KR100920015B1 - Replaceable inner cover of LCD glass hot plate chamber - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엘시디 글라스 제조시에 사용되는 핫 플레이트(hot plate) 챔버(chamber)에 있어서 챔버의 상부를 덮는 보호커버로써 내부커버와 분리되고 단열처리되어 있으며, 챔버 상부의 한 단면에 고정되어 개폐할 수 있는 외부커버 및 상기 외부커버 하부에 위치하며 챔버 내부에 구비되고, 상기 외부커버와 분리되어 탈착가능하여 세정(cleaning)시에 교체할 수 있는 내부커버를 포함하고, 내부커버를 교체하여서 세정 시간을 단축하고 편리하게 세정할 수 있는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber, and more particularly, as a protective cover for covering an upper portion of a chamber in a hot plate chamber used in manufacturing LCD glass. Separated from the inner cover and insulated, the outer cover is fixed to one end surface of the chamber and can be opened and closed. The lower cover is located inside the chamber and is provided inside the chamber. The present invention relates to a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber, which includes an inner cover that can be replaced at the time of replacement, and which can shorten cleaning time and can be conveniently cleaned by replacing the inner cover.

핫 플레이트, 챔버, 분리, 교체형, 내부커버, 외부커버, 세정 Hot Plate, Chamber, Separate, Replaceable, Inner Cover, Outer Cover, Cleaning

Description

엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치{.} Replaceable inner cover device for LCD glass hot plate chamber

본 발명은 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엘시디 글라스 제조시에 사용되는 핫 플레이트(hot plate) 챔버(chamber)에 있어서 챔버의 상부를 덮는 보호커버로써 내부커버와 분리되고 단열처리되어 있으며, 챔버 상부의 한 단면에 고정되어 개폐할 수 있는 외부커버 및 상기 외부커버 하부에 위치하며 챔버 내부에 구비되고, 상기 외부커버와 분리되어 탈착가능하여 세정(cleaning)시에 교체할 수 있는 내부커버를 포함한다. The present invention relates to a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber, and more particularly, as a protective cover for covering an upper portion of a chamber in a hot plate chamber used in manufacturing LCD glass. Separated from the inner cover and insulated, the outer cover is fixed to one end surface of the chamber and can be opened and closed. The lower cover is located inside the chamber and is provided inside the chamber. It includes an inner cover that can be replaced at the time.

일반적으로, 엘시디(LCD) 제조 공정시에 핫 플레이트(Hot Plate) 챔버는 포토레지스트 코팅(Photo resist Coating) 설비 투입 전에 글라스에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나 또는 포토레지스트 막이 코팅된 글라스를 일정 시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는 장비이다. In general, during the LCD manufacturing process, the hot plate chamber is dried and preheated by applying heat to the glass before the photoresist coating equipment is put in or the glass coated with the photoresist film for a predetermined time. It is a device to cure a photoresist film by applying heat.

종래의 핫 플레이트(Hot Plate) 챔버는 플레이트(plate), 셔터(Shutter), 보호 커버(Maintenance Cover) 및 고정 바(Support Bar)로 구성되어 있다. 보호 커버(Maintenance Cover)는 일체형 커버이며, 고정 바를 이용하여 보호 커버를 오픈 한 후 고정하여 보호커버를 고정하는 것이다. The conventional hot plate chamber is composed of a plate, a shutter, a maintenance cover, and a support bar. The protection cover (Maintenance Cover) is an integrated cover, and the protection cover is fixed by opening the protection cover using the fixing bar and then fixing the protection cover.

