KR100917599B1 - 평판형 열소산 장치 - Google Patents

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문석환
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Abstract

본 발명은 평판형 열소산 장치에 관한 것으로, PC(Personal Computer) 혹은 휴대전화 등과 같은 전자 장치의 내부 부품 등에서 발생하는 열에 의해 생길 수 있는 다양한 문제를 해결하기 위해 이러한 발열소스의 열을 이용해 액체의 상변화를 일으켜 열을 줄이는 장치에 관한 것이다. 구체적으로 액체를 기화하는 하부 플레이트, 상기 하부플레이트의 상면에 결합되고, 상기 하부 플레이트에서 기화된 증기가 통과할 수 있는 통로와 응축된 유체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 통로를 별개로 형성하는 중간 플레이트 및 상기 중간 플레이트의 상면에 결합하고, 상기 기화된 증기를 응축하는 상부 플레이트를 포함한다.
발열, 모세관, 그루브, 발열소스

Description

평판형 열소산 장치{THE FLAT PLATE TYPE MICRO HEAT SPREADING DEVICE}
본 발명은 평판형 열소산 장치에 관한 것으로, PC(Personal Computer) 혹은 휴대전화 등과 같은 전자 장치의 내부 부품 등에서 발생하는 열에 의해 생길 수 있는 다양한 문제를 해결하기 위해 이러한 발열소스의 열을 이용해 액체의 상변화를 일으켜 열을 줄이는 장치에 관한 것이다. 구체적으로, 밀폐된 공간에 주입된 작동 유체를 발열소스에 의해 기화하도록 하고 이렇게 기화된 증기를 다시 응축하는 과정을 통해 열을 방출하는 평판형 열소산 장치에 관한 것이다.
최첨단 기술을 발달에 따라, PC의 고성능화 및 packaging 집적도 증가로 인해 이제는 CPU 등이 발산하는 열을 무시할 수 없게 됐다. 또한 이러한 열 문제는 CPU에만 국한되지 않는다. 이는 PC의 CPU에 사용되는 최첨단 가공기술이 점차 다른 전자제품에도 사용되는 흐름에 따른 추세이다. 대표적으로 노트북 PC 이상으로 압축 설계가 요구되는 휴대전화 등도 현재와 같은 발전 속도에 의한 고성능화가 진행되면 발열에 의해 발생하는 문제가 심각해질 수 있다.
현재 휴대전화는 컬러 디스플레이, 멀티미디어, VOD (Video on Demand), 영 상전화, 모바일 게임 등을 주축으로 하는 데이터 서비스로 발전하고 있다. 이에 따라 시스템 내부에서 처리해야 할 프로세스의 양이 증가하고 있다. 그 결과, 시스템에서 발생하는 발열량도 계속 증가할 것으로 예상된다.
이에 따라 휴대전화의 안정성을 확보하기 위해 소형 디바이스에 이용될 수 있는 열소산 기술이 반드시 개발되어야 한다. 또한, 휴대전화는 이동성을 중시하므로 경량화와 더불어 소형화를 고려한 기술 개발이 필요하게 되었다.
따라서, 이러한 환경에서 발생 열을 효율적으로 처리하기 위해서는 열 이송장치와 더불어 열 소산 장치의 개발이 필요하다. 전자기기 내 발열부위는 상대적으로 작은 면적의 hot spot 형태로 존재하게 되는 데, 열 소산을 위한 히트싱크 및 열이송을 위한 냉각소자를 부착하는 것으로만 열이 효율적으로 소산되지 못하며, 여기에는 hot spot의 작은 면적에서 상대적으로 넓은 면적으로의 급격한 전열면적 증가에 따른 열유동 저항을 감소시킬 수 있는 열 소산 장치의 설치가 필요하다.
