KR100917957B1 - anti-adhesion device and vacuum evaporation apparatus utilizing the same - Google Patents

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Abstract

증착방지장치와 이를 이용하는 진공증발장치에 관한 것이다. 진공증발장치는 챔버, 증착방지장치, 증발기와 증발원을 포함하고 있다. 증착방지장치는 챔버내에 설치되어지며, 시트, 제1릴과 제2릴을 포함한다. 시트는 다수의 증발물질을 흡착하며, 제1말단과 제2말단을 포함한다. 제1릴은 제1말단에 연결되고, 제2릴은 제2말단에 연결된다. 증발기는 기판을 증발기와 시트 사이에서 이동시킨다. 시트는 제1릴과 제2릴의 회전에 의해 이동한다.It relates to a deposition preventing device and a vacuum evaporation apparatus using the same. The vacuum evaporator includes a chamber, a deposition preventing device, an evaporator and an evaporation source. The deposition preventing device is installed in the chamber and includes a sheet, a first reel and a second reel. The sheet adsorbs a plurality of evaporating materials and includes a first end and a second end. The first reel is connected to the first end and the second reel is connected to the second end. The evaporator moves the substrate between the evaporator and the sheet. The sheet is moved by the rotation of the first and second reels.

증착방지장치, 진공증발장치, 릴, 증발기, 시트 Vapor Deposition Equipment, Vacuum Evaporator, Reel, Evaporator, Sheet

Description

증착방지장치 및 이를 이용한 진공증발장치{anti-adhesion device and vacuum evaporation apparatus utilizing the same}Anti-adhesion device and vacuum evaporation apparatus utilizing the same

본 발명은 증착방지장치에 관한 것으로서, 상세하게는 증착방지장치 및 이를 이용한 진공증발장치에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition preventing apparatus, and more particularly, to a deposition preventing apparatus and a vacuum evaporation apparatus using the same.

도 1은 종래의 진공증발장치(10)를 도시한 도면이다. 진공증발장치(10)는 챔버(11), 시트(12), 증발기(13)와 증발원(16)을 포함하고 있다. 증발원(16)은 복수의 증발물질(14)을 포함하고 있다. 증발원(16)은 일직선상에 차례로 정렬한 정공주입층(hole injection layer(HIL))(131), 정공운반층(hole transport layer(ETL))(132), 발광층(emitting layer(EML))(133)과 전자운반층(electron transport layer(ETL))(134)을 포함하고 있다. 기판(20)이 증착될 때, 증발물질(14)이 증발원(16)으로부터 분사되어서, 기판(20)에 증착된다. 챔버(11)가 증발물질(14)로 채워지기 때문에, 일부 증발물질(14)은 시트(12)에 달라붙어서 부착물(15)을 형성한다. 시트(12)에 부착물이 증착되어서 일정한 두께가 되면, 상기된 증착된 부착물(15)이 시트(12)로부터 떨어지므로 기판(20)이 오염되는 것을 방지하기 위해 부착물이 부착된 시트(12)는 새로운 시트(12)로 교체하여야 하며, 이를 위 하여 챔버를 열어야 한다. 진공증발장치(10)는 새로운 시트(12)를 설치하는 동안에 중지되어져야 하고, 따라서 기판(12)의 증착작업도 중지되어야 하므로, 수율이 저하된다.1 is a view showing a conventional vacuum evaporation apparatus 10. The vacuum evaporation apparatus 10 includes a chamber 11, a sheet 12, an evaporator 13, and an evaporation source 16. The evaporation source 16 includes a plurality of evaporation materials 14. The evaporation source 16 includes a hole injection layer (HIL) 131, a hole transport layer (ETL) 132, and an emission layer (EML) (sequentially aligned). 133 and an electron transport layer (ETL) 134. When the substrate 20 is deposited, the vaporization material 14 is ejected from the evaporation source 16 and deposited on the substrate 20. Since chamber 11 is filled with evaporation 14, some evaporation 14 sticks to sheet 12 to form deposit 15. When the deposit is deposited to the sheet 12 to a certain thickness, the deposited deposit 15 is separated from the sheet 12, so that the sheet 12 to which the deposit is attached to prevent the substrate 20 from being contaminated. The new seat 12 must be replaced and the chamber must be opened for this purpose. The vacuum evaporation apparatus 10 must be stopped during the installation of the new sheet 12, and therefore the deposition of the substrate 12 must also be stopped, so that the yield is lowered.