기존 핫 플레이트의 세정 방식은 장비를 멈춘 후에 핫 플레이트의 히터를 끄고, 상온 23℃까지 대기한 후에 커버를 세정하고 난 후에 히터를 켰다. 그 후에 공정 온도까지 대기 한 후에 장비의 작동을 시작하였다. 이런 세정에 드는 소요시간은 3~4시간 정도 걸리는 등 세정시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다. In the conventional hot plate cleaning method, after the equipment is stopped, the heater of the hot plate is turned off, and the heater is turned on after the cover is cleaned after waiting for a temperature of 23 ° C. The equipment was then started after waiting for the process temperature. The time required for this cleaning, such as takes about 3 to 4 hours, there was a problem that takes a long time.

플레이트의 공정(Process) 온도는 대략 120도 전후의 높은 온도를 유지하게 하는데, 공정 중 포토레지스트 막이 증발하여 Fume(유해 증기)을 생성하게 된다. 발생된 고온의 유해 증기가 챔버(Chamber) 상부의 보호 커버(Maintenance Cover)에 부착되어 공정 중인 글라스에 유해 증기 입자(Fume Particle)로 인한 불량이나 얼룩이 발생하는 문제점이 있었다. The process temperature of the plate is maintained at a high temperature of approximately 120 degrees, during which the photoresist film evaporates to produce a fume. The generated high temperature harmful vapor is attached to a maintenance cover at the top of the chamber, thereby causing defects or stains due to harmful vapor particles in the glass in process.

또한, 챔버 보호 커버(Maintenance Cover)를 세정(Cleaning)하려면 히터가 오프된 후 챔버가 세정하기 알맞은 온도로 낮아질 때까지 기다려야 해서 세정시에 많은 시간이 소용되는 문제점이 있었다. In addition, in order to clean the chamber cover (Maintenance Cover) (Cleaning), after the heater is turned off, you have to wait until the chamber is lowered to a temperature suitable for cleaning, there is a problem that a lot of time is used during cleaning.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 핫 플레이트 챔버의 보호커버가 외부커버, 내부커버로 분리되어 있는 분리형으로 공정 중에 발생하는 유해증기(fume)가 내부커버에만 부착되어 발생하고 외부커버는 유해증기의 오염이 전혀 발생하지 않아서 내부커버를 분리하여 여분의 커버로 교체하여 사용할 수 있어 세정에 소요되는 시간을 최소화하고, 분리된 내부커버를 안전한 장소에서 편하게 세정하고 교체 후에 바로 장비를 가동시킬 수 있어 장비 가동률을 향상시키는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공하는 데 있다. An object of the present invention devised to solve the above problems is that the protective cover of the hot plate chamber is separated into an outer cover and an inner cover, so that harmful fumes generated during the process are attached only to the inner cover. Since the outer cover does not generate any harmful vapors at all, the inner cover can be removed and replaced with a spare cover to minimize the time required for cleaning, and the separated inner cover can be conveniently cleaned in a safe place and immediately after replacement. The present invention provides a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber which can be operated to improve the equipment utilization rate.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 핫 플레이트 챔버에서 발생하는 유해 증기를 내부커버의 주기적인 교체를 통하여 최소화시켜서 수율을 향상시키고, 내부 커버를 세정하는 것이 쉬우므로 에어 퍼지를 사용해서 세정 주기를 늘릴 필요가 없는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공하는 데 있다. In addition, another object of the present invention is to minimize the harmful vapors generated in the hot plate chamber through periodic replacement of the inner cover to improve the yield, it is easy to clean the inner cover to increase the cleaning cycle using an air purge It is to provide a replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber which is not necessary.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 핫 플레이트 챔버에서 발생하는 유해증기를 효과적으로 관리할 수 있고 장비 가동률 향상을 통하여 장비 안정화 실현 및 수율 향상을 통한 공정 안정성 확보게 기여할 수 있는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공하는 데 있다. In addition, another object of the present invention is to provide an LCD glass hot plate chamber which can effectively manage harmful vapors generated in a hot plate chamber and contribute to securing process stability through realization of equipment stabilization and yield improvement through improved equipment operation rate. It is to provide a replaceable protective inner cover device.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치는 엘시디 글라스 제조시에 사용되는 핫 플레이트(hot plate) 챔버(chamber)에 있어서, 챔버의 상부를 덮는 보호커버로써 내부커버와 분리되고 단열처리되어 있으며, 챔버 상부의 한 단면에 고정되어 개폐할 수 있는 외부커버 및 상기 외부커버 하부에 위치하며 챔버 내부에 구비되고, 상기 외부커버와 분리되어 탈착가능하여 세정(cleaning)시에 교체할 수 있는 내부커버를 포함한다.The replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber of the present invention for achieving the above object is a hot plate chamber used in the manufacture of LCD glass, the protective cover for covering the upper portion of the chamber The inner cover is separated from the inner cover and is insulated, and is fixed to one end surface of the chamber to be opened and closed, the lower cover is located inside the outer cover and is provided inside the chamber, and is detached from the outer cover to be removable. It includes an inner cover that can be replaced during cleaning.