그동안 열 소산 장치로써 많이 이용되어온 열전도성이 우수한 결정체(solid material)의 경우에 성능에 한계가 있어 고 열 유속 범위에서는 온접점(hot junction)과 냉접점(cold junction) 사이의 온도차가 크게 벌어진다. 근래 들어 열전도계수가 크게 향상된 결정체(solid material)를 사용하기도 하나 이것 역시 열성능에는 한계가 있다. 이와 달리, 열 소산 장치로써 히트파이프 방식이 자주 고려되고 있으며, 이는 열 성능이 우수하고 가격 또한 비싸지 않아 그 효용성이 높다고 할 수 있다.
다만, 히트파이프 방식은 높은 열 성능에도 불구하고, 좁은 전자 패키지 구 조 등과 같이 설치공간이 거의 없는 경우에 초소형 및 초박형으로 제조가 되어야 한다. 이러한 경우에 원형 타입의 히트파이프를 압착하여 사용할 수도 있으나, 당초 얇은 박형 구조의 히트파이프로 설계되지 못한 경우에 그 열성능은 크게 감소한다.
이에 따라, PC와 휴대 전화와 같은 전자 장치에서 발생할 수 있는 열을 높은 성능으로 소산할 수 있는 열소산 장치가 필요하게 되었다. 또한, PC나 휴대전화와 같은 전자 장치의 소형화에 따라 소형 제작이 가능할 뿐만 아니라 경량의 간단한 구조의 열소산 장치의 개발이 필요하게 되었다.
상기와 같은 필요를 충족시키기 위해, 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 액체를 기화하는 하부 플레이트; 상기 하부플레이트의 상면에 결합되고, 상기 하부 플레이트에서 기화된 증기가 통과할 수 있는 통로와 응축된 유체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 통로를 별개로 형성하는 중간 플레이트; 및 상기 중간 플레이트의 상면에 결합하고, 상기 기화된 증기를 응축하는 상부 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 평판형 열소산 장치는 상부면의 중앙부와 가장자리가 단차를 이루고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상기 상부면에 형성되어, 하부에 위치하는 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상부면의 중앙부에 대응하는 위치에 기화된 증기가 통과하는 통로를 형성하고, 상기 복수 그루브의 일방향에 직각되는 방향으로 상기 하부 플레이트의 가장자리에 대응하는 위치에 응축된 액체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 액체 유동 통로를 형성하여 상기 하부 플레이트의 상면에 결합하는 중간 플레이트; 상기 중앙 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 액체 유동 통로에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
다른 한편으로, 상기 필요를 충족하기 위한 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 상부면의 중앙부와 가장자리가 단차를 이루고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상기 상부면에 형성되어, 하부면의 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트; 및 상기 하부 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 하부 플레이트의 가장자리에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
마지막으로, 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상부면의 가장자리 안으로 형성되고, 하부면의 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트에서 기화된 증기가 통과하는 통로를 형성하고, 응축된 액체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 액체 유동 통로가 상기 복수의 그루브의 방향에 직각하는 방향으로 중간 부분에 형성되어 상기 하부 플레이트의 상면에 결합하는 중간 플레이트; 및 상기 중앙 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 액체 유동 통로에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 평판형 열소산 장치는 밀폐된 공간의 상부 및 하부 플레이트의 그루브 단면의 모서리가 날카롭게 형성된 다채널 형태의 모세관 구조로 이루어져 모세관력을 크게 향상시켜 증발과 응축의 순환 과정을 활발하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 하부 플레이트의 2 단 모세관 구조에 의해 다른 구조물을 제작할 필요없이 증기 기포의 역류를 방지할 수 있고, 상부, 중간, 하부 플레이트에 형성된 브리지를 통해 진공상태에서 발생하는 압착 가능성을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 필요에 따라 그 크기를 조절할 수 있어 다양한 분야에 적용할 수 있는 효과가 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시예를 상세히 설명한 다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 동작 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
도 1 은 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 1 실시예를 나타내는 도면이다.
