KR100912639B1 - 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의정비 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스캐닝 RMS(rotary mirror scanner)를 정비할 때 스캐닝 모터(scanning motor)를 교체하지 않고 정비하여 다시 사용할 수 있게 하여 정비에 RMS의 정비에 소요되는 비용을 절감할 수 있게 한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 관한 것이다.

이러한 본 발명의 콘형 공기동압베어링을 갖는 스캐닝 모터(scanning motor)의 정비 방법은 일측이 개방된 하우징의 내부에 설치되고, 외부에 다면경이 형성된 회전자와, 상기 회전자의 중심을 관통하여 설치된 고정자축을 갖는 고정자와, 상기 하우징의 양단에 설치되어 고정자축의 양단을 고정 지지하고, 하우징의 내부를 밀폐시키는 상, 하부커버와, 상기 커버를 하우징에 고정시키는 C링과, 상기 고정자에 연결된 전선 및 상기 고정자의 외주면에 상기 회전자를 회전되게 고정시키는 콘형 공기동압베어링을 포함하여 구성된 모터조립체를 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 있어서, 상기 하우징의 양단에 설치된 C링을 분리하고 상부커버를 하우징으로부터 분리하고, 상기 고정자축의 상부커버측 단부로부터 연장된 전선을 분리하는 커버 분리단계와 ; 하우징으로부터 모터조립체를 분리하고, 모터조립체의 고정자축의 일측에 고정된 하부커버를 고정자축으로부터 분리하는 모터조립체 분리단계와 ; 모터조립체의 고정자축으로부터 콘형 공기동압베어링을 구성하는 콘형내륜을 분리하고, 회전자로부터 콘형외륜을 분리하는 콘형 공기동압베어링 분리단계와 ; 다면경을 갖는 회전자의 양단에 각각 정비된 콘형외륜을 고정시키고, 고 정자축에는 정비된 콘형내륜을 억지끼움하여 고정시키는 모터조립체 재조립단계와 ; 조립된 모터조립체를 시험용 챔버의 내부에서 시험하는 동작시험단계와 ; 상기 모터조립체의 고정자축의 일측 단부에 하부커버를 조립한 후 하우징의 내부에 모터조립체를 삽입하고 전선을 연결하며, 상기 하부커버의 바깥쪽에 C링을 끼워 고정시키는 모터조립체 조립단계와 ; 진공상태에서 20시간내지 30시간동안 방치하여 모터조립체로부터 이물질을 분리하는 베이크아웃(bake-out)단계와 ; 하우징의 일측에 상부커버를 대면되게 한 후 C링를 끼워 고정시키는 상부커버조립단계와 ; 전선에 전원을 공급하여 조립된 모터조립체를 시험하는 최종 시험단계로 이루어짐을 특징으로 한다.

콘형 공기동압베어링, 원뿔, 접착제 도포, 밸런싱

Description

콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법{repair method of rotary mirror scanning motor supported by cone type aerodynamic bearings}

본 발명은 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 관한 것으로 스캐닝 RMS(rotary mirror scanner)를 정비할 때 스캐닝 모터(scanning motor)를 교체하지 않고 정비하여 다시 사용할 수 있게 하여 정비에 RMS의 정비에 소요되는 비용을 절감할 수 있게 한 콘형 공기동압베어링를 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 관한 것이다.

모터에는 많은 종류의 것이 있다.

이러한 모터들 중에는 선박용 자이로컴퍼스, 야포 조준용 및 측량용경위의(經緯儀), 사격조준기, 초분광 카메라 시스템, 열화상장비, 레이져 프린터 등 아주 미세한 조절을 요구하는 데 사용되는 RMS(rotary mirror scanner)에 사용되는 스캐닝 모터(scanning motor)가 있다.

이 스캐닝모터의 일예를 도 2에 단면으로 도시하였다.

