na) 등의 R-S03Na(R:알킬기가 탄소수 8 내지 14의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기인 알킬 벤질기)로 나타내어지는 것을 이용할 수 있다. The sulfonate may be selected from the group consisting of R-S0 3 Na (unsaturated hydrocarbon group having 8 to 18 carbon atoms or an unsaturated hydrocarbon group having one double bond) or sodium dodecyl benzene sulfonate (C 12 H 25 -C 6 H 4- SO 3 Na), such as the R-S0 3 Na (R: alkyl group may be used is the unsaturated hydrocarbon group represented by alkyl benzyl group) having one of a combination of a saturated hydrocarbon group or two of the carbon atoms from 8 to 14.

양이온 계면 활성제로서는, R-N+(CH3)3·Cl-(R=탄소수 8 내지 16의 포화 탄화수소기)로 나타내어지는 제4급 암모늄염을 이용할 수 있다. As the cationic surfactant, RN + (CH 3) 3 · Cl - can be used a quaternary ammonium salt represented by (R = saturated hydrocarbon group having 8 to 16).

비이온성 계면 활성제로서는, R-0-(-CH2CH2O)nH(R=탄소수 8 내지 16의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기, n=6 내지 14) 또는 R-O-(-CH2CH2O)nH(R=알킬기가 탄소수 8 내지 12의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기인 알킬 페닐기, n=6 내지 14)로 나타내어지는 폴리에틸렌글리콜형 비이온 계면 활성제를 예시할 수 있다. 또한, n이 상기 범위보 다 많은 것이 비이온성 계면 활성제 중에 50% 이하의 몰비로 포함되어 있어도 좋다. As the nonionic surfactant, R-0 - (- CH 2 CH 2 O) n H (R = number of carbon atoms from 8 to 16 groups of the unsaturated hydrocarbon having one binding of a saturated hydrocarbon group or a 2, n = 6 to 14), or Polyethylene glycol represented by RO-(-CH 2 CH 2 O) n H (alkyl phenyl group in which an R = alkyl group is a saturated hydrocarbon group having 8 to 12 carbon atoms or a double bond, n = 6 to 14) Type nonionic surfactants can be exemplified. In addition, more than n of the said range may contain 50% or less of molar ratio in nonionic surfactant.

또한, 상기 계면 활성제의 적어도 1종류 이상을 물에 첨가해서 세정액으로서 이용할 수 있다. 계면 활성제의 탄소수가 상기 범위보다 적은 계면 활성제가 50% 이하의 몰비로 첨가되어 있어도 좋다. 또한, 음이온 계면 활성제와 양이온 계면 활성제를 수중에서 혼합시키면 침전이 생성되기 때문에, 혼합은 피하는 것이 바람직하다. Moreover, at least 1 type or more of the said surfactant can be added to water, and it can use as a washing | cleaning liquid. Surfactant with less carbon number of surfactant than the said range may be added in 50% or less molar ratio. In addition, mixing is preferably avoided when anionic surfactants and cationic surfactants are mixed in water to cause precipitation.

계면 활성제의 첨가 농도는 특별히 규정되지 않지만, 세정 효과를 발휘시키기 위해, 임계 미셀(micell) 농도 이상인 것이 바람직하다. Although the addition density | concentration of surfactant is not specifically defined, In order to exhibit a washing | cleaning effect, it is preferable that it is more than a critical micelle concentration.

상기 세정 공정에 있어서, 세정액으로서 이용하는 유기 용제 또는 계면 활성제 수용액과 알루미늄재의 접촉 방법으로서는 특별히 한정되지 않지만, 침지, 세정액 표면에의 알루미늄재의 접촉, 스프레이 등을 들 수 있다. In the said washing | cleaning process, although it does not specifically limit as a contact method of the organic solvent or surfactant aqueous solution used as a washing | cleaning liquid, and an aluminum material, Dipping, a contact of the aluminum material to the surface of a washing | cleaning liquid, spray, etc. are mentioned.

또한, 알루미늄재 표면의 유분이나 마모분을 더 제거할 목적으로, 세정액과 알루미늄재의 접촉 중에 알루미늄재를 브러시 또는 스폰지와 접촉시켜 더 문질러도 좋다. In addition, in order to further remove oil or abrasion on the surface of the aluminum material, the aluminum material may be further rubbed with a brush or sponge during contact between the cleaning liquid and the aluminum material.

세정 공정에 있어서, 세정액과 알루미늄재의 접촉 시간은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 0.5초 이상 10분 이하인 것이 바람직하다. 세정액과 알루미늄재의 접촉 시간이 0.5초 미만에서는 세정이 불충분하고, 10분보다 길게 접촉시켜도 세정 효과가 포화에 도달한다. 세정액의 액 온도는, 유기 용제의 경우는 5 내지 60℃, 물에 계면 활성제를 첨가한 세정액의 경우는 5 내지 80℃인 것이 바람직하다. 세 정액의 액 온도가 하한 미만인 경우에는 세정력이 불충분하고, 상한보다 높은 온도에서 세정해도 세정력은 포화에 도달한다. Although the contact time of a cleaning liquid and an aluminum material in a washing process is not specifically limited, It is preferable that they are 0.5 second or more and 10 minutes or less. If the contact time between the cleaning liquid and the aluminum material is less than 0.5 seconds, the cleaning is insufficient, and the cleaning effect reaches saturation even if the cleaning liquid is brought into contact for longer than 10 minutes. It is preferable that the liquid temperature of the washing | cleaning liquid is 5-80 degreeC in the case of the washing | cleaning liquid which added surfactant to 5 to 60 degreeC and water in the case of an organic solvent. When the liquid temperature of three semens is less than a lower limit, washing | cleaning power is inadequate, and even if it wash | cleans at the temperature higher than an upper limit, washing | cleaning power reaches saturation.

알루미늄재의 세정 후, 필요에 따라서 건조시켜도 좋다. 건조 방법으로서, 예를 들면, 공기 중 가열, 불활성 분위기 가열, 진공 가열을 이용할 수 있다. 공기 중에서 건조시키는 경우의 분위기 온도는 200℃ 이하, 건조 시간은 10분 이하인 것이 바람직하다. 건조 온도가 200℃보다 높아지거나 또는 가열 시간이 10분보다 길어지면, 산화막이 지나치게 성장해서 에칭 특성이 저하할 우려가 있기 때문이다. After washing the aluminum material, it may be dried as necessary. As a drying method, air heating, inert atmosphere heating, and vacuum heating can be used, for example. It is preferable that the atmospheric temperature in the case of drying in air is 200 degrees C or less, and a drying time is 10 minutes or less. This is because if the drying temperature is higher than 200 ° C. or the heating time is longer than 10 minutes, the oxide film may grow excessively and the etching characteristics may be deteriorated.

압연 종료 후의 알루미늄재 또는 압연 종료 후 다시 세정을 실시한 알루미늄재는, 그 후의 어닐링에 의해 에치 피트의 핵을 많이 생성시키기 위해서 접촉 가열된다. 가열 수단은, 열 롤, 가열 벨트, 가열판 등 접촉 가열이 가능한 것이면 되지만, 간편하고 연속적으로 접촉 가열을 행할 수 있는 점에서 열 롤이 바람직하다. 또한, 한 면씩 가열해도 좋고, 표리면의 한 쪽만을 가열해도 좋다. 가열체의 가열 표면의 재질로서는 스테인레스, 도금, 세라믹스, 테프론 수지(등록 상표), 실리콘 수지 등 자유롭게 선택할 수 있지만, 알루미늄재의 표면 산화막이 가열체의 표면에 응착하지 않는 물질이 바람직하다. The aluminum material after the end of rolling or the aluminum material which has been washed again after the end of rolling is contact-heated in order to generate many nuclei of etch pits by subsequent annealing. The heating means may be any one capable of contact heating such as a heat roll, a heating belt, a heating plate, etc., but a heat roll is preferable since the heating means can be simply and continuously performed. In addition, you may heat by one surface and you may heat only one side of front and back. As a material of the heating surface of the heating body, stainless, plating, ceramics, Teflon resin (registered trademark), silicone resin and the like can be freely selected, but a material in which the surface oxide film of the aluminum material does not adhere to the surface of the heating body is preferable.

알루미늄재에 접촉시키는 가열체의 표면 온도는 50 내지 450℃가 바람직하다. 가열체의 표면 온도가 50℃ 미만에서는 가열이 불충분해지고, 접촉 가열 후에 행하는 어닐링 시의 결정성 산화물 미립자 등 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성이 불충분해질 우려가 있다. 한편, 450℃보다 높아지면, 산화막이 지나치게 두꺼워져 냉각 시에 주름이 발생하고, 조업상의 문제가 생길 우려가 있다. 보다 바람직한 가열체 표면 온도는 80 내지 400℃, 더욱 바람직하게는 100 내지 350℃이다. 특히 바람직한 가열체 표면 온도는 160 내지 290℃이다. As for the surface temperature of the heating body made to contact an aluminum material, 50-450 degreeC is preferable. If the surface temperature of the heating body is less than 50 ° C., the heating becomes insufficient, and there is a fear that the generation of substances that can become nuclei of etch pits, such as crystalline oxide fine particles during annealing performed after contact heating, may be insufficient. On the other hand, when it becomes higher than 450 degreeC, an oxide film becomes thick too much, wrinkles generate | occur | produce at the time of cooling, and there exists a possibility that an operation problem may arise. More preferable heating body surface temperature is 80-400 degreeC, More preferably, it is 100-350 degreeC. Especially preferable heater surface temperature is 160-290 degreeC.

알루미늄재 표면과 가열체 표면의 접촉 시간은 0.001 내지 60초로 하는 것이 바람직하다. 접촉 시간이 0.001초 미만에서는, 알루미늄재 표면을 충분히 가열할 수 없고, 역시 에치 피트 핵이 될 수 있는 물질의 생성이 불충분해질 우려가 있다. 한편, 60초보다 길게 하면, 산화막이 지나치게 두꺼워져 에치 피트가 발생하기 어려워질 우려가 있다. 보다 바람직한 접촉 시간은 0.001 내지 30초이며, 더욱 바람직하게는 0.01 내지 10초이다. 특히 바람직한 접촉 시간은 0.1 내지 7초이다. It is preferable that the contact time of the surface of an aluminum material and the surface of a heating body shall be 0.001 to 60 second. If the contact time is less than 0.001 second, the surface of the aluminum material cannot be sufficiently heated, and there is a fear that the production of a substance that can also become an etch pit nucleus becomes insufficient. On the other hand, if it is longer than 60 seconds, there is a fear that the oxide film becomes too thick and etch pits are less likely to occur. More preferable contact time is 0.001 to 30 second, More preferably, it is 0.01 to 10 second. Particularly preferred contact time is 0.1 to 7 seconds.

가열체의 표면 온도 및 접촉 시간은, 접촉 전의 알루미늄재 표면의 산화막의 특성을 고려해서 적당히 선택하면 된다. 접촉 가열 분위기는 특별히 한정되지 않고, 특별한 분위기 제어도 필요 없이 공기 중에서 실시할 수 있다. The surface temperature and the contact time of the heating body may be appropriately selected in consideration of the characteristics of the oxide film on the surface of the aluminum material before the contact. The contact heating atmosphere is not particularly limited and can be carried out in air without requiring any special atmosphere control.

가열체로서 열 롤을 이용한 가열 장치의 일례로서는, 알루미늄재의 표리면을 원하는 온도로 접촉 가열하기 위해서, 적어도 2개의 열 롤을 배치한 장치를 들 수 있다. 알루미늄재를 열 롤 등으로 접촉 가열한 후 알루미늄재를 권취할 때에 주름이 생길 경우에는, 열 롤 등에 의한 가열 후 1개 또는 복수개의 냉각 롤 등의 냉각체를 통과시켜, 알루미늄재를 냉각시키고 나서 권취하는 구성으로 해도 좋다. 특히 냉각체로서 냉각 롤을 이용함으로써, 간편하면서도 연속적으로 냉각을 행할 수 있다. 또한, 열 롤 등에 의해 알루미늄재를 원하는 접촉 가열 온도로 가열하기 전에, 다른 열 롤을 이용해서 원하는 접촉 가열 온도보다 낮은 온도로 알루미늄재의 온도를 예비적으로 상승시켜 놓아도 된다. As an example of the heating apparatus which used the heat roll as a heating body, the apparatus which has arrange | positioned at least 2 heat rolls in order to contact-heat-heat the front and back surface of an aluminum material at a desired temperature is mentioned. If wrinkles occur when the aluminum material is wound up after the aluminum material is heated by contact with a heat roll or the like, after cooling by the heat roll or the like, a cooling body such as one or a plurality of cooling rolls is passed through to cool the aluminum material. It is good also as a structure to wind up. Especially by using a cooling roll as a cooling body, cooling can be performed simply and continuously. Moreover, you may preliminarily raise the temperature of aluminum material to temperature lower than a desired contact heating temperature using another heat roll, before heating an aluminum material to desired contact heating temperature with a heat roll etc.                 

접촉 가열 후, 필요하면 전술한 세정을 한 후, 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성을 촉진시키는 동시에, 알루미늄재의 결정 조직의 방위를 (100)방위로 조정해서 에칭 특성을 향상시키는 것을 주 목적으로 하여 최종 어닐링이 이루어진다. After contact heating, the above-mentioned cleaning is performed as necessary, and then, while promoting the production of a material capable of becoming the nucleus of the etch pits, the orientation of the crystal structure of the aluminum material is adjusted to the (100) orientation to improve the etching characteristics. Final annealing takes place for the purpose.

또한, 최종 압연 후 최종 어닐링 전에, 상술한 공정 이외의 다른 공정, 예를 들면, 알루미늄재 코일을 분할하기 위한 슬릿 공정 등을 실시해도 좋은 것은 물론이다. In addition, of course, you may perform another process other than the process mentioned above, for example, the slit process for dividing an aluminum material coil, etc. after final rolling after final rolling.

최종 어닐링에 있어서는, 이전 공정인 접촉 가열 공정에서 알루미늄재에 형성된 산화막의 두께를 최종 어닐링 공정에서 지나치게 증대시켜서, 에칭 핵이 될 수 있는 가능성을 소거시키지 않도록, 최종 어닐링 후의 산화 피막의 합계 두께가 헌터 홀법[M.S.Hunter and P.Fowle, J.Electrochem. Soc., 101[9], 483(1954) 참조]에 의한 두께로 2.5 내지 5.0㎚가 되도록 최종 어닐링을 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 최종 어닐링 후의 알루미늄재의 (100)면적율은 90% 이상이 바람직하다. In the final annealing, the total thickness of the oxide film after the final annealing is hunter so as not to increase the thickness of the oxide film formed in the aluminum material in the contact heating step, which is the previous step, in the final annealing step so as to eliminate the possibility of becoming an etching nucleus. Hall method [MS Hunter and P. Fowle, J. Electrochem. Soc., 101 [9], 483 (1954)] is preferably subjected to the final annealing to be 2.5 to 5.0 nm in thickness. Moreover, as for the (100) area ratio of the aluminum material after final annealing, 90% or more is preferable.

이 최종 어닐링에 있어서의 처리 분위기는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 산화 피막의 두께를 지나치게 증대시키지 않도록, 수분 및 산소가 적은 분위기 중에서 가열하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 아르곤, 질소 등의 불활성 가스 중 또는 0.1Pa 이하의 진공 중에서 가열하는 것이 바람직하다. Although the processing atmosphere in this final annealing is not specifically limited, It is preferable to heat in atmosphere with few moisture and oxygen so that the thickness of an oxide film may not be increased too much. Specifically, heating in an inert gas such as argon or nitrogen or in a vacuum of 0.1 Pa or less is preferable.