본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 상부 플레이트(100), 중간 플레이트(200) 그리고 하부 플레이트(300)가 결합하여 밀폐된 구조로 이루어진다. 이렇게 밀폐된 열소산 장치의 내부에 작동유체가 주입되고, 상변환 열전달 방법에 의해 하부 플레이트(300)의 증발부와 상부 플레이트(100)의 응축부 사이에 열교환이 이루어진다.
구체적으로, 하부 플레이트(300)는 발열소스로부터 전달되는 열을 이용해 작동유체(이하, 액체라 한다.)를 기화하여 증발시킨다. 이렇게 기화되어 증발된 증기는 중간 플레이트(200)에 형성되어 있는 증기 유동 통로(210)를 통해 상부 플레이트(100)로 전달되고, 증발된 증기는 상부 플레이트(100)에서 액체로 응축되어 다시 하부 플레이트(300)로 전달되어 발열소스의 열을 상부 플레이트(100) 외부로 발산한다. 이러한 동작을 수행하는 각각의 구성요소에 대한 상세한 설명은 열이 전달되는 순서에 따라 설명한다.
하부 플레이트(300)의 상부면에는 액체가 고르게 분포하여 쉽게 증발될 수 있도록 증발 공간이 형성되어 있다. 여기서, 증발 공간은 액체를 기화하여 증발하는 증발부의 공간적 개념으로 볼 수 있다. 증발 공간은 하부 플레이트(300)의 가장자리를 제외한 중간 부분이 소정의 깊이로 빈 공간을 형성하여 만들어진다. 증발 공간은 발열소스에 의해 전달되는 열을 이용해 액체를 증발시킨다.
하부 플레이트(300)의 증발 공간에는 진공에 의해 압착되는 것을 방지하기 위한 브리지가 형성된다. 브리지는 양 측면의 가장자리를 연결하는 구조로 형성된다. 구체적으로, 하부 플레이트(300)의 상부면의 중앙부는 압입방식에 의해 형성되고, 다채널 모세관 구조의 그루브는 레이즈 가공에 의해 형성된다.
또한, 증발 공간에는 복수의 그루브(groove)로 형성된 다채널 모세관 구조가 형성된다. 이러한 다채널 모세관 구조가 증발부로의 액체 귀환을 위한 모세관력을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 여기서, 그루브는 일방향으로 형성된 홈을 말한다. 홈의 단면, 즉 그루브의 단면은 원형을 포함해 삼각, 사각 등의 다각 단면 형상을 가질 수 있고, 복수의 그루브는 일정한 간격 없이 나열되거나 혹은 일정한 간격을 두고 나열될 수 있다. 다만, 모세관력을 증가하기 위해 그루브의 간격을 조밀하게 하는 것이 바람직하다.
또한, 다채널 모세관 구조는 적어도 하나 이상의 단차를 가지도록 형성하는 것이 바람직하다. 도 1에서는 증발 공간에 2 단의 다채널 모세관 구조를 하나의 실시예로 도시하고 있다. 2 단 구조는 증발 공간의 가장 자리가 중간보다 높게 형성되어 상단부(320)와 하단부(310)로 이루어진다. 여기서, 각각의 그루브는 상단부와 하단부에 걸쳐 홈이 형성된 구조로 이루어지고 상단부(320)의 상부면에는 중간 플레이트(200)의 액체유동통로가 위치하도록 한다. 그 결과, 액체유동통로(220)을 통해 하부 플레이트(300)로 다시 전달된 액체는 상단부(320)를 타고 상기 하단부(310)로 이동하고, 결국, 증발부의 전체 면적에 고루 퍼지게 된다. 그리고, 이러한 2단의 모세관 구조는 증기의 역류현상을 방지할 수 있는 효과가 있어, 별도의 구조물 제작이 필요 없는 효과가 있다.