도시한 바와 같이 스캐닝 모터는 회전자(600)의 중심을 관통하여 고정자(900)가 설치되어 있으며, 이 고정자(900)에 전기를 공급함으로서 바깥쪽의 회전 자(600)가 회전을 하도록 구성되어 있으며, 고정자(900)에 보다 안정적으로 회전자(600)가 결합된 상태에서 회전자(600)가 회전되도록 하기 위하여 원뿔 형상의 콘(cone)형베어링(500)이 고정자(900)와 회전자(600)의 접촉면에 설치되어 있다.

이렇게 구성된 콘형 공기동압베어링(500)은 상기 회전자(600)에 고정되고 원뿔 형상의 공간을 갖는 콘(cone)형 외륜(510)과, 회전자(600)에 고정되고 외주면이 원뿔형상으로 형성된 콘형내륜(520)으로 구성되어 있으며, 도 3에 도시한 바와 같이 콘형내륜(520)의 외주면에는 미세한 그루브(521)가 형성되어 있다.

이렇게 구성된 로터리 미러 스캐닝 모터는 장시간 사용할 경우 콘형 공기동압베어링(500)의 콘형내륜과 콘형외륜 사이에 틈이 생기고 이러한 틈은 회전자의 회전이 불안정하게 되어 정비를 하여야 한다.

그러나 현재 이러한 RMS(rotary mirror scanner)에 사용되는 스캐닝 모터(scanning motor)를 정비하는 기술이 없으며, 이에 따라 정비하여 다시 사용할 수 있음에도 불구하고 RMS를 정비할 때 모터를 교체하고 있으며, 이렇게 모터를 교체함에 따라 많은 비용이 소요되는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로 스캐닝 RMS(rotary mirror scanner)를 정비할 때 스캐닝 모터(scanning motor)를 교체하지 않고 정비하여 다시 사용할 수 있게 하여 정비에 RMS의 정비에 소요되는 비용을 절감할 수 있게 한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법을 제공함을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 콘형 공기동압베어링을 갖는 스캐닝 모터(scanning motor)의 정비 방법은 일측이 개방된 하우징의 내부에 설치되고, 외부에 다면경이 형성된 회전자와, 상기 회전자의 중심을 관통하여 설치된 고정자축을 갖는 고정자와, 상기 하우징의 양단에 설치되어 고정자축의 양단을 고정 지지하고, 하우징의 내부를 밀폐시키는 상, 하부커버와, 상기 커버를 하우징에 고정시키는 C링과, 상기 고정자에 연결된 전선 및 상기 고정자의 외주면에 상기 회전자를 회전되게 고정시키는 콘형 공기동압베어링을 포함하여 구성된 모터조립체를 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 있어서, 상기 하우징의 양단에 설치된 C링을 분리하고 상부커버를 하우징으로부터 분리하고, 상기 고정자축의 상부커버측 단부로부터 연장된 전선을 분리하는 커버 분리단계와 ; 하우징으로부터 모터조립체를 분리하고, 모터조립체의 고정자축의 일측에 고정된 하부커버를 고정자축으로부터 분리하는 모터조립체 분리단계와 ; 모터조립체의 고정자축으로부터 콘형 공기동압베어링을 구성하는 콘형내륜을 분리하고, 회전자로부터 콘형외륜을 분리하는 콘형 공기동압베어링 분리단계와 ; 다면경을 갖는 회전자의 양단에 각각 정비된 콘형외륜을 고정시키고, 고정자축에는 정비된 콘형내륜을 억지끼움하여 고정시키는 모터조립체 재조립단계와 ; 조립된 모터조립체를 시험용 챔버의 내부에서 시험하는 동작시험단계와 ; 상기 모터조립체의 고정자축의 일측 단부에 하부커버를 조립한 후 하우징의 내부에 모터조립체를 삽입하고 전선을 연결하며, 상기 하부커버의 바깥쪽에 C링을 끼워 고정시키는 모터조립체 조립단계와 ; 진공상태에서 20시 간내지 30시간동안 방치하여 모터조립체로부터 이물질을 분리하는 베이크아웃(bake-out)단계와 ; 하우징의 일측에 상부커버를 대면되게 한 후 C링를 끼워 고정시키는 상부커버조립단계와 ; 전선에 전원을 공급하여 조립된 모터조립체를 시험하는 최종 시험단계로 이루어짐을 특징으로 한다.