본 발명은 상기된 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 새로운 시트를 설치하는 동안에 진공증발장치가 중지되어야 하는 문제점을 해결하기 위한 증착방지장치 및 이를 이용한 진공증발장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above problems, and an object thereof is to provide a deposition preventing device and a vacuum evaporation apparatus using the same to solve the problem that the vacuum evaporation apparatus should be stopped while installing a new sheet.

본 발명에 대해서는 도면을 참조하면서 아래의 실시예에서 상세히 설명한다. 진공증발장치는 기판을 증착시키는 장치이다. 진공증발장치는 챔버, 증착방지장치, 증발기와 증발원을 포함하고 있다. 증착방지장치는 시트, 제1릴(reel), 제2릴을 포함하고 있다. 증발원은 복수의 증발물질을 포함하고 있다. 시트는 제1말단과 제2말단을 포함하고 있으며, 기판에 증착하지 못한 증발물질을 흡착한다. 제1릴은 제1말단에 연결되어 있고, 제2릴은 제2말단에 연결되어 있다. 증발기는 증발기와 시트 사이에서 기판을 이동시킨다. 시트는 제1릴과 제2릴의 회전에 의해 이동된다.The present invention will be described in detail in the following examples with reference to the drawings. A vacuum evaporation apparatus is a device for depositing a substrate. The vacuum evaporator includes a chamber, a deposition preventing device, an evaporator and an evaporation source. The deposition preventing apparatus includes a sheet, a first reel, and a second reel. The evaporation source contains a plurality of evaporation materials. The sheet includes a first end and a second end, and adsorbs the evaporated material which has not been deposited on the substrate. The first reel is connected to the first end and the second reel is connected to the second end. The evaporator moves the substrate between the evaporator and the sheet. The sheet is moved by the rotation of the first and second reels.

본 발명에 의한 진공증발장치는 종래의 진공증발장치에서 새로운 시트로의 교체시에 필요한 정지를 하지 않아도 된다. 그러므로 정지시간이 감소되어 효율은 증대된다.The vacuum evaporation apparatus according to the present invention does not need to stop necessary when replacing a new sheet in the conventional vacuum evaporation apparatus. Therefore, downtime is reduced and efficiency is increased.

아래의 실시예는 본 발명을 실행하는 최적의 실시예이다. 이러한 실시예는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 목적으로 기술된 것이지, 결코 발명의 기술적인 사상을 제한하는 것은 아니다. 본 발명의 범위에 대해서는 특허청구범위에 가장 잘 기술되어 있다.The following examples are the best embodiments to practice the invention. These embodiments have been described for the purpose of illustrating the principles of the invention and are by no means limiting of the technical spirit of the invention. The scope of the invention is best described in the claims.