최종 어닐링의 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 코일로 권취한 상태로 배치 어닐링해도 좋고, 코일을 되감아 연속 어닐링한 후 코일로 권취해도 좋고, 배 치 어닐링과 연속 어닐링의 적어도 어느 한 쪽을 복수회 행해도 좋다. The method of final annealing is not particularly limited, and may be batch annealed in a state of being wound with a coil, or may be wound with a coil after rewinding the coil and continuous annealing, or at least one of batch annealing and continuous annealing a plurality of times. You may carry out.

최종 어닐링 시의 온도, 시간은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 코일의 상태로 배치 어닐링을 행하는 경우는, 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃에서, 10분 내지 50시간 어닐링하는 것이 바람직하다. 알루미늄 실체 온도가 450℃ 미만, 시간이 10분 미만에서는, 산화 피막 중의 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 생성이 충분하지 않고, 그 분산 상태가 지나치게 성겨서, 결정을 에칭 핵으로 하는 에칭 시의 면적 확대 효과를 기대할 수 없을 우려가 있고, (100)면의 결정 방위의 발달도 불충분해질 우려가 있기 때문이다. 반대로 600℃를 초과해서 어닐링하면, 코일로 배치 어닐링하는 경우는 알루미늄재가 밀착을 일으키기 쉬워지고, 또한 50시간을 초과해서 어닐링해도 에칭에 의한 면적 확대 효과는 포화하여, 오히려 열 에너지 비용의 증대를 초래한다. 보다 바람직한 온도는, 알루미늄 실체 온도로 460 내지 600℃, 특히 500 내지 580℃, 시간은 20분 내지 40시간이다. Although the temperature and time at the time of final annealing are not specifically limited, For example, when performing batch annealing in the state of a coil, it is preferable to anneal for 10 minutes-50 hours at 450-600 degreeC of aluminum substance temperature. When the aluminum substance temperature is less than 450 ° C. and the time is less than 10 minutes, the generation of a substance capable of becoming the nucleus of the etch pit in the oxide film is insufficient, and the dispersion state is too coarse, and the etching is performed when the crystal is used as an etching nucleus. This is because there is a possibility that the area-expansion effect of N may not be expected, and the development of the crystal orientation of the (100) plane may also become insufficient. On the contrary, when the annealing exceeds 600 ° C., the annealing with a coil tends to cause the aluminum material to be in close contact, and even if the annealing is over 50 hours, the area enlargement effect due to etching is saturated, resulting in an increase in thermal energy cost. do. More preferable temperature is 460-600 degreeC, especially 500-580 degreeC by aluminum substance temperature, and time is 20 minutes-40 hours.

또한, 최종 어닐링의 승온 속도·패턴은 특별히 한정되지 않고, 일정 속도로 승온시킬 수 있고, 승온, 온도 유지를 반복하면서 스텝 승온·냉각시킬 수 있고, 어닐링 공정에서 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃의 온도 영역에서 합계 10분 내지 50시간 어닐링시키면 좋다. 또한, 최종 어닐링 후에 얻어지는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 두께는 특별히 규정되는 것은 아니다. In addition, the temperature increase rate and pattern of final annealing are not specifically limited, It can raise temperature at a constant speed, It can heat up and cool step repeatedly, repeatedly raising temperature and temperature maintenance, The temperature of aluminum substance temperature 450-600 degreeC in an annealing process. It is good to anneal in total for 10 minutes-50 hours. In addition, the thickness of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes obtained after final annealing is not specifically defined.

최종 어닐링을 종료한 알루미늄재에는, 면적 확대율 향상을 위해 에칭 처리를 실시한다. 에칭 처리 조건은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 직류 에칭법을 채용하는 것이 좋다. 직류 에칭법에 의해, 상기 최종 어닐링에 있어서 생성 이 촉진된 에치 피트의 핵이 되는 부분에 있어서, 깊고 굵게 에칭되어 다수의 터널형 피트가 생성되고 고정전 용량이 실현된다. The aluminum material after the final annealing is subjected to an etching process for improving the area enlargement ratio. Although the etching process conditions are not specifically limited, Preferably, the direct current etching method is employ | adopted. By the direct current etching method, in the portion that becomes the nucleus of the etch pit that is promoted in the final annealing, a deep and thick etching is performed to generate a large number of tunnel-type pits, and a fixed capacitance is realized.

에칭 처리 후, 바람직하게는 화성 처리를 해서 양극박으로 하는 것이 좋고, 특히 중압용 및 고압용의 전해 콘덴서 전극재로서 이용하는 것이 좋다. 물론 음극재로서 이용하는 것을 방해하는 것은 아니다. After the etching treatment, preferably, chemical conversion treatment is performed to form an anode foil, and in particular, it is preferable to use the electrolytic capacitor electrode material for medium pressure and high pressure. Of course, it does not interfere with using as a negative electrode material.

상기와 같은 양극재 및/또는 음극재를 전극재로서 이용함으로써, 알루미늄 전해 콘덴서가 구성된다. 이 전해 콘덴서에서는, 전극재의 면적 확대율이 증대되어 있기 때문에 큰 정전 용량을 가지게 된다. An aluminum electrolytic capacitor is constructed by using the above positive electrode material and / or negative electrode material as an electrode material. In this electrolytic capacitor, since the area expansion ratio of the electrode material is increased, it has a large capacitance.

본 실시 형태에서는, 냉간 압연 후에 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열한 후 어닐링함으로써, 박 표면에 에치 피트 핵이 될 수 있는 물질이 많이 석출된 에칭 특성이 뛰어난 전해 콘덴서용 알루미늄재를 제조할 수 있다. 특히 가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하기 때문에, 균일하게 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에 온도 제어가 비교적 용이하고, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에 분위기의 영향을 적게 할 수 있다. 따라서 이 전해 콘덴서용 알루미늄재를 에칭함으로써, 상기 에치 피트의 핵이 될 수 있는 물질의 존재 위치에 있어서, 효과적으로 에칭이 행하여지고, 그 결과 면적 확대율을 향상시킬 수 있고, 나아가서는 정전 용량이 증대한 전해 콘덴서 전극재로 할 수 있고, 결과적으로 큰 정전 용량을 가지는 알루미늄 전해 콘덴서를 얻을 수 있다. In this embodiment, an aluminum material for electrolytic capacitors having excellent etching characteristics in which a large number of substances that can become an etch pit nucleus is deposited on the foil surface by annealing after heating the aluminum material by contact with a heating body after cold rolling. can do. In particular, since contact heating is used as the heating method, the surface of the aluminum material can be uniformly brought to a desired temperature in a short time, so temperature control is relatively easy, and the heat can be rapidly heated in a short time, thereby reducing the influence of the atmosphere. have. Therefore, by etching this electrolytic capacitor aluminum material, the etching is effectively performed at the position of the substance that can be the nucleus of the etch pit, and as a result, the area enlargement ratio can be improved, and further, the capacitance is increased. An electrolytic capacitor electrode material can be obtained, and as a result, an aluminum electrolytic capacitor having a large capacitance can be obtained.

또한, 가열체와의 접촉 전 또는 접촉 후 중 적어도 어느 한 쪽에 있어서, 알루미늄재를 세정함으로써, 더욱 정전 용량의 증대 효과를 얻을 수 있다. In addition, the effect of increasing the capacitance can be further obtained by cleaning the aluminum material at least either before or after contact with the heating element.                 

(제3 실시 형태) (Third embodiment)

본 실시 형태는, 상기 냉간 압연 후에, 알루미늄재를 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정한 후, 최종 어닐링 전에, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 행하는 경우이다. This embodiment is a case where the aluminum material is washed with a liquid capable of dissolving aluminum after the cold rolling, and then a contact heating step with a heating body of the aluminum material is performed before final annealing.

알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 접촉 가열은, 가열체 접촉면에 의해 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있는 점에서 뛰어나고, 게다가 단시간에 가열할 수 있기 때문에 분위기의 영향이 적고 온도 제어가 용이한 이점이 있다. The contact heating for heating the aluminum material by contact with the heating body is excellent in that the surface of the aluminum material can be brought to a desired temperature in a short time by the heating body contact surface, and furthermore, the heating can be heated in a short time. It has the advantage of low temperature control.

상기 제조 방법에 의해 얻어진 알루미늄재를 에칭하면 실효 면적이 커지는 것은, 어닐링 전의 접촉 가열에 의해 알루미늄재 표층의 산화 피막을 안정된 것으로 할 수 있고, 이것에 의해 어닐링 시에 표면에 에치 피트 핵이 되는 결정성 산화물 입자가 균일하게 생성되기 때문이다. When the aluminum material obtained by the above-mentioned manufacturing method is etched, the effective area is increased, and the oxide film of the surface of the aluminum material can be stabilized by contact heating before annealing, whereby the crystal which becomes an etch pit nucleus on the surface during annealing. This is because the oxidized oxide particles are produced uniformly.

상기 결정성 산화물 입자의 종류로서는,

Figure 112004004180045-pct00005
-Al2O3를 포함하는 Al2O3, 베마이트를 포함하는 AlOOH, 알루미늄 이외의 함유 금속(예를 들면, Mg, Pb, Cu 등)의 산화물 및 수산화물, 알루미늄과 알루미늄 이외의 함유 금속(예를 들면, Mg, Pb, Cu 등)의 복합 금속 산화물 또는 수산화물이 있지만, 특별히 한정되는 것은 아니고, 또한, 단결정, 다결정 중 어느 것이라도 좋다. 또한, 단일 또는 복수의 결정이 무정형 물질에 덮여서 하나의 입자를 형성하는 것이라도 좋고, 응집한 산화물 결정 사이에 무정형 산화물이 존재하고 있어도 좋다. As a kind of the said crystalline oxide particle,
Figure 112004004180045-pct00005
-Al 2 O 3 other than the AlOOH, Al containing Al 2 O 3, boehmite containing the metal-containing oxides, hydroxides, containing a metal other than aluminum and aluminum (for example, Mg, Pb, Cu, etc.) ( For example, although there exist a composite metal oxide or hydroxide of Mg, Pb, Cu, etc., it is not specifically limited, Any of single crystal and polycrystal may be sufficient. In addition, one or a plurality of crystals may be covered with an amorphous material to form one particle, or an amorphous oxide may be present between the aggregated oxide crystals.

이하에 본 발명에 의한 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법을 설명한다. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes by this invention is demonstrated below.

본 제조 방법에 이용되는 알루미늄재의 순도는 전해 콘덴서 전극용으로 사용되는 범위 내이면 특별히 한정되지 않지만, 순도 99.9% 이상의 것이 바람직하고, 특히 99.95% 이상이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서 알루미늄재의 순도는 100%로부터 Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti 및 Ga의 합계 농도(%)를 뺀 값으로 한다. The purity of the aluminum material used in the present production method is not particularly limited as long as it is within the range used for the electrolytic capacitor electrode, but a purity of 99.9% or more is preferable, particularly 99.95% or more. In addition, in this invention, the purity of an aluminum material shall be made into the value which subtracted the total concentration (%) of Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti, and Ga from 100%.

또한, 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정되는 알루미늄재는, 일반적으로는, 알루미늄재의 용해·성분 조정·슬래브 주조, 균열 처리, 열간 압연, 냉간 압연, 중간 어닐링, 마무리 냉간 압연(저압 하 압연)의 각 공정을 거쳐서 제조된다. 이 공정들은 일반법을 따르면 좋고, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 알루미늄재의 에칭 조건과의 관계에서, 알루미늄재의 제조 공정 조건을 적당히 변경해도 된다. Moreover, the aluminum material wash | cleaned with the liquid which can melt | dissolve aluminum is generally of melt | dissolution, a component adjustment, slab casting, a cracking process, hot rolling, cold rolling, intermediate annealing, finishing cold rolling (low pressure rolling) of an aluminum material. It is manufactured through each process. These steps may follow the general method and are not particularly limited, but may be appropriately changed in the manufacturing process conditions of the aluminum material in relation to the etching conditions of the aluminum material.

또한, 압연 공정의 도중에 있어서, 이전 공정의 압연에 의해 생긴 알루미늄재의 결정 조직의 왜곡을 해소할 목적으로, 어닐링(중간 어닐링)을 실시해도 좋다. 또한, 중간 어닐링 이전의 공정에 있어서, 표면의 불순물이나 유분을 제거할 목적으로 산 수용액, 알칼리 수용액 또는 유기 용제를 이용해서 세정을 실시해도 좋다. In addition, you may perform annealing (intermediate annealing) in the middle of a rolling process in order to eliminate the distortion of the crystal structure of the aluminum material produced by the rolling of the previous process. In addition, in the process before intermediate annealing, you may wash | clean using acid aqueous solution, aqueous alkali solution, or the organic solvent in order to remove the surface impurity and oil.

알루미늄재의 표층에 균질하고 안정된 산화 피막을 생성시켜, 최종 어닐링 시에 에치 피트 핵이 되는 결정성 산화물 입자를 알루미늄재 표면에 분산성 좋게 생성시키기 위해서, 최종 압연 후의 알루미늄재를 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정한 후 접촉 가열을 행한다. In order to produce a homogeneous and stable oxide film on the surface layer of the aluminum material and to produce dispersible crystalline oxide particles which become etch pit nuclei at the time of final annealing on the surface of the aluminum material, the aluminum material after the final rolling can be dissolved in aluminum. After washing with a liquid, contact heating is performed.                 

알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로서는, 산, 알칼리, 암모니아, 아민류로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함한 수용액 등을 들 수 있고, 최종 압연 후 알칼리 세정 또는 산 세정 중 적어도 어느 한 가지 세정을 행하는 것이 바람직하다. As a liquid which can dissolve aluminum, the aqueous solution containing at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of acid, alkali, ammonia, amines, etc. is mentioned, It is what wash | cleans at least any one of alkali washing or acid washing after final rolling. desirable.

상기 알칼리 세정에 이용하는 알칼리 세정액의 알칼리로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 칼슘, 규산 나트륨, 인산 3나트륨, 인산 수소 2나트륨, 차아염소산 나트륨 등을 예시할 수 있고, 적어도 1종류 이상의 알칼리를 포함하는 수용액을 세정액으로서 이용할 수 있다. Although it does not specifically limit as alkali of the alkali washing liquid used for the said alkali washing, Sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, sodium silicate, trisodium phosphate, a sodium dihydrogen phosphate, sodium hypochlorite etc. can be illustrated, and at least 1 type is mentioned. The aqueous solution containing the above alkali can be used as a washing liquid.