중간 플레이트(200)는 하부 플레이트(300)와 상부 플레이트(100) 사이에서 증기와 액체를 통과시키는 역할을 한다. 이를 위해, 중간 플레이트(200)는 하부 플레이트(300)의 증발 공간의 하단부(310)에 대응하는 위치에 증발된 증기가 통과할 수 있는 증기유동통로(210)를 형성하고, 상기 증발 공간의 상단부(320)에 대응하는 위치에 응축된 액체가 통과할 수 있도록 액체유동통로(220)를 형성한다. 또한, 하부 플레이트(300) 및 상부 플레이트(100)의 브리지에 대응하는 위치에 브리지(230)를 형성한다. 중간 플레이트(200)는 상부 플레이트(100)를 지지하고, 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(300)를 이격하는 역할을 하지만, 경우에 따라서 상부 플레이트(100) 혹은 하부 플레이트(300)에서 그 역할을 할 수 있다.
상부 플레이트(100)은 하부 플레이트(300)에서 기화된 증기를 응축시킨다. 이를 위해, 상부 플레이트(100)의 하부면은 하부 플레이트(300)와 같이 일방향의 복수의 그루브에 의해 다채널 모세관 구조를 가진다. 이러한 모세관 구조가 형성되 는 구간이 증기가 응축되는 공간이고, 이를 응축부라 한다. 이러한 다채널 모세관 구조는 응축된 액체의 빠른 유동을 가능하게 한다.
또한, 상부 플레이트(100)의 응축부의 양 측면에는 복수의 그루브의 일방향과 직각이 되는 방향으로 액체 집결 그루브(120)가 형성된다. 따라서, 다채널 모세관 구조의 그루브에서 응축된 액체는 액체 집결 그루브(120)로 모이고, 이렇게 모인 액체는 중간 플레이트(200)의 액체 유통 통로(220)를 통해 하부 플레이트(300)로 이동한다. 다만, 상부 플레이트(100)에 형성되는 그루브의 단면은 하부 플레이트(300)와 마찬가지로 원형을 포함해 삼각, 사각 등의 다각 단면 형상을 가질 수 있다. 또한, 그루브 사이의 간격은 일정한 간격으로 형성될 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.
추가적으로, 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치는 상부 플레이트(100), 중간 플레이트(200) 및 하부 플레이트(300)가 결합하여 밀폐된 구조를 이루고, 이 밀폐된 공간의 내부에 작동 유체를 주입하기 위해 상부 플레이트(100), 중간 플레이트(200) 및 하부 플레이트(300) 중 적어도 하나에 작동 유체를 주입할 수 있는 주입구를 형성한다.
또한, 도 1에서는 상부 플레이트(100), 중간 플레이트(200) 및 하부 플레이트(300)가 결합한 구조에 대하여 설명하고 있지만, 경우에 따라서, 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(300)가 직접결합하는 구조로 이루어질 수 있다.
상기와 같은 구조에 의해 본 발명의 열소산 장치는 다음과 같은 과정을 통해 발열소스의 발열을 줄이는 역할을 수행한다. 발열소스를 통해 하부 플레이트(300)에 전달된 열은 액체를 기화시켜 잠열 형태로 변하고, 압력차에 의해 중간 플레이트(200)의 증기 유통 통로(210)를 통해 상부 플레이트(100)에 전달된다. 이렇게 전달된 증기는 상부 플레이트(100)의 응축부에서 열을 발산하여 응축한다. 마지막으로,이렇게 응축된 액체는 액체 유통 통로(220)를 통해 다시 하부 플레이트(300)에 전달된다. 이러한, 루프 형태의 순환과정을 통해 발열소스의 열은 상부 플레이트(100) 밖으로 방출된다.
도 2 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 2 실시예를 나타내는 도면이다.
도 2 는 도 1 의 열소산 장치와 같이 상부 플레이트(100), 중간 플레이트(200) 및 하부 플레이트(300)가 결합하여 밀폐된 구조로 되어 있다. 이러한 밀폐된 구조의 열소산 장치에 작동 유체가 주입되고, 도 1에서 설명한 바와 같은 상변환에 의한 열전달에 의해 하부 플레이트(300)의 증발 부분과 상부 플레이트(100)의 응축 부분 사이의 열교환이 이루어진다.