도 2는 본 발명에 의한 진공증발장치(30)의 개략도이다. 진공증발장치(30)는 기판(20)을 증착시킨다. 진공증발장치(30)는 챔버(31), 증착방지장치(40), 증발기(33)와 증발원(39)을 포함하고 있다. 증발원(39)은 챔버(31)내부에 있으며, 증발물질(34)을 포함하고 있다. 증발물질(34)은 챔버(31)내에서 분사되어서, 기판(20)에 증착된다. 증착방지장치(40)는 챔버(31)내에서 증발원(39)에 반대편에 위치한다. 증착방지장치(40)는 시트(32), 제1릴(35)과 제2릴(36)을 포함하고 있다. 시트(32)는 기판(20)에 증착되지 못한 증발물질(34)을 흡착한다. 시트(32)는 제1말단(321)과 제2말단(322)을 포함하고 있다. 제1릴(35)은 제1말단(321)에 연결되고, 제2릴(36)은 제2말단(322)에 연결된다. 제1릴(35)과 제2릴(36)은 챔버(31)의 양 말단에 각각 설치된다. 증발기(33)는 기판(20)을 지지한다. 기판(20)은 시트(32)와 증발기(33)를 지나면서 이동한다. 증발원(39)은 정공주입층(hole injection layer(HIL))(331), 정공운반층(hole transport layer(ETL))(332), 발광층(emitting layer(EML))(333)과 전자운반층(electron transport layer(ETL))(334)을 포함하고 있다. 본 실시예에서는 정공주입층(hole injection layer(HIL))(331), 정공운반층(hole transport layer(ETL))(332), 발광층(emitting layer(EML))(333)과 전자운반층(electron transport layer(ETL))(334)이 직선상에 순서대로 설치되어 있다.2 is a schematic diagram of a vacuum evaporation apparatus 30 according to the present invention. The vacuum evaporation apparatus 30 deposits the substrate 20. The vacuum evaporation device 30 includes a chamber 31, a deposition preventing device 40, an evaporator 33 and an evaporation source 39. The evaporation source 39 is located in the chamber 31 and contains the evaporation material 34. The evaporation material 34 is sprayed in the chamber 31 and deposited on the substrate 20. The deposition preventing device 40 is located opposite the evaporation source 39 in the chamber 31. The deposition preventing apparatus 40 includes a sheet 32, a first reel 35, and a second reel 36. The sheet 32 adsorbs the evaporated material 34 that has not been deposited on the substrate 20. The seat 32 includes a first end 321 and a second end 322. The first reel 35 is connected to the first end 321, and the second reel 36 is connected to the second end 322. The first reel 35 and the second reel 36 are respectively installed at both ends of the chamber 31. The evaporator 33 supports the substrate 20. The substrate 20 moves past the sheet 32 and the evaporator 33. The evaporation source 39 includes a hole injection layer (HIL) 331, a hole transport layer (ETL) 332, an emission layer (EML) 333 and an electron transport layer. electron transport layer (ETL) 334. In the present embodiment, a hole injection layer (HIL) 331, a hole transport layer (ETL) 332, an emission layer (EML) 333 and an electron transport layer ( Electron transport layer (ETL)) 334 is arranged in a straight line order.