알칼리 세정액 중의 알칼리 농도는 0.005 내지 50%(질량%, 이하 동일), 액 온도는 5 내지 80℃, 세정 시간은 1초 내지 10분인 것이 바람직하다. 알칼리 농도가 0.005% 미만, 액 온도가 5℃ 미만에서는 세정에 의한 표면 균일화의 효과를 얻을 수 없을 우려가 있다. 알칼리 농도가 50%를 초과하면, 알칼리 세정 후의 알루미늄재 표면에 잔류하는 알칼리 제거에 손이 많이 가고, 액 온도가 80℃를 초과하면 알루미늄재의 용해가 빨라 세정의 제어가 곤란해질 우려가 있다. 알칼리 세정 시간이 1초 미만에서는 세정이 불충분할 우려가 있고, 10분보다 길게 세정해도 세정 효과가 포화에 도달하여 알루미늄재를 필요 이상으로 용해시킬 우려가 있다. 특히 바람직하게는 알칼리 세정액 중의 알칼리 농도 0.05 내지 1O%, 액 온도 10 내지 70℃, 세정 시간 2초 내지 5분이다. It is preferable that the alkali concentration in an alkali washing liquid is 0.005 to 50% (mass% or less, the same), the liquid temperature is 5 to 80 ° C, and the washing time is 1 second to 10 minutes. When alkali concentration is less than 0.005% and liquid temperature is less than 5 degreeC, there exists a possibility that the effect of surface uniformity by washing may not be acquired. When the alkali concentration exceeds 50%, the removal of alkali remaining on the surface of the aluminum material after alkali cleaning is more likely to occur, and when the liquid temperature exceeds 80 ° C., the aluminum material may dissolve quickly, which may make controlling of cleaning difficult. If the alkali cleaning time is less than 1 second, the cleaning may be insufficient, and even if the cleaning is longer than 10 minutes, the cleaning effect may be saturated and the aluminum material may be dissolved more than necessary. Especially preferably, they are 0.05-1100% of alkali concentration in alkaline washing liquid, 10-70 degreeC of liquid temperature, and 2 second-5 minutes of washing | cleaning time.

알칼리 세정 후에 알루미늄재의 표면에 부착된 세정액 성분의 잔류물을 제거할 목적으로 수세(水洗)를 행하는 것이 바람직하다. It is preferable to wash with water for the purpose of removing the residue of the washing | cleaning liquid component adhering to the surface of an aluminum material after alkali washing.                 

한편, 산 세정에 이용하는 산 세정액의 산으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 루이스산을 사용할 수 있고, 예를 들면, 염산, 황산, 인산, 질산, 붕산, 불화수소산 등의 무기산 및 아세트산, 옥살산, 구연산 등의 유기산을 예시할 수 있고, 이들 산을 적어도 1종류 이상 포함하는 수용액을 세정액으로서 이용할 수 있다. 또한, 탈지력을 높이기 위해서 산 수용액에 계면 활성제를 첨가해도 좋다. 산의 농도로서는 0.05 내지 50%, 액 온도는 5 내지 80℃, 세정 시간은 0.5초 내지 10분인 것이 바람직하다. 산 세정시의 산 농도, 액 온도 및 세정 시간이 상기 범위 하한 미만인 경우는, 세정이 불충분해질 우려가 있고, 산 농도, 액 온도 및 세정 시간이 상기 범위 상한을 초과하면, 세정 효과가 포화에 달해 비용 상승을 초래할 우려가 있다. 특히 바람직하게는, 산의 농도 0.05 내지 30%, 액 온도 10 내지 70℃, 세정 시간 1초 내지 5분이다. On the other hand, the acid of the acid cleaning liquid used for acid cleaning is not particularly limited, Lewis acid may be used, for example, inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, nitric acid, boric acid, hydrofluoric acid, and acetic acid, oxalic acid, citric acid Organic acids, such as these, can be illustrated, The aqueous solution containing at least 1 type or more of these acids can be used as a washing | cleaning liquid. Moreover, you may add surfactant to an acid aqueous solution in order to improve the degreasing force. It is preferable that the concentration of the acid is 0.05 to 50%, the liquid temperature is 5 to 80 ° C, and the washing time is 0.5 seconds to 10 minutes. If the acid concentration, the liquid temperature and the washing time at the time of acid washing are less than the lower limit, the washing may be insufficient. If the acid concentration, the liquid temperature and the washing time exceed the upper limit, the washing effect reaches saturation. There is a risk of cost increase. Especially preferably, it is 0.05-30% of acid concentration, 10-70 degreeC of liquid temperature, and 1 second-5 minutes of washing | cleaning time.

산 세정 후에 알루미늄재의 표면에 부착된 산액 성분의 과도한 잔류를 방지할 목적으로 수세를 행하는 것이 바람직하다. It is preferable to wash with water for the purpose of preventing excessive residual of the acid liquid component adhering to the surface of the aluminum material after the acid washing.

알칼리 세정 및 산 세정의 방식으로서는, 침지법이나 스프레이법 등을 들 수 있지만, 특별히 세정 방식은 한정되는 것은 아니다. Examples of the alkali cleaning and acid cleaning methods include an immersion method and a spray method, but the cleaning method is not particularly limited.

알칼리 세정, 산 세정 중 적어도 어느 하나를 실시할 수 있지만, 양쪽을 적어도 1회 실시해도 좋다. 양 쪽을 실시하는 경우, 그 순서는 특별히 한정되지 않지만, 알칼리 세정을 우선 실시한 후, 산 세정을 실시하는 것이 좋다. 알칼리 세정에 의해 표면의 오염층을 효율적으로 제거한 후, 산 세정의 실시에 의해 알루미늄재의 표면을 중화함으로써, 더욱 균질하고 안정된 산화 피막을 형성할 수 있다. At least one of alkali washing and acid washing may be performed, but both may be performed at least once. In the case of performing both, the order is not particularly limited, but it is preferable to perform acid washing first after alkali washing first. After the contamination layer on the surface is removed efficiently by alkali washing, the surface of the aluminum material is neutralized by performing acid washing, whereby a more homogeneous and stable oxide film can be formed.                 

또한, 알칼리 세정 후에 산 세정을 실시하는 경우의 산의 농도는 상기의 0.05 내지 50%보다 낮아도 좋고, 세정 시간은 상기의 0.5초 내지 10분보다 짧아도 좋다. In addition, the acid concentration in the case of acid washing after alkali washing may be lower than 0.05 to 50%, and the washing time may be shorter than 0.5 seconds to 10 minutes.

알칼리 세정 또는 산 세정 전에, 알루미늄재에 대해서, 탈지를 목적으로 하여 유기 용제 세정을 실시해도 좋다. 유기 용제의 예로서는 알코올, 톨루엔·크실렌 등의 방향족 탄화수소, 펜탄·헥산·지방족 탄화수소, 아세톤, 케톤, 에스테르 등을 들 수 있지만 특별히 한정되는 것은 아니고 복수의 유기 용제를 혼합하여 이용해도 좋다. Before alkali washing or acid washing, the aluminum material may be washed with an organic solvent for the purpose of degreasing. Examples of the organic solvent include alcohols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, pentane-hexane aliphatic hydrocarbons, acetone, ketones, esters, and the like, but are not particularly limited and may be used by mixing a plurality of organic solvents.

다음에, 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로의 세정을 실시한 알루미늄재를, 가열체와의 접촉에 의해 가열한다. Next, the aluminum material which wash | cleaned with the liquid which can melt | dissolve aluminum is heated by contact with a heating body.

가열체는, 열 롤, 가열판, 가열 벨트 등 접촉 가열이 가능한 것이면 무엇이든지 좋고, 복수의 접촉 가열 수단을 조합시켜도 좋다. 또한, 알루미늄재의 표리를 동시에 가열해도 좋고, 한 면씩 가열해도 좋고, 표리 중 한 쪽만을 가열해도 좋다. 가열체의 가열면의 재질로서는, 스테인레스, 도금, 세라믹스, 테프론(등록 상표), 실리콘 수지 등을 자유롭게 선택할 수 있지만, 알루미늄재의 표면 산화 피막이 가열체의 표면에 응착하지 않는 물질이 바람직하다. The heating body may be anything as long as contact heating is possible, such as a heat roll, a heating plate, a heating belt, or a plurality of contact heating means may be combined. In addition, the front and back of an aluminum material may be heated simultaneously, one surface may be heated, and only one of the front and back may be heated. As a material of the heating surface of the heating body, stainless steel, plating, ceramics, Teflon (registered trademark), silicone resin and the like can be freely selected, but a material in which the surface oxide film of the aluminum material does not adhere to the surface of the heating body is preferable.

알루미늄재에 접촉시키는 가열체의 표면 온도는, 50 내지 450℃가 바람직하다. 가열체의 표면 온도가 50℃ 미만에서는, 어닐링 후의 표층 산화 피막의 결정화율이나 결정성 산화물 미립자의 제어가 충분하지 않고, 450℃보다 높아지면 산화 피막이 지나치게 두꺼워져 가열 냉각 시에 주름 등이 발생하고, 조업상의 문제가 생길 우려가 있기 때문이다. 특히 바람직한 표면 온도는 80 내지 400℃이며, 80 내지 300℃가 가장 좋다. As for the surface temperature of the heating body made to contact an aluminum material, 50-450 degreeC is preferable. If the surface temperature of the heating body is less than 50 ° C, the crystallization rate of the surface oxide film after annealing and the control of the crystalline oxide fine particles are not sufficient. If the surface temperature is higher than 450 ° C, the oxide film becomes excessively thick and wrinkles or the like occurs during heating and cooling. This is because there may be a problem in fishing. Especially preferable surface temperature is 80-400 degreeC, and 80-300 degreeC is the best.

알루미늄재 표면과 가열체 표면의 접촉 시간은 0.001 내지 60초로 하는 것이 바람직하다. 접촉 시간이 0.001초 미만에서는, 알루미늄재의 표면을 충분히 가열할 수 없고, 60초보다 길게 가열하면 산화 피막이 지나치게 두꺼워져, 어느 경우라도 에치 피트가 발생하기 어려워질 우려가 있다. 보다 바람직한 접촉 시간은 0.001 내지 30초, 나아가서는 0.01 내지 20초이며, 0.05 내지 15초가 가장 좋다. It is preferable that the contact time of the surface of an aluminum material and the surface of a heating body shall be 0.001 to 60 second. If the contact time is less than 0.001 second, the surface of the aluminum material cannot be sufficiently heated, and if the surface of the aluminum material is heated longer than 60 seconds, the oxide film becomes too thick, and there is a possibility that etch pits are less likely to occur in any case. More preferable contact time is 0.001-30 second, Furthermore, 0.01-20 second, 0.05-15 second is the best.

가열체의 표면 온도 및 알루미늄재와의 접촉 시간은, 접촉 가열 전의 알루미늄재 표면의 산화 피막의 특성을 고려해서 적당히 선택하면 된다. 접촉 가열 분위기는 특별히 한정되지 않고, 특별한 분위기 제어도 필요 없이 대기 중에서도 충분하다. What is necessary is just to select the surface temperature of a heating body and the contact time with an aluminum material suitably in consideration of the characteristic of the oxide film of the aluminum material surface before contact heating. The contact heating atmosphere is not particularly limited and is sufficient even in the atmosphere without requiring any special atmosphere control.

접촉 가열 후, 알루미늄재의 결정 조직의 방위를 (100)방위로 조정해서 에칭 특성을 향상시키는 것을 주목적으로 하여 최종 어닐링이 이루어진다. After the contact heating, the final annealing is achieved with the main purpose of improving the etching characteristics by adjusting the orientation of the crystal structure of the aluminum material to the (100) orientation.

최종 어닐링에 있어서는, 그의 이전 공정인 접촉 가열 공정에서 알루미늄재의 표면에 형성된 산화 피막의 두께를 최종 어닐링 공정에서 지나치게 증대시켜서, 결정성 산화물이 에칭 핵이 될 수 있는 가능성을 소거시키지 않도록, 산화 피막의 합계 두께가 헌터 홀법[M.S.Hunter and P.Fowle, J.Electrochem.Soc. 101[9], 483(1954) 참조]에 의한 두께로 2.5 내지 5nm가 되도록, 최종 어닐링을 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 최종 어닐링 후의 알루미늄재의 (100)면적율은 90% 이상이 바람직하다. In the final annealing, the thickness of the oxide film formed on the surface of the aluminum material in the contact heating step, which is its previous step, is excessively increased in the final annealing step, so as not to eliminate the possibility of the crystalline oxide becoming an etching nucleus. The total thickness is obtained from the Hunter Hall method [MS Hunter and P. Fowl, J. Electrochem. Soc. 101 [9], 483 (1954)], it is preferable to perform final annealing so as to be 2.5 to 5 nm. Moreover, as for the (100) area ratio of the aluminum material after final annealing, 90% or more is preferable.

이 최종 어닐링에 있어서의 처리 분위기는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 산화 피막의 두께를 지나치게 증대시키지 않도록, 수분 및 산소가 적은 분위기 중에서 가열하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 아르곤, 질소 등의 불활성 가스 중 또는 0.1Pa 이하의 진공 중에서 가열하는 것이 바람직하다. Although the processing atmosphere in this final annealing is not specifically limited, It is preferable to heat in atmosphere with few moisture and oxygen so that the thickness of an oxide film may not be increased too much. Specifically, heating in an inert gas such as argon or nitrogen or in a vacuum of 0.1 Pa or less is preferable.

최종 어닐링의 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 코일로 권취한 상태로 배치 어닐링해도 좋고, 코일을 되감아 연속 어닐링한 후 코일로 권취해도 좋고, 배치 어닐링과 연속 어닐링 중 적어도 어느 한 쪽을 복수회 행해도 좋다. The method of final annealing is not particularly limited, and may be batch annealed in a state of being wound with a coil, or may be wound up with a coil after winding the coil continuously and then annealed, or at least one of batch annealing and continuous annealing is performed a plurality of times. Also good.

최종 어닐링 시의 유지 온도, 시간은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 코일의 상태로 배치 어닐링을 행하는 경우는, 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃에서, 10분 내지 50시간 어닐링하는 것이 바람직하다. 알루미늄 실체 온도가 400℃ 미만, 시간이 10분 미만에서는, 산화 피막 중의 에치 피트의 핵이 이루어질 수 있는 결정성 산화물 입자의 생성이 충분하지 않고, 그 분산 상태가 지나치게 성기게 되어서, 결정을 에칭 핵으로 하는 에칭 시의 면적 확대 효과를 기대할 수 없을 우려가 있고, (100)면의 결정 방위의 발달도 불충분하기 때문이다. 반대로 600℃를 초과해서 어닐링하면, 코일로 배치 어닐링할 경우는 알루미늄재가 밀착을 일으키기 쉬워지고, 또한, 50시간을 초과해서 어닐링해도 에칭 표면적 확대 효과는 포화되어, 오히려 열 에너지 비용의 증대를 초래한다. 특히 바람직한 온도는, 알루미늄 실체 온도로 460 내지 560℃, 시간은 30분 내지 40시간이다. Although the holding temperature and time at the time of final annealing are not specifically limited, For example, when performing batch annealing in the state of a coil, it is preferable to anneal for 10 minutes-50 hours at 450-600 degreeC of aluminum substance temperature. If the aluminum substance temperature is less than 400 ° C. and the time is less than 10 minutes, the formation of crystalline oxide particles that can form nuclei of etch pits in the oxide film is not sufficient, and the dispersed state becomes excessively coarse, so that the crystals are etched. It is because there exists a possibility that the area enlargement effect at the time of etching may not be expected, and development of the crystal orientation of the (100) plane is also inadequate. On the contrary, when the annealing exceeds 600 ° C., the aluminum material tends to be in close contact when batch annealed with a coil. Furthermore, even if the annealing is over 50 hours, the etching surface area enlargement effect is saturated, and the thermal energy cost is increased. . Especially preferable temperature is 460-560 degreeC in aluminum substance temperature, and time is 30 minutes-40 hours.

