KR100916379B1 - Method of Manufacturing Cathode Pad for Organic Electroluminescence Device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 관한 것으로, 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드을 연결하기 위하여, 실면부위에 보조전극을 형성하고, 또한 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법(electron beam evaporation)에 의해 증착가능한 물질로 형성함으로써, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄여 전력소모를 줄이고 전류량에 관계없이 캐소드 라인 간의 상대적인 전압차이도 줄여 라인 간의 휘도 차이를 없앨 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a cathode pad of an organic electroluminescent device, and in order to connect a cathode inner part cathode pad and an outer part cathode pad to seal the organic electroluminescent device, When the auxiliary electrode is formed, and the auxiliary electrode is formed of a material having the same or smaller sheet resistance as the material used for the cathode of the organic electroluminescent device and capable of being deposited by electron beam evaporation, the organic electroluminescent device is driven. By reducing the voltage difference due to the resistance, power consumption is reduced, and the relative voltage difference between the cathode lines is also reduced regardless of the amount of current, thereby eliminating the luminance difference between the lines.
Description
도 1은 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도.1 is a schematic diagram for explaining a cathode pad configuration of a general organic electroluminescent device.
도 2는 본 발명에 따른 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 사용되는 마스크를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing a mask used when manufacturing a cathode pad of an organic electroluminescent device according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
10 : 캐소드 라인10: cathode line
12 : 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드12: inside area of the seal surface cathode pad
14 : 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드 14: surface outer portion cathode pad
16 : 보조전극16: auxiliary electrode
20 : 실면 부위20: surface part
100 : 마스크100: mask
본 발명은 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드를 연결하기 위하여, 실면부위에 위치하는 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법(electron beam evaporation)에 의해 증착가능한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 캐소드 패드 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a cathode pad of an organic electroluminescent device, and more particularly to connecting a cathode inner surface cathode pad and an outer surface cathode pad to seal the organic electroluminescent device. In order to fabricate a cathode pad, the auxiliary electrode positioned on the actual surface portion is formed of a material which can be deposited by electron beam evaporation with the same or smaller sheet resistance as the material used for the cathode of the organic electroluminescent device. It is about a method.
도 1은 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도로서, 캐소드 라인(10)에 연장되어 형성된 실면 안쪽 부위 캐소드 패드(12), 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14) 및 이들을 연결하는 것으로 실면 부위(20)에 위치하는 보조전극(16)으로 이루어지는 캐소드 패드를 도시한다.FIG. 1 is a schematic view illustrating a cathode pad configuration of a general organic electroluminescent device, wherein the inner surface
종래에는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 유기 전기발광 소자를 밀봉하고 있는 실면의 안쪽 부위 캐소드 패드(12)와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)를 연결하는 보조전극(16), 및 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)를 면저항이 캐소드로 사용되는 물질보다 큰 크롬(Cr)을 사용하여 패터닝하는 방법으로 형성하였다.Conventionally, when manufacturing the cathode pad of the organic electroluminescent device, the
상기 종래기술에 따른 크롬의 패턴 형성과정은 다음과 같다.The pattern formation process of chromium according to the prior art is as follows.
먼저, Cr/ITO 기판에 포지티브 포토레지스트를 도포한 후, 포토마스크를 이용하여 크롬이 형성되어야 하는 부분만 노광이 되지 않도록 하고, 크롬이 제거되어야 하는 부분만 노광이 되게 한후, 현상액을 사용하여 포토레지스트를 제거함으로써 노광된 부분의 크롬만 드러나게 한다. 그 다음, 상기 결과물을 크롬 식각액에 담그어 포토레지스트에 의해 보호받고 있는 부분의 크롬은 남게 하고, 노광 및 현 상에 의해 포토레지스트가 제거된 부분의 크롬만 에칭에 의해 제거가 되도록 한다.First, after the positive photoresist is applied to the Cr / ITO substrate, only a portion where chromium should be formed is exposed by using a photomask, and only a portion where chromium should be removed is exposed, and then a photo using a developer is used. By removing the resist, only the exposed chromium is exposed. The resultant is then immersed in the chromium etchant to leave the chromium in the portion protected by the photoresist, and to remove only the chromium in the portion where the photoresist has been removed by exposure and development.
마지막으로, 포토레지스트 세정액을 사용하여 크롬 위에 있는 포토레지스트를 제거하면 원하는 부분에만 크롬을 형성할 수 있는 것이다.Finally, by removing the photoresist on chromium using a photoresist cleaning solution, chromium can be formed only in the desired portion.
반면, 캐소드 라인(10)으로는 상기 크롬보다 면저항이 작은 알루미늄(Al) 등의 물질을 사용하였다.On the other hand, as the
종래에 상기와 같이 보조전극(16) 물질로서 면저항이 큰 크롬을 사용한 이유는, 알루미늄을 이용하여 패턴을 형성하는 경우에는 이후 공정에서 절연막 패턴을 형성할 때 사용되는 현상액에 의해 전극으로 형성된 알루미늄이 손상 또는 벗겨지는 현상이 나타나기 때문이다.Conventionally, chromium having a large sheet resistance as a material of the
이러한 경우, 캐소드 패드 쪽의 높은 저항으로 인한 전압강하 때문에 유기 전기발광 소자 구동시 고전류가 흐르는 쪽이 상대적으로 더 큰 전압강하를 일으키므로 휘도가 떨어지는 현상이 나타나게 된다. In this case, due to the voltage drop due to the high resistance of the cathode pad side, the higher current flows when the organic electroluminescent device is driven, causing a relatively larger voltage drop, resulting in a drop in luminance.