진공증발장치(30)는 제1릴(35)과 제2릴(36)을 구동시키기 위한 제1릴(35)과 제2릴(36)에 전기적으로 연결된 모터(37)를 추가로 포함할 수 있다. 시트(32)는 클린(clean)부분(323), 흡착부분(324)과 오염부분(325)을 포함하고 있다. 진공증발장치(30)에 들어간 후에 기판(20)은 화살표 A 방향으로 이동하면서, 증착되어진다. 증발기(33)는 기판(20)에 증착되는 증발물질(34)을 공급한다. 증발물질(34)은 챔버(31)내에서 분사되어지는데, 모든 증발물질(34)이 기판(20)에 증착되는 것은 아니다. 따라서 시트(32)는 기판(20)에 증착하지 못한 증발물질(34)을 시트(32)의 흡착부분(324)에 증착시킨다. 클린부분(323)은 제1릴(35)에 감겨져 있고, 오염부분(325)은 제2릴(36)에 감겨 있다. 흡착부분(324)은 제1릴(35)과 제2릴(36)사이에 위치한다. 흡착부분(324)이 증발물질(34)로 가득차면, 흡착부분(324)은 더이상 증발물질(34)을 흡착할 수 없다. 제1릴(35)과 제2릴(36)은 시트(32)를 이동시키기 위하여 모터(37)에 의하여 회전된다. 본 실시예에서 제1릴(35)과 제2릴(36)은 화살표 B 방향으로 회전한다. 흡학부분(324)이 증발물질(34)로 포화되면, 포화된 흡착부분(324)은 제2릴(36)이 감겨지면서 화살표 C의 방향으로 이동하여서 오염부분(325)이 된다. 동시에 제1릴(35)이 클린부분(323)을 배출하여 깨끗한 흡착부분(324)이 되어서, 증발물질(34)을 흡착하게 된다. 본 실시예에서는 제2릴(36)을 감아서 흡착부분(324)이 화살표 C 방향으로 이동함에 따라, 흡착부분(324)에 의한 오염을 방지하기 위하여 흡착부분(324)으로부터 떨어지는 증발물질(34)을 모으기 위한 홀더(38)가 진공증발장치(30)에 설치된다. 본 실시예에서 상기 홀더(38)는 L형이며, 오염부분(325)의 아래에 설치된다.The vacuum evaporation apparatus 30 may further include a motor 37 electrically connected to the first reel 35 and the second reel 36 for driving the first reel 35 and the second reel 36. Can be. The sheet 32 includes a clean portion 323, an adsorption portion 324 and a contaminated portion 325. After entering the vacuum evaporation apparatus 30, the substrate 20 is deposited while moving in the direction of arrow A. FIG. The evaporator 33 supplies the evaporation material 34 deposited on the substrate 20. Evaporation material 34 is injected in the chamber 31, but not all evaporation material 34 is deposited on the substrate 20. Accordingly, the sheet 32 deposits evaporation material 34 which cannot be deposited on the substrate 20 on the adsorption portion 324 of the sheet 32. The clean portion 323 is wound around the first reel 35, and the contaminated portion 325 is wound around the second reel 36. The adsorption part 324 is located between the first reel 35 and the second reel 36. Once the adsorption portion 324 is filled with the evaporation material 34, the adsorption portion 324 can no longer adsorb the evaporation material 34. The first reel 35 and the second reel 36 are rotated by the motor 37 to move the seat 32. In this embodiment, the first reel 35 and the second reel 36 are rotated in the direction of the arrow B. When the suction part 324 is saturated with the evaporation material 34, the saturated suction part 324 moves in the direction of the arrow C while the second reel 36 is wound to become the contamination part 325. At the same time, the first reel 35 discharges the clean portion 323 to become a clean adsorption portion 324, thereby adsorbing the evaporation material 34. In this embodiment, as the adsorption portion 324 is wound in the direction of arrow C by winding the second reel 36, the evaporation material 34 falling from the adsorption portion 324 to prevent contamination by the adsorption portion 324. Holder 38 is collected in the vacuum evaporation apparatus 30. In the present embodiment, the holder 38 is L-shaped and is installed below the contaminated portion 325.

본 발명에 의한 진공증발장치(30)는 종래의 진공증발장치(10)에서 새로운 시트(12)로의 교체시에 필요한 정지를 하지 않아도 된다. 그러므로 정지시간이 감소되어 효율은 증대된다. 본 실시예에서는 시트(32)는 플렉서블(flexible)하다. 시트(32)는 유기물질, 무기물질, 금속 또는 이들의 혼합물로 이루어진다. 또 다른 실시예로서 모터(37)가 제1릴(35) 또는 제2릴(36)에 선택해서 전기적으로 연결된다.The vacuum evaporation apparatus 30 according to the present invention does not need to stop necessary when replacing the new seat 12 with the conventional vacuum evaporation apparatus 10. Therefore, downtime is reduced and efficiency is increased. In this embodiment, the sheet 32 is flexible. The sheet 32 is made of organic material, inorganic material, metal or a mixture thereof. In another embodiment, the motor 37 is selected and electrically connected to the first reel 35 or the second reel 36.