또한, 어닐링 공정에 있어서의 승온 속도·패턴은 특별히 한정되지 않고, 일정 속도로 승온시켜도 좋고, 승온, 온도 유지를 반복하면서 스텝 승온·냉각 시켜 도 좋다. 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃의 온도 영역에서 합계 10분 내지 50시간 어닐링시키면 된다. In addition, the temperature increase rate and pattern in an annealing process are not specifically limited, You may heat up at a constant speed, and you may heat up and cool step repeatedly, heating up and maintaining temperature. What is necessary is just to anneal in total for 10 minutes-50 hours in the temperature range of aluminum substance temperature 450-600 degreeC.

최종 어닐링 후에 얻어지는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 두께는 특별히 규정되지 않는다. The thickness of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes obtained after the final annealing is not particularly specified.

최종 어닐링 후의 알루미늄재에는, 표면적을 확대시키기 위해서 에칭 처리가 실시된다. 에칭 처리 조건은 특별히 한정되지 않지만, 직류 에칭법을 채용하는 것이 좋다. 직류 에칭에 의해, 알루미늄재의 표면에 존재하는 결정성 산화물 입자가 에치 피트 핵이 되고, 다수의 터널형 피트가 생성된다. The aluminum material after final annealing is subjected to an etching treatment in order to enlarge the surface area. Although the etching process conditions are not specifically limited, It is good to employ | adopt the direct current etching method. By the direct current etching, the crystalline oxide particles present on the surface of the aluminum material become etch pit nuclei, and a large number of tunnel-type pits are generated.

에칭 처리 후, 화성 처리를 해서 양극재로 할 수 있고, 특히 중압 및 고압용전해 콘덴서 전극재로서 이용할 수 있는 것이 좋다. 물론, 음극재 또는 저압용으로서 이용하는 것을 방해하는 것은 아니다. After the etching treatment, chemical treatment may be performed to form a cathode material, and in particular, it may be used as a medium pressure and high pressure electrolytic capacitor electrode material. Of course, it does not impede the use for negative electrode material or low pressure use.

본 실시 형태에서는, 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로의 세정 후의 알루미늄재를 접촉 가열함으로써, 알루미늄재의 표층 산화 피막을 안정화시키고, 그 후 어닐링함으로써, 에칭 특성이 뛰어나고 고정전 용량을 얻을 수 있는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 수 있다. 특히 가열 방법으로서, 접촉 가열을 이용하는 점에서, 균일하게 단시간에 알루미늄재 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 온도 제어가 비교적 용이하고, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에, 분위기의 영향을 적게 할 수 있다. In this embodiment, an electrolytic capacitor which is excellent in etching characteristics and obtains a fixed capacitance is obtained by stabilizing the surface oxide film of the aluminum material by contact heating of the aluminum material after washing with a liquid capable of dissolving aluminum. The aluminum material for electrodes can be manufactured. In particular, as the heating method, since contact heating is used, the surface of the aluminum material can be uniformly brought to a desired temperature in a short time, so that temperature control is relatively easy, and the heating can be rapidly performed in a short time. You can do less.

(제4 실시 형태) (4th embodiment)

본 실시 형태는, 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을, 상기 최종 어 닐링 후에 행하는 경우에 관한 것이다. This embodiment is related with the case where the contact heating process with the heating body of an aluminum material is performed after the said final annealing.

즉, 최종 어닐링 후에 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열함으로써, 알루미늄재의 표층 산화막을 균일한 것으로 하고, 이에 의해 에칭 특성이 뛰어난 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻을 수 있다. 가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하는 것은, 가열체 표면에 따라, 단시간에 균일하게 알루미늄재의 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있고, 제어가 비교적 용이해서 생산성이 뛰어나고, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에 분위기의 영향을 받기 어렵고, 알루미늄재의 폭방향·길이방향으로 균일한 산화막을 형성할 수 있는 이점을 가지기 때문이다. That is, by heating the aluminum material by contact with the heating body after the final annealing, the surface oxide film of the aluminum material is made uniform, whereby an aluminum material for electrolytic capacitor electrodes excellent in etching characteristics can be obtained. Contact heating is used as a heating method because the surface of the aluminum material can be brought to a desired temperature uniformly in a short time, depending on the surface of the heating body, the control is relatively easy, the productivity is excellent, and the heating can be performed quickly in a short time. It is because it is hard to be influenced by, and has the advantage of forming a uniform oxide film in the width direction and the length direction of the aluminum material.

이하에, 전해 콘덴서용 알루미늄재의 제조 방법을 설명한다. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitors is demonstrated below.

알루미늄재의 순도는 전해 콘덴서용으로 사용되는 범위이면 특별히 한정되지 않지만, 순도 99.9% 이상의 것이 바람직하고, 특히 99.95% 이상이 바람직하다. 또한, 알루미늄재의 순도는 100%로부터 Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti 및 Ga의 합계 농도(%)를 뺀 값으로 한다. The purity of the aluminum material is not particularly limited as long as it is in a range used for an electrolytic capacitor, but a purity of 99.9% or more is preferable, particularly 99.95% or more. In addition, the purity of an aluminum material shall be the value which subtracted the total concentration (%) of Fe, Si, Cu, Mn, Cr, Zn, Ti, and Ga from 100%.

알루미늄재의 제조는, 특별히 한정되지 않고, 알루미늄재의 용해 성분 조정·슬래브 주조, 균열 처리, 열간 압연, 냉간 압연, 마무리 냉간 압연(저압 하 압연), 최종 어닐링, 접촉 가열의 순으로 실시되지만, 알루미늄재의 에칭 조건과의 관계로, 알루미늄재의 제조 공정 조건은 적당히 변경된다. 또한, 압연 공정의 도중에 있어서, 이전 공정의 압연에 의해 생긴 알루미늄재의 결정 조직의 왜곡을 해소할 목적으로 어닐링(중간 어닐링)을 실시할 수 있다. The production of the aluminum material is not particularly limited and is performed in the order of melting component adjustment, slab casting, cracking treatment, hot rolling, cold rolling, finish cold rolling (low pressure rolling), final annealing, and contact heating of the aluminum material. In relation to etching conditions, the manufacturing process conditions of an aluminum material are changed suitably. Moreover, in the middle of a rolling process, annealing (intermediate annealing) can be performed in order to eliminate the distortion of the crystal structure of the aluminum material produced by the rolling of the previous process.

또한, 열간 압연 후, 냉간 압연 도중 또는 마무리 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 있어서 알루미늄 표면의 불순물이나 유분을 제거할 목적으로 세정을 행해도 좋다. 상기 세정에 이용하는 세정액은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 알칼리 수용액, 산 수용액, 유기 용제 등이 이용된다. In addition, after hot rolling, during cold rolling or before final annealing after finishing cold rolling, you may wash | clean for the purpose of removing the impurity and oil of an aluminum surface. Although the washing | cleaning liquid used for the said washing | cleaning is not specifically limited, For example, alkaline aqueous solution, acid aqueous solution, an organic solvent, etc. are used.

열간 압연 후의 알루미늄재는 최종 어닐링 후의 접촉 가열까지 코일의 상태로 처리해도 좋고, 도중의 공정에서 알루미늄재를 절단하여 커트 샘플로서 처리해도 좋다. 코일의 상태로 처리할 경우에는, 예를 들면, 최종 어닐링 전, 최종 어닐링 후, 접촉 가열 후 등 임의의 공정간에 있어서 슬릿을 행해도 좋다. The aluminum material after the hot rolling may be treated in the state of a coil until contact heating after the final annealing, or the aluminum material may be cut and treated as a cut sample in the middle step. When processing in the state of a coil, you may slit between arbitrary processes, for example, before final annealing, after final annealing, and after contact heating.

마무리 냉간 압연 후, 필요하면 세정 등을 한 후, 알루미늄재 결정 조직의 방위를 (100)방위로 조정해서 에칭 특성을 향상시키는 것을 주목적으로 하여 최종 어닐링이 이루어진다. After finishing cold rolling, final annealing is performed with the main purpose of improving the etching characteristics by adjusting the orientation of the aluminum material crystal structure to (100) orientation after washing or the like if necessary.

이 최종 어닐링에 있어서는, 산화막의 두께를 최종 어닐링 공정에서 지나치게 증대시켜서, 에칭 특성을 열화시키지 않도록, 최종 어닐링 후의 산화 피막의 합계 두께가 헌터 홀법[M.S.Hunter and P.Fowle, J.Electrochem.Soc.,1O1[9], 483(1954)참조]에 의한 두께로 2.5 내지 5㎚가 되도록 최종 어닐링을 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 최종 어닐링 후의 알루미늄재의 (100)면적율은 90% 이상이 바람직하다. In this final annealing, the total thickness of the oxide film after the final annealing is hunter hole method [MS Hunter and P. Fowle, J. Electrochem. Soc., So as not to increase the thickness of the oxide film excessively in the final annealing step and deteriorate the etching characteristics. 1O1 [9], which is subjected to the final annealing such that 2.5 to 5㎚ in thickness by 483 (1954) reference is preferred. Moreover, as for the (100) area ratio of the aluminum material after final annealing, 90% or more is preferable.

이 최종 어닐링에 있어서의 처리 분위기는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 산화 피막의 두께를 지나치게 증대시키지 않도록, 수분 및 산소가 적은 분위기 중에서 가열하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 아르곤, 질소 등의 불활성 가스 중 또는 0.1Pa 이하의 진공 중에서 가열하는 것이 바람직하다. Although the processing atmosphere in this final annealing is not specifically limited, It is preferable to heat in atmosphere with few moisture and oxygen so that the thickness of an oxide film may not be increased too much. Specifically, heating in an inert gas such as argon or nitrogen or in a vacuum of 0.1 Pa or less is preferable.                 

최종 어닐링의 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 코일로 권취한 상태로 배치 어닐링해도 좋고, 코일을 되감아 연속 어닐링한 후 코일로 권취해도 좋고, 배치 어닐링과 연속 어닐링 중 적어도 어느 한 쪽을 복수회 행해도 좋다. The method of final annealing is not particularly limited, and may be batch annealed in a state of being wound with a coil, or may be wound up with a coil after winding the coil continuously and then annealed, or at least one of batch annealing and continuous annealing is performed a plurality of times. Also good.

최종 어닐링 시의 온도, 시간은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 코일의 상태로 배치 어닐링을 행하는 경우는, 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃에서, 10 내지 50시간 어닐링하는 것이 바람직하다. 알루미늄 실체 온도가 450℃ 미만, 시간이 1O분 미만에서는, 알루미늄 표층의 상태가 에칭에 적합한 것으로 되지 않을 가능성이 있고, (100)면의 결정 방위의 발달도 불충분해질 우려가 있기 때문이다. 반대로 600℃를 초과해서 어닐링하면, 코일로 배치 어닐링할 경우는 알루미늄재가 밀착을 일으키기 쉬워지고, 또한, 50시간을 초과해서 어닐링해도 에칭 면적 확대 효과는 포화되어, 오히려 열 에너지 비용의 증대를 초래한다. 특히 바람직한 온도는, 알루미늄 실체 온도로 460 내지 580℃, 시간은 20분 내지 40시간이다. Although the temperature and time at the time of final annealing are not specifically limited, For example, when performing batch annealing in the state of a coil, it is preferable to anneal for 10 to 50 hours at the aluminum substance temperature of 450-600 degreeC. If the aluminum substance temperature is less than 450 ° C. and the time is less than 10 minutes, the state of the aluminum surface layer may not be suitable for etching, and the development of the crystal orientation of the (100) plane may be insufficient. On the contrary, if the annealing exceeds 600 ° C., the aluminum material tends to be in close contact when batch annealed with a coil. Furthermore, even if the annealing exceeds 50 hours, the etching area enlargement effect is saturated, resulting in an increase in thermal energy cost. . Especially preferable temperature is 460-580 degreeC in aluminum substance temperature, and time is 20 minutes-40 hours.

또한, 승온 속도·패턴은 특별히 한정되지 않고, 일정 속도로 승온시켜도 좋고, 승온, 온도 유지를 반복하면서 스텝 승온·냉각시켜도 좋고, 어닐링 공정에서 알루미늄 실체 온도 450 내지 600℃의 온도 영역에서 합계 10분 내지 50시간 어닐링시키면 좋다. In addition, a temperature increase rate and a pattern are not specifically limited, You may heat up at a constant speed, You may heat up and cool step repeatedly, repeating temperature rising and temperature maintenance, and a total of 10 minutes in the temperature range of aluminum substance temperature 450-600 degreeC in an annealing process. It is good to anneal for 50 hours.

최종 어닐링 후의 알루미늄재는, 필요에 따라서 표면을 세정한 후, 그 표층 산화막을 균질한 것으로 하기 위해서 접촉 가열된다. 가열 수단은, 열 롤, 가열 벨트, 가열판 등 접촉 가열이 가능한 것이면 좋고, 한 면씩 가열해도 좋고, 표리 중 한 쪽만을 가열해도 좋다. 가열체의 가열 표면의 재질로서는, 스테인레스, 도금, 세라믹스, 테프론 수지(등록 상표), 실리콘 수지 등 자유롭게 선택할 수 있지만, 알루미늄재의 표면 산화막이 가열체의 표면에 응착하지 않는 물질이 바람직하다. The aluminum material after final annealing is contact-heated in order to make the surface oxide film homogeneous after cleaning the surface as needed. The heating means may be one capable of contact heating such as a heat roll, a heating belt, and a heating plate, and may be heated one by one, or only one of the front and back. As a material of the heating surface of the heating body, stainless, plating, ceramics, Teflon resin (registered trademark), silicone resin and the like can be freely selected, but a substance in which the surface oxide film of the aluminum material does not adhere to the surface of the heating body is preferable.

알루미늄재에 접촉시키는 가열체의 표면 온도는 50 내지 450℃가 바람직하다. 가열체의 표면 온도가 50℃ 미만에서는, 가열이 불충분하게 되고, 에칭에 의해 에치 피트가 균일하게 생성되지 않을 우려가 있다. 한편, 450℃보다 높아지면, 산화막이 지나치게 두꺼워져 냉각 시에 주름이 발생하고, 조업상의 문제가 생길 우려가 있다. 보다 바람직한 가열체 표면 온도는 80 내지 400℃이며, 더욱 바람직하게는 100 내지 350℃이다. 특히 바람직한 가열체 표면 온도는 160 내지 290℃이다. As for the surface temperature of the heating body made to contact an aluminum material, 50-450 degreeC is preferable. When the surface temperature of a heating body is less than 50 degreeC, heating will become inadequate and there exists a possibility that etch pit may not be produced uniformly by etching. On the other hand, when it becomes higher than 450 degreeC, an oxide film becomes thick too much, wrinkles generate | occur | produce at the time of cooling, and there exists a possibility that an operation problem may arise. More preferable heating body surface temperature is 80-400 degreeC, More preferably, it is 100-350 degreeC. Especially preferable heater surface temperature is 160-290 degreeC.

알루미늄재 표면과 가열체 표면의 접촉 시간은 0.001 내지 60초로 하는 것이 바람직하다. 접촉 시간이 0.001초 미만에서는, 알루미늄재의 표면 산화막을 균질한 것으로 할 수 없고, 에치 피트의 생성이 불균일해질 우려가 있다. 한편, 60초보다 길게 하면, 산화막이 지나치게 두꺼워져 에치 피트가 발생하기 어려워질 우려가 있다. 바람직한 접촉 시간은, 0.01 내지 30초이며, 특히 0.05 내지 10초이다. It is preferable that the contact time of the surface of an aluminum material and the surface of a heating body shall be 0.001 to 60 second. If the contact time is less than 0.001 second, the surface oxide film of the aluminum material cannot be made homogeneous, and there is a fear that the generation of etch pits becomes uneven. On the other hand, if it is longer than 60 seconds, there is a fear that the oxide film becomes too thick and etch pits are less likely to occur. Preferable contact time is 0.01 to 30 second, especially 0.05 to 10 second.