또한, 상기 외부커버와 상기 내부커버는 보호커버로써 분리형인 것을 특징으로 한다.In addition, the outer cover and the inner cover is characterized in that the removable cover as a protective type.

또한, 상기 외부커버를 오픈할 경우 오픈 된 외부커버를 지지하는 커버 고정바; 를 더 포함한다.In addition, the cover fixing bar for supporting the open outer cover when opening the outer cover; It further includes.

또한, 외부커버는 챔버 상부의 단면에 2개로 이루어져 있어 각각 개폐할 수도 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer cover is made of two in the cross section of the upper chamber is characterized in that each can be opened and closed.

또한, 상기 내부커버는 상기 내부커버 상면에 양쪽으로 2개씩 구비되어 내부커버를 교체할 때 이용하는 핸들부를 포함한다.In addition, the inner cover includes two handles provided on both sides of the inner cover and used to replace the inner cover.

또한, 상기 내부커버는 상기 핸들부를 양손으로 잡고 챔버에서 분리하여 교체하는 것을 특징으로 한다. In addition, the inner cover is characterized in that to replace the separation in the chamber holding the handle portion with both hands.

이상 살펴본 바와 같은 본 발명은, 핫 플레이트 챔버의 보호커버가 외부커버, 내부커버로 분리되어 있는 분리형으로 공정 중에 발생하는 유해증기(fume)가 내부커버에만 부착되어 발생하고 외부커버는 유해증기의 오염이 전혀 발생하지 않아서 내부커버를 분리하여 여분의 커버로 교체하여 사용할 수 있어 세정에 소요되 는 시간을 최소화하고, 분리된 내부커버를 안전한 장소에서 편하게 세정하고 교체 후에 바로 장비를 가동시킬 수 있는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공할 수 있다.The present invention as described above, the protective cover of the hot plate chamber is separated into the outer cover, the inner cover is generated by the harmful vapor (fume) generated during the process is attached only to the inner cover and the outer cover is polluted by the harmful vapor Since this does not occur at all, the inner cover can be removed and replaced with a spare cover to minimize the time required for cleaning, and the LCD can be easily cleaned in a safe place and the equipment can be started immediately after replacement. A replaceable protective inner cover device of the glass hot plate chamber can be provided.

또한, 본 발명은, 핫 플레이트 챔버에서 발생하는 유해 증기를 내부커버의 주기적인 교체를 통하여 최소화시켜서 수율을 향상시키고, 내부커버를 세정하는 것이 쉬우므로 에어 퍼지를 사용해서 세정 주기를 늘릴 필요가 없는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention, by minimizing the harmful vapor generated in the hot plate chamber through periodic replacement of the inner cover to improve the yield, it is easy to clean the inner cover, there is no need to increase the cleaning cycle using an air purge A replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber can be provided.