본 발명은 실시예와 상세한 설명에 의해 기술되었지만, 본 발명은 상기된 실시예에 의해 제한되어지는 것은 아니다. 반대로 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 범위내에서의 여러가지 변형과 유사한 배열도 본 발명에 포함된다. 그러므로 특허청구범위는 이러한 모든 변형과 유사한 배열을 포함할 수 있도록 광범위하게 해석되어져야 한다.Although the invention has been described by way of examples and detailed description, the invention is not limited by the embodiments described above. On the contrary, various modifications and similar arrangements within the scope obvious to those skilled in the art are included in the present invention. Therefore, the claims should be construed broadly to cover all such variations and similar arrangements.

본 발명은 도면을 참조하면서 실시예와 상세한 설명을 읽음으로서 명확하게 이해할 수 있다.The present invention can be clearly understood by reading the embodiments and the detailed description with reference to the drawings.

도 1은 종래의 진공증발장치의 개략도이고,1 is a schematic view of a conventional vacuum evaporation apparatus,

도 2는 본 발명에 의한 진공증발장치의 개략도이다.2 is a schematic view of a vacuum evaporation apparatus according to the present invention.

Claims (17)

진공 증발 장치의 증착방지장치로서,As a deposition preventing device of a vacuum evaporation device, 상기 진공 증발 장치는 하나의 챔버로 구성되어 있으며, The vacuum evaporation device is composed of one chamber, 상기 증착방지장치는The deposition preventing device 제1말단과 제2말단을 포함하는 시트;A sheet comprising a first end and a second end; 상기 진공 증발 장치의 하나의 챔버내에 위치하고 상기 시트의 제1말단에 연결되어 있는 제1릴;A first reel located in one chamber of the vacuum evaporation device and connected to the first end of the sheet; 상기 진공 증발 장치의 하나의 챔버내에 위치하고 상기 시트의 제2말단에 연결되어 있는 제2릴; 및A second reel located in one chamber of the vacuum evaporation device and connected to a second end of the sheet; And 상기 진공 증발 장치의 하나의 챔버내에 위치하고 제2릴에 인접하게 위치하는 홀더를 포함하고 있으며,A holder located in one chamber of the vacuum evaporation device and located adjacent to the second reel, 상기 시트는 상기 제1릴과 상기 제2릴의 회전에 의해 이동하는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.And the sheet moves by rotation of the first reel and the second reel. 제1항에 있어서, 상기 제1릴과 제2릴이 동일한 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.The deposition preventing apparatus of claim 1, wherein the first reel and the second reel rotate in the same direction. 제1항에 있어서, 제1릴 또는 제2릴에 선택하여 전기적으로 연결된 모터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.2. The deposition preventing device of the vacuum evaporation apparatus according to claim 1, further comprising a motor selected and electrically connected to the first reel or the second reel. 제1항에 있어서, 상기 시트가 플렉서블한 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.2. The deposition preventing device of the vacuum evaporation apparatus according to claim 1, wherein the sheet is flexible. 제1항에 있어서, 상기 시트는 유기물질, 무기물질, 금속 또는 이들의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.The deposition preventing apparatus of claim 1, wherein the sheet is made of an organic material, an inorganic material, a metal, or a mixture thereof. 제1항에 있어서, 상기 시트는 클린부분, 흡착부분과 오염부분으로 구성되어 있으며, 상기 클린부분은 상기 제1릴에 감겨 있으며; 상기 흡착부분은 상기 제1릴과 제2릴사이에 위치하며, 상기 오염부분은 제2릴에 감겨 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치. 2. The sheet according to claim 1, wherein the sheet is composed of a clean portion, an adsorption portion and a contaminated portion, the clean portion wound around the first reel; The adsorption portion is located between the first reel and the second reel, the contaminated portion is a deposition preventing device of the vacuum evaporator, characterized in that wound on the second reel. 제1항에 있어서, 제1릴과 제2릴에 전기적으로 연결된 모터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치. The deposition preventing device of claim 1, further comprising a motor electrically connected to the first reel and the second reel. 