가열체의 표면 온도 및 접촉 시간은, 접촉 전의 알루미늄재의 표면 산화막의 특성을 고려해서 적당히 선택해도 좋다. 접촉 가열 분위기는 특별히 한정되지 않고, 특별한 분위기 제어도 필요 없이 공기 중에서 실시할 수 있다. The surface temperature and the contact time of the heating body may be appropriately selected in consideration of the properties of the surface oxide film of the aluminum material before the contact. The contact heating atmosphere is not particularly limited and can be carried out in air without requiring any special atmosphere control.

가열체로서 열 롤을 이용한 가열 장치의 일례로서는, 알루미늄재의 표리면을 원하는 온도로 접촉 가열하기 위해서, 적어도 2개의 열 롤을 배치한 장치를 들 수 있다. 알루미늄재를 열 롤 등으로 접촉 가열한 후의 알루미늄재의 권취 시에 주름이 생기는 경우에는, 열 롤 등에 의한 가열 후 1개 또는 복수개의 냉각 롤 등의 냉각체를 통과시켜, 알루미늄재를 냉각시키고 나서 권취하는 구성으로 해도 좋다. 특히 냉각체로서 냉각 롤을 이용함으로써 간편하면서도 연속적으로 냉각을 행할 수 있다. 또한, 열 롤 등에 의해 알루미늄재를 원하는 접촉 가열 온도로 가열하기 전에, 다른 열 롤을 이용하여, 원하는 접촉 가열 온도보다 낮은 온도로 알루미늄재의 온도를 예비적으로 상승시켜 놓아도 된다. As an example of the heating apparatus which used the heat roll as a heating body, the apparatus which arrange | positioned at least 2 heat rolls is mentioned in order to contact-heat-heat the front and back surface of an aluminum material at a desired temperature. When wrinkles arise at the time of winding up the aluminum material after contact-heating an aluminum material with a heat roll, etc., after heating by a heat roll etc., it passes through cooling bodies, such as one or several cooling rolls, and cools the aluminum material, It is good also as a structure to take. Especially by using a cooling roll as a cooling body, cooling can be performed simply and continuously. In addition, before heating an aluminum material to desired contact heating temperature with a heat roll etc., you may raise the temperature of an aluminum material preliminarily to temperature lower than a desired contact heating temperature using another heat roll.

최종 어닐링 후의 접촉 가열에 의해 얻어지는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 두께는 특별히 규정되지 않는다. The thickness of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes obtained by the contact heating after the final annealing is not particularly specified.

최종 어닐링 후의 접촉 가열을 종료한 알루미늄재에는, 면적 확대율 향상을 위해 에칭 처리를 실시한다. 에칭 처리 조건은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 직류 에칭법을 채용하는 것이 좋다. 직류 에칭법에 의해, 상기 균질한 표층 산화막을 가지는 알루미늄재가 깊고 굵게 에칭되어, 다수의 터널형 피트가 생성되고 고정전 용량이 실현된다. The aluminum material which finished contact heating after final annealing is subjected to etching treatment for improving the area enlargement ratio. Although the etching process conditions are not specifically limited, Preferably, the direct current etching method is employ | adopted. By the direct current etching method, the aluminum material having the homogeneous surface layer oxide film is etched deep and thick, so that a large number of tunnel-type pits are generated and a fixed capacitance is realized.

에칭 처리 후, 바람직하게는 화성 처리를 행하여 양극재로 하는 것이 좋고, 특히 중압용 및 고압용의 전해 콘덴서 전극재로서 이용하는 것이 좋다. 물론, 음극재로서 이용하는 것을 방해하는 것은 아니다. After the etching treatment, preferably, a chemical conversion treatment is performed to form a cathode material, and in particular, an electrolytic capacitor electrode material for medium pressure and high pressure may be used. Of course, it does not interfere with using as a negative electrode material.

상기와 같은 양극재 및/또는 음극재를 전극재로서 이용함으로써 알루미늄 전해 콘덴서가 구성된다. 이 전해 콘덴서에서는, 전극재의 면적 확대율이 증대하고 있기 때문에, 큰 정전 용량을 가지게 된다. An aluminum electrolytic capacitor is constructed by using the above positive electrode material and / or negative electrode material as an electrode material. In this electrolytic capacitor, since the area expansion ratio of the electrode material is increasing, it has a large capacitance.

본 실시 형태에서는, 최종 어닐링 후에 가열체와의 접촉에 의해 알루미늄재를 가열함으로써, 알루미늄재의 표층 산화막을 균질하게 할 수 있고, 에칭 특성이 뛰어난 전해 콘덴서용 알루미늄재를 제조할 수 있다. 특히 가열 방법으로서 접촉 가열을 이용하기 때문에, 균일하게 단시간에 알루미늄박 표면을 원하는 온도에 도달시킬 수 있기 때문에, 온도 제어가 비교적 용이하고, 급속하게 단시간에 가열할 수 있기 때문에 분위기의 영향을 적게 할 수 있다. 따라서 이 전해 콘덴서용 알루미늄재를 에칭함으로써, 에치 피트가 균일하게 생성하고, 그 결과 면적 확대율을 향상시킬 수 있고, 나아가서는 정전 용량이 증대한 전해 콘덴서 전극재로 할 수 있고, 결과적으로 큰 정전 용량을 가지는 알루미늄 전해 콘덴서를 얻을 수 있다. In this embodiment, by heating an aluminum material by contact with a heating body after final annealing, the surface oxide film of an aluminum material can be made homogeneous, and the aluminum material for electrolytic capacitors excellent in the etching characteristic can be manufactured. In particular, since contact heating is used as the heating method, the surface of the aluminum foil can be uniformly brought to a desired temperature in a short time, and thus the temperature control is relatively easy, and the heating can be performed quickly in a short time, thereby reducing the influence of the atmosphere. Can be. Therefore, by etching the aluminum material for electrolytic capacitors, the etch pit is uniformly generated, and as a result, the area enlargement ratio can be improved, and further, the electrolytic capacitor electrode material with increased capacitance can be obtained. An aluminum electrolytic capacitor can be obtained.

[제1 실시예] [First Embodiment]

본 실시예는 제1 실시 형태에 대응하는 것이다. This example corresponds to the first embodiment.

(실시예 1)(Example 1)

알루미늄 슬래브를 열간 압연해서 얻어진 판을 냉간 압연하여 두께 250㎛, 순도 99.99%의 알루미늄재 코일을 얻었다. 이 알루미늄재 코일을 다시 냉간 압연하여 두께 140㎛로 한 후, 표면 온도가 200℃인 열 롤에 알루미늄재를 2초간 접촉시킨 후 표면 온도가 30℃인 냉각 롤에 접촉시켰다. 다음에, 코일 상태의 알루미늄재를 실체 온도 250℃로 질소 분위기 하에서 24시간 유지하여 중간 어닐링한 후, 마무리 냉간 압연했다. The plate obtained by hot rolling an aluminum slab was cold rolled, and the aluminum coil of 250 micrometers in thickness and purity 99.99% was obtained. After cold-rolling this aluminum material coil to 140 micrometers in thickness, aluminum material was made to contact a heat roll whose surface temperature is 200 degreeC for 2 second, and then it contacted the cooling roll whose surface temperature is 30 degreeC. Next, the coiled aluminum material was held at a substantial temperature of 250 ° C. under a nitrogen atmosphere for 24 hours and subjected to intermediate annealing, followed by cold rolling of the finish.

마무리 냉간 압연 후의 알루미늄재를 n-헥산으로 세정하고, 세정 후의 알루 미늄재를 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 폭 500㎜, 길이 1000m의 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. The aluminum material after finish cold rolling was wash | cleaned with n-hexane, The aluminum material after washing was heated up at 50 degree-C / h from room temperature to 540 degreeC under argon atmosphere, and it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, Then, after cooling, it removed from the furnace and obtained the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of width 500mm and length 1000m.

(실시예 2 내지 16)(Examples 2 to 16)

실시예 1과 마찬가지로, 알루미늄 슬래브를 열간 압연해서 얻어진 판을 냉간 압연하여 두께 250㎛, 순도 99.99%의 알루미늄재 코일을 얻었다. 다음에, 표1에 나타내는 공정을 순서대로 행하여, 폭 500m, 길이 1000m의 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 1, the plate obtained by hot rolling the aluminum slab was cold rolled to obtain an aluminum coil having a thickness of 250 µm and a purity of 99.99%. Next, the process shown in Table 1 was performed in order, and the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of width 500m and length 1000m was obtained.

(비교예1)(Comparative Example 1)

냉간 압연 도중에 접촉 가열을 행하지 않는 것 이외는, 실시예 1과 동일하게 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. Except not performing contact heating in the middle of cold rolling, it carried out similarly to Example 1, and obtained the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes.

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 알루미늄재를, HCl 1.0㏖/ℓ와 H2SO4 3.5㏖/ℓ를 포함하는 액 온도 75℃의 수용액에 침지한 후, 전류 밀도 0.2A/cm2로 전해 처리를 실시했다. 전해 처리 후의 알루미늄재를, 다시 상기 조성의 염산-황산 혼합 수용액에 90℃로 360초 침지하고, 피트 직경을 굵게 하여 에칭박을 얻었다. 얻어진 에칭박을 화성 전압 270V로 EIAJ규격에 따라 화성 처리한 정전 용량 측정용 샘플로 했다. Examples and electrolytic processing the aluminum material obtained in Comparative Example, in HCl 1.0㏖ / ℓ and H 2 SO 4 3.5㏖ / liquid temperature containing ℓ was immersed in an aqueous solution of 75 ℃, current density of 0.2A / cm 2 Carried out. The aluminum material after electrolytic treatment was further immersed at 90 degreeC for 360 second in the hydrochloric acid-sulfuric acid mixed aqueous solution of the said composition, the pit diameter was thickened, and the etching foil was obtained. The obtained etching foil was made into the electrostatic capacity measurement sample which formed the chemical conversion process according to EIAJ standard at the chemical conversion voltage of 270V.

또한, 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 알루미늄재의 정전 용량은, 최종 어닐링 종료의 알루미늄재 코일의 권취 외단부에서 길이방향 100m 및 900m의 2개소에 있어서 폭방향 중앙, 좌우 단부로부터 각각 100㎜ 안쪽의 위치를 중심으로 한 3개소, 합계 6개소에서 측정했다. In addition, the electrostatic capacitance of the aluminum material obtained by each Example and the comparative example is 100 mm inside from the width direction center and left and right edge part in two places of 100 m of length directions and 900 m in the winding outer end part of the aluminum material coil of the final annealing completion, respectively. We measured at three places mainly on position, six places in total.

각 샘플에 대해서 측정한 정전 용량을, 비교예 1을 100으로 했을 경우의 상대값으로 표1에 나타낸다. The electrostatic capacitance measured about each sample is shown in Table 1 by the relative value at the time of making comparative example 1 into 100.                 

[표1]Table 1

Figure 112004004180045-pct00006


Figure 112004004180045-pct00006


단, 표1에 있어서, 각 공정 및 ※1, ※2, ※3의 내용은 다음과 같다. However, in Table 1, the contents of each process and * 1, * 2, and * 3 are as follows.

공정① 접촉 가열: 두께 250㎛의 알루미늄재를 공기 분위기 중에서 접촉 가열한다. Process ① contact heating: The aluminum material of thickness 250micrometer is contact-heated in air atmosphere.

공정② 냉간 압연: 두께 250㎛의 알루미늄재를 냉간 압연하여 두께 140㎛로 한다. Step ② Cold rolling: An aluminum material having a thickness of 250 µm is cold rolled to a thickness of 140 µm.

공정③ 접촉 가열: 두께 140㎛의 알루미늄재를 공기 분위기 중에서 접촉 가열한다. Process ③ Contact heating: An aluminum material having a thickness of 140 µm is contact heated in an air atmosphere.

공정④ 중간 어닐링: 질소 분위기 중에서 250℃ 24시간 어닐링. Step ④ Intermediate Annealing: Annealing at 250 ° C. for 24 hours in a nitrogen atmosphere.

공정⑤ 접촉 가열: 두께 140㎛의 알루미늄재를 공기 분위기 중에서 접촉 가열한다. Process (5) Contact heating: An aluminum material having a thickness of 140 µm is contact heated in an air atmosphere.

공정⑥ 마무리 냉간 압연: 두께 140㎛의 알루미늄재를 냉간 압연하여 두께 110㎛로 한다. Process (6) Finish cold rolling: The aluminum material having a thickness of 140 µm is cold rolled to a thickness of 110 µm.

공정⑦ 세정: n-헥산에 침지한다. Process ⑦ washing: It is immersed in n-hexane.

공정⑧ 최종 어닐링: 표 중 어닐링 온도는 알루미늄재 실체 유지 온도. 실온으로부터 유지 온도까지의 승온 속도는 50℃/h. Process (8) Final Annealing: The annealing temperature in the table is the actual substance holding temperature of aluminum material. The rate of temperature increase from room temperature to the holding temperature is 50 ° C./h.

※1: 접촉 가열 후 냉각 롤(롤 표면 온도:30℃)에 의한 냉각 있음. * 1: There is cooling by a cooling roll (roll surface temperature: 30 degreeC) after contact heating.

※2: 비교예 1의 알루미늄재 코일 중 6개소의 정전 용량 평균치를 100으로 해서 각 샘플의 평균 정전 용량의 상대값을 나타낸다. * 2: The relative value of the average capacitance of each sample is shown as the capacitance average value of six places in the aluminum coil of the comparative example 1 as 100.

※3: 정전 용량 편차 ※ 3: capacitance variation

1: 6개소 모든 정전 용량이 평균치±1.5% 미만이다. 1: All six capacitances are less than the average value ± 1.5%.                 

2: 6개소 모든 정전 용량이 평균치±2% 미만이며, 또한 정전 용량이 평균치보다 1.5% 이상 높거나 또는 1.5% 이상 낮은 개소가 존재한다. 2: Six locations All capacitances are below ± 2% on average, and there are also places where the capacitance is above 1.5% above or below 1.5% below average.

3: 정전 용량이 평균치보다 2% 이상 높거나 또는 2% 이상 낮은 개소가 존재한다. 3: There exists a location where the capacitance is 2% or more higher than the average value or 2% or lower.

상기 표1의 실시예와 비교예로부터, 냉간 압연의 도중에 접촉 가열을 행함으로써 정전 용량의 편차가 작아지고, 정전 용량이 향상되는 것을 알 수 있다. From the Example and the comparative example of the said Table 1, it turns out that the variation of an electrostatic capacitance becomes small and electrostatic capacity improves by performing contact heating in the middle of cold rolling.

[제2 실시예] Second Embodiment

본 실시예는 제2 실시 형태에 대응하는 것이다. This example corresponds to the second embodiment.