본 발명은 스캐닝 모터를 정비하여 다시 사용할 수 있음으로서 모터조립체를 교체하지않고 정비하여 다시 사용함으로서 RMS의 정비에 소요되는 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 스캐닝 모터를 정비하여 다시 사용함으로서 버려지는 스캐닝 모터의 수를 줄일 수 있으며, 이에 따라 버려진 스캐닝 모터에 의해 환경이 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과도 있다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.

본 발명에 따른 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법은 커버 분리단계(S1), 모터조립체 분리단계(S2), 콘형 공기동압베어링 분리단계(S3), 콘형 공기동압베어링 교체단계(S4), 동작시험단계(S5), 모터조립체 조립단계(S6), 베이크아웃(bake-out)단계(S7), 상부커버 조립단계(S8) 및 최종 시험단계(S9)를 포함하여 이루어진다.

이러한 과정에 의해 정비가 이루어지는 로터리 미러 스캐닝 모터는 이미 기 술분야에서 설명한 바와 같이 이미 개발되어 사용되고 있는 것이나 본 발명에 따른 정비방법에 대한 과정의 이해를 돕기 위해 간략하게 그 구성을 설명한다.

본 발명에 따른 정비 방법에 의해 정비되는 로터리 미러 스캐닝 모터는 일측이 개방된 하우징(100)의 내부에 설치되고, 외부에 다면경이 형성된 회전자(600)와, 상기 회전자(600)의 중심을 관통하여 설치된 고정자축(910)을 갖는 고정자(900)와, 상기 하우징(100)의 양단에 설치되어 고정자축(910)의 양단을 고정 지지하고, 하우징(100)의 내부를 밀폐시키는 상, 하부커버(210, 220)와, 상기 커버(210, 220)를 하우징(100)에 고정시키는 C링(211, 221), 상기 고정자(900)에 연결된 전선(300) 및 상기 고정자(900)의 외주면에 상기 회전자(600)를 회전되게 고정시키는 콘형 공기동압베어링(500)을 포함하여 구성된 모터조립체(10)를 구비하고 있다.

이렇게 구성된 로터리 미러 스캐닝 모터는 잦은 구동에 의해 상기 콘형 공기동압베어링(500)이 손상되어 회전자(600)가 정확한 위치에서 회전하지 못하므로 콘형 공기동압베어링(500)을 교체하는 것만으로 로터리 미러 스캐닝 모터가 정상적으로 구동될 수 있게 된다.

이러한 로터리 미러 스캐닝 모터를 정비하는 방법은 상기한 바와 같은 단계를 통해 이루어지고, 상기 커버분리단계(S1)는 하우징(600)의 양단에 고정된 커버들(210, 220)을 하우징(600)으로부터 분리하는 단계로서, 상기 하우징(100)의 양단에 설치된 C링(211, 221)을 분리하고 상부커버(210)를 하우징(100)으로부터 분리하고, 상기 고정자축(910)의 상부커버(210)측 단부로부터 연장된 전선(300)을 분리한 다.

상기의 단계(S1)에서 상부커버(210)는 도 2에 도시한 바와 같이 하우징(600)의 우측에 설치된 커버로서 하우징(600)의 폐쇄된 단부의 바깥쪽에 설치되어 하우징(600)으로부터 노출된 고정자축(910)의 단부를 보호하고 하우징(600)의 내부를 밀폐시키는 역할을 한다.

C링(211, 221)을 하우징(600)에 형성된 홈으로부터 분리하는 것으로서 상기 상부, 하부커버(210, 220)는 하우징으로부터 분리되나, 상기 하부커버(220)는 그 중앙이 상기 고정자축(910)의 일측 단부에 고정된 상태에 있게 된다.