다만, 도 2 는 내부 진공상태에서 압착을 방지하기 위한 브리지가 1 개가 아니라 직각하는 방향으로 2 개가 형성된다. 즉 하부 플레이트(300)의 증발 공간에 직각하는 2 개의 브리지가 형성되고, 상부 플레이티트(100) 및 중간 플레이트(200) 에도 하부 플레이트(300)의 2 개의 브리지에 대응하는 위치에 2 개의 브리지가 형성된다.
도 3 은 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 3 실시예를 나타내는 도면이다.
도 3 은 기본적으로 도 1 과 동일한 과정을 통해 발열소스의 열을 상부 플레이트 외부로 방출한다. 다만, 상부 플레이트(100) 및 하부 플레이트(200)의 모세관 구조가 일방향의 그루브에 의해 형성되는 것이 아니라 이에 추가하여 직각하는 방향으로 그루브가 하나 더 형성된다.
이에 따라. 상부 플레이트(100)는 응축된 액체를 모으는 액체 집결 그루브(120)가 새롭게 형성된 그루브의 방향에 직각하는 방향으로 2 개가 더 형성된다. 따라서, 도 2에서는 응축된 액체는 상부 플레이트의 사각형 측면에 형성된 액체집결그루브로 집결된다.
또한, 상부 플레이트(100)에 새롭게 형성된 액체집결그루브에 대응하는 위치에 중간 플레이트(200)는 액체 유동 통로(220)를 추가적으로 형성하고, 하부 플레이트(320)는 2 단 구조의 상단부를 더 형성한다.
도 4 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 4 실시예를 나타내는 도면이다.
도 4 는 도 1, 2, 3 의 실시예와 달리 하부 플레이트(300)의 모세관 구조의 그루브 대신에 별도의 모세관 역할을 수행할 수 있는 구조를 삽입한 실시예를 나타낸다.
여기서, 삽입되는 구조물은 wick 형태이며, 이에 따라 하부 플레이트의 바닥면에 접하는 부분에는 상대적으로 조밀한 소결 wick를 형성되며, 상부 플레이트에는 상부 플레이트 보다 성긴 소결 wick가 형성된다.
도 5 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 5 실시예를 나타내는 도면이다.
도 5 는 앞서 설명한 실시예들과 달리, 상부 플레이트(100)의 액체 집결 그루브(120)와 중간 플레이트(200)의 액체 유동 통로(220) 그리고 하부 플레이트(230)의 모세관 구조의 상단부를 가장 자리가 아니라 중간 부분에 일방향으로 형성되도록 하는 실시예를 나타낸다.
이에 따라, 상부 플레이트(100)로부터 하부 플레이트(300)로 전달된 액체는 하부 플레이트(300)의 상단부(320)로부터 양측면의 모세관 구조의 그루브에 퍼져 증발한다.
그리고, 상부 플레이트(100)로 증발된 증기는 응축되어 중간 부분의 액체 집결 그루브(120)로 집결한다. 그리고 중간 플레이트(200)에는 액체 집결 그루브(120) 및 하부 플레이트(300)의 상단부에 대응하는 위치에 액체가 흐를 수 있는 액체 유동 통로를 형성한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자에게 있어 명백할 것이다.
도 1 은 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 1 실시예를 나타내는 도면이다.
도 2 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 2 실시예를 나타내는 도면이다.
도 3 은 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 3 실시예를 나타내는 도면이다.
도 4 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 4 실시예를 나타내는 도면이다.
도 5 는 본 발명에 의한 평판형 열소산 장치의 제 5 실시예를 나타내는 도면이다.