예를 들어, 백색화면만 나타나는 캐소드 라인과 검은색을 나타내는 부분이 포함된 캐소드 라인을 비교하였을 때 백색화면 쪽이 상대적으로 전류가 더 많이 흐르게 되어 더 큰 전압강하로 인해 휘도가 더 떨어져 보이는 문제점이 있었다.For example, when comparing the cathode line where only the white screen is displayed and the cathode line including the black part, the white screen has more current flowing and the luminance is lowered due to the larger voltage drop. there was.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄이기 위하여 캐소드 패드 형성시 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전기빔 증착방법에 의해 증착가능한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 캐소드 패드 제 조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in order to reduce the voltage difference according to the resistance when driving the organic electroluminescent device, the auxiliary electrode when forming the cathode pad has the same or smaller sheet resistance as the material used for the cathode of the organic electroluminescent device. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a cathode pad, which is formed of a material which can be deposited by an electric beam deposition method.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드를 연결하기 위하여, 실면 부위에 보조전극을 형성하는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 있어서, 상기 보조전극은, 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, an organic electroluminescent device for forming an auxiliary electrode on the surface portion in order to connect the seal surface inner region cathode pad and the seal surface outer region cathode pad for sealing the organic electroluminescent device In the method of manufacturing a cathode pad (cathode pad), the auxiliary electrode is characterized in that formed of a material having the same or smaller sheet resistance than the material used for the cathode of the organic electroluminescent device.
또한, 본 발명에 따른 캐소드 패드 제조방법은 상기 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질이 Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al/Li 및 Al/Cu로 이루어진 군으로부터 선택되는 것과,In addition, the method for manufacturing a cathode pad according to the present invention is a group consisting of Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al / Li and Al / Cu having the same or smaller sheet resistance as the material used for the cathode of the organic electroluminescent device. Selected from
상기 보조전극은 전자빔 증착방법으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The auxiliary electrode may be formed by an electron beam deposition method.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention.
도 1은 전술한 바와 같이 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도로서, 캐소드 라인(10)에 연장되어 형성된 실면 안쪽 부위 캐소드 패드(12), 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14) 및 이들을 연결하기 위하여, 실면 부위(20)에 위치하는 보조전극(16)으로 이루어지는 캐소드 패드를 도시한다.FIG. 1 is a schematic view for explaining a cathode pad configuration of a general organic electroluminescent device as described above, wherein the inner surface
본 발명에서는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 유기 전기발광 소자를 밀봉하고 있는 실면의 안쪽 부위 캐소드 패드(12)와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)를 연결하기 위하여, 실면에 보조전극(16)을 형성하고, 또한 보조전극(16)을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로 형성한다.In the present invention, when manufacturing the cathode pad of the organic electroluminescent device, in order to connect the
이때, 상기 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로는 Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al/Li 또는 Al/Cu을 사용하는 것이 바람직하고, 상기 보조전극은 전자빔 증착방법으로 형성하는 것이 바람직하다. In this case, it is preferable to use Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al / Li or Al / Cu as the material having the same or smaller sheet resistance as the material used for the cathode of the organic electroluminescent device, and the auxiliary electrode It is preferable to form by the electron beam evaporation method.
도 2는 본 발명에 따라 캐소드 패드를 제조할 때에 사용되는 마스크를 나타내는 단면도로서, 보조전극(16)이 전자 빔 증착 방법에 의해 증착되는 부위인 "A"가 형성되어 있는 마스크(100)를 도시한다.FIG. 2 is a cross-sectional view showing a mask used when fabricating a cathode pad according to the present invention, showing a
본 발명에서는 전자빔이 캐소드 물질에 충격을 가함으로써, 전자빔의 충격에 의해 떨어져 나온 캐소드 물질의 원자들이 기판으로 이동하게 되어, 도 2에서와 같이 마스크의 오픈된 부분인 "A"에만 캐소드 물질이 증착됨으로써 보조전극(16)이 형성되는 것이다.In the present invention, when the electron beam impacts the cathode material, atoms of the cathode material separated by the impact of the electron beam move to the substrate, so that the cathode material is deposited only on the open portion "A" of the mask as shown in FIG. As a result, the
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 캐소드 패드 형성시 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법에 의해 증착가능한 물질로 형성함으로써, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄여 전력소모를 줄이고, 전류량에 관계없이 캐소드 라인 간의 상대적인 전압차이도 줄여 라인 간의 휘도 차이를 없앨 수 있다.As described above, in the present invention, when the cathode pad is formed, the auxiliary electrode is formed of a material which is equal to or smaller than the material used for the cathode of the organic electroluminescent device and can be deposited by an electron beam deposition method, thereby driving the organic electroluminescent device. It can reduce the power consumption by reducing the voltage difference according to the time resistance and also reduce the relative voltage difference between the cathode lines regardless of the amount of current, thereby eliminating the luminance difference between the lines.
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