또한, 본 발명은, 핫 플레이트 챔버에서 발생하는 유해증기를 효과적으로 관리할 수 있고 장비 가동률 향상을 통하여 장비 안정화 실현 및 수율 향상을 통한 공정 안정성 확보게 기여할 수 있는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention, can effectively manage the harmful steam generated in the hot plate chamber and the internal protection of the replacement glass of the LCD glass hot plate chamber which can contribute to secure the process stability through realization of equipment stabilization and yield through improved equipment operation rate A cover device can be provided.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치의 바람직한 일실시예에 대해 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber according to the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버는 외부커버(110), 내부커버(120), 커버 고정바(112) 및 핸들부(122)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the LCD glass hot plate chamber includes an outer cover 110, an inner cover 120, a cover fixing bar 112, and a handle part 122.

엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버는 엘시디 제조시에 포토레지스트 코팅 설비 투입 전 글라스에 열을 가하여 건조 및 예열하거나, 포토레지스트 막이 코팅된 글라스를 일정 시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는 장비를 말한다. The LCD glass hot plate chamber refers to a device for drying and preheating the glass before applying the photoresist coating equipment to manufacture the LCD, or curing the photoresist film by applying heat for a predetermined time to the glass coated with the photoresist film.

상기 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 보호커버는 외부커버(110), 내부커버(120)로 각각 분리된 분리형 보호커버로 구성된다.The protective cover of the LCD glass hot plate chamber is composed of a separate protective cover separated into an outer cover 110 and an inner cover 120.

외부커버(110)는 챔버의 상부를 덮는 보호커버로써 내부커버(120)와 분리되어 구비된다. 외부커버(110)는 단열처리되어 있는 것이 바람직하다. The outer cover 110 is provided separately from the inner cover 120 as a protective cover covering the upper portion of the chamber. The outer cover 110 is preferably insulated.

상기 외부커버(110)는 챔버 상부의 한 단면에 고정되어 개폐된다. 외부커버(110)는 1개로 형성될 수도 있고, 2개로 이루어져 있어 각각 개폐할 수도 있다. The outer cover 110 is fixed to one end surface of the chamber to open and close. The outer cover 110 may be formed of one or two, and may be opened and closed, respectively.

커버 고정바(112)는 상기 외부커버(110)를 오픈 할 경우 오픈 된 외부커버(110)를 지지한다. The cover fixing bar 112 supports the open outer cover 110 when the outer cover 110 is opened.

내부커버(120)는 상기 외부커버(110) 하부에 위치하며 챔버 내부에 구비된다. 상기 외부커버(110)와 분리되어 탈착 가능하여 세정(cleaning)시에 교체할 수 있다. 내부커버(120)의 재질은 스테인리스(SUS) 및 철인 것이 바람직하다. The inner cover 120 is located below the outer cover 110 and is provided inside the chamber. It is detachable from the outer cover 110 and can be replaced during cleaning. The material of the inner cover 120 is preferably stainless steel (SUS) and iron.

상기 내부커버(120)는 히터가 온(on)상태 일 경우에 교체할 수 있다. 히터는 핫플레이트 챔버 내부에 글라스와 접촉하는 면에 설치되어 있으며, 히터는 글라스에 열을 전도하는 것으로 내부커버(120)에 직접 열을 전도하지 않으므로 히터가 온(on)상태 일 경우에도 내부커버(120)를 교체할 수 있는 것이다. The inner cover 120 may be replaced when the heater is in an on state. The heater is installed on the surface in contact with the glass inside the hot plate chamber, and the heater conducts heat to the glass and does not conduct heat directly to the inner cover 120. Therefore, even when the heater is on, the inner cover 120 can be replaced.

또한, 사용자는 히터를 끌 필요없이 간단하게 내부커버(120)를 교체한 후에 바로 장비를 가동하여 사용할 수 있다. 내부커버(120)만 교체하면 되므로 세정에 필요한 시간은 10~15분정도 밖에 소요되지 않는다. In addition, the user can simply operate the equipment immediately after replacing the inner cover 120 without having to turn off the heater. Since only the inner cover 120 needs to be replaced, the time required for cleaning is only about 10 to 15 minutes.

엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버 내부에 글라스를 넣고 내부커버(120)를 넣고 외부커버(110)로 상부를 덮은 후에 글라스에 열을 가하여 건조하거나 예열하는 것이다. After inserting the glass into the LCD glass hot plate chamber and putting the inner cover 120 and covering the upper portion with the outer cover 110, the glass is dried or preheated by applying heat.

상기 외부커버(110)와 내부커버(120)가 분리된 분리형으로 구성되고, 글라스와 직접 접촉하는 부분은 내부커버(120)이므로 공정 중에 보호커버에 발생하는 유해증기(10)가 외부커버(110)에는 전혀 발생하지 않고 내부커버(120)에만 부착되어 발생하므로 내부커버(120)를 분리하여 여분의 내부커버(120)로 교체하여 사용하면 된다. The outer cover 110 and the inner cover 120 is separated into a separate type, the direct contact with the glass portion is the inner cover 120, so the harmful vapor generated in the protective cover during the process is the outer cover 110 ) Does not occur at all and is attached to only the inner cover 120 so that the inner cover 120 may be removed and replaced with an extra inner cover 120.

핸들부(122)는 상기 내부커버(120) 상면에 양쪽으로 2개씩 구비되어 내부커버(120)를 교체할 때 이용한다. Two handle portions 122 are provided on both sides of the inner cover 120 and used to replace the inner cover 120.

내부커버(120)는 외부커버(110)를 개폐한 후, 핫 플레이트 챔버와 내부커버(120)를 고정한 볼트를 푼 후에 상기 핸들부(122)를 양손으로 잡고 분리한 후에 교체하면 된다. After the inner cover 120 is opened and closed, the hot plate chamber and the inner cover 120 are loosened, and then the handle part 122 is held by both hands, and then replaced.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치에서 커버 고정바가 외부커버를 지지하는 모습을 나타내는 참고도이다.2 is a reference diagram showing a state in which a cover fixing bar supports an outer cover in the replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참고하면, 커버 고정바(112)가 외부커버(110)를 지지하는 것을 알 수 있다. 외부커버(110)를 개폐한 후 커버 고정바(130)를 사용하여 지지하면 외부커버(110)가 지지된다. Referring to FIG. 2, it can be seen that the cover fixing bar 112 supports the outer cover 110. The outer cover 110 is supported by opening and closing the outer cover 110 and then using the cover fixing bar 130 to support the outer cover 110.

또한, 내부커버(110)에 유해증기(10)가 발생 된 모습을 볼 수 있다. In addition, it can be seen that the harmful vapor 10 generated in the inner cover (110).

일반적으로 공정 중에 포토레지스트(photo resist) 막이 증발하여 유해 증기(124)가 생성되고, 생성된 유해증기(10)가 챔버 상부의 외부커버(110)에 부착되어 공정 중에 불량이나 얼룩이 발생하는데, 본 발명은 외부커버(110)와 내부커버(120)가 분리형으로 구성되어서 내부커버(120)에만 유해증기(10)로 인한 오염이 발생하므로 내부커버(120)를 분리하여 교체하여 사용할 수 있는 것이 바람직하다. In general, the photoresist film is evaporated during the process to generate harmful vapor 124, and the generated harmful vapor 10 is attached to the outer cover 110 at the upper portion of the chamber to cause defects or stains during the process. In the present invention, since the outer cover 110 and the inner cover 120 are configured in a separable type, contamination occurs due to harmful vapors 10 only in the inner cover 120, so that the inner cover 120 may be separated and used to replace the inner cover 120. Do.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치의 세정순서를 나타내는 흐름도이다. 3 is a flowchart illustrating a cleaning procedure of the replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber according to the exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참고하면, 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버를 세정하는 세정순서를 알 수 있다. Referring to Figure 3, it can be seen the cleaning procedure for cleaning the LCD glass hot plate chamber.