[실시예 101 내지 112 및 비교예 101 내지 103] [Examples 101 to 112 and Comparative Examples 101 to 103]

(실시예 101)(Example 101)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 준비했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 2초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was prepared. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., followed by contact heating in air for 2 seconds. . In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 102)(Example 102)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 250℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 2초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 250 ° C., followed by contact heating in air for 2 seconds. . In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 103)(Example 103)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 2초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 560℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 560℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., followed by contact heating in air for 2 seconds. . In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 560 degreeC at 50 degree-C / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 560 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 104)(Example 104)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 1초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉 각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., followed by contact heating in air for 1 second. . In the state which superposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 105)(Example 105)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시켰다. 다음에, 표면 온도 200℃로 설정한 열 롤(표면에 경질 크롬 도금을 한 것) 2개를 준비하고, 제1의 열 롤에 알루미늄재 표면을 1초간 접촉시킨 후, 계속해서 제2의 열 롤에 알루미늄재 이면을 1초간 접촉시킴으로써 접촉 가열을 했다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, and it dried in air at 90 degreeC for 1 minute. Next, two heat rolls (hard chromium plated on the surface) set at a surface temperature of 200 ° C. were prepared, and the aluminum material surface was brought into contact with the first heat roll for 1 second, followed by the second heat. Contact heating was performed by making the aluminum back surface contact with a roll for 1 second. In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 106)(Example 106)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시켰다. 다음에, 표면 온도가 90℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 1초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, and it dried in air at 90 degreeC for 1 minute. Next, an aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 90 ° C., and contact heating was performed in air for 1 second. In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 107) (Example 107)                 

실시예 101과 마찬가지로, 두께 11O㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시켰다. 다음에, 표면 온도 380℃로 설정한 열 롤(표면에 경질 크롬 도금을 한 것) 2개를 준비하고, 제1의 열 롤에 알루미늄재 표면을 0.1초간 접촉시킨 후, 계속해서 제2의 열 롤에 알루미늄재 이면을 0.1초간 접촉 가열시킴으로써 접촉 가열을 했다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, and it dried in air at 90 degreeC for 1 minute. Next, two heat rolls (hard chromium plated on the surface) set at a surface temperature of 380 ° C. were prepared, and the aluminum material surface was brought into contact with the first heat roll for 0.1 second. Contact heating was performed by carrying out the contact heating of the aluminum material back surface to a roll for 0.1 second. In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 108)(Example 108)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시켰다. 다음에, 표면 온도 250℃로 설정한 열 롤(표면에 경질 크롬 도금을 한 것) 2개를 준비하고, 제1의 열 롤에 알루미늄재 표면을 0.005초간 접촉시킨 후, 계속해서 제2의 열 롤에 알루미늄재 이면을 0.005초간 접촉시킴으로써 접촉 가열을 했다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, and it dried in air at 90 degreeC for 1 minute. Next, two heat rolls (hard chromium plated on the surface) set at a surface temperature of 250 ° C. were prepared, and the surface of the aluminum material was brought into contact with the first heat roll for 0.005 seconds, followed by the second heat. Contact heating was performed by bringing the aluminum back surface into contact with the roll for 0.005 seconds. In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 109) (Example 109)                 

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 150℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 30초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 150 ° C., followed by contact heating in air for 30 seconds. . In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC in 50 degreeC / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 110)(Example 110)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 2초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 480℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 480℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., followed by contact heating in air for 2 seconds. . In the state which superimposed the aluminum material after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 480 degreeC at 50 degree-C / h in argon atmosphere, it hold | maintained at 480 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed A high purity aluminum material for capacitors was obtained.

(실시예 111)(Example 111)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 알루미늄재를 끼우고, 2초간 공기 중에서 접촉 가열시켰다. 접촉 가열 후의 알루 미늄재를 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 580℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 580℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각 시킨 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., followed by contact heating in air for 2 seconds. . After heating the aluminum material after contact heating, the actual temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 580 ° C. under argon atmosphere, and then maintained at 580 ° C. for 24 hours, and then cooled and taken out of the furnace, A high purity aluminum material for an electrolytic capacitor was obtained.

(실시예 112)(Example 112)

접촉 가열 후에, 표면 온도가 10℃인 스테인레스판 사이에 알루미늄재를 10초간 끼워 냉각시키는 공정을 포함하는 것 이외는, 실시예 101과 같이 해서 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. After contact heating, the high-purity aluminum material for electrolytic capacitors was obtained in the same manner as in Example 101, except that the aluminum material was sandwiched and cooled between the stainless plates having a surface temperature of 10 ° C for 10 seconds.

(비교예101)(Comparative Example 101)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. After the obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds and dried in air for 1 minute at 90 degreeC, after heating up the substance temperature of aluminum material from room temperature to 540 degreeC under argon atmosphere in 50 degreeC / h in an argon atmosphere, It kept at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and obtained the high purity aluminum material for electrolytic capacitors.

(비교예102)(Comparative Example 102)

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 480℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 480℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. After the obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds and dried in air at 90 degreeC for 1 minute, after heating up the substance temperature of aluminum material to 50 degree-C / h from room temperature to 480 degreeC in argon atmosphere in the state which overlapped, It kept at 480 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and obtained the high purity aluminum material for electrolytic capacitors.

(비교예103) (Comparative Example 103)                 

실시예 101과 마찬가지로, 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 제작했다. 얻어진 알루미늄재를 알칸계 탄화수소에 2초간 침지하고, 90℃로 1분간 공기 중에서 건조시킨 후, 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 580℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 580℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 뒤 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서용 고순도 알루미늄재를 얻었다. In the same manner as in Example 101, an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was produced. The obtained aluminum material was immersed in an alkane hydrocarbon for 2 seconds, dried at 90 ° C. for 1 minute in air, and after heating the actual temperature of the aluminum material to 50 ° C./h from room temperature to 580 ° C. under argon atmosphere in an overlapping state, It kept at 580 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and obtained the high purity aluminum material for electrolytic capacitors.

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 알루미늄재를 산에 침지한 후, 염산-황산 수용액으로 전해 에칭한 후, 다시 산용액에 침지 함으로써 피트 직경을 굵게 하여 에칭박을 얻었다. 얻어진 에칭박을, 화성 전압 270V로 EIAJ규격에 따라 화성 처리하여 정전 용량 측정용 샘플로 했다. After the aluminum material obtained in the said Example and the comparative example was immersed in the acid, it electrolytically etched with hydrochloric acid-sulfuric acid aqueous solution, and then pit diameter was thickened by immersing again in the acid solution, and etching foil was obtained. The obtained etching foil was chemically processed at the chemical conversion voltage of 270V according to EIAJ standard, and used as the sample for capacitance measurement.

실시예 및 비교예의 접촉 가열 조건, 어닐링 시의 알루미늄재의 실체 온도, 정전 용량 평가를 표2에 나타낸다. 정전 용량 평가는, 비교예 101을 100으로 했을 때의 값을 나타낸다. Table 2 shows the contact heating conditions of the examples and the comparative examples, the actual temperature of the aluminum material at the time of annealing, and the capacitance evaluation. The electrostatic capacity evaluation shows the value at the time of making comparative example 101 100.                 

[표2][Table 2]

Figure 112004004180045-pct00007

Figure 112004004180045-pct00007

상기 표2로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예에서는 어닐링 전에 가열판 또는 열 롤을 이용해서 접촉 가열을 행함으로써, 접촉 가열을 행하지 않는 비교예 101 내지 103과 비교해서 정전 용량의 향상을 나타낸다. As can be seen from the above Table 2, in the Examples, contact heating is performed using a heating plate or a heat roll before annealing, thereby showing an improvement in capacitance compared with Comparative Examples 101 to 103 which do not perform contact heating.

[실시예 113 내지 230 및 비교예 104][Examples 113 to 230 and Comparative Example 104]

표3 및 표4에 나타내는 유기 용제 및 표5에 나타내는 물에 계면 활성제를 첨가한 것을 세정액으로서 준비했다. What added surfactant to the organic solvent shown in Table 3 and Table 4, and water shown in Table 5 was prepared as a washing | cleaning liquid.                 

[표3]Table 3

Figure 112004004180045-pct00008
Figure 112004004180045-pct00008

[표4]Table 4

Figure 112004004180045-pct00009

Figure 112004004180045-pct00009

[표5]Table 5

Figure 112004004180045-pct00010

Figure 112004004180045-pct00010

(실시예 113)(Example 113)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재에 대해서, 표3의 A1액에 2초간 침지한 후, 공기 중에서 90℃로 60초간 건조시켰다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행한다. The aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in the A1 liquid of Table 3 for 2 seconds, and then dried at 90 ° C. for 60 seconds in air. Next, an aluminum material is sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., and contact heating is performed for 2 seconds.

이어서, 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. Subsequently, after heating the aluminum material after contact heating, the temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 540 ° C. under argon atmosphere, and then maintained at 540 ° C. for 24 hours, followed by cooling, and then taken out of the furnace, An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained.

(실시예 114 내지 188)(Examples 114 to 188)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를, 표6 내지 표9의 공정 조건으로 세정·건조시킨 후, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. 또한, 실시예 253 내지 282에서는, 알루미늄재가 세정액에 침지되어 있는 동안 브러시를 알루미늄재 표면에 접촉시켜 슬라이딩했다. After cleaning and drying the aluminum material of purity 99.99% rolled to the thickness of 110 micrometers like Example 113 by the process conditions of Tables 6-9, the aluminum material was carried out between two stainless steel heating plates whose surface temperature is 200 degreeC. It was sandwiched and subjected to contact heating for 2 seconds. In Examples 253 to 282, the brush was in contact with the surface of the aluminum material and slid while the aluminum material was immersed in the cleaning liquid.

접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After raising the temperature of the aluminum material at room temperature to 540 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which aluminum materials after contact heating were superimposed, held at 540 ° C. for 24 hours, and then cooled, taken out of the furnace, and electrolytic capacitor An aluminum material for electrodes was obtained.

(실시예 189 내지 196) (Examples 189-196)                 

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 200℃의 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm as in Example 113 was sandwiched between two 200 ° C. stainless steel heating plates, and contact heating was performed for 2 seconds.

다음에, 표8의 공정 3의 조건으로 세정·건조시켰다. 또한, 알루미늄재가 세정액에 침지되어 있는 동안 브러시를 알루미늄재 표면에 접촉시켜 슬라이딩했다. Next, it wash | cleaned and dried on the conditions of the process 3 of Table 8. In addition, the brush was brought into contact with the surface of the aluminum material and slid while the aluminum material was immersed in the cleaning liquid.

세정·건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After raising the temperature of the aluminum material from room temperature to 540 ° C at 50 ° C / h in a state in which the aluminum material after washing and drying was superposed, it was kept at 540 ° C for 24 hours, and then cooled, taken out of the furnace, and electrolytically An aluminum material for capacitor electrodes was obtained.

(실시예 197 내지 202)(Examples 197 to 202)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를, 표8의 공정 1의 조건으로 세정·건조시킨 후, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. 다음에, 접촉 가열 후의 알루미늄재를 표8의 공정 3의 조건으로 세정·건조시켰다. After cleaning and drying the aluminum material of purity 99.99% rolled to the thickness of 110 micrometers like Example 113 on condition of the process 1 of Table 8, an aluminum material is sandwiched between two stainless steel heating plates with a surface temperature of 200 degreeC. Then, contact heating was performed for 2 seconds. Next, the aluminum material after contact heating was washed and dried under the conditions of Step 3 in Table 8.

공정 3의 조건으로 세정·건조한 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After raising the temperature of the aluminum material from room temperature to 540 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which the aluminum material washed and dried under the conditions of Step 3 was superimposed, it was kept at 540 ° C. for 24 hours, and then cooled Was taken out to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 203 내지 207)(Examples 203 to 207)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를, 표8의 공정 조건으로 세정·건조시킨 후, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스 제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. After cleaning and drying an aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm as in Example 113 under the process conditions shown in Table 8, the aluminum material was sandwiched between two sheets of stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C. Contact heating was performed for a second.

접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After raising the temperature of the aluminum material at room temperature to 540 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which aluminum materials after contact heating were superimposed, held at 540 ° C. for 24 hours, and then cooled, taken out of the furnace, and electrolytic capacitor An aluminum material for electrodes was obtained.

(실시예 208 내지 211)(Examples 208 to 211)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 200℃의 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. 다음에, 표9 및 표10의 공정 3의 조건으로 세정·건조시켰다. 또한, 알루미늄재가 세정액에 침지되어 있는 동안 브러시를 알루미늄재 표면에 접촉시켜 슬라이딩했다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm as in Example 113 was sandwiched between two 200 ° C. stainless steel heating plates, and contact heating was performed for 2 seconds. Next, washing and drying were carried out under the conditions of Step 3 of Table 9 and Table 10. In addition, the brush was brought into contact with the surface of the aluminum material and slid while the aluminum material was immersed in the cleaning liquid.

세정·건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After raising the temperature of the aluminum material from room temperature to 540 ° C at 50 ° C / h in a state in which the aluminum material after washing and drying was superposed, it was kept at 540 ° C for 24 hours, and then cooled, taken out of the furnace, and electrolytically An aluminum material for capacitor electrodes was obtained.

(실시예 212 내지 228)(Examples 212-228)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재에 대해서, 표10의 공정 1의 조건에서의 세정·건조, 표9의 공정 2의 조건에서의 접촉 가열을 실시했다. About the aluminum material of purity 99.99% rolled to the thickness of 110 micrometers like Example 113, washing | cleaning and drying on the conditions of the process 1 of Table 10, and contact heating on the conditions of the process 2 of Table 9 were performed.

접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시 간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. After heating the aluminum material after contact heating in the state which overlapped, the actual temperature of aluminum material was heated to 50 degreeC / h from room temperature to 540 degreeC in argon atmosphere, and it hold | maintained at 540 degreeC for 24 hours, and after cooling, it took out from a furnace and electrolyzed An aluminum material for capacitor electrodes was obtained.

(실시예 229)(Example 229)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 200℃의 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 행했다. 접촉 가열 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm as in Example 113 was sandwiched between two 200 ° C. stainless steel heating plates, and contact heating was performed for 2 seconds. After raising the temperature of the aluminum material at room temperature to 540 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which aluminum materials after contact heating were superimposed, held at 540 ° C. for 24 hours, and then cooled, taken out of the furnace, and electrolytic capacitor An aluminum material for electrodes was obtained.

(실시예 230)(Example 230)

열 롤에서의 접촉 가열 후에 표면 온도 25℃의 냉각 롤에 알루미늄재를 접촉시키는 공정을 포함하는 것 이외는, 실시예 224와 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. The aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained like Example 224 except having including the process of contacting an aluminum material with the cooling roll of surface temperature 25 degreeC after the contact heating in a hot roll.

(비교예104)(Comparative Example 104)

실시예 113과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99%, rolled to a thickness of 110 μm as in Example 113, was heated at 50 ° C./h from room temperature to 540 ° C. under an argon atmosphere, and then maintained at 540 ° C. for 24 hours, followed by cooling. Then, it took out from the furnace and obtained the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes.