즉, 상기 고정자축(910)의 일측 단부는 하우징(600)의 폐쇄된 단부에 형성된 구멍에 끼워져 고정되고, 다른쪽 단부는 상기 하부커버(220)의 내측에 형성된 홈에 끼워져 고정되어 회전하지 않고 고정된다.

상기 전선(300)은 상기 고정자축(910)의 중간 부분에 설치된 고정자(900)에 전원을 공급하기 위한 수단으로 조정자축(910)의 중심을 길이 방향으로 관통하여 형성된 구멍을 통하여 고정자(900)에 연결되며 단부에 다른 전선이 연장되어 연결되어 있으며, 이 연장된 전선을 분리하여 분해시 전선이 걸리는 것을 방지하였다.

상기와 같은 과정에 의해 커버가 분리되면 모조립체(10)은 하우징(600)의 내부에 끼워져 있는 상태가 되고, 상기 모터조립체 분리단계(S2)에서 이러한 모터조립체(10)를 하우징(600)으로부터 분리한다.

하우징(100)으로부터 모터조립체(10)를 분리한 후, 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측에 고정된 하부커버(220)를 고정자축(910)으로부터 분리한다.

상기 고정자축(910)에 고정된 하부커버(220)는 도 2에 도시한 바와 같이, 하부커버(220)의 내측에 형성된 플랜지부에 고정볼트(400)를 조임으로서 고정자축(910)에 고정되며, 이렇게 고정된 하부커버(220)는 상기 고정볼트(400)를 풀어줌으로서 고정자축(910)으로부터 분리된다.

상기 콘형 공기동압베어링 분리단계(S3)는 모터조립체(10)로부터 콘형내륜(520)을 분리하고, 회전자(600)로부터는 콘형외륜(510)을 분리하는 단계이다.

콘형 공기동압베어링(300)이 고정자축(910)과 회전자(600)로부터 분리되면 정비되거나 새로운 콘형 공기동압베어링(300)을 설치하는 콘형 공기동압베어링 교체단계(S4)를 수행한다.

이 콘형 공기동압베어링 교체단계(S4)는 전단계에서 분리된 콘형내륜(520)과 콘형외륜(510)을 고치거나 새로운 콘형내륜(520)과 콘형외륜(510)을 설치하는 단계로서 콘형외륜(510)은 다면경을 갖는 회전자(600)의 양단에 형성된 플랜지에 콘형외륜(510)의 가장자리에 형성된 플랜지를 대면되게 한 후 고정볼트 등의 고정수단으로 고정시킴으로서 조립이 되고, 콘형내륜(520)은 고정자축(910)에 억지끼움하여 고정된다.

이러한 과정에서 상기 콘형내륜(520)의 중앙에 형성된 축이 끼워지는 구멍과 고정자축(910)의 외주면 사이에 접착제를 도포하여 콘형내륜(520)이 고정자축(910)으로부터 분리되거나 축상으로 이동하는 것을 방지할 수 있으며, 접착제를 도포하기 위해 상기 콘형내륜(520)의 축 관통구멍의 가장자리에 홈을 형성할 수도 있다.

이러한 과정에서 상기 콘형내륜(520)이 끼워지는 깊이를 조절함으로서 콘형 내륜(520)과 콘형외륜(510) 사이의 간격을 조절한다.

위와 같은 과정에 의해 조립된 모터조립체(10)는 시험용 챔버의 내부에서 구동시켜 정상 여부를 검사하는 동작시험단계(S5)를 통하여 정상적으로 정비가 이루어졌는 지 여부를 확인한다.

이때 시험용 챔버의 내부는 로터리 미러 스캐닝 모터의 하우징과 같은 분위기를 만들어주어야 함으로서 기압은 1/4기압이고, 헬륨 가스가 채워져 있으며, 모터조립체(10)의 고정자축(910)을 챔버의 내부에 설치된 소정의 고정수단에 고정시킨 후 전선에 전원을 인가하여 구동상태를 점검한다.