먼저, 엘시디 제조 공정시에 사용되는 장비를 멈춘다(단계 S210). 그 다음, 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버에서 내부커버(120)를 분리한다(단계 S220). 그 다음, 내부커버(120)를 교체한다(단계 S230). 그 다음, 장비의 작동을 시작하면 된다(단계 S240). 이러한 세정순서는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 세정에 소요되는 시간은 10~15분 정도 소요되지 않는다. First, the equipment used in the LCD manufacturing process is stopped (step S210). Then, the inner cover 120 is removed from the LCD glass hot plate chamber (step S220). Then, the inner cover 120 is replaced (step S230). Then, the operation of the equipment may be started (step S240). This cleaning procedure does not take about 10 to 15 minutes to clean the LCD glass hot plate chamber.

핫 플레이트 챔버는 보호커버가 외부커버(110), 내부커버(120)로 분리되어 있는 분리형으로 공정 중에 발생하는 유해증기(fume)(10)가 내부커버(120)에만 부착되어 발생하고 외부커버(110)는 유해증기(10)의 오염이 전혀 발생하지 않아서 내부커버(120)를 분리하여 여분의 커버로 교체하여 사용할 수 있어서 세정 시간을 단축할 수 있는 것이다. The hot plate chamber is a separate type in which the protective cover is separated into the outer cover 110 and the inner cover 120. Thus, fumes 10 generated during the process are attached to only the inner cover 120 and the outer cover ( 110 does not generate any pollution of the harmful vapor 10 can be used to replace the inner cover 120 by removing the extra cover can shorten the cleaning time.

엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버 내부에 글라스를 넣고 내부커버(120)로 덮 고, 외부커버(110)로 상부를 덮은 후에 글라스에 열을 가하여 건조하거나 예열하는 것으로 글라스와 직접 접촉하는 부분은 내부커버(120)이므로 공정 중에 유해증기(10)는 내부커버에만 발생하게 되는 것이다. Put the glass inside the LCD glass hot plate chamber, cover it with the inner cover 120, and cover the upper part with the outer cover 110, and then dry or preheat it by applying heat to the glass. Therefore, the harmful vapor 10 is generated only in the inner cover during the process.

즉, 기존의 핫 플레이트의 세정 방식은 공정 온도가 120℃ 전후였는데, 이러한 공정 온도를 상온 23℃로 온도를 내린 후에 세정이 가능하였다. 이렇게 세정을 하려면 공정 온도를 맞추고 대기하여서 세정을 하는데 소요되는 시간이 3~4시간이였다. 그러나 본 발명의 일실시예에 따른 핫 플레이트 챔버는 외부커버(110)와 내부커버(120)로 분리된 분리형으로 구성되어서 세정시간을 많이 단축할 수 있다.That is, in the conventional hot plate cleaning method, the process temperature was about 120 ° C., and the process temperature was lowered to room temperature 23 ° C., and then cleaning was possible. In order to perform this cleaning, it took 3 to 4 hours to adjust the process temperature and wait. However, the hot plate chamber according to the exemplary embodiment of the present invention may be configured to be separated into an outer cover 110 and an inner cover 120 to shorten the washing time much.

분리된 내부커버(120)를 안전한 장소에서 편하게 세정할 수 있다. 핫 플레이트 챔버는 세정 시간이 3~4시간 소요되던 것이 10~15분으로 단축되어서 장비 가동률이 향상되고, 유해증기(10)가 발생할 때마다 주기적으로 내부커버(120)를 교체할 수 있어서 불량 및 얼룩을 최소화하고 수율을 향상시킬 수 있다. The separated inner cover 120 can be easily cleaned in a safe place. The hot plate chamber is shortened to 10 to 15 minutes, which requires 3 to 4 hours of cleaning time, and improves the operation rate of the equipment. The internal cover 120 can be replaced periodically whenever harmful vapor 10 is generated. It can minimize stains and improve yield.