상기 실시예 113 내지 230 및 비교예 104에서 얻어진 알루미늄재를 HCl 1.0㏖·dm-3과 H2SO4 3.5㏖·dm-3을 포함하는 액 온도 75℃의 수용액에 침지한 후, 전류 밀도 0.2A/cm2로 전해 처리를 실시했다. 전해 처리 후의 박을 다시 상기 조성의 염산-황산 혼합 수용액에 90℃로 360초 침지하고, 피트 직경을 굵게 하여 에칭박을 얻었다. 얻어진 에칭박을 화성 전압 270V로 EIAJ규격에 따라 화성 처리한 정전 용량 측정용 샘플로 했다. 각 샘플에 대해서 측정한 정전 용량을, 비교예 104를 100으로 했을 경우의 상대값으로 표6 내지 표10에 나타낸다. The aluminum material obtained in Examples 113-230 and Comparative Example 104 was immersed in an aqueous solution having a liquid temperature of 75 ° C. containing HCl 1.0 mol.dm −3 and H 2 SO 4 3.5 mol.dm −3 , and then the current density was 0.2. Electrolytic treatment was performed at A / cm 2 . The foil after the electrolytic treatment was further immersed in a hydrochloric acid-sulfuric acid mixed aqueous solution of the above composition at 90 ° C. for 360 seconds to thicken the pit diameter to obtain an etching foil. The obtained etching foil was made into the electrostatic capacity measurement sample which formed the chemical conversion process according to EIAJ standard at the chemical conversion voltage of 270V. The electrostatic capacitance measured about each sample is shown in Table 6-Table 10 by the relative value at the time of making comparative example 104 into 100.

[표6]Table 6

Figure 112004004180045-pct00011

Figure 112004004180045-pct00011

[표7]Table 7

Figure 112004004180045-pct00012

Figure 112004004180045-pct00012

[표8]Table 8

Figure 112004004180045-pct00013

Figure 112004004180045-pct00013

[표9]Table 9

Figure 112004004180045-pct00014

Figure 112004004180045-pct00014

[표10]Table 10

Figure 112004004180045-pct00015

Figure 112004004180045-pct00015

상기 표10의 실시예 229와 비교예 104의 비교에 의해, 최종 어닐링을 행하기 전에 접촉 가열을 행함으로써 정전 용량이 향상된다. 또한, 실시예 113 내지 211과 실시예 229의 비교에 의해 접촉 가열 전후 중 적어도 어느 쪽에서 세정을 행함으로써 더욱 정전 용량이 향상되는 것을 알 수 있다. By comparing Example 229 of Table 10 with Comparative Example 104 above, electrostatic capacitance is improved by performing contact heating before final annealing. In addition, the comparison of Examples 113 to 211 and Example 229 shows that the electrostatic capacity is further improved by washing at least either before or after contact heating.

또한, 실시예 203 내지 211에 의해, 세정 후의 건조 온도가 200℃ 이하이면 정전 용량이 향상되고, 90℃ 이하에서는 더욱 정전 용량이 높다. In addition, in Examples 203 to 211, the electrostatic capacity is improved when the drying temperature after washing is 200 ° C or lower, and the capacitance is higher at 90 ° C or lower.

[제3 실시예] Third Embodiment

본 실시예는 제3 실시 형태에 대응하는 것이다. This example corresponds to the third embodiment.

최종 압연 후의 알루미늄재를 알칼리 세정 또는 산 세정하기 전에 행하는 유기 용제 세정에 이용하는 유기 용제 세정액을 표11에, 알칼리 세정액을 표12에, 산 세정액을 표13에 나타낸다. Table 11 shows the organic solvent washing | cleaning liquid used for the organic solvent washing | cleaning used before alkali-cleaning or acid-cleaning the aluminum material after final rolling, Table 12 shows an alkali washing liquid, Table 13 shows an acid washing liquid.

[표11]Table 11

유기 용제 세정액Organic Solvent Cleaning Liquid

기호sign 유기 용제Organic solvents 액 온도(℃)Liquid temperature (℃) A101A101 아세톤Acetone 2525 A102A102 헥산Hexane 2525 A103A103 프로판올Propanol 2525

[표12]Table 12

알칼리 세정액(수용액)의 종류Types of alkaline cleaning solution (aqueous solution)

기호sign 알칼리의 종류Type of alkali 농도/mass%Concentration / mass% 온도(℃)Temperature (℃) B101B101 수산화나트륨Sodium hydroxide 0.10.1 3535 B102B102 수산화칼륨Potassium hydroxide 0.10.1 3535 B103B103 수산화칼슘Calcium hydroxide 0.10.1 3535 B104B104 메타규산나트륨Sodium metasilicate 0.20.2 3535 B105B105 오르토규산나트륨Sodium orthosilicate 0.20.2 3535 B106B106 오르토규산나트륨Sodium orthosilicate 0.20.2 5050 B107B107 인산 3나트륨Trisodium Phosphate 0.20.2 5050

[표13]Table 13

산 세정액(수용액)의 종류Type of acid cleaning solution (aqueous solution)

기호sign 산의 종류Kind of the mountain 농도/mass%Concentration / mass% 액 온도(℃)Liquid temperature (℃) C101C101 염산Hydrochloric acid 33 3030 C102C102 황산Sulfuric acid 33 3030 C103C103 질산nitric acid 33 3030 C104C104 인산Phosphoric Acid 33 3030 C105C105 질산nitric acid 33 5050

(실시예 301)(Example 301)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄박(알루미늄재)에 대해서, 표11의 A102액으로의 세정, 건조, 표12의 B106액으로의 40초간의 세정, 수세, 건조, 표13의 C101액으로의 60초간의 세정, 수세, 건조의 각 공정을 순차 실시했다. For aluminum foil (aluminum material) having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm, washing with A102 liquid of Table 11, drying, washing for 40 seconds with B106 liquid of Table 12, washing with water, drying, C101 of Table 13 Each process of washing | cleaning, water washing, and drying for 60 second with liquid was performed sequentially.

다음에, 알루미늄박을 표면 온도가 250℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고, 2초간 접촉 가열을 했다. Next, the aluminum foil was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 250 ° C., and contact heating was performed for 2 seconds.

이어서, 접촉 가열 후의 알루미늄박을 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄박의 실체 온도를 실온으로부터 500℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 500℃에서 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄박을 얻었다. Subsequently, after raising the temperature of the aluminum foil from 50 degreeC / h from room temperature to 500 degreeC in argon atmosphere in the state which superimposed the aluminum foil after contact heating, it hold | maintains at 500 degreeC for 24 hours, and after cooling, it takes out from a furnace And aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes were obtained.                 

(실시예 302 내지 349)(Examples 302 to 349)

실시예 301과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄박을, 표14 또는 표15의 조건, 공정순으로 세정해서 건조시킨 후, 표4 또는 표5의 조건으로 접촉 가열을 행했다. The aluminum foil of purity 99.99% rolled to the thickness of 110 micrometers like Example 301 was wash | cleaned and dried in the conditions of Table 14 or Table 15 and process order, and then contact heating was performed on the conditions of Table 4 or Table 5.

또한, 유기 용제 세정 후에는 건조를, 산 세정 후 및 알칼리 세정 후에는 수세를 실시했다. 또한, 실시예 341, 실시예 343 및 실시예 344에서는, 가열체로서 표면에 크롬 도금을 한 열 롤을 이용했다. In addition, after washing | cleaning the organic solvent, water washing was performed after acid washing and after alkali washing. In addition, in Example 341, Example 343, and Example 344, the heat roll which chromium-plated on the surface was used as a heating body.

접촉 가열 후의 알루미늄박을 중첩한 상태로, 아르곤 분위기 하에서 알루미늄박의 실체 온도를 실온으로부터 표14 또는 표15에 나타내는 어닐링 실체 온도까지 50℃/h로 승온시킨 후, 상기 어닐링 실체 온도로 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄박을 얻었다. In the state which superimposed the aluminum foil after contact heating, after heating up the substance temperature of aluminum foil from 50 degreeC / h from room temperature to the annealing substance temperature shown in Table 14 or Table 15 in argon atmosphere, it hold | maintains for 24 hours at the said annealing substance temperature. Then, after cooling, it took out from the furnace and obtained the aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes.

(비교예301 내지 304)(Comparative Examples 301 to 304)

실시예 301과 같은 두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄박에 대해서, 표15의 조건으로 표11의 A101액으로의 세정, 건조, 표2의 B105액으로의 40초간의 세정, 건조를 실시했다. For aluminum foil having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 占 퐉 as in Example 301, washing and drying with A101 liquid of Table 11 and 40 seconds with B105 liquid of Table 2 were carried out under the conditions of Table 15. Carried out.

다음에, 접촉 가열 처리를 실시하지 않고, 알루미늄박을 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄박의 실체 온도를 실온으로부터 표5에 나타내는 어닐링 실체 온도까지 50℃/h로 승온시킨 후, 상기 어닐링 실체 온도로 24시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼내어, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄박을 얻었다. Next, the temperature of the aluminum foil was increased from room temperature to the annealing substance temperature shown in Table 5 at 50 ° C./h under argon atmosphere without performing contact heating treatment, and then the annealing substance temperature. It was kept for 24 hours, then cooled and then taken out of the furnace to obtain an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode.                 

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 박을 HCl 1.0㏖·dm-3과 H2SO4 3.5㏖·dm-3을 포함하는 액 온도 75℃의 수용액에 침지한 후, 전류 밀도 0.2A/cm2로 전해 처리를 실시했다. 전해 처리 후의 박을 다시 상기 조성의 염산-황산 혼합 수용액에 90℃로 360초 침지하고, 피트 직경을 굵게 하여 에칭박을 얻었다. The foil obtained in the Examples and Comparative Examples with HCl 1.0㏖ · dm -3 and H 2 SO 4 3.5㏖ · was immersed in an aqueous solution of a liquid temperature of 75 ℃ containing dm -3, a current density of 0.2A / cm 2 Electrolytic treatment was performed. The foil after the electrolytic treatment was further immersed in a hydrochloric acid-sulfuric acid mixed aqueous solution of the above composition at 90 ° C. for 360 seconds to thicken the pit diameter to obtain an etching foil.

얻어진 에칭박을, 화성 전압 270V로 EIAJ규격에 따라 화성 처리해서 양극재로 하여 정전 용량 측정용 샘플을 얻었다. 각 샘플에 대해서 측정한 정전 용량을, 비교예 301을 100으로 했을 경우의 상대값으로 표14 및 표15에 나타낸다. The obtained etching foil was chemically processed at the formation voltage of 270V according to the EIAJ standard to obtain a sample for capacitance measurement. The electrostatic capacitance measured about each sample is shown in Table 14 and Table 15 by the relative value at the time of making comparative example 301 100.                 

[표14]Table 14

Figure 112004004180045-pct00016

Figure 112004004180045-pct00016

[표15]Table 15

Figure 112004004180045-pct00017

Figure 112004004180045-pct00017

상기 표에서 이해되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는, 알칼리 세정 및/또는 산 세정을 한 후에 접촉 가열을 실시함으로써, 접촉 가열을 행하지 않는 비교예에 비교해서 정전 용량이 높은 것을 알 수 있다.
As understood from the above table, in the examples of the present invention, it is understood that the electrostatic capacity is higher than that of the comparative example in which the contact heating is not performed by performing contact heating after alkali cleaning and / or acid cleaning.

[제4 실시예] [Example 4]

본 실시예는 제4 실시 형태에 대응하는 것이다. This example corresponds to the fourth embodiment.

(실시예 401)(Example 401)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고 2초간 접촉 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 540 ° C. under an argon atmosphere in a state in which the aluminum material after drying was superimposed, held at 540 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., and contact heating was performed for 2 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 402)(Example 402)

가열판 표면 온도가 80℃, 가열체에의 접촉 시간이 28초인 것 이외는, 실시예 401과 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 401 except that the heating plate surface temperature was 80 ° C and the contact time to the heating body was 28 seconds.

(실시예 403)(Example 403)

가열판 표면 온도가 100℃, 가열체에의 접촉 시간이 20초인 것 이외는, 실시예 401과 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 401 except that the heating plate surface temperature was 100 ° C and the contact time to the heating body was 20 seconds.

(실시예 404)(Example 404)

가열판 표면 온도가 160℃, 가열체에의 접촉 시간이 10초인 것 이외는, 실시예 401과 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 401 except that the heating plate surface temperature was 160 ° C and the contact time to the heating body was 10 seconds.

(실시예 405)(Example 405)

가열판 표면 온도가 290℃, 가열체에의 접촉 시간이 2초인 것 이외는, 실시 예 401과 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 401 except that the heating plate surface temperature was 290 ° C. and the contact time to the heating body was 2 seconds.

(실시예 406)(Example 406)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄박의 실체 온도를 실온으로부터 500℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 500℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고, 3초간 접촉 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum foil was raised to 50 ° C./h from room temperature to 500 ° C. under an argon atmosphere in a state in which the aluminum material after drying was superimposed, held at 500 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., and contact heating was performed for 3 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 407)(Example 407)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 470℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 470℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고, 15초간 접촉 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised from room temperature to 470 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state where the aluminum material after drying was superimposed, held at 470 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., and contact heating was performed for 15 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 408)(Example 408)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중 첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 560℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 560℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 스테인레스제 가열판 2매 사이에 끼우고, 2초간 접촉 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 560 ° C. in an argon atmosphere in a state where the aluminum material after drying was overlapped, and then held at 560 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was sandwiched between two stainless steel heating plates having a surface temperature of 200 ° C., and contact heating was performed for 2 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 409)(Example 409)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 540℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 540℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 350℃인 열 롤에 0.01초간 접촉시킴으로써 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 540 ° C. under an argon atmosphere in a state in which the aluminum material after drying was superimposed, held at 540 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was heated by contacting the heat roll having a surface temperature of 350 ° C. for 0.01 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 410)(Example 410)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 500℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 500℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 380℃인 열 롤에 0.01초간 접촉시킴으로써 가열을 하여, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised from room temperature to 500 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which the aluminum material after drying was superimposed, held at 500 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was heated by contacting the heat roll having a surface temperature of 380 ° C. for 0.01 seconds to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 411) (Example 411)                 

열 롤의 표면 온도가 200℃, 알루미늄재와 열 롤 표면의 접촉 시간이 0.05초인 것 이외는, 실시예 410과 같이 해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 410 except that the surface temperature of the heat roll was 200 ° C. and the contact time between the aluminum material and the heat roll surface was 0.05 second.

(실시예 412)(Example 412)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 520℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 520℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 열 롤에 0.1초간 접촉시킴으로써 가열을 하여 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. After heating up the aluminum material after drying, the temperature of the aluminum material was raised to 50 ° C./h from room temperature to 520 ° C. under an argon atmosphere, and then maintained at 520 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, the aluminum material was heated by contacting the heat roll having a surface temperature of 200 ° C. for 0.1 second to obtain an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode.

(실시예 413)(Example 413)

두께 110㎛로 압연된 순도 99.99%의 알루미늄재를 35℃의 0.1 질량% 수산화 나트륨 수용액에 10초간 침지한 후, 수세 건조시켰다. 건조 후의 알루미늄재를 중첩한 상태로 아르곤 분위기 하에서 알루미늄재의 실체 온도를 실온으로부터 500℃까지 50℃/h로 승온시킨 후, 500℃에서 4시간 유지시키고, 이어서 냉각한 후 노에서 꺼냈다. 다음에, 알루미늄재를 표면 온도가 200℃인 열 롤에 2초간 접촉함으로써 가열을 행한 후, 표면 온도가 30℃인 냉각 롤에 접촉시켜 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material having a purity of 99.99% rolled to a thickness of 110 μm was immersed in a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution at 35 ° C. for 10 seconds, and then washed with water. The temperature of the aluminum material was raised from room temperature to 500 ° C. at 50 ° C./h in an argon atmosphere in a state in which the aluminum material after drying was superimposed, held at 500 ° C. for 4 hours, and then cooled and taken out of the furnace. Next, after heating an aluminum material by making it contact a heat roll whose surface temperature is 200 degreeC for 2 second, it contacted the cooling roll whose surface temperature is 30 degreeC, and obtained the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes.