시험을 마친 모터조립체(10)는 모터조립체 조립단계(S6)를 수행하여 하우징(600)의 내부에 조립된다. 즉, 상기 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측 단부에 하부커버(220)를 조립한 후 하우징(100)의 내부에 모터조립체(10)를 삽입하고 전선(300)을 연결하며, 상기 하부커버(220)의 바깥쪽에 C링(221)을 끼워 고정시킨다.

이렇게 모터조립체가 하우징(600)의 내부에 삽입된 상태에서 커버를(210, 220)은 하우징(600)에 고정되지 않은 상태이고, 이렇게 커버들(210, 220)이 하우징(600)에 조립되지 않은 상태에서 베이크-아웃(bake-out)단계(S7)를 수행한다.

이 베이크-아웃단계(S7)는 위와 같은 과정에 의해 정비된 모터조립체(10)의 표면에 묻어있는 이물질을 제거하기 위한 과정으로서, 진공상태에서 20시간내지 30시간동안 방치한다.

이물질이 제거된 모터조립체(10)는 하우징(600)의 내부에 견고하게 고정되어야 하며, 이를 위해 하우징(100)의 일측에 상부커버(210)를 대면되게 한 후 C링(221)을 끼워 고정시키고, 하부커버(220)의 바깥쪽에도 C링(220)을 끼워 하부커버(220)가 고정시킨다(S8).

물론 이때 상부커버(210)를 고정시키기 전에 전선(300)을 연결하여야 한다.

이러한 커버조립단계(S8)는 밀폐된 챔버의 내부에서 이루어지며, 챔버 내부에는 헬륨이 채워져 있고, 기압은 1/4기압 정도를 유지하고 있다.

즉, 상기와 같은 과정으로 이루어진 정비 방법에 있어서, 상기 동작시험단계(S5)와 커버조립단계(S8)는 헬륨이 채워진 공간의 내부에서 수행함으로서 로터리 미러 스캐닝 모터의 작동 조건에 맞추어진 공간에서 시험이 이루어질 수 있고, 조립이 이러한 조건에서 이루어짐으로서 정비가 완료된 로터리 미러 스캐닝 모터의 하우징 내부가 통상의 로터리 미러 스캐닝 모터의 하우징 내부와 같은 조건을 이루게 된다.

조립이 완료된 로터리 미러 스캐닝 모터는 최종 시험단계(S10)를 통해 정상 구동여부를 시험한다.

상기와 같은 과정으로 수행되는 정비 과정에서 상기 모터조립체 분리단계(S2)를 수행하기 전에 회전자(600)의 외주면에 형성된 다면경을 보호하기 위해 보호커버를 덮는다. 회전자(600)의 외주면에 형성된 다면경은 작은 흠에도 제 기능을 수행할 수 없으므로 이러한 다면경을 보호하기 위해 보호커버를 덮은 상태에서 작업을 하고 모터조립체(10)를 하우징(600)의 내부에 설치하기 전에 벗겨낸다.

또한, 상기 동작시험단계(S5)를 수행하기 전에 상기 회전자(600)의 밸런싱 단계(S41)를 수행하여 편심이나 무게 중심이 고정자의 중심으로부터 벗어나지 않게 함으로 정숙운전이 되도록 한다.

상기 밸런싱 단계(S41)는 영향계수 메트릭스와 초기진동 메트릭스를 이용하여 불균형 메트릭스를 구하는 방법인 영향계수법에 의해 이루어지며, 이러한 밸런싱 단계(S41)에서는 챔버 내부에 설치된 RPM게이지(도시하지 않음)를 이용하여 회전속도를 감지하여 조절하고, 레이저센서(도시하지 않음)를 이용하여 빛을 조사하면서 회전자의 진동을 측정하고 불균형을 이루는 부분을 깍아 내어 균형을 이루게 한다.

또한, 상기 최종시험단계(S10)를 수행하기 전에 하우징(600)의 내부에 모터 조립체(10)가 조립되고, 두 개의 커버(210, 220)가 결합된 상태에서 하우징이 밀폐되었는 지 여부를 검사하는 누출검사 단계(S9)를 수행하여 하우징(600)의 밀폐 상태를 점검한다.