제6항에 있어서, 상기 홀더는 상기 시트의 오염부분의 아래에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치의 증착방지장치.7. The deposition preventing device of the vacuum evaporation apparatus as claimed in claim 6, wherein the holder is provided under the contaminated portion of the sheet. 기판 증착을 위한 진공증발장치에 있어서,In the vacuum evaporation apparatus for substrate deposition, 상기 진공증발장치는 The vacuum evaporator is 하나의 챔버;One chamber; 상기 하나의 챔버내에 위치하며, 하나의 챔버내에 분사되어서 기판에 증착되어지는 다수의 증발물질을 포함하는 증발원;An evaporation source located in the one chamber, the evaporation source including a plurality of evaporation materials which are injected into the one chamber and are deposited on the substrate; 제1말단과 제2말단을 포함하며, 증발물질을 흡착하는 시트; 하나의 챔버 내에 위치하며 상기 시트의 제1말단에 연결되어진 제1릴; 하나의 챔버 내에 위치하며 상기 시트의 제2말단에 연결되어진 제2릴; 및 진공증발장치의 하나의 챔버 내에 위치하며 제2릴에 인접하게 위치하는 홀더를 포함하며, 하나의 챔버내의 증발원에 반대편에 위치하는 증착방지장치; 및A sheet including a first end and a second end, the sheet adsorbing evaporated material; A first reel located in one chamber and connected to the first end of the sheet; A second reel located in one chamber and connected to a second end of the sheet; And a holder located in one chamber of the vacuum evaporation device and located adjacent to the second reel, the deposition preventing device located opposite the evaporation source in the one chamber; And 기판을 지지하며, 시트와 증발기 사이에서 기판을 이동시키는 증발기를 포함하고,Supporting an substrate, comprising an evaporator for moving the substrate between the sheet and the evaporator, 상기 시트는 제1릴과 제2릴을 회전시킴으로서 이동하는 것을 특징으로 하는 기판을 증착시키는 진공증발장치.And the sheet is moved by rotating the first reel and the second reel. 제9항에 있어서, 제1릴과 제2릴이 동일한 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 진공증발장치.The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, wherein the first reel and the second reel rotate in the same direction. 제9항에 있어서, 제1릴 또는 제2릴에 선택하여 전기적으로 연결된 모터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치.10. The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, comprising a motor selected and electrically connected to the first reel or the second reel. 제9항에 있어서, 상기 시트가 플렉서블한 것을 특징으로 하는 진공증발장치.The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, wherein the sheet is flexible. 제9항에 있어서, 상기 시트는 유기물질, 무기물질, 금속 또는 이들의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공증발장치. The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, wherein the sheet is made of an organic material, an inorganic material, a metal, or a mixture thereof. 제9항에 있어서, 상기 시트는 클린 부분, 흡착부분과 오염부분을 포함하고 있으며, 상기 클린 부분은 제1릴에 감겨 있으며, 상기 흡착부분은 제1릴과 제2릴 사이에 위치하며, 상기 오염부분은 제2릴에 감겨있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치. 10. The apparatus of claim 9, wherein the sheet includes a clean portion, an adsorption portion and a contaminated portion, the clean portion is wound around a first reel, and the adsorption portion is located between the first reel and the second reel. The contaminated portion is a vacuum evaporator, characterized in that wound on the second reel. 제9항에 있어서, 제1릴과 제2릴에 전기적으로 연결된 모터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치. The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, comprising a motor electrically connected to the first reel and the second reel. 제14항에 있어서, 상기 홀더는 하나의 챔버 내부에 위치하며, 상기 시트의 오염부분의 아래에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공증발장치. 15. The vacuum evaporation apparatus according to claim 14, wherein the holder is located inside one chamber and is located under the contaminated portion of the sheet. 제9항에 있어서, 증발원은 정공주입층, 정공운반층, 발광층과 전자운반층이 직선상에 순서대로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공증발장치. The vacuum evaporation apparatus according to claim 9, wherein the evaporation source is provided with a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer in a linear order.
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