Claims (20)

  1. 그루브로 형성된 다채널의 모세관 구조로 이루어지고, 상기 다채널 모세관 구조는 적어도 하나 이상의 단차를 형성하며, 하부에 위치하는 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트;
    상기 하부플레이트의 상면에 결합되고, 상기 하부 플레이트에서 기화된 증기가 통과할 수 있는 통로와 응축된 유체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 통로를 별개로 형성하는 중간 플레이트; 및
    상기 중간 플레이트의 상면에 결합하고, 그루브로 형성된 다채널의 모세관 구조로 이루어지며, 상기 그루브로 형성된 다채널의 모세관 구조에서 응축된 액체가 모이는 액체 집결 그루브를 형성하는 상부 플레이트를 포함하는 평판형 열소산 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는 중앙 부분에 진공에 의한 압착을 방지하기 위한 브리지를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 중간 플레이트는
    상기 액체 집결 그루브에 대응하는 위치에 상기 유체가 흐를 수 있는 통로를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는 압착을 방지하기 위한 브리지를 형성하고, 상기 중간 플레이트 및 상기 상부 플레이트는 상기 브리지에 대응하는 위치에 각각 브리지를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 장치는 밀폐되어 진공상태인 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 하부플레이트는
    상부면이 소결 윅(wick), 섬유 윅(wick), 스크린 메쉬 윅(screen mesh wick), 파인 섬유 윅(fine fiber wick) 및 우븐 와이어 윅(woven wire wick) 중 적어도 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  11. 상부면의 중앙부와 가장자리가 단차를 이루고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상기 상부면에 형성되어, 하부에 위치하는 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트;
    상기 하부 플레이트의 상부면의 중앙부에 대응하는 위치에 기화된 증기가 통과하는 통로를 형성하고, 응축된 액체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 액체 유동 통로를 형성하여 상기 하부 플레이트의 상면에 결합하는 중간 플레이트;
    상기 중간 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 액체 유동 통로에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 평판형 열소산 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는 압착을 방지하기 위한 브리지를 중앙부에 형성하고, 상기 중간 플레이트 및 상기 상부 플레이트도 상기 브리지에 대응하는 위치에 브리지를 형성하는 것을 특징으로 하는 상부 플레이트를 포함하는 평판형 열소산 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 복수의 그루브가 상기 일방향과 직각되는 방향으로 더 형성되는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는 상기 더 형성된 복수의 그루브에 직각하는 방향으로 액체 집결 그루브를 더 구비하고,
    상기 중간 플레이트는 상기 액체 집결 그루브에 대응하는 위치에 액체 유동 통로를 더 형성하는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트의 복수의 그루브 사이의 간격은 상기 상부 플레이트의 복수의 그루브 사이의 간격보다 더 조밀한 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트의 복수의 글루브는 상기 액체 유동 통로에 대응하는 위치까지 형성되는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트의 상부면의 중앙부는 압인방식에 의해 형성되고, 상기 다채널 모세관 구조의 그루브는 레이저(Laser) 가공에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  18. 상부면의 중앙부와 가장자리가 단차를 이루고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상기 상부면에 형성되어, 하부면의 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트;
    상기 하부 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 하부 플레이트의 가장자리에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 평판형 열소산 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는 중앙부에 압착을 방지하는 브리지를 형성하고, 상기 상부 플레이트는 이에 대응하는 위치에 브리지를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판형 열소산 장치.
  20. 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 상부면의 가장자리 안으로 형성되고, 하부면의 발열소스의 열에 의해 액체를 기화하는 하부 플레이트;
    상기 하부 플레이트에서 기화된 증기가 통과하는 통로를 형성하고, 응축된 액체가 상기 하부 플레이트로 흐를 수 있는 액체 유동 통로가 상기 복수의 그루브의 방향에 직각하는 방향으로 중간 부분에 형성되어 상기 하부 플레이트의 상면에 결합하는 중간 플레이트;
    상기 중간 플레이트의 상면에 결합하고, 일방향의 복수의 그루브로 형성된 다채널 모세관 구조가 하부면에 형성되고, 상기 그루브에서 응축된 증기가 집결할 수 있는 응축 집결 그루브가 상기 복수 그루브의 직각되는 방향으로 상기 액체 유동 통로에 대응하는 위치에 형성되는 상부 플레이트를 포함하는 평판형 열소산 장치.
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