도 1은 본 발명에 따른 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법을 설명하기 위한 과정도이고,

도 2는 로터리 미러 스캐닝 모터의 일예를 도시한 단면도이고,

도 3은 통상의 로터리 미러 스캐닝 모터를 구성하는 콘형 공기동압베어링의 일예를 도시한 사시도이다.

Claims (6)

1. 일측이 개방된 하우징(100)의 내부에 설치되고, 외부에 다면경이 형성된 회전자(600)와, 상기 회전자(600)의 중심을 관통하여 설치된 고정자축(910)을 갖는 고정자(900)와, 상기 하우징(100)의 양단에 설치되어 고정자축(910)의 양단을 고정 지지하고, 하우징(100)의 내부를 밀폐시키는 상, 하부커버(210, 220)와, 상기 상, 하부커버(210, 220)를 하우징(100)에 고정시키는 C링(211, 221), 상기 고정자(900)에 연결된 전선(300) 및 상기 고정자(900)의 외주면에 상기 회전자(600)를 회전되게 고정시키는 콘형 공기동압베어링(500)을 포함하여 구성된 모터조립체(10)를 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 있어서,

   상기 하우징(100)의 양단에 설치된 C링(211, 221)을 분리하고 상부커버(210)를 하우징(100)으로부터 분리하고, 상기 고정자축(910)의 상부커버(210)측 단부로부터 연장된 전선(300)을 분리하는 커버 분리단계(S1)와 ;

   하우징(100)으로부터 모터조립체(10)를 분리하고, 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측에 고정된 하부커버(220)를 고정자축(910)으로부터 분리하는 모터조립체 분리단계(S2)와 ;

   모터조립체(10)의 고정자축(910)으로부터 콘형내륜(520)을 분리하고, 회전자(600)로부터 콘형외륜(510)을 분리하는 콘형 공기동압베어링 분리단계(S3)와 ;

   다면경을 갖는 회전자(600)의 양단에 각각 정비된 콘형외륜(510)을 고정시키고, 고정자축(910)에는 정비된 콘형내륜(520)을 억지끼움하여 고정시키는 콘형 공기동압베어링 교체단계(S4)와 ;

   조립된 모터조립체(10)를 시험용 챔버의 내부에서 시험하는 동작시험단계(S5)와 ;

   상기 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측 단부에 하부커버(220)를 조립한 후 하우징(100)의 내부에 모터조립체(10)를 삽입하고 전선(300)을 연결하며, 상기 하부커버(220)의 바깥쪽에 C링(221)을 끼워 고정시키는 모터조립체 조립단계(S6)와 ;

   진공상태에서 20시간내지 30시간동안 방치하여 모터조립체(10)로부터 이물질을 분리하는 베이크아웃(bake-out)단계(S7)와 ;

   하우징(100)의 일측에 상부커버(210)를 대면되게 한 후 C링(221)을 끼워 고정시키는 상부커버조립단계(S8)와 ;

   전선(300)에 전원을 공급하여 조립된 모터조립체(10)를 시험하는 최종 시험단계(S9)로 이루어짐을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 모터조립체 재조립단계(S4)에서 고정자축(910)에는 콘형내륜(520)을 억지끼움한 후 고정자축(910)과 콘형내륜(520) 사이의 접촉부에 접착제를 도포하는 과정을 더 수행함을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 모터조립체 분리단계(S2)를 수행하기 전에 회전자(600)의 외주면에 형성된 다면경을 보호하기 위해 보호커버를 덮는 과정을 더 수행함을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 동작시험단계(S5)를 수행하기 전에 상기 회전자(600)의 불평형질량을 보상하는 밸런싱 단계(S41)를 수행함을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 베이크아웃(bake-out)단계(S7)에서의 챔버 내부에는 진공상태임을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 동작시험단계(S5)에서 시험용 챔버 내부는 헬륨 분위기, 1/4기압임을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법.

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