(비교예401)(Comparative Example 401)

접촉 가열을 행하지 않는 것 이외는, 실시예 401과 같은 방법으로 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 얻었다. An aluminum material for electrolytic capacitor electrodes was obtained in the same manner as in Example 401 except that contact heating was not performed.                 

상기 실시예 401 내지 413 및 비교예 401에서 얻어진 박을, HCl 1.0㏖/ℓ와 H2SO4 3.5㏖/ℓ를 포함하는 액 온도 75℃의 수용액에 침지한 후, 전류 밀도 0.2A/cm2로 전해 처리를 실시했다. 전해 처리 후의 박을 다시 상기 조성의 염산-황산 혼합 수용액에 90℃로 360초 침지하고, 피트 직경을 굵게 하여 에칭박을 얻었다. 얻어진 에칭박을 화성 전압 270V로 ElAJ규격에 따라 화성 처리한 정전 용량 측정용 샘플로 했다. 각 샘플에 대해서 측정한 정전 용량을, 비교예 401을 100으로 했을 경우의 상대값으로 표16에 나타낸다. The foils obtained in Examples 401 to 413 and Comparative Example 401 were immersed in an aqueous solution having a liquid temperature of 75 ° C. containing 1.0 mol / l HCl and 3.5 mol / l H 2 SO 4 , followed by a current density of 0.2 A / cm 2. The electrolytic treatment was performed. The foil after the electrolytic treatment was further immersed in a hydrochloric acid-sulfuric acid mixed aqueous solution of the above composition at 90 ° C. for 360 seconds to thicken the pit diameter to obtain an etching foil. The obtained etching foil was used as the sample for capacitance measurement which chemical-ized according to the ElAJ standard at the chemical conversion voltage of 270V. The electrostatic capacitance measured about each sample is shown in Table 16 by the relative value at the time of making comparative example 401 100.

[표16]Table 16

Figure 112004004180045-pct00018
Figure 112004004180045-pct00018

상기 실시예와 비교예의 비교에 의해, 최종 어닐링 후에 접촉 가열을 행함으로써 정전 용량이 향상되는 것을 알 수 있다. By comparison of the said Example with a comparative example, it turns out that an electrostatic capacity improves by performing contact heating after final annealing.

본 발명은, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법, 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재, 전해 콘덴서용 전극재의 제조 방법 및 알루미늄 전해 콘덴서로서 이용할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used as a method for producing an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, a method for producing an electrode material for an electrolytic capacitor, and an aluminum electrolytic capacitor.

Claims (38)

삭제delete 삭제delete 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을, 상기 냉간 압연의 개시로부터 종료까지의 도중의 공정에서 적어도 1회 행하고,The contact heating process with the heating body of the said aluminum material is performed at least once in the process in the middle from the start to the end of the cold rolling, 상기 냉간 압연의 도중에 행하는 적어도 1회의 상기 접촉 가열 중의 최후의 접촉 가열 후이며 압연 재개 전의 알루미늄재의 두께를 A(㎛), 전체 냉간 압연 종료 후의 알루미늄재의 두께를 B(㎛)라고 했을 때, {(A-B)/A}×100(%)으로 나타내어지는 접촉 가열 후의 압연 가공율이 60% 이하인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법.When the thickness of the aluminum material after the last contact heating in the said contact heating performed in the middle of the said cold rolling and before rolling resumption is A (micrometer), and the thickness of the aluminum material after complete cold rolling is B (micrometer), {( The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose rolling work rate after contact heating represented by AB) / A} x100 (%) is 60% or less. 제3항에 있어서, 접촉 가열 후의 압연 가공율이 30% 이하인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of Claim 3 whose rolling work rate after contact heating is 30% or less. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정과,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body in the step after the hot rolling; 가열체와의 접촉 전 또는 접촉 후 중 적어도 어느 한 쪽에서, 알루미늄재를 세정하는 공정을 포함하고,A step of washing the aluminum material at least either before or after contact with the heating element, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하고The step of heating the contact with the heating body of the aluminum material before the final annealing after the cold rolling 상기 세정하는 공정에 이용하는 세정액이 유기 용제이고,The washing | cleaning liquid used for the said washing process is an organic solvent, 상기 유기 용제는 CnH2n+1OH(n=1 내지 10의 자연수)로 나타내어지는 알코올, 시클로헥사놀(C6H11OH), 1,2-에탄디올(HOCH2CH2OH), 1,2-프로판디올 (CH3CH(OH)CH2OH), 1,3-프로판디올(HOCH2CH2CH20H), CnH2n+2(n=5 내지 15의 자연수)로 나타내어지는 알칸계 탄화수소, 시클로헥산, R1COR2(R1 및 R2:지방족 탄화수소기이며, R1과 R2의 탄소수의 합계가 8 이하)로 나타내어지는 케톤, 시클로헥사논(C6H10O), R1-O-R2(R1 및 R2:지방족 탄화수소기이며, R1과 R2의 탄소수의 합계가 8이하)로 나타내어지는 에테르, 2-메톡시 에탄올(CH3OCH2CH2OH), 2-에톡시에탄올(CH3CH2OCH2CH2OH), 2-부톡시 에탄올(CH3CH2CH2CH2OCH2CH2OH) 2-(2-에톡시)에톡시에탄올(CH3CH20CH2CH2OCH2CH2OH), CH3COOR(R:탄소수 1 내지 5인 지방족 탄화수소기)로 나타내어지는 아세트산 에스테르, 톨루엔크실렌으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The organic solvent is alcohol represented by C n H 2n + 1 OH (n = 1 to 10 natural water), cyclohexanol (C 6 H 11 OH), 1,2-ethanediol (HOCH 2 CH 2 OH), 1,2-propanediol (CH 3 CH (OH) CH 2 OH), 1,3-propanediol (HOCH 2 CH 2 CH 2 0H), C n H 2n + 2 (n = 5 to 15 natural numbers) Ketone, cyclohexanone (C 6 H) which is represented by alkane hydrocarbon, cyclohexane, R 1 COR 2 (R 1 and R 2 are aliphatic hydrocarbon groups and the sum of carbon number of R 1 and R 2 is 8 or less). 10 O), an ether represented by R 1 -OR 2 (R 1 and R 2 : aliphatic hydrocarbon groups, and the sum of the carbon number of R 1 and R 2 is 8 or less), 2-methoxy ethanol (CH 3 OCH 2 CH 2 OH), 2-ethoxyethanol (CH 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OH), 2-butoxy ethanol (CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 OCH 2 CH 2 OH) 2- (2-ethoxy) ethoxyethanol (CH 3 CH 2 0CH 2 CH 2 OCH 2 CH 2 OH), CH 3 COOR: acetic acid ester represented by (R is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5), and toluene One or two of an electrolytic capacitor electrode material manufacturing method for the aluminum or more mixtures selected from xylene. 삭제delete 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정과,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body in the step after the hot rolling; 가열체와의 접촉 전 또는 접촉 후 중 적어도 어느 한 쪽에서, 알루미늄재를 세정하는 공정을 포함하고,A step of washing the aluminum material at least either before or after contact with the heating element, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하고The step of heating the contact with the heating body of the aluminum material before the final annealing after the cold rolling 상기 세정하는 공정에 이용하는 세정액이 물에 계면 활성제를 첨가한 것이고,The washing | cleaning liquid used for the said washing process adds surfactant to water, 상기 계면 활성제가, R-OSO3Na(R=탄소수 8 내지 18의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기)로 나타내어지는 음이온 계면 활성제(황산 에스테르염), R-SO3Na(R=탄소수 8 내지 18의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기) 또는 R-SO3Na(R:알킬기가 탄소수 8 내지 14의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기인 알킬 벤질기)로 나타내어지는 음이온 계면 활성제(술폰산염), R-N+(CH3)3·Cl-(R:탄소수 8 내지 16의 포화 탄화수소기)로 나타내어지는 양이온 계면 활성제(제4급 암모늄염), R-O-(-CH2CH2O)nH(R:탄소수 8 내지 16의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기, n=6 내지 14) 또는 R-O-(-CH2CH2O)nH(R=알킬기가 탄소수 8 내지 12의 포화 탄화수소기 또는 2중 결합을 1개 가지는 불포화 탄화수소기인 알킬 페닐기, n=6 내지 14)로 나타내어지는 폴리에틸렌글리콜형 비이온 계면 활성제 중에서 선택된 1종 또는 복수의 음이온 계면 활성제의 혼합물, 복수의 양이온 계면 활성제의 혼합물, 복수의 비이온 계면 활성제의 혼합물, 1종 이상의 음이온 계면 활성제와 1종 이상의 비이온 계면 활성제의 혼합물, 1종 이상의 양이온 계면 활성제와 1종 이상의 비이온 계면 활성제의 혼합물인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The anionic surfactant (sulfuric acid ester salt) represented by R-OSO 3 Na (R = saturated hydrocarbon group having 8 to 18 carbon atoms or unsaturated hydrocarbon group having one double bond), R-SO 3 Na (R = unsaturated hydrocarbon group having 8 to 18 carbon atoms or one double bond) or R-SO 3 Na (R: alkyl group having saturated hydrocarbon group or one double bond having 8 to 14 carbon atoms anionic surface active agents represented by the unsaturated hydrocarbon group alkyl benzyl group) (sulfonic acid salts), RN + (CH 3) 3 · Cl - (R: class cationic surfactant (4 represented by a saturated hydrocarbon group) having 8 to 16 Ammonium salt), RO-(-CH 2 CH 2 O) n H (R: saturated hydrocarbon group having 8 to 16 carbon atoms or unsaturated hydrocarbon group having one double bond, n = 6 to 14) or RO-(-CH 2 CH 2 O) n H (R = alkyl group is a saturated hydrocarbon group having 8 to 12 carbon atoms or a double bond A mixture of one or more anionic surfactants, a mixture of a plurality of cationic surfactants, and a plurality of nonionics selected from a polyethyleneglycol nonionic surfactant represented by one alkyl group having an unsaturated hydrocarbon group, n = 6 to 14) A method of producing an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, which is a mixture of a surfactant, a mixture of at least one anionic surfactant and at least one nonionic surfactant, and a mixture of at least one cationic surfactant and at least one nonionic surfactant. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하고,The step of heating the contact with the heating body of the aluminum material before the final annealing after the cold rolling, 가열체와의 접촉 전에 알루미늄재를 세정하고, 이어서 건조 또는 건조시키지 않고, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하고,The aluminum material is washed before contact with the heating body, and then the aluminum material is heated by contact with the heating body without drying or drying, 세정 후의 건조 온도가 200℃ 이하인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose drying temperature after washing | cleaning is 200 degrees C or less. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 상기 냉간 압연 후 최종 어닐링 전에 행하고,The step of heating the contact with the heating body of the aluminum material before the final annealing after the cold rolling, 가열체와의 접촉 전에 알루미늄재를 세정하고, 이어서 건조 또는 건조시키지 않고, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하고,The aluminum material is washed before contact with the heating body, and then the aluminum material is heated by contact with the heating body without drying or drying, 세정 후의 건조 온도가 90℃ 이하인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법.The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose drying temperature after washing | cleaning is 90 degrees C or less. 삭제delete 삭제delete 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 냉간 압연 후에, 알루미늄재를 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정한 후, 최종 어닐링 전에, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 행하고,After the cold rolling, the aluminum material is washed with a liquid capable of dissolving aluminum, followed by a contact heating step with a heating body of the aluminum material before final annealing, 상기 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로의 세정이 산 세정인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose washing with the liquid which can melt | dissolve the said aluminum is acid washing. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 냉간 압연 후에, 알루미늄재를 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정한 후, 최종 어닐링 전에, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 행하고,After the cold rolling, the aluminum material is washed with a liquid capable of dissolving aluminum, followed by a contact heating step with a heating body of the aluminum material before final annealing, 상기 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로의 세정이, 알칼리 세정, 산 세정의 순차적 실시인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose washing with the liquid which can melt | dissolve the said aluminum is sequentially performing alkali washing and acid washing. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 냉간 압연 후에, 알루미늄재를 알루미늄을 용해시킬 수 있는 액으로 세정한 후, 최종 어닐링 전에, 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 행하고,After the cold rolling, the aluminum material is washed with a liquid capable of dissolving aluminum, followed by a contact heating step with a heating body of the aluminum material before final annealing, 알루미늄재를 알칼리 세정 또는 산 세정하기 전에 유기 용제 세정하는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법.The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes which wash | cleans an organic solvent before alkali-washing or acid-cleaning an aluminum material. 제18항에 있어서, 알칼리 세정에 이용하는 알칼리 세정액이 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 칼슘, 오르토규산 나트륨, 메타규산 나트륨, 인산 3나트륨으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 알칼리를 포함하는 수용액인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The electrolytic capacitor electrode according to claim 18, wherein the alkaline cleaning liquid used for alkali cleaning is an aqueous solution containing one or two or more alkalis selected from sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, sodium orthosilicate, sodium metasilicate and trisodium phosphate. Method for producing aluminum for 제17항 또는 제18항에 있어서, 산 세정에 이용하는 산 세정액이, 염산, 황산, 질산, 인산으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 산을 포함하는 수용액인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The method for producing an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode according to claim 17 or 18, wherein the acid cleaning liquid used for acid cleaning is an aqueous solution containing one or two or more acids selected from hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 상기 알루미늄재의 가열체와의 접촉 가열 공정을 최종 어닐링 후에 행하는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes which performs a contact heating process with the heating body of the said aluminum material after final annealing. 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 가열체의 표면 온도가 50 내지 450℃, 알루미늄재와 가열체의 접촉 시간이 0.001 내지 60초인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes whose surface temperature of a heating body is 50-450 degreeC, and the contact time of an aluminum material and a heating body is 0.001 to 60 second. 제23항에 있어서, 가열체의 표면 온도가 60 내지 400℃인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of Claim 23 whose surface temperature of a heating body is 60-400 degreeC. 제23항에 있어서, 가열체의 표면 온도가 80 내지 400℃인 전해 콘덴서 전극 용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of Claim 23 whose surface temperature of a heating body is 80-400 degreeC. 제23항에 있어서, 알루미늄재와 가열체의 접촉 시간이 0.001 내지 60초인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of Claim 23 whose contact time of an aluminum material and a heating body is 0.001 to 60 second. 제23항에 있어서, 알루미늄재와 가열체의 접촉 시간이 0.001 내지 30초인 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법. The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes of Claim 23 whose contact time of an aluminum material and a heating body is 0.001-30 seconds. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 알루미늄 슬래브에 열간 압연, 냉간 압연, 최종 어닐링을 순차 실시해서 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재를 제조할 때, 상기 열간 압연 이후의 공정에서, 알루미늄재를 가열체와의 접촉에 의해 가열하는 공정을 포함하고,When the aluminum slab is subjected to hot rolling, cold rolling, and final annealing sequentially to produce an aluminum material for an electrolytic capacitor electrode, in the step after the hot rolling, a step of heating the aluminum material by contact with a heating body, , 가열체와의 접촉 후, 알루미늄재를 냉각시키고,After contact with the heating body, the aluminum material is cooled, 알루미늄재의 냉각을 냉각 롤과의 접촉에 의해 행하는 전해 콘덴서 전극용 알루미늄재의 제조 방법.The manufacturing method of the aluminum material for electrolytic capacitor electrodes which performs cooling of an aluminum material by contact with a cooling roll. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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