즉, 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치는 장비 가동률 향상을 통한 장비 안정화를 실현할 수 있고, 수율 향상을 통하여 공정시에 안정성을 확보할 수 있는 것이 바람직하다. That is, it is preferable that the replaceable protective inner cover device of the hot plate chamber can realize equipment stabilization by improving equipment operation rate, and can secure stability during processing through improved yield.

본 발명은 상술한 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 용이하게 변형 실시 가능한 것은 물론이고, 이와 같은 변경은 청구항의 청구범위 기재범위 내에 있게 된다. The present invention is not limited to the above-described preferred embodiments and can be easily modified by anyone of ordinary skill in the art without departing from the gist of the invention claimed in the claims, Such changes are intended to fall within the scope of the claims.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치의 사시도 1 is a perspective view of a replaceable protective inner cover device of an LCD glass hot plate chamber according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치에서 커버 고정바가 외부커버를 지지하는 모습을 나타내는 참고도2 is a reference view showing a cover fixing bar supporting the outer cover in the replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치의 세정순서를 나타내는 흐름도이다. 3 is a flowchart illustrating a cleaning procedure of the replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber according to the exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 유해증기10: Hazardous Steam

110: 외부커버 112: 커버 고정바110: outer cover 112: cover fixing bar

120: 내부커버 122: 핸들부120: inner cover 122: handle portion

Claims (6)

엘시디 글라스 제조시에 사용되는 핫 플레이트(hot plate) 챔버(chamber)에 있어서, In the hot plate chamber used in the manufacture of LCD glass, 챔버의 상부를 덮는 보호커버로써 내부커버와 분리되고 단열처리되어 있으며, 챔버 상부의 한 단면에 고정되어 개폐할 수 있는 외부커버; 및 An outer cover that is separated from the inner cover and is insulated, and is fixed to one end surface of the chamber to be opened and closed; And 상기 외부커버 하부에 위치하며 챔버 내부에 구비되고, 상기 외부커버와 분리되어 탈착가능하여 교체할 수 있는 내부커버; 를 포함하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치.An inner cover positioned below the outer cover and provided inside the chamber, the inner cover being detachable from the outer cover and detachable; Replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber comprising a. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 외부커버와 상기 내부커버는 보호커버로써 분리형인 것을 특징으로 하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치. The outer cover and the inner cover is a replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber, characterized in that the removable cover. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 외부커버를 오픈할 경우 오픈 된 외부커버를 지지하는 커버 고정바; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치. A cover fixing bar that supports the opened outer cover when opening the outer cover; Replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber further comprising. 제1항에 있어서, 외부커버는,The method of claim 1, wherein the outer cover, 챔버 상부의 단면에 2개로 이루어져 있어 각각 개폐할 수도 있는 것을 특징으로 하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치. The replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber, characterized in that it consists of two in the cross section of the upper chamber. 제1항에 있어서, 상기 내부커버는, The method of claim 1, wherein the inner cover, 상기 내부커버 상면에 양쪽으로 2개씩 구비되어 내부커버를 교체할 때 이용하는 핸들부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치. A handle part provided on both sides of the inner cover and used to replace the inner cover; Replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber comprising a. 제5항에 있어서, 상기 내부커버는, The method of claim 5, wherein the inner cover, 상기 핸들부를 양손으로 잡고 챔버에서 분리하여 교체하는 것을 특징으로 하는 엘시디 글라스 핫 플레이트 챔버의 교체형 보호 내부커버 장치.Replaceable protective inner cover device of the LCD glass hot plate chamber, characterized in that the handle portion with both hands to separate and replace in the chamber.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH10335200A (en) 1997-05-28 1998-12-18 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate thermal treatment device

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